JP2022533006A - 発熱部品を保護および状態を検出するためのキャビテーションプレート - Google Patents

Abstract

例に従って、装置は、流体が一時的に保持されることになる流体チャンバを含むことができる。また、装置は、流体チャンバに保持された流体に駆動気泡を形成するための熱を生成するための発熱部品も含むことができ、キャビテーションプレートが、流体チャンバと発熱部品との間に設けられ得る。キャビテーションプレートは、流体チャンバと連絡することができ、発熱部品を保護するために流体チャンバを発熱部品から物理的に分離することができる。更に、コントローラは、キャビテーションプレートから受け取った電気信号に基づいて流体チャンバ内の状態を判定することができる。【選択図】図２

Description

インクジェットプリンタは、用紙または他の印刷媒体上にイメージを記録するために、プリントヘッドのノズルから用紙または他の印刷媒体上へ放出される印刷流体滴を使用する。幾つかのインクジェットプリンタのプリントヘッドにおけるノズルは、流体チャンバ内に入れられた印刷流体または他の流体が流体チャンバからノズルを介して吐出され得るように、流体チャンバと流体連絡することができる。幾つかの例（例えば、サーマルインクジェット（ＴＩＪ）設計）において、駆動気泡が、流体チャンバ内に入れられた印刷流体または流体に形成され得る。

本開示の特徴要素は、一例として示され、以下の図面（単数または複数）で制限されない。以下の図面において、同様の符号は、同様の要素を示す。

セグメント化（分割）されたキャビテーションプレートを含むことができる例示的な装置の図である。 セグメント化されたキャビテーションプレートを含むことができる例示的な装置の図である。 セグメント化されたキャビテーションプレート及び誘電体層を含むことができる例示的な装置の図である。 図２に示された複数の装置を示す例示的なデバイスの図である。 単一化されたキャビテーションプレートを形成するための例示的な方法に関する流れ図である。

詳細な説明
簡略化および例示のために、本開示は、単に例を参照することにより説明される。以下の説明において、多くの特定の細部が、本開示の完全な理解を提供するために記載される。しかしながら、容易に明らかであるように、本開示は、これら特定の細部に限定されずに実施され得る。また、幾つかの方法および構造は、本開示を不必要に不明瞭にしないように、詳細に記載されていない。

本開示の全体にわたって、用語「a」及び「an」は、特定の要素の少なくとも１つを示すことが意図されている。本明細書で使用される限り、用語「含む」は、以下に限定されずに含むことを意味し、用語「含んでいる」は、以下に限定されずに含んでいることを意味する。用語「基づいて」は、少なくとも部分的に基づくことを意味する。

本明細書において、装置、例えば当該装置内の流体チャンバ用のセグメント化されたキャビテーションプレートを含むことができる流体ダイ、プリントヘッド又は他のタイプの装置が開示される。セグメント化された（例えば、個別的な）キャビテーションプレートのそれぞれは、個々の流体チャンバ（例えば、ノズルチャンバ）用の流体センサの役割を果たすことができる。例えば、個別的なキャビテーションプレートは、流体チャンバ内に保持された流体（例えば、流体媒剤、インク又は同種のもの）の小滴を前へ押し出すために使用される駆動気泡の存在を検出するために実現され得るセンサの役割を果たすことができる。一例として、個別的なキャビテーションプレートは、駆動気泡形成中に流体の特性を検出するための、流体チャンバ内のインピーダンスセンサの役割を果たすことができる。センサとして機能することに加えて、個別的なキャビテーションプレートは、製造プロセス中に過度のエッチングに影響されやすい下にある薄膜層（例えば、導電トレース、金属層、絶縁層、酸化物層、及び／又は同類のもの）を保護することができる。また、本明細書には、プリントヘッドであることができる流体ダイ、個別的なキャビテーションプレートを含むことができる装置を製造するための方法も開示される。

本明細書で開示される装置、流体ダイ及び方法の具現化形態にわたって、個別的なキャビテーションプレートは、下にある薄膜層を保護するために、且つ状態（例えば、気泡形成中のインピーダンスレベル）を検出するために設けられ得る。本明細書で開示される個別的なキャビテーションプレートは、当該保護および当該状態検出をもたらすことができ、ひいては本明細書で開示された装置は、より少ない数の構成要素で製造されることができ、それにより流体ダイの製造と関連した複雑性およびコストが低減され得る。

図１Ａ～図３を参照する。図１Ａ及び図１Ｂはそれぞれ、セグメント化されたキャビテーションプレート１３０を含むことができる例示的な装置１００の図を示す。図２は、発熱部品１２０及び誘電体層２４０を含むことができる例示的な装置２００の図を示す。図３は、図２に示された装置２００を複数個含むことができる例示的なデバイス３００の図を示す。理解されるべきは、図１Ａ及び図１Ｂに示された装置１００、図２に示された装置２００、及び／又は図３に示されたデバイス３００は、追加の特徴要素を含むことができ、本明細書で説明された特徴要素のその幾つかは、本開示の範囲から逸脱せずに除去および／または変更され得る。

図１Ａ～図３に示された例において、装置１００は、単一の流体チャンバ１１０に関して説明され、他の構成要素（図１Ａ及び図１Ｂに示されたような）及び装置２００、３００は、複数の流体チャンバ１１０－１～１１０－ｎ、及び他の構成要素（図２及び図３に示されたような）に関して説明される。本開示の装置１００～３００及び方法の説明は、インクジェットプリンタのような特定のタイプのプリンタを引き合いに出す。しかしながら、理解されるべきは、本開示において、他の例、例えば、流体ダイ（例えば、プリントヘッド）又は他のタイプのデバイスの異なるアレイを制御するための複数のコントローラ１０２の具現化形態、二次元（２Ｄ）又は三次元（３Ｄ）印刷の応用形態、微小流体ダイの応用形態、バイオの応用形態、ラボオンチップ（ＬＯＣ）、及び／又は他のタイプの応用形態での具現化形態が企図される。

例に従って、及び図１Ａ～図２に示されたように、装置１００は、流体チャンバ１１０、発熱部品（加熱要素）１２０、キャビテーションプレート１３０を含むことができる。インク、化学薬品、又は他のタイプの流体であることができる流体１１１は、流体チャンバ１１０内に一時的に保持され得る。例えば、流体１１１は、矢印１０４により示されるように、リザーバ（図示せず）から流体チャンバ１１０へ供給されることができ、矢印１０８により示されるように、ノズル１０６を介して流体チャンバ１１０から噴射され得る。かくして、流体１１１は、流体１１１がノズル１０６を介して噴射される前に、流体チャンバ１１０内に一時的に保持され得る。

動作中、発熱部品１２０は、流体チャンバ１１０内に保持された流体１１１に駆動気泡１１２を形成するために熱を生成することができる。また、本明細書で説明されるように、発熱部品１２０は、導電層２０２、２０４に結合された抵抗要素２０６を成す薄膜層であることができる。電流が導電層２０２、２０４から抵抗要素２０６に印加されることができ、それにより抵抗要素２０６が発熱する。生じた熱は、矢印１１４により示されたように、キャビテーションプレート１３０を介して流体チャンバ１１０へ流入することができる。流体１１１が流体チャンバ１１０内に保持された例において、熱は、流体１１１の一部を気化させることができ、それにより駆動気泡１１２が形成され得る。駆動気泡１１２は急速に形成されることができ、それにより流体チャンバ１１０内の圧力が急速に増加する。圧力の急速な増加により、流体１１１の一部が流体チャンバ１１０から出る、例えば、流体１１１の小滴としてノズル１０６を介して噴射され得る。

例に従って、電流は、比較的短い持続時間（例えば、数分の１秒）にわたって発熱部品１２０の抵抗要素２０６に印加され得る。電流印加の停止後、駆動気泡１１２は消散することができる。駆動気泡１１２が消散する際、流体チャンバ１１０内の圧力レベルは、より低くなることができ、それにより流体１１１が、矢印１０４により示されるように、リザーバから流体チャンバ１１０へ引き込まれ得る。

図１Ａに示されるように、キャビテーションプレート１３０が、例えば駆動気泡１１２の形成および崩壊により生じる力から発熱部品１２０を保護するために、流体チャンバ１１０と発熱部品１２０との間に設けられ得る。また、キャビテーションプレート１３０は、装置１００の製造プロセス中に発熱部品１２０を保護することもできる。キャビテーションプレート１３０は、流体チャンバ１１０と連絡することができ、発熱部品１２０の部分が流体チャンバ１１０にむき出しにされないように、発熱部品１２０を流体チャンバ１１０から物理的に分離することができる。幾つかの例において、キャビテーションプレート１３０の一部は、流体チャンバ１１０内に配置されて流体１１１と物理的に接触することができ、流体チャンバ１１０の「フロア」の役割を果たすことができる。

更に、キャビテーションプレート１３０は、発熱部品１２０から電気的に絶縁され得る。例えば、キャビテーションプレート１３０は、発熱部品１２０から物理的に分離されることができ、及び／又は電気絶縁材料が、キャビテーションプレート１３０と発熱部品１２０との間に設けられることができ、電流が導電層２０２、２０４及び／又は抵抗要素２０６からキャビテーションプレート１３０に伝導されることができない（逆もまた同じ）ようになっている。また、キャビテーションプレート１３０は、駆動気泡１１２の生成中または生成後の流体チャンバ１１０内の状態を検出するためのセンサ（例えば、インピーダンスセンサ）としても実施され得る。

例に従って、コントローラ１０２は、キャビテーションプレート１３０に電気接続されることができ、コントローラ１０２は、キャビテーションプレートから電気信号を検出することができる。即ち、例えば、コントローラ１０２により、電流がキャビテーションプレート１３０に及び流体１１１（図２に示されるように抵抗成分２２０を有することができる）に印加されることができる。コントローラ１０２は、キャビテーションプレート１３０を介して電気信号レベルを検出することができ、検出された電気信号の値（例えば、強度、抵抗または同類のもの）に従って、流体チャンバ１１０内の状態（例えば、インピーダンス）を判定する（求める）ことができる。例に従って、複数の流体チャンバ１１０が設けられることができ、キャビテーションプレート１３０は、個々の流体チャンバ１１０のセンサの役目をする複数の電気絶縁されたプレートへセグメント化（分割）され得る。

例に従って、装置１００は、プリントヘッドのような流体ダイであることができる。これらの例において、発熱部品１２０により、流体１１１が小滴としてノズル１０６を介して吐出され得る。装置１００は、用紙のような印刷媒体上へ流体１１１の小滴を付着することができる二次元プリンタの一部であることができる。代案として、装置１００は、三次元（３Ｄ）印刷動作中に、構築材料粒子上へ流体１１１の小滴を付着することができる３Ｄプリンタの一部であることができる。

他の例において、及び図１Ｂに示されるように、装置１００は、例えば、流体１１１がノズル１０６を介して装置１００から吐出されずに、流体１１１を或る場所から別の場所へ移動させることができる流体ポンプの役割を果たすことができる。例えば、装置１００は、ｕ形流体ポンプアーキテクチャを有することができる。装置１００が図１Ｂに示されたような流体ポンプの役割を果たすことができる例において、装置１００は、ノズル１０６を含むことができない。代わりに、駆動気泡１１２の膨張により、流体１１１の一部が流体チャンバ１１０から吐出されることができないが、流体チャンバ１１０内の流体１１１が流体チャンバ１１０内で及び／又は流体チャンバ１１０と流体連絡するチャネル内で変位することができる。

図２を参照すると、装置２００は、図１Ａに示された装置１００と類似する構成要素を含むことができる。しかしながら、装置２００は、追加の構成要素を含むように示される。図２に示された共通の構成要素は、詳細に説明されず、代わりに図１Ａに関するこれら構成要素の説明が、図２の共通の構成要素を説明するために依存される。代案として、理解されるべきは、装置２００は代わりに、図１Ｂに示された特徴要素を含むことができる。

図２に示されたように、発熱部品１２０は、薄膜層であることができ、導電層２０２、２０４及び抵抗要素（抵抗素子）２０６を含むことができる。抵抗要素２０６は、１つ又は複数の抵抗器を含むことができ、導電層２０２、２０４を介して流れることができる電流を受け取ることができる。この点に関して、抵抗要素２０６は、導電層２０２及び／又は２０４に電気結合され得る。幾つかの例において、導電層２０２、２０４は、銅、銀、金および／または同類のもののような金属から作成されることができ、導電トレースとして形成され得る。電流は、導電層２０２の一方へ印可されることができ、電流が他の導電層２０４から流れ出る際に、抵抗要素２０６を通って流れることができる。上述されたように、電流が、導電層２０２、２０４を介して、抵抗要素２０６を通して印加される際、抵抗要素２０６は、熱くなることができ、それにより流体チャンバ１１０内の流体１１１の一部が気化することができ、次いで、それにより駆動気泡１１２の形成がもたらされ得る。図示されていないが、絶縁層が導電層２０２と２０４を電気絶縁することができ、導電層２０２と２０４は、電流の帰還路を形成するために接続２０８（例えば、バイア）により、電気接続され得る。

誘電体層２４０（例えば、オルトケイ酸テトラエチル（ＴＥＯＳ）又は同類のものから形成された薄膜層）が、キャビテーションプレート１３０及び発熱部品１２０の部分、又は図２に示されたような他の下にある薄膜層の上に設けられ得る。誘電体層２４０は、誘電体層２４０が設けられるキャビテーションプレート１３０及び発熱部品の部分を保護することができる。発熱部品１２０及びキャビテーションプレート１３０の適切な動作のために、誘電体層２４０は、流体チャンバ１１０に対応する領域に設けられることができない。例えば、図２に示されるように、保護領域２５２と非保護領域２５１との間の境界は、点線２５０により表され、誘電体層２４０は、非保護領域２５１へ延びずに、保護領域２５２に設けられ得る。

発熱部品１２０は、非保護領域２５１に位置する第１の部分、及び保護領域２５２に位置する第２の部分を含むことができる。そのため、誘電体層２４０は、非保護領域２５１に位置する、下にある薄膜層（例えば、導電層２０２及び／又は抵抗要素２０６）を覆うことができない。本明細書で説明されたような幾つかの例において、誘電体層２４０により保護されることができない発熱部品１２０の部分の上に配置されたキャビテーションプレート１３０は、非保護領域２５１における下にある導電層２０２、２０４（例えば、導電層２０２及び／又は抵抗要素２０６）を覆うことができる。

図３は、図２に示された装置を複数個（２００－１～２００－ｎ）含むことができる例示的なデバイス３００の図を示し、ここで、変数「ｎ」は、１より大きい値を表すことができる。図３は、装置２００－１～２００－ｎの上面図を示す。図示されたように、装置２００－１～２００－ｎのそれぞれは、互いから物理的に分離されることができ、個々のキャビテーションプレート１３０－１～１３０－ｎを含むことができる。この点に関して、キャビテーションプレート１３０－１～１３０－ｎは、互いに対してセグメント化され得る。更に、装置２００－１～２００－ｎのそれぞれは、同じ構成要素を有することができる。例えば、装置２００－１の一方のキャビテーションプレート１３０－１及び装置２００－ｎの他方のキャビテーションプレート１３０－ｎは、同じ構造を有することができ、互いに同一平面にある、例えば同じタンタル層から形成され得る。更に、複数のキャビテーションプレート１３０－１～１３０－ｎのそれぞれは、図示されたように、複数の発熱部品１２０－１～１２０－ｎの対応する１つに重なることができる。発熱部品１２０－１～１２０－ｎに重なるキャビテーションプレート１３０－１～１３０－ｎの構造的配置に関心が払われ得る。実際には、複数の下にある発熱部品にわたって延びる及び当該発熱部品を覆う単一のキャビテーションプレートは、例えば潜在的な寄生容量に起因して、望ましくない場合がある。

再び、図３を参照すると、複数のキャビテーションプレート１３０－１～１３０－ｎは、下にある発熱部品１２０－１～１２０－ｎを保護するために配置され得る。特に、キャビテーションプレート１３０－１～１３０－ｎは、非保護領域２５１の発熱部品１２０－１～１２０－ｎに重なるように形成され得る。例えば、誘電体層２４０が設けられない非保護領域２５１において、キャビテーションプレート１３０－１～１３０－ｎは、下にある発熱部品１２０－１～１２０－ｎの部分に完全に重なるようにパターン形成され得る。キャビテーションプレート１３０－１～１３０－ｎの形状は、下にある導電層２０２、２０４の形状に類似した形状を有するように形成され得る。

幾つかの例において、非保護領域２５１に配置される発熱部品１２０－１～１２０－ｎの第１の部分は、所定の幅を有することができ、非保護領域２５１に配置されたキャビテーションプレート１３０－１～１３０－ｎは、発熱部品１２０－１～１２０－ｎの第１の部分の幅より大きい幅を有することができる。幾つかの例において、キャビテーションプレート１３０－１～１３０－ｎは、発熱部品１２０－１～１２０－ｎの側部も覆うことができる。例えば、センサとしてのキャビテーションプレート１３０－１～１３０－ｎの許容可能な性能を確保するために、センサノードの寄生容量は、（例えば、領域（面積）を最小限にすることにより）最小限にされ得る。そのため、キャビテーションプレート１３０－１～１３０ｎによる発熱部品１２０－１～１２０－ｎの重なりは、キャビテーションプレート１３０－１～１３０－ｎのセンサ性能を維持しながら、発熱部品１２０－１～１２０－ｎを過度のエッチングから十分に保護するための最小量であるように設計され得る。発熱部品１２０－１～１２０－ｎ及びキャビテーションプレート１３０－１～１３０－ｎの形状と幅は、キャビテーションプレート１３０－１～１３０－ｎのセンサ性能の所望のレベルを維持しながら、発熱部品１２０－１～１２０－ｎの最小の重なり及び／又は包囲を可能にすることができる。

装置１００、２００、３００が形成され得る様々な方法が、図４に示された方法４００に関して、より詳細に説明される。特に、図４は、単一化されたキャビテーションプレート１３０を有する装置１００、２００、３００を形成するための例示的な方法４００の流れ図を示す。理解されるべきは、図４に示された方法４００は、追加の動作を含むことができ、本明細書で説明される動作のその幾つかは、方法４００の範囲から逸脱せずに除去および／または変更され得る。方法４００の説明は、例示のために、図１Ａ～図３に示された特徴要素に関してなされる。

ブロック４０２において、プリントヘッドのような、流体ダイの流体チャンバ１１０用の発熱部品１２０が形成され得る。発熱部品１２０は、流体チャンバ１１０に隣接する第１の部分、及び流体チャンバ１１０からオフセットした第２の部分を有することができる。第１の部分は、非保護領域２５１に配置されることができ、第２の部分は、保護領域２５２に配置され得る。

ブロック４０４において、キャビテーションプレート１３０が形成され得る。キャビテーションプレート１３０は、非保護領域２５１において、流体チャンバ１１０と発熱部品１２０の第１の部分との間に配置され得る。

ブロック４０６において、誘電体層２４０が形成され得る。誘電体層２４０は、誘電体層２４０が非保護領域２５１において発熱部品１２０及び／又はキャビテーションプレート１３０の部分と接触せずに、保護領域２５２において発熱部品１２０及び／又はキャビテーションプレート１３０と接触することができる。

ブロック４０８において、キャビテーションプレート１３０が電気接続に接続され得る。キャビテーションプレート１３０は、コントローラ１０２に結合されることができ、この場合、コントローラ１０２は、本明細書で説明されたように、キャビテーションプレート１３０から受け取った電気信号に基づいて、流体チャンバ１１０内の状態を判定することができる。判定された状態は、流体チャンバ１１０内の流体１１１の電気特性、より具体的には、流体チャンバ１１０における駆動気泡１１２の形成中の流体１１１の電気特性（例えば、インピーダンス）であることができる。

幾つかの例において、発熱部品１２０を形成することは、流体ダイの複数の流体チャンバ１１０－１～１１０－ｎ用の複数の発熱部品１２０－１～１２０－ｎを形成することを含むことができる。更に、キャビテーションプレートを形成することは、個々の流体チャンバ１１０－１～１１０－ｎと発熱部品１２０－１～１２０－ｎとの間に配置されるべき複数のキャビテーションプレート１３０－１～１３０－ｎを形成することを含むことができる。更に、複数のキャビテーションプレート１３０－１～１３０－ｎのそれぞれは、流体チャンバ１１０－１～１１０－ｎ内のセンサの役割も果たしながら、下にある薄膜層に保護を提供するために、複数の発熱部品１２０－１～１２０－ｎの個々の発熱部品１２０－１～１２０－ｎに重なるように形成され得る。

特に本開示の全ての全体にわたって説明されたが、本開示の代表的な例は、応用形態の広い範囲にわたって実用性を有し、上記の説明は、制限するように解釈されることが意図されておらず且つそのように解釈されるべきではなく、本開示の態様の例示的な説明として提供される。

本明細書で説明および例示されたことは、その変形形態の幾つかと同様に、本開示の一例である。本明細書で使用された用語、説明および図面は、一例として記載されており、制限として意図されていない。多くの変形は、以下の特許請求の範囲、及びそれらの等価物により定義されることが意図されている本開示の思想および範囲内で可能である。特許請求の範囲において、全ての用語は、別段の指示がなり限り、それらの最も広い妥当な意味で意図されている。

Claims (15)

1. 流体チャンバであって、流体が前記流体チャンバに一時的に保持されることになる、流体チャンバと、
   前記流体チャンバに保持された流体に駆動気泡を形成するための熱を生成するための発熱部品と、
   前記流体チャンバと前記発熱部品との間に設けられたキャビテーションプレートとを含み、前記キャビテーションプレートは、前記流体チャンバと連絡し、前記発熱部品を保護するために前記流体チャンバを前記発熱部品から物理的に分離し、コントローラが、前記キャビテーションプレートから受け取った電気信号に基づいて前記流体チャンバ内の状態を判定することができる、装置。
2. 前記流体チャンバ内の状態は、流体の前記駆動気泡の生成中または生成後の、前記流体チャンバ内の特性である、請求項１に記載の装置。
3. 前記発熱部品は、金属層、及び前記金属層に結合された抵抗要素を含み、前記抵抗要素は、前記金属層から電流を受け取ることによって熱を生成することができる、請求項１に記載の装置。
4. 前記金属層は、前記流体チャンバが位置する第１の領域に設けられた第１の部分、及び前記第１の領域に隣接する第２の領域に設けられた第２の部分を含み、前記キャビテーションプレートは、前記第１の領域の前記金属層に重なる、請求項３に記載の装置。
5. 誘電体層を更に含み、前記キャビテーションプレートは、前記誘電体層と前記金属層との間に設けられ、前記誘電体層は、前記第２の領域の前記金属層に重なり、前記第１の領域の前記金属層に重ならない、請求項４に記載の装置。
6. 前記金属層の前記第１の部分は、所定形状を有し、前記キャビテーションプレートは、前記金属層の前記所定形状に対応する所定の形状を有する、請求項４に記載の装置。
7. 前記金属層の前記第１の部分は、所定幅を有し、前記第１の領域の前記キャビテーションプレートは、前記金属層の前記第１の部分の前記所定幅より大きい所定の幅を有する、請求項４に記載の装置。
8. 第２の流体チャンバであって、流体が前記第２の流体チャンバに一時的に保持されることになる、第２の流体チャンバと、
   前記第２の流体チャンバに保持された流体に駆動気泡を形成するための熱を生成するための第２の発熱部品と、
   前記第２の流体チャンバと連絡する第２のキャビテーションプレートとを更に含み、前記第２のキャビテーションプレートは、前記キャビテーションプレートから物理的に分離している、請求項１に記載の装置。
9. 前記キャビテーションプレート及び前記第２のキャビテーションプレートは、同一平面にある、請求項８に記載の装置。
10. 前記キャビテーションプレートは、タンタルから形成される、請求項１に記載の装置。
11. プリントヘッドであって、
    流体を一時的に保持するための複数の流体チャンバと、
    複数の発熱部品をなす金属層であって、前記複数の発熱部品のそれぞれが、前記複数の流体チャンバの個々の流体チャンバに保持された流体に駆動気泡を形成するための熱を生成することができる、金属層と、
    前記複数の流体チャンバと前記金属層との間に設けられたキャビテーションプレート層とを含み、前記キャビテーションプレート層は、複数のキャビテーションプレートを含み、前記複数のキャビテーションプレートの各キャビテーションプレートは、複数の流体チャンバの個々の流体チャンバと連絡し、前記個々の流体チャンバの状態を検出するように実現されることができる、プリントヘッド。
12. 前記複数のキャビテーションプレートのそれぞれは、互いから物理的に分離され、前記複数の発熱部品のそれぞれは、互いから物理的に分離され、前記複数のキャビテーションプレートのそれぞれは、前記金属層の前記複数の発熱部品の対応する１つに重なる、請求項１１に記載のプリントヘッド。
13. 各キャビテーションプレートにより検出される前記個々の流体チャンバの状態は、流体に前記駆動気泡を生成中の前記個々の流体チャンバ内の特性である、請求項１１に記載のプリントヘッド。
14. 方法であって、
    流体ダイの流体チャンバ用の発熱部品を形成し、前記発熱部品は、前記流体チャンバに隣接する第１の部分、及び前記流体チャンバからオフセットしている第２の部分を有し、
    前記流体チャンバと前記第１の部分との間に配置されることになるキャビテーションプレートを形成し、
    誘電体層が前記第１の部分と接触しない状態で、前記第２の部分と接触することになる前記誘電体層を形成し、
    前記キャビテーションプレートを電気接続に接続することを含み、前記キャビテーションプレートは、コントローラに結合され、前記コントローラは、前記電気接続を介して前記キャビテーションプレートから受け取った電気信号に基づいて、前記流体チャンバ内の状態を判定することができる、方法。
15. 前記流体ダイの複数の流体チャンバ用の複数の発熱部品を形成し、
    流体チャンバと発熱部品の個々の対の間に配置されるべき複数のキャビテーションプレートを形成し、前記複数のキャビテーションプレートのそれぞれは、前記複数の発熱部品の個々の発熱部品に重なり、
    前記複数のキャビテーションプレートのそれぞれを、個々の電気接続に接続することを更に含む、請求項１４に記載の方法。

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