JP2022530532A - 容量性微細加工超音波トランスデューサ(cmut)デバイス - Google Patents
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- 238000005459 micromachining Methods 0.000 title claims 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims abstract description 31
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims abstract description 25
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims abstract description 25
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims abstract description 25
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 31
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 16
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims description 12
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 claims description 8
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 9
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 100
- 238000000034 method Methods 0.000 description 24
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 23
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 13
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 12
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 10
- 238000013461 design Methods 0.000 description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 9
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 7
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 230000004044 response Effects 0.000 description 7
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 6
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 6
- 238000002059 diagnostic imaging Methods 0.000 description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 6
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 5
- 230000017531 blood circulation Effects 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 238000011002 quantification Methods 0.000 description 4
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 4
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 3
- 238000003491 array Methods 0.000 description 3
- 238000002592 echocardiography Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 3
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 3
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 2
- 210000000056 organ Anatomy 0.000 description 2
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 210000000601 blood cell Anatomy 0.000 description 1
- 210000004204 blood vessel Anatomy 0.000 description 1
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000011982 device technology Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000001605 fetal effect Effects 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 238000012216 screening Methods 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 238000012285 ultrasound imaging Methods 0.000 description 1
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/0207—Driving circuits
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/0292—Electrostatic transducers, e.g. electret-type
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- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B8/00—Diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
- A61B8/44—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device
- A61B8/4483—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device characterised by features of the ultrasound transducer
- A61B8/4494—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device characterised by features of the ultrasound transducer characterised by the arrangement of the transducer elements
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S15/00—Systems using the reflection or reradiation of acoustic waves, e.g. sonar systems
- G01S15/88—Sonar systems specially adapted for specific applications
- G01S15/89—Sonar systems specially adapted for specific applications for mapping or imaging
- G01S15/8906—Short-range imaging systems; Acoustic microscope systems using pulse-echo techniques
- G01S15/8909—Short-range imaging systems; Acoustic microscope systems using pulse-echo techniques using a static transducer configuration
- G01S15/8915—Short-range imaging systems; Acoustic microscope systems using pulse-echo techniques using a static transducer configuration using a transducer array
- G01S15/8925—Short-range imaging systems; Acoustic microscope systems using pulse-echo techniques using a static transducer configuration using a transducer array the array being a two-dimensional transducer configuration, i.e. matrix or orthogonal linear arrays
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S15/00—Systems using the reflection or reradiation of acoustic waves, e.g. sonar systems
- G01S15/88—Sonar systems specially adapted for specific applications
- G01S15/89—Sonar systems specially adapted for specific applications for mapping or imaging
- G01S15/8906—Short-range imaging systems; Acoustic microscope systems using pulse-echo techniques
- G01S15/8993—Three dimensional imaging systems
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/52—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S15/00
- G01S7/52017—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S15/00 particularly adapted to short-range imaging
- G01S7/52046—Techniques for image enhancement involving transmitter or receiver
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/52—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S15/00
- G01S7/52017—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S15/00 particularly adapted to short-range imaging
- G01S7/52079—Constructional features
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- B06B2201/00—Indexing scheme associated with B06B1/0207 for details covered by B06B1/0207 but not provided for in any of its subgroups
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- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
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Abstract
Description
超音波トランスデューサデバイスのセットであって、各超音波トランスデューサデバイスは、第1及び第2の端子を各々が有する1つ又は複数の容量性微細加工超音波トランスデューサセルを備える、超音波トランスデューサデバイスのセットと;
超音波トランスデューサデバイスを動作させ、超音波トランスデューサデバイスのうちの少なくとも1つに関連付けられた駆動回路ポートにおいてAC駆動信号を送達するとともに反射された信号を受信するための駆動回路であって、駆動回路はASICを備える、駆動回路と;
駆動回路と超音波トランスデューサデバイスのセットとの間にある中間回路であって、中間回路は、結合回路のアレイを備え、各結合回路は、駆動回路ポートと関連付けられた少なくとも1つの超音波トランスデューサデバイスとの間にあり、バイアス電圧端子と第1の端子との間に接続されたバッファ要素と、第1の端子と駆動回路ポートとの間に直列に接続されたキャパシタとを備え、中間回路は、例えば、受動集積技術回路を備える、中間回路と
を備える。
超音波トランスデューサデバイスのうちの少なくとも1つに関連付けられた第2の駆動回路ポートにおいてAC駆動信号を送達するとともに反射された信号を受信するための第2の駆動回路(330)であって、駆動回路はASICである、第2の駆動回路(330)と;
第2の駆動回路と超音波トランスデューサデバイスのセットとの間にある第2の中間回路(332)であって、第2の中間回路は、結合回路のアレイを備え、各結合回路は、第2の駆動回路ポートと関連付けられた少なくとも1つの超音波トランスデューサデバイスとの間にあり、バイアス電圧端子と第2の端子との間に接続されたバッファ要素と、第2の端子と第2の駆動回路ポートとの間に直列に接続されたキャパシタとを備え、第2の中間回路は受動集積技術回路を備える、中間回路(332)と
を更に備える。
基板と;
中央軸の周りに形成された基板に接続された第1の電極と;
可撓性メンブレンであって、可撓性メンブレンは第1の電極から少なくとも部分的に空間的に離間される、可撓性メンブレンと;
可撓性メンブレンに接続された第2の電極であって、第2の電極は第1の電極と同心である、第2の電極と
を備える。
Claims (6)
- 超音波トランスデューサデバイスの行及び列のアレイを備える超音波トランスデューサデバイスのセットであって、各超音波トランスデューサデバイスは、第1及び第2の端子を各々が有する1つ又は複数の容量性微細加工超音波トランスデューサセルを備える、超音波トランスデューサデバイスのセットと、
前記超音波トランスデューサデバイスを動作させるための第1の駆動回路であって、前記第1の駆動回路は、前記超音波トランスデューサデバイスのうちの少なくとも1つに関連付けられた駆動回路ポートにおいてAC駆動信号を送達するとともに反射された信号を受信し、前記第1の駆動回路はASICを備える、第1の駆動回路と、
前記第1の駆動回路と前記超音波トランスデューサデバイスのセットとの間にある第1の中間回路であって、前記第1の中間回路は、結合回路のアレイを備え、各結合回路は、前記駆動回路ポートと関連付けられた少なくとも1つの前記超音波トランスデューサデバイスとを結合し、バイアス電圧端子と前記第1の端子との間に接続されたレジスタを備えるただ1つのバッファ要素と、前記第1の端子と前記駆動回路ポートとの間に直列に接続されたキャパシタとを備える、第1の中間回路と、
前記超音波トランスデューサデバイスのうちの少なくとも1つに関連付けられた第2の駆動回路ポートにおいてAC駆動信号を送達するとともに反射された信号を受信する第2の駆動回路であって、前記第2の駆動回路はASICを備える、第2の駆動回路と、
前記第2の駆動回路と前記超音波トランスデューサデバイスのセットとの間にある第2の中間回路であって、前記第2の中間回路は、結合回路のアレイを備え、各結合回路は、前記第2の駆動回路ポートと関連付けられた少なくとも1つの前記超音波トランスデューサデバイスとの間にあり、バイアス電圧端子と前記第2の端子との間に接続されたレジスタを備えるただ1つのバッファ要素と、前記第2の端子と前記第2の駆動回路ポートとの間に直列に接続されたキャパシタとを備える、第2の中間回路と
を備え、
前記第1の駆動回路の各駆動回路ポートは前記第1の中間回路を通じて超音波トランスデューサデバイスの行の前記第1の端子に接続し、
前記第2の駆動回路の各第2の駆動回路ポートは前記第2の中間回路を通じて超音波トランスデューサデバイスの列の前記第2の端子に接続する、超音波システム。 - 前記第1及び第2の中間回路は各々、受動集積技術回路を備える、請求項1に記載の超音波システム。
- 前記第1及び第2の駆動回路は各々、それぞれの駆動回路端子に各々が接続された送信器-受信器ペアを有する送信器と受信器とのセットを備える、請求項1又は2に記載の超音波システム。
- 各中間回路は、前記超音波トランスデューサデバイスのセットに物理的に近接して位置する、請求項1から3のいずれか一項に記載の超音波システム。
- 各超音波トランスデューサデバイスの各CMUTセルは、崩壊モードにおいて動作する、請求項1から4のいずれか一項に記載の超音波システム。
- 各超音波トランスデューサデバイスの各CMUTセルは、
基板と、
前記CMUTセルの中央軸の周りに形成された前記基板に接続された第1の電極と、
前記第1の電極から少なくとも部分的に空間的に離間される、可撓性メンブレンと、
前記可撓性メンブレンに接続された第2の電極であって、前記第2の電極は前記第1の電極と同心である、第2の電極と
を備える、請求項1から5のいずれか一項に記載の超音波システム。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP19171719.8 | 2019-04-30 | ||
EP19171719.8A EP3733309A1 (en) | 2019-04-30 | 2019-04-30 | Capacitive micro-machined ultrasound transducer (cmut) devices |
PCT/EP2020/061742 WO2020221733A1 (en) | 2019-04-30 | 2020-04-28 | Capacitive micro-machined ultrasound transducer (cmut) devices |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022530532A true JP2022530532A (ja) | 2022-06-29 |
JPWO2020221733A5 JPWO2020221733A5 (ja) | 2023-03-10 |
JP7427027B2 JP7427027B2 (ja) | 2024-02-02 |
Family
ID=66334231
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021564446A Active JP7427027B2 (ja) | 2019-04-30 | 2020-04-28 | 容量性微細加工超音波トランスデューサ(cmut)デバイス |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11628472B2 (ja) |
EP (2) | EP3733309A1 (ja) |
JP (1) | JP7427027B2 (ja) |
WO (1) | WO2020221733A1 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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- 2020-04-28 JP JP2021564446A patent/JP7427027B2/ja active Active
- 2020-04-28 WO PCT/EP2020/061742 patent/WO2020221733A1/en unknown
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Publication number | Publication date |
---|---|
US11628472B2 (en) | 2023-04-18 |
WO2020221733A1 (en) | 2020-11-05 |
US20200346248A1 (en) | 2020-11-05 |
JP7427027B2 (ja) | 2024-02-02 |
EP3962664A1 (en) | 2022-03-09 |
EP3733309A1 (en) | 2020-11-04 |
EP3962664B1 (en) | 2024-01-03 |
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