JP2022523575A - センサでの寄生容量不感サンプリング - Google Patents
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- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 title claims abstract description 42
- 238000005070 sampling Methods 0.000 title claims description 15
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 37
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 35
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 114
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims description 14
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 11
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 5
- 230000005669 field effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 3
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 claims description 3
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims 1
- 230000000116 mitigating effect Effects 0.000 abstract description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 abstract description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 8
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 5
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 239000003651 drinking water Substances 0.000 description 1
- 235000020188 drinking water Nutrition 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004078 waterproofing Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/12—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in capacitance, i.e. electric circuits therefor
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03M—CODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
- H03M3/00—Conversion of analogue values to or from differential modulation
- H03M3/30—Delta-sigma modulation
- H03M3/39—Structural details of delta-sigma modulators, e.g. incremental delta-sigma modulators
- H03M3/412—Structural details of delta-sigma modulators, e.g. incremental delta-sigma modulators characterised by the number of quantisers and their type and resolution
- H03M3/414—Structural details of delta-sigma modulators, e.g. incremental delta-sigma modulators characterised by the number of quantisers and their type and resolution having multiple quantisers arranged in cascaded loops, each of the second and further loops processing the quantisation error of the loop preceding it, i.e. multiple stage noise shaping [MASH] type
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B7/00—Microstructural systems; Auxiliary parts of microstructural devices or systems
- B81B7/0032—Packages or encapsulation
- B81B7/0058—Packages or encapsulation for protecting against damages due to external chemical or mechanical influences, e.g. shocks or vibrations
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B7/00—Microstructural systems; Auxiliary parts of microstructural devices or systems
- B81B7/0032—Packages or encapsulation
- B81B7/007—Interconnections between the MEMS and external electrical signals
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/02—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03M—CODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
- H03M3/00—Conversion of analogue values to or from differential modulation
- H03M3/30—Delta-sigma modulation
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03M—CODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
- H03M3/00—Conversion of analogue values to or from differential modulation
- H03M3/30—Delta-sigma modulation
- H03M3/458—Analogue/digital converters using delta-sigma modulation as an intermediate step
- H03M3/494—Sampling or signal conditioning arrangements specially adapted for delta-sigma type analogue/digital conversion systems
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03M—CODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
- H03M7/00—Conversion of a code where information is represented by a given sequence or number of digits to a code where the same, similar or subset of information is represented by a different sequence or number of digits
- H03M7/30—Compression; Expansion; Suppression of unnecessary data, e.g. redundancy reduction
- H03M7/3002—Conversion to or from differential modulation
- H03M7/3004—Digital delta-sigma modulation
- H03M7/3015—Structural details of digital delta-sigma modulators
- H03M7/302—Structural details of digital delta-sigma modulators characterised by the number of quantisers and their type and resolution
- H03M7/3022—Structural details of digital delta-sigma modulators characterised by the number of quantisers and their type and resolution having multiple quantisers arranged in cascaded loops, each of the second and further loops processing the quantisation error of the loop preceding it, i.e. multiple stage noise shaping [MASH] type
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
- B81B2201/02—Sensors
- B81B2201/0264—Pressure sensors
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- H—ELECTRICITY
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- H03M—CODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
- H03M3/00—Conversion of analogue values to or from differential modulation
- H03M3/30—Delta-sigma modulation
- H03M3/39—Structural details of delta-sigma modulators, e.g. incremental delta-sigma modulators
- H03M3/436—Structural details of delta-sigma modulators, e.g. incremental delta-sigma modulators characterised by the order of the loop filter, e.g. error feedback type
- H03M3/438—Structural details of delta-sigma modulators, e.g. incremental delta-sigma modulators characterised by the order of the loop filter, e.g. error feedback type the modulator having a higher order loop filter in the feedforward path
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03M—CODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
- H03M3/00—Conversion of analogue values to or from differential modulation
- H03M3/30—Delta-sigma modulation
- H03M3/458—Analogue/digital converters using delta-sigma modulation as an intermediate step
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
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- Compression, Expansion, Code Conversion, And Decoders (AREA)
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Abstract
Description
以下では、本開示で提示される方法及びデバイスによって後に採用される概念のいくつかが、定義及び記載される。
本開示を通じて、「スイッチドキャパシタ回路」(switched capacitor circuit)との用語は、キャパシタ及びスイッチを有し、スイッチが開閉されるときに電荷がキャパシタから出入りする電子回路について記載するために使用される。図1Aは、例示的なスイッチドキャパシタ回路を示し、3つのスイッチが動作を制御する。スイッチS1及びS3は、キャパシタC1の左側のプレートをVin及び接地へ接続し、S2は、利得1(unity-gain)のフィードバックを提供する。充電フェーズで、S1及びS2はオンであり、S3はオフであり、C1の両端で、Vinに等しい電圧が生じる。これは、反転入力が仮想接地として現れるからである。積分フェーズで、S1及びS2はオフし、S3はオンし、ノードAが接地される。このフェーズ中、図1Bに示されるように、C2を通る負帰還が演算増幅器(Operational Amplifier,OA)入力差動電圧を、よって、C1の両端の電圧をゼロに駆動する。充電フェーズ中にC1に蓄えられた電荷は、その場合にC2へ移動せざるを得ず、vin・(c1/c2)に等しい出力が生成される。言い換えると、Voutは、1クロック周期(上記の2つのフェーズに対応)でvin・(c1/c2)だけ変化する。
本開示を通じて、「自動ゼロ化」(auto-zeroing)との用語は、電子回路に存在する可能性があるオフセット又は雑音を取り除くために電子回路内で使用される技術について記載するために使用される。オフセットの例は、演算増幅器の入力電圧オフセットである。図2A~2Bは、この技術を表しており、VOSは、演算増幅器の入力でのオフセット電圧に相当する。第1フェーズで、スイッチS1及びS2は閉じられ、S3は開かれる。つまり、Vout=VOSである。言い換えると、オフセット電圧は、キャパシタCazに蓄えられる。第2フェーズで、スイッチS3は閉じられ、一方、スイッチS1及びS2は開かれる。第2フェーズでは、出力が利用可能である。Aの有限な直流(DC)利得を有する増幅器については、残留オフセットはVOS/(A+1)と計算され得る。ほとんどの演算増幅器について、利得Aは大きい数であるから、残留オフセットは、この技術を用いてほとんど取り除かれる。
本開示を通じて、シグマ-デルタADCとの用語は、シグマ-デルタ変調の概念に基づき動作するADCについて記載するために使用される。図3は、典型的なシグマ-デルタADCのブロック図を示す。より従来のADCとは異なり、シグマ-デルタADCは、入力信号のナイキスト周波数よりも大きいサンプリングレートで動作するオーバーサンプリングコンバータである。シグマ-デルタADCは、民生用及び業務用オーディオ、通信システム、センサ、並びに高精度測定デバイスなどの用途のために、高分解能でありながら費用効果の高いADCを実現するために主に使用される。
は、クロック(Φ1dd)の反転されたバージョンである。言い換えると、クロック(Φ1dd)が論理1にあるとき、クロック
は論理0にあり、その逆も同様である。スイッチ(S3、S3’、S4、S4’)の夫々は、2つのパルス列を乗じることによって生成されるクロックによって制御される。一例として、図6に示されるように、かつ、図5を参照して、スイッチ(S3)はクロック(Φ1ddd1)によって制御され、ここで、「Φ1ddd1」の用語は、クロック(Φ1dd)を表すパルス列と、図5のコンパレータ出力(d1)を表すパルス列との積である。引き続き図6を参照して、積分器(610)は、スイッチ(S5及びS6)と、積分キャパシタ(Cint)と、第1入力ノード(670)及び第2入力ノード(671)を備える演算増幅器(OA)(660)とを有する。本開示の実施形態に従って、第2入力ノード(671)は、基準電圧(Vrefp)へ接続されてよい。本開示の更なる実施形態に従って、基準電圧(Vrefn)は、図6に示されるように、接地であってよい。本開示の更なる実施形態に従って、図6に示される基準電圧(Vrefn)は、接地であってもよい。
本願は、「Parasitic Insensitive Sampling In Sensors」と題されて2019年3月6日付けで出願された米国特許出願第16/294824号に対する優先権を主張するものであり、上記の特許出願の内容は、その全文を参照により援用される。
Claims (26)
- 可変センス容量を有するセンスキャパシタを含むセンサと、
前記センスキャパシタへ接続されたADC入力を有するアナログ-デジタルコンバータ(ADC)を含むリードアウト集積回路と
を有し、
可変寄生容量が前記ADC入力へ結合可能であり、
前記センサによって入力圧力が検知されるとき、前記可変センス容量は変調されて、前記入力圧力に応じて1つ以上のADC出力信号を生成する、
センサシステム。 - 前記センスキャパシタは、前記ADC入力と直列に接続される、
請求項1に記載のセンサシステム。 - 前記ADCは、シグマ-デルタ変調器を有する、
請求項1に記載のセンサシステム。 - 前記シグマ-デルタ変調器は、1つ以上のコンパレータと相互接続された1つ以上の積分器を含む多段ノイズシェーピング(MASH)変調器である、
請求項3に記載のセンサシステム。 - 前記シグマ-デルタ変調器と接続されたデシメーションフィルタを更に有する、
請求項4に記載のセンサシステム。 - 前記センサは、前記センスキャパシタに対して位相がずれて動作可能に充電又は放電されるオフセットキャパシタを更に有する、
請求項1に記載のセンサシステム。 - 前記センサは、フィードバックキャパシタを更に有し、
前記オフセットキャパシタは、前記センスキャパシタの変動の中心を前記ADCのフルスケールの中心に置くよう構成され、
前記ADCの前記フルスケールは、前記フィードバックキャパシタによってセットされる、
請求項6に記載のセンサシステム。 - 前記1つ以上のADC出力信号に対する前記可変寄生容量の影響は、自動ゼロ化又はチョッピング技術を用いて低減される、
請求項1に記載のセンサシステム。 - 演算増幅器及び積分キャパシタを含む積分器を更に有し、
演算増幅器入力が前記ADC入力である、
請求項7に記載のセンサシステム。 - 複数の基準電圧を受け取るよう構成され、
前記センスキャパシタ、前記オフセットキャパシタ、及び前記フィードバックキャパシタを前記複数の基準電圧のうちの対応する基準電圧に対して接続し/切り離すよう複数のクロック信号によって制御されるスイッチング配置を更に有する、
請求項9に記載のセンサシステム。 - 前記複数のクロック信号は、前記1つ以上のADC出力信号に基づいて生成されるクロック信号を有する、
請求項10に記載のセンサシステム。 - 充電フェーズで、
前記スイッチング配置は、前記センスキャパシタ、前記オフセットキャパシタ及び前記フィードバックキャパシタで電荷を蓄えるよう前記複数の基準電圧がサンプリングされるように構成され、
積分フェーズで、
前記充電フェーズ中に前記センスキャパシタ、前記オフセットキャパシタ及び前記フィードバックキャパシタで蓄えられた電荷の複合が、前記積分キャパシタへ運ばれて、前記入力圧力に応じて積分器出力信号を生成する、
請求項11に記載のセンサシステム。 - 前記可変寄生容量による不要電荷は、前記充電フェーズ前にサンプリングされ、前記積分器出力信号を生成している間に補償される、
請求項12に記載のセンサシステム。 - 前記複数のクロック信号は、前記可変寄生容量が1pFだけ変化する時間よりも実質的に小さいクロック周期を有する、
請求項12に記載のセンサシステム。 - 前記複数のクロック信号は、数百kHzの範囲のクロックレートを有し、
前記可変寄生容量は、数十pFの範囲内で変化し、数十pF/msecの範囲内の変化率を有する、
請求項12に記載のセンサシステム。 - 前記スイッチング配置は、金属酸化膜半導体電界効果(MOSFET)トランジスタを有する、
請求項10に記載のセンサシステム。 - 前記センサは、MEMSセンサである、
請求項1に記載のセンサシステム。 - 検知された圧力を前記リードアウト集積回路へ伝えるよう構成されたゲル材料を更に有する、
請求項1に記載のセンサシステム。 - 前記センサは、前記ゲル材料にさらされているボンドワイヤを介して前記リードアウト集積回路へ接続される、
請求項18に記載のセンサシステム。 - 圧力を測定する方法であって、
可変センス容量を有するセンスキャパシタを設けることと、
積分キャパシタを備えるリードアウト回路を設け、可変寄生容量がリードアウト回路入力で生成可能であることと、
充電フェーズで、前記センスキャパシタの両端で第1電荷を蓄えるよう第1基準電圧をサンプリングすることと、
積分フェーズで、前記第1電荷を前記積分キャパシタへ運んで、入力圧力に応じてリードアウト回路出力信号を生成することと
を有する方法。 - 前記充電フェーズ前に、前記可変寄生容量による不要電荷を捕捉し、該不要電荷を前記積分フェーズ中に補償するよう、前記リードアウト回路入力をサンプリングすることを更に有する、
請求項20に記載の方法。 - オフセットキャパシタを設けることと、
前記センスキャパシタの変動の中心を前記リードアウト回路のフルスケールの中心に合わせるよう前記オフセットキャパシタを構成することと、
前記充電フェーズで、前記オフセットキャパシタの両端で第2電荷を蓄えるよう第2基準電圧をサンプリングすることと、
積分フェーズで、前記第2電荷を前記積分キャパシタへ運ぶことと
を更に有する、請求項21に記載の方法。 - 前記リードアウト回路の前記フルスケールをセットするよう構成されたフィードバックキャパシタを設けることと、
前記充電フェーズで、前記オフセットキャパシタの両端で第3電荷を蓄えるよう、セットされた時間インターバル中に前記第1基準電圧及び前記第2基準電圧をサンプリングすることと、
前記積分フェーズで、前記第3電荷を前記積分キャパシタへ運ぶことと
を更に有する、請求項22に記載の方法。 - 前記セットされた時間インターバルは、前記リードアウト回路出力信号に基づいて定義される、
請求項23に記載の方法。 - 前記リードアウト回路は、1つ以上のコンパレータと相互接続された1つ以上の積分器を更に有する、
請求項24に記載の方法。 - 請求項20に記載の方法を用いて圧力センサ上にある水滴の存在を検出する方法であって、
水滴の有無を検出するよう、前記リードアウト回路出力信号の測定を、セットされた閾値と比較することを有する、
方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US16/294,824 US11054328B2 (en) | 2019-03-06 | 2019-03-06 | Parasitic insensitive sampling in sensors |
US16/294,824 | 2019-03-06 | ||
PCT/US2020/019762 WO2020180541A1 (en) | 2019-03-06 | 2020-02-25 | Parasitic insensitive sampling in sensors |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022523575A true JP2022523575A (ja) | 2022-04-25 |
Family
ID=72336301
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021552885A Pending JP2022523575A (ja) | 2019-03-06 | 2020-02-25 | センサでの寄生容量不感サンプリング |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US11054328B2 (ja) |
EP (1) | EP3935363B1 (ja) |
JP (1) | JP2022523575A (ja) |
KR (1) | KR20210125105A (ja) |
CN (1) | CN113677969A (ja) |
WO (1) | WO2020180541A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11054328B2 (en) | 2019-03-06 | 2021-07-06 | Psemi Corporation | Parasitic insensitive sampling in sensors |
CN114636494A (zh) * | 2022-05-09 | 2022-06-17 | 上海艾为微电子技术有限公司 | 传感装置及其传感检测方法以及电子设备 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
2019
- 2019-03-06 US US16/294,824 patent/US11054328B2/en active Active
-
2020
- 2020-02-25 WO PCT/US2020/019762 patent/WO2020180541A1/en unknown
- 2020-02-25 KR KR1020217031665A patent/KR20210125105A/ko unknown
- 2020-02-25 JP JP2021552885A patent/JP2022523575A/ja active Pending
- 2020-02-25 CN CN202080026861.0A patent/CN113677969A/zh active Pending
- 2020-02-25 EP EP20765792.5A patent/EP3935363B1/en active Active
-
2021
- 2021-09-05 US US17/467,251 patent/US11867584B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN113677969A (zh) | 2021-11-19 |
EP3935363A1 (en) | 2022-01-12 |
KR20210125105A (ko) | 2021-10-15 |
EP3935363A4 (en) | 2022-11-02 |
US11054328B2 (en) | 2021-07-06 |
EP3935363B1 (en) | 2023-11-29 |
WO2020180541A1 (en) | 2020-09-10 |
US20220065723A1 (en) | 2022-03-03 |
US11867584B2 (en) | 2024-01-09 |
US20200284679A1 (en) | 2020-09-10 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230201 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20240112 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A711 | Notification of change in applicant |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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