JP2022520815A - 材料加工用フェイズドアレイビームステアリング - Google Patents
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Abstract
Description
本明細書で述べられる実施形態は、概して、レーザエネルギーのフェイズドアレイビームステアリングのためのシステム及び方法に関するものである。
レーザ微細加工分野における多くのプロセスにおいては、(ワークピースにおいて)隣接するパルスから空間的に完全に分離したパルスが必要となる。これらのパルスが空間的に重なっている場合には、局所蓄熱のような様々な弊害が生じ得る。この局所蓄熱は、超高速レーザ又はパルス-プルーム相互作用による「無熱アブレーション」という利点を打ち消すものである。今日の最新レーザは、高い繰り返し率で(すなわち、1MHz~100MHz及びそれよりも高い繰り返し率で)高パワーのパルスを提供している。このようなレーザを効率的に利用するために、好適に高い位置決め帯域幅を有するビームステアリングシステムを用いることが望ましい場合がある。例えば、音響光学偏向器(AOD)は、ガルボよりも3桁を超えるほど高い位置決め帯域幅を提供する(ガルボが2.5kHz以下であるのに対してAODは1MHz以下)。多面鏡により可能となる高速ビームステアリングは、完全なスポット分離を行いつつ1MHzよりずっと高いレーザ繰り返し率へのスケーリングを可能にする1つの解決策として多くの注目を浴びているが、その採用は「高い充填率」の問題の集合に限定される。より微細でより高い精度を必要とするフィーチャの形成を可能にするためにレーザを利用した材料加工の開発が続けられるにつれて、AOD及び多面鏡により実現可能な位置決め帯域幅よりも高い位置決め帯域幅で高い繰り返し率のレーザパルスを照射できるビームステアリングシステムが最終的に必要とされる。
図1を参照すると、フェイズドアレイビームステアリングシステム100は、フォトニック集積回路(PIC)102と、光増幅器104と、フィードバックシステム106と、制御電子回路108とを含んでいる。
上述したように、GHzの帯域幅までの帯域幅でプロセスビームをステアリング又は整形できるように光増幅器の出力を(可干渉的に、あるいは別の方法で)結合するように本発明の実施形態を適合させることができる。このため、従来のコヒーレントビーム結合(すなわち、樹木状の薄膜偏光器、回折光学系などを介してビームが空間的に重なっている)とは異なり、個々のエミッタの出力を「タイル状に並べる」が、依然として個々の光信号の中で安定した制御可能な位相関係を確立するように本明細書で述べられている実施形態を適合させることができる。
上述したように、図1及び図3に示される実施形態に関連して述べられた上述したコリメートレンズ112は、プロセスビームがコリメートされた(又は少なくとも実質的にコリメートされた)光ビームであることを確実にするように構成されている。このため、プロセスビーム中のすべての光線は、効率的な高調波発生のための必要境界条件に一致するように、(上述したフェイズドアレイステアリング手法により)プロセスビームが案内される角度とは関係なく、高調波発生モジュール120に平行(又は少なくとも実質的に平行)であり得る。
上記は、本発明の実施形態及び例を説明したものであって、これに限定するものとして解釈されるものではない。いくつかの特定の実施形態及び例が図面を参照して述べられたが、当業者は、本発明の新規な教示や利点から大きく逸脱することなく、開示された実施形態及び例と他の実施形態に対して多くの改良が可能であることを容易に認識するであろう。したがって、そのような改良はすべて、特許請求の範囲において規定される本発明の範囲に含まれることを意図している。例えば、当業者は、そのような組み合わせが互いに排他的になる場合を除いて、いずれかの文や段落、例又は実施形態の主題を他の文や段落、例又は実施形態の一部又は全部の主題と組み合わせることができることを理解するであろう。したがって、本発明の範囲は、以下の特許請求の範囲とこれに含まれるべき請求項の均等物とによって決定されるべきである。
Claims (41)
- 第1の入力光信号を複数の第1の分割光信号に分割するように配置及び構成されるマルチチャネルビームスプリッタと、
複数の位相変調器であって、それぞれの位相変調器が、制御信号に応答して前記複数の第1の分割光信号のうち対応する第1の分割光信号の位相を修正可能な複数の位相変調器と、
前記複数の位相変調器の光出力部に配置される導波路であって、前記複数の位相変調器から出力される前記第1の分割光信号をパターンに空間的に並べ替えることにより第1の光信号パターンを生成するように構成される導波路と、
前記導波路の光出力部に配置される光増幅器であって、前記導波路により生成された前記第1の光信号パターンを増幅するように構成される光増幅器と
を備える、システム。 - 前記光増幅器の光出力部に配置されるビームスプリッタであって、前記光増幅器により出力される第1の結合光信号の第1の部分を透過し、前記光増幅器により出力される前記第1の結合光信号の第2の部分を反射するように構成されるビームスプリッタと、
前記第1の結合光信号の前記第2の部分を受光し、対応する第1の検出信号を出力するように配置される第1の光検出器と
をさらに備える、請求項1に記載のシステム。 - 前記第1の光検出器の出力部と前記複数の位相変調器のそれぞれの入力部とに通信可能に連結される制御回路であって、前記制御信号を生成及び出力するように構成される制御回路をさらに備える、請求項2に記載のシステム。
- 前記マルチチャネルビームスプリッタ及び前記複数の位相変調器は、共通のフォトニック集積回路内に位置している、請求項1に記載のシステム。
- 前記複数の位相変調器及び前記導波路は、共通のフォトニック集積回路内に位置している、請求項1に記載のシステム。
- 前記第1の光信号を生成するように配置及び構成されるシードレーザをさらに備える、請求項1に記載のシステム。
- 前記第1の光信号は、1000nmから1150mmの範囲の第1の波長を有する、請求項1に記載のシステム。
- 前記第1の波長は、1000nmから1060nmの範囲にある、請求項7に記載のシステム。
- 前記第1の波長は1030nmである、請求項8に記載のシステム。
- 前記複数の位相変調器における位相変調器の数は100個よりも多い、請求項1に記載のシステム。
- 前記複数の位相変調器における位相変調器の数は200個よりも多い、請求項10に記載のシステム。
- 前記複数の位相変調器における位相変調器の数は500個よりも多い、請求項11に記載のシステム。
- 前記複数の位相変調器における位相変調器の数は1000個よりも多い、請求項12に記載のシステム。
- 制御信号に応答して前記第1の入力光信号の振幅を変調可能な振幅変調器をさらに備え、前記マルチチャネルビームスプリッタは、前記振幅変調器の光出力部に配置される、請求項1に記載のシステム。
- 前記振幅変調器及び前記マルチチャネルビームスプリッタは、共通のフォトニック集積回路内に位置している、請求項14に記載のシステム。
- 前記制御回路は、前記複数の位相変調器のそれぞれに制御信号を出力して、前記導波路の前記光出力部で、前記導波路の前記パターンの構成と組み合わせてフェイズドアレイビームステアリングを行うように構成される、請求項1に記載のシステム。
- 前記制御回路は、複数の位相変調器により少なくとも部分的に行われた前記フェイズドアレイビームステアリングの程度に基づいて前記振幅変調器に制御信号を出力するように構成される、請求項16に記載のシステム。
- 前記制御回路は、前記第1の検出信号に少なくとも部分的に基づいて前記複数の位相変調器に制御信号を出力して、前記光増幅器から出力される前記第1の分割光信号の位相を安定させるように構成される、請求項1に記載のシステム。
- 第2の光信号を生成するように構成される基準レーザをさらに備える、請求項1に記載のシステム。
- 前記第2の光信号は、前記第1の光信号の波長とは異なる第2の波長を有する、請求項19に記載のシステム。
- 前記第2の波長は、1070nmから1150mmの範囲にある、請求項20に記載のシステム。
- 前記第2の波長は1100nmである、請求項21に記載のシステム。
- 前記マルチチャネルビームスプリッタは、前記第2の光信号を複数の第2の分割光信号に分割するように配置及び構成される、請求項19に記載のシステム。
- 前記複数の位相変調器のそれぞれの位相変調器は、前記制御信号に応答して前記複数の第2の分割光信号のうち対応する第2の分割光信号の位相を修正可能である、請求項19に記載のシステム。
- 前記導波路は、前記第2の分割光信号が可干渉的に第2の結合光信号に結合できるように前記複数の位相変調器から出力される前記第2の分割光信号を前記パターンに空間的に並べ替えるように構成される、請求項19に記載のシステム。
- ビームスプリッタと前記光増幅器の光出力部との間に配置されるダイクロイックミラーであって、前記第2の結合光信号を反射し、前記第1の結合光信号を透過させるように構成されるダイクロイックミラーをさらに備える、請求項19に記載のシステム。
- 前記ダイクロイックミラーで反射した前記第2の結合光信号を受光し、対応する第2の検出信号を出力するように配置される第2の光検出器をさらに備える、請求項19に記載のシステム。
- 前記制御回路は、前記第2の検出信号に少なくとも部分的に基づいて前記複数の位相変調器に前記制御信号を出力して、前記複数の位相変調器から出力される前記第2の分割光信号の位相を安定させるように構成される、請求項19に記載のシステム。
- 前記第1の結合光信号の前記第1の部分を受光するように配置される調波変換モジュールであって、前記第1の結合光信号の前記第1の部分の波長を修正するように構成される調波変換モジュールをさらに備える、請求項1に記載のシステム。
- 前記第1の結合光信号の前記第1の部分を受光するように配置され、前記第1の結合光信号の前記第1の部分を偏向するように構成されるビーム位置決めシステムをさらに備える、請求項1に記載のシステム。
- 前記ビーム位置決めシステムは、音響光学偏向器、電気光学偏向器、ガルバノメータミラースキャナ、及び回転多面鏡スキャナからなる群から選択される少なくとも1つを含む、請求項30に記載のシステム。
- 第1の波長を有するレーザビームを偏向可能なビーム位置決めシステムと、
前記ビーム位置決めシステムによる偏向の後に前記レーザビームが伝搬可能なビーム経路内に配置されるレンズと、
前記レンズを透過した後に前記レーザビームが伝搬可能なビーム経路内に配置される調波変換モジュールと
を備え、
前記調波変換モジュールは、前記レーザビームの前記第1の波長を第2の波長に変換可能である、
システム。 - 前記ビーム位置決めシステムはフェイズドアレイビーム位置決めシステムを含む、請求項32のシステム。
- 前記ビーム位置決めシステムは音響光学偏向器を含む、請求項32に記載のシステム。
- 前記音響光学偏向器は、剪断波TeO2音響光学偏向器である、請求項34に記載のシステム。
- 前記音響光学偏向器は、水晶音響光学偏向器である、請求項34に記載のシステム。
- 前記ビーム位置決めシステムは電気光学偏向器を含む、請求項32に記載のシステム。
- 前記第1の波長は、電磁スペクトルの赤外域にある、請求項32に記載のシステム。
- 前記第2の波長は、電磁スペクトルの可視光域にある、請求項32に記載のシステム。
- 前記第2の波長は、電磁スペクトルの可視緑色光域にある、請求項39に記載のシステム。
- 前記第2の波長は、電磁スペクトルの紫外域にある、請求項32に記載のシステム。
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