JP2022188604A - シート形成用キャリアフィルム - Google Patents

Abstract

【課題】キャリアフィルムを用いて薄膜のグリーンシートを製造する場合において、キャリアフィルムからのグリーンシートの剥離性の低下を防止すると共に、シート形成用キャリアフィルム及びグリーンシートの損傷を防止し、グリーンシートの製造効率を向上させる。【解決手段】シート形成用キャリアフィルムは、シート形成用スラリーの塗膜を支持する。フィルム基材と、フィルム基材に重ねて配置され、フィルム基材とは反対側に位置して凹凸が形成され且つシート形成用スラリーと接触する接触面を有し、フィルム基材よりも高硬度のハードコート部材とを備える。接触面は、表面粗さ（Ｓａ）が、５ｎｍ以上３５ｎｍ以下の範囲の値であり、最大高さ（Ｓｚ）が、５０ｎｍ以上３５０ｎｍ以下の範囲の値である。【選択図】図１

Description

本開示は、グリーンシートの形成に用いられるシート形成用キャリアフィルムに関する。

無線給電システムやＲＦＩＤ等の無線通信部品、又は、インダクタやセラミックパッケージ等の電子部品に例示される電子デバイスの材料として、シート部材が知られている。このシート部材は、例えば、単体又は複数のグリーンシート等を含む。グリーンシートとして、フェライトシート、又は、特許文献１及び２に示されるセラミックシートを例示できる。特許文献３には、セラミックシートの製造方法が開示されている。グリーンシートは、シート形成用キャリアフィルム（以下、単にキャリアフィルムとも称する。）の表面に、シート形成用スラリーを塗布し、塗膜を乾燥及び焼成して形成される。グリーンシートは、キャリアフィルムから剥離される。

特開２００６－１８１９９４号公報 特開２００４－１９６８５６号公報 特開２０１８－１４９８０９号公報

近年、電子デバイスの小型化や部品の電気容量増大の要求に伴い、グリーンシートの薄膜化が求められている。キャリアフィルムの表面に凸部が存在すると、薄膜のグリーンシートを製造する場合、シート形成用スラリーの塗膜やグリーンシートに微小なピンホール（欠点、又は、塗工抜けとも称する。）が生じる。このため、キャリアフィルムの表面には平坦性が求められる。

しかしながら、キャリアフィルムの表面が高度に平坦化されると、グリーンシートとキャリアフィルムとが過度に密着する。これにより、キャリアフィルムからのグリーンシートの剥離性が低下する。また、キャリアフィルムからグリーンシートを剥離する際に比較的大きな外力が必要となり、キャリアフィルムが外力により変形して損傷する。また、キャリアフィルムの表面が高度に平坦化されると、キャリアフィルムの表面に複数のグリーンシートを重ねて同時に焼成する場合、グリーンシート同士が過度に密着し、グリーンシートの剥離性が低下する。これにより、グリーンシートが剥離時に割れて損傷する。その結果、グリーンシートの製造効率が低下する。

そこで本開示は、キャリアフィルムを用いて薄膜のグリーンシートを製造する場合において、キャリアフィルムからのグリーンシートの剥離性の低下を防止すると共に、シート形成用キャリアフィルム及びグリーンシートの損傷を防止し、グリーンシートの製造効率を向上させることを目的とする。

上記課題を解決するために、本開示の一態様は、シート形成用スラリーの塗膜を支持するシート形成用キャリアフィルムであって、フィルム基材と、前記フィルム基材に重ねて配置され、前記フィルム基材とは反対側に位置して凹凸が形成され且つ前記シート形成用スラリーと接触する接触面を有し、前記フィルム基材よりも高硬度のハードコート部材と、を備え、前記接触面は、表面粗さ（Ｓａ）が、５ｎｍ以上３５ｎｍ以下の範囲の値であり、且つ、最大高さ（Ｓｚ）が、５０ｎｍ以上３５０ｎｍ以下の範囲の値である。

上記構成によれば、フィルム基材よりも高硬度のハードコート部材によりキャリアフィルムを補強できる。これにより、キャリアフィルムの剛性を向上できる。よって、キャリアフィルムからグリーンシートを剥離する際にキャリアフィルムに外力が及んでも、キャリアフィルムの変形による損傷を防止できる。また、フィルム基材よりも高硬度のハードコート部材が、シート形成用スラリーと接触する接触面を有する。よって、摩耗や変形を防止しながら、前記接触面を良好に維持できる。従って、キャリアフィルムの耐久性を向上できる。

また、前記接触面の表面粗さ（Ｓａ）が上記範囲の値に設定されることで、前記接触面に適度な粗さの凹凸形状を付与できる。よって、キャリアフィルムとグリーンシートとの間の過度の密着、及び、キャリアフィルムと重ねて配置された複数のグリーンシート同士の過度の密着を防止できる。その結果、キャリアフィルムからのグリーンシートの剥離性の低下を防止できる。また、複数のグリーンシート同士の剥離性の低下を防止できる。従って、キャリアフィルム及びグリーンシートが、剥離時に及ぶ外力により損傷するのを防止できる。

また、前記接触面の最大高さ（Ｓｚ）が上記範囲の値に設定されることで、前記接触面に粗大な凸部が形成されるのを防止できる。その結果、前記接触面上のシート形成用スラリーの塗膜やグリーンシートにピンホールが生じるのを防止できる。従って、薄膜のグリーンシートを効率よく製造できる。

前記接触面の鉛筆硬度が、Ｈ以上であってもよい。これにより、ハードコート部材を一層損傷しにくく構成できる。よって、キャリアフィルムの耐久性を更に向上できる。

前記フィルム基材が、ＰＥＴ、ＰＩ、ＰＥＥＫ、ＰＥＮのうちの少なくともいずれかを含んでいてもよい。これらの材料は高い耐熱性を有する。このため、フィルム基材がこれらの材料を含むことで、キャリアフィルムの耐熱性を向上できる。よって、キャリアフィルムの耐久性を一層向上できる。

前記ハードコート部材が、マトリクス樹脂と、前記マトリクス樹脂に分散された微粒子とを含んでいてもよい。これにより、例えば、ハードコート部材中のマトリクス樹脂と微粒子との質量比を調整することで、微粒子によって形成される前記接触面の凹凸形状を調整できる。よって、前記接触面の表面粗さ（Ｓａ）を上記範囲の値に設定し易くできる。

前記微粒子が、無機材料を含んでいてもよい。一般に無機材料は耐熱性が高い。このため、キャリアフィルムの耐熱性を一層向上できる。

前記マトリクス樹脂が、光硬化性樹脂又は熱硬化性樹脂を含んでいてもよい。これにより、フィルム基材よりも高硬度のハードコート部材を、光照射処理又は加熱処理により効率よく形成できる。

本開示の各態様によれば、キャリアフィルムを用いて薄膜のグリーンシートを製造する場合において、キャリアフィルムからのグリーンシートの剥離性の低下を防止できると共に、シート形成用キャリアフィルム及びグリーンシートの損傷を防止できる。よって、グリーンシートの製造効率を向上できる。

実施形態に係るキャリアフィルムの模式的な断面図である。

（実施形態）
以下、図を参照して実施形態を説明する。本書に記載する表面粗さ（Ｓａ）は、ＪＩＳ Ｂ ０６０１：２００１で規定される算術平均粗さ（Ｒａ）を三次元に拡張し、表面形状をなす曲面と平均面とで囲まれた部分の体積を測定面積で割った値を指す。また、本書に記載する最大高さ（Ｓｚ）は、ＩＳＯ ２５１７８に準拠する非接触式の方法で測定される値を指す。

図１は、実施形態に係るキャリアフィルム１の模式的な断面図である。キャリアフィルム１は、電子部品の材料であるグリーンシート４の製造に用いられる。グリーンシート４としては、積層セラミックコンデンサの材料であるセラミックシートや、アンテナ部品の材料であるフェライトシートを例示できるが、これらに限定されない。グリーンシート４の製造時において、キャリアフィルム１は、一方の面で、グリーンシート４の材料となるシート形成用スラリー４０の塗膜を支持する。

図１に示すように、キャリアフィルム１は、フィルム基材２と、フィルム基材２に重ねて配置されたハードコート部材３とを備える。フィルム基材２は、ハードコート部材３を支持する。本実施形態のフィルム基材２は、樹脂を含む。一例としてフィルム基材２は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）のうちの少なくともいずれかを含む。或いはフィルム基材２は、ＰＩ、ＰＥＥＫ、ＰＥＮのうちの少なくともいずれかを含む。本実施形態のフィルム基材２は、単一のシート部材で構成される。フィルム基材２は、複数のシート部材で構成されていてもよい。フィルム基材２の厚みは、例えば、フィルム基材２によりハードコート部材３を支持するために必要な強度を確保できる範囲内で適宜設定可能である。フィルム基材２の厚みは、一例として、１２μｍ以上１００μｍ以下の範囲の値が望ましく、２０μｍ以上９０μｍ以下の範囲の値が一層望ましく、２５μｍ以上７５μｍ以下の範囲の値がより望ましい。フィルム基材２を１２μｍ以上の厚みとすることで、キャリアフィルム１のハンドリングを向上できる。また、フィルム基材２の厚みを１００μｍ以下の厚みとすることで、キャリアフィルム１の使用時にキャリアフィルム１を平坦に配置し易くし、グリーンシート４の加工性を向上できる。本実施形態では、フィルム基材２のハードコート部材３と接触する接触面２ａは、ハードコート部材３の後述する接触面３ａよりも平坦である。

本実施形態のハードコート部材３は、フィルム基材２と直接接触する。ハードコート部材３は、フィルム基材２とは反対側に位置する接触面３ａを有する。接触面３ａは、シート形成用スラリー４０と接触する。接触面３ａには、凹凸が形成される。接触面３ａは、表面粗さ（Ｓａ）が、５ｎｍ以上３５ｎｍ以下の範囲の値である。また接触面３ａは、最大高さ（Ｓｚ）が、５０ｎｍ以上３５０ｎｍ以下の範囲の値である。接触面３ａは、表面粗さ（Ｓａ）及び最大高さ（Ｓｚ）が上記各範囲の値に設定されることで、その全面に微細且つ均一な凹凸が形成されている。

一例として、接触面３ａの表面粗さ（Ｓａ）は、１０ｎｍ以上３５ｎｍ以下の範囲の値が望ましく、１５ｎｍ以上３５ｎｍ以下の範囲の値が一層望ましく、２５ｎｍ以上３５ｎｍ以下の範囲の値がより望ましい。また一例として、接触面３ａの最大高さ（Ｓｚ）は、５０ｎｍ以上３００ｎｍ以下の範囲の値が望ましく、５０ｎｍ以上２５０ｎｍ以下の範囲の値が一層望ましく、５０ｎｍ以上２００ｎｍ以下の範囲の値がより望ましい。

接触面３ａが前記表面粗さ（Ｓａ）を有するように形成されることで、接触面３ａからのグリーンシート４の剥離性が向上する。また、接触面３ａが前記最大高さ（Ｓｚ）を有するように形成されることで、接触面３ａ上の粗大な凸部が排除される。これにより、接触面３ａに塗布されたシート形成用スラリー４０の塗膜や、接触面３ａ上で形成されるグリーンシート４に、前記凸部の影響によりピンホールが発生するのが抑制される。このような接触面３ａを有するハードコート部材３を備えるキャリアフィルム１を用いることで、例えば、厚みが２０μｍ以下の薄膜であるグリーンシート４を高品質且つ高い製造効率で製造できる。

ハードコート部材３の厚みは、例えば、キャリアフィルム１に必要な剛性及び硬度を付与できる範囲内で適宜設定可能である。ハードコート部材３の厚みは、一例として、２μｍ以上１０μｍ以下の範囲の値が望ましく、３μｍ以上１０μｍ以下の範囲の値が一層望ましく、５μｍ以上１０μｍ以下の範囲の値がより望ましい。

接触面３ａの表面粗さ（Ｓａ）と最大高さ（Ｓｚ）とを測定する場合、例えば、非接触表面・層断面形状計測システム（（株）菱化システム製非接触表面・層断面形状測定システム「ＶｅｒｔＳｃａｎ２．０（形式Ｒ３３００ＧＬ－Ｌｉｔｅ－ＡＣ）」）を用い、以下の測定条件に基づいて表面形状のデータを得る。
ＣＣＤカメラ：１／２インチ
対物レンズ：５０倍
ズーム：０．５倍
表面測定モード：ＷＡＶＥモード

次に、上記測定条件に基づいて得た表面形状のデータを、以下の設定条件で処理することで、接触面３ａの表面粗さ（Ｓａ）及び最大高さ（Ｓｚ）の各値を得る。
面補正：多項式近似、４次
補間：完全
範囲：０．０５ｍｍ^２

ハードコート部材３は、フィルム基材２よりも高硬度である。ハードコート部材３は、フィルム基材２を補強する。またハードコート部材３は、キャリアフィルム１全体の剛性及び硬度を向上させる。本実施形態のハードコート部材３は、一例として、接触面３ａの鉛筆硬度がＨ以上である。ここで言う鉛筆硬度は、ＪＩＳ Ｋ ５６００－５－４：１９９９に準拠する引っかき硬度（鉛筆法）により測定される。本実施形態のハードコート部材３は、マトリクス樹脂３０と、マトリクス樹脂３０に分散された微粒子３１とを含む。マトリクス樹脂３０は、フィルム基材２の表面に沿ってシート状に延びている。マトリクス樹脂３０が含む樹脂は、適宜選択可能である。本実施形態のマトリクス樹脂３０は、光硬化性樹脂又は熱硬化性樹脂を含む。また本実施形態のハードコート部材３は、シリコーン樹脂を実質的に含まない。ハードコート部材３中のシリコーン樹脂の含有量は、０重量％、又は、０．０１重量％未満の範囲の値である。

微粒子３１は、接触面３ａの凹凸形状を形成する。微粒子３１は、有機材料又は無機材料のいずれを含んでいてもよい。本実施形態の微粒子３１は、無機材料を含む。この無機材料としては、例えばＳｉＯ_２等の酸化ケイ素を例示できるが、これに限定されない。微粒子３１は、一例としてシリカ粒子である。微粒子３１の粒径は、適宜設定可能である。微粒子３１の粒径は、一例として、１μｍ以上５μｍ以下の範囲の値が望ましく、２μｍ以上５μｍ以下の範囲の値が一層望ましい。また別の例では、微粒子３１の粒径は、１μｍ以上３μｍ以下の範囲の値が望ましい。ここで言う平均粒径は、コールターカウンター法における５０％体積平均粒径である（以下に言及する平均粒径も同様とする。）。また、ハードコート部材３中の微粒子３１の含有量は、一例として、０．１質量％以上３０質量％以下の範囲の値が望ましく、５質量％以上３０質量％以下の範囲の値が一層望ましい。また別の例では、ハードコート部材３中の微粒子３１の含有量は、１質量％以上１５質量％以下の範囲の値がより望ましい。

図１に示すように、キャリアフィルム１を用いたグリーンシート４の製造時には、例えば所定成分を含むシート形成用スラリー４０が、ハードコート部材３の接触面３ａ上に塗工される。キャリアフィルム１上のシート形成用スラリー４０は、キャリアフィルム１により支持された状態で、所定の厚み寸法の塗膜となる。シート形成用スラリー４０の塗膜は、例えば１００℃前後の加熱雰囲気下で溶媒成分が揮発して乾燥及び焼成される。これにより、シート形成用スラリー４０の塗膜からグリーンシート４が製造される。製造されたグリーンシート４は、ハードコート部材３の接触面３ａから剥離される。

また別の例では、キャリアフィルム１に複数のグリーンシート４が重ねて同時に焼成される。焼成後の複数のグリーンシート４は、キャリアフィルム１から剥離される。また、隣接するグリーンシート４同士が互いに剥離される。

ここで近年、電子デバイスの小型化や部品の容量増大に伴い、グリーンシート４の薄膜化が要求されている。薄膜のグリーンシート４を製造する場合、キャリアフィルム上のシート形成用スラリー４０の塗膜も薄膜化する。このとき、キャリアフィルム上のシート形成用スラリー４０との接触面上に、異物の付着等による粗大な凸部が存在すると、シート形成用スラリー４０の塗膜にピンホールが生じる。この問題に対して、キャリアフィルムの前記接触面を平坦化すると、グリーンシート４とキャリアフィルムとが過度に密着する。或いは、キャリアフィルムに複数のグリーンシート４を重ねて同時に焼成する場合、キャリアフィルム１の接触面の影響を受けて、グリーンシート４同士が過度に密着する。その結果、キャリアフィルムからのグリーンシート４の剥離性、及び、グリーンシート４同士の剥離性が低下する。また、剥離の際に及ぶ外力により、キャリアフィルム又はグリーンシート４が損傷する。

これに対して本実施形態によれば、フィルム基材２よりも高硬度のハードコート部材３によりキャリアフィルム１を補強できる。これにより、キャリアフィルム１の剛性を向上できる。よって、キャリアフィルム１からグリーンシート４を剥離する際にキャリアフィルム１に外力が及んでも、キャリアフィルム１の変形による損傷を防止できる。また、フィルム基材２よりも高硬度のハードコート部材３が、シート形成用スラリー４０と接触する接触面３ａを有する。よって、摩耗や変形を防止しながら、接触面３ａを良好に維持できる。従って、キャリアフィルム１の耐久性を向上できる。

また、接触面３ａの表面粗さ（Ｓａ）が上記範囲の値に設定されることで、接触面３ａに適度な粗さの凹凸形状を付与できる。よって、キャリアフィルム１とグリーンシート４との間の過度の密着、及び、キャリアフィルム１と重ねて配置された複数のグリーンシート４同士の過度の密着を防止できる。その結果、キャリアフィルム１からのグリーンシート４の剥離性の低下を防止できる。また、複数のグリーンシート４同士の剥離性の低下を防止できる。従って、キャリアフィルム１及びグリーンシート４が、剥離時に及ぶ外力により損傷するのを防止できる。

また、接触面３ａ面の最大高さ（Ｓｚ）が上記範囲の値に設定されることで、接触面３ａに粗大な凸部が形成されるのを防止できる。その結果、接触面３ａ上のシート形成用スラリー４０の塗膜やグリーンシート４にピンホールが生じるのを防止できる。従って、薄膜のグリーンシート４を効率よく製造できる。

また本実施形態では、ハードコート部材３の鉛筆硬度がＨ以上である。これにより、ハードコート部材３を一層損傷しにくく構成できる。よって、キャリアフィルム１の耐久性を更に向上できる。

またフィルム基材２は、ＰＥＴ、ＰＩ、ＰＥＥＫ、ＰＥＮのうちの少なくともいずれかを含む。これらの材料は高い耐熱性（例えば２００°以上の耐熱性）を有する。このため、フィルム基材２がこれらの材料を含むことで、キャリアフィルム１の耐熱性を向上できる。よって、キャリアフィルム１の耐久性を一層向上できる。

ハードコート部材３が、マトリクス樹脂３０と、マトリクス樹脂３０に分散された微粒子３１とを含む。これにより、例えば、ハードコート部材３中のマトリクス樹脂３０と微粒子３１との質量比を調整することで、微粒子３１によって形成される接触面３ａの凹凸形状を調整できる。よって、接触面３ａの表面粗さ（Ｓａ）を上記範囲の値に設定し易くできる。

また本実施形態の微粒子３１は、無機材料を含む。一般に無機材料は耐熱性が高い。このため、キャリアフィルム１の耐熱性を一層向上できる。またマトリクス樹脂３０は、光硬化性樹脂又は熱硬化性樹脂を含む。これにより、フィルム基材２よりも高硬度のハードコート部材３を、光照射処理又は加熱処理により効率よく形成できる。

（確認試験）
次に、本開示のキャリアフィルム１の性能を確認するための確認試験について説明する。しかしながら本開示は、以下に示す各実施例に限定されるものではない。以下の手順で、実施例１～８と、比較例１～２とに係るキャリアフィルムを作製した。これらのキャリアフィルムの原料として、以下の（Ａ）～（Ｌ）を準備した。
［原料］
（Ａ）セルロースアセテートプロピオネート（ＣＡＰ）：イーストマンケミカルジャパン（株）製「ＣＡＰ－４８２－２０」、アセチル化度＝２．５％、プロピオニル度＝４６％、ポリスチレン換算の数平均分子量７５０００のもの
（Ｂ）ウレタンアクリレート：新中村化学工業（株）製「ＵＡー１１００Ｈ」
（Ｃ）ウレタン樹脂塗料：イサム塗料（株）製「ハイアートＣＢエコ ミキシングクリアー」
（Ｄ）ウレタン樹脂塗料用硬化剤：イサム塗料（株）製「ハイアートＣＢエコ ５：１ハードナー」
（Ｅ）シリカ球状微粒子Ａ：（株）日本触媒製「ＫＥ－Ｐ２５０」（平均粒径２．５μｍ）
（Ｆ）シリカ球状微粒子Ｂ：（株）日本触媒製「ＫＥ－Ｓ１００」（平均粒径１．０μｍ）
（Ｇ）微粉末合成シリカ：富士シリシア化学（株）製「サイロホービック１００」（不定形粒子、平均粒径２．７μｍ）
（Ｈ）ポリマータイプレベリング剤：ビックケミー・ジャパン（株）製「ＢＹＫ－３９９」
（Ｉ）光開始剤：ＩＧＭ Ｊａｐａｎ（同）製「Ｏｍｎｉｒａｄ１８４」
（Ｊ）ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム：東レ（株）製「ルミラー」、厚み５０μｍ
（Ｋ）ポリエチレンナフタート（ＰＥＮ）フィルム：東洋紡（株）製「テオネックス」、厚み５０μｍ
（Ｌ）ポリイミド（ＰＩ）フィルム：東レ・デュポン（株）製「カプトン」、厚み７５μｍ
（Ｍ）ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）フィルム：倉敷紡績（株）製「エクスピーク」、厚み２５μｍ
（Ｎ）ポリプロピレン（ＰＰ）フィルム：王子エフテックス（株）製「アルファン」、厚み４０μｍ

［実施例１］
ウレタンアクリレート（Ｂ）９７重量部、セルロースアセテートプロピオネート（Ａ）３重量部、光開始剤（Ｉ）２重量部、ポリマータイプレベリング剤（Ｈ）１．０重量部を、メチルエチルケトン１０９重量部と１－ブタノール３０重量部との混合溶媒に溶解した。また、この混合溶媒に、シリカ球状微粒子Ａ（Ｅ）１．６重量部を添加した。これにより、ハードコート部材３の材料となる溶液を調製した。

次に、ワイヤーバー（＃１８）を用い、フィルム基材２であるＰＥＴフィルム（Ｊ）上に溶液を流延した。溶液を流延したフィルム基材２を８０℃のオーブン内に１分間配置し、溶液中の溶媒を蒸発させた。これにより、厚み寸法が約９μｍのハードコート部材３の中間体を形成した。その後、高圧水銀ランプを用い、この中間体に紫外線を約５秒間照射（積算光量約１００ｍＪ／ｃｍ^２）した。これにより中間体を硬化し、厚み９μｍのハードコート部材３を形成した。以上により、実施例１のキャリアフィルム１を作製した。

［実施例２～３］
シリカ球状微粒子Ａ（Ｅ）の添加量を７．０重量部に変更した以外は、実施例１と同様の方法により、実施例２のキャリアフィルム１を作製した。また、シリカ球状微粒子Ａ（Ｅ）の添加量を１４重量部に変更した以外は、実施例１と同様の方法により、実施例３のキャリアフィルム１を作製した。

［実施例４］
ウレタンアクリレート（Ｂ）９７重量部、セルロースアセテートプロピオネート（Ａ）３重量部、光開始剤（Ｉ）２重量部、ポリマータイプレベリング剤（Ｍ）１．０重量部を、メチルエチルケトン１０９重量部と１－ブタノール３０重量部との混合溶媒に溶解した。また、この混合溶媒に、シリカ球状微粒子Ｂ（Ｆ）１０重量部を添加した。これにより、ハードコート部材３の材料となる溶液を調製した。

次に、ワイヤーバー（＃１０）を用い、フィルム基材２であるＰＥＴフィルム（Ｊ）上に溶液を流延した。溶液を流延したフィルム基材２を８０℃のオーブン内に１分間配置し、溶液中の溶媒を蒸発させた。これにより、厚み寸法が約５μｍのハードコート部材３の中間体を形成した。その後、高圧水銀ランプを用い、この中間体に紫外線を約５秒間照射（積算光量約１００ｍＪ／ｃｍ^２）した。これにより中間体を硬化し、厚み５μｍのハードコート部材３を形成した。以上により、実施例４のキャリアフィルム１を作製した。

［実施例５～７］
フィルム基材２をＰＩフィルム（Ｌ）に変更した以外は、実施例１と同様の方法により、実施例５のキャリアフィルム１を作製した。また、フィルム基材２をＰＥＮフィルム（Ｋ）に変更した以外は、実施例１と同様の方法により、実施例６のキャリアフィルム１を作製した。また、フィルム基材２をＰＥＥＫフィルム（Ｍ）に変更した以外は、実施例１と同様の方法により、実施例７のキャリアフィルム１を作製した。

［実施例８］
ウレタン樹脂塗料（Ｃ）６１重量部、ウレタン樹脂塗料用硬化剤（Ｄ）２１部、メチルエチルケトン１５重量部を混合し、シリカ球状微粒子Ａ（Ｅ）１．６重量部を添加した。これにより、ハードコート部材３の材料となる溶液を調製した。次に、ワイヤーバー（＃１８）を用い、フィルム基材２であるＰＥＥＫフィルム（Ｍ）上に溶液を流延した。溶液を流延したフィルム基材２を１５０℃のオーブン内に１分間配置し、溶液中の溶媒を蒸発させて溶液を熱硬化させた。これにより、厚み寸法が約９μｍのハードコート部材３を形成した。以上により、実施例８のキャリアフィルム１を作製した。なお、シリカ球状微粒子Ａ、Ｂの添加量を変化させることで、接触面３ａの表面粗さ（Ｓａ）、及び、最大高さ（Ｓｚ）を変化させることができる。

［比較例１及び２］
シリカ球状微粒子Ｂ（Ｆ）を用いず、微粉末合成シリカ（Ｇ）５重量部を添加したこと以外は、実施例４と同様の方法により、比較例１のキャリアフィルムを作製した。また、ＰＰフィルム（Ｎ）を比較例２に係るキャリアフィルムとして準備した。比較例２は、フィルム基材と、フィルム基材よりも高硬度のハードコート部材とを備えない構成についての比較例である。

次に、実施例１～８及び比較例１～２のキャリアフィルムについて、以下の各項目の測定及び評価を行った。
［表面粗さ（Ｓａ）及び最大高さ（Ｓｚ）］
各キャリアフィルムの接触面の表面粗さ（Ｓａ）、及び、最大高さ（Ｓｚ）を以下のように測定した。
（ｉ）非接触表面・層断面形状計測システム（（株）菱化システム製非接触表面・層断面形状測定システム「ＶｅｒｔＳｃａｎ２．０（形式Ｒ３３００ＧＬ－Ｌｉｔｅ－ＡＣ）」）を用い、次の測定条件に基づいて接触面の表面形状のデータを得た。
ＣＣＤカメラ：１／２インチ
対物レンズ：５０倍
ズーム：０．５倍
表面測定モード：ＷＡＶＥモード

（ｉｉ） 次に、（ｉ）の測定条件に基づいて得た表面形状のデータを以下の条件で処理することにより、接触面の表面粗さ（Ｓａ）、及び、最大高さ（Ｓｚ）のデータを得た。
面補正：多項式近似、４次
補完：完全
範囲：０．０５ｍｍ^２

［グリーンシートのピンホールの確認］
軟磁性フェライト粉末（平均粒径０．７μｍ）１００重量部、ピリビニルブチラール樹脂（積水化学工業（株）製）「エスレックＢＭ－Ｓ」３０重量部、可塑剤（フタール酸ジオクチル）５重量部、トルエン／エタノール混合溶媒（混合比率６：４）２００重量部からなるシート形成用スラリー（フェライト系スラリー）４０を調製した。

このシート形成用スラリー４０を、キャリアフィルム上に乾燥後の厚みが２０μｍとなるように塗布し、１００℃で５分間加熱して乾燥させた。これにより、Ａ４サイズ（短辺２１０ｍｍ×長辺２９７ｍｍ）のグリーンシート４を形成した。グリーンシート４がキャリアフィルムから剥離しない状態で、平面視において、グリーンシート４の長辺に平行な辺と、グリーンシート４の短辺に平行な辺とを有する正方形領域（辺長５０ｍｍ）をグリーンシート４内に画定した。この正方形領域は、平面視において、一対の対角線の交点が、グリーンシート４の一対の対角線の交点と重なる。そして、当該正方形領域内のピンホールの有無を確認した。本試験では、キャリアフィルムのグリーンシートとは反対側から蛍光灯により光照射し、ピンホールの有無を目視にて確認した。ピンホールが無い場合を合格と評価した。また、ピンホールがある場合を不合格と評価した。

［キャリアフィルムの剥離性評価］
上記ピンホールの確認試験と同様に、グリーンシート４がキャリアフィルムから剥離しない状態で、グリーンシート４の短辺に平行な辺とを有する正方形領域（辺長１０ｃｍ）をグリーンシート４内に画定した。この正方形領域の周縁に切れ込みを入れ、真空吸着機でグリーンシート４の正方形領域を吸引した。その後のキャリアフィルムの状態を確認した。グリーンシート４が剥離した後、キャリアフィルム上にグリーンシート４が残らない場合を合格と評価した。また、キャリアフィルム上にグリーンシート４の一部が残る場合を不合格と評価した。

［接触面の水接触角］
室温２３℃の環境下で、キャリアフィルムを接触面が水平になるように配置した。この状態で、接触面に対し、シート形成用スラリー４０に見立てた純水の液滴（２μｌ）を滴下した。滴下から１秒後時点での接触面の水接触角（°）を測定した。本試験では、接触面の水接触角が大きいほど、接触面のシート形成用スラリー４０に対する親和性が高いと評価できる。また接触面の接触角が小さいほど、接触面のシート形成用スラリー４０に対する親和性が低いと評価できる。

［耐久性試験（スチールウール試験）］
キャリアフィルムを平坦なベースの上に配置した。この状態で、接触面に♯００００のスチールウールを２００ｇ荷重／ｃｍ^２の負荷を掛けながら１０回往復摺動させた。その後、傷の有無を目視により確認した。これにより、接触面の耐久性を評価した。

［鉛筆硬度試験］
ＪＩＳ Ｋ ５６００－５－４：１９９９に準拠する鉛筆法に基づき、キャリアフィルムの接触面の鉛筆硬度を測定した。具体的には、鉛筆硬度試験機（（株）安田精機製作所製Ｎｏ．５５３－Ｍ鉛筆硬度試験機）を用い、ガラス基板上にキャリアフィルムを配置した。この状態で、キャリアフィルムに対する鉛筆の角度４５°、荷重７５０ｇ、測定速度３０ｍｍ／ｍｉｎの測定条件に基づいて鉛筆硬度を測定した。測定に際し、三菱鉛筆（株）製鉛筆「Ｈｉ－ｕｎｉ」を使用し、１測定当たり、３回の引っかき動作を実施した。これにより、接触面の耐久性を評価した。各評価結果及び試験結果を表１に示す。

表１のように、実施例１～８の範囲では、フィルム基材２の厚みは、２５μｍ以上７５μｍ以下の範囲の値であった。また実施例１～８の範囲では、ハードコート部材３の厚みは、５μｍ以上９μｍ以下の範囲の値であった。また実施例１～８の範囲では、接触面３ａの表面粗さ（Ｓａ）は、６．７ｎｍ以上３２．２ｎｍ以下の範囲の値であった。また、実施例１～３及び実施例５～８の範囲では、接触面３ａの表面粗さ（Ｓａ）は、６．７ｎｍ以上１７．９ｎｍ以下の範囲の値であった。また実施例１～８の範囲では、接触面３ａの最大高さ（Ｓｚ）は、１３６ｎｍ以上３４０ｎｍ以下の範囲の値であった。また実施例１～３及び実施例５～８の範囲では、接触面３ａの最大高さ（Ｓｚ）は、１３６ｎｍ以上１９０ｎｍ以下の範囲の値であった。

また実施例１～８は、接触面３ａの鉛筆硬度が少なくともＨ以上であった。また実施例１～８は、スチールウール試験の実施後においても目立った傷が確認されなかった。これにより、実施例１～８の接触面３ａは、耐久性に優れることが確認された。また実施例１～８は、接触面３ａの水接触角が良好であることも確認された。また実施例１～８は、グリーンシート４のピンホールもなく、キャリアフィルム１からのグリーンシート４の剥離性も良好であることが確認された。

これに対して比較例１は、キャリアフィルムの接触面の最大高さ（Ｓｚ）が、３５０ｎｍを大幅に超えており、この接触面上に粗大な凸部が存在することが確認された。また、グリーンシート４にピンホールの発生が確認された。

また比較例２は、接触面の表面粗さ（Ｓａ）が、５ｎｍ以上３５ｎｍ以下の範囲の値であり、且つ、最大高さ（Ｓｚ）が、５０ｎｍ以上３５０ｎｍ以下の範囲の値である点では実施例１～８と共通する。しかしながら比較例２は、ハードコート部材を有していない。このため比較例２は、実施例１～８よりも耐久性が劣ることが、スチールウール試験及び鉛筆硬度試験により確認された。

本確認試験により、表面粗さ（Ｓａ）が、５ｎｍ以上３５ｎｍ以下の範囲の値であり、且つ、最大高さ（Ｓｚ）が、５０ｎｍ以上３５０ｎｍ以下の範囲の値である接触面３ａをハードコート部材３が有することで、キャリアフィルム１に良好な剥離性を付与できることが確認された。更に、フィルム基材２よりも高硬度のハードコート部材３を用いることで、キャリアフィルム１に硬度及び剛性を付与し、キャリアフィルム１の耐久性を向上できることが確認された。以上により、実施例１～８の優位性が確認された。

上記実施形態における各構成及びそれらの組み合わせ等は、一例であって、本開示の趣旨から逸脱しない範囲内で、適宜、構成の付加、省略、置換、及びその他の変更が可能である。本開示は、実施形態によって限定されることはなく、特許請求の範囲によってのみ限定される。また、本明細書に開示された各々の態様は、本明細書に開示された他のいかなる特徴とも組み合わせることができる。

１ キャリアフィルム
２ フィルム基材
３ ハードコート部材
３ａ 接触面
３０ マトリクス樹脂
３１ 微粒子
４０ シート形成用スラリー

Claims (6)

1. シート形成用スラリーの塗膜を支持するシート形成用キャリアフィルムであって、
   フィルム基材と、
   前記フィルム基材に重ねて配置され、前記フィルム基材とは反対側に位置して凹凸が形成され且つ前記シート形成用スラリーと接触する接触面を有し、前記フィルム基材よりも高硬度のハードコート部材と、を備え、
   前記接触面は、表面粗さ（Ｓａ）が、５ｎｍ以上３５ｎｍ以下の範囲の値であり、且つ、最大高さ（Ｓｚ）が、５０ｎｍ以上３５０ｎｍ以下の範囲の値である、シート形成用キャリアフィルム。
2. 前記接触面の鉛筆硬度が、Ｈ以上である、請求項１に記載のシート形成用キャリアフィルム。
3. 前記フィルム基材が、ＰＥＴ、ＰＩ、ＰＥＥＫ、ＰＥＮのうちの少なくともいずれかを含む、請求項１又は２に記載のシート形成用キャリアフィルム。
4. 前記ハードコート部材が、マトリクス樹脂と、前記マトリクス樹脂に分散された微粒子とを含む、請求項１～３のいずれか１項に記載のシート形成用キャリアフィルム。
5. 前記微粒子が、無機材料を含む、請求項４に記載のシート形成用キャリアフィルム。
6. 前記マトリクス樹脂が、光硬化性樹脂又は熱硬化性樹脂を含む、請求項４又は５に記載のシート形成用キャリアフィルム。

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