JP2022183087A - 反応器システム用汚染物質トラップシステム - Google Patents

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Abstract

【課題】他の構成要素の汚染を防止する反応器システム構成要素に関する。【解決手段】反応器システムの汚染物質トラップシステムが、バッフルプレートのバッフルプレート本体を貫通する開口部と本体部分とを備える少なくとも一つのバッフルプレート、及び相補的バッフルプレートの相補的バッフルプレート本体を貫通する相補的開口部と相補的本体部分とを備える少なくとも一つの相補的バッフルプレートを備える、バッフルプレートスタックを備え得る。少なくとも一つのバッフルプレート及び少なくとも一つの相補的バッフルプレートは、バッフルプレートが相補的バッフルプレートと交互になるバッフルプレートスタックの第一端部と第二端部との間に、バッフルプレートの順序で配置されて、バッフルプレートのうちのどの二つも相補的バッフルプレートのうちのどの二つも、バッフルプレートの順序において隣接しないようにされ得る。少なくとも一つのバッフルプレートは、焼結材料を含み得る。【選択図】図２

Description

本開示は、概して、半導体処理又は反応器システム、ならびにそれに含まれる構成要素に関し、特に、他の構成要素の汚染を防止する反応器システム構成要素に関する。
反応チャンバは、半導体基材上へ様々な材料層を堆積させるために使用されてもよい。基材は、反応チャンバ内のサセプタ上に配置できる。基材及びサセプタの両方を、所望の基材温度設定点にまで加熱してもよい。例示の基材処理プロセスでは、一つ以上の反応ガスが、加熱された基材の上を通り、基材表面上に材料の薄膜の堆積を引き起こしてもよい。それに続く堆積、ドーピング、リソグラフィ、エッチング及び他のプロセスを通して、これらの層が集積回路になる。
任意の所与のプロセスについて、反応ガス及び／又は任意の副生ガスは、次いで、真空を介して排気されてもよく、及び／又は反応チャンバからパージされてもよい。反応チャンバからの反応ガス、及び他のガス又は材料は、フィルタ又は汚染物質トラップシステムを通過してもよく、反応ガス又は他の材料（例えば、反応生成物及び／又は副生成物）は、汚染物質トラップシステムの下流の反応器システム構成要素の汚染を防止するために捕捉される。しかしながら、汚染物質トラップシステムからの材料は、特定の条件下でガスを放出する場合があり、これは、反応チャンバ又はその中に配置される基材の汚染を引き起こす場合がある。
この「発明の概要」は、選択された複数の概念を簡略化した形態で紹介するために提供されている。これらの概念について、以下の本開示の例示的な実施形態の「発明を実施するための形態」において、更に詳細に説明される。この発明の概要は、特許請求される主題の主要な特徴又は本質的な特徴を特定することを必ずしも意図しておらず、特許請求される主題の範囲を限定するために使用することも意図していない。
いくつかの実施形態では、反応器システム用汚染物質トラップシステムが提供される。本明細書に開示される汚染物質トラップシステムは、反応器システムの反応チャンバからの材料の収集を可能にし、汚染物質トラップシステムの下流の反応器システム構成要素の汚染を低減又は防止することができる。本明細書に開示される汚染物質トラップシステムはまた、反応チャンバ又はその中に配置される基材に移動して汚染する可能性のある汚染物質を低減又は防止し得る。
様々な実施形態において、汚染物質トラップシステム用のバッフルプレートスタックが、複数のバッフルプレートの各バッフルプレートのバッフルプレート本体を貫通する開口部と本体部分とを各々備える複数のバッフルプレート、及び複数の相補的バッフルプレートの各相補的バッフルプレートの相補的バッフルプレート本体を貫通する相補的開口部と相補的本体部分とを各々備える複数の相補的バッフルプレートを備えてもよい。複数のバッフルプレート及び複数の相補的バッフルプレートが、複数のバッフルプレートが複数の相補的バッフルプレートと交互になるバッフルプレートスタックの第一端部と第二端部との間に、バッフルプレートの順序で配置されて、複数のバッフルプレートのうちのどの二つも、及び複数の相補的バッフルプレートのうちのどの二つも、バッフルプレートの順序で隣接しないようにしてもよい。複数のバッフルプレート及び複数の相補的バッフルプレートが、バッフルプレート配向に配置されてもよく、ここで複数のバッフルプレートの開口部の少なくとも一部分と、複数の相補的バッフルプレートの相補的本体部分のうちの少なくとも一部分とは、バッフルプレートスタックの第一端部と第二端部との間に伸びる第一の軸に沿って整列されて、複数のバッフルプレートの本体部分の少なくとも一部分と、複数の相補的バッフルプレートの相補的開口部の少なくとも一部分とが、バッフルプレートスタックの第一端部と第二端部との間に伸びる第二の軸に沿って整列され得るようにしてもよい。
様々な実施形態において、バッフルプレートスタックが、複数のバッフルプレートの各々、及び／又は複数の相補的バッフルプレートの各々に連結された連結ロッドをさらに備えてもよく、ここで連結ロッドは、バッフルプレートスタックの第一端部と第二端部との間に伸びてもよく、連結ロッドは断面を含む。複数のバッフルプレートの各々が連結孔を備えてもよく、複数の相補的バッフルプレートの各々は、相補的連結孔を備えてもよく、連結孔及び相補的連結孔はそれぞれ、連結ロッドの断面に対して相補的な形状を含んでもよい。様々な実施形態において、連結ロッドの断面が非円形であってもよく、複数のバッフルプレートのそれぞれの連結孔は、第一の配向に配置されてもよく、複数の相補的バッフルプレートのそれぞれの相補的連結孔は、第二の配向に配置されてもよい。第一の配向及び第二の配向が、複数のバッフルプレート及び複数の相補的バッフルプレートを連結ロッドの周りに配置して、バッフルプレート配向を達成し得る。
様々な実施形態において、バッフルプレートスタックが、連結ロッドに連結された複数のスペーサーをさらに備えてもよく、複数のスペーサーのうちの少なくとも一つは、バッフルプレートの順序における複数のバッフルプレート及び複数の相補的バッフルプレートの、各バッフルプレートと相補的バッフルプレートとの間に配置されてもよい。様々な実施形態において、バッフルプレートスタックは、バッフルプレートスタックの第一端部又は第二端部のうちの少なくとも一つに配置された端部プレートをさらに備えてもよく、端部プレートは、端部プレート開口部及び端部プレート本体部分を含み得る。
様々な実施形態において、バッフルプレートスタックが、バッフルプレートスタックの第一端部からも第二端部からも複数のバッフルプレート及び複数の相補的バッフルプレートの同じ順序を含み得るように、複数の相補的バッフルプレートより一つ多い数の複数のバッフルプレートが存在し得る。様々な実施形態において、複数のバッフルプレート及び複数の相補的バッフルプレートのうちの少なくとも一つは、テクスチャ加工された表面を含み得る。
様々な実施形態において、反応器システムの汚染物質トラップシステムは、ハウジング外壁を含むトラップハウジング、トラップハウジング内に配置される第一バッフルプレートであって、第一バッフルプレートの第一頂部バッフルプレート表面と第一底部バッフルプレート表面との間の第一バッフルプレート本体を貫通する第一開口部、及び第一本体部分を備え得る第一バッフルプレート、ならびにトラップハウジングの第一端部と第二端部との間に、第一バッフルプレートと直列にトラップハウジング内に配置された第一相補的バッフルプレートであって、第一相補的バッフルプレートの第一頂部相補的バッフルプレート表面と第一底部相補的バッフルプレート表面との間の第一相補的バッフルプレート本体を貫通する第一相補的開口部、及び第一相補的本体部分を備え得る第一相補的バッフルプレート、を備えてもよい。第一バッフルプレート及び第一相補的バッフルプレートは、バッフルプレートスタックに含まれてもよい。第一バッフルプレート及び第一相補的バッフルプレートが、トラップハウジング内にバッフルプレート配向に配置されてもよく、ここで第一バッフルプレートの第一開口部の少なくとも一部分と、第一相補的バッフルプレートの第一相補的本体部分のうちの少なくとも一部分とは、トラップハウジングの第一端部と第二端部との間に伸びる第一の軸に沿って整列されて、第一バッフルプレートの第一本体部分の少なくとも一部分と、第一相補的バッフルプレートの第一相補的開口部の少なくとも一部分とが、トラップハウジングの第一端部と第二端部との間に伸びる第二の軸に沿って整列され得るようにしてもよい。様々な実施形態において、第一バッフルプレートの第一開口部は、第一バッフルプレートの半径方向内側部分に含まれてもよく、及び／又は第一相補的バッフルプレートの第一相補的開口部は、第一相補的バッフルプレートの半径方向外側部分に含まれてもよい。様々な実施形態において、汚染物質トラップシステムは、トラップハウジングに連結されたヒータージャケットをさらに備えてもよい。
様々な実施形態において、汚染物質トラップシステムは、トラップハウジング内に配置され、トラップハウジングの第一端部と第二端部の間に伸びる連結ロッドをさらに備えてもよい。第一バッフルプレートは、第一バッフルプレート本体を通って配置される第一連結孔を備えてもよく、連結ロッドが第一連結孔を通って配置されてもよい。第一相補的バッフルプレートは、第一相補的バッフルプレート本体を通って配置される第一相補的連結孔を備えてもよく、連結ロッドが第一相補的連結孔を通って配置されてもよい。様々な実施形態において、連結ロッドは、非円形断面を備えてもよく、第一バッフルプレートの第一連結孔と第一相補的バッフルプレートの第一相補的連結孔とはそれぞれ、連結ロッドの非円形断面に対して相補的な形状を含んでもよい。様々な実施形態において、第一連結孔の基準点は、第一の配向に配置されてもよく、第一相補的連結孔の相補的基準点は、第一の相補的配向に配置されてもよく、第一の配向及び第一の相補的配向は、第一バッフルプレート及び第一相補的バッフルプレートを連結ロッドの周りに配置してバッフルプレート配向を達成してもよい。
様々な実施形態において、汚染物質トラップシステムは、第一バッフルプレートと第一相補的バッフルプレートとの間に空間を提供するスペーサーを、第一バッフルプレートと第一相補的バッフルプレートとの間にさらに備えてもよい。
様々な実施形態において、汚染物質トラップシステムは、トラップハウジング内に配置された第二バッフルプレートをさらに備えてもよく、この第二バッフルプレートは、第二バッフルプレートの第二頂部バッフルプレート表面と第二底部バッフルプレート表面との間の第二バッフルプレート本体を貫通する第二開口部、及び第二本体部分を備えてもよい。第二バッフルプレートがトラップハウジング内に配置されて、第一相補的バッフルプレートが第一バッフルプレートと第二バッフルプレートとの間であるようにしてもよく、ここでバッフルプレート配向は、第二バッフルプレートの第二開口部の少なくとも一部分と、第一相補的バッフルプレートの第一相補的本体部分の少なくとも一部分とが第一の軸に沿って整列することをさらに含んで、第二バッフルプレートの第二本体部分の少なくとも一部分と、第一相補的バッフルプレートの第一相補的開口部の少なくとも一部分とが、第二の軸に沿って整列され得るようにしてもよい。様々な実施形態において、第一バッフルプレート及び第二バッフルプレートは、同一の設計を含み得る。
様々な実施形態において、バッフルプレートスタックは、第一バッフルプレートが端部プレートと第一相補的バッフルプレートの間となるように、又は第一相補的バッフルプレートが端部プレートと第一バッフルプレートの間となるように、配置される端部プレートをさらに備えてもよい。端部プレートは、端部プレート開口部及び端部プレート本体部分を含み得る。
様々な実施形態において、トラップハウジングのハウジング外壁は、内側壁表面を備えてもよい。第一バッフルプレート及び第一相補的バッフルプレートの少なくとも一つの外縁は、第一バッフルプレート及び／又は第一相補的バッフルプレートの外縁と内側壁表面との間に少なくとも部分的シールが形成され得るように、内側壁表面に隣接して配置されてもよい。
様々な実施形態において、第一頂部バッフルプレート表面、第一底部バッフルプレート表面、第一頂部相補的バッフルプレート表面、第一底部相補的バッフルプレート表面、第一バッフルプレート及び第一相補的バッフルプレートの少なくとも一つの外縁、ならびに／又は内側壁表面は、テクスチャ加工されている。
様々な実施形態において、方法は、反応チャンバから汚染物質トラップシステムのトラップハウジング内に流体を流すことと、トラップハウジング内に配置され、複数のバッフルプレート及び複数の相補的バッフルプレートを含むバッフルプレートスタックを通して流体を流すことと、複数のバッフルプレートの第一バッフルプレートの開口部を通して流体を流すことと、第一バッフルプレートの開口部を通して流体を流すことに応答して、複数の相補的バッフルプレートの第一相補的バッフルプレートの相補的本体部分内に流体を流すことと、第一相補的バッフルプレートの相補的本体部分内に流体を流すことに応答して、第一相補的バッフルプレートの相補的本体部分上に汚染物質を堆積させることと、第一相補的バッフルプレートの相補的本体部分内に流体を流すことに応答して、第一相補的バッフルプレートの相補的開口部を通して流体を流すことと、第一相補的バッフルプレートの相補的開口部を通して流体を流すことに応答して、複数のバッフルプレートの第二バッフルプレートの本体部分内に流体を流すことと、及び／又は第二バッフルプレートの本体部分内に流体を流すことに応答して、第二バッフルプレートの本体部分上に汚染物質を堆積させることと、を含み得る。複数のバッフルプレートの各々は、本体部分、及び複数のバッフルプレートの各バッフルプレートのバッフルプレート本体を貫通する開口部を含み得る。複数の相補的バッフルプレートの各々は、相補的本体部分、及び複数の相補的バッフルプレートの各相補的バッフルプレートの相補的バッフルプレート本体を貫通する相補的開口部を含み得る。複数のバッフルプレート及び複数の相補的バッフルプレートが、複数のバッフルプレートが複数の相補的バッフルプレートと交互になり得るバッフルプレートスタックの第一端部と第二端部との間に、バッフルプレートの順序で配置されて、複数のバッフルプレートのうちのどの二つも、及び複数の相補的バッフルプレートのうちのどの二つも、バッフルプレートの順序で隣接しないようにしてもよい。複数のバッフルプレート及び複数の相補的バッフルプレートが、バッフルプレート配向に配置されてもよく、ここで複数のバッフルプレートの開口部の少なくとも一部分と、複数の相補的バッフルプレートの相補的本体部分のうちの少なくとも一部分とは、バッフルプレートスタックの第一端部と第二端部との間に伸びる第一の軸に沿って整列されて、複数のバッフルプレートの本体部分の少なくとも一部分と、複数の相補的バッフルプレートの相補的開口部の少なくとも一部分とが、バッフルプレートスタックの第一端部と第二端部との間に伸びる第二の軸に沿って整列され得るようにしてもよい。
様々な実施形態において、反応器システムの汚染物質トラップシステムは、トラップハウジングと、トラップハウジング内に配置されたトラップ構造とを備えてもよい。トラップ構造は、バッフルプレート、ベースプレート、及びバッフルプレートとベースプレートとの間に伸び、かつそれらに連結される複数のロッドを含み得る。ロッドは、ベースプレートを通って配置される流通孔の周りに配置されてもよい。
様々な実施形態において、反応器システムの汚染物質トラップシステムは、ハウジング底部表面及びハウジング頂部表面を備えるトラップハウジングと、トラップハウジング内に配置されたトラップ構造とを備えてもよい。トラップ構造は、トラップハウジングの形状に相補的な外側形状を有する配列に配置された複数の管と、複数の管の配列内に配置され、複数の管の端部から外向きに突出する支持体であって、ハウジング底部表面と接触し、複数の管の端部とハウジング底部表面との間に空間を作り出す支持体と、複数の管を一緒に保持するように構成された複数の管の周りに連結されるテンショニング装置と、を備えてもよい。複数の管は、六角形にまとめられてもよく、複数の管の各管はボアを備え、ハウジング底部表面とハウジング頂部表面との間に少なくとも部分的に伸び得る。
様々な実施形態において、反応器システムの汚染物質トラップは、トラップハウジングと、トラップハウジング内に配置されたトラップ構造とを備えてもよい。トラップ構造は、非波形シートに連結された波形シートを含み得る。波形シート及び非波形シートは、波形シートの部分が非波形シートの部分の間に配置されるように、また、非波形シートの部分が波形シートの部分の間に配置されるように、らせん状にされてもよい。
様々な実施形態において、汚染物質トラップシステム（例えば、一つ以上のバッフルプレート、相補的バッフルプレート、ロッド、管、波形シートなど）内に含まれるトラップ構造は、焼結材料を含むか、又は少なくとも部分的に焼結材料からなる場合がある。様々な実施形態では、焼結材料は、金属材料（例えば、金属又は金属合金）又はセラミック材料のうちの少なくとも一つを含み得る。
本開示、及び先行技術を超えて達成される利点を要約する目的で、本開示のいくつかの特定の目的及び利点が本明細書において上記に説明されている。当然のことながら、必ずしもこうした目的又は利点のすべてが本開示の任意の特定の実施形態によって達成されなくてもよいことが理解されるべきである。それ故に、例えば、本明細書で教示又は示唆され得る通りの他の目的又は利点を必ずしも達成することなく、本明細書に教示又は示唆される通りの一つの利点又は一群の利点を達成又は最適化する様態で、本明細書に開示される実施形態が実行されてもよいことを当業者は認識するであろう。
これらの実施形態のすべては、本開示の範囲内であることが意図されている。当業者には、これらの及び他の実施形態は、添付の図面を参照して、以下のある特定の実施形態の詳細な説明から容易に明らかとなり、本開示は、論じられるいかなる特定の実施形態にも限定されない。
本明細書は、本開示の実施形態と見なされるものを具体的に指摘し、明確に特許請求する特許請求の範囲で結論付ける一方で、本開示の実施形態の利点は、添付の図面と併せて読むと、本開示の実施形態のある特定の実施例の説明から、より容易に解明され得る。図面全体にわたって同様の要素番号が付けられている要素は、同じであることが意図されている。
図１は、様々な実施形態による、例示的な反応器システムの概略図を示す。
図２は、様々な実施形態による、例示的な汚染物質トラップシステムの分解図を示す。
図３Ａは、様々な実施形態による、例示的なバッフルプレートを示す。
図３Ｂは、様々な実施形態による、例示的な相補的バッフルプレートを示す。
図４Ａは、様々な実施形態による、汚染物質トラップシステムの例示的なフィルタバッフルプレートスタックの斜視図を示す。
図４Ｂは、様々な実施形態による、汚染物質トラップシステムの例示的なフィルタバッフルプレートスタックの断面斜視図を示す。
図５Ａは、様々な実施形態による、別の例示的なバッフルプレートを示す。
図５Ｂは、様々な実施形態による、別の例示的な相補的バッフルプレートを示す。
図６Ａは、様々な実施形態による、さらに別の例示的なバッフルプレートを示す。
図６Ｂは、様々な実施形態による、さらに別の例示的な相補的バッフルプレートを示す。
図７Ａは、様々な実施形態による、さらに別の例示的なバッフルプレートを示す。
図７Ｂは、様々な実施形態による、さらに別の例示的な相補的バッフルプレートを示す。
図８は、様々な実施形態による、汚染物質トラップシステム用のヒータージャケットの斜視図を示す。
図９は、様々な実施形態による、反応器システムの汚染物質トラップシステムを通して流体を流す方法を示す。
図１０Ａは、様々な実施形態による、例示的なトラップ構造の断面図を示す。
図１０Ｂは、様々な実施形態による、図１０Ａのトラップ構造の断面の分解図を示す。
図１１は、様々な実施形態による、例示的なトラップ構造を示す。
図１２は、様々な実施形態による、例示的なトラップ構造を示す。
図１３は、様々な実施形態による、様々な濾材グレード（ｍｅｄｉａ ｇｒａｄｅ）の例示的な焼結材料を示す。
ある特定の実施形態及び実施例を以下に開示するが、それらは、本開示が具体的に開示する本開示の実施形態及び／又は用途、ならびにその明白な変更及び均等物を超えて拡大することは、当業者により理解されるであろう。それ故に、本開示の範囲は、本明細書に記載の特定の実施形態によって限定されるべきではないことが意図される。
本明細書に示される図は、任意の特定の材料、装置、構造又はデバイスの実際の図であることを意味せず、本開示の実施形態について記載するために使用される、単なる表現にすぎない。
本明細書で使用する用語「基材」は、使用される場合がある、又はその上にデバイス、回路もしくは膜が形成される場合がある、あらゆる下層材料又は複数の下層材料を指してもよい。
本明細書で使用する「原子層堆積」（ＡＬＤ）という用語は、堆積サイクル（好ましくは複数の連続堆積サイクル）がプロセスチャンバ内で行われる堆積プロセスを指す場合がある。典型的に、各サイクル中に前駆体は、堆積表面（例えば基材表面又は以前に堆積された下地表面（以前のＡＬＤサイクルからの材料など））に化学吸着され、追加の前駆体と容易に反応しない（すなわち自己制御反応）単分子層又は準単分子層を形成する。その後、必要に応じて、化学吸着した前駆体を堆積表面上で所望の材料に変換するのに使用するために、次に反応物質（例えば別の前駆体又は反応ガス）をプロセスチャンバの中に導入し得る。典型的に、この反応物質は前駆体とさらに反応することができる。さらに、各サイクル中にパージ工程も利用して、化学吸着された前駆体の変換後に、過剰な前駆体をプロセスチャンバから除去する、ならびに／又は過剰な反応物質及び／もしくは反応副生成物をプロセスチャンバから除去し得る。さらに、本明細書で使用される「原子層堆積」という用語はまた、「化学気相原子層堆積」、「原子層エピタキシー」（ＡＬＥ）、分子線エピタキシー（ＭＢＥ）、ガス供給源ＭＢＥ、又は有機金属ＭＢＥ、ならびに前駆体組成物、反応性ガス、及びパージ（例えば不活性キャリア）ガスの交互パルスで実施される場合の化学ビームエピタキシーなどの関連する用語によって示されるプロセスを含むことを意味する。
本明細書で使用する「化学気相」（ＣＶＤ）という用語は、基材を一つ以上の揮発性前駆体に曝し、この前駆体が基材表面上で反応及び／又は分解して所望の堆積物を生成する、任意のプロセスを指すことができる。
本明細書で使用される用語「膜」及び「薄膜」は、本明細書に開示される方法によって堆積された任意の連続的又は非連続的な構造体及び材料を指すことができる。「膜」及び「薄膜」としては例えば、２Ｄ材料、ナノロッド、ナノチューブもしくはナノ粒子、又はさらには部分的もしくは完全な分子層、又は部分的もしくは完全な原子層、又は原子及び／又は分子のクラスタを挙げることができる。「膜」及び「薄膜」は、ピンホールを有する材料又は層を含み得るが、それでも少なくとも部分的に連続している。
本明細書で使用される場合、「汚染物質」という用語は、反応チャンバに配置された基材の純度に影響を与え得る、反応チャンバ内に配置された任意の望ましくない材料、又は反応システムの任意の構成要素における任意の望ましくない材料を指し得る。「汚染物質」という用語は、反応器システムの反応チャンバ内又は他の構成要素内に配置された、望ましくない堆積物、金属及び非金属粒子、不純物、及び廃棄物を指し得るが、これらに限定されない。
さらに、本開示では、変数の任意の二つの数はその変数の実行可能な範囲を構成することができ、そして示された任意の範囲は、端点を含んでもよく、又は除外してもよい。加えて、示された変数の任意の値は（それらが「約」を有して示されているか否かにかかわらず）、正確な値、又はおおよその値を指し、また同等物を含み、かつ平均値、中央値、代表値、もしくは大多数、又はこれに類するものを指してもよい。さらに、本開示では、「含む」「によって構成される」及び「有する」という用語は、いくつかの実施形態では、「典型的に、又は広く含む」、「含む」、「から本質的になる」、又は「からなる」を独立して指し得る。本開示において、任意の定義された意味は、一部の実施形態において、通常の及び慣習的な意味を必ずしも排除するものではない。
ＡＬＤ、ＣＶＤ、及び／又は同類のものに使用される反応器システムは、基材表面への材料の堆積及びエッチングを含む、様々な用途に使用され得る。様々な実施形態では、反応器システム５０は、反応チャンバ４、処理中に基材３０を保持するサセプタ６、一つ以上の反応物質を基材３０の表面に分配するための流体分配システム８（例えば、シャワーヘッド）、ライン１６～２０、及びバルブもしくはコントローラ２２～２６を介して反応チャンバ４に流体連結される、一つ以上の反応物質源１０、１２、ならびに／又は、キャリア及び／もしくはパージガス源１４を備え得る。反応物質源１０、１２からの反応ガス又は他の材料は、反応チャンバ４の基材３０に適用され得る。パージガス源１４からのパージガスは、反応チャンバ４へ、及びそれを通って流れ、任意の過剰な反応物質又は他の望ましくない材料を反応チャンバ４から除去することができる。システム５０はまた、反応チャンバ４に流体連結された真空源２８を備えてもよく、この真空源２８は、反応チャンバ４から反応物質、パージガス、又は他の材料を吸い取るように構成され得る。システム５０は、反応チャンバ４から来る材料（例えば、汚染物質）を捕捉する（すなわち、蓄積する）ために反応チャンバ４と真空源２８との間に配置され、汚染物質トラップシステム４０の下流の反応器システム５０構成要素の汚染を低減又は防止する、汚染物質トラップシステム４０を備え得る。
図２を参照すると、様々な実施形態による、汚染物質トラップシステム１００（その分解図）が示されている（図１の汚染物質トラップシステム４０の例）。様々な実施形態において、汚染物質トラップシステム１００は、複数の構成要素（例えば、上部ハウジング１０３Ａ及び下部ハウジング１０３Ｂ）を備え得る、トラップハウジング１０３を備えてもよい。様々な実施形態において、上部ハウジング１０３Ａ及び下部ハウジング１０３Ｂは、汚染物質トラップシステム１００の他の構成要素を封入するために連結してもよい。上部ハウジング１０３Ａは、流体入口１０１Ａを備えてもよく、この流体入口１０１Ａを通して、トラップハウジング１０３の内部は、反応チャンバ（例えば、反応チャンバ４）に流体連結されてもよい。ガス及び他の材料は、反応チャンバから、流体入口１０１Ａを通って汚染物質トラップシステム１００内に流れてもよく、流体出口１０１Ｂを通って汚染物質トラップシステム１００を出てもよい。
様々な実施形態において、トラップハウジング１０３は、内側壁表面を備える外壁１０５を備えてもよい。内側壁表面は、トラップハウジング１０３で囲まれた内部空間を画定してもよい（例えば、上部ハウジング１０３Ａ及び下部ハウジング１０３Ｂが連結されている場合）。トラップハウジング１０３の内部空間は、流体入口１０１Ａ及び流体出口１０１Ｂと流体連通してもよい。
様々な実施形態において、汚染物質トラップシステム１００は、それを通って移動する汚染物質を捕捉するように構成されたトラップ構造（例えば、トラップハウジング内に収容される）を備えてもよい。汚染物質は、流体がトラップシステムを通って移動するにつれて、トラップ構造の表面上に堆積し得る。様々な実施形態において、トラップ構造は、バッフルプレートスタック（例えば、バッフルプレートスタック１３０）を含んでもよい。バッフルプレートスタック１３０は、トラップハウジング１０３の内部空間に入る流体の流れに特定の経路をとらせ得る、少なくとも二つのプレートを含んでもよい（例えば、トラップハウジング１０３の内部空間を通る流体の流れを増加又は最大にする経路、及び／又は汚染物質トラップシステム及びその構成要素による流体の流れからの汚染物質の除去を増加する又は最大にすることを可能にする経路）。トラップハウジング１０３の内部空間を通る流体流路は、流体経路を増加させて、汚染物質トラップシステム１００の構成要素（例えば、トラップハウジング１０３内のバッフルプレートの表面）との接触を増加させることができ、従って、汚染物質トラップシステム１００を通って流体が流れるにつれてこの表面上に汚染物質が堆積する機会をより多くする。
様々な実施形態において、バッフルプレートスタック１３０は、少なくとも一つのバッフルプレート１３２及び少なくとも一つの相補的バッフルプレート１３４を含み得る。各バッフルプレート１３２は、実質的に同じ設計（例えば、それを通る開口部を含む）を有してもよく、各相補的バッフルプレート１３４は、実質的に同じ設計（例えば、それを通る相補的開口部を含む）を有してもよい。バッフルプレート１３２及び相補的バッフルプレート１３４は、バッフルプレートスタック１３０で、トラップハウジング１０３の第一端部（流体入口１０１Ａに近接する）とトラップハウジング１０３の第二端部（流体出口１０１Ｂに近接する）との間でバッフルプレートの順序で配置されてもよい。バッフルプレートスタック１３０の第一端部は、トラップハウジング１０３の第一端部に近接してもよく、バッフルプレートスタック１３０の第二端部は、トラップハウジング１０３の第二端部に近接してもよい。バッフルプレートの順序は、バッフルプレート１３２のどの二つも相補的バッフルプレート１３４のどの二つもバッフルプレートの順序において隣接しないように、相補的バッフルプレート１３４と交互に位置するバッフルプレート１３２を含んでもよい。
バッフルプレートスタック１３０は、任意の設計、順序、及び／又は組成の任意の適切な数のバッフルプレートを含んでもよい。例えば、様々な実施形態において、バッフルプレートスタック１３０は、一つのタイプのバッフルプレートのすべてを含んでもよい（例えば、バッフルプレート１３２のすべて、又は相補的バッフルプレート１３４のすべて）。様々な実施形態において、バッフルプレートスタック１３０は、バッフルプレート設計の任意の適切な混合を含み得る。例えば、バッフルプレートスタック１３０は、二つ以上の設計を含むバッフルプレートを備えてもよい。さらなる実施例として、バッフルプレートスタック１３０は、第一の数のバッフルプレート１３２及び第二の数の相補的バッフルプレート１３４を備えてもよい。様々な実施形態において、バッフルプレートスタック１３０は、同数のバッフルプレート１３２及び相補的バッフルプレート１３４を（例えば、バッフルプレートスタック１３０の第一端部と第二端部との間でバッフルプレートの順序で交互に）備えてもよい。様々な実施形態において、バッフルプレートスタック１３０は、バッフルプレートの順序がバッフルプレート１３２で開始及び終了するように、相補的バッフルプレート１３４よりも一つ多いバッフルプレート１３２を備えてもよい（すなわち、バッフルプレート１３２は、トラップハウジング１０３の第一端部及び第二端部に最も近接するバッフルプレートである）。
様々な実施形態において、バッフルプレートスタックは、バッフルプレートスタックの各端部に連結された少なくとも一つの端部プレートを備え得る。例えば、第一端部プレート１３６Ａは、バッフルプレートスタック１３０の第一端部上の端部プレートとして、バッフルプレートスタック１３０内に含まれてもよく、第二端部プレート１３６Ｂは、バッフルプレートスタック１３０の第二端部上の端部プレートとして、バッフルプレートスタック１３０内に含まれてもよい。バッフルプレートスタック１３０の第一端部は、トラップハウジング１０３の第一端部に近接するトラップハウジング１０３の内部空間に配置されてもよく、バッフルプレートスタック１３０の第二端部は、トラップハウジング１０３の第二端部に近接するトラップハウジング１０３の内部空間に配置されてもよい。バッフルプレートスタック内に含まれる端部プレートは、バッフルプレートスタック内に含まれるバッフルプレート及び／又は相補的バッフルプレートとは異なる設計を含む、任意の適切な設計を含み得る。
バッフルプレートスタック１３０におけるバッフルプレートの配列は、任意の適切な間隔配列を含む、任意の適切な配列を含み得る。バッフルプレートはそれぞれ、スペーサー１３３によって分離されてもよい。すなわち、スペーサー１３３は、バッフルプレートスタック内の二つのプレートの間すべてに配置されてもよい。バッフルプレートスタック内のプレートは、例えば、トラップハウジング１０３を通る流体の流れの所望の圧力降下を達成するために、任意の適切な距離だけ離間していてもよい。トラップハウジング１０３を通した圧力降下の量を減少させるために、バッフルプレートスタック内のバッフルプレートをより少なくする、及び／又はバッフルプレート間の空間をより大きくする場合がある。逆に、トラップハウジング１０３を通した圧力降下の量を増加させるために、バッフルプレートスタック内のバッフルプレートをより多くする、及び／又はバッフルプレート間の空間をより小さくする場合がある。
各バッフルプレート（例えば、バッフルプレートスタック１３０内のバッフルプレート１３２及び相補的バッフルプレート１３４）は、バッフルプレートスタック１３０及びそれに含まれるバッフルプレートが、トラップハウジング１０３の内部空間内に配置され得るように、トラップハウジング１０３の内部空間に相補的な形状を含み得る。様々な実施形態において、トラップハウジング１０３の内部空間内に配置されたバッフルプレートスタック内に含まれる一つ以上のプレートの外縁は、トラップハウジング１０３の内側壁に隣接して、及び／又はトラップハウジング１０３の内側壁と接触して配置されてもよい。プレートの一つ以上の外縁は、それぞれのバッフルプレートとトラップハウジング１０３の内側壁との間に少なくとも部分的シールを形成してもよい。したがって、限定された量の流体の流れ（又は流体の流れがない）が、バッフルプレートスタック内のプレートの外縁とトラップハウジング１０３の内側壁との間を通過し得る。
図３Ａ、３Ｂ及び４Ａを参照すると、様々な実施形態において、バッフルプレート（例えば、図２のバッフルプレート１３２の実施例であるバッフルプレート３００Ａ）は、頂部表面３２２、底部表面３２４、その間のバッフルプレート本体、及びバッフルプレート外縁３２６を含み得る。バッフルプレートは、頂部表面３２２と底部表面３２４との間のバッフルプレート本体を通って配置され、開口縁部によって画定される、少なくとも一つの開口部を含み得る。例えば、バッフルプレート３００Ａは、第一開口部３３１及び第二開口部３３３を含み得る。バッフルプレート内に含まれる開口部は、図３Ａに示すバッフルプレート３００Ａの開口部配列のように、任意の適切な開口部配列であってよい。バッフルプレートの開口部配列の例として、開口部は、バッフルプレート形状の中心（例えば、円の中心）の周りの開口部のように、他の開口部から等距離に離間してもよい。様々な実施形態において、バッフルプレートの開口部分は、バッフルプレートの開口部分に含まれてもよい。例えば、バッフルプレート３００Ａの開口部分３２５は、バッフルプレートの半径方向内側部分上に配置されてもよく、バッフルプレート３００Ａの半径方向外側部分は開口部を含まなくてもよい。開口部のないバッフルプレートの部分は、本体部分（例えば、バッフルプレート３００Ａの本体部分３３５）であってもよい。
図３Ａ、３Ｂ及び４Ａを引き続き参照すると、様々な実施形態において、相補的バッフルプレート（例えば、図２の相補的バッフルプレート１３４の実施例である相補的バッフルプレート３００Ｂ）は、相補的頂部表面３５２、相補的底部表面３５４、その間の相補的バッフルプレート本体、及び相補的バッフルプレート外縁３５６を含み得る。相補的バッフルプレートは、相補的バッフルプレート頂部表面３５２と底部表面３５４との間の相補的バッフルプレート本体を通って配置され、相補的開口縁部によって画定される、少なくとも一つの相補的開口部を含み得る。例えば、相補的バッフルプレート３００Ｂは、第一相補的開口部３６１及び第二相補的開口部３６３を含み得る。相補的バッフルプレート内に含まれる相補的開口部は、図３Ｂに示す相補的バッフルプレート３００Ｂの相補的開口部配列のように、任意の適切な相補的開口部配列であってよい。相補的バッフルプレートの相補的開口部配列の例として、相補的開口部は、相補的バッフルプレート形状の中心（例えば、円の中心）の周りの相補的開口部のように、他の相補的開口部から等距離に離間してもよい。様々な実施形態において、相補的バッフルプレートの相補的開口部は、相補的バッフルプレートの相補的開口部分に含まれてもよい。例えば、相補的バッフルプレート３００Ｂの開口部分３５５は、相補的バッフルプレートの半径方向外側部分上に配置されてもよく、相補的バッフルプレート３００Ｂの半径方向内側部分は相補的開口部を含まなくてもよい。相補的開口部のない相補的バッフルプレートの部分は、相補的本体部分（例えば、相補的バッフルプレート３００Ｂの相補的本体部分３６５）であってもよい。
相補的バッフルプレート（例えば、相補的バッフルプレート３００Ｂ）は、バッフルプレート（例えば、バッフルプレート３００Ａ）に対して相補的であり得る。これは、相補的バッフルプレートが、バッフルプレートが開口部を含まないプレートの部分に相補的開口部を含み得るからである。一実施例として、上で論じたように、相補的バッフルプレート３００Ｂは、その半径方向外側部分に相補的開口部３６１及び３６３を含み、一方バッフルプレート３００Ａは、その半径方向外側部分に開口部を含まない。
様々な実施形態において、バッフルプレートスタックは、バッフルプレート及び／又は相補的バッフルプレートが連結し得る連結ロッドを備えてもよい。例えば、図４Ｂのバッフルプレートスタック４００Ｂは、連結ロッド４５０を含み得る。連結ロッドは、任意の適切な形状、長さ、及び／又は断面形状を含んでもよい。様々な実施形態において、連結ロッドは、トラップハウジング１０３の第一端部と第二端部との間に伸びるように構成されてもよい。連結ロッドは、バッフルプレート、相補的バッフルプレート、端部プレート、スペーサー、及び／又は類似のものなどのバッフルプレートスタックの他の構成要素と係合及び／又は連結するように構成されてもよい。様々な実施形態において、連結ロッドの少なくとも一部分は、バッフルプレート、相補的バッフルプレート、端部プレート、及び／又はスペーサーを一緒に固定するための留め具と係合するために、連結ロッド４５０の端部のうちの一つ以上など、ねじ切り（ｔｈｒｅａｄｉｎｇ）を含み得る。
空間及び明瞭化の目的で、図４Ａ及び４Ｂの特定のバッフルプレート構成要素、及び相補的バッフルプレート構成要素に対する参照番号とリード線は、その中に図示された一つ以上の例示的なバッフルプレート又は相補的バッフルプレートに含まれる。しかしながら、このような標識された構成要素は、必要に応じて、同様に標識されたバッフルプレート又は相補的バッフルプレート各々に適用され得る。
様々な実施形態において、各バッフルプレートは、連結ロッドを受容及び／又は係合するように構成された連結孔を備えてもよい。例えば、バッフルプレート３００Ａは、連結ロッド４５０の断面形状に相補的な形状を有する連結孔３４７を備えてもよい。したがって、連結ロッド４５０は、連結孔３４７を通して挿入されてもよく、連結孔３４７は、連結ロッド４５０と係合してもよい。
様々な実施形態において、連結ロッドが連結孔と係合し、バッフルプレートを所望の位置（例えば、ゆえにトラップハウジング１０３内でバッフルプレート３００Ａが連結ロッド４５０の周りを回転しない）に維持し得るように、バッフルプレートの連結孔は非円形状を備えてもよい。様々な実施形態において、バッフルプレートの連結孔は、連結孔を通過する（例えば、連結孔の中心を通る）一本の線のみに対して対称な形状を含み得る。そのように、連結孔は、バッフルプレートを所望の配向に配置する方法でのみ連結ロッドと係合し得る（自己整列機構）。様々な実施形態において、連結ロッドの周りに所望の配向にバッフルプレートを配置するのを支援するために、連結孔は、バッフルプレートの開口部に対する特定の配向で、あるいは特定の角度、及び／又は特定の位置で配置される基準点を含み得る。例えば、連結孔３４７は、特定の角度で配向され得る基準点３４８を備えてもよい（例えば、基準点３４８が第一開口部３３１と整列するように、及び／又は二つの第二開口部３３３の間で整列するように）。
様々な実施形態において、各相補的バッフルプレートは、連結ロッドを受容及び／又は係合するように構成された相補的連結孔を備えてもよい。例えば、相補的バッフルプレート３００Ｂは、連結ロッド４５０の断面形状に相補的である相補的な形状を有する相補的連結孔３６７を備えてもよい。したがって、連結ロッド４５０は、相補的連結孔３６７を通して挿入されてもよく、相補的連結孔３６７は、連結ロッド４５０と係合してもよい。
様々な実施形態において、連結ロッドが相補的連結孔と係合し、相補的バッフルプレートを所望の位置（例えば、ゆえにトラップハウジング１０３内で相補的バッフルプレート３００Ｂが連結ロッド４５０の周りを回転しない）に維持し得るように、相補的バッフルプレートの相補的連結孔は非円形状を備えてもよい。様々な実施形態において、相補的バッフルプレートの相補的連結孔は、連結孔を通過する（例えば、相補的連結孔の中心を通る）一本の線のみに対して対称な相補的な形状を含み得る。そのように、相補的連結孔は、相補的バッフルプレートを所望の配向に配置する方法でのみ連結ロッドと係合し得る（自己整列機構）。様々な実施形態において、連結ロッドの周りに所望の配向に相補的バッフルプレートを配置するのを支援するために、相補的連結孔は、相補的バッフルプレートの相補的開口部に対する特定の相補的な角度で、及び／又は特定の位置に配向される相補的基準点を含み得る。例えば、相補的連結孔３６７は、特定の相補的な角度で配向され得る相補的基準点３６８を備えてもよい（例えば、相補的基準点３６８が相補的第二開口部３６３と整列するように、及び／又は二つの相補的第一開口部３６１の間で整列するように）。
様々な実施形態において、連結孔の基準点、及び相補的連結孔の相補的基準点は、バッフルプレートの開口部が軸に沿ってバッフルプレートの順序において隣接する相補的バッフルプレートの相補的本体部分と（又は相補的開口部の間の空間に半径方向に近接して）整列し得るような配向で、バッフルプレート及び相補的バッフルプレートを配置してもよく、この軸はバッフルプレートの順序に沿って伸びる。様々な実施形態において、相補的連結孔の基準点及び相補的基準点は、相補的バッフルプレートの相補的開口部が軸に沿ってバッフルプレートの順序において隣接するバッフルプレートの本体部分と（又は開口部の間の空間に半径方向に近接して）整列し得るような配向で、バッフルプレート及び相補的バッフルプレートを配置してもよく、この軸はバッフルプレートの順序に沿って伸びる。例えば、連結孔３４７及び基準点３４８は、バッフルプレート３００Ａを配置してもよく、相補的連結孔３６７及び相補的基準点３６８は、相補的バッフルプレート３００Ｂを配置してもよく、その結果、開口部３３３が軸に沿って、相補的開口部３６３の間の空間と整列し、相補的開口部３６３が軸に沿って、開口部３３３の間の空間と整列する。
様々な実施形態において、バッフルプレート及び相補的バッフルプレートは、特定のバッフルプレート配向に配置されて、汚染物質トラップシステム１００の動作中に、それらを通る所望の流体の流れ、及びそれらの上の汚染物堆積を達成してもよい。様々な実施形態において、バッフルプレートスタック内の連結ロッドの周りのバッフルプレート及び相補的バッフルプレートの回転位置は、（例えば、連結孔及び基準点の配向によって、ならびに相補的連結孔及び相補的基準点の配向によって）互いに対してオフセットされ得、その結果バッフルプレートの開口部が、バッフルプレートスタックを伸びる軸に沿って、相補的バッフルプレートの相補的開口部と直列しないように、及び／又は整列しないようにする。さらに、バッフルプレートの開口部は、バッフルプレートスタックに伸びる軸に沿って、バッフルプレートスタック内の隣接する相補的バッフルプレートの相補的本体部分の少なくとも一部分（又は相補的バッフルプレート本体の部分、例えば、相補的開口部の間）と直列、及び／又は整列してもよい。さらに、相補的バッフルプレートの相補的開口部は、バッフルプレートスタックに伸びる軸に沿って、バッフルプレートスタック内の隣接するバッフルプレートの本体部分の少なくとも一部分（又はバッフルプレート本体の部分、例えば、開口部の間）と直列、及び／又は整列してもよい。言い換えれば、様々な実施形態において、連結孔の基準点が、バッフルプレートの開口部と整列されてもよく、相補的連結孔の相補的基準点は、相補的バッフルプレートの相補的本体部分と、又は相補的開口部の間の空間と整列されてもよく、及び／又は連結孔の基準点は、バッフルプレートの本体部分と、又は開口部の間の空間と整列されてもよく、相補的連結孔の相補的基準点は、相補的バッフルプレートの相補的開口部の相補的開口部と整列されてもよい。例えば、基準点３４８は、バッフルプレート３００Ａの開口部と整列されてもよく、相補的基準点３６８は、相補的バッフルプレート３００Ｂの相補的本体部分３６５と整列されてもよい。したがって、バッフルプレート３００Ａの開口部３３１及び３３３は、相補的バッフルプレート３００Ｂの相補的本体部分３６５と、ならびに／又は、相補的開口部３６１及び／もしくは３６３の間の空間と直列及び／又は整列してもよく、相補的バッフルプレート３００Ｂの相補的開口部３６１及び／又は３６３は、バッフルプレート３００Ａの本体部分３３５と、ならびに／又は、開口部３３１及び／もしくは３３３の間の空間と直列及び／又は整列してもよい。
図５Ａ及び５Ｂは、追加的な実施形態による、バッフルプレート５００Ａ及び相補的バッフルプレート５００Ｂを描写する。バッフルプレート５００Ａは、開口部５３３及び本体部分５３５を含み得る。バッフルプレート５００Ａは、基準点５４８を有する連結孔５４７をさらに含み得る。基準点５４８は、開口部５３３に向かって配向されてもよい。開口部５３３は、バッフルプレート５００Ａの中心の周りに等距離であってもよい。
相補的バッフルプレート５００Ｂは、相補的開口部５６３及び相補的本体部分５６５を含み得る。相補的バッフルプレート５００Ｂは、相補的基準点５６８を有する相補的連結孔５６７をさらに含み得る。相補的基準点５６８は、相補的本体部分５６５に向かって配向されてもよい。相補的本体部分５６５は、相補的バッフルプレート５００Ｂの中心の周りで等距離であってもよい。
バッフルプレート５００Ａと相補的バッフルプレート５００Ｂとが連結し得る連結ロッドは、連結孔５４７及び相補的連結孔５６７に対して相補的な断面形状を含み得る。すなわち、連結ロッドは、基準点５４８及び相補的基準点５６８に対して相補的な本体及び突起部を含み得る。連結孔５４７と相補的連結孔５６７、ならびに基準点５４８と相補的基準点５６８の形状及び配向はそれぞれ、バッフルプレートスタック内の連結ロッドの周りのバッフルプレート及び相補的バッフルプレートの回転位置を互いに対してオフセットし得る。したがって、バッフルプレート５００Ａの開口部５３３は、バッフルプレートスタックに伸びる軸に沿って、相補的バッフルプレート５００Ｂの相補的本体部分５６５と、及び／又は相補的開口部５６３の間の空間と直列及び／又は整列してもよく、相補的バッフルプレート５００Ｂの相補的開口部５６３は、バッフルプレートスタックに伸びる軸に沿って、バッフルプレート５００Ａの本体部分５３５と、及び／又は開口部５３３の間の空間と直列及び／又は整列してもよい。
図６Ａ及び６Ｂは、さらなる実施形態による、バッフルプレート６００Ａ及び相補的バッフルプレート６００Ｂを描写する。バッフルプレート６００Ａは、開口部６３３及び本体部分６３５を含み得る。バッフルプレート６００Ａは、基準点６４８を有する連結孔６４７をさらに含み得る。基準点６４８は、本体部分６３５及び／又は開口部６３３の間の空間に向かって配向されてもよい。開口部６３３は、バッフルプレート６００Ａの中心の周りに等距離であってもよい。
相補的バッフルプレート６００Ｂは、相補的開口部６６３及び相補的本体部分６６５を含み得る。相補的バッフルプレート６００Ｂは、相補的基準点６６８を有する相補的連結孔６６７をさらに含み得る。相補的基準点６６８は、相補的開口部６６３に向かって配向されてもよい。相補的開口部６６３は、相補的バッフルプレート６００Ｂの中心の周りで等距離であってもよい。
バッフルプレート６００Ａと相補的バッフルプレート６００Ｂとが連結し得る連結ロッドは、連結孔６４７及び相補的連結孔６６７に対して相補的な断面形状を含み得る。すなわち、連結ロッドは、基準点６４８及び相補的基準点６６８に対して相補的な本体及び突起部を含み得る。連結孔６４７と相補的連結孔６６７、ならびに基準点６４８と相補的基準点６６８の形状及び配向はそれぞれ、バッフルプレートスタック内の連結ロッドの周りのバッフルプレート及び相補的バッフルプレートの回転位置を互いに対してオフセットし得る。基準点６４８は、バッフルプレート６００Ａの本体部分６３５と、及び／又は開口部６３３の間の空間と整列されてもよく、相補的基準点６６８は、相補的バッフルプレート６００Ｂの相補的開口部６６３と整列されてもよい。したがって、バッフルプレート６００Ａの開口部６３３は、バッフルプレートスタックに伸びる軸に沿って、相補的バッフルプレート６００Ｂの相補的本体部分６６５と、及び／又は相補的開口部６６３の間の空間と直列及び／又は整列してもよく、相補的バッフルプレート６００Ｂの相補的開口部６６３は、バッフルプレートスタックに伸びる軸に沿って、バッフルプレート６００Ａの本体部分６３５と、及び／又は開口部６３３の間の空間と直列及び／又は整列してもよい。
図７Ａ及び７Ｂは、様々な実施形態による、バッフルプレート７００Ａ及び相補的バッフルプレート７００Ｂを描写する。バッフルプレート７００Ａは、開口部７３３及び本体部分７３５を含み得る。バッフルプレート７００Ａは、基準点７４８を有する連結孔７４７をさらに含み得る。基準点７４８は、本体部分７３５及び／又は開口部７３３の間の空間に向かって配向されてもよい。開口部７３３は、バッフルプレート７００Ａの中心の周りに等距離であってもよい。
相補的バッフルプレート７００Ｂは、相補的開口部７６３及び相補的本体部分７６５を含み得る。相補的バッフルプレート７００Ｂは、相補的基準点７６８を有する相補的連結孔７６７をさらに含み得る。相補的基準点７６８は、相補的開口部７６３に向かって配向されてもよい。相補的開口部７６３は、相補的バッフルプレート７００Ｂの中心の周りに等距離であってもよい。
バッフルプレート７００Ａと相補的バッフルプレート７００Ｂとが連結し得る連結ロッドは、連結孔７４７及び相補的連結孔７６７に対して相補的な断面形状を含み得る。すなわち、連結ロッドは、基準点７４８及び相補的基準点７６８に対して相補的な本体及び突起部を含み得る。連結孔７４７と相補的連結孔７６７、ならびに基準点７４８と相補的基準点７６８の形状及び配向はそれぞれ、バッフルプレートスタック内の連結ロッドの周りのバッフルプレート及び相補的バッフルプレートの回転位置を互いに対してオフセットし得る。基準点７４８は、バッフルプレート７００Ａの本体部分７３５、又は開口部７３３の間の空間と整列してもよく、相補的基準点７６８は、相補的バッフルプレート７００Ｂの相補的開口部７６３と整列してもよい。したがって、バッフルプレート７００Ａの開口部７３３は、バッフルプレートスタックに伸びる軸に沿って、相補的バッフルプレート７００Ｂの相補的本体部分７６５と、及び／又は相補的開口部７６３の間の空間と直列及び／又は整列してもよく、相補的バッフルプレート７００Ｂの相補的開口部７６３は、バッフルプレートスタックに伸びる軸に沿って、バッフルプレート７００Ａの本体部分７３５と、及び／又は開口部７３３の間の空間と直列及び／又は整列してもよい。
本明細書で論じるバッフルプレート及び相補的バッフルプレートの対のいずれも（又は個々のプレート）、バッフルプレートスタックに投入されてもよい（例えば、バッフルプレートスタック４００Ｂのバッフルプレート３００Ａ及び相補的バッフルプレート３００Ｂを交換するため）。
様々な実施形態において、バッフルプレートスタックの各バッフルプレート及び相補的バッフルプレートの間に、隣接するバッフルプレート及び相補的バッフルプレートを離間するように構成されたスペーサーが存在してもよい。例えば、図４Ｂを参照すると、バッフルプレート３００Ａ及び相補的バッフルプレート３００Ｂは、スペーサー３０３によって分離されてもよい（図２のスペーサー１３３の実施例）。スペーサーは、二つのプレートの間の任意の所望の間隔を達成するために、バッフルスタック中のすべてのプレートの間に配置されてもよい（例えば、バッフルプレートと相補的バッフルプレートとの間、端部プレートとバッフルプレート及び／又は相補的バッフルプレートとの間、など）。こうした間隔は、トラップハウジング１０３、ならびにその中に含まれるバッフルプレート及び相補的バッフルプレートの開口部及び相補的開口部を通って流れる流体気流における所望の圧力降下を達成し得る。
様々な実施形態において、バッフルプレートスタックは、バッフルプレートの順序で、第一及び／又は最後のバッフルプレート（又は相補的バッフルプレート）に隣接して配置される少なくとも一つの端部プレートを備えてもよい。端部プレートは、連結ロッドと係合するように構成された、バッフルプレートの連結孔及び相補的バッフルプレートの相補的連結孔と類似の、端部プレート連結孔を有してもよい。端部プレートは、端部プレートの第一表面と第二表面との間の端部プレート本体を通って配置される、少なくとも一つの端部プレート開口部をさらに備えてもよい。例えば、図４Ａに示すように、端部プレート４１０は、端部プレート開口部４１２を含み得る。端部プレート開口部は、任意の適切な設計又は配列で端部プレートを通って配置されてもよい。様々な実施形態において、開口部を含まない端部プレートの一部分は、端部プレート本体部分であってもよい（例えば、端部プレート本体部分４１４）。
様々な実施形態において、端部プレート（例えば、図４Ａの端部プレート４１０）は、端部プレートの外面がトラップハウジング１０３の内面に隣接及び／又は接触し得るように、トラップハウジング１０３の第一端部又は第二端部の内面に隣接して配置されるように構成され得る。こうした構成は、例えば、汚染物質トラップシステム１００及び／又はトラップハウジング１０３の周りに連結されるように構成されたヒータージャケット（例えば、図８に示すヒータージャケット８００）などの、外部熱源からのバッフルプレートスタック内へのより大きな熱コンダクタンスを可能にし得る。様々な実施形態において、端部プレート（例えば、図４Ｂの端部プレート４２０）は、端部プレートの外面とトラップハウジング１０３の内面との間に空間が存在するように、トラップハウジング１０３の第一端部又は第二端部の内面から離間するように構成され得る。トラップハウジング１０３の内面と端部プレートとの間の空間は、フランジ（例えば、フランジ４２４）を含む端部プレート、又はトラップハウジング１０３の内面と端部プレートとの間に配置されたスペーサーによって達成され得る。こうした構成は、トラップハウジング１０３を通る流体の流れの所望の圧力降下を達成し、及び／又はトラップハウジング１０３及びバッフルプレートスタック（例えば、バッフルプレートスタック４００Ｂ）内の汚染物質堆積のためのより大きな領域を提供し得る。
様々な実施形態において、端部プレートは、端部プレート開口部及び／又は端部プレート開口部配列を含み得、この端部プレート開口部配列は、端部プレート開口部を、バッフルプレートスタック内の隣り合うプレートを通して配置される開口部と直列及び／又は整列させる（例えば、バッフルプレートスタックに伸びる軸に沿って）。例えば、端部プレート４２０の端部プレート開口部４２２は、バッフルプレートスタックに伸びる軸に沿って、バッフルプレート３００Ａの開口部３３１及び／又は３３３と直列及び／又は整列してもよい。それによって、トラップハウジング１０３及びバッフルプレートスタック４００Ｂを進入及び通過する流体が流体入口１０１Ａに近接するほど、プレート上に堆積させる汚染物質がより少なくなり、それによって、汚染物質トラップシステム１００から反応チャンバなどの上流構成要素への汚染物のガス放出のリスクを低減する。
様々な実施形態において、バッフルプレート、相補的バッフルプレート、及び端部プレートを含むバッフルスタック内のプレートは、連結ロッドに連結され、留め具によって固定されてもよい。例えば、留め具４０２（例えば、ねじ、爪、クランプなど）は、（例えば、ねじ切り、力、及び／又は同種のものを介して）連結ロッド４５０と係合し、バッフルプレート３００Ａ、相補的バッフルプレート３００Ｂ、端部プレート４２０及び／又はスペーサー３０３を固定し得る。
様々な実施形態において、留め具４０２は、連結ロッド４５０の端部に配置され得るスリーブ４０７に配置されても、及び／又は連結されてもよい。スリーブ４０７は、留め具４０２と連結ロッド４５０の隣接表面との間にバッファを提供し、ゴーリング（ｇａｌｌｉｎｇ）を回避するように構成されてもよい。
様々な実施形態において、バッフルプレートスタック内の一つ以上のプレートは、どのバッフルプレートスタック位置にどのプレートが配置されるか、バッフルプレートスタックのユーザ又はアセンブラに容易に伝達するためのインジケータを含んでもよい。したがって、様々な実施形態において、例えば、バッフルプレート３００Ａは、ノッチ付きプレート又はそうでなければ印付けされたプレートがバッフルプレート３００Ａであることを容易に示すためのインジケータ３０４（例えば、ノッチ）を備えてもよい。したがって、バッフルプレートスタックのユーザ又はアセンブラは、バッフルプレート及び相補的バッフルプレートの正しい順序が達成されているか否かを容易に識別することができる。本明細書で論じるバッフルプレートスタックのプレートのいずれも、インジケータを備え得る。
様々な実施形態において、バッフルプレートスタックは、構成要素の順序がバッフルプレートスタックのいずれかの端部と同じになるように、パリンドロームであってもよい。図４Ｂに示すように、バッフルプレートスタック４００Ｂは、端部プレート４２０で始まって端部プレート４２０で終わり、またその間に、バッフルプレート３００Ａの奇数個が、偶数個の相補的バッフルプレート３００Ｂとバッフルプレートの順序で交互に並んで、バッフルプレートの順序がバッフルプレート３００Ａで始まりバッフルプレート３００Ａで終わるようになっている。したがって、汚染物質トラップシステムを組み立てる人は、バッフルプレートスタック４００Ｂの上下関係が正しいか、又は上下逆かを心配することなく、バッフルプレートスタック４００Ｂをトラップハウジング１０３に挿入し得る。
本明細書で論じるシステムの構成要素（例えば、トラップハウジング、バッフルプレート、他）は、金属又は金属合金（例えば、鋼、アルミニウム、アルミニウム合金など）、金属酸化物、セラミック材料、及び／又は同類のものなどの任意の適切な材料からなってもよい。
様々な実施形態において、汚染物質トラップシステムを通って流れる流体と相互作用するバッフルプレートスタック又は他の汚染物質トラップシステム構成要素の任意の表面は、汚染物質堆積物を受容し得る（これは、下流の反応器システム構成要素の汚染を避けるために流体から汚染物質を除去するため、本明細書で論じた方法及びシステムの目的である）。したがって、構成要素の利用可能な表面積を増加させるために、表面は、テクスチャ加工されてもよい（例えば、ビードブラストにより）。例えば、バッフルプレート及び相補的バッフルプレートの表面（その外縁を含む）、スペーサー、トラップハウジングの内側壁、開口部及び相補的開口部の縁部、及び／又は任意の他の表面は、テクスチャ加工されてもよい。
様々な実施形態では、バッフルプレート又は他の汚染物質トラップシステム構成要素の利用可能な表面積を増加させるために、こうした構成要素は、焼結材料（例えば、図３Ａに示す、バッフルプレート３００Ａの焼結材料３５０）を含み得る（すなわち、少なくとも部分的にそれからなり得る）。焼結材料は、金属、金属合金、金属酸化物、セラミック材料、及び／又は同種のものなど、任意の適切な材料を含み得る。例えば、焼結材料は、ステンレス鋼、アルミニウム、アルミニウム合金、酸化アルミニウム、窒化ホウ素、及び／又は同種のものを含み得る。
焼結材料を含む汚染物質トラップシステム構成要素を形成するために、粉末材料（例えば、金属、金属合金、金属酸化物、セラミックなど、本明細書に論じた材料のいずれかを含む）を一緒に押し合わせて、物体（例えば、焼結材料のシート又はブロック）を形成してもよい。粉末材料は、任意の適切な温度又は圧力を含む任意の適切な条件下で、任意の適切な期間の間、焼結材料を含む物体を達成するために押され得る。焼結材料を含む物体は、任意の所望の形状に形成されて、汚染物質トラップシステム構成要素を形成してもよい。例えば、焼結材料を含む物体は、（例えば、機械加工、レーザー切断、及び／又は同種のものを介して）切断されて、任意の所望の構成（例えば、バッフルプレート、又は相補的なバッフルプレート、本明細書で論じる構成のいずれか）を有するバッフルプレートなどの所望の形状を形成してもよい。
様々な実施形態において、焼結材料汚染物質トラップシステム構成要素を形成するために使用される粉末は、任意の適切なサイズを含んでもよい。例えば、焼結材料は、０．２濾材グレードから１００グレードの濾材（「濾材グレード」、又はマイクロメートルでの粒子サイズであるその他の類似の用語）、０．２～５濾材グレード、０．５～５濾材グレード、５～１００濾材グレード、５～２０濾材グレード、又は２０～１００濾材グレードのサイズに及ぶ粒子から形成され得る。図１３を参照すると、よりしっかりと又は高密度に充填された焼結材料については、グレード０．２の濾材からなる焼結材料１３０２など、比較的小さな粉末材料を使用してもよい。比較的ゆるく又は低密度に充填された焼結材料については、グレード１００の濾材を含む焼結材料１３１０など、比較的大きな粉末材料を使用してもよい。焼結材料１３０４、１３０６、及び１３０８は、焼結材料を生成するための他の粉末サイズ、それぞれ０．５、５、及び２０の濾材グレードを示す。図１３に示すように、焼結材料間の空間（すなわち、焼結濾材内の細孔）は、その中に流体が移動するための有意な空間を提供し、焼結材料の比較的大量の表面積は、汚染物質が堆積し、捕捉され得る膨大な数の部位を提供する。様々な実施形態において、流体は、トラップ汚染物質システム構成要素の焼結材料を少なくとも部分的に通過してもよい。様々な実施形態では、焼結材料を含むトラップ汚染物質システム構成要素は、固体材料を含む（すなわち、焼結材料の多孔質構造を有しない）トラップ汚染物質システム構成要素の表面積の１０００倍を超える大きさの表面積を含み得る。したがって、焼結材料を含むトラップ汚染物質システム構成要素は、汚染物質を捕捉するのにはるかに効果的かつ効率的であってもよく、トラップ汚染物質システム構成要素のより長い使用を可能にし、またクリーニング及び／又は交換の必要のより少ない頻度を可能にし得る。
様々な実施形態において、汚染物質トラップシステム１００の構成要素は、締付リング１４４によって一緒に締付及び／又は封止されてもよい。締付リング１４４は、上部ハウジング１０３Ａ及び／又は下部ハウジング１０３Ｂの周りに配置されてもよく、汚染物質トラップシステム１００の構成要素を一緒に保持するように締められるように構成されてもよい。
様々な実施形態において、汚染物質トラップシステム内に含まれるトラップ構造は、上で論じたバッフルプレートスタック以外の汚染物質を捕捉するための構造を含んでもよい。例えば、図１０Ａ及び１０Ｂを参照すると、汚染物質トラップシステムは、複数のロッド１０５５を備えるトラップハウジング（例えば、図２に示すトラップハウジング１０３）内に配置されたトラップ構造１０００を備えてもよい。ロッド１０５５は、所望の経路に沿ってロッド１０５５の間に流れる流体を方向付けるように、配列１０５０に配列されてもよい。ロッド１０５５は、トラップ構造１０００内のロッド１０５５に対して安定性を提供し得る構成要素間に伸びることができる。例えば、ロッド１０５５は、バッフルプレート１０１０とベースプレート１０２０とに連結され、及び／又はバッフルプレート１０１０とベースプレート１０２０との間に伸びてもよい。ロッド１０５５は、バッフルプレート１０１０及び／又はベースプレート１０２０に対して実質的に垂直であってもよく、ならびに／あるいはトラップハウジング１０３（図２に示す）の流体入口１０１Ａと流体出口１０１Ｂとの間に伸びる軸に対して実質的に平行であってもよい（この文脈で使用される場合、用語「実質的に」は、それぞれ垂直又は平行からプラス又はマイナス２０度を意味する）。様々な実施形態において、トラップ構造内のロッドは、バッフルプレート及び／又はベースプレートと一体又はモノリシックであってもよい。
様々な実施形態において、図１０Ａ及び１０Ｂに示すように、バッフルプレート１０１０は、バッフルプレート１０１０の内側面１０１１内に配置された凹部１０１４を含み得る。凹部１０１４は、それぞれのロッド１０５５の断面形状に相補的な形状を含み得る。各ロッド１０５５の第一端部１０５２は、それぞれの凹部１０１４内に配置されてもよく、従ってロッド１０５５をバッフルプレート１０１０に連結してもよい。同様に、様々な実施形態において、ベースプレート１０２０は、ベースプレート１０２０の内側面１０２１内に配置された凹部１０２４を備えてもよい（ベースプレート１０２０の内側面１０２１はバッフルプレート１０１０に面してもよい）。凹部１０２４は、それぞれのロッド１０５５の断面形状に相補的な形状を含み得る。各ロッド１０５５の第二端部１０５４は、それぞれの凹部１０２４内に配置されてもよく、従ってロッド１０５５をベースプレート１０２０に連結してもよい。トラップ構造のロッドは、バッフルプレート及び／又はベースプレートのそれぞれの凹部に留まるロッドによって、ベースプレート、バッフルプレート、及びロッド端部にねじ切りを形成したそれぞれの凹部内の緊密な嵌合によって、バッフルプレート及び／又はベースプレートに連結されて、ロッドがベースプレート及び／又はバッフルプレートなどにねじ込まれることを可能にし得る。
様々な実施形態において、ロッドは、バッフルプレート及び／又はベースプレートがロッドを受容するように構成される凹部を有するか否かにかかわらず、例えば、溶接、バッフルプレートとベースプレートとの間の締付、接着剤などを介してなどの任意の適切な様式で、バッフルプレート及び／又はベースプレートに連結されてもよい。
様々な実施形態において、トラップ構造は、トラップ構造の二つ以上の構成要素を連結するように構成され得る、中央支持体（例えば、中央支持体１０２５）を備えてもよい。例えば、トラップ構造１０００の中央支持体１０２５は、バッフルプレート１０１０をベースプレート１０２０に連結し、ロッド１０５５をその間に配置してもよい。中央支持体１０２５は、中央支持体１０２５を通して受容するように構成されたバッフルプレート１０１０の支持孔１０１６を通して配置されてもよい。支持孔１０１６の形状は、中央支持体１０２５の断面形状に相補的であり得る。中央支持体１０２５は、中央支持体１０２５の周りに配置され、バッフルプレート１０１０と接触している留め具（例えば、ナット１００２及び／又はシール１００４）によってバッフルプレート１０１０に連結され、及び／又は固定されてもよい。様々な実施形態において、留め具が中央支持体にねじ切られ、その後ベースプレートに向かって締められてバッフルプレートとベースプレートを一緒に押すように、留め具は、中央支持体のねじ切りに相補的なねじ切りを含んでもよい。したがって、様々な実施形態において、バッフルプレート１０１０とベースプレート１０２０との間に配置されるロッド１０５５は、バッフルプレート１０１０とベースプレート１０２０との間の中央支持体１０２５と留め具１００２からの力によって定位置に保持され得る。中央支持体は、別個の構成要素であってもよく、あるいはトラップ構造のバッフルプレート及び／又はベースプレートと一体又はモノリシックであってもよい。
様々な実施形態において、ロッド１０５５は、ベースプレートの中心領域（例えば、ベースプレート１０２０の中央支持体１０２５での又は近位の部分）の周辺に（すなわち、周りに）配置されてもよい。中心領域は、ロッドを全く備えなくてもよい。中心領域は、ベースプレートを通って配置される一つ以上の流通孔（例えば、流通孔１０２７）を備えてもよく、この流通孔を通って、汚染物質トラップシステム及びトラップ構造を通って流れる流体が流れ得る。したがって、トラップハウジングを通って気流が流れることによって（例えば、図１に示す真空ポンプ２８からの真空圧力によって引き起こされる）、トラップハウジング（下部ハウジング１０３Ｂを含む）を通って流れる流体は、流通孔１０２７を通ってトラップ構造１０００を出て、トラップハウジングの流体出口１０１Ｂを通ってトラップハウジングを出る前に、ロッド１０５５に接触しながらロッド１０５５の配列１０５０を通って流れることを要求され得る。流通孔は、流体出口１０１Ｂと整列してもよく、及び／又は位置がずれてもよい。
様々な実施形態において、トラップ構造内のロッドは、任意の適切な配列で配置されてもよい。例えば、ロッド１０５５は、流体がロッド１０５５の間に流れ得るように、離間して配置されてもよく（すなわち、互いに接触しない）、又は互いに接触していてもよい。ロッドの間隔は、トラップ構造を通って流れる流体に対して回旋状経路を提供し、ゆえに流体がより多くの表面に接触し、流体中の汚染物質がトラップ内のこうした表面上に堆積される可能性を高め得る。ロッドは、任意の適切な形状又は長さを含んでもよい。例えば、ロッドは、円形の断面形状（図１０Ａ及び１０Ｂに示すもののような）を備えてもよく、又はロッドは、例えば、六角形、八角形、三角形、又は正方形の断面形状、又は任意の他の適切な断面形状を備えてもよい。別の実施例として、ロッドは、約２ミリメートル（ｍｍ）の断面長さ（例えば、円の直径）を有してもよい（この文脈で使用される場合、「約」はプラス又はマイナス０．５ｍｍを意味する）。別の実施例として、ロッドは、約２０センチメートル（ｃｍ）の長さ（例えば、バッフルプレートとベースプレートとの間を伸びる距離）を有してもよい（この文脈で使用される場合、「約」はプラス又はマイナス５ｃｍを意味する）。ロッドは、高い表面積対体積比、例えば、少なくとも５０：１、少なくとも１００：１、少なくとも１５０：１、又は少なくとも２００：１の表面積対体積比を含んでもよい。様々な実施形態において、ロッドは、ロッドに沿ってねじ切ったテクスチャ加工された外面、又は、その上の汚染物質堆積のためにロッドの外表面積を増加させるように構成された任意の他の構造を含み得る。
トラップ構造のロッドは、鋼、アルミニウム、又は任意の他の金属、又はその合金、セラミック材料、又はこれに類するものなどの任意の適切な材料を含み得る。様々な実施形態において、ロッドは、本明細書で論じるように、焼結材料を備えてもよい。
様々な実施形態において、トラップ構造のベースプレート（例えば、ベースプレート１０２０）は、トラップハウジング内に配置され、トラップ構造の他の構成要素を支持してもよい。様々な実施形態において、ベースプレート１０２０の外側（内側面１０２１の反対側）は、トラップハウジングのハウジング底部表面（ハウジング底部表面１０２）から離間して配置されてもよい。トラップハウジング底部表面から離間されたベースプレートを支持するために、トラップハウジングは、トラップハウジングから突出する支持体（例えば、支持体１００６）を備えて、ベースプレートを定位置に保持し得る。例えば、支持体１００６はトラップハウジングの内側壁から突出して、ベースプレート１０２０を、トラップハウジングの底部表面１０２から離間して、定位置に支持し得る。様々な実施形態において、支持体は、トラップハウジングの別の表面から、例えば、底部表面から、突出して、ベースプレートを定位置に保持し得る。様々な実施形態において、ベースプレート外面は、トラップハウジング底部表面にぶつかって、又はトラップハウジング底部表面に隣接して配置されてもよい。
様々な実施形態において、トラップ構造のバッフルプレート（例えば、バッフルプレート１０１０）は、トラップハウジングに入る流体の流れに特定の経路（例えば、ロッド１０５５の周り及びロッド１０５５と接触する流体の流れを増加させる、及び／又は流体からの汚染物質の除去を増加させる経路）を取らせることができる。バッフルプレート１０１０は、ロッド１０５５の第一端部１０５２の周りを移動する流体の流れを低減又は防止し得る。すなわち、バッフルプレート１０１０は、バッフルプレート１０１０とロッド１０５５の第一端部１０５２との間に少なくとも部分的シールを形成し得る。様々な実施形態において、バッフルプレート１０１０の形状は、バッフルプレート縁部１０１２がトラップハウジングの内側壁に接触しないように、トラップハウジングの断面形状よりも小さくてもよい。したがって、バッフルプレート縁部とトラップハウジングの内側壁との間に、及び／又はロッド１０５５とトラップハウジングの内側壁との間に、空間が存在し得る（例えば、下部ハウジング１０３Ｂの内側壁とバッフルプレート縁部１０１２及び／又はロッド１０５５との間の空間１０７５）。バッフルプレート１０１０は、トラップハウジング内の流体の流れの少なくとも一部分を、バッフルプレート縁部１０１２の周りを、ロッド１０５５の配列１０５０に向かって、かつそれを通って（例えば、空間１０７５を通って）、流通孔１０２７に向かって流すように構成されてもよい。
様々な実施形態において、ベースプレートは、トラップハウジングの内側壁で少なくとも部分的シールを形成してもよい。例えば、ベースプレート１０２０の外縁は、流体がその間をほとんど、又は全く通過しないように、下部ハウジング１０３Ｂの内側壁にぶつかって又は隣接して配置されてもよい。したがって、トラップ構造１０００を通って流れる流体は、バッフルプレート１０１０の周りに向けられて（及び／又はそれを通って配置される孔を含むバッフルプレートを通って）、ロッド１０５５の配列１０５０を通って流れ、流通孔１０２７を通ってトラップ構造１０００を出てもよい。したがって、流体中の汚染物質は、ベースプレート１０２０とトラップハウジングの内側壁との間の流体の流れがほとんど又は全くない状態で、トラップ構造（例えば、ロッド１０５５の外面１０５３、バッフルプレート１０１０、ベースプレート１０２０など）の表面上に堆積し得る。
トラップ構造１０００の構成要素の配列は、それを通るより大きな熱コンダクタンスを可能にし得る。トラップ構造の加熱は、トラップシステム構成要素上の汚染物質膜の成長率の増加、ならびに密度の増加及びフレーキングの減少などの捕捉された汚染物質膜の特性の改善を可能にし得る。熱エネルギーは、熱エネルギーが外部から提供されるか及び／又は内部で提供されるかにかかわらず、ベースプレート、ロッド、及び／又はバッフルプレートを通して容易に移動し得る。様々な実施形態において、トラップ構造１０００は、例えば、トラップ構造１０００を含む、汚染物質トラップシステム及び／又はトラップハウジングの周りに連結される、ヒータージャケット（例えば、図８に示すヒータージャケット８００）によって、外部から加熱されてもよい。様々な実施形態において、トラップ構造１０００は、例えば、トラップ構造１０００の構成要素内に配置されるか、又はそれに連結されるヒーター（例えば、図１０Ｂに示すヒーター１０２６）によって、内部で加熱されてもよい（例えば、ベースプレート１０２０及び／又はヒーター１０２６を含む中央支持体１０２５の中）。特にロッド１０５５が、鋼又はアルミニウム（又はその合金）などの金属材料を含む実施形態では、熱エネルギーは、（ヒーター１０２６から、及び／又はトラップハウジングを通してヒータージャケットから熱エネルギーを受容する）ベースプレート１０２０、ロッド１０５５、及びバッフルプレート１０１０の間で容易に移動する。
様々な実施形態において、バッフルプレート１０１０とベースプレート１０２０との間に配置されるロッド１０５５を備えるトラップ構造１０００などのトラップ構造は、汚染物質が堆積し得る豊富な表面積を提供することに加えて、再使用可能であること、及び容易なメンテナンスの有益性も有し得る。使用されている、及び／又は汚染物質で飽和されているトラップ構造１０００に応じて、トラップ構造１０００の構成要素（例えば、ロッド１０５５、バッフルプレート１０１０、及びベースプレート１０２０）は、分解され（及び／又はトラップハウジングから取り外され）、容易に清掃され、そしてその後の使用のために再組み立てされ得る。トラップ構造は、例えば、留め具１００２を中央支持体１０２５から分離することによって分解され得る。一つ以上の構成要素が損傷しているか、あるいは交換が必要な場合、そのような交換は容易に完了することができる。トラップ構造用の他の既存の構成要素は、一回限りの使用の品目であり、及び／又は清掃が困難である。
様々な実施形態において、汚染物質トラップシステム内に含まれるトラップ構造は、それを通して流体が流れ得る複数の管を備えてもよい。各管は、管の全長を貫通して配置されるボア（例えば、ボア１１５７）を備えてもよく、これにより、汚染物質が管の内面及び外面上に堆積することが可能になる。例えば、図１１を参照すると、トラップ構造１１００は、管１１５５の配列１１５０を含み得る。トラップ構造１１００は、管１１５５がトラップハウジング頂部表面と底部表面との間に少なくとも部分的に伸びるように（例えば、トラップハウジングを通る流体の流れの方向に沿って、及び／又はトラップハウジング１０３（図２に示す）の流体入口１０１Ａと流体出口１０１Ｂとの間に伸びる軸に対して実質的に平行に、（この文脈で使用される場合、「実質的に」という用語は、平行からプラス又はマイナス２０度を意味する））、トラップハウジング（例えば、図２に示すトラップハウジング１０３）に配置され得る。トラップ構造における管の配列は、管配列の外周部上の管がトラップハウジングの内側壁に当接し得るか、又は隣接して配置され得るように、トラップハウジングの形状に相補的であり得る。例えば、管１１５５の配列１１５０は、六角形のトラップハウジングに配置されるように構成されてもよい。様々な実施形態において、トラップ構造用の管配列の管は、円形のトラップハウジング内に（例えば、図１０Ａに示す下部トラップハウジング１０３Ｂ内に）配置されるように構成された円形配列を備え得る。
管は、互いに対して任意の適切な様式で配列されてもよい。管配列は、管の間の空間を制限又は最小化するように構成され得る。例えば、図１１に示すように、様々な実施形態によると、管１１５５は、六角形にまとめられてもよく、その結果、各管１１５５（外周部の管を除く）は、六本の管１１５５で囲まれ得る。したがって、各管１１５５（外周部の管を除く）は、六本の他の管１１５５に当接し得るか、又は接触し得る。この六角形パッキングは、管１１５５の均一なパッキングを可能にし、その間の空間を制限し、円形の管による高密度のパッキングを提供する。こうした高密度のパッキングは、管の互いに対するずれを防止する。また、管の六角形パッキングは、接触している管の間に凹面を有する三角形の空間（例えば、空間１１５９）を形成する。管の間のこれらの空間は、流体が通過するための追加の空間、及び汚染物質が堆積し得る追加の表面積（管の外側の）となり得る。管の六角形パッキングは、管配列の外側形状に必ずしも適用されず、円形の外側形状を有する管配列で実施されてもよい。
トラップ構造の管は、任意の適切な形状又は寸法を含んでもよい。様々な実施形態において、管は、円形断面の外側形状（例えば、管１１５５）、又は管の所望の配列を可能にするように構成された任意の他の適切な断面形状を含み得る。様々な実施形態において、管のボアは、円形の断面形状（例えば、ボア１１５７）、又は任意の他の適切な断面ボア形状を含んでもよい。様々な実施形態において、管は、およそ２ミリメートル（ｍｍ）の断面長さ（例えば、管１１５５の外径）を有してもよい。様々な実施形態において、管は、およそ１ｍｍの内径（例えば、ボア１１５７の直径などの、ボアを渡る長さ）を有してもよい（この文脈で使用される場合、「およそ」は、プラス又はマイナス０．５ｍｍを意味する）。様々な実施形態において、管は、およそ２０センチメートル（ｃｍ）の長さを有してもよい（この文脈で使用される場合、「およそ」はプラス又はマイナス５ｃｍを意味する）。管は、高い表面積対体積比、例えば、少なくとも５０：１、少なくとも１００：１、少なくとも１５０：１、又は少なくとも２００：１の表面積対体積比を含んでもよい。例えば、約２ｍｍの外径及び１ｍｍの内径を有し、約１９ｃｍの直径を有するトラップハウジングを充填する、およそ２０ｃｍの長さの六角形パッキング配列の管は、汚染物質堆積を受容するための有意な表面積を提供する。こうした実施例における管のボアの表面積は、およそ６平方メートルの捕捉表面を提供し、管の間の間隙（例えば、空間１１５９）は、６平方メートルをわずかに下回る捕捉面積を提供し、総表面積約１２平方メートルとなる。反応器における典型的な堆積プロセスが、トラップ内に３平方マイクロメートルの汚染物質堆積物を生成すると仮定すると、考察した配列及び寸法の管を備えるトラップ構造によって提供される表面積は、メンテナンス又は交換を必要とする前に、同トラップ構造を多数の堆積サイクルに使用することを可能にする。
様々な実施形態において、管の外面、及び／又は内面は、外面及び／又は内面に沿ってねじ切りされたテクスチャ加工された外面、又は、その上の汚染物質堆積のために管の外表面積を増加させるように構成された任意の他の構造を含み得る。
トラップ構造の管は、鋼、アルミニウム、又は任意の他の金属、又はその合金、セラミック材料、又はこれに類するものなどの任意の適切な材料を含み得る。様々な実施形態において、管は、本明細書で論じるように、焼結材料を含んでもよい。
様々な実施形態において、管は、接着剤、溶接、及び／又は緊密な嵌合など、任意の適切な様式で、トラップハウジング内に連結されてもよい。図１１に示すように、管１１５５は、締付リング（締付リング１１４に類似）、ベルト、弾性バンド、又はこれに類するものであり得るテンショニング装置１１８８によって、配列１１５０を維持するように共に連結される。
様々な実施形態において、管１１５５の配列１１５０は、少なくとも一つの支持体１１２５を含み得る。支持体１１２５は、少なくとも配列１１５０の底部から外向きに突出するロッド又は他の構造であってもよい（すなわち、支持体１１２５は管１１５５より、トラップハウジングの底部表面までより近く延在する）。様々な実施形態において、管の配列は、複数の支持体（例えば、図１１に示す、三つの支持体１１２５）を備え得る。支持体１１２５は、管１１５５の底部とトラップハウジングの底部表面（例えば、図１０Ａに示すような、トラップ構造１１００が下部トラップハウジング１０３Ｂに配置される場合の底部表面１０２）との間に空間が存在するように、管１１５５の配列１１５０を支持するように構成され得る。同様に、トラップハウジング内に配置されるとき、管１１５５の頂部とトラップハウジングの頂部表面との間に空間があってもよい。例えば、管配列１１５０は、（例えば、トラップハウジングの上部及び下部ハウジングが嵌合し合う方法が理由で）管１１５５の頂部とトラップハウジングの頂部表面との間に空間を生じさせるようなトラップハウジング内の位置に、単に留まるだけでもよい。別の実施例として、支持体１１２５はまた、配列１１５０の頂部から外向きに突出してもよい（すなわち、支持体１１２５は管１１５５より、トラップハウジングの頂部表面により近く延在する）。したがって、トラップハウジングのリッド又は上部ハウジングがトラップ構造上に配置される場合、リッド又は上部ハウジングは、支持体１２５の先端にぶつかって留まるようになり、それによって、トラップハウジングの頂部表面と管１１５５の頂部との間の空間ができる。こうした空間は、（例えば、図２に示す流体入口１０１Ａを通して）トラップハウジング内に流体が流れ込み分散することを可能にし、より多くの管１１５５を利用して汚染物質を捕捉する。
様々な実施形態において、孔、シャワーヘッド、又は類似のものを有するバッフルプレートなどの構造は、所望の様式でトラップハウジングの管配列の上方に配置されてトラップハウジングの管配列へ流れ込む流体を分散し、管によって提供される表面積の利用度を高め得る。
トラップ構造１１００の構成要素の配列は、それを通るより大きな熱コンダクタンスを可能にし得る。トラップ構造の加熱は、トラップシステム構成要素上の汚染物質膜の成長率の増加、ならびに密度の増加及びフレーキングの減少などの捕捉された汚染物質膜の特性の改善を可能にし得る。熱エネルギーは、熱エネルギーが外部から提供されるか及び／又は内部で提供されるかにかかわらず、トラップハウジング、支持体１１２５、及び／又は管を通して容易に移動し得る。様々な実施形態において、トラップ構造１１００は、例えば、トラップ構造１１００を含む、汚染物質トラップシステム及び／又はトラップハウジングの周りに連結される、ヒータージャケット（例えば、図８に示すヒータージャケット８００）によって、外部から加熱されてもよい。様々な実施形態において、トラップ構造１１００は、例えば、管１１５５の配列１１５０に配置されるヒーターによって、内部で加熱されてもよい。例えば、管配列内の管（例えば、配列の中心にある又は中心に近い管）は、ヒーターで置換されてもよく、及び／又は支持体１２５が、ヒーターであってもよく、又はヒーターを含んでもよい。特に管１１５５が、鋼又はアルミニウム（又はその合金）などの金属材料を含む実施形態では、熱エネルギーは、管１１５５、及び／又は支持体１１２５を通って容易に移動する（例えば、トラップハウジングを通してヒータージャケットから、又は内部ヒーターから熱エネルギーを受容する場合）。
様々な実施形態において、管１１５５を備えるトラップ構造１１００などのトラップ構造は、汚染物質が堆積し得る豊富な表面積を提供することに加えて、再使用可能であること、及び容易なメンテナンスの有益性も有し得る。使用されている、及び／又は汚染物質で飽和されているトラップ構造１１００に応じて、トラップ構造１１００の構成要素（例えば、管１１５５、支持体１１２５、テンショニング装置１１８８）は、容易にトラップハウジングから取り外され、及び／又は分解され、清掃され、そしてその後の使用のために再組み立てされ得る。トラップ構造は、例えば、テンショニング装置１１８８を管１１５５から分離することによって分解され得る。一つ以上の構成要素が損傷しているか、あるいは交換が必要な場合、そのような交換は容易に完了することができる。
様々な実施形態において、汚染物質トラップシステム内に含まれるトラップ構造は、それを通して流体が流れ、及びその上に汚染物質を堆積させ得る波形シートを備えてもよい。図１２を参照すると、様々な実施形態によると、波形トラップ構造１２００は、非波形シート１２８０に連結された波形シート１２５０を含み得る。波形シート１２５０と非波形シート１２８０との間の空間１２６０は、流体がそれを通って流れることを可能にし、汚染物質が、シートによって空間１２６０の中に提供された表面積上に堆積することを可能にし得る。波形トラップ構造１２００は、空間１２６０がトラップハウジングの頂部表面と底部表面との間に少なくとも部分的に伸びるように（例えば、トラップハウジングを通る流体の流れの方向に沿って）、トラップハウジング（例えば、図２に示すトラップハウジング１０３）内に配置されてもよい。シート１２５０及び１２８０は、任意の適切な形状（例えば、図１２に示すような円形形状、又は正方形、三角形、長方形、六角形、又は八角形形状）でらせん状にされ得る。らせん状のシートの外側形状は、トラップ構造が配置されるトラップハウジングの形状に相補的であり得る。例えば、波形トラップ構造１２００は、図２に示すトラップハウジング１０３のような、円形のトラップハウジングに配置されるように構成され得る。したがって、波形シート又は非波形シートは、トラップハウジングの内側壁に当接し得るか、又は隣接して配置され得る。波形シート及び非波形シートは、中央空隙１２０５が減少又は最小化されてこの中央空隙１２０５を通って流れる流体が、波形トラップ構造１２００を通る他の経路とは対照的に、空間１２６０を通って流れるように、らせん状にされ、又は配列され得る。
様々な実施形態において、波形トラップ構造１２００は、少なくとも一つの支持体（例えば、図１１の支持体１１２５）を備え得る。支持体は、波形トラップ構造１２００の底部及び／又は頂部から外向きに突出するロッド又は他の構造であってもよい。こうした支持体は、波形トラップ構造１２００の底部及び／又は頂部と、トラップハウジングの底部表面及び／又は頂部表面との間に空間があるように、波形トラップ構造１２００を支持するように構成されてもよい。したがって、波形トラップ構造１２００の底部とトラップハウジングの底部表面との間に、及び／又は波形トラップ構造１２００の頂部とトラップハウジングの頂部表面との間に、空間が作られ得る。こうした空間は、（例えば、図２に示す流体入口１０１Ａを通って）トラップハウジング内に流れる流体が分散して、より多くの空間１２６０を利用し（すなわち、流れ込み）、汚染物質を捕捉することを可能にする。
波形トラップ構造は、鋼、アルミニウム、又は任意の他の金属、又はその合金、セラミック材料、又はこれに類するものなどの任意の適切な材料を含み得る。様々な実施形態において、波形トラップ構造は、本明細書で論じるように、焼結材料を含んでもよい。
様々な実施形態において、孔、シャワーヘッド、又は類似のものを有するバッフルプレートなどの構造は、所望の様式でトラップハウジングの波形トラップ構造の上方に配置されてトラップハウジングの波形トラップ構造へ流れ込む流体を分散し、汚染物質堆積のために提供される表面積の利用度を高め得る。
波形トラップ構造１２００の構成要素の配列は、それを通るより大きな熱コンダクタンスを可能にし得る。トラップ構造の加熱は、トラップシステム構成要素上の汚染物質膜の成長率の増加、ならびに密度の増加及びフレーキングの減少などの捕捉された汚染物質膜の特性の改善を可能にし得る。熱エネルギーは、熱エネルギーが外部から提供されるか及び／又は内部で提供されるかにかかわらず、波形トラップ構造１２００を通して容易に移動し得る。様々な実施形態において、波形トラップ構造１２００は、例えば、波形トラップ構造１２００を含む、汚染物質トラップシステム及び／又はトラップハウジングの周りに連結されるヒータージャケット（例えば、図８に示すヒータージャケット８００）によって、外部から加熱されてもよい。様々な実施形態において、波形トラップ構造１２００は、例えば、空隙１２０５を通して配置されるヒーター、又は空隙１２０５を通して配置される支持体内に含まれるヒーターによって、内部で加熱されてもよい。特に波形トラップ構造１２００が、鋼又はアルミニウム（又はその合金）などの金属材料を含む実施形態では、熱エネルギーは、波形トラップ構造１２００を通って容易に移動する（例えば、トラップハウジングを通してヒータージャケットから、又は内部ヒーターから熱エネルギーを受容する場合）。
様々な実施形態において、汚染物質トラップシステム、及びそれに含まれる構成要素は、任意の構成要素を連結させるために、接着剤も他の連結材料も全く含まなくてもよい。接着剤、エポキシ、又は他の連結材料が存在しないことにより、そのような連結材料の、ガス放出する及び反応チャンバへ移動してその中で汚染物質として作用するリスクが軽減される。さらに、かかる連結材料がないと、本明細書で論じるシステムの構成要素は、高温、例えば、１２０℃超での劣化の影響を受けない可能性がある。したがって、汚染物質トラップシステム（例えば、図２の汚染物質トラップシステム１００）及びその中に含まれるトラップ構造は、連結材料を含む汚染物質トラップシステムと比べて、反応器システムの反応チャンバ（例えば、図１の反応器システム５０の反応チャンバ４）のより近くに移動され得る。したがって、本明細書で論じる実施形態による汚染物質トラップシステムを有する反応器システムは、よりコンパクトであり得、及び／又はより実現可能な構成及び特別な配列を有し得る。
本明細書で論じる汚染物質トラップシステムは、表面積を増加させるように構成され、それによって流体がその表面積を通って流れて接触し、その表面積上に汚染物質を堆積させるより多くの機会を可能にし得る。したがって、例えば、本明細書で論じるように、バッフルプレートの開口部は、バッフルプレートスタック内の隣接する相補的バッフルプレートの相補的開口部と整列せず、及び／又は直列でなくてもよい。別の実施例として、流体がトラップ構造を出ることを可能にする、ロッドの配列の外周部から流通孔（例えば、流通孔１０２７）への非線形経路が存在するように、ロッド（例えば、ロッド１０５５）を配列してもよい。さらに別の実施例として、波形トラップ構造（例えば、波形トラップ構造１２００）を通る管（例えば、管１１５５）及び／又は空間（例えば、空間１２６０）は、流体内の汚染物質が、波形トラップ構造を通る管又は経路内の表面上に堆積することを可能にし得る。
図９は、様々な実施形態による、反応システムの汚染物質トラップシステムを通して流体を流す方法９００を示す。図２及び図４Ｂを追加的に参照すると、流体は、反応チャンバ（例えば、図１の反応チャンバ４）から、汚染物質トラップシステム（例えば、図２の汚染物質トラップシステム１００）に流れてもよい（工程９０２）。汚染物質トラップシステム１００は、トラップハウジング１０３の流体入口１０１Ａ及び流体出口１０１Ｂを含み得る。流体は、流体入口１０１Ａを通り、汚染物質トラップシステム１００内に流れてもよい。流体は、汚染物質トラップシステムが流体から除去するように構成される材料を含んでもよい（例えば、汚染物質）。
様々な実施形態において、流体は、汚染物質トラップシステム内に含まれる汚染トラップ構造を通って流れてもよい（工程９０４）。トラップ構造は、本明細書で論じる構造配列など、汚染物質を流体から収集するための任意の適切な構造配列を含み得る。様々な実施形態において、汚染トラップ内のトラップ構造は、汚染物質トラップシステム１００にバッフルプレートスタック４００Ｂ（例えば、図２のバッフルプレートスタック１３０の例）を備えてもよい。したがって、流体は、複数の相補的バッフルプレート３００Ｂとバッフルプレートの順序において交互の位置になっている複数のバッフルプレート３００Ａを通って流れてもよい。流体はまた、バッフルプレートスタックのいずれかの端部上で、バッフルプレートスタックに含まれる少なくとも一つの端部プレート（例えば、端部プレート４２０）を通って流れてもよい。様々な実施形態において、流体は、本明細書で論じるように、ロッド、管、及び／又は波形シート及び非波形シートを備えるトラップ構造を通って流れてもよい。
バッフルプレートスタック４００Ｂを通って流れるために、流体は、端部プレート開口部４２２を介して第一端部プレート４２０を通って、及び／又は端部プレート４２０の外縁の周りに流れてもよい。バッフルプレートスタック４００Ｂのバッフルプレートの順序を通って流れる際に、流体は、バッフルプレート３００Ａの頂部表面３２２及び底部表面３２４、相補的バッフルプレート３００Ｂの相補的頂部表面３５２及び相補的底部表面３５４と接触し、バッフルプレート３００Ａの開口部３３１及び３３３、ならびに相補的バッフルプレート３００Ｂの相補的開口部３６１及び３６３を通過し得る。バッフルプレート３００Ａの開口部３３１及び３３３はバッフルプレート３００Ａを通して配置され得、そして開口部３３１及び３３３が相補的バッフルプレート３００Ｂの相補的本体部分３６５と整列され得るように、相補的バッフルプレート３００Ｂと整列され得る。したがって、バッフルプレート３００Ａの開口部３３１及び３３３を通って流れることに応答して、流体は、バッフルプレートスタック４００Ｂ内の後続する相補的バッフルプレート３００Ｂの相補的本体部分３６５と接触し得る。次の相補的バッフルプレート３００Ｂの相補的本体部分３６５に接触することに応答して、流体は、流体出口１０１Ｂに向かって、及びこうした相補的バッフルプレート３００Ｂの相補的開口部３６１及び３６３を通って流れてもよい。相補的バッフルプレート３００Ｂの相補的開口部３６１及び３６３は相補的バッフルプレート３００Ｂを通して配置され得、そして相補的開口部３６１及び３６３がバッフルプレート３００Ａの本体部分３３５と整列され得るように、バッフルプレート３００Ａと整列され得る。したがって、相補的バッフルプレート３００Ｂの相補的開口部３６１及び３６３を通って流れることに応答して、流体は、バッフルプレートスタック４００Ｂ内の後続するバッフルプレート３００Ａの本体部分３３５と接触し得る。次のバッフルプレート３００Ａの本体部分３３５に接触することに応答して、流体は、流体出口１０１Ｂに向かって、及びこうしたバッフルプレート３００Ａの開口部３３１及び３３３を通って流れてもよい。
流体の流れは、流体がバッフルプレートの順序で最終プレートを通過するまで、バッフルプレート３００Ａ及び相補的バッフルプレート３００Ｂのバッフルプレートの順序を通るこの流れパターンに従う。流体は、バッフルプレートスタック４００Ｂの第二端部上の端部プレート４２０を通って流れ、こうした端部プレート４２０の表面と接触し、端部プレート開口部４２２を通って流れてもよい。流体は、バッフルプレートスタック４００Ｂを通って流れている間、バッフルプレート３００Ａ及び相補的バッフルプレート３００Ｂの外縁と外壁１０５の内側壁表面との間でさらに流れ、それらの表面と相互作用し、接触し得る。
様々な実施形態において、ロッドを有するトラップ構造（例えば、トラップ構造１０００）を通って流れるために、流体は、バッフルプレート１０１０の周りに接触しながら流れ空間１０７５内に流れてもよい。その後、流体は、ロッド１０５５の配列１０５０を通って移動し、流通孔１０２７を通ってトラップ構造１０００から出る前に、ロッド１０５５と接触してもよい。
様々な実施形態において、管を有するトラップ構造（例えば、トラップ構造１１００）を通って流れるために、流体は、トラップ構造１１００を出る前に、管１１５５を通って流れてもよい。
様々な実施形態において、波形トラップ構造（例えば、波形トラップ構造１２００）を通って流れるために、流体は、波形トラップ構造１２００を出る前に、空間１２６０を通って流れてもよい。
上述の表面（例えば、バッフルプレート、相補的バッフルプレート、端部プレート、外壁１０５の内側壁表面、ロッド１０５５、管１１５５、波形及び非波形シート１２５０及び１２８０など）に接触する流体に応答して、流体中に含まれる汚染物質は、汚染物質トラップシステム及びその中に配置されたそれぞれのトラップ構造の表面上に、流体から堆積又は収集され得る（工程９０６）。汚染物質トラップシステムにおける表面、及び表面の互いに対する位置は、こうした汚染物質堆積が発生し得る表面積の増大を提供する。表面の一部は、さらなる利用可能な表面積を提供するためにテクスチャリングを含んでもよい。
様々な実施形態において、流体は、流体出口１０１Ｂを通って流れ、汚染物質トラップシステムから出てもよい（工程９０８）。
本開示の例示的な実施形態が本明細書に記載されているが、本開示はそれに限定されないことを理解されたい。例えば、反応器、及び汚染物質トラップシステムは様々な特定の構成に関連して説明されているが、本開示は必ずしもこれらの例に限定されない。本開示の趣旨及び範囲から逸脱することなく、本明細書に記載のシステム及び方法の様々な変更、変形、及び改良を行うことができる。
本開示の主題は、本明細書に開示される様々なシステム、構成要素、及び構成、ならびに他の特徴、機能、動作、及び／又は特性のすべての新規かつ非自明な組み合わせ及び部分的組み合わせ、ならびにその任意の及びすべての均等物を含む。
４ 反応チャンバ
６ サセプタ
８ 流体分配システム
１０ 反応物質源
１２ 反応物質源
１４ パージガス源
１６、１８、２０ ライン
２２、２４、２６ バルブもしくはコントローラ
２８ 真空ポンプ
３０ 基材
４０ 汚染物質トラップシステム
１００ 汚染物質トラップシステム
１０１Ａ 流体入口
１０１Ｂ 流体出口
１０２ 底部表面
１０３ トラップハウジング
１０３Ａ 上部ハウジング
１０３Ｂ 下部ハウジング
１０５ 外壁
１２５ 支持体
１３０ バッフルプレートスタック
１３２ バッフルプレート
１３３ スペーサー
１３４ 相補的バッフルプレート
１３６Ａ 第一端部プレート
１３６Ｂ 第二端部プレート
１４４ 締付リング
３００Ａ バッフルプレート
３００Ｂ 相補的バッフルプレート
３０３ スペーサー
３０４ インジケータ
３２２ 頂部表面
３２４ 底部表面
３２５ 開口部分
３２６ バッフルプレート外縁
３３１ 開口部
３３３ 開口部
３３５ 本体部分
３４７ 連結孔
３４８ 基準点
３５２ 相補的頂部表面
３５４ 相補的底部表面
３５５ 開口部分
３５６ 相補的バッフルプレート外縁
３６１ 相補的開口部
３６３ 相補的開口部
３６５ 相補的本体部分
３６７ 相補的連結孔
３６８ 相補的基準点
４００Ｂ バッフルプレートスタック
４０２ 留め具
４０７ スリーブ
４１０ 端部プレート
４１２ 端部プレート開口部
４１４ 端部プレート本体部分
４２０ 端部プレート
４２２ 端部プレート開口部
４２４ フランジ
４５０ 連結ロッド
５００Ａ バッフルプレート
５００Ｂ 相補的バッフルプレート
５３３ 開口部
５３５ 本体部分
５４７ 連結孔
５４８ 基準点
５６３ 相補的開口部
５６５ 相補的本体部分
５６７ 相補的連結孔
５６８ 相補的基準点
６００Ａ バッフルプレート
６００Ｂ 相補的バッフルプレート
６３３ 開口部
６３５ 本体部分
６４７ 連結孔
６４８ 基準点
６６３ 相補的開口部
６６５ 相補的本体部分
６６７ 相補的連結孔
６６８ 相補的基準点
７００Ａ バッフルプレート
７００Ｂ 相補的バッフルプレート
７３３ 開口部
７３５ 本体部分
７４７ 連結孔
７４８ 基準点
７６３ 相補的開口部
７６５ 相補的本体部分
７６７ 相補的連結孔
７６８ 相補的基準点
８００ ヒータージャケット
１０００ トラップ構造
１００２ 留め具
１００４ シール
１００６ 支持体
１０１０ バッフルプレート
１０１１ 内側面
１０１２ バッフルプレート縁部
１０１４ 凹部
１０１６ 支持孔
１０２０ ベースプレート
１０２１ 内側面
１０２４ 凹部
１０２５ 中央支持体
１０２６ ヒーター
１０２７ 流通孔
１０５０ 配列
１０５２ 第一端部
１０５３ 外面
１０５４ 第二端部
１０５５ ロッド
１０７５ 空間
１１００ トラップ構造
１１２５ 支持体
１１５０ 管配列
１１５５ 管
１１５７ ボア
１１５９ 空間
１１８８ テンショニング装置
１２００ 波形トラップ構造
１２０５ 中央空隙
１２５０ 波形シート
１２６０ 空間
１２８０ 非波形シート

Claims (20)

  1. 反応器システムの汚染物質トラップシステムであって、
    ハウジング外壁を備えるトラップハウジングと、
    前記トラップハウジング内に配置された第一バッフルプレートであって、前記第一バッフルプレートが焼結材料を含み、前記第一バッフルプレートは、流体が前記トラップハウジングの第一端部から第二端部へと通過するときに、流体が前記第一バッフルプレートを通過することを可能にするように構成され、前記焼結材料は、前記流体が前記焼結材料と接触する時に前記流体から汚染物質を収集するように構成される、第一バッフルプレートと、を備える、汚染物質トラップシステム。
  2. 前記焼結材料が、金属材料又はセラミック材料のうちの少なくとも一つを含む、請求項１に記載の汚染物質トラップシステム。
  3. 前記第一バッフルプレートが、
    前記第一バッフルプレートの第一頂部バッフルプレート表面と第一底部バッフルプレート表面との間の第一バッフルプレート本体を貫通する第一開口部と、
    第一本体部分と、を備え、
    前記汚染物質トラップシステムが、
    第二焼結材料からなる第一相補的バッフルプレートであって、前記トラップハウジングの前記第一端部と前記第二端部との間に、前記第一バッフルプレートと直列に、前記トラップハウジング内に配置され、前記第一相補的バッフルプレートが、
    前記第一相補的バッフルプレートの第一頂部相補的バッフルプレート表面と第一底部相補的バッフルプレート表面との間の第一相補的バッフルプレート本体を貫通する第一相補的開口部と、
    第一相補的本体部分と、を備える、前記第一相補的バッフルプレート、をさらに備え、
    前記第一バッフルプレート及び前記第一相補的バッフルプレートが、バッフルプレートスタックに含まれ、
    前記第一バッフルプレート及び前記第一相補的バッフルプレートが、前記トラップハウジング内にバッフルプレート配向で配置され、ここで前記第一バッフルプレートの前記第一開口部の少なくとも一部分と、前記第一相補的バッフルプレートの前記第一相補的本体部分のうちの少なくとも一部分とは、前記トラップハウジングの前記第一端部と前記第二端部との間に伸びる第一の軸に沿って整列されて、それにより、前記第一バッフルプレートの前記第一本体部分の少なくとも一部分と、前記第一相補的バッフルプレートの前記第一相補的開口部の少なくとも一部分とが、前記トラップハウジングの前記第一端部と前記第二端部との間に伸びる第二の軸に沿って整列される、請求項１に記載の汚染物質トラップシステム。
  4. 前記トラップハウジング内に配置され、前記トラップハウジングの前記第一端部と前記第二端部との間に伸びる連結ロッドをさらに備え、
    前記第一バッフルプレートは、前記第一バッフルプレート本体を通って配置される第一連結孔を備え、前記連結ロッドは、前記第一連結孔を通って配置され、及び、
    前記第一相補的バッフルプレートは、前記第一相補的バッフルプレート本体を通って配置される第一相補的連結孔を備え、前記連結ロッドは、前記第一相補的連結孔を通って配置される、請求項３に記載の汚染物質トラップシステム。
  5. 前記連結ロッドが、非円形断面を備え、前記第一バッフルプレートの前記第一連結孔と前記第一相補的バッフルプレートの前記第一相補的連結孔とはそれぞれ、前記連結ロッドの前記非円形断面に対して相補的な形状を含む、請求項４に記載の汚染物質トラップシステム。
  6. 前記第一連結孔の基準点が、第一の配向に配置され、前記第一相補的連結孔の相補的基準点が、第一の相補的配向に配置され、前記第一の配向、及び前記第一の相補的配向は、前記第一バッフルプレート、及び前記第一相補的バッフルプレートを前記連結ロッドの周りに配置して、前記バッフルプレート配向を達成する、請求項５に記載の汚染物質トラップシステム。
  7. 前記第一バッフルプレートと前記第一相補的バッフルプレートとの間に空間を提供するために、前記第一バッフルプレートと前記第一相補的バッフルプレートとの間にスペーサーをさらに備える、請求項６に記載の汚染物質トラップシステム。
  8. 前記トラップハウジング内に配置される第二バッフルプレートをさらに備え、前記第二バッフルプレートが、
    前記第二バッフルプレートの第二頂部バッフルプレート表面と第二底部バッフルプレート表面との間の第二バッフルプレート本体を貫通する第二開口部と、
    第二本体部分と、を備え、
    前記第二バッフルプレートは前記トラップハウジング内に配置されて、それにより、前記第一相補的バッフルプレートが前記第一バッフルプレートと前記第二バッフルプレートとの間にあり、ならびに前記バッフルプレート配向は、前記第二バッフルプレートの前記第二開口部の少なくとも一部分と、前記第一相補的バッフルプレートの前記第一相補的本体部分の少なくとも一部分とが、前記第一の軸に沿って整列すること、及び前記第二バッフルプレートの前記第二本体部分の少なくとも一部分と、前記第一相補的バッフルプレートの前記第一相補的開口部の少なくとも一部分とが、前記第二の軸に沿って整列されること、をさらに含む、請求項３に記載の汚染物質トラップシステム。
  9. 前記第一バッフルプレート及び前記第二バッフルプレートが、同一の設計を含む、請求項８に記載の汚染物質トラップシステム。
  10. 前記バッフルプレートスタックは、
    前記第一バッフルプレートが、端部プレートと前記第一相補的バッフルプレートとの間にあるように、又は
    前記第一相補的バッフルプレートが、前記端部プレートと前記第一バッフルプレートとの間にあるように、のうちの少なくとも一つとなるように配置される、端部プレートをさらに備え、
    前記端部プレートは、端部プレート開口部及び端部プレート本体部分を備える、請求項６に記載の汚染物質トラップシステム。
  11. 前記トラップハウジングの前記ハウジング外壁が、内側壁表面を備え、前記第一バッフルプレート及び前記第一相補的バッフルプレートの少なくとも一つの外縁は、前記内側壁表面に隣接して配置され、それにより、前記第一バッフルプレート及び前記第一相補的バッフルプレートの少なくとも一つの前記外縁と前記内側壁表面との間に、少なくとも部分的シールが形成される、請求項３に記載の汚染物質トラップシステム。
  12. 前記トラップハウジングの前記内側壁表面が、テクスチャ加工されている、請求項１１に記載の汚染物質トラップシステム。
  13. 前記トラップハウジングに連結されたヒータージャケットをさらに備える、請求項１に記載の汚染物質トラップシステム。
  14. 前記第一バッフルプレートの前記第一開口部が、前記第一バッフルプレートの半径方向内側部分に含まれ、及び前記第一相補的バッフルプレートの前記第一相補的開口部が、前記第一相補的バッフルプレートの半径方向外側部分に含まれる、請求項３に記載の汚染物質トラップシステム。
  15. 汚染物質トラップシステム用のバッフルプレートスタックであって、
    そのうちの少なくとも一つが焼結材料からなる複数のバッフルプレートであって、前記複数のバッフルプレートの各バッフルプレートが、
    前記複数のバッフルプレートの各バッフルプレートのバッフルプレート本体を貫通する開口部と、
    本体部分と、を備える、複数のバッフルプレート、及び、
    そのうちの少なくとも一つが第二焼結材料からなる複数の相補的バッフルプレートであって、前記複数の相補的バッフルプレートの各相補的バッフルプレートが、
    前記複数の相補的バッフルプレートの各相補的バッフルプレートの相補的バッフルプレート本体を貫通する相補的開口部と、
    相補的本体部分と、を備える、複数の相補的バッフルプレート、を備え
    前記複数のバッフルプレート及び前記複数の相補的バッフルプレートは、前記複数のバッフルプレートが前記複数の相補的バッフルプレートと交互になる前記バッフルプレートスタックの、第一端部と第二端部との間にバッフルプレートの順序で配置され、それにより、前記複数のバッフルプレートのうちのどの二つも、及び前記複数の相補的バッフルプレートのうちのどの二つも、前記バッフルプレートの順序で隣接せず、
    前記複数のバッフルプレート及び前記複数の相補的バッフルプレートは、バッフルプレート配向に配置され、ここで前記複数のバッフルプレートの前記開口部の少なくとも一部分と、前記複数の相補的バッフルプレートの前記相補的本体部分のうちの少なくとも一部分とは、前記バッフルプレートスタックの前記第一端部と前記第二端部との間に伸びる第一の軸に沿って整列され、それにより、前記複数のバッフルプレートの前記本体部分の少なくとも一部分と、前記複数の相補的バッフルプレートの前記相補的開口部の少なくとも一部分とが、前記バッフルプレートスタックの前記第一端部と前記第二端部との間に伸びる第二の軸に沿って整列される、汚染物質トラップシステム用のバッフルプレートスタック。
  16. 前記複数のバッフルプレートの各々、及び前記複数の相補的バッフルプレートの各々に連結された連結ロッドであって、前記バッフルプレートスタックの前記第一端部と前記第二端部との間に伸びる連結ロッド、をさらに備え、
    前記連結ロッドは断面を含み、
    前記複数のバッフルプレートの各々は連結孔を備え、前記複数の相補的バッフルプレートの各々は、相補的連結孔を備え、ここで前記連結孔及び前記相補的連結孔はそれぞれ、前記連結ロッドの前記断面に対して相補的な形状を含む、請求項１５に記載のバッフルプレートスタック。
  17. 前記連結ロッドの前記断面が、非円形であり、前記複数のバッフルプレートのそれぞれの前記連結孔が、第一の配向に配置され、前記複数の相補的バッフルプレートのそれぞれの前記相補的連結孔が、第二の配向に配置され、ここで前記第一の配向及び前記第二の配向は、前記複数のバッフルプレート及び前記複数の相補的バッフルプレートを前記連結ロッドの周りに配置して、前記バッフルプレート配向を達成する、請求項１６に記載のバッフルプレートスタック。
  18. バッフルプレートスタックが、前記バッフルプレートスタックの前記第一端部及び前記第二端部から、前記複数のバッフルプレート及び前記複数の相補的バッフルプレートの同じ順序を含むように、前記複数の相補的バッフルプレートより一つ多い数の前記複数のバッフルプレートが存在する、請求項１５に記載のバッフルプレートスタック。
  19. 反応器システムの汚染物質トラップシステムであって、
    トラップハウジングと、
    前記トラップハウジング内に配置されたトラップ構造であって、
    バッフルプレート、
    ベースプレート、及び、
    前記バッフルプレートと前記ベースプレートとの間に伸び、かつ前記バッフルプレートと前記ベースプレートとに連結される複数のロッドであって、前記ロッドは前記ベースプレートを通って配置される流通孔の周りに配置され、前記複数のロッドのうちの少なくとも一つは焼結材料を含む、複数のロッド、を備える、トラップ構造と、を備える、反応器システムの汚染物質トラップシステム。
  20. 反応器システムの汚染物質トラップシステムであって、
    ハウジング底部表面及びハウジング頂部表面を備えるトラップハウジング、及び、
    前記トラップハウジング内に配置されるトラップ構造であって、
    前記トラップハウジングの形状に相補的な外側形状を有する配列に配置される複数の管であって、
    前記複数の管のうちの少なくとも一つが焼結材料を含み、
    前記複数の管の各管は、ボアを備え、及び前記ハウジング底部表面と前記ハウジング頂部表面との間に少なくとも部分的に伸びる、複数の管と、
    前記複数の管の前記配列内に配置され、前記複数の管の端部から外向きに突出する支持体であって、前記ハウジング底部表面と接触し、前記複数の管の前記端部と前記ハウジング底部表面との間に空間を作り出す、支持体と、
    前記複数の管を一緒に保持するよう構成される、前記複数の管の周りに連結されるテンショニング装置と、を含む、トラップ構造、を備える、反応器システムの汚染物質トラップシステム。
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