JP2022178236A

JP2022178236A - Processing device

Info

Publication number: JP2022178236A
Application number: JP2021084870A
Authority: JP
Inventors: 武臣福岡; Takeomi Fukuoka
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2021-05-19
Filing date: 2021-05-19
Publication date: 2022-12-02

Abstract

To provide a processing device that enables a holding surface to stand-by without contacting the surface with the other site, in a work-piece carrying unit.SOLUTION: The processing device comprises: a processing unit 8 that processes a work-piece 1; a processing/feeding unit that moves a holding table 6; a moving unit that moves the processing unit in a dividing/feeding direction and in a direction orthogonal to a holding surface; a carrying unit 9, provided to enable the moving unit to selectively move the processing unit, which carries the work-piece into the holding table and carries out the work-piece from the holding table; and a standing-by unit 7 that makes the carrying unit stand by while the moving unit is not moving the processing unit. The carrying unit has a connection part 91 configured to be attachable to and detachable from a part 35a to be connected that moves together with the moving unit and a holding part 92, connected to the connection part 91, which has a holding surface 92h for holding the work-piece. The standing-by unit supports the connection part so that the holding part of the carrying unit is brought into a hung state.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、ワークを搬送する搬送ユニットと、搬送ユニットを待機させる待機ユニットと、を有する加工装置に関する。 The present invention relates to a processing apparatus having a transport unit that transports a work and a standby unit that makes the transport unit stand by.

従来、例えば特許文献１に開示されるように、搬送パッドと、ロードテーブルと、アンロードテーブルとを備えた加工装置が知られている。この構成の加工装置では、ワークの交換に要する時間を短縮することが可能とされる。 2. Description of the Related Art Conventionally, as disclosed in Patent Document 1, for example, a processing apparatus is known that includes a transfer pad, a load table, and an unload table. In the processing apparatus with this configuration, it is possible to shorten the time required for exchanging the workpiece.

また、特許文献１に記載される加工装置では、搬送の移動機構を加工ユニットにより搬送パッドを移動させる構成としており、搬送パッドの移動機構を加工ユニットで兼用するように構成される。搬送パッドは、使用されない際には待機領域に置かれ、使用される際には待機領域からピックアップされて加工ユニットとともに移動する。 Further, in the processing apparatus described in Patent Document 1, the transport movement mechanism is configured to move the transport pad by the processing unit, and the processing unit is configured to share the transport pad movement mechanism. The transport pad is placed in the standby area when not in use, and is picked up from the standby area and moved together with the processing unit when in use.

特開２０１９－１１１６２８号公報JP 2019-111628 A

特許文献１の構成において、搬送パッドの下側に形成される保持面（吸着面）は、待機領域に置かれた際に、待機領域の載置面と接触することになる。このため、例えば、載置面に異物が存在するような場合には、異物が保持面に付着してしまい、更には、保持面で被加工物を吸着保持した際に、異物が被加工物に付着してしまうことが懸念される。 In the configuration of Patent Document 1, the holding surface (suction surface) formed on the lower side of the transport pad comes into contact with the placement surface of the standby area when placed in the standby area. For this reason, for example, when foreign matter exists on the mounting surface, the foreign matter adheres to the holding surface. There is concern that it will adhere to the

このようなことから、被加工物を搬送パッドで直に吸着保持して搬送する構成において、搬送パッドの保持面を被加工物以外の物に接触させずに待機させておくための新たな方法が求められていた。 In view of the above, in a configuration in which a workpiece is directly sucked and held by the transfer pad and transferred, a new method is proposed to keep the holding surface of the transfer pad on standby without contacting anything other than the workpiece. was sought.

本発明は以上の問題に鑑み、被加工物を搬送するための搬送ユニットにおいて、保持面を他の部位と接触させずに待機させるための新規な技術を提供するものである。 SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above problems, the present invention provides a novel technique for keeping the holding surface on standby without contacting other parts in a transport unit for transporting a workpiece.

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。 The problems to be solved by the present invention are as described above, and the means for solving the problems will now be described.

本発明の一態様によれば、
被加工物を保持する保持面を含む保持テーブルと、
該保持テーブルで保持された被加工物を加工する加工ユニットと、
該保持テーブルを該加工ユニットに対して相対的に加工送り方向に移動させる加工送りユニットと、
該加工ユニットを、該加工送り方向に直交する割り出し送り方向と、該保持面に直交する方向と、に移動させる移動ユニットと、
該移動ユニットによる移動が選択的に可能となるように設けられ、該保持テーブルへ被加工物を搬入するとともに該保持テーブルから被加工物を搬出する搬送ユニットと、
該搬送ユニットを該移動ユニットによる移動が行われない間に待機させる待機ユニットと、を備える加工装置であって、
該搬送ユニットは、
該移動ユニットの被接続部に対し着脱可能に構成される接続部と、
該接続部に接続され、該被加工物を保持するための保持面を有する保持部と、を有し、
該待機ユニットは、
該搬送ユニットの該保持部が宙吊りの状態となるように該接続部を支持する、
加工装置とする。 According to one aspect of the invention,
a holding table including a holding surface for holding the workpiece;
a machining unit for machining the workpiece held by the holding table;
a processing feed unit that moves the holding table relative to the processing unit in the processing feed direction;
a moving unit that moves the machining unit in an indexing feed direction perpendicular to the machining feed direction and in a direction perpendicular to the holding surface;
a transport unit, which is provided so as to be selectively movable by the transport unit, for loading a workpiece into the holding table and unloading the workpiece from the holding table;
a standby unit that causes the transport unit to wait while the transport unit is not moved, the processing apparatus comprising:
The transport unit is
a connecting portion configured to be detachable from the connected portion of the moving unit;
a holding part connected to the connecting part and having a holding surface for holding the workpiece;
The standby unit
supporting the connecting portion so that the holding portion of the transport unit is suspended in midair;
Processing equipment.

また、本発明の一態様によれば、
待機ユニットは、
該搬送ユニットの該接続部を下から支持する下側支持部と、
該搬送ユニットの該接続部を上から押さえる上側支持部と、
該上側支持部を昇降させる駆動部と、を有して構成される、
加工装置とする。 Further, according to one aspect of the present invention,
Standby unit
a lower support portion that supports the connecting portion of the transport unit from below;
an upper support portion that presses the connection portion of the transport unit from above;
and a drive unit that raises and lowers the upper support unit,
Processing equipment.

また、本発明の一態様によれば、
該待機ユニットの該下側支持部と、該搬送ユニットの該接続部と、の少なくとも一方には、
該下側支持部と該接続部を吸着固定可能とするための吸着部が設けられる、
加工装置とする。 Further, according to one aspect of the present invention,
At least one of the lower support portion of the standby unit and the connection portion of the transport unit includes:
A suction part is provided for fixing the lower support part and the connection part by suction.
Processing equipment.

本発明によれば、搬送ユニットを待機させる際には、保持部が宙吊りされた状態となり、ワークの保持面を宙に浮いた状態で待機させることができる。これにより、ワークの保持面を他の部位に接触させることなく搬送ユニットを待機させることができ、保持面の異物の付着が防止され、ひいては、ワークへの異物の付着を防止できる。 According to the present invention, when the transport unit is put on standby, the holding part is suspended in the air, and the holding surface of the work can be made to stand by in the state of being suspended in the air. As a result, the transfer unit can be put on standby without the holding surface of the workpiece coming into contact with other parts, and foreign matter can be prevented from adhering to the holding surface, which in turn prevents foreign matter from adhering to the work.

加工装置の構成例について示す斜視図。The perspective view which shows the structural example of a processing apparatus. 搬送ユニットの構成などについて示す図。FIG. 4 is a diagram showing the configuration of a transport unit; 搬送ユニットが待機ユニットにて保持され待機している状態について示す図。FIG. 10 is a diagram showing a state in which the transport unit is held by a standby unit and stands by; 支持アームにて搬送ユニットを保持した状態について示す図。FIG. 5 is a view showing a state in which the transport unit is held by a support arm; 搬送ユニットをロードテーブルの上方に位置づけた状態について示す図。FIG. 4 is a diagram showing a state in which the transport unit is positioned above the load table; 搬送ユニットを保持テーブルの上方に位置づけた状態について示す図。FIG. 6 is a diagram showing a state in which the transport unit is positioned above the holding table; 搬送ユニットを待機ユニットにて待機状態とした状態について示す図。FIG. 10 is a diagram showing a state in which the transport unit is placed in a standby state by a standby unit; ワークを切削加工する様子について示す図。The figure which shows how a workpiece|work is cut.

以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。
図１は、加工装置２の一例である切削装置について示す図である。
図１に示すように、加工装置２は、各構成を支持する装置基台４と、ワーク１を吸引保持する保持テーブル６と、ワーク１を切削する加工ユニット８等を備える。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
FIG. 1 is a diagram showing a cutting device that is an example of the processing device 2. As shown in FIG.
As shown in FIG. 1, the processing device 2 includes a device base 4 that supports each component, a holding table 6 that suction-holds the work 1, a processing unit 8 that cuts the work 1, and the like.

加工対象となるワーク１は、例えば、板状のガラス基板であるが、特に限定されるものではない。 The workpiece 1 to be processed is, for example, a plate-like glass substrate, but is not particularly limited.

保持テーブル６は、その上面にワーク１を保持するための保持面６ａを有する。保持面６ａには吸引溝部が形成され、吸引溝部が図示せぬ吸引源に接続される。保持テーブル６は、保持面６ａに垂直な方向に沿った軸の周りに回転可能に構成される。 The holding table 6 has a holding surface 6a for holding the workpiece 1 on its upper surface. A suction groove is formed in the holding surface 6a, and the suction groove is connected to a suction source (not shown). The holding table 6 is rotatable around an axis extending in a direction perpendicular to the holding surface 6a.

装置基台４の上面の中央部にはＸ軸方向に沿って長辺を有する開口部１６が設けられており、開口部１６の内部には、保持テーブル６の下方に位置するＸ軸移動テーブル１８と、一端がＸ軸移動テーブル１８に取り付けられた防塵防滴カバー２０と、が配設される。保持テーブル６とＸ軸移動テーブル１８は、防塵防滴カバー２０の下方の領域に配設された加工送りユニット（不図示）により、加工ユニット８に対して相対的に加工送り方向（Ｘ軸方向）に移動される。 An opening 16 having a long side along the X-axis direction is provided in the central portion of the upper surface of the apparatus base 4 . 18 and a dust and drip proof cover 20 having one end attached to the X-axis moving table 18 are provided. The holding table 6 and the X-axis moving table 18 are moved relative to the machining unit 8 in the machining feed direction (X-axis direction) by a machining feed unit (not shown) disposed in the area below the dustproof/splash proof cover 20 . ).

ワーク１の切削時には、保持テーブル６は加工送りユニットによりＸ軸方向（加工送り方向）に加工送りされる。また、保持テーブル６は加工送りユニットによりワーク１が切削される加工領域６２と、ワーク１が保持テーブル６へ搬入出される搬入出領域６０と、の間で移動する。 During cutting of the workpiece 1, the holding table 6 is fed in the X-axis direction (processing feed direction) by the processing feed unit. Further, the holding table 6 moves between a machining area 62 where the workpiece 1 is cut by the machining feed unit and a loading/unloading area 60 where the workpiece 1 is loaded/unloaded to/from the holding table 6 .

装置基台４の上面の後部には、開口部１６の上部に伸長する突出部を有する支持構造２２が立設される。支持構造２２の前側面には、Ｙ軸方向に平行な一対のＹ軸ガイドレール２４が設けられており、Ｙ軸ガイドレール２４にはＹ軸移動プレート２６がスライド可能に取り付けられている。 A support structure 22 having a protrusion extending above the opening 16 is erected on the rear portion of the upper surface of the apparatus base 4 . A pair of Y-axis guide rails 24 parallel to the Y-axis direction are provided on the front side surface of the support structure 22 , and a Y-axis movement plate 26 is slidably attached to the Y-axis guide rails 24 .

Ｙ軸移動プレート２６の後面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｙ軸ガイドレール２４に平行なＹ軸ボールねじ２８が螺合される。Ｙ軸ボールねじ２８の一端には、Ｙ軸パルスモータ３０が連結される。Ｙ軸パルスモータ３０でＹ軸ボールねじ２８を回転させると、Ｙ軸移動プレート２６はＹ軸ガイドレール２４に沿ってＹ軸方向に移動する。 A nut portion (not shown) is provided on the rear surface side of the Y-axis moving plate 26, and a Y-axis ball screw 28 parallel to the Y-axis guide rail 24 is screwed into this nut portion. A Y-axis pulse motor 30 is connected to one end of the Y-axis ball screw 28 . When the Y-axis ball screw 28 is rotated by the Y-axis pulse motor 30, the Y-axis moving plate 26 moves along the Y-axis guide rail 24 in the Y-axis direction.

一対のＹ軸ガイドレール２４と、Ｙ軸移動プレート２６と、Ｙ軸ボールねじ２８と、Ｙ軸パルスモータ３０と、は、加工ユニット８及びカメラユニット１０をＹ軸方向に割り出し送りする割り出し送りユニットＵｙとして機能する。 A pair of Y-axis guide rails 24, a Y-axis moving plate 26, a Y-axis ball screw 28, and a Y-axis pulse motor 30 are an indexing unit that indexes and feeds the processing unit 8 and the camera unit 10 in the Y-axis direction. It functions as Uy.

Ｙ軸移動プレート２６の前面には、Ｚ軸方向に伸長する一対のＺ軸ガイドレール３２と、それぞれのＺ軸ガイドレール３２にスライド可能に取り付けられたＺ軸移動プレート３４と、が配設される。Ｚ軸移動プレート３４の裏面側（後面側）には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｚ軸ガイドレール３２に平行なＺ軸ボールねじ３６が螺合される。 A pair of Z-axis guide rails 32 extending in the Z-axis direction and Z-axis movement plates 34 slidably attached to the respective Z-axis guide rails 32 are arranged on the front surface of the Y-axis movement plate 26 . be. A nut portion (not shown) is provided on the back side (rear side) of the Z-axis moving plate 34, and a Z-axis ball screw 36 parallel to the Z-axis guide rail 32 is screwed into this nut portion. be.

Ｚ軸ボールねじ３６の一端には、Ｚ軸パルスモータ３８が連結される。Ｚ軸パルスモータ３８でＺ軸ボールねじ３６を回転させれば、Ｚ軸移動プレート３４は、Ｚ軸ガイドレール３２に沿ってＺ軸方向に移動する。Ｚ軸移動プレート３４の前面側下部には、加工ユニット８と、カメラユニット１０と、が固定される。 A Z-axis pulse motor 38 is connected to one end of the Z-axis ball screw 36 . When the Z-axis ball screw 36 is rotated by the Z-axis pulse motor 38, the Z-axis moving plate 34 moves along the Z-axis guide rail 32 in the Z-axis direction. The processing unit 8 and the camera unit 10 are fixed to the lower front side of the Z-axis moving plate 34 .

一対のＺ軸ガイドレール３２と、Ｚ軸移動プレート３４と、Ｚ軸ボールねじ３６と、Ｚ軸パルスモータ３８と、は、加工ユニット８及びカメラユニット１０を保持テーブル６の保持面６ａに垂直なＺ軸方向に移動させる昇降ユニットＵｚとして機能する。 A pair of Z-axis guide rails 32, a Z-axis moving plate 34, a Z-axis ball screw 36, and a Z-axis pulse motor 38 move the processing unit 8 and the camera unit 10 perpendicularly to the holding surface 6a of the holding table 6. It functions as a lifting unit Uz that moves in the Z-axis direction.

割り出し送りユニットＵｙと、昇降ユニットＵｚと、は、加工ユニット８を保持テーブル６に対して相対移動させる移動ユニットＵｍの一部を構成する。 The indexing unit Uy and the lifting unit Uz form part of a moving unit Um that moves the processing unit 8 relative to the holding table 6 .

加工ユニット８は、スピンドルモータにより駆動されるスピンドル（不図示）と、スピンドルの先端に装着された円環状の切削ブレード８ａと、を備え、保持テーブル６で保持されたワーク１を加工する。 The machining unit 8 has a spindle (not shown) driven by a spindle motor and an annular cutting blade 8a attached to the tip of the spindle, and processes the workpiece 1 held by the holding table 6.

切削ブレード８ａは外周部に切刃を備える。切刃は、例えば、砥粒と、砥粒が分散された結合材と、を含む。回転する切削ブレード８ａを所定の高さ位置に位置づけ、保持テーブル６を加工送り方向に移動させると、切削ブレード８ａによりワーク１が切削される。 The cutting blade 8a has a cutting edge on its outer periphery. The cutting edge includes, for example, abrasive grains and a binder in which the abrasive grains are dispersed. When the rotating cutting blade 8a is positioned at a predetermined height position and the holding table 6 is moved in the processing feed direction, the workpiece 1 is cut by the cutting blade 8a.

加工ユニット８は、切削ブレード８ａの側方にノズル８ｂを備えており、ノズル８ｂからワーク１の上面及び切削ブレード８ａに切削液が供給される。 The machining unit 8 has a nozzle 8b on the side of the cutting blade 8a, and cutting fluid is supplied from the nozzle 8b to the upper surface of the workpiece 1 and the cutting blade 8a.

ノズル８ｂから供給される切削液は、例えば、純水である。切削液は、ワーク１や切削ブレード８ａを冷却する機能を有する。また、切削加工により生じる切削屑等は、切削液によりワーク１の外部に流されて排除される。 The cutting fluid supplied from the nozzle 8b is pure water, for example. The cutting fluid has a function of cooling the workpiece 1 and the cutting blade 8a. Moreover, cutting chips and the like generated by the cutting process are flowed outside the workpiece 1 by the cutting fluid and removed.

装置基台４の上面の搬入出領域６０に隣接した位置には、加工前のワーク１を載置して仮置きするロードテーブル４０が設定される。オペレータは、任意のタイミングで待機テーブル５に準備されたワーク１をロードテーブル４０に仮置する。 A load table 40 is set at a position adjacent to the loading/unloading area 60 on the upper surface of the apparatus base 4 to place and temporarily place the workpiece 1 before processing. The operator temporarily places the work 1 prepared on the waiting table 5 on the load table 40 at an arbitrary timing.

装置基台４の上面の搬入出領域６０に隣接する他の位置には、加工後のワーク１を仮置するアンロードテーブル５０が設けられている。加工後には、搬送ユニット９が保持テーブル６の上方に位置付けられ、ワーク１を保持して上方に移動させるとともに、アンロードテーブル５０が搬送ユニット９の下方の受け渡し位置に移動し、搬送ユニット９に保持されたワーク１がアンロードテーブル５０に載置される。その後、アンロードテーブル５０は元の位置に戻り、任意のタイミングでアンロードテーブル５０からワーク１が搬出される。 At another position adjacent to the loading/unloading area 60 on the upper surface of the apparatus base 4, an unload table 50 is provided for temporarily placing the workpiece 1 after machining. After processing, the transport unit 9 is positioned above the holding table 6 to hold the work 1 and move it upward. The held work 1 is placed on the unload table 50 . After that, the unload table 50 returns to its original position, and the work 1 is unloaded from the unload table 50 at an arbitrary timing.

加工装置２は、ロードテーブル４０に載せられたワーク１を搬入出領域６０に位置する保持テーブル６に搬送するための搬送ユニット９を備える。搬送ユニット９は、加工ユニット８を移動させる移動ユニットＵｍによる移動が選択的に可能となるように設けられる。 The processing apparatus 2 includes a transport unit 9 for transporting the workpiece 1 placed on the load table 40 to the holding table 6 positioned in the loading/unloading area 60 . The transport unit 9 is provided so as to be selectively movable by the moving unit Um that moves the processing unit 8 .

本実施例では、搬送ユニット９は、Ｚ軸移動プレート３４側に固定される支持アーム３５に着脱自在に接続され、加工ユニット８とともにＹ軸方向及びＺ軸方向に移動する。 In this embodiment, the transport unit 9 is detachably connected to the support arm 35 fixed to the Z-axis moving plate 34 side, and moves together with the processing unit 8 in the Y-axis direction and the Z-axis direction.

また、本実施例では、搬送ユニット９を移動させる移動ユニットＵｍは、支持アーム３５、Ｚ軸移動プレート３４、割り出し送りユニットＵｙ、及び、昇降ユニットＵｚ、を含んで構成される。なお、搬送ユニット９を移動させるための専用の移動ユニットを別に設けることとしてもよい。 Further, in this embodiment, the moving unit Um that moves the transport unit 9 includes a support arm 35, a Z-axis moving plate 34, an indexing unit Uy, and an elevating unit Uz. A dedicated moving unit for moving the transport unit 9 may be provided separately.

装置基台４に立設される壁面１５の近傍には、搬送ユニット９を移動ユニットＵｍによる移動が行われない間に待機させるための待機ユニット７が設けられる。詳しくは後述するように、待機ユニット７で待機する搬送ユニット９は、支持アーム３５にピックアップされてＹ軸方向、及び、Ｚ軸方向に移動する。 A standby unit 7 is provided in the vicinity of a wall surface 15 erected on the apparatus base 4 to keep the transport unit 9 on standby while it is not moved by the moving unit Um. As described later in detail, the transport unit 9 waiting in the standby unit 7 is picked up by the support arm 35 and moved in the Y-axis direction and the Z-axis direction.

図２は、搬送ユニット９の構成の詳細について示す図である。
搬送ユニット９は、移動ユニットＵｍの被接続部を構成する支持アーム３５に対し着脱可能に構成される接続部９１と、接続部９１に接続され、ワーク１を保持するための保持面９２ｈを有する保持部９２と、を有し、待機ユニット７は、搬送ユニット９の保持部９２が宙吊りの状態となるように接続部９１を支持する構成とする。 FIG. 2 is a diagram showing the details of the configuration of the transport unit 9. As shown in FIG.
The transport unit 9 has a connecting portion 91 configured to be detachable from the support arm 35 constituting the connected portion of the moving unit Um, and a holding surface 92h connected to the connecting portion 91 for holding the workpiece 1. The standby unit 7 is configured to support the connection part 91 so that the holding part 92 of the transport unit 9 is suspended in the air.

搬送ユニット９の接続部９１は、上面９１ａと下面９１ｂを有する板状部材にて構成される。接続部９１の内部には、吸引路９１ｃが形成される。 A connection portion 91 of the transport unit 9 is configured by a plate-like member having an upper surface 91a and a lower surface 91b. A suction path 91 c is formed inside the connecting portion 91 .

搬送ユニット９の保持部９２は、上面９２ａと下面９２ｂを有する板状部材にて構成される。保持部９２の下面９２ｂには、ワーク１を吸引保持するための保持面９２ｈが形成される。保持部９２は、ワーク１を保持して搬送するための搬送パッドとして機能するものであり、保持面９２ｈには吸引部９２ｍが形成される。 The holding portion 92 of the transport unit 9 is configured by a plate-like member having an upper surface 92a and a lower surface 92b. A holding surface 92h for sucking and holding the workpiece 1 is formed on the lower surface 92b of the holding portion 92. As shown in FIG. The holding part 92 functions as a transport pad for holding and transporting the workpiece 1, and a suction part 92m is formed on the holding surface 92h.

搬送ユニット９の接続部９１と保持部９２は、上下方向に伸びる連結部９３により連結される。連結部９３には、接続部９１の吸引路９１ｃと、保持部９２の保持面９２ｈに形成される吸引部９２ｍと、を連通させるための吸引路９３ｃが形成される。 The connecting portion 91 and the holding portion 92 of the transport unit 9 are connected by a connecting portion 93 extending in the vertical direction. The coupling portion 93 is formed with a suction path 93c for communicating the suction path 91c of the connection portion 91 and the suction portion 92m formed on the holding surface 92h of the holding portion 92 .

待機ユニット７は、搬送ユニット９を待機位置において待機させておくためのものである。待機ユニット７は、搬送ユニット９の接続部９１を下から支持する下側支持部となる支持部材７１を有する。支持部材７１は板状部材にて構成され、例えば、図１に示すように、装置基台４に立設される壁面１５に設けられる。 The standby unit 7 is for keeping the transport unit 9 on standby at a standby position. The standby unit 7 has a support member 71 serving as a lower support section that supports the connection section 91 of the transport unit 9 from below. The support member 71 is composed of a plate-like member, and is provided, for example, on the wall surface 15 erected on the apparatus base 4, as shown in FIG.

図２に示すように、待機ユニット７は、搬送ユニット９の接続部９１を上から押さえる上側支持部となる押さえ部材７２を有する。押さえ部材７２は板状部材にて構成される。 As shown in FIG. 2, the standby unit 7 has a pressing member 72 that serves as an upper support portion that presses the connecting portion 91 of the transport unit 9 from above. The pressing member 72 is composed of a plate-like member.

待機ユニット７は、押さえ部材７２を昇降させる駆動部となる駆動ユニット７３を有する。駆動ユニット７３は、例えば、エアシリンダーユニットにて構成され、ロッド７３ａの先端に押さえ部材７２が連結され、ロッド７３ａの進退により押さえ部材７２が昇降する。このように、駆動ユニット７３を設けることで、待機ユニット７による搬送ユニット９の接続部９１の挟持と解放の切り替えを自動で行える。 The standby unit 7 has a driving unit 73 that serves as a driving section for moving the pressing member 72 up and down. The drive unit 73 is configured by, for example, an air cylinder unit, and a pressing member 72 is connected to the tip of a rod 73a, and the pressing member 72 moves up and down as the rod 73a advances and retreats. By providing the drive unit 73 in this way, the connection portion 91 of the conveying unit 9 can be automatically switched between holding and releasing by the standby unit 7 .

搬送ユニット９を待機位置に待機させる際には、接続部９１の第一領域９１ｍの下面が支持部材７１に載置されるとともに、接続部９１の第一領域９１ｍの上面が押さえ部材７２によって上側から押さえられる。これにより、搬送ユニット９の接続部９１が待機ユニット７に挟持され、搬送ユニット９が待機位置に安定してセットされた状態となる。 When the transport unit 9 is waiting at the standby position, the lower surface of the first area 91m of the connection portion 91 is placed on the support member 71, and the upper surface of the first area 91m of the connection portion 91 is pushed upward by the pressing member 72. pressed from As a result, the connection portion 91 of the transport unit 9 is sandwiched between the standby units 7, and the transport unit 9 is stably set at the standby position.

また、この際、搬送ユニット９の保持部９２は、宙吊りされた状態となり、保持面９２ｈが宙に浮いた状態となる。これにより、保持面９２ｈを他の部位に接触させずに、搬送ユニット９を待機させることができる。 At this time, the holding portion 92 of the transport unit 9 is suspended in the air, and the holding surface 92h is suspended in the air. As a result, the transport unit 9 can be put on standby without the holding surface 92h coming into contact with other parts.

待機ユニット７の下側支持部となる支持部材７１の上面７１ａには、搬送ユニットの接続部９１の第一領域９１ｍを吸着固定可能とするための吸着部７１ｄが設けられる。この吸着部７１ｄは、例えば、永久磁石、電磁石などのマグネットで構成することや、吸引パッドにて構成することができる。 An upper surface 71a of the support member 71 serving as a lower support portion of the standby unit 7 is provided with a suction portion 71d for fixing the first region 91m of the connection portion 91 of the transport unit by suction. The attraction part 71d can be composed of, for example, a magnet such as a permanent magnet or an electromagnet, or can be composed of a suction pad.

吸着部７１ｄは、待機ユニット７の支持部材７１に設ける他、搬送ユニットの接続部９１に設けることとすることや、支持部材７１と接続部９１の両方に設けることとしてもよい。 The suction section 71 d may be provided in the support member 71 of the standby unit 7 , as well as in the connection section 91 of the transport unit, or in both the support member 71 and the connection section 91 .

吸着部７１ｄを設けることにより、押さえ部材７２による押さえが開始される前、又は、押さえが解除された際に、接続部９１が傾くことや、位置ずれが生じることを防止できる。 By providing the suction portion 71d, it is possible to prevent the connection portion 91 from being tilted or misaligned before the pressing by the pressing member 72 is started or when the pressing is released.

なお、本実施例では、支持部材７１と押さえ部材７２により待機ユニット７を構成することとしたが、待機ユニット７はこの構成に限定されるものではなく、搬送ユニット９の保持面９２ｈを宙吊りされた状態で待機させることができる構成であれば、他の構成であってもよい。 In this embodiment, the standby unit 7 is composed of the support member 71 and the pressing member 72, but the standby unit 7 is not limited to this configuration, and is suspended from the holding surface 92h of the transport unit 9. Any other configuration may be used as long as the configuration allows the device to stand by in the state of being held.

図４に示すように、搬送ユニット９は、移動ユニットＵｍ（図１）の支持アーム３５（被接続部３５ａ）によって搬送される。 As shown in FIG. 4, the transport unit 9 is transported by the support arm 35 (connected portion 35a) of the moving unit Um (FIG. 1).

支持アーム３５は、加工ユニット８が下部に固定されるＺ軸移動プレート３４に、連結部３４ａを介して固定される。なお、支持アーム３５は、Ｚ軸移動プレート３４に直接固定されることとしてもよい。 The support arm 35 is fixed via a connecting portion 34a to a Z-axis moving plate 34 to which the processing unit 8 is fixed below. Note that the support arm 35 may be directly fixed to the Z-axis moving plate 34 .

支持アーム３５は、略Ｌ字状に構成され、下側の水平部分において、搬送ユニット９の接続部９１と接続するための被接続部３５ａを形成する。 The support arm 35 is configured in a substantially L shape, and forms a connected portion 35 a for connecting with the connecting portion 91 of the transport unit 9 in the lower horizontal portion.

図２に示すように、被接続部３５ａは、搬送ユニット９の接続部９１の第二領域９１ｎの下面に吸着する吸着保持面３５ｂを有し、図４に示すように、吸着保持面３５ｂにて搬送ユニット９の第二領域９１ｎを下側から持ち上げるようにして、搬送ユニット９全体を宙吊り状態で保持する。 As shown in FIG. 2, the connected portion 35a has a suction holding surface 35b that sticks to the lower surface of the second region 91n of the connecting portion 91 of the transport unit 9. As shown in FIG. The second region 91n of the transport unit 9 is lifted from below, and the entire transport unit 9 is held in a suspended state.

図４に示すように、吸着保持面３５ｂの上面に形成される吸引口３５ｇは、支持アーム３５の内部に形成される吸引路３５ｈ、電磁弁３５ｊを介して吸引源３５ｘに接続される。吸引口３５ｇに生じる負圧によって、搬送ユニット９の接続部９１が吸着保持面３５ｂによって吸引保持される。 As shown in FIG. 4, a suction port 35g formed on the upper surface of the suction holding surface 35b is connected to a suction source 35x via a suction path 35h formed inside the support arm 35 and an electromagnetic valve 35j. Due to the negative pressure generated at the suction port 35g, the connection portion 91 of the transport unit 9 is suction-held by the suction-holding surface 35b.

図２に示すように、吸着保持面３５ｂには、更に、搬送ユニット９の接続部９１の第二領域９１ｎを吸着固定可能とするための吸着部３５ｆが設けられる。この吸着部３５ｆは、例えば、永久磁石、電磁石などのマグネットで構成することができる。 As shown in FIG. 2, the suction holding surface 35b is further provided with a suction portion 35f for enabling the second region 91n of the connecting portion 91 of the transport unit 9 to be fixed by suction. The attraction part 35f can be composed of a magnet such as a permanent magnet or an electromagnet, for example.

吸着部３５ｆを設けることにより、被接続部３５ａで搬送ユニット９を保持する際に、搬送ユニット９の接続部９１が傾くことや、位置ずれが生じることを防止できる。 By providing the suction portion 35f, it is possible to prevent the connection portion 91 of the transport unit 9 from being tilted or misaligned when the transport unit 9 is held by the connected portion 35a.

図２に示すように、吸着保持面３５ｂには、更に、搬送ユニット９の接続部９１に形成される吸引路９１ｃと接続するための吸引口３５ｅが形成される。吸引口３５ｅは、支持アーム３５の内部に形成される吸引路３５ｃ、電磁弁３５ｄを介して吸引源３５ｘに接続される。 As shown in FIG. 2, the suction holding surface 35b is further formed with a suction port 35e for connecting with a suction path 91c formed in the connecting portion 91 of the transport unit 9. As shown in FIG. The suction port 35e is connected to a suction source 35x via a suction path 35c formed inside the support arm 35 and an electromagnetic valve 35d.

図４に示すように、支持アーム３５の吸着保持面３５ｂが搬送ユニット９の接続部９１に当接した状態では、吸引口３５ｅが吸引路９１ｃと連通する。これにより、吸引源３５ｘと、保持部９２の保持面９２ｈに形成される吸引部９２ｍが、吸引路３５ｃ、吸引路９１ｃ、吸引路９３ｃを介して連通し、保持面９２ｈの吸引部９２ｍに負圧が生じ、ワーク１を吸引保持することが可能となる。 As shown in FIG. 4, when the suction holding surface 35b of the support arm 35 is in contact with the connection portion 91 of the transport unit 9, the suction port 35e communicates with the suction path 91c. As a result, the suction source 35x and the suction portion 92m formed on the holding surface 92h of the holding portion 92 communicate with each other through the suction path 35c, the suction path 91c, and the suction path 93c, and the suction portion 92m of the holding surface 92h is negatively connected. Pressure is generated, and the workpiece 1 can be held by suction.

次に、加工装置２へのワーク１の搬入出と、ワーク１の切削について説明する。
まず、図１に示すように、オペレータは、待機テーブル５に準備されたワーク１をロードテーブル４０に載置する。 Next, loading and unloading of the work 1 to and from the processing device 2 and cutting of the work 1 will be described.
First, as shown in FIG. 1, the operator places the work 1 prepared on the waiting table 5 on the load table 40 .

次に、図３に示すように、支持アーム３５（Ｚ軸移動プレート３４）を下降させて被接続部３５ａを低位置に設定するとともに、支持アーム３５をＹ軸方向に移動させて被接続部３５ａを搬送ユニット９の接続部９１の下方の位置に移動させる。この際、搬送ユニット９は、待機ユニット７にて保持され、待機した状態となっている。 Next, as shown in FIG. 3, the support arm 35 (Z-axis moving plate 34) is lowered to set the connected portion 35a to a low position, and the support arm 35 is moved in the Y-axis direction to move the connected portion. 35 a is moved to a position below the connection portion 91 of the transport unit 9 . At this time, the transport unit 9 is held by the standby unit 7 and is in a standby state.

次に、図４に示すように、支持アーム３５を上昇させて被接続部３５ａを搬送ユニット９の接続部９１の下面９１ｂに当接させるとともに、待機ユニット７の駆動ユニット７３を駆動して押え部材７２を上昇させ、押え部材７２による接続部９１の押さえつけを開放する。これにより、接続部９１が支持部材７１から浮上し、搬送ユニット９が支持アーム３５側に乗り移って保持された状態とされる。 Next, as shown in FIG. 4, the support arm 35 is lifted to bring the connected portion 35a into contact with the lower surface 91b of the connecting portion 91 of the transport unit 9, and the drive unit 73 of the standby unit 7 is driven to hold the connection portion 35a. The member 72 is lifted to release the pressing of the connecting portion 91 by the pressing member 72 . As a result, the connection portion 91 floats up from the support member 71, and the transport unit 9 is transferred to and held by the support arm 35 side.

また、図４に示す状態において、電磁弁３５ｊが開かれることにより、吸着保持面３５ｂに形成される吸引口３５ｇに負圧が生じ、吸着保持面３５ｂによって接続部９１が吸引保持される。 Further, in the state shown in FIG. 4, when the solenoid valve 35j is opened, a negative pressure is generated in the suction port 35g formed in the suction holding surface 35b, and the connection portion 91 is suction held by the suction holding surface 35b.

次に、図５に示すように、支持アーム３５をＹ軸方向に移動させて搬送ユニット９をロードテーブル４０の上方に位置づけるとともに、支持アーム３５を下降させ搬送ユニット９の保持面９２ｈをワーク１の上面に当着させる。 Next, as shown in FIG. 5, the support arm 35 is moved in the Y-axis direction to position the transfer unit 9 above the load table 40, and the support arm 35 is lowered to move the holding surface 92h of the transfer unit 9 to the workpiece 1. Next, as shown in FIG. abut on the top surface of the

次に、図５に示すように、電磁弁３５ｄが開かれることにより、保持面９２ｈの吸引部９２ｍに負圧が生じ、保持面９２ｈによってワーク１が吸引保持される。 Next, as shown in FIG. 5, by opening the electromagnetic valve 35d, negative pressure is generated in the suction portion 92m of the holding surface 92h, and the workpiece 1 is sucked and held by the holding surface 92h.

次に、図６に示すように、支持アーム３５をＹ軸方向に移動させて搬送ユニット９を保持テーブル６の上方に位置づけるとともに、支持アーム３５を下降させ、ワーク１を保持テーブル６に載置するとともに、電磁弁３５ｄを閉じて保持面９２ｈの吸引を解除することで、保持テーブル６上にワーク１が搬送される。 Next, as shown in FIG. 6, the support arm 35 is moved in the Y-axis direction to position the transfer unit 9 above the holding table 6, and the support arm 35 is lowered to place the workpiece 1 on the holding table 6. At the same time, the electromagnetic valve 35d is closed to cancel the suction of the holding surface 92h, so that the work 1 is conveyed onto the holding table 6. As shown in FIG.

次に、図７に示すように、保持テーブル６上にワーク１を搬送した後、支持アーム３５を上昇させるとともに、Ｙ軸方向に移動させて搬送ユニット９を待機ユニット７の位置まで移動させ、搬送ユニット９の接続部９１を支持部材７１と押さえ部材７２によって挟持させ、搬送ユニット９を待機状態とする。 Next, as shown in FIG. 7, after the workpiece 1 is transported onto the holding table 6, the support arm 35 is raised and moved in the Y-axis direction to move the transport unit 9 to the position of the standby unit 7, The connecting portion 91 of the transport unit 9 is sandwiched between the support member 71 and the pressing member 72, and the transport unit 9 is placed in a standby state.

次に、図８に示すように、Ｚ軸移動プレート３４をＹ軸方向に移動させるとともに加工ユニット８を所定の高さに位置づける。ついで、保持テーブル６をＸ軸方向に加工送りすることで、ワーク１の切削加工が行われる。 Next, as shown in FIG. 8, the Z-axis moving plate 34 is moved in the Y-axis direction and the processing unit 8 is positioned at a predetermined height. Next, the workpiece 1 is cut by feeding the holding table 6 in the X-axis direction.

ワーク１を切削する際は、ノズル８ｂから切削液を噴出させ、切削ブレード８ａ及びワーク１に切削液を供給する。切削によりワーク１から生じる切削屑は切削液により洗い流される。また、ワーク１と切削ブレード８ａとの摩擦により生じる熱は切削液により除去される。 When cutting the workpiece 1, the cutting fluid is jetted from the nozzle 8b to supply the cutting blade 8a and the workpiece 1 with the cutting fluid. Chips generated from the workpiece 1 by cutting are washed away by the cutting fluid. Also, the heat generated by the friction between the workpiece 1 and the cutting blade 8a is removed by the cutting fluid.

図１に示すように、ワーク１についての切削が完了した後は、保持テーブル６が搬入出領域６０に移動される。この際、乾燥ノズル５６から高圧気体が噴出され、ワーク１が乾燥される。 As shown in FIG. 1, after the workpiece 1 has been completely cut, the holding table 6 is moved to the loading/unloading area 60 . At this time, high-pressure gas is jetted from the drying nozzle 56 to dry the workpiece 1 .

乾燥後、搬入出領域６０に移動した保持テーブル６の保持面６ａの吸引が停止され、ワーク１の吸引保持が解除される。その後、図３，図４に示すように待機させていた搬送ユニット９を移動させ、保持テーブル６の上方に位置付け、ワーク１を吸引保持して上方に移動させる。次いで、図１に示すアンロードテーブル５０が搬送ユニット９の下方の受け渡し位置に移動し、搬送ユニット９に保持されたワーク１がアンロードテーブル５０に載置される。その後、アンロードテーブル５０は元の位置に戻り、任意のタイミングでアンロードテーブル５０からワーク１が搬出される。 After drying, the suction of the holding surface 6a of the holding table 6 moved to the loading/unloading area 60 is stopped, and the suction holding of the work 1 is released. After that, as shown in FIGS. 3 and 4, the transfer unit 9 which has been on standby is moved and positioned above the holding table 6, and the workpiece 1 is sucked and held and moved upward. Next, the unload table 50 shown in FIG. 1 moves to the delivery position below the transport unit 9 and the work 1 held by the transport unit 9 is placed on the unload table 50 . After that, the unload table 50 returns to its original position, and the work 1 is unloaded from the unload table 50 at an arbitrary timing.

以上の一連の工程において、図９に示されるように、搬送ユニット９を待機させる際には、保持部９２が宙吊りされた状態となり、ワーク１の保持面９２ｈを宙に浮いた状態で待機させることができる。これにより、ワーク１の保持面９２ｈを他の部位に接触させることなく搬送ユニット９を待機させることができ、保持面９２ｈの異物の付着が防止され、ひいては、ワーク１への異物の付着を防止できる。 In the series of steps described above, as shown in FIG. 9, when the transfer unit 9 is put on standby, the holding part 92 is suspended in the air, and the holding surface 92h of the work 1 is made to stand by in the suspended state. be able to. As a result, the transfer unit 9 can be put on standby without the holding surface 92h of the workpiece 1 coming into contact with other parts, preventing foreign matter from adhering to the holding surface 92h and thus preventing foreign matter from adhering to the work 1. can.

１ワーク
２加工装置
６保持テーブル
６ａ保持面
７待機ユニット
８加工ユニット
９搬送ユニット
３４Ｚ軸移動プレート
３４ａ連結部
３５支持アーム
３５ａ被接続部
３５ｂ吸着保持面
３５ｃ吸引路
３５ｄ電磁弁
３５ｅ吸引口
３５ｆ吸着部
３５ｇ吸引口
３５ｈ吸引路
３５ｊ電磁弁
３５ｘ吸引源
７１支持部材
７１ａ上面
７１ｄ吸着部
７２押さえ部材
７３駆動ユニット
７３ａロッド
９１接続部
９１ａ上面
９１ｂ下面
９１ｃ吸引路
９１ｍ第一領域
９１ｎ第二領域
９２保持部
９２ａ上面
９２ｂ下面
９２ｈ保持面
９２ｍ吸引部
９３連結部
９３ｃ吸引路
Ｕｍ移動ユニット
Ｕｙ割り出し送りユニット
Ｕｚ昇降ユニット 1 Workpiece 2 Processing device 6 Holding table 6a Holding surface 7 Standby unit 8 Processing unit 9 Transfer unit 34 Z-axis movement plate 34a Connecting portion 35 Support arm 35a Connected portion 35b Suction holding surface 35c Suction path 35d Electromagnetic valve 35e Suction port 35f Suction Part 35g Suction port 35h Suction path 35j Solenoid valve 35x Suction source 71 Support member 71a Upper surface 71d Adsorption part 72 Pressing member 73 Drive unit 73a Rod 91 Connection part 91a Upper surface 91b Lower surface 91c Suction path 91m First area 91n Second area 92 Holding part 92a Upper surface 92b Lower surface 92h Holding surface 92m Suction unit 93 Connecting unit 93c Suction path Um Moving unit Uy Indexing unit Uz Elevating unit

Claims

a holding table including a holding surface for holding the workpiece;
a machining unit for machining the workpiece held by the holding table;
a processing feed unit that moves the holding table relative to the processing unit in the processing feed direction;
a moving unit that moves the machining unit in an indexing feed direction perpendicular to the machining feed direction and in a direction perpendicular to the holding surface;
a transport unit, which is provided so as to be selectively movable by the transport unit, for loading a workpiece into the holding table and unloading the workpiece from the holding table;
a standby unit that causes the transport unit to wait while the transport unit is not moved, the processing apparatus comprising:
The transport unit is
a connecting portion configured to be detachable from the connected portion of the moving unit;
a holding part connected to the connecting part and having a holding surface for holding the workpiece;
The standby unit
supporting the connecting portion so that the holding portion of the transport unit is suspended in midair;
processing equipment.

Standby unit
a lower support portion that supports the connecting portion of the transport unit from below;
an upper support portion that presses the connection portion of the transport unit from above;
and a drive unit that raises and lowers the upper support unit,
2. The processing apparatus according to claim 1, characterized by:

At least one of the lower support portion of the standby unit and the connection portion of the transport unit includes:
A suction part is provided for fixing the lower support part and the connection part by suction.
3. The processing apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that: