JP2022174549A

JP2022174549A - Cutting device, and method for correcting mount flange

Info

Publication number: JP2022174549A
Application number: JP2021080424A
Authority: JP
Inventors: 一貴寺田; Kazutaka Terada
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2021-05-11
Filing date: 2021-05-11
Publication date: 2022-11-24

Abstract

To provide a new technique for reducing a step and labor required for correcting a contact surface against a cutting blade of a mount flange.SOLUTION: In a cutting device having a blade detection unit for detecting a state of a cutting blade, the blade detection unit has a cover for selectively covering a detection part having a light-emitting part and a light-receiving part arranged so as to face each other at an interval at which the cutting blade is inserted, and an open/close driving unit for positioning the cover at an open position where the detection part is exposed and a close position where the detection part is covered, the cutting device includes a correction tool 80 which is attached to the cover, and corrects a mount flange 24 in a state where the cutting blade is removed and the mount flange 24 is fixed to the tip of a spindle 23, the correction tool 80 is positioned at a correction position for correcting the mount flange 24 by positioning the cover at the open position, and the correction tool 80 is positioned at a retreat position by positioning the cover at the close position.SELECTED DRAWING: Figure 9

Description

本発明は、切削ブレードを備える切削装置、及び、切削ブレードを固定するためのマウントフランジの修正方法に関する。 The present invention relates to a cutting device with a cutting blade and a method of modifying a mounting flange for fixing the cutting blade.

ダイヤモンド等の砥粒をボンド材で結合した砥石からなる切削ブレードは、被加工物の切削に伴って摩耗する。摩耗した切削ブレードは新品の切削ブレードに交換できるように、切削装置のスピンドル先端に着脱自在に固定される。 A cutting blade made of a grindstone in which abrasive grains such as diamond are bonded with a bonding material wears as the workpiece is cut. A worn cutting blade is removably fixed to the tip of the spindle of the cutting device so that it can be replaced with a new cutting blade.

切削ブレードは二種類が存在する。一つは、ハブ基台とハブ基台の外周縁に形成された砥石とからなるハブブレードである。ハブブレードは、固定具である固定ナットと、マウントフランジと、で挟持された状態でスピンドルに固定される。もう一つは、リング状の砥石からなるワッシャーブレードである。ワッシャーブレードは、前フランジと固定ナットの組み合わせからなる固定具と、マウントフランジと、で挟持された状態でスピンドルに固定される。 There are two types of cutting blades. One is a hub blade consisting of a hub base and a grindstone formed on the outer peripheral edge of the hub base. The hub blade is fixed to the spindle while being sandwiched between a fixing nut, which is a fixture, and a mount flange. The other is a washer blade consisting of a ring-shaped grindstone. The washer blade is fixed to the spindle while being sandwiched between a fixture consisting of a combination of a front flange and a fixing nut, and a mounting flange.

スピンドルの軸心に対し、切削ブレードが傾斜して固定されると、回転中に砥石部分がばたつき高精度な加工が施せないことになる。このため、マウントフランジにおいて、切削ブレード、前フランジ等に対する当接面は平坦化されている。 If the cutting blade is fixed at an angle with respect to the axis of the spindle, the grindstone portion flutters during rotation, making high-precision machining impossible. For this reason, in the mount flange, the abutment surface with respect to the cutting blade, the front flange, etc. is flattened.

しかし、切削中に切削ブレードが空転した場合や破損した場合には、切削ブレードの取り付け時において、この当接面が損傷して平坦面ではなくなってしまう場合がある。 However, if the cutting blade spins or is damaged during cutting, the contact surface may be damaged and become non-flat when the cutting blade is attached.

このような問題に鑑み、例えば、特許文献１に開示されるように、マウントフランジにおいて当接面となる環状端面を端面修正用治具にて修正し、環状端面を平坦化するための技術が知られている In view of such problems, for example, as disclosed in Patent Document 1, a technique for flattening the annular end surface by correcting the annular end surface, which is the contact surface of the mount flange, with an end surface correcting jig has been developed. Are known

特開平８－３３９９７７号公報JP-A-8-339977

特許文献１に開示されるような従来技術では、切削装置において被加工物を保持する保持テーブルを治具保持用のテーブルに交換し、テーブルで端面修正治具を保持することで、マウントフランジの当接面を修正するものであった。そして、当接面の修正後には、治具保持用のテーブルを交換して再び保持テーブルに戻し、切削ブレードを取り付けることで被加工物の加工を再開するものであった。 In the prior art disclosed in Patent Document 1, a holding table for holding a workpiece in a cutting device is replaced with a table for holding a jig, and the table holds an end face correction jig, thereby reducing the mounting flange. It was to correct the contact surface. After the contact surface is corrected, the table for holding the jig is exchanged and returned to the holding table, and the cutting blade is attached to restart the machining of the workpiece.

しかし、上述した従来の修正の方法では、マウントフランジの当接面となる環状端面の修正に多くの工程と手間を要しており、改善が切望されていた。 However, in the above-described conventional correction method, many steps and troubles are required to correct the annular end surface that serves as the abutment surface of the mount flange, and an improvement has been desired.

本発明は以上の問題に鑑み、マウントフランジの切削ブレード等に対する当接面の修正に要する工程や手間を削減することを可能とする新規な技術を提供するものである。 SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above problems, the present invention provides a novel technique that can reduce the steps and labor required for correcting the contact surface of the mount flange with respect to the cutting blade or the like.

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。 The problems to be solved by the present invention are as described above, and the means for solving the problems will now be described.

本発明の一態様によれば、
被加工物を保持する保持ユニットと、該保持ユニットで保持された被加工物を切削する切削ブレードがスピンドルに着脱自在に固定される切削ユニットと、該切削ブレードの状態を検出するブレード検出ユニットと、を備えた切削装置であって、
該切削ブレードは、該スピンドル先端に固定されたマウントフランジと、固定具と、の間に固定され、
該ブレード検出ユニットは、
該切削ブレードが挿入される間隔を有して互いに対向して配設された発光部と受光部とを有する検出部と、
該検出部を選択的に覆うカバーと、
該検出部を露出させる開位置と該検出部を覆う閉位置とに該カバーを位置づける開閉駆動ユニットと、を有し、
該切削装置は、
該カバーに付設され、該固定具と該切削ブレードとが取り外されて該スピンドルの先端に固定された状態の該マウントフランジの修正を行う修正具を備え、
該カバーが該開位置に位置づけられることで、該修正具が該マウントフランジを修正するための修正位置に位置づけられるとともに、該カバーが該閉位置に位置づけられることで、該修正具が退避位置に位置づけられる、切削装置とする。 According to one aspect of the invention,
A holding unit that holds a workpiece, a cutting unit in which a cutting blade that cuts the workpiece held by the holding unit is detachably fixed to a spindle, and a blade detection unit that detects the state of the cutting blade. , a cutting device comprising
the cutting blade is secured between a mounting flange secured to the tip of the spindle and a fixture;
The blade detection unit includes:
a detection unit having a light-emitting unit and a light-receiving unit arranged facing each other with a gap for inserting the cutting blade;
a cover that selectively covers the detection unit;
an open/close drive unit that positions the cover in an open position that exposes the detection section and a closed position that covers the detection section;
The cutting device
a correction tool attached to the cover for correcting the mount flange in a state in which the fixing tool and the cutting blade are removed and fixed to the tip of the spindle;
Positioning the cover at the open position positions the correction tool at the correction position for correcting the mount flange, and positioning the cover at the closed position positions the correction tool at the retracted position. Positioned as a cutting device.

また、本発明の一態様によれば、
該修正具は、
マウントフランジの回転軸に対し垂直な第一面を研磨するための第一研磨面と、
マウントフランジの回転軸に対し平行な第二面を研磨するための第二研磨面と、
を有する、切削装置とする。 Further, according to one aspect of the present invention,
The corrector is
a first polishing surface for polishing the first surface perpendicular to the axis of rotation of the mounting flange;
a second polishing surface for polishing a second surface parallel to the axis of rotation of the mounting flange;
and a cutting device.

また、本発明の一態様によれば、
該スピンドルの先端に固定された該切削ブレードを交換するブレード交換ユニットと、
少なくとも該ブレード交換ユニットと該開閉駆動ユニットとを制御するコントローラと、を備え、
該コントローラは、所定のタイミングで該開閉駆動ユニットを制御して修正具を該修正位置に位置づけ、該マウントフランジの修正を行うように制御する、
切削装置とする。 Further, according to one aspect of the present invention,
a blade replacement unit that replaces the cutting blade fixed to the tip of the spindle;
a controller that controls at least the blade replacement unit and the opening/closing drive unit;
The controller controls the opening/closing drive unit at a predetermined timing to position the correcting tool at the correcting position and to correct the mount flange.
Cutting equipment.

また、本発明の一態様によれば、
上記切削装置において該マウントフランジの修正を行う修正方法であって、
該マウントフランジを修正する該修正位置に該修正具を位置づける位置づけステップと、
該マウントフランジが固定された該スピンドルを回転させるスピンドル回転ステップと、
回転する該マウントフランジに該修正具を当接させて該マウントフランジを修正する修正ステップと、を備えたマウントフランジの修正方法とする。 Further, according to one aspect of the present invention,
A correction method for correcting the mount flange in the cutting device,
a positioning step of positioning the corrector at the corrective position to correct the mounting flange;
a spindle rotation step of rotating the spindle to which the mounting flange is fixed;
and a correcting step of contacting the correcting tool against the rotating mount flange to correct the mount flange.

また、本発明の一態様によれば、
該マウントフランジは、
該マウントフランジの回転軸に対し垂直な第一面であって、
該切削ブレードがハブブレードである場合のハブ基台の後面、
又は、
該切削ブレードがワッシャーブレードである場合の切り刃の後面、
に当接するための第一面となる環状端面を有し、
該修正ステップでは、該修正具を該環状端面に当接させる、ことを含む、
マウントフランジの修正方法とする。 Further, according to one aspect of the present invention,
The mounting flange is
A first plane perpendicular to the axis of rotation of the mounting flange,
a rear surface of the hub base when the cutting blade is a hub blade;
or
the rear surface of the cutting blade when the cutting blade is a washer blade;
has an annular end surface that serves as a first surface for contacting the
The correcting step includes abutting the correcting tool against the annular end surface;
This is a method for correcting the mounting flange.

また、本発明の一態様によれば、
該マウントフランジは、
該マウントフランジの回転軸に対し平行な第二面であって、
該切削ブレードがハブブレードである場合のハブ基台の嵌合孔の内周部、
又は、
該切削ブレードがワッシャーブレードである場合の該固定具の前フランジ部の嵌合孔の内周部、
と嵌合するための第二面となるボス外周面を有し、
該修正ステップでは、該修正具を該ボス外周面に当接させる、ことを含む、
マウントフランジの修正方法とする。 Further, according to one aspect of the present invention,
The mounting flange is
a second plane parallel to the axis of rotation of the mounting flange,
the inner periphery of the fitting hole of the hub base when the cutting blade is a hub blade;
or
the inner peripheral portion of the fitting hole of the front flange portion of the fixture when the cutting blade is a washer blade;
has a boss outer peripheral surface serving as a second surface for fitting with,
The correcting step includes bringing the correcting tool into contact with the outer peripheral surface of the boss,
This is a method for correcting the mounting flange.

本発明によれば、修正具と、修正具をマウントフランジを修正する修正位置と、退避位置とに移動させる開閉駆動ユニットと、を備えることで、必要に応じマウントフランジの必要箇所を平坦化することが可能となる。このため、従来のように、治具保持用のテーブルに交換する必要がなくなり、マウントフランジの必要箇所の平坦化を短時間で行うことができる。また、切削装置内の切削ユニットが配置される加工室に作業者が手を入れる必要がないため、高い安全性が担保できるとともに、加工室内の汚れが加工室外に出ることを防止できる。 According to the present invention, by providing the correction tool, the correction position for correcting the mount flange, and the opening/closing drive unit for moving the correction tool to the retracted position, the required portion of the mount flange is flattened as necessary. becomes possible. Therefore, it is not necessary to replace the table with a table for holding a jig as in the conventional art, and the necessary portions of the mount flange can be flattened in a short period of time. In addition, since there is no need for the operator to put his/her hands into the processing chamber where the cutting unit in the cutting device is arranged, high safety can be ensured and dirt in the processing chamber can be prevented from coming out of the processing chamber.

切削ユニットを備える切削装置について示す図である。It is a figure showing a cutting device provided with a cutting unit. 被加工物の一例について示す図である。It is a figure shown about an example of a to-be-processed object. 切削ブレードを自動で交換するためのブレード交換ユニット等について示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a blade replacement unit and the like for automatically replacing a cutting blade; ハブブレードとして構成される切削ブレードの構成について示す図である。FIG. 4 is a diagram showing the configuration of a cutting blade configured as a hub blade; ワッシャーブレードとして構成される切削ブレードの構成について示す図である。FIG. 3 shows the construction of a cutting blade configured as a washer blade; （Ａ）はブレード検出ユニットのカバーを開いた状態について示す図。（Ｂ）はブレード検出ユニットのカバーを閉じた状態について示す図。(A) is a diagram showing a state in which the cover of the blade detection unit is opened. (B) is a diagram showing a state in which the cover of the blade detection unit is closed. 修正方法のフローチャートについて示す図。The figure which shows about the flowchart of a correction method. （Ａ）は修正具を修正位置に位置づけた状態について示す図。（Ｂ）は修正具を退避位置に位置づけた状態について示す図。(A) is a diagram showing a state in which a correction tool is positioned at a correction position. (B) is a diagram showing a state in which the correction tool is positioned at the retracted position. （Ａ）はマウントフランジの環状端面の修正を行う状態について一方向から見た図である。（Ｂ）はマウントフランジの環状端面の修正を行う状態について他方向から見た図である。(A) is a view of a state in which the annular end surface of the mount flange is corrected, viewed from one direction. (B) is a view of the state in which the annular end surface of the mount flange is corrected, viewed from the other direction. （Ａ）はマウントフランジのボス外周面の修正を行う状態について一方向から見た図である。（Ｂ）はマウントフランジのボス外周面の修正を行う状態について他方向から見た図である。(A) is a view of a state in which the boss outer peripheral surface of the mount flange is corrected, viewed from one direction. (B) is a view of the state in which the outer peripheral surface of the boss of the mount flange is corrected, viewed from the other direction.

本発明を実施するための実施形態につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。
図１は、切削ブレードを自動で交換するためのブレード交換ユニット３を備える切削装置１の構成例について示すものである。 An embodiment for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 shows a configuration example of a cutting apparatus 1 including a blade replacement unit 3 for automatically replacing cutting blades.

図１に示すように、切削装置１は、装置基台６を有し、装置基台６に設けられる各種機構がコントローラ４によって制御され、図２に示す被加工物Ｗを切削加工する装置として構成される。 As shown in FIG. 1, the cutting apparatus 1 has an apparatus base 6, various mechanisms provided on the apparatus base 6 are controlled by a controller 4, and is used as an apparatus for cutting a workpiece W shown in FIG. Configured.

図２に示すように、被加工物Ｗは、例えばシリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハ等のウェーハである。被加工物Ｗは、表面Ｗａに格子状に設定された複数の分割予定ラインＳによって格子状に区画された領域にデバイスＤが形成されている。なお、被加工物Ｗは、上記の例に限定されるものではない。 As shown in FIG. 2, the workpiece W is a wafer such as a disk-shaped semiconductor wafer or an optical device wafer made of silicon, sapphire, gallium, or the like as a base material. The workpiece W has devices D formed in regions partitioned in a grid pattern by a plurality of division lines S set in a grid pattern on the surface Wa. In addition, the workpiece W is not limited to the above example.

図２において、被加工物Ｗは粘着テープＴに貼着され、また、被加工物Ｗを取り囲むように環状フレームＦが粘着テープＴに貼着され、被加工物Ｗと環状フレームＦが一体化したウェーハユニットＵが構成される。このウェーハユニットＵがウェーハカセット４２（図１）に収容される。 In FIG. 2, the workpiece W is attached to the adhesive tape T, and the annular frame F is attached to the adhesive tape T so as to surround the workpiece W, so that the workpiece W and the annular frame F are integrated. A wafer unit U is constructed. This wafer unit U is accommodated in a wafer cassette 42 (FIG. 1).

図１に示すように、切削装置１は、保持ユニット１０をＸ軸方向に加工送りする図示せぬＸ軸移動ユニットと、切削ユニット２０をＹ軸方向に割り出し送りするＹ軸移動ユニットＵｙと、切削ユニット２０をＺ軸方向に切り込み送りするＺ軸移動ユニットＵｚと、を備える。また、保持ユニット１０は、吸引保持面を構成する保持テーブルにて構成され、図示せぬ回転駆動源によりＺ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられる。 As shown in FIG. 1, the cutting apparatus 1 includes an X-axis movement unit (not shown) that feeds the holding unit 10 in the X-axis direction, a Y-axis movement unit Uy that index-feeds the cutting unit 20 in the Y-axis direction, and a Z-axis moving unit Uz for cutting and feeding the cutting unit 20 in the Z-axis direction. The holding unit 10 is composed of a holding table that forms a suction holding surface, and is provided rotatably about an axis parallel to the Z-axis direction by a rotation drive source (not shown).

図１に示すように、切削装置１は、被加工物Ｗ（図２）を切削する切削ユニット２０と、自動で切削ブレード２１を交換するブレード交換ユニット３と、を備える。図１の構成では、切削ユニット２０を２つ備える構成として、いわゆるフェイシングデュアルタイプの切削装置として構成される。 As shown in FIG. 1, the cutting apparatus 1 includes a cutting unit 20 that cuts a workpiece W (FIG. 2) and a blade replacement unit 3 that automatically replaces the cutting blade 21. As shown in FIG. In the configuration of FIG. 1, two cutting units 20 are provided, which is a so-called facing dual type cutting device.

図１に示すように、被加工物を撮像するための撮像ユニット３０が、各切削ユニット２０と一体的に移動するように設けられる。 As shown in FIG. 1, an imaging unit 30 for imaging a workpiece is provided so as to move integrally with each cutting unit 20 .

図１に示すように、２つの切削ユニット２０は、それぞれ、門型の支持フレーム５に設けられるＹ軸移動ユニットＵｙ及びＺ軸移動ユニットＵｚにより、保持ユニット１０に対するＹ軸方向、及び、Ｚ軸方向において、相対移動可能に構成されている。 As shown in FIG. 1, the two cutting units 20 are moved in the Y-axis direction and the Z-axis direction with respect to the holding unit 10 by Y-axis movement unit Uy and Z-axis movement unit Uz, respectively, which are provided on the gate-shaped support frame 5 . In the direction, it is configured to be relatively movable.

図１に示すように、切削装置１は、切削前後の被加工物を収容するウェーハカセット４２を昇降可能に支持するカセットエレベータ４１と、切削後の被加工物を洗浄する洗浄ユニット４４と、ウェーハカセット４２に被加工物を出し入れするとともに被加工物を搬送する搬送手段である搬送ユニット４６とを備える。 As shown in FIG. 1, the cutting apparatus 1 includes a cassette elevator 41 that vertically supports a wafer cassette 42 containing workpieces before and after cutting, a cleaning unit 44 that cleans the workpieces after cutting, a wafer A transport unit 46, which is transport means for loading and unloading the workpieces into and from the cassette 42 and transporting the workpieces, is provided.

図１及び図３に示すように、切削装置１は、切削ブレードを自動で交換するためのブレード交換ユニット３を備える。図３に示すように、ブレード交換ユニット３は、切削ブレード２１に対向する位置に移動し、ブレード固定ナット２６を回転させて締結／取外しをするためのナットホルダ３２と、切削ブレード２１を着脱するためのブレードホルダ３４と、を有して構成される。 As shown in FIGS. 1 and 3, the cutting device 1 includes a blade changing unit 3 for automatically changing cutting blades. As shown in FIG. 3, the blade replacement unit 3 moves to a position facing the cutting blade 21 and rotates the blade fixing nut 26 to attach/detach the nut holder 32 and the cutting blade 21. and a blade holder 34 for.

図４に示すように、切削ユニット２０は、Ｚ軸移動ユニットＵｚのＺ軸移動プレート１９（図１）の下部に固定されるスピンドルハウジング２２と、スピンドルハウジング２２から突出し図示せぬモータにより回転駆動されるスピンドル２３と、スピンドル２３の先端部に装着されるマウントフランジ２４とを備える。 As shown in FIG. 4, the cutting unit 20 includes a spindle housing 22 fixed to the lower portion of the Z-axis movement plate 19 (FIG. 1) of the Z-axis movement unit Uz, and a motor (not shown) projecting from the spindle housing 22 and driven to rotate. and a mount flange 24 attached to the tip of the spindle 23 .

切削ユニット２０は、マウントフランジ２４をスピンドル２３の先端部に固定するマウント固定ボルト２５と、マウントフランジ２４に装着される切削ブレード２１と、切削ブレード２１をマウントフランジ２４との間で挟んで固定するための固定具であるブレード固定ナット２６とを備える。 The cutting unit 20 includes a mount fixing bolt 25 that fixes the mount flange 24 to the tip of the spindle 23, a cutting blade 21 attached to the mount flange 24, and the cutting blade 21 is sandwiched and fixed to the mount flange 24. and a blade fixing nut 26 which is a fixture for the blade.

マウントフランジ２４は、円筒状のボス部２４１と、ボス部２４１のスピンドルハウジング２２側の一端部に設けられたフランジ部２４２とを備えている。フランジ部２４２には、ボス部２４１の外径より大径の円環状に形成され、切削ブレード２１のハブ基台２１２の後面に当接するための環状端面２４４が形成される。マウントフランジ２４のボス部２４１の他端部の外周には、雄ネジ２４３が形成される。 The mount flange 24 includes a cylindrical boss portion 241 and a flange portion 242 provided at one end of the boss portion 241 on the spindle housing 22 side. The flange portion 242 is formed with an annular end surface 244 having a larger diameter than the outer diameter of the boss portion 241 and abutting on the rear surface of the hub base 212 of the cutting blade 21 . A male thread 243 is formed on the outer periphery of the other end of the boss portion 241 of the mount flange 24 .

図４に示す切削ブレード２１は、いわゆるハブブレードとして構成されるものであり、アルミニウム合金等の金属で構成された円環状のハブ基台２１２と、ハブ基台２１２の外周を囲むように形成される円環状の切り刃２１３を備える。ハブ基台２１２には、マウントフランジ２４のボス部２４１に装着するための嵌合孔２１４が中央に設けられる。嵌合孔２１４は、内側にマウントフランジ２４のボス部２４１が貫挿される。切り刃２１３は、ダイヤモンドやＣＢＮ（ＣｕｂｉｃＢｏｒｏｎＮｉｔｒｉｄｅ）等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材（結合材）とからなり所定厚みに形成されている。 The cutting blade 21 shown in FIG. 4 is configured as a so-called hub blade, and is formed so as to surround an annular hub base 212 made of a metal such as an aluminum alloy and the outer periphery of the hub base 212. An annular cutting edge 213 is provided. The hub base 212 is provided at its center with a fitting hole 214 for mounting on the boss portion 241 of the mount flange 24 . The boss portion 241 of the mount flange 24 is inserted through the fitting hole 214 . The cutting edge 213 is made of abrasive grains such as diamond or CBN (Cubic Boron Nitride) and a bonding material such as metal or resin and has a predetermined thickness.

切削ブレード２１は、ハブ基台２１２の嵌合孔２１４をマウントフランジ２４の円筒状のボス部２４１のボス外周面２４６に嵌合させた状態とし、ブレード固定ナット２６をボス部２４１の雄ネジ２４３に締結することで、マウントフランジ２４に固定される。この状態で、切削ブレード２１は、ブレード固定ナット２６とマウントフランジ２４の間で挟持され、ハブ基台２１２の後面は、マウントフランジ２４に形成される環状端面２４４に当接して支持される。 The cutting blade 21 is in a state in which the fitting hole 214 of the hub base 212 is fitted to the boss outer peripheral surface 246 of the cylindrical boss portion 241 of the mount flange 24 , and the blade fixing nut 26 is screwed onto the external thread 243 of the boss portion 241 . It is fixed to the mount flange 24 by fastening to. In this state, the cutting blade 21 is sandwiched between the blade fixing nut 26 and the mount flange 24 , and the rear surface of the hub base 212 abuts against and is supported by an annular end surface 244 formed on the mount flange 24 .

切削ブレード２１の固定具となるブレード固定ナット２６の端面には、ブレード交換ユニット３のナットホルダ３２（図３）の図示せぬ係合部と係合するための４個のピン係合孔２６１がそれぞれ９０度の間隔を開けて設けられる。また、ブレード固定ナット２６は円環状に構成され、外周面には環状の係合溝２６２が形成される。 The end face of the blade fixing nut 26, which serves as a fixture for the cutting blade 21, has four pin engaging holes 261 for engaging with engaging portions (not shown) of the nut holder 32 (FIG. 3) of the blade replacement unit 3. are provided at intervals of 90 degrees. Further, the blade fixing nut 26 is formed in an annular shape, and an annular engagement groove 262 is formed on the outer peripheral surface.

切削ブレード２１を装着した状態において、スピンドル２３、マウントフランジ２４、切削ブレード２１の軸心は同軸上に配置され、Ｙ軸方向と平行となる。 When the cutting blade 21 is attached, the axes of the spindle 23, mount flange 24, and cutting blade 21 are arranged coaxially and parallel to the Y-axis direction.

また、以上の構成において、マウントフランジ２４は、マウントフランジ２４の回転軸に対し垂直な第一面であって、切削ブレード２１のハブ基台２１２の後面に当接するための第一面となる環状端面２４４を有する構成となる。 Further, in the above configuration, the mount flange 24 is the first surface perpendicular to the rotation axis of the mount flange 24 and is the first surface for contacting the rear surface of the hub base 212 of the cutting blade 21 . It becomes the structure which has the end surface 244. FIG.

また、マウントフランジ２４は、マウントフランジ２４の回転軸に対し平行な第二面であって、切削ブレード２１のハブ基台２１２の嵌合孔２１４の内周部と嵌合するための第二面となるボス外周面２４６を有する構成となる。 Further, the mount flange 24 has a second surface parallel to the rotation axis of the mount flange 24 and is a second surface for fitting with the inner peripheral portion of the fitting hole 214 of the hub base 212 of the cutting blade 21. It becomes the structure which has the boss|hub outer peripheral surface 246 which becomes.

図５は、リング状の砥石からなるワッシャーブレードとして構成される切削ブレード２１Ａを備える切削ユニット２０Ａの構成例である。切削ブレード２１Ａは、ブレード固定ナット２６と前フランジ２７の組み合わせからなる固定具と、マウントフランジ２４との間で挟持される。その他の構成は、図４の構成と同様である。 FIG. 5 shows a configuration example of a cutting unit 20A having a cutting blade 21A configured as a washer blade made of a ring-shaped grindstone. The cutting blade 21A is sandwiched between a fixture consisting of a combination of a blade fixing nut 26 and a front flange 27 and a mounting flange 24. As shown in FIG. Other configurations are the same as those in FIG.

図５に示すように、切削ブレード２１Ａがワッシャーブレードで構成される場合には、切削ブレード２１Ａの後面が、マウントフランジ２４の環状端面２４４に当接し、前フランジ２７の嵌合孔２７４がボス外周面２４６に嵌合する。 As shown in FIG. 5, when the cutting blade 21A is composed of a washer blade, the rear surface of the cutting blade 21A abuts the annular end surface 244 of the mount flange 24, and the fitting hole 274 of the front flange 27 is aligned with the outer periphery of the boss. It mates with face 246 .

図１に示すように、切削ユニット２０の切削ブレード２１を位置づけ可能な位置には、ブレード検出ユニット６０が配置される。図３に示すように、ブレード検出ユニット６０は、切削ブレード２１の状態を検出するものであり、具体的には、切り刃２１３のＺ方向位置の位置や摩耗状態を検出するためのものである。 As shown in FIG. 1, a blade detection unit 60 is arranged at a position where the cutting blade 21 of the cutting unit 20 can be positioned. As shown in FIG. 3, the blade detection unit 60 detects the state of the cutting blade 21. Specifically, it detects the position of the cutting edge 213 in the Z direction and the wear state. .

図６（Ａ）に示すように、ブレード検出ユニット６０は、直方体状の検出台６１を有しており、この検出台６１の上面には、切削ブレード２１が挿入される間隔を有して互いに対向して配設された発光部６３と受光部６４とを有する検出部６２が設けられている。本実施例では、ブレード挿入溝６６を形成し、ブレード挿入溝６６の両側の壁部６６ａ，６６ｂの互いの対向面に、それぞれ発光部６３と受光部６４が設けられる。 As shown in FIG. 6(A), the blade detection unit 60 has a rectangular parallelepiped detection table 61. On the upper surface of this detection table 61, there is a gap where the cutting blades 21 are inserted. A detection section 62 having a light emitting section 63 and a light receiving section 64 arranged to face each other is provided. In this embodiment, a blade insertion groove 66 is formed, and a light-emitting portion 63 and a light-receiving portion 64 are provided on opposing surfaces of wall portions 66a and 66b on both sides of the blade insertion groove 66, respectively.

検出部６２には、発光部６３と受光部６４に向けて洗浄水やエアーを供給するための洗浄ノズル６５ａ，６５ｂが設けられる。 The detection unit 62 is provided with cleaning nozzles 65 a and 65 b for supplying cleaning water and air toward the light emitting unit 63 and the light receiving unit 64 .

検出台６１において、ブレード挿入溝６６が形成される側の反対側には、開閉駆動ユニット６８（カバー開閉ユニット）により開閉し、検出部６２を選択的に覆うカバー６７が設けられる。開閉駆動ユニット６８は、ブレード検出時には、図６（Ａ）に示すように、検出部６２を露出させる開位置にカバー６７を位置づけ、ブレード検出を行わないときには、図６（Ｂ）に示すように、検出部６２を覆う閉位置にカバー６７を位置付ける。 A cover 67 that is opened and closed by an opening/closing drive unit 68 (cover opening/closing unit) and selectively covers the detection section 62 is provided on the detection table 61 on the side opposite to the side where the blade insertion groove 66 is formed. The opening/closing drive unit 68 positions the cover 67 at the open position exposing the detection section 62 as shown in FIG. 6A when detecting the blade, and as shown in FIG. 6B when not detecting the blade. , the cover 67 is positioned at the closed position covering the detection unit 62 .

以上の構成とするブレード検出ユニット６０では、図３に示すように、切削ブレード２１をブレード挿入溝６６に挿入するとともに、発光部６３（図６（Ａ））にて発光される光を受光部６４（図６（Ａ））で受光し、受光量に基づいて切削ブレード２１の上下方向（Ｚ軸方向）の位置の検出が行われる。 In the blade detection unit 60 configured as described above, as shown in FIG. 64 (FIG. 6A), and the position of the cutting blade 21 in the vertical direction (Z-axis direction) is detected based on the amount of light received.

図３に示すように、新品の切削ブレード２１を装着した際には、ブレード挿入溝６６に切削ブレード２１を上側から進入させ、切削ブレード２１の切り刃２１３の刃先が光を遮ることで受光量の低下が開始したときの切削ブレード２１のＺ方向位置が検出され、このＺ方向位置が基準位置として記憶される。この作業は、非接触セットアップ作業と称される。 As shown in FIG. 3, when a new cutting blade 21 is installed, the cutting blade 21 is inserted into the blade insertion groove 66 from above, and the cutting edge of the cutting edge 213 of the cutting blade 21 blocks light, thereby increasing the amount of light received. The Z-direction position of the cutting blade 21 is detected at the time when the drop of the cutting blade 21 starts, and this Z-direction position is stored as a reference position. This operation is called a non-contact set-up operation.

その後、切削ブレード２１が摩耗した後に再度非接触セットアップ作業を実施し、受光量の低下が開始したときの切削ブレード２１のＺ方向位置を検出することで、摩耗量が検出される。また、この際に検出した切削ブレード２１のＺ方向位置に基づき、切削ブレード２１の切り込み高さ位置（Ｚ方向位置）を検出したり、制御することができる。 After that, after the cutting blade 21 wears, the non-contact setup work is performed again, and the amount of wear is detected by detecting the Z-direction position of the cutting blade 21 when the amount of received light starts to decrease. Further, based on the Z-direction position of the cutting blade 21 detected at this time, the cutting height position (Z-direction position) of the cutting blade 21 can be detected and controlled.

図６（Ａ）（Ｂ）に示すように、ブレード検出ユニット６０の検出部６２を覆うカバー６７には、切削ブレードが取り外されてスピンドル２３（図８（Ａ））の先端に固定された状態のマウントフランジ２４（図８（Ａ））の修正を行う修正具８０が設けられる。 As shown in FIGS. 6A and 6B, the cutting blade is removed from the cover 67 covering the detection section 62 of the blade detection unit 60 and fixed to the tip of the spindle 23 (FIG. 8A). A correction tool 80 is provided for correcting the mounting flange 24 (FIG. 8(A)).

本実施例の修正具８０は、略Ｌ字型のアーム８２の先端に研磨部材８４を設けてなる構成としている。アーム８２の後端は、カバー６７の側面に付設されることで、カバー６７の開閉とともに回動する。カバー６７に付設する構成とすることで、修正具８０を移動させるための他の装置を設けることが不要となり、装置構成の簡素化が図られる。 The correction tool 80 of this embodiment has a configuration in which a polishing member 84 is provided at the tip of a substantially L-shaped arm 82 . The rear end of the arm 82 is attached to the side surface of the cover 67 and rotates as the cover 67 is opened and closed. By providing the structure attached to the cover 67, it becomes unnecessary to provide another device for moving the correction tool 80, and the structure of the device can be simplified.

研磨部材８４は、例えば、５ミクロン以下の砥粒と金属を含んでなるブロック状の砥石にて構成され、導電性を有する構成とする。研磨部材８４は、ブロック状の砥石とする他、表面を導電性を有した研磨シートで覆って構成することとしてもよい。 The polishing member 84 is made of, for example, a block-shaped grindstone containing abrasive grains of 5 microns or less and metal, and has conductivity. The polishing member 84 may be a block-shaped grindstone, or may be configured by covering the surface with a conductive polishing sheet.

研磨部材８４は、導電性を有することで、図９（Ａ）（Ｂ）、及び、図１０（Ａ）（Ｂ）に示すように、マウントフランジ２４との接触を導通により検出することが可能となる。なお、研磨部材８４は導電性を有しないものとしてもよく、その場合には、例えば、研磨部材８４がマウントフランジ２４に接触したときのスピンドルの回転数や負荷電流値が変化することを利用して、接触を検出する構成とすることができる。 Since the polishing member 84 has conductivity, contact with the mount flange 24 can be detected by conduction as shown in FIGS. 9A and 9B and FIGS. becomes. The polishing member 84 may be non-conductive. In this case, for example, it is possible to utilize the fact that the rotational speed of the spindle and the load current value change when the polishing member 84 contacts the mount flange 24. can be configured to detect contact.

研磨部材８４は、図９（Ａ）（Ｂ）、及び、図１０（Ａ）（Ｂ）に示すように、マウントフランジ２４の回転軸に対し垂直な第一面となる環状端面２４４を研磨するための第一研磨面８４ａと、マウントフランジ２４の回転軸に対し平行な第二面となるボス外周面２４６を研磨するための第二研磨面８４ｂと、を有し、マウントフランジ２４の高さに応じ、マウントフランジ２４の異なる二箇所を研磨して修正（平坦化）することができるように構成される。 As shown in FIGS. 9A and 9B and FIGS. 10A and 10B, the polishing member 84 polishes the annular end surface 244 which is the first surface perpendicular to the rotation axis of the mount flange 24. and a second polished surface 84b for polishing the boss outer peripheral surface 246, which serves as a second surface parallel to the rotation axis of the mount flange 24, and the height of the mount flange 24 Accordingly, two different portions of the mounting flange 24 can be ground and corrected (flattened).

図６（Ａ）及び図８（Ａ）に示すように、カバー６７が開かれて開位置に位置づけられることで、修正具８０はマウントフランジ２４を修正するための修正位置に位置づけられ、研磨部材８４が上側に配置される。 As shown in FIGS. 6(A) and 8(A), the cover 67 is opened and positioned at the open position, so that the correcting tool 80 is positioned at the correcting position for correcting the mount flange 24, and the polishing member is 84 are placed on the upper side.

図６（Ｂ）及び図８（Ｂ）に示すように、カバー６７が閉じられて閉位置に位置づけられることで、修正具８０は退避位置に位置づけられ、研磨部材８４が下側に配置されることになる。 As shown in FIGS. 6B and 8B, when the cover 67 is closed and positioned at the closed position, the correction tool 80 is positioned at the retracted position, and the polishing member 84 is arranged on the lower side. It will be.

次に、以上の構成を用いた修正方法の例について、図７に示すフローチャートの順に説明する。以下に説明する修正方法は、例えば、新品の切削ブレードに交換される際に実施することができる。 Next, an example of a correction method using the above configuration will be described in order of the flowchart shown in FIG. The correction method described below can be implemented, for example, when the cutting blade is replaced with a new one.

＜切削ブレード取外しステップ＞
図８（Ａ）に示すように、マウントフランジ２４から切削ブレードが取り外された状態とするステップである。 <Cutting blade removal step>
As shown in FIG. 8(A), this is a step in which the cutting blade is removed from the mount flange 24 .

本実施例では、図３に示すようにスピンドル２３の先端に固定された切削ブレード２１を交換するブレード交換ユニット３を備え、コントローラ４（図１）により、所定のタイミングで切削ブレード２１を取外し、マウントフランジ２４の修正を行うこととする。切削ブレード２１が取り外されることにより、マウントフランジ２４が露出された状態となる。 In this embodiment, as shown in FIG. 3, a blade replacement unit 3 for replacing a cutting blade 21 fixed to the tip of a spindle 23 is provided. Assume that the mounting flange 24 is to be corrected. By removing the cutting blade 21, the mounting flange 24 is exposed.

なお、ブレード交換ユニット３を備えない構成においては、作業者による手作業により、切削ブレード２１の取外しが行われる。また、所定のタイニングとは、ブレード交換ユニットで交換した切削ブレードの数が所定数に達した場合や、ブレード交換時にブレード交換ユニットにかかる負荷（回転トルク）等をもとにボス部外周面２４６（図４）の異物付着を自動検出し、マウントフランジ２４の修正の要否を判断することとしてもよい。 In addition, in the configuration without the blade replacement unit 3, the removal of the cutting blade 21 is performed manually by the operator. Further, the predetermined tinging means that when the number of cutting blades replaced by the blade replacement unit reaches a predetermined number, or when the load (rotational torque) applied to the blade replacement unit at the time of blade replacement, etc., the boss portion outer peripheral surface 246 It is also possible to automatically detect adhesion of foreign matter (FIG. 4) and determine whether or not the mount flange 24 needs to be corrected.

＜位置づけステップ＞
図８（Ａ）に示すように、マウントフランジ２４を修正する修正位置に修正具８０を位置づけるステップである。本実施例では、コントローラ４の制御により、開閉駆動ユニット６８（図６（Ａ））にてカバー６７を開くことで修正具８０の研磨部材８４を修正位置に位置付けされる。 <Positioning step>
As shown in FIG. 8(A), this is the step of positioning the correction tool 80 at the correction position for correcting the mount flange 24 . In this embodiment, under the control of the controller 4, the opening/closing drive unit 68 (FIG. 6A) opens the cover 67 to position the polishing member 84 of the correction tool 80 at the correction position.

＜スピンドル回転ステップ＞
図８（Ａ）に示すように、マウントフランジ２４が固定されたスピンドル２３を回転させるステップである。 <Spindle rotation step>
As shown in FIG. 8A, this is the step of rotating the spindle 23 to which the mount flange 24 is fixed.

コントローラ４は、予め設定された回転数によりスピンドル２３を低速で回転させる。回転数は、研磨に適した回転数に設定される。 The controller 4 rotates the spindle 23 at a low speed at a preset number of revolutions. The rotation speed is set to a rotation speed suitable for polishing.

＜修正ステップ＞
図９（Ａ）に示すように、回転するマウントフランジ２４に修正具８０を当接させてマウントフランジ２４を修正するステップである。 <Correction step>
As shown in FIG. 9A, this is the step of correcting the mount flange 24 by bringing the corrector 80 into contact with the rotating mount flange 24 .

図９（Ａ）（Ｂ）に示すように、マウントフランジ２４の環状端面２４４が、研磨部材８４の第一研磨面８４ａに接触するまで、切削ユニット２０をＺ軸方向に下降、及び、Ｙ軸方向に移動させる。例えば、環状端面２４４の外径サイズをもとに、環状端面２４４が研磨部材８４の第一研磨面８４ａに対面する位置まで切削ユニット２０をＺ軸方向で下降させるとともに、環状端面２２４が研磨部材８４の第一研磨面８４ａに当接するまで切削ユニット２０をＹ軸方向に移動させる。この際、研磨部材８４は、導電性を有することで、研磨部材８４と環状端面２４４との接触が導通によりコントローラ４（図１）により検出される。 As shown in FIGS. 9A and 9B, the cutting unit 20 is lowered in the Z-axis direction until the annular end surface 244 of the mount flange 24 contacts the first grinding surface 84a of the grinding member 84, and move in the direction For example, based on the outer diameter size of the annular end surface 244, the cutting unit 20 is lowered in the Z-axis direction to a position where the annular end surface 244 faces the first grinding surface 84a of the grinding member 84, and the annular end surface 224 is aligned with the grinding member. The cutting unit 20 is moved in the Y-axis direction until it comes into contact with the first polishing surface 84a of 84 . At this time, since the polishing member 84 is conductive, contact between the polishing member 84 and the annular end surface 244 is detected by the controller 4 (FIG. 1) due to conduction.

コントローラ４は、スピンドル２３の回転を所定時間継続することで、環状端面２４４を研磨部材８４の第一研磨面８４ａによって研磨し、平坦化する。この際、所定のタイミングでスピンドル２３（マウントフランジ２４）をＹ軸方向に微小距離移動させ、研磨部材８４の第一研磨面８４ａに対する環状端面２２４の接触圧を変化させることとしてもよい。 The controller 4 continues the rotation of the spindle 23 for a predetermined period of time to polish the annular end surface 244 with the first polishing surface 84a of the polishing member 84 to flatten it. At this time, the spindle 23 (mount flange 24) may be moved by a small distance in the Y-axis direction at a predetermined timing to change the contact pressure of the annular end surface 224 against the first polishing surface 84a of the polishing member 84.

なお、環状端面２２４は、図４のハブブレードの構成では、切削ブレード２１のハブ基台２１２の後面に対向する面であり、図５のワッシャーブレードの構成では、切削ブレード２１Ａに対向する面である。 4, the annular end surface 224 is a surface facing the rear surface of the hub base 212 of the cutting blade 21, and in the washer blade structure of FIG. 5, it is a surface facing the cutting blade 21A. be.

同様に、図１０（Ａ）（Ｂ）に示すように、マウントフランジ２４のボス外周面２４６が、研磨部材８４の第二研磨面８４ｂに接触するまで、切削ユニット２０をＺ軸方向に下降、及び、Ｙ軸方向に移動させる。例えば、ボス外周面２４６の外径サイズをもとに、ボス部２４１が研磨部材８４の第二研磨面８４ｂに対面する位置まで切削ユニット２０をＺ軸方向で下降させるとともに、ボス外周面２４６が第二研磨面８４ｂに当接する位置となるように切削ユニット２０をＹ移動させる。この際、研磨部材８４は、導電性を有することで、研磨部材８４とボス外周面２４６との接触が導通によりコントローラ４（図１）により検出される。 Similarly, as shown in FIGS. 10A and 10B, the cutting unit 20 is lowered in the Z-axis direction until the boss outer peripheral surface 246 of the mount flange 24 contacts the second polishing surface 84b of the polishing member 84. and move in the Y-axis direction. For example, based on the outer diameter size of the boss outer peripheral surface 246, the cutting unit 20 is lowered in the Z-axis direction to a position where the boss portion 241 faces the second polishing surface 84b of the polishing member 84, and the boss outer peripheral surface 246 is The cutting unit 20 is Y-moved so as to come into contact with the second polishing surface 84b. At this time, since the polishing member 84 is conductive, contact between the polishing member 84 and the boss outer peripheral surface 246 is detected by the controller 4 (FIG. 1) due to conduction.

なお、ボス外周面２４６は、図４のハブブレードの構成では、切削ブレード２１のハブ基台２１２の嵌合孔２１４の内周面に嵌合する面であり、図５のワッシャーブレードの構成では、前フランジ２７の嵌合孔２７４の内周面に嵌合する面である。 4, the boss outer peripheral surface 246 is a surface that fits into the inner peripheral surface of the fitting hole 214 of the hub base 212 of the cutting blade 21. In the washer blade configuration of FIG. , to be fitted into the inner peripheral surface of the fitting hole 274 of the front flange 27 .

コントローラ４（図１）は、スピンドル２３の回転を所定時間継続することで、ボス外周面２４６を研磨部材８４の第二研磨面８４ｂによって研磨し、平坦化する。この際、所定のタイミングでスピンドル２３（マウントフランジ２４）をＺ軸方向に微小距離移動させ、研磨部材８４の第二研磨面８４ｂに対するボス外周面２４６の接触圧を変化させることとしてもよい。 The controller 4 (FIG. 1) continues the rotation of the spindle 23 for a predetermined period of time to polish the boss outer peripheral surface 246 with the second polishing surface 84b of the polishing member 84 to flatten it. At this time, the spindle 23 (mount flange 24) may be moved by a small distance in the Z-axis direction at a predetermined timing to change the contact pressure of the boss outer peripheral surface 246 against the second polishing surface 84b of the polishing member 84.

以上のようにして、マウントフランジ２４の環状端面２４４とボス外周面２４６を研磨することができ、平坦化することが可能となる。なお、環状端面２４４とボス外周面２４６のいずれか一方の研磨を行ってもよい。 As described above, the annular end surface 244 and the boss outer peripheral surface 246 of the mount flange 24 can be ground and flattened. Either one of the annular end surface 244 and the boss outer peripheral surface 246 may be polished.

以上のように、本発明によれば、図６（Ａ）（Ｂ）、及び、図８（Ａ）（Ｂ）に示すように、修正具８０と、修正具８０をマウントフランジ２４を修正する修正位置と、退避位置とに移動させる開閉駆動ユニット６８とを備えることで、必要に応じマウントフランジ２４の必要箇所を平坦化することが可能となる。このため、従来のように、治具保持用のテーブルに交換する必要がなくなり、マウントフランジ２４の必要箇所の平坦化を短時間で行うことができる。また、切削装置内の切削ユニットが配置される加工室に作業者が手を入れる必要がないため、高い安全性が担保できるとともに、加工室内の汚れが加工室外に出ることを防止できる。 As described above, according to the present invention, as shown in FIGS. 6A and 6B and FIGS. By providing the opening/closing drive unit 68 for moving to the correction position and the retracted position, it becomes possible to flatten the required portion of the mount flange 24 as necessary. Therefore, it is not necessary to replace the table with a table for holding a jig as in the conventional art, and the necessary portion of the mount flange 24 can be flattened in a short time. In addition, since there is no need for the operator to put his/her hands into the processing chamber where the cutting unit in the cutting device is arranged, high safety can be ensured and dirt in the processing chamber can be prevented from coming out of the processing chamber.

また、図９（Ａ）（Ｂ）、及び、図１０（Ａ）（Ｂ）に示すように、修正具８０について、第一研磨面８４ａと、第二研磨面８４ｂの異なる研磨面を有することで、修正具８０の交換をすることなく、マウントフランジ２４の異なる二つの環状端面２４４とボス部２４１（ボス外周面２４６）を研磨して平坦化することができ、平坦に要する全体の時間を短縮することが可能となる。 Further, as shown in FIGS. 9A and 9B and FIGS. 10A and 10B, the correcting tool 80 has different polishing surfaces, namely, a first polishing surface 84a and a second polishing surface 84b. Therefore, the two different annular end surfaces 244 and the boss portion 241 (boss outer peripheral surface 246) of the mount flange 24 can be polished and flattened without exchanging the correcting tool 80, and the total time required for flattening can be shortened. can be shortened.

また、本願発明は、切削ブレードがハブブレードであるものについて、特に好適に実施され得る。図４に示すように、ハブブレードでは、切削ブレード２１を交換する際にハブ基台２１２の嵌合孔２１４の内周面とマウントフランジ２４のボス部外周面２４６とが擦れ、ハブ基台２１２の金属がボス部外周面２４６に付着し、切削ブレード２１を複数枚交換することで異物となって堆積することが考えられる。この異物の存在により、切削ブレード２１の着脱が困難になることが考えられるため、この異物を除去することは有効なものとなる。 Moreover, the present invention can be carried out particularly preferably when the cutting blade is a hub blade. As shown in FIG. 4, in the hub blade, when the cutting blade 21 is replaced, the inner peripheral surface of the fitting hole 214 of the hub base 212 and the outer peripheral surface 246 of the boss portion of the mount flange 24 rub against each other. metal adheres to the outer peripheral surface 246 of the boss portion, and is conceivably deposited as foreign matter when a plurality of cutting blades 21 are replaced. Since the presence of this foreign matter may make it difficult to attach and detach the cutting blade 21, it is effective to remove this foreign matter.

さらに、ブレード交換ユニット３（図３）を備える構成においては、上述した修正ステップを所定のタイミングで定期的に実行させることが好ましい。
作業者による交換では切削ブレードの挿入が難しくなったことが感知できて修正作業を行う判断ができるが、ブレード交換ユニットによる切削ブレードの装着では、切削ブレードの挿入が難しくなったことを感知できず、却って修正時間に長時間を要することや、修正ができない程度まで状況が悪化するおそれもあるためである。このことは、装置の全自動化と連続稼働の面から重要なものであり、ブレード交換ユニット３（図３）による切削ブレード２１の自動交換のメリットを最大限に活かすことに繋がるものである。 Furthermore, in a configuration having a blade replacement unit 3 (FIG. 3), it is preferable to periodically perform the correction steps described above at predetermined timings.
When replacing by the operator, it is possible to detect that it has become difficult to insert the cutting blade and decide to perform correction work, but when installing the cutting blade with the blade replacement unit, it is not possible to detect that it has become difficult to insert the cutting blade. This is because, on the contrary, it may take a long time to correct the problem, or the situation may worsen to such an extent that the correction is impossible. This is important from the standpoint of full automation and continuous operation of the apparatus, and leads to maximizing the advantage of automatic replacement of the cutting blades 21 by the blade replacement unit 3 (FIG. 3).

１切削装置
３ブレード交換ユニット
４コントローラ
１０保持ユニット
１９Ｚ軸移動プレート
２０切削ユニット
２１切削ブレード
２２スピンドルハウジング
２３スピンドル
２４マウントフランジ
２５マウント固定ボルト
２６ブレード固定ナット
２７前フランジ
３２ナットホルダ
３４ブレードホルダ
６０ブレード検出ユニット
６２検出部
６６ブレード挿入溝
６７カバー
６８開閉駆動ユニット
８０修正具
８２アーム
８４研磨部材
８４ａ第一研磨面
８４ｂ第二研磨面
２１２ハブ基台
２１３切り刃
２１４嵌合孔
２４１ボス部
２４２フランジ部
２４３雄ネジ
２４４環状端面
２４６ボス外周面
２６１ピン係合孔
２６２係合溝
Ｄデバイス
Ｆ環状フレーム
Ｓ分割予定ライン
Ｔ粘着テープ
Ｕウェーハユニット
ＵｙＹ軸移動ユニット
ＵｚＺ軸移動ユニット
Ｗ被加工物
Ｗａ表面
1 cutting device 3 blade exchange unit 4 controller 10 holding unit 19 Z-axis moving plate 20 cutting unit 21 cutting blade 22 spindle housing 23 spindle 24 mount flange 25 mount fixing bolt 26 blade fixing nut 27 front flange 32 nut holder 34 blade holder 60 blade Detection unit 62 Detection part 66 Blade insertion groove 67 Cover 68 Opening/closing drive unit 80 Corrector 82 Arm 84 Polishing member 84a First polishing surface 84b Second polishing surface 212 Hub base 213 Cutting edge 214 Fitting hole 241 Boss portion 242 Flange portion 243 Male screw 244 Annular end face 246 Boss outer peripheral face 261 Pin engagement hole 262 Engagement groove D Device F Annular frame S Planned division line T Adhesive tape U Wafer unit Uy Y-axis movement unit Uz Z-axis movement unit W Workpiece Wa Surface

Claims

A holding unit that holds a workpiece, a cutting unit in which a cutting blade that cuts the workpiece held by the holding unit is detachably fixed to a spindle, and a blade detection unit that detects the state of the cutting blade. , a cutting device comprising
the cutting blade is secured between a mounting flange secured to the tip of the spindle and a fixture;
The blade detection unit includes:
a detection unit having a light-emitting unit and a light-receiving unit arranged facing each other with a gap for inserting the cutting blade;
a cover that selectively covers the detection unit;
an open/close drive unit that positions the cover in an open position that exposes the detection section and a closed position that covers the detection section;
The cutting device
a correction tool attached to the cover for correcting the mount flange in a state in which the fixing tool and the cutting blade are removed and fixed to the tip of the spindle;
Positioning the cover at the open position positions the correction tool at the correction position for correcting the mount flange, and positioning the cover at the closed position positions the correction tool at the retracted position. Positioned, cutting equipment.

The corrector is
a first polishing surface for polishing the first surface perpendicular to the axis of rotation of the mounting flange;
a second polishing surface for polishing a second surface parallel to the axis of rotation of the mounting flange;
2. The cutting device according to claim 1, comprising:

a blade replacement unit that replaces the cutting blade fixed to the tip of the spindle;
a controller that controls at least the blade replacement unit and the opening/closing drive unit;
The controller controls the opening/closing drive unit at a predetermined timing to position the correcting tool at the correcting position and to correct the mount flange.
The cutting device according to claim 1, characterized in that:

A correction method for correcting the mount flange in the cutting apparatus according to any one of claims 1 to 3, comprising:
a positioning step of positioning the corrector at the corrective position to correct the mounting flange;
a spindle rotation step of rotating the spindle to which the mounting flange is fixed;
and a correcting step of correcting the mount flange by contacting the corrector against the rotating mount flange.

The mounting flange is
A first plane perpendicular to the axis of rotation of the mounting flange,
a rear surface of the hub base when the cutting blade is a hub blade;
or
the rear surface of the cutting blade when the cutting blade is a washer blade;
has an annular end surface that serves as a first surface for contacting the
The correcting step includes abutting the correcting tool against the annular end surface;
5. The method of correcting a mounting flange according to claim 4, characterized in that:

The mounting flange is
a second plane parallel to the axis of rotation of the mounting flange,
the inner periphery of the fitting hole of the hub base when the cutting blade is a hub blade;
or
the inner peripheral portion of the fitting hole of the front flange portion of the fixture when the cutting blade is a washer blade;
has a boss outer peripheral surface serving as a second surface for fitting with,
The correcting step includes bringing the correcting tool into contact with the outer peripheral surface of the boss,
6. The method of correcting a mount flange according to claim 4 or 5, characterized in that: