JP2022172791A - Fpcベースの金属回路構造及びその加工方法 - Google Patents
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Abstract
Description
前記中間層の上下表面はそれぞれ前記第1金属層及び前記第2金属層に接続され、前記中間層は、第2金属層と反応しにくい材料である。
上記の加工方法を使用して製造された金属回路構造は、加工後、第1金属層2が8ミクロンの厚さの銅であり、中間層3が30ナノメートルの厚さのニッケルであり、第2金属層4が100ナノメートルの厚さの錫である。焼成・静置後、各層の金属の厚さは実質的に変化していない。
上記の加工方法を使用して製造された金属回路構造は、加工後、第1金属層2が8ミクロンの厚さの銅であり、中間層3が30ナノメートルの厚さのニッケルであり、第2金属層4が200ナノメートルの厚さの錫である。焼成・静置後、各層の金属の厚さは実質的に変化していない。
上記の加工方法を使用して製造された金属回路構造は、加工後、第1金属層2が8ミクロンの厚さの銅であり、中間層3が30ナノメートルの厚さのニッケルであり、第2金属層4が160ナノメートルの厚さの錫である。焼成・静置後、各層の金属の厚さは実質的に変化していない。
上記の加工方法を使用して製造された金属回路構造は、加工後、第1金属層2が8ミクロンの厚さの銅であり、中間層3が4ナノメートルの厚さのニッケルであり、第2金属層4が160ナノメートルの厚さの錫である。焼成・静置後、中間層3に銅錫合金が現れる。
上記の加工方法を使用して製造された金属回路構造は、加工後、第1金属層2が8ミクロンの厚さの銅であり、中間層3が50ナノメートルの厚さのニッケルであり、第2金属層4が160ナノメートルの厚さの錫である。焼成・静置後、各層の金属の厚さは変化していない。
図3に示すように、これは、従来技術を採用して加工された金属回路である。基材フィルム1上にメッキされた第1金属層2は、8ミクロンの厚さの銅である。化学的錫メッキ処理の場合、第2金属層4は、400ナノメートルの厚さの錫である。焼成・静置処理後、銅と錫との間に形成された第3金属層5は銅錫合金である。テストにより、純銅の厚さは8ミクロン未満であり、純錫の厚さは200ナノメートル未満である。
Claims (2)
- FPCベースの金属回路構造であって、
基材フィルム(1)と、
前記基材フィルム(1)の表面に付着した第1金属層(2)と、
前記第1金属層(2)の上方に位置する第2金属層(4)と、
前記第1金属層(2)と前記第2金属層(4)との間に配置された中間層(3)とを含み、
前記中間層(3)の上下表面はそれぞれ前記第1金属層(2)及び前記第2金属層(4)に接続され、前記中間層(3)は、第2金属層(4)と反応しにくい材料であり、前記中間層(3)は、チタン、ニッケル、クロム、モリブデン、タングステン、コバルト、バナジウム、ニオビウムのうちの1つ又は複数であり、前記第1金属層(2)は銅であり、前記第1金属層(2)の厚さは1~12ミクロンであり、前記第2金属層(4)は錫であり、前記第2金属層(4)の厚さは100~200ナノメートルであり、第3金属層(5)をさらに含み、前記第3金属層(5)は、前記第1金属層(2)の両側に配置され、前記第3金属層(5)は、銅錫合金であり、前記中間層(3)の厚さは5~50ナノメートルである、ことを特徴とするFPCベースの金属回路構造。 - 次のステップS10~S00を含み、
S10:基材フィルム(1)上に1回目の銅メッキを行って、第1金属層(2)を形成し、
S20:第1金属層(2)の上面に中間層(3)を加工し、
S30:中間層(3)上に2回目の銅メッキを行って、外部銅層(8)を形成し、
S40:回路の側面及び上面に対して化学的錫メッキ処理を行い、
S50:第1金属層(2)の応力を解放して結晶状態を安定させるために、第1金属層(2)の側面と錫とが銅錫合金を形成するように、焼成・静置処理を行い、
S00:基材フィルム(1)の表面に金属原子をスパッタリングして、シード層(6)を形成し、シード層(6)上にフォトレジスト膜を貼り付けてから、露光及び現像処理を行って、金属回路を敷設する必要のないシード層(6)の領域をフォトレジスト(7)で覆い、
前記S40では、化学的錫メッキ処理の前にフォトレジスト(7)を洗い落とす必要があり、次に、金属回路を敷設する必要のない領域でのシード層(6)を完全にエッチングするまで、基材フィルム(1)の表面に対してマイクロ・ナノエッチングを行う、ことを特徴とする請求項1に記載のFPCベースの金属回路構造の加工方法。
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