JP2022170235A - 異常判定装置、異常判定方法、プログラム及び異常判定システム - Google Patents

Abstract

【課題】三次元測定機の異常の発生を早期に検出できるようにする。【解決手段】異常判定装置は、三次元測定装置１を識別するための装置識別情報に関連付けて、三次元測定装置１に用いられる標準ゲージ１９の複数の被測定位置を示す位置データを取得するデータ取得部２３２と、位置データが示す複数の被測定位置の間の距離である被測定距離を示す距離データを生成する生成部２３３と、距離データが適正であると判定される適正範囲を記憶する記憶部２２と、距離データが示す被測定距離が適正範囲に含まれているか否かに基づいて、三次元測定装置１の異常の有無を判定し、判定した結果を装置識別情報に関連付けて出力する判定部２３５と、を有する。【選択図】図３

Description

本発明は、異常判定装置、異常判定方法、プログラム及び異常判定システムに関する。

測定対象物の寸法及び形状などを測定する測定機器として三次元測定機が知られている。三次元測定機は、測定の精度を維持するために、標準ゲージを用いて定期的に校正される（例えば、特許文献１を参照）。

特開２０１５－９９０４９号公報

三次元測定機の校正をした直後には、三次元測定機が高い精度で測定対象物を測定することができる。しかしながら、校正をしてから次に校正をするまでの間に三次元測定機の状態が変化した場合、測定の精度が低下してしまうという問題が生じていた。

そこで、本発明はこれらの点に鑑みてなされたものであり、三次元測定機の異常の発生を早期に検出できるようにすることを目的とする。

本発明の第１の態様に係る異常判定装置は、三次元測定装置を識別するための装置識別情報に関連付けて、前記三次元測定装置に用いられる標準ゲージの複数の被測定位置を示す位置データを取得するデータ取得部と、前記位置データが示す前記複数の被測定位置の間の距離である被測定距離を示す距離データを生成する生成部と、前記距離データが適正であると判定される適正範囲を記憶する記憶部と、前記距離データが示す前記被測定距離が前記適正範囲に含まれているか否かに基づいて、前記三次元測定装置の異常の有無を判定し、判定した結果を前記装置識別情報に関連付けて出力する判定部と、を有する。

前記適正範囲を決定する適正範囲決定部をさらに有し、前記生成部は、前記データ取得部が、前記適正範囲を初期化することを示す初期化データとともに前記位置データを取得した場合に、当該位置データが示す前記複数の被測定位置の間の距離である被測定距離を算出することにより、初期化時の前記被測定距離を示す初期距離データを生成し、前記適正範囲決定部は、前記初期距離データを基準とする前記適正範囲を決定してもよい。

前記データ取得部は、複数の被測定位置を前記三次元測定装置が測定した時点における前記三次元測定装置の温度を示す温度データをさらに取得し、前記生成部は、前記位置データが示す前記複数の被測定位置に基づいて算出される前記複数の被測定位置の間の距離を前記温度データが示す温度に基づいて補正することにより、前記被測定距離を算出してもよい。

前記記憶部は、測定装置の機種に関連付けて前記適正範囲を記憶し、前記判定部は、前記装置識別情報に基づいて特定される前記三次元測定装置の機種に関連付けられた前記適正範囲に基づいて異常の有無を判定してもよい。

前記記憶部は、前記装置識別情報に関連付けて前記適正範囲を記憶し、前記判定部は、前記データ取得部が取得した前記装置識別情報に関連付けられた前記適正範囲に基づいて異常の有無を判定してもよい。

前記記憶部は、前記三次元測定装置における複数の測定領域それぞれに関連付けて前記適正範囲を記憶し、前記判定部は、前記位置データが示す前記複数の被測定位置が含まれる前記測定領域に関連付けられた前記適正範囲に前記距離データが示す前記被測定距離が含まれているか否かに基づいて前記三次元測定装置の異常の有無を判定してもよい。

前記標準ゲージが３つ以上の前記被測定位置を有しており、前記生成部は、前記位置データが示す前記複数の被測定位置の間の距離である複数の前記被測定距離を示す前記距離データを生成し、前記判定部は、前記距離データが示す前記複数の被測定距離が前記適正範囲に含まれているか否かに基づいて前記三次元測定装置の異常の有無を判定してもよい。

前記記憶部は、前記標準ゲージの複数の被測定位置間それぞれに関連付けて前記適正範囲を記憶し、前記判定部は、前記距離データが示す前記複数の被測定距離に対応する前記被測定位置間に関連付けられた前記適正範囲に前記距離が含まれているか否かに基づいて前記三次元測定装置の異常の有無を判定してもよい。

前記生成部は、定期的に前記距離データを生成し、前記判定部は、前記生成部が生成した複数の前記距離データが示す複数の前記被測定距離の変化量を基準値と比較した結果に基づいて前記三次元測定装置の異常の有無を判定してもよい。

前記判定部は、３つ以上の前記被測定距離が測定された時間と３つ以上の前記被測定距離との関係のパターンを基準のパターンと比較した結果に基づいて前記三次元測定装置の異常の有無を判定してもよい。

本発明の第２の態様に係る異常判定方法は、コンピュータが実行する、三次元測定装置を識別するための装置識別情報に関連付けて、前記三次元測定装置に用いられる標準ゲージの複数の被測定位置を示す位置データを取得するステップと、前記位置データが示す前記複数の被測定位置の間の距離である被測定距離を示す距離データを生成するステップと、前記距離データが示す前記被測定距離が、前記距離データが示す前記被測定距離が適正であると判定される適正範囲に含まれているか否かに基づいて、前記三次元測定装置の異常の有無を判定し、判定した結果を前記装置識別情報に関連付けて出力するステップと、を有する。

本発明の第３の態様に係るプログラムは、コンピュータに、三次元測定装置を識別するための装置識別情報に関連付けて、前記三次元測定装置に用いられる標準ゲージの複数の被測定位置を示す位置データを取得するステップと、前記位置データが示す前記複数の被測定位置の間の距離である被測定距離を示す距離データを生成するステップと、前記距離データが示す前記被測定距離が、前記距離データが示す前記被測定距離が適正であると判定される適正範囲に含まれているか否かに基づいて、前記三次元測定装置の異常の有無を判定し、判定した結果を前記装置識別情報に関連付けて出力するステップと、を実行させる。

本発明の第４の態様に係る異常判定システムは、三次元測定装置と、前記三次元測定装置の異常の有無を判定する異常判定装置と、を備える異常判定システムであって、前記三次元測定装置は、前記三次元測定装置に用いられる標準ゲージの複数の被測定位置、又は前記複数の被測定位置の間の距離である被測定距離を測定する測定部と、前記三次元測定装置を識別するための装置識別情報に関連付けて、前記複数の被測定位置を示す位置データ、又は前記被測定距離を示す距離データを前記異常判定装置に送信する通信部と、を有し、前記異常判定装置は、前記位置データ又は前記距離データを取得するデータ取得部と、前記被測定距離が適正であると判定される適正範囲を記憶する記憶部と、前記位置データ又は前記距離データに基づいて特定される前記被測定距離が前記適正範囲に含まれているか否かに基づいて、前記三次元測定装置の異常の有無を判定し、判定した結果を前記装置識別情報に関連付けて出力する判定部と、を有する。

本発明によれば、三次元測定機の異常の発生を早期に検出できるようにするという効果を奏する。

第１の実施形態に係る異常判定システムＳ１の概要を説明するための図である。 三次元測定装置１の一例を示す図である。 異常判定システムＳ１の構成を示す図である。 複数の被測定距離が測定された時間と複数の被測定距離とを示す図である。 測定機制御装置２の動作を説明するためのフローチャートである。 第２の実施形態に係る異常判定システムＳ２の概要を説明するための図である。 異常判定システムＳ２の構成を示す図である。

＜第１の実施形態＞
［異常判定システムＳ１の概要］
図１は、第１の実施形態に係る異常判定システムＳ１の概要を説明するための図である。異常判定システムＳ１は、三次元測定装置１と、測定機制御装置２と、データ管理装置３と、情報端末４と、を備える。異常判定システムＳ１は、三次元測定装置１のユーザが日常点検をして、三次元測定装置１の測定精度に異常がないかどうかを確認できるようにするためのシステムである。

三次元測定装置１と、測定機制御装置２と、データ管理装置３と、情報端末４とは、ネットワークＮを介して接続されている。ネットワークＮは、例えばイントラネット又はインターネットを含む。三次元測定装置１と測定機制御装置２とは、ネットワークＮを介することなくＵＳＢ（Universal Serial Bus）のような通信線を介して接続されていてもよい。

図２は、三次元測定装置１の一例を示す図である。三次元測定装置１は、標準ゲージ１９が載置されるテーブル１０、コラム１１、サポータ１２、ビーム１３、Ｙ軸方向駆動部１４、スライダ１５、Ｚ軸スピンドル１６、プローブ１７及び制御ユニット１８を備える。三次元測定装置１は、例えばプローブ１７を移動させながら、プローブ１７の先端を被測定物である標準ゲージ１９に接触させることにより、標準ゲージ１９における複数の被測定位置の座標を測定する。

複数の被測定位置は、例えば標準ゲージ１９が有する複数の球体における所定の位置であり、例えば球体の中心位置又は球体における標準ゲージ１９の中心から最も遠い位置である。被測定位置として球体の中心位置が用いられる場合、被測定位置は、プローブ１７が球体の表面に接触した複数の位置の座標に基づいて測定される。

具体的には、三次元測定装置１は、スライダ１５をビーム１３に沿ってＸ軸方向に移動させることによりプローブ１７をＸ軸方向に移動させる。三次元測定装置１は、Ｙ軸方向駆動部１４がコラム１１、サポータ１２及びビーム１３を含む門部を移動させることにより、プローブ１７をＹ軸方向に移動させる。三次元測定装置１は、Ｚ軸スピンドル１６をスライダ１５に対してＺ軸方向に移動させることによりプローブ１７をＺ軸方向に移動させる。

三次元測定装置１は、プローブ１７をＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動させながら、標準ゲージ１９が有する複数の球体それぞれにおいて複数の被測定位置の座標を測定する。三次元測定装置１は、測定結果である複数の被測定位置の座標を示す座標情報を、制御ユニット１８が有する通信部からネットワークＮを介して測定機制御装置２に出力する。

図１に戻って、測定機制御装置２は、三次元測定装置１を制御するための情報端末であり、例えばコンピュータである。測定機制御装置２は、三次元測定装置１の異常の有無を判定するための異常判定装置として動作する。測定機制御装置２は、例えば三次元測定装置１から取得した測定結果に含まれる複数の被測定位置の座標に基づいて算出した複数の被測定位置の間の距離が適正であるか否かを判定する。算出した距離が適正である場合、測定機制御装置２は、三次元測定装置１に異常がないと判定し、算出した距離が適正でない場合、測定機制御装置２は、三次元測定装置１に異常があると判定する。

データ管理装置３は、例えばコンピュータである。データ管理装置３は、単一の情報処理装置でもよいし、例えばクラウド型サーバのように複数の情報処理装置で構成されてもよい。データ管理装置３は、三次元測定装置１が測定した複数の被測定位置の座標を示す測定結果と測定機制御装置２が三次元測定装置１の異常の有無を判定した判定結果とを、測定機制御装置２から取得する。データ管理装置３は、取得した測定結果及び判定結果を記憶部に記憶する。

情報端末４は、例えばコンピュータであり、三次元測定装置１のメンテナンスをするサービスマン又は三次元測定装置１のユーザが使用するための情報端末である。情報端末４は、データ管理装置３が記憶している測定結果と判定結果とを、ネットワークＮを介して取得する。情報端末４は、例えば情報端末４に接続されたディスプレイに、取得した測定結果と判定結果とを表示する。以下、異常判定システムＳ１の動作について説明する。

三次元測定装置１は、測定機制御装置２が三次元測定装置１に標準ゲージ１９の測定を指示するために出力した測定指示情報を、ネットワークＮを介して取得する（図１における（１））。測定指示情報は、例えば三次元測定装置１の日常点検において測定機制御装置２が出力する情報であり、ユーザが測定機制御装置２を操作することにより出力される。

三次元測定装置１は、測定機制御装置２から測定指示情報を取得したことに応じて、三次元測定装置１に載置されている標準ゲージ１９における複数の被測定位置の座標を測定する（図１における（２））。標準ゲージ１９は、例えば三次元測定装置１を使用するユーザが三次元測定装置１の日常点検を開始する前に、三次元測定装置１における所定の位置に載置される。三次元測定装置１は、複数の被測定位置の座標を示す座標情報を含む測定結果を、ネットワークＮを介して測定機制御装置２に出力する（図１における（３））。

測定機制御装置２は、取得した測定結果に含まれる複数の被測定位置の座標に基づいて複数の被測定位置の間の距離を算出することにより、三次元測定装置１の異常の有無を判定する（図１における（４））。測定機制御装置２は、三次元測定装置１の異常の有無を判定した判定結果と測定機制御装置２から取得した測定結果とをデータ管理装置３に出力する（図１における（５））。

データ管理装置３は、測定機制御装置２から取得した判定結果と測定結果とを記憶する（図１における（６））。情報端末４は、データ管理装置３が記憶している判定結果と測定結果とを、ネットワークＮを介して取得する（図１における（７））。情報端末４を使用するサービスマンは、例えば情報端末４が取得した判定結果と測定結果とを情報端末４に接続されたディスプレイに表示させることにより、三次元測定装置１の異常の有無を確認する（図１における（８））。

このように異常判定システムＳ１が動作することで、サービスマン又はユーザは、三次元測定装置１における日常点検の結果を取得することができる。その結果、サービスマン又はユーザは、サービスマンメンテナンスをするタイミング（例えば１年ごとの校正日）と異なるタイミングであっても三次元測定装置１の異常の有無を検出することができるため、三次元測定装置１の異常の発生を早期に検出することができる。

［異常判定システムＳ１の構成］
図３は、異常判定システムＳ１の構成を示す図である。図３においては、三次元測定装置１と測定機制御装置２とデータ管理装置３とを示す。三次元測定装置１が有する制御ユニット１８は、通信部１８１と測定部１８２とを有する。測定機制御装置２は、通信部２１と記憶部２２と制御部２３とを有する。制御部２３は、測定制御部２３１と、データ取得部２３２と、生成部２３３と、適正範囲決定部２３４と、判定部２３５と、を有する。

制御ユニット１８は、測定機制御装置２から測定指示情報を取得したことに応じて、標準ゲージ１９における複数の被測定位置を測定するためにプローブ１７の位置を制御する。制御ユニット１８は、予め設定された被測定位置を示す座標に基づいてプローブ１７の位置を標準ゲージ１９まで移動させることにより、複数の被測定位置を測定する。制御ユニット１８は、三次元測定装置１が測定した測定結果を測定機制御装置２に出力する。

通信部１８１は、ネットワークＮを介して情報を送受信するための通信デバイスを含む。通信デバイスは、例えばＬＡＮ（Local Area Network）コントローラ又は無線ＬＡＮコントローラである。通信部１８１は、測定機制御装置２から取得した測定指示情報を測定部１８２に通知する。通信部１８１は、三次元測定装置１を識別するための装置識別情報（以下、「装置ＩＤ」という）に関連付けて、複数の被測定位置を示す位置データを、異常判定装置として動作する測定機制御装置２に送信する。位置データは、例えば被測定位置の座標を示す座標情報である。

測定部１８２は、三次元測定装置１に用いられる標準ゲージ１９の複数の被測定位置を測定する。測定部１８２は、三次元測定機１が図２に示すテーブル１０を備えている場合は当該テーブル１０に載置された標準ゲージ１９を測定し、三次元測定機１がテーブル１０を備えていない場合はユーザが所定の位置に設置した標準ゲージ１９を測定する。測定部１８２は、例えばプローブ１７をＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動させながら、被測定位置の座標を測定する。測定部１８２は、例えば標準ゲージ１９が有する複数の球体それぞれにおいて複数の被測定位置の座標を測定し、複数の被測定位置を示す位置データを生成する。

［測定機制御装置２の構成］
通信部２１は、ネットワークＮを介して情報を送受信するための通信デバイスを含む。通信デバイスは、例えばＬＡＮコントローラ又は無線ＬＡＮコントローラである。

記憶部２２は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）及びＳＳＤ（Solid State Drive）等の記憶媒体を有する。記憶部２２は、制御部２３が実行するプログラムを記憶している。記憶部２２は、三次元測定装置１の異常の有無を判定するために用いる適正範囲を示す適正範囲情報を記憶する。適正範囲情報は、例えば三次元測定装置１が測定した複数の被測定位置の間の距離が適正であると判定される範囲の最大値及び最小値である。

制御部２３は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）である。制御部２３は、記憶部２２に記憶されているプログラムを実行することにより、測定制御部２３１、データ取得部２３２、生成部２３３、適正範囲決定部２３４及び判定部２３５として機能する。

測定制御部２３１は、標準ゲージ１９における複数の被測定位置を測定させるための測定指示情報を三次元測定装置１に出力する。例えば測定機制御装置２を使用するユーザは、測定機制御装置２に接続されたマウス又はキーボードを操作することにより、測定機制御装置２に接続されたディスプレイに表示された「測定開始」ボタンを押下する。測定制御部２３１は、「測定開始」ボタンを押下されたことにより、測定指示情報を三次元測定装置１に出力する。

データ取得部２３２は、三次元測定装置１が標準ゲージを測定した結果を取得する。データ取得部２３２は、三次元測定装置１を識別するための装置ＩＤに関連付けて、三次元測定装置１に用いられる標準ゲージ１９の複数の被測定位置を示す位置データを取得する。位置データは、三次元測定装置１が標準ゲージ１９における所定の複数の被測定位置を測定した結果を示すデータである。位置データは、被測定位置の座標を含んでもよく、被測定位置である球体の中心位置を特定するために使用される球体の表面の複数の位置の座標を含んでもよい。データ取得部２３２は、例えば複数の被測定位置の座標と三次元測定装置１の装置ＩＤとを測定部１８２から取得する。データ取得部２３２は、記憶部２２に記憶されている装置ＩＤを取得してもよい。

データ取得部２３２は、複数の被測定位置を三次元測定装置１が測定した時点における三次元測定装置１の温度を示す温度データをさらに取得してもよい。データ取得部２３２は、例えば三次元測定装置１が標準ゲージ１９における複数の被測定位置を測定した時点において、測定部１８２が標準ゲージ１９付近に置かれた温度センサから取得した、温度を示す温度データを、ネットワークＮを介して取得する。

データ取得部２３２は、三次元測定装置１が測定した、標準ゲージ１９が有する球体の真球度を示す真球度データをさらに取得してもよい。データ取得部２３２は、例えば測定部１８２が、標準ゲージ１９が有する複数の球体それぞれの真球度を測定することにより生成した真球度データを、ネットワークＮを介して取得する。

生成部２３３は、位置データが示す複数の被測定位置の間の距離である被測定距離を示す距離データを生成する。被測定距離は、例えば標準ゲージ１９が有する複数の球体のうち２つの球体それぞれの中心の間の距離（以下、「球間距離」という）である。生成部２３３は、位置データが示す球体の表面の複数の位置に基づいて、標準ゲージ１９が有する複数の球体それぞれの中心の位置を算出することにより、球間距離を算出する。

生成部２３３は、例えば定期的に距離データを生成する。具体的には、生成部２３３は、日常点検が行われるたびに、データ取得部２３２が取得する位置データそれぞれに対応する距離データを生成する。生成部２３３は、例えばデータ取得部２３２が取得した位置データが示す複数の被測定位置の間の距離である被測定距離を算出することにより、被測定距離を示す距離データを生成する。

生成部２３３は、位置データが示す複数の被測定位置の間の距離である複数の被測定距離を示す距離データを生成してもよい。生成部２３３は、例えばデータ取得部２３２が取得した、３つ以上の被測定位置を有する標準ゲージ１９を測定部１８２が測定することにより生成した位置データが示す３つ以上の被測定位置の座標に基づいて、２つ以上の被測定距離を示す距離データを生成する。

生成部２３３は、位置データが示す複数の被測定位置に基づいて算出される複数の被測定位置の間の距離を温度データが示す温度に基づいて補正することにより、被測定距離を算出してもよい。生成部２３３は、例えばデータ取得部２３２が取得した位置データに関連付けられた温度データが示す温度に基づいて、位置データが示す被測定位置に基づいて算出した被測定距離を補正する。生成部２３３がこのように動作することで、生成部２３３は、被測定位置を測定した時点の温度により生じる測定誤差を低減した被測定距離を算出できる。

生成部２３３は、被測定距離の適正範囲を決定するために用いる初期距離データを生成してもよい。生成部２３３は、例えばデータ取得部２３２が、適正範囲を初期化することを示す初期化データとともに位置データを取得した場合に、当該位置データが示す複数の被測定位置の間の距離である被測定距離を算出することにより、初期化時の被測定距離を示す初期距離データを生成する。初期化データは、例えばサービスマンが三次元測定装置１のメンテナンスをするタイミングにおいて、サービスマンが測定機制御装置２を操作することにより測定指示情報とともに生成されるデータである。

適正範囲決定部２３４は、距離データが示す被測定距離が適正であると判定される適正範囲を決定する。適正範囲は、被測定距離が適正であると判定される範囲の最大値と最小値である。適正範囲決定部２３４は、例えば三次元測定装置１のユーザが使用する情報端末又はサービスマンが使用する情報端末４から適正範囲の最大値及び最小値を含む設定データを取得する。適正範囲決定部２３４は、取得した設定データに含まれる最大値及び最小値に基づいて適正範囲を決定する。

適正範囲決定部２３４は、生成部２３３が生成した初期距離データを基準とする適正範囲を決定してもよい。適正範囲は、例えば生成部２３３が生成した距離データが示す被測定距離と適正範囲決定部２３４が適正範囲の基準とした初期距離データが示す被測定距離との差が、三次元測定装置１の機械精度による誤差又はプローブ１７による誤差として許容できる範囲である。

適正範囲決定部２３４がこのように動作することで、適正範囲決定部２３４は、サービスマンが三次元測定装置１をメンテナンスした時点における、誤差が少ない被測定距離を基準とした高い精度の適用範囲を決定することができる。その結果、測定機制御装置２は、三次元測定装置１の異常の有無を高い精度で判定できる。

適正範囲決定部２３４は、三次元測定装置１の装置ＩＤごとに異なる適正範囲を決定してもよい。適正範囲決定部２３４は、例えば設定データに含まれる複数の適正範囲の最大値及び最小値のうち、三次元測定装置１から取得した装置ＩＤに関連付けられた適正範囲の最大値及び最小値を特定することにより適正範囲を決定する。適正範囲決定部２３４は、装置ＩＤに関連付けた適正範囲を記憶部２２に記憶させる。

適正範囲決定部２３４は、三次元測定装置１の機種ごとに異なる適正範囲を決定してもよい。適正範囲決定部２３４は、例えばデータ取得部２３２が三次元測定装置１から取得した装置ＩＤに基づいて三次元測定装置１の機種を特定する。適正範囲決定部２３４は、取得した設定データに含まれる複数の適正範囲の最大値及び最小値のうち、特定した機種に関連付けられた適正範囲の最大値及び最小値を特定することにより適正範囲を決定する。適正範囲決定部２３４は、測定装置の機種を示す機種情報に関連付けた適正範囲を記憶部２２に記憶させる。

適正範囲決定部２３４が測定装置の機種に対応する適正範囲を決定することで、機種ごとに要求される精度が異なる場合であっても、測定機制御装置２が三次元測定装置１の機種によらず異常の有無を適切に判定することができる。

適正範囲決定部２３４は、三次元測定装置１における複数の測定領域それぞれに関連付けて適正範囲を決定してもよい。適正範囲決定部２３４は、例えばデータ取得部２３２が取得した位置データに関連付けられた測定領域を示す測定領域データを取得する。適正範囲決定部２３４は、設定データに含まれる複数の適正範囲の最大値及び最小値のうち、測定領域データが示す測定領域に対応する最大値及び最小値を特定することにより適正範囲を決定する。適正範囲決定部２３４は、三次元測定装置１における複数の測定領域それぞれに関連付けて適正範囲を記憶部２２に記憶させる。

適正範囲決定部２３４が測定装置の測定領域に対応する適正範囲を決定することで、測定領域ごとに三次元測定装置１の精度が異なり、標準ゲージ１９が置かれる場所が一定でない場合であっても、測定機制御装置２が三次元測定装置１の異常の有無を適切に判定することができる。

適正範囲決定部２３４は、標準ゲージ１９の複数の被測定位置間それぞれに関連付けて適正範囲を決定してもよい。例えば、データ取得部２３２は、位置データと、位置データが示す複数の被測定位置それぞれに関連付けられた、標準ゲージ１９が有する球体を識別するための球体識別情報（以下、「球体ＩＤ」という）を取得する。適正範囲決定部２３４は、生成部２３３が生成した距離データが示す被測定距離に対応する２つの被測定位置に関連付けられた２つの球体ＩＤを特定する。

適正範囲決定部２３４は、設定データに含まれる複数の適正範囲の最大値及び最小値のうち、特定した２つの球体ＩＤの組合せに対応する最大値及び最小値を特定することにより適正範囲を決定する。適正範囲決定部２３４は、決定した適正範囲を記憶部２２に記憶する。適正範囲決定部２３４が被測定位置間に対応する適正範囲を決定することで、被測定位置の間の距離が異なる標準ゲージ１９が用いられる場合であっても、測定機制御装置２が三次元測定装置１の異常の有無を適切に判定することができる。

判定部２３５は、三次元測定装置１の異常の有無を判定する。判定部２３５は、距離データが示す被測定距離が適正範囲に含まれているか否かに基づいて、三次元測定装置１の異常の有無を判定し、判定した結果を装置ＩＤに関連付けて出力する。判定部２３５は、例えば生成部２３３が生成した距離データが示す被測定距離が、記憶部２２が記憶している適正範囲に含まれている場合、三次元測定装置１に異常が無いと判定する。一方、判定部２３５は、被測定距離が適正範囲に含まれていない場合、三次元測定装置１に異常が有ると判定する。

判定部２３５は、通信部２１を介して、三次元測定装置１の異常の有無を判定した結果をデータ管理装置３に送信する。判定部２３５は、被測定距離を示す距離データとともに判定結果をデータ管理装置３に送信してもよい。判定部２３５は、例えば、プローブ１７のベクトル、被測定位置の座標、標準ゲージ１９の球体の直径及び真球度をデータ管理装置３に送信する。

被測定距離は、例えば標準ゲージ１９が有する複数の球体の球間距離である。球間距離は、プローブ１７の方向特性の影響を受けにくいので、判定部２３５が、被測定距離として球間距離を用いることで、三次元測定装置１の異常の有無を高い精度で判定することができる。

判定部２３５は、距離データが示す複数の被測定距離が適正範囲に含まれているか否かに基づいて三次元測定装置１の異常の有無を判定してもよい。判定部２３５は、例えば複数の被測定距離のうち一以上の被測定距離が適正範囲に含まれていない場合、三次元測定装置１に異常が有ると判定し、複数の被測定距離すべてが適正範囲に含まれる場合、三次元測定装置１に異常が無いと判定する。判定部２３５がこのように複数の被測定距離を用いることで、判定部２３５は、異常の有無の判定精度を向上させることができる。

判定部２３５は、複数の被測定距離それぞれに対応する適正範囲を用いて三次元測定装置１の異常の有無を判定してもよい。判定部２３５は、例えば距離データが示す複数の被測定距離に対応する被測定位置間に関連付けられた適正範囲に距離が含まれているか否かに基づいて三次元測定装置１の異常の有無を判定する。判定部２３５は、例えば被測定距離に関連付けられた２つの被測定位置に対応する適正範囲を記憶部２２から取得し、当該被測定距離が取得した適正範囲に含まれるか否かに基づいて三次元測定装置１の異常の有無を判定する。

判定部２３５がこのように、被測定距離に対応する被測定位置に関連付けられた適正範囲を用いて三次元測定装置１の異常の有無を判定することで、判定部２３５は、標準ゲージ１９の形状に応じた正しい適正範囲による三次元測定装置１の異常の有無の判定をすることができる。

判定部２３５は、データ取得部２３２が取得した装置ＩＤに関連付けられた適正範囲に基づいて異常の有無を判定してもよい。判定部２３５は、例えば装置ＩＤに関連付けられた適正範囲を記憶部２２から取得し、被測定距離が当該適用範囲に含まれるか否かに基づいて三次元測定装置１の異常の有無を判定する。判定部２３５がこのように動作することで、ユーザが複数の三次元測定装置１を有しており、それぞれに要求される測定精度が異なる場合に、判定部２３５は、複数の三次元測定装置１それぞれに要求される測定精度に対応する適正範囲に基づいて三次元測定装置１の異常の有無を判定することができる。

判定部２３５は、装置ＩＤに基づいて特定される三次元測定装置１の機種に関連付けられた適正範囲に基づいて異常の有無を判定してもよい。判定部２３５は、例えば三次元測定装置１の機種に関連付けられた適正範囲を記憶部２２から取得し、被測定距離が当該適用範囲に含まれるか否かに基づいて三次元測定装置１の異常の有無を判定する。判定部２３５がこのように動作することで、判定部２３５は、三次元測定装置１の機種ごとに異なる測定精度に対応する適正範囲に基づいて、三次元測定装置１の異常の有無を判定することができる。

判定部２３５は、位置データが示す複数の被測定位置が含まれる測定領域に関連付けられた適正範囲に距離データが示す被測定距離が含まれているか否かに基づいて三次元測定装置１の異常の有無を判定してもよい。判定部２３５は、例えば被測定位置に対応する測定領域に関連付けられた適正範囲を記憶部２２から取得し、被測定距離が当該適用範囲に含まれるか否かに基づいて三次元測定装置１の異常の有無を判定する。判定部２３５がこのように動作することで、判定部２３５は、ユーザが一定の位置に標準ゲージ１９を置くことができない場合であっても、十分な判定精度を確保することができる。

判定部２３５は、定期的に生成された複数の距離データの変化量に基づいて三次元測定装置１の異常の有無を判定してもよい。判定部２３５は、例えば生成部２３３が生成した複数の距離データが示す複数の被測定距離の変化量を基準値と比較した結果に基づいて三次元測定装置１の異常の有無を判定する。基準値は、三次元測定装置１に異常は無いと判定できる変化量の最大値であり、例えば三次元測定装置１の経年劣化により生じた変化量と判定できる範囲の最大値である。

判定部２３５は、例えば距離データが示す複数の被測定距離の変化量が基準値よりも小さい場合、三次元測定装置１に異常は無いと判定し、複数の被測定距離の変化量が基準値よりも大きい場合、三次元測定装置１に異常は有ると判定する。判定部２３５がこのように動作することで、判定部２３５は、例えば被測定距離が適正範囲に含まれていても、被測定距離が大きく変化したことにより、三次元測定装置１に異常が有ると判定できる。その結果、判定部２３５は、高い精度で三次元測定装置１の異常の有無を判定できる。

判定部２３５は、３つ以上の被測定距離が測定された時間と３つ以上の被測定距離との関係のパターンを基準のパターンと比較した結果に基づいて三次元測定装置１の異常の有無を判定してもよい。基準のパターンは、三次元測定装置１に異常は無いと判定できるパターンであり、例えば三次元測定装置１の経年劣化により生じる可能性があるパターンである。

判定部２３５は、例えば３つ以上の被測定距離の変化量と当該３つ以上の被測定距離それぞれが測定された時間とを特定することにより、２つ以上の時間の変化量に対応する２つ以上の被測定距離の変化量を特定する。判定部２３５は、特定した変化量が記憶部２２から取得した変化量の基準パターンから一定の範囲内である場合、三次元測定装置１に異常が無いと判定し、一定の範囲内ではない場合、三次元測定装置１に異常が有ると判定する。判定部２３５がこのように動作することで、判定部２３５は、三次元測定装置１がメンテナンスを必要とする異常を発生しているかを検出できる可能性を高めることができる。

判定部２３５は、標準ゲージが有する複数の球体の真球度に基づいて三次元測定装置１の異常の有無を判定してもよい。判定部２３５は、例えばデータ取得部２３２が取得した真球度データが示す真球度が基準値から一定の範囲を超えている場合は、三次元測定装置１に異常が有ると判定し、真球度が基準値から一定の範囲内である場合は、三次元測定装置１に異常が無いと判定する。

標準ゲージ１９が有する球体に埃などのゴミが付着している場合、当該球体の真球度は大きく変化する。これに対して、判定部２３５が、真球度データが示す真球度に基づいて三次元測定装置１の異常の有無を判定することで、判定部２３５は、例えば、三次元測定装置１及び標準ゲージ１９のクリーニングが必要か否かを判定できる。

図４は、複数の被測定距離が測定された時間と複数の被測定距離とを示す図である。図４の横軸は被測定距離が測定された点検日を示し、図４の縦軸は被測定距離である球間距離を示す。球間距離Ｒは、適正範囲の基準である初期距離データが示す球間距離である。球間距離Ｍ１は、適正範囲の最大値であり、球間距離Ｍ２は、適正範囲の最小値である。

図４（ａ）においては、複数の点検日Ｄ（Ｄ１～Ｄ５）それぞれに測定された球間距離が適正範囲（球間距離Ｍ１～球間距離Ｍ２）に含まれているため、判定部２３５は、三次元測定装置１に異常が無いと判定する。一方、図４（ｂ）においては、点検日Ｄ５に測定された球間距離が適正範囲に含まれていないため、判定部２３５は、三次元測定装置１に異常が有ると判定する。

データ管理装置３は、判定部２３５から送信された被測定距離を示す測定結果と異常の有無の判定結果とを点検日に関連付けて記憶し、情報端末４からの要求に応じて、測定結果及び判定結果を情報端末４に提供する。情報端末４は、例えば図４に示すような測定結果を示す画面を表示する。三次元測定装置１のメンテナンスをするサービスマンは、情報端末４を操作してデータ管理装置３から測定結果と判定結果とを取得することにより、図４に示す測定結果を閲覧することができる。

［測定機制御装置２のフローチャート］
図５は、測定機制御装置２の動作を説明するためのフローチャートである。図５に示すフローチャートは、標準ゲージ１９を測定した結果を示す位置データを取得してから三次元測定装置１の異常の有無を判定するまでの動作を示す。

データ取得部２３２は、三次元測定装置１から標準ゲージ１９における複数の被測定位置を測定した結果を示す位置データを取得する（Ｓ１１）。生成部２３３は、位置データとともに適正範囲を初期化することを示す初期化データを取得した場合（Ｓ１２のＹＥＳ）、位置データが示す複数の被測定位置の間の距離である被測定距離を算出することにより、初期距離データを生成する（Ｓ１３）。適正範囲決定部２３４は、生成部２３３が生成した初期距離データを基準とする適正範囲を決定する（Ｓ１４）。

生成部２３３は、位置データとともに初期化データを取得しなかった場合（Ｓ１２のＮＯ）、被測定距離を算出することにより距離データを生成する（Ｓ１５）。判定部２３５は、生成部２３３が生成した距離データが適正範囲に含まれる場合（Ｓ１６のＹＥＳ）、三次元測定装置１に異常が無いと判定する（Ｓ１７）。一方、判定部２３５は、距離データが適正範囲に含まれない場合（Ｓ１６のＮＯ）、三次元測定装置１に異常が有ると判定する（Ｓ１８）。判定部２３５は、三次元測定装置１の異常の有無を判定した結果とデータ取得部２３２が取得した位置データとをデータ管理装置３に出力する（Ｓ１９）。

［変形例］
以上の説明においては、三次元測定装置１が位置データを生成し、生成部２３３が、位置データが示す複数の被測定位置に基づいて被測定距離を示す距離データを生成する動作を例示したが、三次元測定装置１が位置データと距離データとを生成し、生成した位置データ及び距離データを測定機制御装置２に出力してもよい。

この場合、三次元測定装置１において、測定部１８２は、三次元測定装置１に用いられる標準ゲージ１９の複数の被測定位置、又は複数の被測定位置の間の距離である被測定距離を測定する。通信部１８１は、三次元測定装置１を識別するための装置ＩＤに関連付けて、複数の被測定位置を示す位置データ、又は被測定距離を示す距離データを異常判定装置として動作する測定機制御装置２に送信する。

続いて、測定機制御装置２において、データ取得部３３１は、位置データ又は距離データを取得する。判定部３３４は、データ取得部３３１が取得した位置データ又は距離データに基づいて特定される被測定距離が、記憶部２２から取得した適正範囲に含まれているか否かに基づいて、三次元測定装置１の異常の有無を判定する。

このように三次元測定装置１が距離データを生成することで、測定機制御装置２は、位置データが示す複数の被測定位置から被測定距離を算出するための演算量を削減することができるため、測定機制御装置２の処理の負荷を低減することができる。

［第１の実施形態に係る測定機制御装置２の効果］
以上説明したように、第１の実施形態に係る測定機制御装置２は、三次元測定装置１が複数の被測定位置を測定した結果を示す位置データを取得するデータ取得部２３２と、被測定位置の間の距離である被測定距離を算出することにより距離データを生成する生成部２３３と、を有する。そして、判定部２３５が、距離データが示す被測定距離が、記憶部２２に記憶されている被測定距離の適正範囲に含まれるか否かに基づいて三次元測定装置１の異常の有無を判定し、判定した結果をデータ管理装置３に出力する。これにより、三次元測定装置１のユーザ及び三次元測定装置１のメンテナンスをするサービスマンは、三次元測定装置１に異常が発生したことを早期に知ることができる。

＜第２の実施形態＞
［異常判定システムＳ２の概要］
図６は、第２の実施形態に係る異常判定システムＳ２の概要を説明するための図である。異常判定システムＳ２は、データ管理装置３が三次元測定装置１の異常の有無を判定するための異常判定装置として動作する点で図１に示す異常判定システムＳ１と異なり、他の点において同じである。以下、異常判定システムＳ２の動作について説明する。

三次元測定装置１は、測定機制御装置２が三次元測定装置１に標準ゲージ１９の測定を指示するために出力した測定指示情報を、ネットワークＮを介して取得する（図６における（１））。三次元測定装置１は、測定機制御装置２から測定指示情報を取得したことに応じて、三次元測定装置１に用いられる標準ゲージ１９における複数の被測定位置の座標を測定する（図６における（２））。

三次元測定装置１は、測定結果である複数の被測定位置の座標を示す座標情報と、ネットワークＮを介してデータ管理装置３に出力する（図６における（３））。データ管理装置３は、取得した測定結果に含まれる複数の被測定位置の座標に基づいて複数の被測定位置の間の距離を算出することにより、三次元測定装置１の異常の有無を判定する（図６における（４））。データ管理装置３は、三次元測定装置１の異常の有無を判定した判定結果を測定機制御装置２に出力する（図６における（５））。

データ管理装置３は、三次元測定装置１の異常の有無を判定した判定結果と測定機制御装置２から取得した測定結果とを記憶する（図６における（６））。情報端末４は、データ管理装置３が記憶している判定結果と測定結果とを、ネットワークＮを介して取得する（図６における（７））。情報端末４を使用するサービスマン又は三次元測定装置１のユーザは、例えば情報端末４が取得した判定結果と測定結果とを情報端末４に接続されたディスプレイに表示させることにより、三次元測定装置１の異常の有無を確認する（図６における（８））。

［異常判定システムＳ２の構成］
図７は、異常判定システムＳ２の構成を示す図である。図７においては、三次元測定装置１と測定機制御装置２とデータ管理装置３とを示す。三次元測定装置１の構成は、図３に示す三次元測定装置１と同じである。以下、第１の実施形態と異なる機能を中心に、第２の実施形態に係る測定機制御装置２及びデータ管理装置３の動作を説明する。

測定機制御装置２は、通信部２１と制御部２３とを有する。制御部２３は、測定制御部２３１とデータ取得部２３２とを有する。データ管理装置３は、通信部３１と記憶部３２と制御部３３とを有する。制御部３３は、データ取得部３３１、生成部３３２、適正範囲決定部３３３及び判定部３３４を有する。

測定制御部２３１は、図３に示す測定制御部２３１と同じである。データ取得部２３２は、データ管理装置３から三次元測定装置１の異常の有無を判定した結果を取得する。データ取得部２３２は、例えば取得した結果を、測定機制御装置２に接続されたディスプレイに表示する。

通信部３１は、ネットワークＮを介して情報を送受信するための通信デバイスを含む。通信デバイスは、例えばＬＡＮコントローラ又は無線ＬＡＮコントローラである。記憶部３２は、ＲＯＭ、ＲＡＭ及びＳＳＤ等の記憶媒体を有する。記憶部３２は、制御部３３が実行するプログラムを記憶している。記憶部３２は、三次元測定装置１の異常の有無を判定するために用いる適正範囲を示す適正範囲情報を記憶する。

制御部３３は、例えばＣＰＵである。制御部３３は、記憶部３２に記憶されているプログラムを実行することにより、データ取得部３３１、生成部３３２、適正範囲決定部３３３及び判定部３３４として機能する。

データ取得部３３１は、図３に示すデータ取得部２３２と同等の機能を有する。データ取得部３３１は、通信部３１を介して、例えば、プローブ１７のベクトル、被測定位置の座標、標準ゲージ１９の球体の直径及び真球度を取得する。データ取得部３３１は、測定機制御装置２からこれらのデータを取得してもよい。

生成部３３２は、図３に示す生成部２３３と同等の機能を有する。適正範囲決定部３３３は、図３に示す適正範囲決定部２３４と同等の機能を有する。データ管理装置３は、複数のユーザが使用する複数の三次元測定装置１に関するデータを管理することができるので、適正範囲決定部２３４は、ユーザを識別するためのユーザＩＤに関連付けて適正範囲を決定してもよい。

判定部３３４は、三次元測定装置１の異常の有無を判定した結果を装置ＩＤに関連付けて測定機制御装置２に出力する点と、データ取得部３３１が取得した測定結果及び三次元測定装置１の異常の有無を判定した結果を記憶部３２に記憶する点とにおいて、図３に示す判定部３３４と異なり、他の点において同じである。

［第２の実施形態に係るデータ管理装置３の効果］
以上説明したように、第２の実施形態に係るデータ管理装置３は、三次元測定装置１が複数の被測定位置を測定した結果を示す位置データを取得するデータ取得部３３１と、被測定位置の間の距離である被測定距離を算出することにより距離データを生成する生成部３３２と、を有する。そして、判定部３３４が、距離データが示す被測定距離が、記憶部２２に記憶されている被測定距離の適正範囲に含まれるか否かに基づいて三次元測定装置１の異常の有無を判定し、判定した結果を測定機制御装置２に出力する。

第１の実施形態と異なり、データ管理装置３が異常判定装置として動作することで、測定機制御装置２として用いられるコンピュータが入れ替えられた場合であっても、ユーザが適正範囲の設定をし直すことなく三次元測定装置１の異常の有無を判定することができる。

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。例えば、装置の全部又は一部は、任意の単位で機能的又は物理的に分散・統合して構成することができる。また、複数の実施の形態の任意の組み合わせによって生じる新たな実施の形態も、本発明の実施の形態に含まれる。組み合わせによって生じる新たな実施の形態の効果は、もとの実施の形態の効果を併せ持つ。

１ 三次元測定装置
２ 測定機制御装置
３ データ管理装置
４ 情報端末
１０ テーブル
１１ コラム
１２ サポータ
１３ ビーム
１４ Ｙ軸方向駆動部
１５ スライダ
１６ Ｚ軸スピンドル
１７ プローブ
１８ 制御ユニット
１９ 標準ゲージ
２１ 通信部
２２ 記憶部
２３ 制御部
３１ 通信部
３２ 記憶部
３３ 制御部
１８１ 通信部
１８２ 測定部
２３１ 測定制御部
２３２ データ取得部
２３３ 生成部
２３４ 適正範囲決定部
２３５ 判定部
３３１ データ取得部
３３２ 生成部
３３３ 適正範囲決定部
３３４ 判定部

Claims (13)

1. 三次元測定装置を識別するための装置識別情報に関連付けて、前記三次元測定装置に用いられる標準ゲージの複数の被測定位置を示す位置データを取得するデータ取得部と、
   前記位置データが示す前記複数の被測定位置の間の距離である被測定距離を示す距離データを生成する生成部と、
   前記距離データが適正であると判定される適正範囲を記憶する記憶部と、
   前記距離データが示す前記被測定距離が前記適正範囲に含まれているか否かに基づいて、前記三次元測定装置の異常の有無を判定し、判定した結果を前記装置識別情報に関連付けて出力する判定部と、
   を有する異常判定装置。
2. 前記適正範囲を決定する適正範囲決定部をさらに有し、
   前記生成部は、前記データ取得部が、前記適正範囲を初期化することを示す初期化データとともに前記位置データを取得した場合に、当該位置データが示す前記複数の被測定位置の間の距離である被測定距離を算出することにより、初期化時の前記被測定距離を示す初期距離データを生成し、
   前記適正範囲決定部は、前記初期距離データを基準とする前記適正範囲を決定する、
   請求項１に記載の異常判定装置。
3. 前記データ取得部は、複数の被測定位置を前記三次元測定装置が測定した時点における前記三次元測定装置の温度を示す温度データをさらに取得し、
   前記生成部は、前記位置データが示す前記複数の被測定位置に基づいて算出される前記複数の被測定位置の間の距離を前記温度データが示す温度に基づいて補正することにより、前記被測定距離を算出する、
   請求項１又は２に記載の異常判定装置。
4. 前記記憶部は、測定装置の機種に関連付けて前記適正範囲を記憶し、
   前記判定部は、前記装置識別情報に基づいて特定される前記三次元測定装置の機種に関連付けられた前記適正範囲に基づいて異常の有無を判定する、
   請求項１から３のいずれか一項に記載の異常判定装置。
5. 前記記憶部は、前記装置識別情報に関連付けて前記適正範囲を記憶し、
   前記判定部は、前記データ取得部が取得した前記装置識別情報に関連付けられた前記適正範囲に基づいて異常の有無を判定する、
   請求項１から４のいずれか一項に記載の異常判定装置。
6. 前記記憶部は、前記三次元測定装置における複数の測定領域それぞれに関連付けて前記適正範囲を記憶し、
   前記判定部は、前記位置データが示す前記複数の被測定位置が含まれる前記測定領域に関連付けられた前記適正範囲に前記距離データが示す前記被測定距離が含まれているか否かに基づいて前記三次元測定装置の異常の有無を判定する、
   請求項１から５のいずれか一項に記載の異常判定装置。
7. 前記標準ゲージが３つ以上の前記被測定位置を有しており、
   前記生成部は、前記位置データが示す前記複数の被測定位置の間の距離である複数の前記被測定距離を示す前記距離データを生成し、
   前記判定部は、前記距離データが示す前記複数の被測定距離が前記適正範囲に含まれているか否かに基づいて前記三次元測定装置の異常の有無を判定する、
   請求項１から６のいずれか一項に記載の異常判定装置。
8. 前記記憶部は、前記標準ゲージの複数の被測定位置間それぞれに関連付けて前記適正範囲を記憶し、
   前記判定部は、前記距離データが示す前記複数の被測定距離に対応する前記被測定位置間に関連付けられた前記適正範囲に前記距離が含まれているか否かに基づいて前記三次元測定装置の異常の有無を判定する、
   請求項７に記載の異常判定装置。
9. 前記生成部は、定期的に前記距離データを生成し、
   前記判定部は、前記生成部が生成した複数の前記距離データが示す複数の前記被測定距離の変化量を基準値と比較した結果に基づいて前記三次元測定装置の異常の有無を判定する、
   請求項１から８のいずれか一項に記載の異常判定装置。
10. 前記判定部は、３つ以上の前記被測定距離が測定された時間と３つ以上の前記被測定距離との関係のパターンを基準のパターンと比較した結果に基づいて前記三次元測定装置の異常の有無を判定する、
    請求項９に記載の異常判定装置。
11. コンピュータが実行する、
    三次元測定装置を識別するための装置識別情報に関連付けて、前記三次元測定装置に用いられる標準ゲージの複数の被測定位置を示す位置データを取得するステップと、
    前記位置データが示す前記複数の被測定位置の間の距離である被測定距離を示す距離データを生成するステップと、
    前記距離データが示す前記被測定距離が、前記距離データが示す前記被測定距離が適正であると判定される適正範囲に含まれているか否かに基づいて、前記三次元測定装置の異常の有無を判定し、判定した結果を前記装置識別情報に関連付けて出力するステップと、
    を有する異常判定方法。
12. コンピュータに、
    三次元測定装置を識別するための装置識別情報に関連付けて、前記三次元測定装置に用いられる標準ゲージの複数の被測定位置を示す位置データを取得するステップと、
    前記位置データが示す前記複数の被測定位置の間の距離である被測定距離を示す距離データを生成するステップと、
    前記距離データが示す前記被測定距離が、前記距離データが示す前記被測定距離が適正であると判定される適正範囲に含まれているか否かに基づいて、前記三次元測定装置の異常の有無を判定し、判定した結果を前記装置識別情報に関連付けて出力するステップと、
    を実行させるためのプログラム。
13. 三次元測定装置と、前記三次元測定装置の異常の有無を判定する異常判定装置と、を備える異常判定システムであって、
    前記三次元測定装置は、
    前記三次元測定装置に用いられる標準ゲージの複数の被測定位置、又は前記複数の被測定位置の間の距離である被測定距離を測定する測定部と、
    前記三次元測定装置を識別するための装置識別情報に関連付けて、前記複数の被測定位置を示す位置データ、又は前記被測定距離を示す距離データを前記異常判定装置に送信する通信部と、
    を有し、
    前記異常判定装置は、
    前記位置データ又は前記距離データを取得するデータ取得部と、
    前記被測定距離が適正であると判定される適正範囲を記憶する記憶部と、
    前記位置データ又は前記距離データに基づいて特定される前記被測定距離が前記適正範囲に含まれているか否かに基づいて、前記三次元測定装置の異常の有無を判定し、判定した結果を前記装置識別情報に関連付けて出力する判定部と、
    を有する異常判定システム。
    

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