JP2022161863A - 流体噴射吐出装置、吐出ヘッドの製造方法及びプルーム特徴を改善する方法 - Google Patents

流体噴射吐出装置、吐出ヘッドの製造方法及びプルーム特徴を改善する方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2022161863A
JP2022161863A JP2022062498A JP2022062498A JP2022161863A JP 2022161863 A JP2022161863 A JP 2022161863A JP 2022062498 A JP2022062498 A JP 2022062498A JP 2022062498 A JP2022062498 A JP 2022062498A JP 2022161863 A JP2022161863 A JP 2022161863A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
fluid
nozzle plate
plate layer
nozzle
layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2022062498A
Other languages
English (en)
Inventor
サード・マイケル エー． マーラ
A Marra Michael Iii
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Funai Electric Co Ltd
Original Assignee
Funai Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Funai Electric Co Ltd filed Critical Funai Electric Co Ltd
Publication of JP2022161863A publication Critical patent/JP2022161863A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/1433—Structure of nozzle plates
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M31/00—Devices for introducing or retaining media, e.g. remedies, in cavities of the body
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M11/00—Sprayers or atomisers specially adapted for therapeutic purposes
    • A61M11/005—Sprayers or atomisers specially adapted for therapeutic purposes using ultrasonics
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M11/00—Sprayers or atomisers specially adapted for therapeutic purposes
    • A61M11/006—Sprayers or atomisers specially adapted for therapeutic purposes operated by applying mechanical pressure to the liquid to be sprayed or atomised
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M15/00—Inhalators
    • A61M15/0085—Inhalators using ultrasonics
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M15/00—Inhalators
    • A61M15/02—Inhalators with activated or ionised fluids, e.g. electrohydrodynamic [EHD] or electrostatic devices; Ozone-inhalators with radioactive tagged particles
    • A61M15/025—Bubble jet droplet ejection devices
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M15/00—Inhalators
    • A61M15/08—Inhaling devices inserted into the nose
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
    • B41J2/14032—Structure of the pressure chamber
    • B41J2/1404—Geometrical characteristics
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1601—Production of bubble jet print heads
    • B41J2/1603—Production of bubble jet print heads of the front shooter type
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/162—Manufacturing of the nozzle plates
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1626—Manufacturing processes etching
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1631—Manufacturing processes photolithography
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
    • B41J2/1645—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by spincoating
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M11/00—Sprayers or atomisers specially adapted for therapeutic purposes
    • A61M11/04—Sprayers or atomisers specially adapted for therapeutic purposes operated by the vapour pressure of the liquid to be sprayed or atomised
    • A61M11/041—Sprayers or atomisers specially adapted for therapeutic purposes operated by the vapour pressure of the liquid to be sprayed or atomised using heaters
    • A61M11/042—Sprayers or atomisers specially adapted for therapeutic purposes operated by the vapour pressure of the liquid to be sprayed or atomised using heaters electrical
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M2202/00—Special media to be introduced, removed or treated
    • A61M2202/04—Liquids
    • A61M2202/0468—Liquids non-physiological
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M2205/00—General characteristics of the apparatus
    • A61M2205/50—General characteristics of the apparatus with microprocessors or computers
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M2205/00—General characteristics of the apparatus
    • A61M2205/82—Internal energy supply devices
    • A61M2205/8206—Internal energy supply devices battery-operated
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M2207/00—Methods of manufacture, assembly or production
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M2210/00—Anatomical parts of the body
    • A61M2210/06—Head
    • A61M2210/0618—Nose

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Heart & Thoracic Surgery (AREA)
  • Hematology (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Anesthesiology (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Bioinformatics & Cheminformatics (AREA)
  • Pulmonology (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Otolaryngology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nozzles (AREA)
  • Infusion, Injection, And Reservoir Apparatuses (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

【課題】流体噴射吐出装置、流体噴射吐出ヘッドの製造方法、及び流体噴射吐出ヘッドから吐出される流体のプルーム特徴を改善する方法。【解決手段】流体噴射吐出装置は、カートリッジ本体と、カートリッジ本体に設けられた流体噴射吐出カートリッジとを含む。流体噴射吐出カートリッジは、流体と、流体噴射吐出カートリッジに取り付けられた吐出ヘッドとを含む。吐出ヘッドは、複数の流体吐出器と、複数の流体吐出器に関連付く複数の流体吐出ノズルを有するノズルプレートとを含む。複数の流体吐出ノズルのうちの少なくとも１つはノズルプレートにより定義される面に対する直交軸流経路を有し、複数の流体吐出ノズルのうちの少なくとも１つはノズルプレートにより定義される面に対する角度付軸流経路を有する。【選択図】図１２

Description

本発明は、流体ミスト液滴を送達するための流体噴射吐出装置に関するものであり、特に、流体噴射吐出装置のための改変された流体噴射プルーム特徴に関する。
流体吐出装置は、基板上にインクを吐出するよう設計及び使用されている。しかし、流体吐出装置の新たな使用が発展し続けている。例えば、流体吐出装置は、点鼻、経口、経肺、点眼、及び創傷ケアの応用といった、薬剤送達のためのベイパー生成装置のために用いられることができ、潤滑剤や香水といった様々な非水性流体を吐出するために用いられることができる。上記の応用のうちの多くは、流体吐出装置から液滴ミストが吐出されることを要する。しかし、従来の流体吐出装置は基板に向かって直線的に流体液滴を吐出するよう設計されている。流体液滴のミストを提供するために流体吐出装置を用いることは、従来の流体吐出装置の設計とは相反するものである。
例えば、鼻腔スプレー装置は鼻腔内に注入される流体のミストを提供する。鼻腔スプレー装置は患者に薬剤を送達するための重要な方法となっている。このような装置は、点滴又は注射による薬剤の投与よりも利便性が高い。また、鼻腔スプレー装置は、薬剤の経口投与と比較し、薬剤のより高い生物学的利用能も提供する。経口投与される薬剤の吸収と比較し、スプレー装置により送達される薬剤は直接血流に進入して効果がより即時的となることから、スプレー装置からの薬剤の吸収は迅速である。
図１は、人の鼻腔１０の解剖学的構造の、縮尺通りでない、断面図である。脳１２の一部が鼻腔１０の上に示される。脳１２と篩板１６との間には、嗅球１４が配置されている。嗅粘膜１８は篩板１６の下にある。鼻腔はまた、上鼻甲介２０と、中鼻甲介２２と、呼吸器粘膜２４と、下鼻甲介２６とを含む。物体２８は口蓋を表す。薬剤ミストの注入は、鼻孔３０と扁平上皮３２とを通って鼻腔１０に進入する。鼻腔スプレー装置を用いた薬剤の適切な血流への送達を達成するためには、薬剤が高度に血管形成された呼吸器粘膜へ送達されなければならない。高度に血管形成された２つの領域は、嗅部と呼吸部である。呼吸部は、薬剤吸収に利用可能な表面積を増加させる鼻甲介を含む。
鼻腔１０内の薬物の沈着のためには、より小さく、より低速な液滴が最適であると考えられる。慣性の大きい液滴は、直線的に移動して目標とされた位置のみに着地する傾向にある。慣性の小さい液滴は、空気抵抗及び気流に影響されて、より均一な薬剤送達範囲のために鼻腔全体にわたって漂う可能性が高くなる。
堆積範囲を向上させることのできる薬剤送達のためのスプレー装置のもう１つの側面は、液滴のプルーム角である。より広いプルーム角はより大きなミスト形成を提供し、このため薬剤送達のより好ましい到達範囲を提供すると考えられる。鼻腔を介した薬剤送達のための従来の方法には、医用滴びん、スプレーチップ付きのマルチスプレーボトル、スプレーチップ付きの単回投与シリンジ、及び乾燥粉末システムが含まれる。従って、従来の薬剤送達装置は典型的に鼻腔へ特定の薬剤を送達するよう設計されており、各装置はより多様な薬剤を鼻腔経路で送達するよう適合されることができない。鼻腔薬剤送達のための従来の方法の多くは、流体のミストの鼻腔への注入を加圧容器に依存している。従って、薬剤送達装置は典型的に特定の薬剤のために設計されており、異なる薬剤を投与するよう適合されることができない。
流体のミストを送達するための様々な装置が利用可能であるにもかかわらず、様々な薬剤を、ある範囲の速度、流体吐出回数、及びプルーム角で送達するよう調整することのできる流体ミスト吐出装置のニーズが取り残されている。
上記を鑑み、本発明の１つの実施形態は、流体噴射吐出装置、流体噴射吐出ヘッドの製造方法、そして流体噴射吐出ヘッドから吐出される流体のプルーム特徴を改善する方法を提供する。流体噴射吐出装置は、カートリッジ本体と、カートリッジ本体に設けられた流体噴射吐出カートリッジとを含む。流体噴射吐出カートリッジは、流体と、流体噴射吐出カートリッジに取り付けられた吐出ヘッドとを含む。吐出ヘッドは、複数の流体吐出器と、複数の流体吐出器に関連付く複数の流体吐出ノズルを有するノズルプレートとを含む。複数の流体吐出ノズルのうちの少なくとも１つは、ノズルプレートにより定義される面に対する直交軸流経路を有し、複数の流体吐出ノズルのうちの少なくとも１つは、ノズルプレートにより定義される面に対する角度付軸流経路を有する。
もう１つの実施形態において、吐出ヘッドの製造方法を提供する。該方法は、複数の流体吐出器を有する半導体基板を提供することを含む。流体フロー層が半導体基板に施される。流体フロー層において流体チャネルと流体チャンバが画像形成されて現像される。半導体基板に流体供給ビアがエッチングされる。第１のノズルプレート層が流体フロー層に施される。第１の複数のノズル孔を提供するため、第１のノズルプレート層が画像形成されて現像される。第２のノズルプレート層が第１のノズルプレート層に施される。第２の複数のノズル孔を提供するため、第２のノズルプレート層が画像形成されて現像され、第２の複数のノズル孔のうちの少なくとも一部は第１の複数のノズル孔からオフセットされる。
もう１つの実施形態は、流体吐出ヘッドから吐出される流体のプルーム特徴を改善するための方法を提供する。該方法は、第１のノズルプレート層を吐出ヘッド基板上の流体フロー層に施すことと、第１の複数のノズル孔を提供するため、第１のノズルプレート層を画像形成及び現像することと、第２のノズルプレート層を第１のノズルプレート層に施すことと、第２の複数のノズル孔を提供するため、第２のノズルプレート層を画像形成及び現像することであって、第２の複数のノズル孔のうちの少なくとも一部が第１の複数のノズル孔からオフセットされることと、第１及び第２のノズルプレート層を介し流体噴射吐出ヘッドから流体を吐出することと含む。
いくつかの実施形態において、第１のノズルプレート層と第２のノズルプレート層は、積層フォトレジスト材料層を含む。
いくつかの実施形態において、第１のノズルプレート層は、吐出ヘッドのためのフロー特徴層に積層される。
いくつかの実施形態において、第１のノズルプレート層は、約５～約３０ミクロンの範囲の厚さを有する。
いくつかの実施形態において、第２のノズルプレート層は、約５～約３０ミクロンの範囲の厚さを有する。
いくつかの実施形態において、角度付軸流経路は、第１のノズルプレート層に取り付けられた第２のノズルプレート層により提供される。
いくつかの実施形態において、オフセットされたノズル孔の部分は、第２のノズルプレート層により定義された面に対する流体液滴の角度付けた放出を提供する。
ここで説明される装置の利点は、装置を異なる流体特徴を有する多様な流体に用いることが可能なことである。装置は、直交及び角度付流体流路を有する流体吐出器から流体を吐出するため、交互又は同時に流体吐出器を作動させることにより、様々なプルーム角を提供することが可能である。
図１は、人の鼻腔及び頭蓋骨の一部の、縮尺通りでない、断面図である。 図２は、本発明の１つの実施形態による薬剤送達装置の、縮尺通りでない、断面図である。 図３は、吐出ヘッドからの液滴吐出により生成される流体噴射流及び液滴プルームを示す、吐出装置の概略図である。 図４は、先行技術の吐出ヘッドの、縮尺通りでない、概略断面図である。 図５は、半導体基板上のフロー特徴層の詳細を示す、先行技術の吐出ヘッド及びノズルプレートの、縮尺通りでない、平面図である。 図６は、本発明による吐出ヘッドの一部の、縮尺通りでない、概略断面図である。 図７は、本発明の１つの実施形態による吐出ヘッドを製造方法の概略図である。 図８は、本発明の１つの実施形態による吐出ヘッドを製造方法の概略図である。 図９は、本発明の１つの実施形態による吐出ヘッドを製造方法の概略図である。 図１０は、本発明の１つの実施形態による吐出ヘッドを製造方法の概略図である。 図１１は、第１及び第２のノズルプレート層を通るオフセットノズル孔を示す、ノズルプレートの一部の、縮尺通りでない、平面図である。 図１２は、図７～１０に図示された方法により製造された吐出ヘッドの、縮尺通りでない、概略断面図である。 図１３は、図１２の吐出ヘッドの一部の、縮尺通りでない、拡大図である。 図１４は、図１２の吐出ヘッドの一部の、縮尺通りでない、拡大図である。
本発明の目的のため、下記用語を定義する：
ａ）プルームとは、空気抵抗及び気流の影響を受け、より均一な到達範囲のために鼻腔全体にわたり漂う可能性が高い低慣性の液滴のランダムに方向づけられたミストを意味する。
ｂ）プルーム角とは、プルーム中のランダムに方向づけられたミストの円錐形のボリュームの角度の尺度である。
ｃ）プルーム高とは、流体吐出ヘッドの出口からプルームの総移動距離までを測定した、プルーム中の液滴のミストの全高の尺度である。
ｄ）流体噴射長とは、吐出ヘッドの出口からプルーム角の頂点まで吐出された高慣性液滴の長さの尺度である。
ｅ）バーストとは、個別のノズルから液滴が吐出される回数として定義される。流体のバーストは、関連付くノズルを介し流体を吐出するために十分な大きさの一連の電圧パルスにより流体吐出器が発射されたときに起こる。
ｆ）バースト長とは、バースト毎に各流体吐出器が発射される合計回数として定義される。
ｇ）バースト遅延とは、個別のバーストの間の時間量として定義される。
ｈ）オフセットノズル孔とは、第１のノズルプレート層におけるノズル孔の中心が、隣接する第２のノズルプレート層におけるノズル孔の中心から所定量オフセットされていることを意味する。
流体噴射吐出装置１００の図示を、図２において縮尺通りでない断面図にて表す。該装置は、流体吹出ノズル１０４が取り付けられたカートリッジ本体１０２を含む。カートリッジ本体１０２内に流体噴射吐出カートリッジ１０６が設けられる。流体噴射吐出カートリッジ１０６は、装置１００により分注すべき流体を含む。ロジックボード１０８がカートリッジ本体１０２内に設けられ、ロジックボードコネクタ１１０を介して流体噴射吐出カートリッジ１０６上の吐出ヘッド１１２に電気接続される。以下により詳細に説明するように、吐出ヘッド１１２は、複数の流体吐出ノズルと、関連付く流体吐出器とを含む。どの流体吐出器を作動させるか制御することにより吐出ヘッドから吐出される流体のプルーム特徴を改変するために、吐出ヘッド１１２を制御するよう制御アルゴリズムを実行するため、ロジックボード１０８上又は吐出ヘッド１１２上にはプロセッサ１１４が設けられる。カートリッジ本体１０２は、吐出ヘッド１１２に電気を提供するため、ロジックボード１０８と電気接続された充電式電池１１６を含んでよい。電源スイッチ１１８が装置１００を起動させるために用いられる。異なる薬液との使用のためにプロセッサを再プログラムするため、ＵＳＢ入力１２０も含まれてよい。ユーザによるオンデマンドで液滴ミストの送達を開始するため、作動ボタン１２２が用いられてよい。
多様な吐出ヘッド１１２が上述した装置１００で用いられてよい。従って、吐出ヘッド１１２は、サーマル噴射吐出ヘッド、バブル噴射吐出ヘッド、又は圧電噴射吐出ヘッドから選択されてよい。各上記吐出ヘッドは必要に応じて流体の噴霧を生成でき、以下で説明するように、様々な流体プルーム特徴を提供するようプログラムされることができる。
紙といった基板に到達するよう２～３ｍｍを直線にて液滴を吐出するよう設計された従来のインクジェット吐出ヘッドとは異なり、ここで説明する装置１００は、流体液滴を更に気流中にミストとして吐出するよう設計される。流体噴射吐出装置１００が鼻腔スプレー装置として用いられるとき、流体液滴のミストは鼻腔の粘膜領域に到達することが好ましい。図３は、比較的高速な流体噴射流２０４と、周囲空気流を漂う流体ミストの低速プルーム２０６とを形成するよう流体を吐出するための吐出ヘッド２０２を有する、流体噴射吐出装置２００の概略図である。プルーム高ＰＨとプルーム角ＰＡ，並びに流体噴射流長ＪＬといった、プルーム２０６の特徴は、吐出ヘッド２０２が如何に動作されるかに影響され得る。例えば、より幅広いプルーム２０６は、液滴が吐出ヘッド２０２から吐出されるときの液滴間の衝突による結果であり得る。プルーム２０６に影響するもう１つの特徴は、吐出ヘッド２０２からの液滴の飛沫同伴である。高速液滴は吐出ヘッド２０２に垂直な空気流を形成する傾向にあり、これは液滴を吐出ヘッド２０２からより遠くへ引き離すよう、吐出ヘッド２０２により吐出される後続の液滴を巻き込む。従って、空気飛沫同伴は流体噴射流２０４とプルーム２０６の両方に影響を及ぼす可能性がある。
理論的考察に縛られることを望まずとも、ノズルプレートにより定義される面に対する流体液滴角度がプルーム角（ＰＡ）に影響を与える可能性があると考えられる。角度付流体液滴は、空気流中で他の流体液滴と相互作用すると考えられる。異なる角度付軌道の流体液滴の相互作用は、より広いプルーム角をもたらす。より広いプルーム角は、より広い目標領域上への流体液滴到達のための、より大きなミスト形成を提供すると考えられる。
図４を参照し、フロー特徴層３０４に取り付けられた厚さＴを有する単一層ノズルプレート３０２を有する吐出ヘッド３００の概略断面図を表す。フロー特徴層３０２は、半導体基板３１０の流体供給ビア３０８から流体チャンバ３１２へと流体を導くための流体フローチャネル３０６を含む。流体チャンバ３１２は、ノズルプレート３０２のノズル孔３１６を介して流体を吐出するための流体吐出器３１４を含む。ノズル孔３１６を通る流路を、ノズルプレート３０２の表面３２０により定義される面に直交する矢印３１８により示す。
吐出ヘッドの平面図を、流体供給ビア３０８の両側に設けられた複数のノズル孔３１６を表す図５に図示する。流体吐出器は、上述したようにミスト形成のための流体液滴を提供するため、同時に、順に、互い違いに、又は所定のグループにおいて作動されることができる。たとえ周波数、パルス幅、バースト長、又はバースト遅延といった流体吐出器パラメータが改変されたとしても、従来の流体吐出ヘッドのためのこれらパラメータの改変範囲は所望のプルーム特徴を得るには十分でない可能性がある。
従って、本発明は、複数のノズル孔を含む吐出ヘッドを提供し、ノズル孔の少なくとも１つが直交軸流経路を有し、ノズル孔の少なくとも１つが角度付軸流経路を有する。本発明による吐出ヘッド４５４を図６に表す。角度付軸流経路（矢印４３６）を有する１以上のノズル孔４２２／４３２と、直交軸流経路（矢印４３８）を有する１以上のノズル孔４３４とを組み合わせることにより、吐出ヘッドから吐出された液滴間の相互作用が増加し、これによって、より広いプルーム角を生成する。直交軸流ノズル４３４と角度付軸流ノズル４２２／４３２は、互いに隣接するか、流体供給ビア４０６の対向する側に位置することができ、空気流中の流体液滴間の増加された相互作用を提供するため、同時に、順に、互い違いに、又は所定のグループにて作動されてよい。
本発明による吐出ヘッドは、図７に示すように、半導体基板４０４に取り付けられたフロー特徴層４０２に第１のノズルプレート層４００を施すことにより製造される。フロー特徴層４０２は、半導体基板４０４に流体供給ビア４０６を形成する前に半導体基板４０４にスピンコート又は積層された、ネガ型フォトレジスト材料といったフォトイメージアブル材料である。フロー特徴層４０２は、流体供給ビア４０６から流体吐出器４１２を含む流体チャンバ４１０へと流体を導くための流体フローチャネル４０８を含み、約１０～約６０ミクロンの範囲の厚さを有する。フロー特徴層４０２において流体チャンバ４１０と流体フローチャネル４０８が画像形成されて現像され、半導体基板４０４に流体供給ビア４０６がエッチングされると、第１のノズルプレート層４００がフロー特徴層４０２に積層される。第１のノズルプレート層４００は、約５～約３０ミクロンの範囲の厚さを有してよく、ネガ型フォトレジスト材料といったフォトイメージアブル材料であてよい。
処理の次のステップは、図８に示すように、矢印４２０により示される紫外線（ＵＶ）光といった化学線を用いて第１のノズルプレート層４００に第１の軸流経路長を有するノズル孔を画像形成するため、非透明領域４１６と透明領域４１８とを有するマスク４１４が用いられる。第１のノズルプレート層４００にて画像形成を行った後、ノズル孔４２２を提供するため第１のノズルプレート層が現像される。
図９において、第２のノズルプレート層４２４が第１のノズルプレート層４００に積層される。第１のノズルプレート層４００のように、第２のノズルプレート層４２４は約５～約３０ミクロンの範囲の厚さを有するネガ型フォトレジスト材料であってよい。次いで、非透明領域４２８と透明領域４３０とを有するマスク４２６が、第２のノズルプレート層４２４にノズル孔を画像形成するために用いられる（図１０）。図１１に示すように、第１のノズルプレート層４００のノズル孔４２２の中心は、第２のノズルプレート層４２４のノズル孔４２４の中心からオフセットされている。ただし、第１のノズルプレート層４００と第２のノズルプレート層４２４の両方におけるいくつかのノズル孔４３４の中心は、オフセットがないよう一致している。図１２に示すように、オフセットノズル孔４２２／４３２は、矢印４３６により示されるような、ある角度で流体をノズル孔４２２／４３２から吐出させる。図１２はノズル孔４３４も示しており、流体は矢印４３８により表されるようにノズルプレート４００と４２４との組合せにより定義される面に対して直交に吐出される。図１３と１４は、ノズル孔４３２／４２２及び４３４の拡大図である。図１３における角度４４０は、ノズルプレート層４００と４２４により定義される面４４２に対し約４５°～約８９°の範囲であってよい。図１４において、角度４４４は面４４２に対し９０°である。
第１のノズルプレート層４００及び第２のノズルプレート層４２４を製造するために用いられ得るフォトレジスト材料は、典型的に光酸発生剤を含み、多官能エポキシ化合物、二官能エポキシ化合物、比較的高分子量のポリヒドロキシエーテル、接着増強剤、脂肪族ケトン溶媒、及び任意的に疎水性剤、のうちの１以上を含むよう配合されてよい。本発明の目的のため、「二官能エポキシ」は、分子内にエポキシ官能基が２つのみであるエポキシ化合物及び材料を意味する。「多官能エポキシ」は、分子内にエポキシ官能基が２つよりも多いエポキシ化合物及び材料を意味する。
本発明によるフォトレジスト製剤を製造するためのエポキシ成分は、ポリフェノールのグリシジルエーテルといった芳香族エポキシドから選択されてよい。例示的な多官能エポキシ樹脂としては、約１９０～約２５０の範囲のエポキシドグラム当量を有し、１３０℃での粘度が約１０～約６０ポアズの範囲のノボラックエポキシ樹脂といった、フェノールホルムアルデヒドノボラック樹脂のポリグリシジルエーテルである。
多官能エポキシ成分は、ゲル浸透クロマトグラフィーで測定して約３，０００～約５，０００の重量平均分子量、及び３を超え、好ましくは約６～約１０である平均エポキシド基官能を有する。フォトレジスト製剤中の多機能エポキシ樹脂の量は、乾燥したフォトレジスト層の重量に基づき約３０～約５０重量％の範囲であってよい。
二官能エポキシ化合物は、ビスフェノールＡのジグリシジルエーテル、３，４－エポキシシクロヘキシルメチル－３，４－エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、３，４－エポキシ－６－メチルシクロヘキシルメチル―３，４－エポキシ－６－メチルシクロヘキサンカルボキシレート、ビス（３，４－エポキシ－６－メチルシクロヘキシルメチル）アジペート、及びビス（２，３－エポキシシクロペンチル）エーテルを含む、二官能エポキシ化合物から選択されてよい。
例示的な二官能エポキシ化合物としては、約１０００より大きいエポキシ当量を有するビスフェノール－Ａ／エピクロロヒドリンエポキシ樹脂である。「エポキシド当量」は、１グラム相当のエポキシドを含む樹脂のグラム数である。二官能エポキシ成分の重量平均分子量は、典型的に、例えば約２８００～約３５００重量平均分子量といった、２５００ダルトンよりも上である。フォトレジスト製剤中の二官能エポキシ成分の量は、硬化した樹脂の重量に基づき約３０～約９５重量％の範囲であってよい。
例示的な光酸発生剤には、ＶＡ族元素のオニウム塩、ＶＩＡ族元素のオニウム塩、及び芳香族ハロニウム塩から選択されることのできる芳香族錯体塩といった、カチオンを生成することのできる化合物又は化合物の混合物から選択されてよい。芳香族錯塩は、紫外線又は電子ビーム照射にさらされると、エポキシドとの反応を開始する酸部分を生成することができる。光酸発生剤は、ここで説明されるフォトレジスト製剤中において、硬化した樹脂の重量に基づき約５～約１５重量％の範囲の量で存在してよい。
活性光線で照射されたときプロトン酸を生成する化合物が光酸発生剤として用いられよく、芳香族ヨードニウム錯塩と芳香族スルホニウム錯塩を含むが、これに限定されない。例としては、ジ－（ｔ－ブチルフェニル）ヨードニウムトリフレート、ジフェニルヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボラート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロフォスファート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジ（４－ノニルフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロフォスファート、［４－（オクチルオキシ）フェニル］フェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムトリフラート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスフェート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、４，４’－ビス［ジフェニルスルホニウム］ジフェニルスルフィドビスヘキサフルオロホスフェート、４，４’－ビス［ジ（β－ヒドロキシエトキシ）フェニルスルホニウム］ジフェニルスルフィドビス－ヘキサフルオロアンチモネート、４，４’－ビス［ジ（β－ヒドロキシエトキシ）フェニルスルホニウム］ジフェニルスルフィドビス－ヘキサフルオロホスフェート、７－［ジ（ｐ－トリル）スルホニウム］－２－イソプロピルチオキサントンヘキサフルオロホスフェート、７－［ジ（ｐ－トリル）スルホニオ－２－イソプロピルチオキサントンヘキサフルオロアンチモネート、７－［ジ（ｐ－トリル）スルホニウム］－２－イソプロピルテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、フェニルカルボニル－４’－ジフェニルスルホニウムジフェニルスルフィドヘキサフルオロホスフェート、フェニルカルボニル－４’－ジフェニルスルホニウムジフェニルスルフィドヘキサフルオロアンチモネート、４－ｔｅｒｔ－ブチルフェニルカルボニル－４’－ジフェニルスルホニウムジフェニルスルフィドヘキサフルオロホスフェート、４－ｔｅｒｔ－ブチルフェニルカルボニル－４’－ジフェニルスルホニウムジフェニルスルフィドヘキサフルオロアンチモネート、４－ｔｅｒｔ－ブチルフェニルカルボニル－４’－ジフェニルスルホニウムジフェニルスルフィドテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボラート、ジフェニル［４－（フェニルチオ）フェニル］スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート等を含む。
フォトレジスト製剤の調製に用いるための溶媒は、非光反応性である溶媒である。非光反応性溶媒には、γ－ブチロラクトン、炭素数１～６のアセテート、テトラヒドロフラン、低分子量ケトン、これらの混合物等を含むが、これに限定されない。非光反応性溶媒は、フォトレジスト製剤の総重量に基づき、約４０～約６０重量％といった、約２０～約９０重量％の範囲の量でノズルプレート層４００と４２４を提供するために用いられる製剤混合物に存在する。非光反応性溶媒は、典型的に、硬化した樹脂中に残留せず、このため樹脂の硬化ステップの前又は硬化ステップ間に取り除かれる。
フォトレジスト製剤は、シラン化合物といった接着増強剤の有効量を任意的に含んでよい。フォトレジスト製剤の成分と適合性のあるシラン化合物は、典型的に、多官能エポキシ化合物、二官能エポキシ化合物、及び光開始剤からなる群から選択された少なくとも１つと反応が可能である官能基を有する。そのような接着増強剤は、例えばγ－グリシドキシプロピルトリメトキシシランといった、３－（グアニジニル）プロピルトリメトキシシラン及びグリシドキシアルキルトリアルコキシシランといった、エポキシド官能基を有するシランであってよい。使用されるとき、接着増強剤は、硬化した樹脂の総重量に基づき、約１．０～約１．５重量％といった、約０．５～約２重量％の範囲の量で存在してよく、そこに含まれる全ての範囲を含む。ここで使用される接着増強剤は、フォトレジスト材料のフィルム形成及び接着特性を補助するフォトレジスト組成物に可溶な有機材料を意味すると定義される。
ノズルプレート層のためのフォトレジスト製剤に用いることができるもう１つの任意的な成分には、疎水性剤を含む。用いられ得る疎水性剤には、シランやシロキサンといった材料を含むシリコンを含む。従って、疎水性剤は、ヘプタデカフルオロデカニルトリメトキシシラン、オクタデシルジメチルクロロシラン、オクタデシルトリクロロシラン、メチルトリメトキシシラン、オクチルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、ｔ－ブチルメトキシシラン、テトラエトキシシラン、ナトリウムメチルシリコネート、ビニルトリメトキシシラン、Ｎ－（３－（トリメトキシルシリル）プロピル）エチレンジアミンポリメチルメトキシシロキサン、ポリジメチルシロキサン、ポリエチル水素シロキサン、及びジメチルシロキサンから選択されてよい。フォトレジスト層４００と４２４における疎水性剤の量は、乾燥した樹脂の総重量に基づき、約１．０～約１．５重量％といった、約０．５～約２重量％の範囲であってよく、そこに含まれる全ての範囲を含む。
上記説明はフォトレジスト材料製のノズルプレート層４００と４２４を提供しているが、第１及び第２のノズルプレート層はフォトレジスト材料層に限定されない。ポリイミド材料といった他の材料が、上述したような第１のノズルプレート層４００と第２ノズルプレート層４２４及びこれらのノズル孔を提供するために用いられてもよい。
本明細書及び添付の特許請求の範囲の目的のため、特に明記しない限り、明細書及び特許請求の範囲で使用される量、百分率又は比率を表す全ての数値及び他の数値は、全ての場合において「約」という用語によって修飾されると理解されるべきである。従って、そうでないと示されない限り、以下の明細書及び添付の特許請求の範囲に記載される数値パラメータは、本発明により得ることが求められる所望の特性に応じて変わり得る近似値である。少なくとも、そして特許請求の範囲に対する均等論の適用を制限する試みとしてではなく、各数値パラメータは少なくとも言及された有効数字の数を考慮し、そして通常の丸め手法を適用することにより、解釈されるべきである。
特定の実施形態について説明したが、出願人又は他の当業者には、現在予測していない、又は予測できない、代替、修正、変形、改善、及び実質的な均等物が生じうる。従って、提出された添付の特許請求の範囲及び補正された特許請求の範囲は、そのようなすべての代替、修正、変形、改善、及び実質的な均等物を包含することを意図している。
１０：鼻腔
１２：脳
１４：脳の一部、嗅球
１６：篩板
１８：嗅粘膜
２０：上鼻甲介
２２：中鼻甲介
２４：呼吸器粘膜
２６：下鼻甲介
２８：口蓋
３０：鼻孔
３２：扁平上皮
１００：流体噴射吐出装置
１０２：カートリッジ本体
１０４：流体吹出ノズル
１０６：流体噴射吐出カートリッジ
１０８：ロジックボード
１１０：ロジックボードコネクタ
１１２：吐出ヘッド
１１４：プロセッサ
１１６：充電式電池
１１８：電源スイッチ
１２０：ＵＳＢ入力
１２２：作動ボタン
２００：流体噴射吐出装置
２０２：吐出ヘッド
２０４：流体噴射流
２０６：プルーム
３００：吐出ヘッド
３０２：ノズルプレート
３０４：フロー特徴層
３０６：流体フローチャネル
３０８：流体供給ビア
３１０：半導体基板
３１２：流体チャンバ
３１４：流体吐出器
３１６：ノズル孔
３１８：矢印
３２０：ノズルプレートの表面
４００：第１のノズルプレート層
４０２：フロー特徴層
４０４：半導体基板
４０６：流体供給ビア
４０８：流体フローチャネル
４１０：流体チャンバ
４１２：流体吐出器
４１４：マスク
４１６：非透明領域
４１８：透明領域
４２０：矢印
４２２：ノズル孔
４２４：第２のノズルプレート層
４２６：マスク
４２８：非透明領域
４３０：透明領域
４３２、４３４：ノズル孔
４３６、４３８：矢印
４４０、４４４：角度
４４２：面
４５４：吐出ヘッド
ＪＬ：流体噴射流長
ＰＡ：プルーム角
ＰＨ：プルーム高
Ｔ：厚さ

Claims (17)

  1. カートリッジ本体と、
    前記カートリッジ本体に取り付けられた流体吹出ノズルと、
    前記カートリッジ本体に設けられた、流体を含み且つ吐出ヘッドが取り付けられた流体噴射吐出カートリッジと
    を含み、
    前記吐出ヘッドが、複数の流体吐出器と、前記複数の流体吐出器に関連付く複数の流体吐出ノズルを有するノズルプレートとを含み、
    前記複数の流体吐出ノズルのうちの少なくとも１つが前記ノズルプレートにより定義される面に対する直交軸流経路を有し、前記複数の流体吐出ノズルのうちの少なくとも１つが前記ノズルプレートにより定義される前記面に対する角度付軸流経路を有する、
    流体噴射吐出装置。
  2. 前記角度付軸流経路が、第１のノズルプレート層に取り付けられた第２のノズルプレート層により提供される、
    請求項１に記載の流体噴射吐出装置。
  3. 前記第１のノズルプレート層が、５～３０ミクロンの範囲の厚さを有する、
    請求項２に記載の流体噴射吐出装置。
  4. 前記第２のノズルプレート層が、５～３０ミクロンの範囲の厚さを有する、
    請求項２に記載の流体噴射吐出装置。
  5. 前記第１のノズルプレート層が、前記吐出ヘッドのためのフロー特徴層に積層される、
    請求項２に記載の流体噴射吐出装置。
  6. 前記第１のノズルプレート層と前記第２のノズルプレート層が、積層フォトレジスト材料層を含む、
    請求項２に記載の流体噴射吐出装置。
  7. 複数の流体吐出器を有する半導体基板を提供することと、
    前記半導体基板に流体フロー層を施すことと、
    前記流体フロー層において流体チャネルと流体チャンバとを画像形成及び現像することと、
    半導体基板に流体供給ビアをエッチングすることと、
    前記流体フロー層に第１のノズルプレート層を施すことと、
    第１の複数のノズル孔を提供するため、前記第１のノズルプレート層を画像形成及び現像することと、
    前記第１のノズルプレート層に第２のノズルプレート層を施すことと、
    第２の複数のノズル孔を提供するため、前記第２のノズルプレート層を画像形成及び現像することであって、前記第２の複数のノズル孔の少なくとも一部が前記第１の複数のノズル孔からオフセットされることと
    を含む、
    吐出ヘッドの製造方法。
  8. 前記第１のノズルプレート層が、５～３０ミクロンの範囲の厚さを有する、
    請求項７に記載の方法。
  9. 前記第２のノズルプレート層が、５～３０ミクロンの範囲の厚さを有する、
    請求項７に記載の方法。
  10. 前記第１のノズルプレート層が、前記流体フロー層に積層される、
    請求項７に記載の方法。
  11. 前記第２のノズルプレート層が、前記第１のノズルプレート層に積層される、
    請求項７に記載の方法。
  12. 前記オフセットした第２の複数のノズル孔が、前記第２のノズルプレート層により定義される面に対する流体液滴の角度付放出を提供する、
    請求項７に記載の方法。
  13. 流体噴射吐出ヘッドから吐出される流体のプルーム特徴を改善するための方法であって、
    吐出ヘッド基板上の流体フロー層に第１のノズルプレート層を施すことと、
    第１の複数のノズル孔を提供するため、前記第１のノズルプレート層を画像形成及び現像することと、
    前記第１のノズルプレート層に第２のノズルプレート層を施すことと、
    第２の複数のノズル孔を提供するため、前記第２のノズルプレート層を画像形成及び現像することであって、少なくとも前記第２の複数のノズル孔の一部が前記第１の複数のノズル孔からオフセットされていることと、
    前記第１のノズルプレート層及び前記第２のノズルプレート層を介して前記流体噴射吐出ヘッドから流体を吐出することと
    を含む、方法。
  14. 前記第１のノズルプレート層が、５～３０ミクロンの範囲の厚さを有する、
    請求項１３に記載の方法。
  15. 前記第２のノズルプレート層が、５～３０ミクロンの範囲の厚さを有する、
    請求項１３に記載の方法。
  16. 前記第１のノズルプレート層が、前記流体フロー層に積層される、
    請求項１３に記載の方法。
  17. 前記第２のノズルプレート層が、前記第１のノズルプレート層に積層される、
    請求項１３に記載の方法。
JP2022062498A 2021-04-08 2022-04-04 流体噴射吐出装置、吐出ヘッドの製造方法及びプルーム特徴を改善する方法 Pending JP2022161863A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US17/225,215 2021-04-08
US17/225,215 US11642886B2 (en) 2021-04-08 2021-04-08 Modified fluid jet plume characteristics

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2022161863A true JP2022161863A (ja) 2022-10-21

Family

ID=80999602

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022062498A Pending JP2022161863A (ja) 2021-04-08 2022-04-04 流体噴射吐出装置、吐出ヘッドの製造方法及びプルーム特徴を改善する方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US11642886B2 (ja)
EP (1) EP4070959A1 (ja)
JP (1) JP2022161863A (ja)
CN (1) CN115300772A (ja)

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5811019A (en) 1995-03-31 1998-09-22 Sony Corporation Method for forming a hole and method for forming nozzle in orifice plate of printing head
US6142607A (en) 1996-08-07 2000-11-07 Minolta Co., Ltd. Ink-jet recording head
US6196218B1 (en) * 1999-02-24 2001-03-06 Ponwell Enterprises Ltd Piezo inhaler
US20020140774A1 (en) 2001-03-30 2002-10-03 Olympus Optical Co., Ltd. Ink head
US7726303B2 (en) * 2003-02-25 2010-06-01 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Controlled medicament ejection
GB0316934D0 (en) * 2003-07-19 2003-08-27 Xaar Technology Ltd Method of manufacturing a component for droplet deposition apparatus
JP2006027132A (ja) 2004-07-16 2006-02-02 Fuji Photo Film Co Ltd 液滴吐出ヘッド及び画像形成装置
US7364268B2 (en) * 2005-09-30 2008-04-29 Lexmark International, Inc. Nozzle members, compositions and methods for micro-fluid ejection heads
US8007079B2 (en) 2006-03-01 2011-08-30 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Liquid droplet jetting head and method of manufacturing liquid droplet jetting head
JP2010246669A (ja) * 2009-04-14 2010-11-04 Canon Inc 吸入装置用の液体吐出ヘッドおよび吸入装置
JP5831081B2 (ja) * 2011-09-16 2015-12-09 株式会社リコー 液体吐出ヘッド及び画像形成装置
JP6008556B2 (ja) * 2012-04-25 2016-10-19 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッドの製造方法及び露光方法
JP5814963B2 (ja) 2013-03-08 2015-11-17 東芝テック株式会社 インクジェットヘッド、インクジェット記録装置、およびインクジェットヘッドの製造方法
JP6216626B2 (ja) 2013-11-22 2017-10-18 株式会社東芝 インクジェットヘッド
JP2016083928A (ja) 2014-10-25 2016-05-19 株式会社リコー ノズル板、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置
JP2018051980A (ja) * 2016-09-29 2018-04-05 エスアイアイ・プリンテック株式会社 噴射孔プレート、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
US9855566B1 (en) * 2016-10-17 2018-01-02 Funai Electric Co., Ltd. Fluid ejection head and process for making a fluid ejection head structure
US10609957B2 (en) * 2016-11-22 2020-04-07 Funai Electric Co., Ltd. Vapor delivery device
IT201600118584A1 (it) * 2016-11-23 2018-05-23 St Microelectronics Srl Dispositivo microfluidico per la spruzzatura di gocce di liquidi di piccole dimensioni

Also Published As

Publication number Publication date
CN115300772A (zh) 2022-11-08
US20220324227A1 (en) 2022-10-13
EP4070959A1 (en) 2022-10-12
US11642886B2 (en) 2023-05-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7594507B2 (en) Thermal generation of droplets for aerosol
US8201554B2 (en) Inhalation device having an optimized air flow path
US20230364625A1 (en) Modified fluid jet plume characteristics
US20060081239A1 (en) Thermally efficient drop generator
US11642886B2 (en) Modified fluid jet plume characteristics
JP5424556B2 (ja) 回転対称性を有しない吐出口を有する液体吐出ヘッド
EP4039297A1 (en) Drug delivery device, method of controlling fluid plume and method of nasal cavity injection
US20050280673A1 (en) Liquid ejection head
US7243648B2 (en) Thermal drop generator
CN115230323B (zh) 喷射头、制造其的方法及多流体喷射头
JP2010246669A (ja) 吸入装置用の液体吐出ヘッドおよび吸入装置
EP4039299A1 (en) Drug delivery device, method of controlling fluid plume and method of nasal cavity injection
US20220297428A1 (en) Solvent Compatible Nozzle Plate
US8596262B2 (en) Liquid discharge head and liquid discharge head device

Legal Events

Date Code Title Description
A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20230616