JP2022160164A - バタフライバルブ - Google Patents
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- 238000010926 purge Methods 0.000 claims abstract description 163
- 239000011553 magnetic fluid Substances 0.000 claims abstract description 119
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 20
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 60
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 60
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims description 17
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 12
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims description 9
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 3
- 230000006378 damage Effects 0.000 abstract description 2
- 230000035515 penetration Effects 0.000 abstract 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 181
- 238000000034 method Methods 0.000 description 33
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 16
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 12
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 11
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 9
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 3
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002199 base oil Substances 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
Images
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
- F16K1/24—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with valve members that, on opening of the valve, are initially lifted from the seat and next are turned around an axis parallel to the seat
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- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
- F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
- F16J15/40—Sealings between relatively-moving surfaces by means of fluid
- F16J15/43—Sealings between relatively-moving surfaces by means of fluid kept in sealing position by magnetic force
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
- F16J15/44—Free-space packings
- F16J15/447—Labyrinth packings
- F16J15/4472—Labyrinth packings with axial path
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
- F16K1/16—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members
- F16K1/18—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members with pivoted discs or flaps
- F16K1/22—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members with pivoted discs or flaps with axis of rotation crossing the valve member, e.g. butterfly valves
- F16K1/221—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members with pivoted discs or flaps with axis of rotation crossing the valve member, e.g. butterfly valves specially adapted operating means therefor
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
- F16K1/16—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members
- F16K1/18—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members with pivoted discs or flaps
- F16K1/22—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members with pivoted discs or flaps with axis of rotation crossing the valve member, e.g. butterfly valves
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Computer Hardware Design (AREA)
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Abstract
磁性流体シール部に過大な圧力が負荷されることを防止することで、磁性流体シールの破壊を防止することが可能なバタフライバルブを提供すること。
【解決手段】
流路30から挿通孔8dを通じて、磁性流体シール部19へ制御流体が流入することを防ぐためのパージガスを、バタフライバルブ1に供給するためのパージガス流路60を備えること、パージガス流路60には、上流側から、パージガス流路60の開閉を行う開閉弁62と、パージガス流路60の圧力値を測定する圧力計64と、が設けられていること、パージガス流路60は、圧力計64の下流側で、バタフライバルブ1の磁性流体シール部19と流路30の間に接続されるとともに、挿通孔8dを通じて流路30に連通していること、少なくとも開閉弁62を制御する制御装置70を備えること、制御装置70は、圧力値Pの監視を行う監視プログラムを備えること、を特徴とする。
【選択図】図1
Description
また、パージガス流路は、ロッドが挿し込まれる挿込部により流路に連通しているため、パージガス流路の圧力値の測定および監視を行うことで、流路の異常状態を検知することも可能である。
(1)モータ(例えばDDモータ11)と、制御流体(例えばプロセスガス)が流れる流路30と、一端がモータ(DDモータ11)に結合されるとともに他端が流路30に挿し込まれるロッド10と、流路30内でロッド10に結合されたバタフライ弁体9と、を備えるバタフライバルブ1において、モータ(DDモータ11)と流路30との間に磁性流体シール部19を備えること、磁性流体シール部19は、流路30から、流路30のロッド10が挿し込まれている挿込部(例えば挿通孔8d)を通じて、モータ(DDモータ11)に制御流体(プロセスガス)が漏れることを防ぐこと、流路30から挿込部(挿通孔8d)を通じて、磁性流体シール部19へ制御流体(プロセスガス)が流入することを防ぐためのパージガスを、バタフライバルブ1に供給するためのパージガス流路60を備えること、パージガス流路60には、上流側から、パージガス流路60の開閉を行う開閉弁62と、パージガス流路60の圧力値を測定する圧力計64と、が設けられていること、パージガス流路60は、圧力計64の下流側で、バタフライバルブ1の磁性流体シール部19と流路30の間に接続されるとともに、挿込部(挿通孔8d)を通じて流路30に連通していること、少なくとも開閉弁62を制御する制御装置70を備えること、制御装置70は、圧力値Pの監視を行う監視プログラムを備えること、を特徴とする。
また、パージガス流路60は、ロッド10が挿し込まれる挿込部(挿通孔8d)により流路30に連通しているため、パージガス流路60の圧力値の測定および監視を行うことで、流路30の異常状態を検知することも可能である。
よって、(4)に記載のバタフライバルブ1によれば、磁性流体シール部19の耐圧値C以上であるか否かにより流路30の圧力値に異常が生じていないかを監視することができる。これに基づき、例えば、バタフライバルブ1の弁閉等を行うこととすれば、磁性流体シール部19に過大な圧力が負荷され、磁性流体シール部19が破壊されるおそれを軽減することができる。
2 駆動部
3 弁部
8d 挿通孔(挿込部の一例)
9 バタフライ弁体
10 ロッド
11 DDモータ(モータの一例)
18 磁性部材
19 磁性流体シール部
30 流路
32 真空チャンバ
33 真空ポンプ
34 配管
Claims (6)
- モータと、制御流体が流れる流路と、一端が前記モータに結合されるとともに他端が前記流路に挿し込まれるロッドと、前記流路内で前記ロッドに結合されたバタフライ弁体と、を備えるバタフライバルブにおいて、
前記モータと前記流路との間に磁性流体シール部を備えること、
前記磁性流体シール部は、前記流路から、前記流路の前記ロッドが挿し込まれている挿込部を通じて、前記モータへ前記制御流体が漏れることを防ぐこと、
前記流路から前記挿込部を通じて、前記磁性流体シール部へ前記制御流体が流入することを防ぐためのパージガスを、前記バタフライバルブに供給するためのパージガス流路を備えること、
前記パージガス流路には、上流側から、前記パージガス流路の開閉を行う開閉弁と、前記パージガス流路の圧力値を測定する圧力計と、が設けられていること、
前記パージガス流路は、前記圧力計の下流側で、前記バタフライバルブの前記磁性流体シール部と前記流路の間に接続されるとともに、前記挿込部を通じて前記流路に連通していること、
少なくとも前記開閉弁を制御する制御装置を備えること、
前記制御装置は、前記圧力値の監視を行う監視プログラムを備えること、
を特徴とするバタフライバルブ。 - 請求項1に記載のバタフライバルブにおいて、
前記監視プログラムは、前記圧力値が所定の第1閾値よりも小さい値であるときに、前記開閉弁を開弁することの指令を出力すること、
を特徴とするバタフライバルブ。 - 請求項1または2に記載のバタフライバルブにおいて、
前記監視プログラムは、所定の単位時間毎に前記圧力値を取得し、n回目に取得した前記圧力値とn-1回目に取得した前記圧力値との差の絶対値が、所定の第2閾値以上であるときに、前記圧力値に異常が生じていると判定すること、
を特徴とするバタフライバルブ。 - 請求項1乃至3のいずれか1つに記載のバタフライバルブにおいて、
前記監視プログラムは、
前記圧力値が 前記磁性流体シール部の耐圧値以上であるときに、前記圧力値に異常が生じていると判定すること、
を特徴とするバタフライバルブ。 - 請求項1乃至4のいずれか1つに記載のバタフライバルブにおいて、
前記制御装置は、前記パージガス流路における前記圧力値が前記制御装置により安定状態とされた時の前記圧力値を、定常圧力値として記憶する記憶手段を備えること、
前記監視プログラムは、前記圧力値と前記定常圧力値との差の絶対値が、所定の第3閾値以上であるときに、前記圧力値に異常が生じていると判定すること、
を特徴とするバタフライバルブ。 - 請求項1乃至5のいずれか1つに記載のバタフライバルブにおいて、
前記パージガス流路には、前記開閉弁と前記圧力計との間に、前記制御装置から出力される流量指令値に基づいて前記パージガスの流量を制御するとともに、前記パージガスの流量値を検出する流量コントローラが設けられていること、
前記監視プログラムは、前記流量指令値に対して、前記流量値が異なる状態にある時に、前記流量値に異常が生じていると判定すること、
を特徴とするバタフライバルブ。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021064744A JP7174799B2 (ja) | 2021-04-06 | 2021-04-06 | バタフライバルブ |
KR1020237029204A KR20230130154A (ko) | 2021-04-06 | 2022-04-01 | 버터플라이 밸브 |
PCT/JP2022/016993 WO2022215667A1 (ja) | 2021-04-06 | 2022-04-01 | バタフライバルブ |
US18/279,001 US20240142001A1 (en) | 2021-04-06 | 2022-04-01 | Butterfly valve |
CN202280018887.XA CN116917650A (zh) | 2021-04-06 | 2022-04-01 | 蝶形阀 |
TW111113022A TW202246686A (zh) | 2021-04-06 | 2022-04-06 | 蝶形閥 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021064744A JP7174799B2 (ja) | 2021-04-06 | 2021-04-06 | バタフライバルブ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022160164A true JP2022160164A (ja) | 2022-10-19 |
JP7174799B2 JP7174799B2 (ja) | 2022-11-17 |
Family
ID=83546106
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021064744A Active JP7174799B2 (ja) | 2021-04-06 | 2021-04-06 | バタフライバルブ |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20240142001A1 (ja) |
JP (1) | JP7174799B2 (ja) |
KR (1) | KR20230130154A (ja) |
CN (1) | CN116917650A (ja) |
TW (1) | TW202246686A (ja) |
WO (1) | WO2022215667A1 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000074227A (ja) * | 1998-08-26 | 2000-03-14 | Sony Corp | 真空処理装置および磁気シール回転軸受けユニット |
US20100096574A1 (en) * | 2006-11-09 | 2010-04-22 | Gyu-Tae Son | Throttle valve having magnetic fluid seal structure |
WO2018190148A1 (ja) * | 2017-04-10 | 2018-10-18 | イーグル工業株式会社 | バタフライバルブ |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7013152B2 (ja) | 2017-07-13 | 2022-01-31 | Ckd株式会社 | バタフライバルブおよび真空圧力制御装置 |
-
2021
- 2021-04-06 JP JP2021064744A patent/JP7174799B2/ja active Active
-
2022
- 2022-04-01 US US18/279,001 patent/US20240142001A1/en active Pending
- 2022-04-01 WO PCT/JP2022/016993 patent/WO2022215667A1/ja active Application Filing
- 2022-04-01 KR KR1020237029204A patent/KR20230130154A/ko unknown
- 2022-04-01 CN CN202280018887.XA patent/CN116917650A/zh active Pending
- 2022-04-06 TW TW111113022A patent/TW202246686A/zh unknown
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000074227A (ja) * | 1998-08-26 | 2000-03-14 | Sony Corp | 真空処理装置および磁気シール回転軸受けユニット |
US20100096574A1 (en) * | 2006-11-09 | 2010-04-22 | Gyu-Tae Son | Throttle valve having magnetic fluid seal structure |
WO2018190148A1 (ja) * | 2017-04-10 | 2018-10-18 | イーグル工業株式会社 | バタフライバルブ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7174799B2 (ja) | 2022-11-17 |
CN116917650A (zh) | 2023-10-20 |
TW202246686A (zh) | 2022-12-01 |
WO2022215667A1 (ja) | 2022-10-13 |
KR20230130154A (ko) | 2023-09-11 |
US20240142001A1 (en) | 2024-05-02 |
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A521 | Request for written amendment filed |
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|
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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|
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