JP2022155671A - ロボット装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ロボット装置の人工筋肉に液体を供給する液体供給装置における当該液体の温度を精度よく検出可能にする。【解決手段】本開示のロボット装置は、液体の供給を受けて作動する少なくとも１つの人工筋肉と、当該人工筋肉に液体を供給する液体供給装置とを含み、液体供給装置は、液体を貯留する液体貯留部と、液体貯留部内の液体を吸引して吐出するポンプと、ポンプの吸入口に流入する液体の温度を検出する温度センサとを含む。【選択図】図３

Description

本開示は、流体の供給を受けて作動する少なくとも１つの人工筋肉と、当該人工筋肉に流体を給排する流体供給装置とを含むロボット装置に関する。

従来、両端部が栓体で閉じられたゴムチューブと、当該ゴムチューブを覆う網体とを有する２つの人工筋肉（ゴム人工筋）を含む関節装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。この関節装置において、各人工筋肉の出入口は、導電性作動液を圧送する液圧源に圧力制御弁を介して接続されている。これにより、各人工筋肉は、出入口に作動液が流入することで、軸方向に収縮しながら径方向に膨張し、出入口から作動液が流出することで、径方向に収縮しながら軸方向に伸長する。

特開昭６３－２１６６９１号公報

特許文献１に記載された関節装置の液圧源としてポンプが用いられる場合、ポンプの昇圧動作に伴って発生する熱やエネルギが液体に伝えられることで、当該液体の温度が上昇する。また、ポンプを含む液体供給装置の構成部材に高い耐熱性を要求すると、当該液体供給装置のコストアップを招いてしまう。このため、コストアップを抑制しつつ、構成部材を保護するためには、液体供給装置に温度センサを設け、当該温度センサにより液体の温度を精度よく検出することが必要となる。しかしながら、上記特許文献１および２には、人工筋肉に液体を供給する液体供給装置に温度センサを設けることが開示も示唆もされていない。

そこで、本開示は、ロボット装置の人工筋肉に液体を供給する液体供給装置における当該液体の温度を精度よく検出可能にすることを主目的とする。

本開示のロボット装置は、液体の供給を受けて作動する少なくとも１つの人工筋肉と、前記人工筋肉に前記液体を供給する液体供給装置とを含むロボット装置であって、前記液体供給装置が、前記液体を貯留する液体貯留部と、前記液体貯留部内の前記液体を吸引して吐出するポンプと、前記ポンプの吸入口に流入する前記液体の温度を検出する温度センサとを含むものである。

本開示のロボット装置では、液体供給装置に対して、ポンプの吸入口に流入する液体の温度を検出する温度センサが設けられる。これにより、ポンプの作動中に液体の流れが常時形成される箇所で液体供給装置全体を反映した液体の温度を精度よく検出することが可能となる。

本開示のロボット装置を示す概略構成図である。 本開示のロボット装置を示す拡大図である。 本開示のロボット装置の流体供給装置を示す部分断面図である。 本開示のロボット装置の他の流体供給装置を示す系統図である。

次に、図面を参照しながら、本開示の発明を実施するための形態について説明する。

図１は、本開示のロボット装置１を示す概略構成図であり、図２は、ロボット装置１を示す拡大図である。これらの図面に示すロボット装置１は、ロボットアーム２と、流体供給装置（液体供給装置）１０とを含む。本実施形態において、ロボット装置１は、指定された目的位置まで自走可能な、いわゆる無人搬送車（ＡＧＶ）である搬送台車２０に搭載される。ただし、ロボット装置１は、搬送台車２０に搭載されるものに限られず、予め定められた設置箇所に定置されてもよい。

ロボットアーム２は、複数（本実施形態では、３つ）の関節（ピン結合部）Ｊ１，Ｊ２，Ｊ３と、複数（本実施形態では、３つ）のアーム（リンク）３と、関節Ｊ１，Ｊ２，Ｊ３ごとに例えば偶数個（本実施形態では、２つ）ずつ設けられる人工筋肉としての複数の流体アクチュエータ（液圧アクチュエータ）Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４，Ｍ５，Ｍ６と、先端側のアーム３に取り付けられる把持部（手先）としてのハンド部（ロボットハンド）４とを含む多関節アームである。ロボットアーム２のハンド部４は、対象となる物体（以下、「把持対象」という。）を把持するようにロボット装置１の制御装置１００（図３参照）により制御される。また、流体供給装置１０は、当該制御装置１００により制御されて各流体アクチュエータＭ１－Ｍ６に流体（作動流体）としての作動油（液体）を給排する。これにより、ロボットアーム２を油圧（液圧）により駆動してハンド部４を所望の位置に移動させることができる。

ロボットアーム２の各流体アクチュエータＭ１－Ｍ６は、図２に示すように、作動油の圧力によって膨張するチューブＴと、当該チューブＴを覆う編組スリーブＳとを含む、いわゆるマッキベン型の人工筋肉である。チューブＴは、高い耐油性をもった例えばゴム材等の弾性材により円筒状に形成されており、当該チューブＴの両端部は、封止部材Ｃにより封止されている。チューブＴの基端側（流体供給装置１０側、図２中下端側）の封止部材Ｃには、作動油の出入口ＩＯが形成されている。編組スリーブＳは、所定方向に配向された複数のコードを互いに交差するように編み込むことにより円筒状に形成されており、軸方向および径方向に収縮可能である。編組スリーブＳを形成するコードとしては、繊維コード、高強度繊維、極細のフィラメントによって構成される金属製コード等を採用することができる。このような流体アクチュエータＭ１－Ｍ６のチューブＴ内に上記出入口ＩＯから作動油を供給して当該チューブＴ内の作動油の圧力を高めることで、チューブＴは、編組スリーブＳの作用により径方向に膨張すると共に軸方向に収縮し、内部の作動油の圧力に応じた収縮力を発生する。

図１および図２に示すように、複数のアーム３のうち、最基端側（最も流体供給装置１０側）のアーム３は、関節Ｊ１を介してリンクとしての支持部材５により回動自在に支持される。また、２つのアーム３同士が、関節Ｊ２またはＪ３を介して互いに回動自在に連結される。更に、流体供給装置１０側の２つのアーム３の先端部（手先側の端部）には、連結部材６が固定されている。図示するように、支持部材５は、最基端側の関節Ｊ１に対応した流体アクチュエータＭ１の基端側の封止部材Ｃを第１の連結軸を介して回動自在に支持すると共に、当該関節Ｊ１に対応した流体アクチュエータＭ２の基端側の封止部材Ｃを第２の連結軸を介して回動自在に支持する。

また、各連結部材６は、基端側に位置する関節Ｊ１またはＪ２に対応した流体アクチュエータＭ１またはＭ３の先端側（手先側）の封止部材Ｃを第１の連結軸を介して回動自在に支持すると共に、関節Ｊ１またはＪ２に対応した流体アクチュエータＭ２またはＭ４の先端側（手先側）の封止部材Ｃを第２の連結軸を介して回動自在に支持する。更に、各連結部材６は、先端側に位置する関節Ｊ２またはＪ３に対応した流体アクチュエータＭ３またはＭ５の基端側の封止部材Ｃを第１の連結軸を介して回動自在に支持すると共に、関節Ｊ２またはＪ３に対応した流体アクチュエータＭ４またはＭ６の基端側の封止部材Ｃを第２の連結軸を介して回動自在に支持する。

これにより、関節Ｊ１－Ｊ３の関節軸から手先側（ハンド部４側）に延びる各アーム３の両側には、流体アクチュエータＭ１－Ｍ６のうちの対応する２つが当該アーム３と平行に配列される。そして、各アーム３の一側に配置される流体アクチュエータＭ１，Ｍ３，Ｍ５は、１つの関節Ｊ１，Ｊ２またはＪ３に対応した第１の人工筋肉（一方の拮抗筋）を構成し、各アーム３の他側に配置される流体アクチュエータＭ２，Ｍ４，Ｍ６は、当該第１の人工筋肉と対をなす１つの関節Ｊ１，Ｊ２またはＪ３に対応した第２の人工筋肉を構成する。

ただし、第１および第２の人工筋肉は、それぞれ２つ以上（同数）の流体アクチュエータにより構成されてもよく、第１の人工筋肉を構成する流体アクチュエータの数と、第２の人工筋肉を構成する流体アクチュエータの数とが異なっていてもよい。更に、本実施形態において、１つの関節Ｊ１，Ｊ２またはＪ３に対して設けられる複数（２つ）の流体アクチュエータＭ１，Ｍ２等は、互いに同一の諸元を有するが、第１の人工筋肉を構成する流体アクチュエータの諸元と、第２の人工筋肉を構成する流体アクチュエータの諸元とが異なっていてもよい。

また、本実施形態において、各アーム３は、中空に形成されており、各アーム３の内部には、流体供給管としての複数のホースＨ（図２における破線参照）が配置される。各ホースＨは、対応する流体アクチュエータＭ１－Ｍ６の基端側の封止部材Ｃに形成された出入口ＩＯに接続され、流体アクチュエータＭ１－Ｍ６のチューブＴ内には、ホースＨを介して流体供給装置１０からの作動油（油圧）が供給される。

従って、制御装置１００により流体供給装置１０を制御することで、第１の人工筋肉を構成する流体アクチュエータＭ１等のチューブＴ内の油圧と、第１の人工筋肉と対をなす第２の人工筋肉を構成する流体アクチュエータＭ２等のチューブＴ内の油圧とを互いに異ならせることができる。これにより、互いに拮抗するように配置された２つの流体アクチュエータＭ１，Ｍ２等すなわち対をなす（１組の）第１および第２の人工筋肉から連結部材６を介して各アーム３に力（回転トルク）を伝達し、支持部材５または基端側のアーム３に対して各アーム３を回動させて関節Ｊ１－Ｊ３の関節角度を変化させることが可能となる。本実施形態において、第１の人工筋肉を構成する流体アクチュエータＭ１等と、第１の人工筋肉と対をなす第２の人工筋肉を構成する流体アクチュエータＭ２等とは、チューブＴが自然状態から所定量（例えば、自然長の１０％程度）だけ軸方向に収縮した状態を初期状態として流体供給装置１０からの油圧により駆動される。

上記流体アクチュエータＭ１－Ｍ６に作動油を供給するロボット装置１の流体供給装置１０は、図３に示すように、作動油貯留部（流体貯留部）を画成するタンク１１と、当該タンク１１を上下方向に延びる回転軸（図１における一点鎖線参照）の周りに回転自在に支持するベース部１２と、ポンプ１３と、ストレーナＺと、アキュムレータ１４と、タンク１１の内部に配置されて第１流体調整部を構成する第１バルブボディＢ１と、タンク１１の内部に配置されて第２流体調整部を構成する第２バルブボディＢ２とを含む。更に、流体供給装置１０は、図４に示すように、第１減圧弁（圧力調整弁）ＲＶ１と、第２減圧弁ＲＶ２と、逆止弁ＣＶと、流体調整バルブとしての複数のリニアソレノイドバルブ１５１，１５２，１５３，１５４，１５５，１５６，１５７およびコントロールバルブ（圧力制御弁）１６とを含む。

タンク１１は、例えば上端および下端が閉鎖された筒体であり、内部に作動油を貯留可能なものである。本実施形態において、ロボットアーム２の支持部材５は、タンク１１の回転軸と同軸に延在するように、タンク１１の上壁部１１ｕに図示しないボルト等を介して固定される（図２参照）。すなわち、ロボットアーム２は、流体供給装置１０のタンク１１（上壁部１１ｕ）により支持される。

ベース部１２は、ロボットアーム２およびタンク１１の下方に位置するように搬送台車２０に搭載（固定）される。また、ベース部１２は、タンク１１を上記回転軸の周りに所定角度（例えば３６０°）だけ回転させる揺動モータ（回動ユニット）ＲＭを支持している。揺動モータＲＭは、液体のエネルギを回転運動に変換するものであり、ベーン（ピストン）の両側に供給された液体の圧力差に応じて当該ベーンを軸心の周りに揺動（回転）させる。これにより、揺動モータＲＭを作動させることで、ロボットアーム２およびタンク１１を当該回動軸の周りに一体に回動させることが可能となる。ただし、揺動モータＲＭの代わりに、回転駆動ユニットとして電動モータやギヤ機構等を含むものが採用されてもよい。

ポンプ１３は、制御装置１００により制御される電動ポンプであり、図３に示すように、タンク１１内に配置されるポンプ部１３０と、タンク１１内の作動油を吸引して吐出するようにポンプ部１３０を駆動する駆動部としての電動モータ１３１および減速ギヤ機構１３２とを含む。ポンプ１３のポンプ部１３０は、減速ギヤ機構１３２を介して電動モータ１３１に連結されるロータ、複数の外歯を有すると共に当該ロータと一体に回転する外歯ギヤ（ドライブギヤ）、および外歯ギヤの外歯に噛合する当該外歯の総数よりも１つ多い複数の内歯を有すると共に当該外歯ギヤに対して偏心して配置される内歯ギヤ（ドリブンギヤ）とを含む内接ギヤポンプ機構である（何れも、図示省略）。

ポンプ部１３０は、図３に示すように、タンク１１内の作動油の液位が予め定められた最低液位（ロボットアーム２の作動時における最低液位）であるときに、作動油の液面よりも下方に位置するようにタンク１１内に固定される。更に、ポンプ部１３０は、タンク１１内の作動油の液面（最低液位）よりも下側で鉛直下方に開口する吸入口１３ｉを含む。また、吸入口１３ｉには、外歯ギヤおよび内歯ギヤに対する異物の流入を規制するフィルタ（ストレーナ）１３５が取り付けられている。ポンプ部１３０は、タンク１１内に貯留された作動油を吸入して吐出口１３ｏ（図４参照）から配管Ｌ１に吐出（圧送）し、配管Ｌ１に吐出された作動油は、ストレーナＺを介して第１バルブボディＢ１に形成された油路に供給される。ストレーナＺは、吸入口１３ｉのフィルタ１３５が対象とするものより小さい異物を捕捉可能なものである。

また、本実施形態において、ポンプ１３の減速ギヤ機構１３２は、タンク１１内の作動油の液位が予め定められた最高液位であるときに少なくとも一部が作動油に浸漬するように当該タンク１１内に配置される。更に、電動モータ１３１は、タンク１１内の作動油の液位が最高液位であるときに作動油の液面（最高液位）よりも上方に位置するようにタンク１１内に配置される。これにより、電動モータ１３１の回転時における撹拌抵抗をより低減化することが可能となる。電動モータ１３１には、電力を供給するためのケーブルＫｐが接続され、当該ケーブルＫｐは、タンク１１内の作動油の液面（最高液位）よりも上側で開口するように当該タンク１１に形成されたケーブル孔１１ｈから外部に引き出される。

なお、ポンプ１３のポンプ部１３０は、ベーンやインペラを含むものであってもよい。また、ポンプ１３から減速ギヤ機構１３２が省略されてもよい。更に、電動モータ１３１および減速ギヤ機構１３２が液没可能に構成されている場合、両者は、タンク１１内の作動油の液面（最低液位）よりも下方に配置されてもよい。これにより、ポンプ１３の放熱をより促進させると共にポンプ１３の騒音を作動油およびタンク１１の壁部とにより遮断することができる。

第１バルブボディＢ１は、図３に示すように、タンク１１内の作動油の液位が上記最低液位であるときに、作動油の液面よりも下方に位置するようにタンク１１内に固定される。図３および図４に示すように、第１バルブボディＢ１は、第１および第２リリーフ弁ＲＶ１，ＲＶ２と、逆止弁ＣＶとを収容（保持）する。第１リリーフ弁ＲＶ１は、ポンプ１３により吐出された作動油の圧力を予め定められた一定の上限圧Ｐｌｉｍ（上限値、本実施形態では、例えば６－７ＭＰａ程度）を超えないように制限するものである。本実施形態において、第１リリーフ弁ＲＶ１は、第１バルブボディＢ１内に配置されるスプールＳ１および当該スプールＳ１を付勢するスプリングＳＰ１を含む。更に、第１リリーフ弁ＲＶ１は、配管Ｌ１に接続された第１バルブボディＢ１の油路に連通する入力ポートｉ１と、第１排出ポートｄａ１と、第２排出ポートｄｂ１とを含む。

ポンプ１３から入力ポートｉ１に作動油が供給されない第１リリーフ弁ＲＶ１の取付状態において、当該第１リリーフ弁ＲＶ１は、スプールＳ１がスプリングＳＰ１により付勢されて入力ポートｉ１と第１排出ポートｄａ１とを連通させる第１連通状態を形成する。また、ポンプ１３の吐出圧すなわちポンプ１３から入力ポートｉ１に供給される作動油の圧力が予め定められた比較的低い待機圧Ｐｓｔ（例えば１０００ｋＰａ程度）よりも高く、かつ上記上限圧Ｐｌｉｍよりも十分に低く定められた切替圧（本実施形態では、例えば１－２ＭＰａ程度）未満であるときに、第１リリーフ弁ＲＶ１は、スプールＳ１が入力ポートｉ１と第１排出ポートｄａ１とを連通させる第１連通状態を形成する。

更に、ポンプ１３から入力ポートｉ１に供給される作動油の圧力が上記切替圧以上であり、かつ上限圧Ｐｌｉｍを超えていないときに、第１リリーフ弁ＲＶ１は、スプールＳ１がスプリングＳＰ１の付勢力に抗して入力ポートｉ１と第１および第２排出ポートｄａ１，ｄｂ１との連通を遮断する遮断状態を形成する。また、ポンプ１３から入力ポートｉ１に供給される作動油の流量が必要供給流量を上回って当該作動油の圧力が上限圧Ｐｌｉｍに達すると、第１リリーフ弁ＲＶ１は、スプールＳ１がスプリングＳＰ１の付勢力に抗して入力ポートｉ１と第２排出ポートｄｂ１とを連通させる第２連通状態を形成する。

図４に示すように、第１リリーフ弁ＲＶ１の第１排出ポートｄａ１は、第１バルブボディＢ１に形成された油路Ｌ０を介してタンク１１内の作動油貯留部に連通する。また、第１バルブボディＢ１内の油路Ｌ０には、第１排出ポートｄａ１に近接するようにオリフィスＯｒが設置されている。オリフィスＯｒには、ポンプ１３から入力ポートｉ１に供給される作動油の圧力が上記切替圧未満であって第１リリーフ弁ＲＶ１のスプールＳ１が第１連通状態を形成するときに、第１リリーフ弁ＲＶ１の第１排出ポートｄａ１からの作動油が流入する。そして、オリフィスＯｒのオリフィス径等の諸元は、ポンプ１３が予め定められている下限回転数より所定値だけ高い回転数で作動したときに当該ポンプ１３から供給された作動油の通過により発生する前後差圧が、上記待機圧Ｐｓｔになるように定められている。この際、下流側すなわちタンク１１側の作動油の圧力が概ねゼロであるため、上流側すなわち第１排出ポートｄａ１における作動油の圧力は上記待機圧Ｐｓｔになる。

第２リリーフ弁ＲＶ２は、バルブボディ内に配置されるスプールＳ２および当該スプールＳ２を付勢するスプリングＳＰ２を含む。更に、第２リリーフ弁ＲＶ２は、バルブボディに形成された油路を介して第１リリーフ弁ＲＶ１の第２排出ポートｄｂ１に連通する入力ポートｉ２と、上記オリフィスＯｒの下流側で上記油路Ｌ０に連通する排出ポートｄｂ２とを含む。かかる第２リリーフ弁ＲＶ２は、第１リリーフ弁ＲＶ１から排出される作動油を一時的に堰き止めて所定圧まで昇圧させると共に、昇圧させた圧力によりスプールを移動させて減圧させた作動油を排出ポートｄｂ２からタンク１１内の作動油貯留部へと流出させる。

逆止弁ＣＶは、ポンプ１３（第１リリーフ弁ＲＶ１の入力ポートｉ１）側からの作動油を配管（流体通路）ＬＬに流出させると共に、配管ＬＬからポンプ１３（第１リリーフ弁ＲＶ１の入力ポートｉ１）側への作動油の流通を規制するものである。また、アキュムレータ１４は、逆止弁ＣＶの下流側で配管ＬＬに接続（直結）される作動油の出入口を有しており、ポンプ１３側からの油圧を蓄える。アキュムレータ１４としては、最高作動圧が上記上限圧Ｐｌｉｍ以上であるものが用いられる。更に、配管ＬＬには、逆止弁ＣＶの下流側かつアキュムレータ１４の上流側で当該配管ＬＬにおける作動油の圧力（元圧）を検出する元圧センサＰＳが設置されている。

第２バルブボディＢ２は、図３に示すように、タンク１１内、すなわち上壁部１１ｕの内面に取り付けられ（固定され）、タンク１１内で上下方向に延在する配管ＬＬや第１バルブボディＢ１の油路を介してポンプ１３（および第１リリーフ弁ＲＶ１）に接続される。図３および図４に示すように、第２バルブボディＢ２は、複数のリニアソレノイドバルブ１５１－１５７と、コントロールバルブ１６とを収容する。

リニアソレノイドバルブ１５１－１５７は、共通の構成を有しており、それぞれ制御装置１００により制御される。本実施形態において、リニアソレノイドバルブ１５１は、コントロールバルブ１６への信号圧を調整し、リニアソレノイドバルブ１５２は、流体アクチュエータＭ２への油圧（駆動圧）を調整する。また、リニアソレノイドバルブ１５３は、流体アクチュエータＭ３への油圧（駆動圧）を調整し、リニアソレノイドバルブ１５４は、流体アクチュエータＭ４への油圧（駆動圧）を調整する。更に、リニアソレノイドバルブ１５５は、流体アクチュエータＭ５への油圧（駆動圧）を調整し、リニアソレノイドバルブ１５６は、流体アクチュエータＭ６への油圧（駆動圧）を調整する。また。リニアソレノイドバルブ１５７は、揺動モータＲＭへの油圧（駆動圧）を調整する。

図４に示すように、リニアソレノイドバルブ１５１－１５７は、制御装置１００により通電制御される電磁部１５ｅと、第２バルブボディＢ２により保持されるスリーブ内に軸方向に移動可能に配置されるスプール１５ｓと、スプール１５ｓを電磁部１５ｅ側（出力ポート１５ｏ側から入力ポート１５ｉ側、図４中上側）に付勢するスプリング１５ｓｐとを含む。更に、リニアソレノイドバルブ１５１－１５７は、入力ポート１５ｉと、出力ポート１５ｏと、出力ポート１５ｏに連通するフィードバックポート１５ｆと、入力ポート１５ｉおよび出力ポート１５ｏと連通可能なドレンポート１５ｄとを含む。

リニアソレノイドバルブ１５１－１５７の入力ポート１５ｉは、アキュムレータ１４の下流側で配管ＬＬに接続された第２バルブボディＢ２の油路にそれぞれ連通する。また、リニアソレノイドバルブ１５２・１５６の出力ポート１５ｏは、第２バルブボディＢ２に形成された油路やホースＨ等を介して対応する流体アクチュエータＭ２・Ｍ６（チューブＴ）の作動油の出入口ＩＯに連通し、リニアソレノイドバルブ１５７の出力ポート１５ｏは、第２バルブボディＢ２に形成された油路や配管ＬＲ（図３参照）等を介して揺動モータＲＭの作動油入口に連通する。更に、リニアソレノイドバルブ１５１－１５７のドレンポート１５ｄは、それぞれ第２バルブボディＢ２に形成された油路や、タンク１１内の作動油の液面（最低液位）よりも下側で開口する配管ＬＤを介してタンク１１内の作動油貯留部に連通する。

本実施形態において、リニアソレノイドバルブ１５１－１５７は、電磁部１５ｅに電流が供給される際に開弁する常閉弁であり、各電磁部１５ｅは、印加される電流に応じて入力ポート１５ｉと出力ポート１５ｏとを連通させるようにスプール１５ｓを軸方向に移動させる。これにより、電磁部１５ｅ（コイル）への給電により発生する推力と、スプリング１５ｓｐの付勢力と、出力ポート１５ｏからフィードバックポート１５ｆに供給された油圧（駆動圧）によりスプール１５ｓに作用する電磁部１５ｅ側への推力とをバランスさせることで、入力ポート１５ｉに供給されたポンプ１３（および第１リリーフ弁ＲＶ１）側からの作動油を所望の圧力に調整して出力ポート１５ｏから流出させることが可能となる。

また、流体アクチュエータＭ１－Ｍ６側に供給される油圧（信号圧または駆動圧）をリニアソレノイドバルブ１５１－１５６にフィードバックすることで、人工筋肉としての流体アクチュエータＭ１－Ｍ６により駆動されるロボットアーム２に当該流体アクチュエータＭ１－Ｍ６以外からの外力が加えられたときに、当該外力による流体アクチュエータＭ１－Ｍ６のチューブＴの体積変化に応じた油圧の変動を吸収することができる。加えて、当該外力が無くなった後には、速やかに要求に応じた油圧（駆動圧）を流体アクチュエータＭ１－Ｍ６に供給することが可能となる。

コントロールバルブ１６は、リニアソレノイドバルブ１５１からの信号圧に応じて配管ＬＬからの作動油の圧力を調整し、要求出力（収縮力と収縮速度との積）の最大値が全流体アクチュエータＭ１－Ｍ６の中で最大となる流体アクチュエータＭ１のチューブＴに供給するものである。コントロールバルブ１６は、第２バルブボディＢ２内に配置されるスプール１６ｓおよび当該スプール１６ｓを付勢するスプリング１６ｓｐを含むスプールバルブである。また、コントロールバルブ１６は、図４に示すように、入力ポート１６ｉと、出力ポート１６ｏと、フィードバックポート１６ｆと、信号圧入力ポート１６ｃと、ドレンポート１６ｄとを含む。

入力ポート１６ｉは、アキュムレータ１４の下流側で配管ＬＬに接続された第２バルブボディＢ２の油路に連通する。出力ポート１６ｏは、第２バルブボディＢ２に形成された油路やホースＨ等を介して流体アクチュエータＭ１（チューブＴ）の作動油の出入口ＩＯに連通する。フィードバックポート１６ｆは、第２バルブボディＢ２に形成された油路を介して出力ポート１６ｏに連通する。信号圧入力ポート１６ｃは、第２バルブボディＢ２に形成された油路を介してリニアソレノイドバルブ１５１の出力ポート１５ｏに連通する。ドレンポート１６ｄは、第２バルブボディＢ２に形成された油路や配管ＬＤを介してタンク１１内の作動油貯留部に連通する。

かかるコントロールバルブ１６のスプール１６ｓは、電磁部１５ｅに印加される電流に応じたリニアソレノイドバルブ１５１からの信号圧が作用することで、スプリング１６ｓｐの付勢力に抗して軸方向に移動する。これにより、信号圧の作用によりスプール１６ｓに付与される推力と、スプリング１６ｓｐの付勢力と、出力ポート１６ｏからフィードバックポート１６ｆに供給された油圧（駆動圧）によりスプール１６ｓに作用する推力とをバランスさせることで、入力ポート１６ｉに供給されたポンプ１３（および第１リリーフ弁ＲＶ１）側からの作動油の一部を適宜ドレンポート１６ｄを介してドレンして出力ポート１６ｏから流体アクチュエータＭ１のチューブＴへと供給される作動油を所望の圧力に調整することができる。

また、第２バルブボディＢ２の各リニアソレノイドバルブ１５１－１５７には、電力を供給するためのケーブルＫ２が接続され、当該ケーブルＫ２は、上記ケーブルＫｐと同様に、タンク１１に形成されたケーブル孔１１ｈから外部に引き出される。本実施形態において、ケーブル孔１１ｈには、タンク１１の壁部とケーブルＫｐ，Ｋ２との隙間を封止するシール部材が設けられる。ただし、流体供給装置１０が設置箇所に固定される場合には、当該シール部材が省略されてもよい。

更に、流体供給装置１０のタンク１１には、当該タンク１１内の作動油貯留部における作動油の温度を検出する温度センサ（サーミスタ）ＴＳが設置されている。本実施形態において、温度センサＴＳは、鉛直下方に開口したポンプ１３の吸入口１３ｉに近接するように作動油貯留部を画成するタンク１１の側壁部１１ｓｗに取り付けられており、吸入口１３ｉに流入する作動油の温度を検出する。また、本実施形態では、図３に示すように、ポンプ１３（ポンプ部１３０）の外周面と、温度センサＴｓが取り付けられる側壁部１１ｓｗとの間には、作動油が流通可能な空間（流体通路）が形成されている。

ロボット装置１の制御装置１００は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、入出力インターフェース等を含むマイクロコンピュータや各種ロジックＩＣ等（何れも図示省略）を含む。制御装置１００は、上記元圧センサＰＳや温度センサＴＳ、リニアソレノイドバルブ１５１－１５７等の電源の電圧を検出する図示しない電圧センサ等の検出値を入力する。また、制御装置１００は、元圧センサＰＳにより検出される配管ＬＬにおける油圧（元圧）が目標値になるように、ポンプ１３を制御する。更に、制御装置１００は、リニアソレノイドバルブ１５１－１５７の電磁部１５ｅに供給される電流を制御する。

続いて、上述のように構成されるロボット装置１の動作について説明する。

図示しない起動スイッチがオフされてロボット装置１の動作が完全に停止している際、ハンド部４は、図示しない支持台に形成された係止部により保持される。これにより、ロボットアーム２の姿勢は、予め定められた待機姿勢に強制的に保持される。また、ロボット装置１の起動スイッチがオンされてシステム起動が完了すると、制御装置１００は、元圧センサＰＳの検出値に基づいて、リニアソレノイドバルブ１５１－１５７に供給される配管ＬＬにおける油圧（元圧）が上記待機圧Ｐｓｔ（例えば１０００ｋＰａ程度）になるようにポンプ１３を制御する。

本実施形態において、待機圧Ｐｓｔは、複数の流体アクチュエータＭ１－Ｍ６の各々を自然状態から上記初期状態まで軸方向に収縮させることができる圧力（例えば７００－９００ｋＰａ程度）よりも所定値だけ高い圧力に定められている。また、配管ＬＬにおける油圧（元圧）が待機圧Ｐｓｔに設定される際、ポンプ１３は、予め定められている下限回転数以上の回転数で作動するように制御され、当該ポンプ１３の吐出圧は、待機圧Ｐｓｔよりも高くなる。このため、第１リリーフ弁ＲＶ１は、上記第１連通状態を形成し、ポンプ１３から吐出される作動油の一部は、当該第１連通状態を形成する第１リリーフ弁ＲＶ１、オリフィスＯｒおよび油路Ｌ０を介してタンク１１の流体貯留部へと流出させられる。これにより、第１リリーフ弁ＲＶ１の入力ポートｉ１並びに配管ＬＬにおける油圧（元圧）がオリフィスＯｒによって待機圧Ｐｓｔになるように調整されることになる。

次いで、制御装置１００は、予め定められた順番で流体アクチュエータＭ１－Ｍ６のチューブＴに作動油を充填して各チューブＴを上記初期状態とするようにリニアソレノイドバルブ１５１－１５６の電磁部１５ｅへの電流を制御する。これにより、流体アクチュエータＭ１－Ｍ６のチューブＴには、コントロールバルブ１６およびリニアソレノイドバルブ１５２－１５６の対応する何れかから作動油が供給され、各チューブＴは、自然状態から所定量（例えば、自然長の１０％程度）だけ軸方向に収縮する。また、制御装置１００は、揺動モータＲＭの油室に作動油が充填されるようにリニアソレノイドバルブ１５７の電磁部１５ｅへの電流を制御する。これ以後、ハンド部４が上記支持台等に載置されてロボット装置１の動作が停止されるまで、リニアソレノイドバルブ１５１－１５７の各電磁部１５ｅには継続して電流が供給され、リニアソレノイドバルブ１５１－１５７は、ポンプ１３側からの作動油の圧力を電磁部１５ｅに供給される電流に応じて調整する。

上述のようなロボット装置１の作業開始準備の完了後、ロボットアーム２およびハンド部４を用いた作業の開始が指示されると、制御装置１００は、元圧センサＰＳの検出値に基づいて、配管ＬＬにおける油圧（元圧）が予め定められた比較的高い常用圧Ｐｗ（本実施形態では、例えば５－６ＭＰａ程度）になるようにポンプ１３を制御する。本実施形態において、常用圧Ｐｗは、上記待機圧Ｐｓｔおよび切替圧よりも高く、上限圧Ｐｌｉｍよりも低く、かつアキュムレータ１４の最低作動圧以上に定められている。更に、制御装置１００は、外部（支持台）からの強制力無しにロボットアーム２を上記待機姿勢に保持するのに要求される油圧が予め定められた順番で流体アクチュエータＭ１－Ｍ６のチューブＴに供給されるようにリニアソレノイドバルブ１５１－１５６の電磁部１５ｅへの電流を制御する。

そして、制御装置１００は、コントロールバルブ１６およびリニアソレノイドバルブ１５２－１５７から各流体アクチュエータＭ１－Ｍ６並びに揺動モータＲＭに対してロボットアーム２への要求に応じた油圧が供給されるように各電磁部１５ｅへの電流指令値を設定し、当該電流指令値に基づいて各電磁部１５ｅに供給される電流を制御する。これにより、流体アクチュエータＭ１－Ｍ６のチューブＴや揺動モータＲＭに対し、コントロールバルブ１６およびリニアソレノイドバルブ１５２－１５７により要求に応じて調整された油圧（駆動圧）を供給することが可能となる。この結果、複数の流体アクチュエータＭ１－Ｍ６により各アーム３を回動させたり、揺動モータＲＭによりロボットアーム２を回動させたりしてロボット装置１のハンド部４を所望の位置に移動させることができる。

また、ポンプ１３は、流体アクチュエータＭ１－Ｍ６のチューブＴの収縮状態等に起因した油路ＬＬにおける油圧（元圧）の変動に応じて制御されるが、ポンプ１３の回転数がオーバーシュートして吐出量が過剰になった場合、入力ポートｉ１に供給される作動油の圧力が上限圧Ｐｌｉｍに達することで第１リリーフ弁ＲＶ１は上記第２連通状態を形成する。これにより、ポンプ１３から吐出される作動油の一部は、第１リリーフ弁ＲＶ１（入力ポートｉ１および第２排出ポートｄｂ１）、第２リリーフ弁ＲＶ２および油路Ｌ０を介してタンク１１の流体貯留部へと流出させられ、第１リリーフ弁ＲＶ１によって油路ＬＬにおける油圧（元圧）が上限圧Ｐｌｉｍを超えないように調整されることになる。

ここで、ロボット装置１の作動中、電動モータ１３１および減速ギヤ機構１３２の作動に伴って発生する熱やポンプ部１３０の昇圧動作に伴って発生する熱やエネルギが作動油に伝えられ、当該作動油の温度が上昇する。また、ポンプ１３やアキュムレータ１４等に設けられる図示しないシール部材、ホースＨといった作動油に接触する流体供給装置１０の構成部材については、予め耐熱温度が定められており、作動油の温度が当該耐熱温度を超えてしまうと、当該シール部材やホースＨ等の耐久性が低下するおそれがある。

このため、ロボット装置１の制御装置１００は、温度センサＴＳにより検出される作動油の温度が予め定められた冷却開始温度以上になると、タンク１１内の作動油を冷却するように流体供給装置１０に設けられた図示しないラジエータファンを作動させる。また、制御装置１００は、温度センサＴＳにより検出される作動油の温度が冷却開始温度よりも高い予め定められた上限温度を超えた場合、ロボット装置１（流体供給装置１０）の作動を停止させる。

このような流体供給装置１０における作動油の温度に応じた処理を適正に実行するためには、温度センサＴＳにより作動油の温度を精度よく検出することが必要となる。これを踏まえて、ロボット装置１では、流体供給装置１０に対して、ポンプ１３の吸入口１３ｉの近傍で当該ポンプ１３により吸入される（吸入口１３ｉに流入する）作動油の温度を検出するように温度センサＴＳが設けられる。これにより、ポンプ１３の作動中に作動油の流れが常時形成される箇所で流体供給装置１０の全体を反映した作動油の温度を精度よく検出することが可能となる。この結果、作動油の温度に応じて流体供給装置１０ひいてはロボット装置１の全体を適正に制御することができる。

また、上記実施形態において、温度センサＴＳは、鉛直下方に開口したポンプ１３の吸入口１３ｉに近接するように作動貯留部を画成するタンク１１の側壁部１１ｓｗに取り付けられる。これにより、流体供給装置１０の全体を反映した作動油の温度を精度よく検出可能としつつ、温度センサＴＳの取付性やメインテナンス性をより向上させることができる。

なお、流体供給装置１０において、温度センサＴＳは、図３において二点鎖線で示すように、ポンプ１３の吸入口１３ｉ内に配置されてもよく、ポンプ１３の吸入口１３ｉに流入する作動油から異物を除去するフィルタ１３５に取り付けられてもよい。これらの態様によっても、流体供給装置１０の全体を反映した作動油の温度を精度よく検出することが可能となる。

また、流体供給装置１０において、温度センサＴＳは、図４において二点鎖線で示すように、ポンプ１３の吐出口１３ｏと圧力調整弁としての第１リリーフ弁ＲＶ１との間で当該ポンプ１３から吐出される作動油体の温度を検出するように、吐出口１３ｏとストレーナＺとの間あるいはストレーナＺと第１リリーフ弁ＲＶ１の入力ポートｉ１との間に配置されてもよい。これらの態様によっても、ポンプ１３の作動中に作動油の流れが常時形成される箇所で流体供給装置１０の全体を反映した作動油の温度を精度よく検出することが可能となる。

更に、流体供給装置１０において、リニアソレノイドバルブ１５１－１５７の少なくとも何れか１つは、常開弁であってもよい。この場合、当該常開弁は、電磁部からの推力および当該電磁部からの推力と同方向に作用するようにフィードバックポートに供給された液圧による推力を、スプリングの付勢力とバランスさせるものであってもよい。また、リニアソレノイドバルブ１５１－１５７の少なくとも何れか１つは、専用のフィードバックポートをもたず、スプールを収容するスリーブの内側で出力圧（駆動圧）をフィードバック圧としてスプールに作用させるように構成されたものであってもよい（例えば、特開２０２０－４１６８７号公報参照）。同様に、コントロールバルブ１６も、出力圧（駆動圧）をスプールの内部でフィードバック圧として当該スプールに作用させるように構成されたものであってもよい。更に、流体供給装置１０において、コントロールバルブ１６が省略されてもよく、流体アクチュエータＭ１にリニアソレノイドバルブ１５１から油圧（駆動圧）が供給されてもよい。

また、流体供給装置１０は、流体調整バルブ（流体調整部）として、例えば圧力センサにより検出される液圧（流体圧）が要求に応じた圧力になるように流体アクチュエータＭ１－Ｍ６への液体（流体）の流量を制御する流量制御弁を含むものであってもよい。そして、流体供給装置１０は、水等の作動油以外の液体を流体アクチュエータＭ１－Ｍ６に供給するものであってもよい。

更に、ロボット装置１は、関節を１つだけ含むものであってもよく、人工筋肉としての流体アクチュエータを１つまたは２つだけ含むものであってもよい。また、ロボット装置１は、少なくとも１つの流体アクチュエータＭ１等とハンド部４とを有するロボットアーム２を含むものに限られず、少なくとも１つの流体アクチュエータと、例えばドリルビット等の工具や例えばスイッチ等を押圧する押圧部材といったハンド部４以外の要素が手先に取り付けられたロボットアームとを含むものであってもよい。更に、ロボット装置１は、歩行ロボットや、ウェアラブルロボット等であってもよい。

また、ロボット装置１のロボットアーム２は、アーム３を駆動する流体アクチュエータとして揺動モータ（例えば、ハンド部４の根元（手首部）を回転させる揺動モータ）を含むものであってもよい。すなわち、ロボット装置１のロボット本体は、人工筋肉としての流体アクチュエータと揺動モータとの少なくとも何れか１つを含むものであってもよい。更に、ロボット装置１のロボットアーム２は、流体アクチュエータとして油圧シリンダ等の液圧シリンダを含むものであってもよい。また、関節Ｊ１－Ｊ３を介して連結された２つのアーム３等のすべてに必ずしも対をなす複数の流体アクチュエータ（人工筋肉）Ｍが設けられる必要はなく、何れか１組の２つのアーム３等に、１つまたは複数の流体アクチュエータと、当該流体アクチュエータと拮抗するように配置されるスプリングやゴム材等の弾性体とが連結されてもよい。加えて、ロボット装置１において、タンク１１がロボットアーム２といったロボット本体により支持されてもよい。

更に、上記実施形態において、人工筋肉としての流体アクチュエータＭ１－Ｍ６は、内部に作動油が供給されると共に当該内部の油圧の上昇に応じて径方向に膨張しながら軸方向に収縮するチューブＴと、当該チューブＴを覆う編組スリーブＳとを含むマッキベン型の人工筋肉であるが、ロボット装置１における流体アクチュエータＭ１－Ｍ６の構成は、これに限られるものではない。すなわち、流体アクチュエータＭ１－Ｍ６は、流体が供給された際に径方向に膨張しながら軸方向に収縮するチューブを含むものであればよく、例えば弾性体により形成された内側筒状部材と、弾性体により形成されると共に内側筒状部材の外側に同軸に配置され外側筒状部材と、内側筒状部材と外側筒状部材との間に配置された繊維層とを含む軸方向繊維強化型の流体アクチュエータ（例えば、特開２０１１－１３７５１６号参照）であってもよい。

また、本開示の発明は上記実施形態に何ら限定されるものではなく、本開示の外延の範囲内において様々な変更をなし得ることはいうまでもない。更に、上記実施形態は、あくまで発明の概要の欄に記載された発明の具体的な一形態に過ぎず、発明の概要の欄に記載された発明の要素を限定するものではない。

本開示の発明は、流体の供給を受けて作動する人工筋肉と、当該人工筋肉に液体を供給する液体供給装置とを含むロボット装置の製造産業等において利用可能である。

１ ロボット装置、２ ロボットアーム、３ アーム、５ 支持部材、１０ 流体供給装置、１１ タンク、１３ ポンプ、１３ｉ 吸入口、１３ｏ 吐出口、１３５ フィルタ、１５１，１５２，１５３，１５４，１５５，１５６，１５７ リニアソレノイドバルブ、１６ コントロールバルブ、Ｂ１ 第１バルブボディ、Ｂ２ 第２バルブボディ、Ｊ１，Ｊ２，Ｊ３ 関節、Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４，Ｍ５，Ｍ６ 流体アクチュエータ（人工筋肉）、ＲＶ１ 第１リリーフ弁。

Claims (5)

1. 液体の供給を受けて作動する少なくとも１つの人工筋肉と、前記人工筋肉に前記液体を供給する液体供給装置とを含むロボット装置であって、
   前記液体供給装置は、
   前記液体を貯留する液体貯留部と、
   前記液体貯留部内の前記液体を吸引して吐出するポンプと、
   前記ポンプの吸入口に流入する前記液体の温度を検出する温度センサと、
   を備えるロボット装置。
2. 請求項１に記載のロボット装置において、
   前記ポンプの前記吸入口は、鉛直下方に開口しており、
   前記温度センサは、前記ポンプの前記吸入口に近接するように前記液体貯留部を画成する側壁部に取り付けられているロボット装置。
3. 請求項１に記載のロボット装置において、
   前記温度センサは、前記ポンプの前記吸入口内に配置されているロボット装置。
4. 請求項１に記載のロボット装置において、
   前記温度センサは、前記ポンプの前記吸入口に流入する前記液体から異物を除去するフィルタに取り付けられているロボット装置。
5. 液体の供給を受けて作動する少なくとも１つの人工筋肉を含むロボット本体と、前記人工筋肉に前記液体を供給する液体供給装置とを含むロボット装置であって、
   前記液体供給装置は、
   前記液体を貯留する液体貯留部と、
   前記液体貯留部内の前記液体を吸引して吐出するポンプと、
   前記ポンプから吐出される前記液体の圧力を調整する圧力調整弁と、
   前記ポンプの吐出口と前記圧力調整弁との間で前記ポンプから吐出される前記液体の温度を検出する温度センサと、
   を備えるロボット装置。

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