JP2022150192A - キャリブレーションシステムおよびキャリブレーション方法ならびに部品装着装置 - Google Patents

キャリブレーションシステムおよびキャリブレーション方法ならびに部品装着装置 Download PDF

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Hiroki Kobayashi
浩二 桜井
Koji Sakurai
徹 池田
Toru Ikeda
知博 木村
Tomohiro Kimura
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Abstract

【課題】複数のノズルを有する装着ヘッドのオフセット値を適切に算出することができるキャリブレーションシステムおよびキャリブレーション方法ならびに部品装着装置を提供する。【解決手段】オフセット値を算出する方法は、複数の部品装着部の高さに関するデータを取得するデータ取得工程(ST2)と、データに基づき、複数の部品装着部のオフセット値を算出するオフセット値算出工程(ST3)と、を含む。データ取得工程(ST2)において少なくとも二つの部品装着部でデータが取得され、オフセット値算出工程(ST3)において取得された部品装着部のデータに基づき複数の部品装着部のオフセット値がそれぞれ算出される。【選択図】図8

Description

本発明は、部品装着装置をキャリブレーションするキャリブレーションシステムおよびキャリブレーション方法ならびに部品装着装置に関する。
部品装着装置は、ノズルが保持した部品を基板に装着して実装基板を生産する。部品装着装置は、基板に装着する部品の位置ズレを削減して実装精度を高めるため、装置の各部の歪みを打ち消すオフセット値を予め測定するキャリブレーションを実行し、このオフセット値に基づいて各部を制御して部品を基板に装着する。特許文献1のシステム(対基板作業機)は、複数のノズルを有するヘッドを装着すると、ノズルの下降ストロークに基づいて装着されたヘッドの高さを測定し、ヘッドが記憶する設計上の高さとの差分である装着誤差を求めるキャリブレーションを実行し、この装着誤差に基づいて部品装着作業が制御される。
特開2014-123781号公報
ところで、装着ヘッドはノズルを下降させる機構を有する部品装着部をノズル毎に備えており、高精度に部品を装着するために、部品装着部毎に機構の歪みを打ち消すオフセット値が記憶されている。しかしながら、部品装着装置の移設時、装着ヘッドを交換した時や、部品装着作業中の発熱による装置の歪みを所定の間隔で補正する時毎に、全ての部品装着部についてキャリブレーションを実行すると、キャリブレーション中は部品装着作業が中断されるために生産性が低下するという問題点があった。
そこで本発明は、複数のノズルを有する装着ヘッドのオフセット値を適切に算出することができるキャリブレーションシステムおよびキャリブレーション方法ならびに部品装着装置を提供することを目的とする。
本発明のキャリブレーションシステムは、部品を保持する部品保持具をそれぞれ有し、基板に部品を装着する複数の部品装着部と、複数の前記部品装着部のそれぞれのオフセット値を少なくとも記憶する記憶部と、複数の前記部品装着部の高さに関するデータを取得するデータ取得手段と、前記データに基づき、複数の前記部品装着部のオフセット値を算出するオフセット値算出部と、を備え、前記データ取得手段は複数の前記部品装着部の少なくとも二つの部品装着部でデータを取得し、前記オフセット値算出部は取得された前記少なくとも二つの部品装着部の前記データに基づき複数の前記部品装着部のオフセット値をそれぞれ算出する。
本発明のキャリブレーション方法は、部品を保持する部品保持具をそれぞれ有し、基板に部品を装着する複数の部品装着部のオフセット値をそれぞれ算出するキャリブレーション方法であって、複数の前記部品装着部の高さに関するデータを取得するデータ取得工程と、前記データに基づき、複数の前記部品装着部のオフセット値を算出するオフセット値算出工程と、を含み、前記データ取得工程において複数の前記部品装着部の少なくとも二つの部品装着部で前記データが取得され、前記オフセット値算出工程において取得された前記少なくとも二つの部品装着部の前記データに基づき複数の前記部品装着部のオフセット値がそれぞれ算出される。
本発明の部品装着装置は、部品を保持する部品保持具をそれぞれ有し、基板に部品を装着する複数の部品装着部と、複数の前記部品装着部のそれぞれのオフセット値を少なくとも記憶する記憶部と、複数の前記部品装着部をそれぞれ制御して、複数の前記部品装着部の高さに関するデータを取得するデータ取得部と、前記データに基づき、複数の前記部品装着部のオフセット値を算出するオフセット値算出部と、を備え、前記データ取得部は複数の前記部品装着部の少なくとも二つの部品装着部でデータを取得し、前記オフセット値算出部は前記少なくとも二つの部品装着部の前記データに基づき複数の前記部品装着部のオフセット値をそれぞれ算出する。
本発明によれば、複数のノズルを有する装着ヘッドのオフセット値を適切に算出することができる。
本発明の一実施の形態の部品装着装置の平面図 本発明の一実施の形態の部品装着装置の構成説明図 本発明の一実施の形態の部品装着装置が備える装着ヘッドの(a)平面図(b)正面図 本発明の一実施の形態の部品装着装置の制御系の構成を示すブロック図 本発明の一実施の形態の部品装着装置が備える部品装着部の高さの計測の説明図 本発明の一実施の形態の部品装着装置が備える部品装着部のキャリブレーションの説明図 本発明の一実施の形態の部品装着装置が備える部品装着部のオフセット値の算出の説明図 本発明の一実施の形態のキャリブレーション方法のフロー図
以下に図面を用いて、本発明の一実施の形態を詳細に説明する。以下で述べる構成、形状等は説明のための例示であって、部品装着装置、装着ヘッドの仕様に応じ、適宜変更が可能である。以下では、全ての図面において対応する要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。図1、及び後述する一部では、水平面内で互いに直交する2軸として、基板搬送方向のX軸(図1における左右方向)、基板搬送方向に直交するY軸(図1における上下方向)が示される。図2、及び後述する一部では、水平面と直交する高さ方向としてZ軸(図2における上下方向)が示される。
まず図1、図2を参照して、部品装着装置1の構成を説明する。なお図2は、図1における部品装着装置1の一部を模式的に示している。部品装着装置1は、部品供給部から供給された部品を基板に装着する部品装着作業を実行する機能を有する。基台2の中央には、基板搬送機構3がX軸に沿って配置されている。基板搬送機構3は、上流から搬送された基板Pを、装着作業位置に搬入して位置決めして保持する。また、基板搬送機構3は、部品装着作業が完了した基板Pを下流に搬出する。
基板搬送機構3の両側(Y軸の前後方向)には、部品供給部4が配置されている。それぞれの部品供給部4には、複数のテープフィーダ5がX軸に沿って装着されている。テープフィーダ5は、部品Dを格納するポケットが形成された部品テープを部品供給部4の外側から基板搬送機構3に向かう方向(テープ送り方向)にピッチ送りすることにより、以下に説明する装着ヘッドによって部品Dが取り出される部品供給位置に部品Dを供給する。
図1、図2において、基台2上面においてX軸における両端部には、リニア駆動機構を備えたY軸テーブル6がY軸に沿って配置されている。Y軸テーブル6には、同様にリニア駆動機構を備えたビーム7が、Y軸に沿って移動自在に結合されている。ビーム7はX軸に沿って配置されている。ビーム7には、プレート7aを介して装着ヘッド8がX軸に沿って移動自在に装着されている。装着ヘッド8は、プレート7aに着脱可能である。装着ヘッド8は、複数の部品装着部9を備えている。部品装着部9のそれぞれの下端部には、部品Dを吸着保持するノズル10が装着されている。各部品装着部9は、ノズル10をZ軸に沿って昇降させる昇降モータ9aを備えている。
図1において、Y軸テーブル6およびビーム7は、装着ヘッド8をX軸およびY軸に沿って移動させるヘッド移動機構11を構成する。ヘッド移動機構11および装着ヘッド8は、部品供給部4に配置されたテープフィーダ5から部品装着部9に装着されたノズル10によって部品Dを吸着して取り出して、基板搬送機構3に位置決めされた基板Pの装着位置に装着する装着ターンを実行する。このように、複数の部品装着部9は、部品Dを保持する部品保持具(ノズル10)をそれぞれ有し、基板Pに部品Dを装着する。
図1、図2において、部品供給部4と基板搬送機構3との間には、部品認識カメラ12が配置されている。部品供給部4から部品Dを取り出した装着ヘッド8が部品認識カメラ12の上方を移動する際に、部品認識カメラ12は装着ヘッド8に保持された状態の部品Dを撮像して部品Dの保持姿勢を認識する。装着ヘッド8が取り付けられたプレート7aにはヘッドカメラ13が取り付けられている。ヘッドカメラ13は、装着ヘッド8と一体的に移動する。
装着ヘッド8が移動することにより、ヘッドカメラ13は基板搬送機構3に位置決めされた基板Pの上方に移動し、基板Pに設けられた基板マーク(図示省略)を撮像して基板Pの位置を認識する。装着ヘッド8による基板Pへの部品装着動作においては、部品認識カメラ12による部品Dの認識結果と、ヘッドカメラ13による基板位置の認識結果とを加味して装着位置の補正が行われる。
図2において、部品供給部4には上部に予め複数のテープフィーダ5が装着された台車14がセットされる。台車14には、部品Dを保持した部品テープ15を巻回状態で収納するリール16が保持されている。リール16から引き出された部品テープ15は、テープフィーダ5によって部品供給位置までピッチ送りされる。
図1、図2において、基台2の上面には、基板搬送機構3の装着作業位置の周囲に複数(ここでは4本)の基準ポスト17が設置されている。基準ポスト17には金属などの硬質な材料が用いられ、上面が平坦に形成されている。図2において、基準ポスト17の上面の高さ位置は、基板搬送機構3の装着作業位置に位置決めされた基板Pの上面の高さと同じ装着基準高さH0に位置している。ヘッドカメラ13が複数の基準ポスト17の上面を撮像し、水平面内における各基準ポスト17の位置を認識することで、ビーム7や装着ヘッド8の反復移動で発生する熱によるY軸テーブル6、ビーム7の熱変形が計測される。また、基準ポスト17は、後述するプレート7aに装着された装着ヘッド8の部品装着部9の高さの計測(キャリブレーション)にも使用される。
次に図3(a)、図3(b)を参照して、装着ヘッド8の構成を説明する。プレート7aに着脱可能な装着ヘッド8は、複数の部品装着部9(1)~9(16)を備えている。この例では、装着ヘッド8は、X軸に沿った8つの部品装着部9をY軸に沿って2列備えている。すなわち、装着ヘッド8は、1列目に8つの部品装着部9(1)~8(8)を備えており、2列目に8つの部品装着部9(9)~8(16)を備えている。各部品装着部9(1)~9(16)は昇降モータ9aを備えている。昇降モータ9aを駆動することにより、各部品装着部9(1)~9(16)は下端部に装着されたノズル10を昇降させる(矢印a)。ノズル10が下降した距離(高さ位置)は、昇降モータ9aのエンコーダによって検知される。
次に図4を参照して、部品装着装置1の制御系の構成を装着ヘッド8が有する複数の部品装着部9のオフセット値を算出する機能を中心に説明する。部品装着装置1は、制御装置20、基板搬送機構3、テープフィーダ5、装着ヘッド8、ヘッド移動機構11、部品認識カメラ12、ヘッドカメラ13を備えている。装着ヘッド8は、ヘッド記憶部8a、複数の部品装着部9を備えている。
ヘッド記憶部8aは不揮発性の記憶装置であり、装着ヘッド8が備える複数の部品装着部9の昇降モータ9aの特性のばらつき、製造時のズレなどに起因する歪みを打ち消すオフセット値が記憶されている。ヘッド記憶部8aに記憶されるオフセット値は、装着ヘッド8の出荷検査時や、部品装着装置1に装着した後のキャリブレーション時などに算出されて更新される。
図4において、制御装置20は、制御記憶部21、装着制御部22、データ取得部23、オフセット値算出部24、更新部25を備えている。制御記憶部21は記憶装置であり、装着データ26、取得データ27、オフセット値データ28などが記憶されている。装着データ26には、基板Pに実装される部品Dの部品の種類、基板Pにおける装着位置の座標などの各種情報が、実装基板の基板種ごとに記憶されている。
装着制御部22は、装着ヘッド8が部品装着装置1に装着された時や、部品装着装置1が起動された時などに、装着ヘッド8のヘッド記憶部8aに記憶されているオフセット値(第1のオフセット値)を読み出してオフセット値データ28として制御記憶部21に記憶させる。このように、ヘッド記憶部8aおよび制御記憶部21は、複数の部品装着部9の歪みをそれぞれ打ち消すオフセット値を少なくとも記憶する記憶部である。
図4において、装着制御部22は、装着データ26、オフセット値データ28(第1のオフセット値)に基づいて、装着ヘッド8の部品装着部9に装着されたノズル10(部品保持具)を昇降させてテープフィーダ5(部品供給部)が供給する部品Dを取り出し、基板Pの装着位置に装着する部品装着作業を実行させる。例えば、装着制御部22は、部品装着部9(1)に装着されたノズル10でテープフィーダ5から部品Dを取り出す際および基板Pに部品Dを装着する際は、オフセット値データ28に含まれる部品装着部9(1)のオフセット値に基づいて部品装着部9(1)の昇降モータ9aを制御して、ノズル10の下降量を補正する。
データ取得部23は、ヘッド移動機構11、装着ヘッド8が備える複数の部品装着部9の昇降モータ9aをそれぞれ制御して、複数の部品装着部9の高さに関するデータ(装着部高さ)を取得する高さ計測処理を実行させる。取得したデータは、取得データ27として制御記憶部21に記憶される。
ここで図5を参照して、データ取得部23による高さ計測処理について説明する。高さ計測処理では、まずデータ取得部23は、ヘッド移動機構11を制御して、計測対象の部品装着部9を基準ポスト17の上方に移動させる(矢印b)。次いでデータ取得部23は、計測対象の部品装着部9の昇降モータ9aを制御して、計測対象の部品装着部9に装着されたノズル10の下端が基準ポスト17の上面に当接するまでノズル10を下降させる(矢印c)。次いでデータ取得部23は、昇降モータ9aのエンコーダによって検知されるノズル10が下降して停止するまでの距離を装着部高さ(データ)として取得する。
部品装着装置1は、プレート7aに装着した装着ヘッド8の複数の部品装着部9のノズル10の下端が待機する高さが、基準ポスト17の上面に設定されている装着基準高さH0から基準高さZ0だけZ軸に沿って上方に設定されている待機基準高さH1となるように設定されている。
このように、データ取得部23、ヘッド移動機構11、部品装着部9の昇降モータ9a、基準ポスト17は、複数の部品装着部9の高さに関するデータ(装着部高さ)を取得するデータ取得手段29である。データ取得手段29(データ取得部23)は、部品装着部9が有するノズル10(部品保持具)を下降させてデータ(装着部高さ)を取得する。なお、ノズル10の下端を当接させる高さ計測用の領域は、基準ポスト17の上面に限定されることはない。すなわち、高さ計測用の領域は、ノズル10の下端が当接可能な位置にあり、硬質で高さの変動が少ない領域(例えば、基板搬送機構3のレールの上面)であればよい。
また、データ取得手段29は、下降させたノズル10を基準ポスト17に当接させて昇降モータ9aのエンコーダでデータを取得する構成に限定されることはない。例えば、データ取得手段29は、側方から撮像するカメラにより下降させたノズル10の先端付近を撮像して、下降させたノズル10の高さのデータを取得する構成であってもよい。
図4において、オフセット値算出部24は、データ取得手段29によって取得されたデータ(装着部高さ)に基づき、複数の部品装着部9のオフセット値(第2のオフセット値)を算出する。オフセット値算出部24は、算出したオフセット値をオフセット値データ28として制御記憶部21に記憶させる。
データ取得手段29(データ取得部23)は、複数の部品装着部9(1)~9(16)の少なくとも二つの部品装着部9(1)~9(16)でデータ(装着部高さ)を取得する。そして、オフセット値算出部24は、取得された少なくとも二つの部品装着部9(1)~9(16)のデータに基づき複数の部品装着部9(1)~9(16)のオフセット値をそれぞれ算出する。例えば、部品装着装置1で生産する実装基板の基板種を変更する作業で装着されている装着ヘッド8を交換した際は、一部の部品装着部9(1)~9(16)でデータが取得され、全ての部品装着部9(1)~9(16)のオフセット値が算出される。
ここで図6、図7を参照して、オフセット値算出部24によるオフセット値の算出の例について説明する。図6において、この例では、データ取得手段29は、複数の部品装着部9(1)~9(16)のうちの2つの部品装着部9(1)と部品装着部9(8)で装着部高さZ1、Z2を計測している。すなわち、装着ヘッド8の1列目の8つの部品装着部9(1)~9(8)のうち、両端の2つの部品装着部9(1),9(8)で、装着部高さZ1,Z2を計測している。なお、装着部高さZ1、Z2を計測する部品装着部は部品装着部9(1)と部品装着部9(8)に限定されることはなく、いずれの部品装着部9(1)~9(16)であってもよい。例えば、データ取得手段29は、2列目の両端の2つの部品装着部9(9),9(16)で装着部高さZ1,Z2を計測してもよい。
図7には、オフセット値の算出前後のオフセット値データ28の例を示している。番号は、部品装着部9(1)~9(16)の位置を示している。算出前のオフセット値は、記憶部(ヘッド記憶部8a、制御記憶部21)に記憶されていたオフセット値(第1のオフセット値)である。算出後のオフセット値は、オフセット値算出部24が装着部高さZ1,Z2に基づいて算出したオフセット値(第2のオフセット値)である。オフセット値は、部品装着部9(1)~9(16)に装着されたノズル10の下端が待機する高さの待機基準高さH1からのズレ量として設定されている。すなわち、オフセット値は、待機しているノズル10を下降させる際の基準高さZ0からの補正値である。
まず、オフセット値算出部24は、部品装着部9(1)の装着部高さZ1の基準高さZ0からの差分A(A=Z1-Z0)と、部品装着部9(8)の装着部高さZ2の基準高さZ0からの差分B(B=Z2-Z0)を算出する。次いでオフセット値算出部24は、部品装着部9(1)~8(8)のオフセット値を差分Aと差分Bを補完して算出する。すなわち、隣接する部品装着部の間で補完値「(B-A)/7」だけオフセット値が変化するようにオフセット値を算出する。
具体的には、オフセット値算出部24は、1列目の部品装着部9(1)は算出前のオフセット値「a」に差分Aを加算した値を算出後のオフセット値「a+A」として算出する。また、オフセット値算出部24は、部品装着部9(2)は算出前のオフセット値「b」に差分Aと補完値「(B-A)/7」を加算した値を算出後のオフセット値「b+A+(B-A)/7」として算出する。また、オフセット値算出部24は、部品装着部9(3)は算出前のオフセット値「c」に差分Aと補完値の2倍を加算した値を算出後のオフセット値「c+A+2×(B-A)/7」として算出する。以下、同様に1列目の部品装着部9(4)~8(8)の算出後のオフセット値(第2のオフセット値)が算出される。
また、オフセット値算出部24は、2列目の部品装着部9(9)は算出前のオフセット値「i」に差分Aを加算した値を算出後のオフセット値「i+A」として算出する。また、オフセット値算出部24は、部品装着部9(10)は算出前のオフセット値「j」に差分Aと補完値「(B-A)/7」を加算した値を算出後のオフセット値「j+A+(B-A)/7」として算出する。以下、同様に2列目の部品装着部9(11)~8(16)の算出後のオフセット値(第2のオフセット値)を算出する。
このように、一部の部品装着部9(1),9(8)のみ装着部高さZ1,Z2を取得し、取得した装着部高さZ1,Z2に基づいて全ての部品装着部9(1)~9(16)のオフセット値(第2のオフセット値)を算出している。これによって、オフセット値を取得する時間(キャリブレーションの時間)を短縮することができる。
図4において、更新部25は、記憶部(ヘッド記憶部8a、制御記憶部21)に記憶されているオフセット値(第1のオフセット値)を、オフセット値算出部24が算出したオフセット値(第2のオフセット値)に更新する。その際、オフセット値算出部24が算出したオフセット値(第2のオフセット値)が所定の範囲内(例えば、-0.1から+0.1の間)の場合には、更新部25は記憶部に記憶されているオフセット値(第1のオフセット値)を更新しない。
または、オフセット値算出部24が算出したオフセット値(第2のオフセット値)と、記憶部に記憶されているオフセット値(第1のオフセット値)の差(差分A,B)が所定の範囲内(例えば、-0.05から+0.05の間)の場合には、更新部25は記憶部に記憶されているオフセット値(第1のオフセット値)を更新しない。例えば、一部の部品装着部9(1),9(8)の装着部高さZ1,Z2から算出されたオフセット値(第2のオフセット値)と算出前のオフセット値(第1のオフセット値)との差が測定誤差の範囲内の場合は、既存のオフセット値(第1のオフセット値)を使用した部品装着作業が行われる。
次に図8のフローに沿って、部品装着装置1において基板Pに部品Dを装着する複数の部品装着部9の歪みを打ち消すオフセット値をそれぞれ算出するキャリブレーション方法(オフセット値算出方法)について説明する。まず、装着制御部22は、ヘッド記憶部8aに記憶されているオフセット値(第1のオフセット値)を読み出して、オフセット値データ28として制御記憶部21に記憶させる(ST1:第1のオフセット値読出工程)。
次いでデータ取得手段29は、複数の部品装着部9のうちの一部の部品装着部9でデータ(装着部高さ)を取得する(ST2:一部データ取得工程)。図6、図7の例では、2つの部品装着部9(1),9(8)で装着部高さZ1,Z2が取得される。
図8において、次いでオフセット値算出部24は、取得された一部の部品装着部9のデータ(装着部高さ)に基づき複数の部品装着部9のオフセット値(第2のオフセット値)をそれぞれ算出する(ST3:オフセット値算出工程)。次いで更新部25は、オフセット値算出工程(ST3)において算出されたオフセット値が、所定の更新条件を満たすか否かを判断する(ST4:更新判断工程)。
例えば、更新部25は、算出されたオフセット値(第2のオフセット値)が所定の範囲内ではない場合に、更新条件を満たしていると判断する。または、更新部25は、算出されたオフセット値と記憶部(ヘッド記憶部8a、制御記憶部21)に記憶されているオフセット値(第1のオフセット値)との差が所定の範囲内ではない場合に、更新条件を満たしていると判断する。
図8において、オフセット値算出工程(ST3)において算出されたオフセット値(第2のオフセット値)が更新条件を満たしている場合(ST4においてYes)、更新部25は、記憶部(ヘッド記憶部8a、制御記憶部21)に記憶されているオフセット値(第1のオフセット値)を、オフセット値算出工程(ST3)において算出されたオフセット値(第2のオフセット値)に更新する(更新工程:ST5)。オフセット値算出工程(ST3)において算出されたオフセット値が更新条件を満たしていない場合(ST4においてNo)、更新工程(ST5)を実行することなくキャリブレーションが終了する。すなわち、記憶部(ヘッド記憶部8a、制御記憶部21)に記憶されているオフセット値(第1のオフセット値)が更新されない。
このように、本実施の形態のキャリブレーション方法は、複数の部品装着部9の高さに関するデータ(装着部高さ)を取得するデータ取得工程(ST2)と、取得されたデータに基づき、複数の部品装着部9のオフセット値(第2のオフセット値)を算出するオフセット値算出工程(ST3)と、を含んでいる。そして、少なくとも二つの部品装着部9でデータ(装着部高さ)を取得し(ST2)、全ての部品装着部9のオフセット値(第2のオフセット値)を算出する(ST3)。これによって、複数の部品装着部9(ノズル10)を有する装着ヘッド8の歪みを打ち消すオフセット値を適切に算出することができる。
なお、上記は複数の部品装着部9を有する装着ヘッド8のオフセット値を算出するキャリブレーションシステムとして部品装着装置1のみで構成する例で説明したが、キャリブレーションシステムはこの例に限定されることはない。例えば、キャリブレーションシステムは、部品装着装置1を含んで構成される部品装着ラインを管理する管理コンピュータと部品装着装置1を組み合わせて、管理コンピュータがオフセット値算出部24を備える構成であってもよい。
本発明のキャリブレーションシステムおよびキャリブレーション方法ならびに部品装着装置は、複数のノズルを有する装着ヘッドのオフセット値を適切に算出することができるという効果を有し、部品を基板に実装する分野において有用である。
1 部品装着装置(メンテナンスシステム)
9,9(1)~9(16) 部品装着部
10 ノズル(部品保持具)
29 データ取得手段
D 部品
P 基板
Z1,Z2 装着部高さ(データ)

Claims (15)

  1. 部品を保持する部品保持具をそれぞれ有し、基板に部品を装着する複数の部品装着部と、
    複数の前記部品装着部のそれぞれのオフセット値を少なくとも記憶する記憶部と、
    複数の前記部品装着部の高さに関するデータを取得するデータ取得手段と、
    前記データに基づき、複数の前記部品装着部のオフセット値を算出するオフセット値算出部と、を備え、
    前記データ取得手段は複数の前記部品装着部の少なくとも二つの部品装着部でデータを取得し、前記オフセット値算出部は取得された前記少なくとも二つの部品装着部の前記データに基づき複数の前記部品装着部のオフセット値をそれぞれ算出する、キャリブレーションシステム。
  2. 前記記憶部に記憶されているオフセット値を、前記オフセット値算出部が算出したオフセット値に更新する更新部を、さらに備えた、請求項1に記載のキャリブレーションシステム。
  3. 前記オフセット値算出部が算出したオフセット値が所定の範囲内の場合には、前記更新部は前記記憶部に記憶されているオフセット値を更新しない、請求項2に記載のキャリブレーションシステム。
  4. 前記オフセット値算出部が算出したオフセット値と、前記記憶部に記憶されているオフセット値の差が所定の範囲内の場合には、前記更新部は前記記憶部に記憶されているオフセット値を更新しない、請求項2に記載のキャリブレーションシステム。
  5. 前記データ取得手段は、前記部品装着部が有する前記部品保持具を下降させて前記データを取得する、請求項1から4のいずれかに記載のキャリブレーションシステム。
  6. 部品を保持する部品保持具をそれぞれ有し、基板に部品を装着する複数の部品装着部のオフセット値をそれぞれ算出するキャリブレーション方法であって、
    複数の前記部品装着部の高さに関するデータを取得するデータ取得工程と、
    前記データに基づき、複数の前記部品装着部のオフセット値を算出するオフセット値算出工程と、を含み、
    前記データ取得工程において複数の前記部品装着部の少なくとも二つの部品装着部で前記データが取得され、前記オフセット値算出工程において取得された前記少なくとも二つの部品装着部の前記データに基づき複数の前記部品装着部のオフセット値がそれぞれ算出される、キャリブレーション方法。
  7. 前記記憶部に記憶されているオフセット値を、前記オフセット値算出工程において算出されたオフセット値に更新する更新工程を、さらに含む、請求項6に記載のキャリブレーション方法。
  8. 前記オフセット値算出工程において算出されたオフセット値が所定の範囲内の場合には、前記更新工程において前記記憶部に記憶されているオフセット値が更新されない、請求項7に記載のキャリブレーション方法。
  9. 前記オフセット値算出工程において算出されたオフセット値と、前記記憶部に記憶されているオフセット値の差が所定の範囲内の場合には、前記更新工程において前記記憶部に記憶されているオフセット値が更新されない、請求項7に記載のキャリブレーション方法。
  10. 前記データ取得工程においては、前記部品装着部が有する前記部品保持具を下降させて前記データが取得される、請求項6から9のいずれかに記載のキャリブレーション方法。
  11. 部品を保持する部品保持具をそれぞれ有し、基板に部品を装着する複数の部品装着部と、
    複数の前記部品装着部のそれぞれのオフセット値を少なくとも記憶する記憶部と、
    複数の前記部品装着部をそれぞれ制御して、複数の前記部品装着部の高さに関するデータを取得するデータ取得部と、
    前記データに基づき、複数の前記部品装着部のオフセット値を算出するオフセット値算出部と、を備え、
    前記データ取得部は複数の前記部品装着部の少なくとも二つの部品装着部でデータを取得し、前記オフセット値算出部は前記少なくとも二つの部品装着部の前記データに基づき複数の前記部品装着部のオフセット値をそれぞれ算出する、部品装着装置。
  12. 前記記憶部に記憶されているオフセット値を、前記オフセット値算出部が算出したオフセット値に更新する更新部を、さらに備えた、請求項11に記載の部品装着装置。
  13. 前記オフセット値算出部が算出した前記少なくとも一つの部品装着部のオフセット値が所定の範囲内の場合には、前記更新部は前記記憶部に記憶されているオフセット値を更新しない、請求項12に記載の部品装着装置。
  14. 前記オフセット値算出部が算出した前記少なくとも一つの部品装着部のオフセット値と、前記記憶部に記憶されている前記少なくとも一つの部品装着部のオフセット値の差が所定の範囲内の場合には、前記更新部は前記記憶部に記憶されているオフセット値を更新しない、請求項12に記載の部品装着装置。
  15. 前記データ取得部は、前記部品装着部が有する前記部品保持具を下降させて前記データを取得する、請求項11から14のいずれかに記載の部品装着装置。
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