JP2022138752A - オフセット値算出システムおよびオフセット値算出方法ならびに部品装着装置 - Google Patents

Abstract

【課題】装着ヘッドのオフセット値を適正に算出することができるオフセット値算出システムおよびオフセット値算出方法ならびに部品装着装置を提供する。【解決手段】オフセット値算出方法は、第１のオフセット値に基づき複数の部品装着部で装着した部品の状態に関する第１のデータを取得し（ＳＴ２）、第１のデータに基づき第２のオフセット値を算出し（ＳＴ３）、第２のオフセット値に基づき第２のデータを取得し（ＳＴ４）、第２のデータに基づき装着精度を算出し（ＳＴ５）、装着精度が適正でないと判断されると（ＳＴ６においてＮｏ）、第２のデータに基づき第２のオフセット値が適正ではない不適正部品装着部を選定し（ＳＴ７）、第２のオフセット値に基づき不適正部品装着部で装着した部品の第３のデータを取得し（ＳＴ８）、少なくとも第３のデータに基づき不適正部品装着部の第３のオフセット値を算出する（ＳＴ９）。【選択図】図９

Description

本発明は、部品装着装置で使用するオフセット値を算出するオフセット値算出システムおよびオフセット値算出方法ならびに部品装着装置に関する。

部品装着装置は、ノズルが保持した部品を基板に装着して実装基板を生産する。部品装着装置は、基板に装着する部品の位置ズレを削減して実装精度を高めるため、装置の各部の歪みを打ち消すオフセット値を予め測定するキャリブレーションを実行し、このオフセット値に基づいて各部を制御して部品を基板に装着する。特許文献１のシステムは、複数のノズルを有するヘッドが保持したキャリブレーション用部品を部品装着精度測定部に載置し、上方からカメラで撮像した画像から装着位置のズレ量を測定するキャリブレーションを実行している。

特開２０１９－５０３３５号公報

ところで、従来は、オフセット値を測定した後に、このオフセット値に基づいて基板に部品を装着する装着位置の精度検証を実行し、精度未達の場合には所定の精度に到達するまでオフセット値を測定する工程と精度を検証する工程を繰り返して生産で使用するオフセット値を決定していた。しかしながら、オフセット値の測定には時間を要しており、適正なオフセット値を短時間に取得するためには更なる改善の余地があった。

そこで本発明は、装着ヘッドのオフセット値を適正に算出することができるオフセット値算出システムおよびオフセット値算出方法ならびに部品装着装置を提供することを目的とする。

本発明のオフセット値算出システムは、部品を保持する部品保持具をそれぞれ有する複数の部品装着部によって部品供給部から部品を取り出して基板に装着し、前記基板に装着された前記部品の状態に関するデータを取得するデータ取得手段と、前記データ取得手段が取得したデータに基づき、複数の前記部品装着部の装着精度を算出する装着精度算出部と、算出された前記装着精度が適正であるかを判断する判断部と、前記データ取得手段が取得したデータに基づき、複数の前記部品装着部のオフセット値をそれぞれ算出するオフセット値算出部と、前記データ取得手段が取得したデータに基づき、複数の前記部品装着部のうち前記オフセット値が適正ではない部品装着部である不適正部品装着部を選定する選定部と、を備え、前記判断部が、前記装着精度が適正ではないと判断すると、前記データ取得手段は、前記不適正部品装着部のデータを再取得し、前記オフセット値算出部は、再取得された前記データにも基づき、前記不適正部品装着部の前記オフセット値を再算出する。

本発明のオフセット値算出方法は、部品を保持する部品保持具をそれぞれ有し、部品供給部から部品を取り出して基板に装着する部品装着部のオフセット値を算出するオフセット値算出方法であって、第１のオフセット値に基づき、複数の部品装着部によって基板に部品を装着させて、前記基板に装着された前記部品の状態に関する第１のデータを取得する第１のデータ取得工程と、前記第１のデータに基づき、複数の前記部品装着部の第２のオフセット値をそれぞれ算出する第２のオフセット値算出工程と、前記第２のオフセット値に基づき、複数の前記部品装着部によって基板に部品を装着させて、前記基板に装着された前記部品の状態に関する第２のデータを取得する第２のデータ取得工程と、前記第２のデータに基づき、複数の前記部品装着部の装着精度を算出する装着精度算出工程と、算出された前記装着精度が適正であるか否かを判断する判断工程と、前記判断工程において前記装着精度が適正ではないと判断されると、前記第２のデータに基づき、前記第２のオフセット値が適正ではない部品装着部である不適正部品装着部を選定する選定工程と、前記第２のオフセット値に基づき、前記不適正部品装着部によって基板に部品を装着させて、前記基板に装着された前記部品の状態に関する第３のデータを取得する第３のデータ取得工程と、少なくとも前記第３のデータに基づき、前記不適正部品装着部の第３のオフセット値を算出する第３のオフセット値算出工程と、を含む。

本発明の部品装着装置は、部品を供給する部品供給部と、部品を保持する部品保持具をそれぞれ有し、前記部品供給部から部品を取り出して基板に装着する複数の部品装着部と、前記部品供給部と複数の前記部品装着部を制御し、複数の前記部品装着部のオフセット値に基づき基板に部品を装着させる制御部と、前記基板に装着された前記部品を撮像する撮像部と、前記撮像部による撮像結果から前記基板に装着された前記部品の状態に関するデータを抽出するデータ抽出部と、前記データ抽出部によって抽出されたデータに基づき、複数の前記部品装着部の装着精度を算出する装着精度算出部と、算出された前記装着精度が適正であるかを判断する判断部と、前記データ抽出部によって抽出されたデータに基づき、複数の前記部品装着部のオフセット値をそれぞれ算出するオフセット値算出部と、前記データ抽出部によって抽出されたデータに基づき、複数の前記部品装着部のうち前記オフセット値が適正ではない部品装着部である不適正部品装着部を選定する選定部と、を備え、前記判断部が、前記装着精度が適正ではないと判断すると、前記制御部は、前記不適正部品装着部によって基板に部品を装着させ、前記データ抽出部は、前記撮像部による撮像結果から前記不適正部品装着部によって前記基板に装着された前記部品の状態に関するデータを再抽出し、前記オフセット値算出部は、再抽出された前記データにも基づき、前記不適正部品装着部の前記オフセット値を再算出する。

本発明によれば、装着ヘッドの消すオフセット値を適正に算出することができる。

本発明の一実施の形態の部品装着システムの構成説明図 本発明の一実施の形態の部品装着装置の構成説明図 本発明の一実施の形態の部品装着装置が備える装着ヘッドの（ａ）平面図（ｂ）正面図 本発明の一実施の形態の部品装着装置の制御系の構成を示すブロック図 本発明の一実施の形態の部品装着装置によって部品が装着された基板の説明図 本発明の一実施の形態の部品装着装置によって取得された部品の状態に関するデータの説明図 （ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態の部品装着装置によるズレに基づくオフセット値が適正であるか否かの判断の説明図 （ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態の部品装着装置によるばらつきに基づくオフセット値が適正であるか否かの判断の説明図 本発明の一実施の形態のオフセット値算出方法のフロー図

以下に図面を用いて、本発明の一実施の形態を詳細に説明する。以下で述べる構成、形状等は説明のための例示であって、部品装着システム、部品装着装置、装着ヘッド、管理コンピュータ、検査装置の仕様に応じ、適宜変更が可能である。以下では、全ての図面において対応する要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。図２、及び後述する一部では、水平面内で互いに直交する２軸として、基板搬送方向のＸ軸（図２における紙面垂直方向）、基板搬送方向に直交するＹ軸（図２における左右方向）が示される。図２、及び後述する一部では、水平面と直交する高さ方向としてＺ軸（図２における上下方向）が示される。図３（ｂ）、及び後述する一部では、Ｚ軸を回転軸とする回転の方向であるθ方向が示される。

まず図１を参照して、部品装着システム１の構成を説明する。部品装着システム１は、部品装着装置Ｍ１および検査装置Ｍ２を備えており、基板に部品を装着して実装基板を生産する機能を有している。これらの装置は通信ネットワーク２を介して管理コンピュータ３に接続されている。なお、部品装着システム１が備える部品装着装置Ｍ１は１台に限定されることはなく、２台以上でも良い。

部品装着装置Ｍ１は、装着ヘッドが備える部品装着部によって上流から搬入された基板の装着位置に部品供給部から取り出した部品を装着する部品装着作業を行う。検査装置Ｍ２は、検査カメラによって部品装着装置Ｍ１から搬送された基板に装着された部品の装着位置などの部品の状態を検査する。管理コンピュータ３は、ライン管理機能と併せて、部品装着装置Ｍ１または検査装置Ｍ２によって取得されたデータに基づいて、部品装着装置Ｍ１が備える部品装着部の歪を打ち消すオフセット値を算出する機能を有している。

次に図２を参照して、部品装着装置Ｍ１の構成について説明する。部品装着装置Ｍ１は、基板Ｂに部品Ｄを装着する機能を有している。基台４の上面に設けられた基板搬送機構５は、基板ＢをＸ軸に沿って搬送して位置決めして保持する。基台４の上方に設けられたヘッド移動機構６は、プレート６ａを介して着脱可能に装着された装着ヘッド７を水平方向（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向）に移動させる。装着ヘッド７は、部品Ｄを吸着保持して昇降可能な複数の部品装着部８を備える。部品装着部８のそれぞれの下端部には、部品Ｄを吸着保持するノズル９が着脱可能に装着される。すなわち、ノズル９は、部品Ｄを保持する部品保持具である。

基板搬送機構５の側方で基台４に結合された台車１１の上部のフィーダベース１１ａには、複数のテープフィーダ１０がＸ軸に沿って並んで装着されている。台車１１には、部品装着装置Ｍ１に供給される部品Ｄを格納するキャリアテープ１２が、リール１３に巻回収納されて保持されている。テープフィーダ１０に挿入されたキャリアテープ１２はピッチ送りされて、キャリアテープ１２に格納されている部品Ｄがテープフィーダ１０の上部に設けられた部品供給位置１０ａに順に供給される。すなわち、テープフィーダ１０は、部品Ｄを供給する部品供給部である。

図２において、部品装着動作では、装着ヘッド７の複数の部品装着部８は、ヘッド移動機構６によりテープフィーダ１０の上方に移動し、テープフィーダ１０の部品供給位置１０ａに供給された部品Ｄをノズル９により真空吸着してピックアップする。部品Ｄを保持した装着ヘッド７は、ヘッド移動機構６により基板搬送機構５に保持された基板Ｂの上方に移動し、基板Ｂ上の所定の装着位置に部品Ｄを装着する。このように、複数の部品装着部８は、部品Ｄを保持する部品保持具（ノズル９）をそれぞれ有し、部品供給部（テープフィーダ１０）から部品Ｄを取り出して基板Ｂに装着する。

図２において、プレート６ａには、光軸をＺ軸の負方向（下方）に向けたヘッドカメラ１４が取り付けられている。ヘッドカメラ１４は、ヘッド移動機構６により装着ヘッド７と一体的にＸ軸の正負方向、Ｙ軸の正負方向に移動する。装着ヘッド７が移動することにより、ヘッドカメラ１４は基板搬送機構５に位置決めされた基板Ｂの上方に移動し、基板Ｂに設けられた基板マーク（図示省略）や基板Ｂの装着された部品Ｄを撮像する。すなわち、ヘッドカメラ１４は、基板Ｂに装着された部品Ｄを撮像する撮像部である。

基板搬送機構５とテープフィーダ１０の間の基台４の上面には、光軸をＺ軸の正方向（上方）に向けた部品認識カメラ１５が取り付けられている。部品認識カメラ１５は、部品Ｄをピックアップしたノズル９が上方を通過する際に、ノズル９に保持された部品Ｄを撮像する。部品認識カメラ１５による撮像結果からは、ノズル９に対する吸着された部品Ｄの位置が検出される。装着ヘッド７による基板Ｂへの部品装着動作においては、部品認識カメラ１５による部品Ｄの撮像結果と、ヘッドカメラ１４による基板位置の撮像結果とを加味して装着位置の補正が行われる。

次に図３（ａ）、図３（ｂ）を参照して、装着ヘッド７の構成を説明する。プレート６ａに着脱可能な装着ヘッド７は、複数の部品装着部８（ｊ）を備えている。この例では、装着ヘッド７は、Ｘ軸に沿った８つの部品装着部８（ｊ）をＹ軸に沿って２列備えている。すなわち、装着ヘッド７は、１６つの部品装着部８（１）～８（１６）を備えている。各部品装着部８（ｊ）は駆動機構を備えている。駆動機構を駆動することにより、各部品装着部８（ｊ）は下端部に装着されたノズル９を昇降させる（矢印ａ）とともに、ノズル軸ＡＮ（軸芯）を回転軸としてノズル９をθ方向に回転させる（矢印ｂ）。このように、複数の部品装着部８（ｊ）は、軸芯（ノズル軸ＡＮ）を中心に部品Ｄを回転させて基板Ｂに装着可能である。

次に図４を参照して、部品装着装置Ｍ１の制御系の構成を装着ヘッド７が有する複数の部品装着部８（ｊ）のオフセット値を算出する機能を中心に説明する。部品装着装置Ｍ１は、制御装置２０、基板搬送機構５、ヘッド移動機構６、装着ヘッド７、テープフィーダ１０、ヘッドカメラ１４、部品認識カメラ１５を備えている。装着ヘッド７は、ヘッド記憶部７ａ、複数の部品装着部８（ｊ）を備えている。ヘッド記憶部７ａは不揮発性の記憶装置であり、装着ヘッド７が備える複数の部品装着部８（ｊ）の軸芯（ノズル軸ＡＮ）の傾きなどの歪みを打ち消すオフセット値が記憶されている。ヘッド記憶部７ａのオフセット値は、装着ヘッド７の出荷検査時や、部品装着装置Ｍ１に装着した後のキャリブレーション時などに算出して更新される。

制御装置２０は、記憶部２１、装着制御部２２、データ取得処理部２３、データ抽出部２４、オフセット値算出部２５、装着精度算出部２６、判断部２７、第１選定部２８、第２選定部２９、更新部３０を備えている。記憶部２１は記憶装置であり、装着データ３１、取得データ３２、オフセット値データ３３などが記憶されている。装着データ３１には、基板Ｂに実装される部品Ｄの部品の種類、基板Ｂにおける装着位置の座標などの各種情報が、実装基板の基板種ごとに記憶されている。装着制御部２２は、装着ヘッド７が部品装着装置Ｍ１に装着された時や、部品装着装置Ｍ１が起動された時などに、装着ヘッド７のヘッド記憶部７ａに記憶されているオフセット値（第１のオフセット値）を読み出してオフセット値データ３３に記憶させる。

図４において、装着制御部２２は、装着データ３１、オフセット値データ３３（第１のオフセット値）に基づいて、装着ヘッド７の部品装着部８（ｊ）に装着されたノズル９（部品保持具）によりテープフィーダ１０（部品供給部）が供給する部品Ｄを取り出して、基板Ｂの装着位置に装着する部品装着作業を実行させる。例えば、装着制御部２２は、部品装着部８（１）に装着されたノズル９でテープフィーダ１０から部品Ｄを取り出す際および基板Ｂに部品Ｄを装着する際は、オフセット値データ３３に含まれる部品装着部８（１）のオフセット値に基づいてヘッド移動機構６を制御して、ノズル９の停止位置、回転角度を補正する。

データ取得処理部２３は、ヘッド移動機構６、装着ヘッド７の部品装着部８（ｊ）、テープフィーダ１０、ヘッドカメラ１４を制御して、基板Ｂに部品Ｄを装着し、装着された部品Ｄの状態に関するデータを取得するデータ取得処理を実行させる。データ抽出部２４は、ヘッドカメラ１４により基板Ｂに装着された部品Ｄの撮像画像を画像処理し、基板Ｂに装着すべき位置からの実際に装着された部品Ｄの装着位置のＸ軸方向、Ｙ軸方向、θ方向のズレである装着位置ズレ量を抽出する。すなわち、データ抽出部２４は、ヘッドカメラ１４（撮像部）による撮像結果から基板Ｂに装着された部品Ｄの状態に関するデータ（装着位置ズレ量）を抽出する。

データ取得処理では、まずデータ取得処理部２３は、部品装着部８（ｊ）に装着されたノズル９をθ方向のオフセット値に基づいて所定の回転角度に回転させる。次いでデータ取得処理部２３は、Ｘ軸方向のオフセット値、Ｙ軸方向のオフセット値に基づいて部品装着部８（ｊ）を移動させ、テープフィーダ１０から部品Ｄを取り出して基板Ｂに装着させる。次いでデータ取得処理部２３は、ヘッドカメラ１４により基板Ｂに装着された部品Ｄを撮像させる。次いでデータ抽出部２４は、撮像結果から装着位置ズレ量を抽出する。

すなわち、データ取得処理部２３、データ抽出部２４、ヘッド移動機構６、部品装着部８（ｊ）、ヘッドカメラ１４（撮像部）は、ノズル９（部品保持具）をそれぞれ有する複数の部品装着部８（ｊ）によってテープフィーダ１０（部品供給部）から部品Ｄを取り出して基板Ｂに装着し、基板Ｂに装着された部品Ｄの状態に関するデータ（装着位置ズレ量）を取得するデータ取得手段３４である。また、データ取得処理部２３は、テープフィーダ１０と複数の部品装着部８（ｊ）を制御し、複数の部品装着部８（ｊ）のオフセット値に基づき基板Ｂに部品Ｄを装着させる制御部である。

ここで図５を参照して、図３に示す装着ヘッド７を備えるデータ取得手段３４によって部品Ｄが装着された基板Ｂの例について説明する。この例では、各部品装着部８（１）～８（１６）により、ノズル９を「０°」、「９０°」、「１８０°」、「２７０°」の回転角度に回転させ、３回ずつテープフィーダ１０から部品Ｄを取り出して基板Ｂに等間隔に設定された装着位置に装着させている。すなわち、データ取得処理２３（制御部）は、複数の部品装着部８（１）～８（１６）によってノズル９（部品保持具）を複数（４つ）の異なる所定の回転角度に回転させ、テープフィーダ１０（部品供給部）から部品Ｄを取り出して基板Ｂに装着させている。なお、同一条件による部品Ｄの装着数は３個に限定されることはなく、目的に応じて変更される。

次に図６を参照して、データ抽出部２４（データ取得手段３４）によって抽出された装着位置ズレ量（Ｘｄ，Ｙｄ，θｄ）の例について説明する。図６に示す撮像画像４０は、基板Ｂに装着された部品Ｄについて予め設定されている基板Ｂ上の装着位置に撮像視野の中心４０ｃが位置するように移動したヘッドカメラ１４によって撮像されている。すなわち、撮像視野の中心４０ｃが、部品Ｄを装着すべき基板Ｂ上の装着位置である。

データ抽出部２４は、撮像画像４０を認識処理して部品Ｄの中心ＣｄのＸ軸方向の装着位置ズレ量ＸｄとＹ軸方向の装着位置ズレ量Ｙｄ、部品Ｄのθ方向の装着位置ズレ量θｄを抽出する。すなわち、データ抽出部２４は、撮像視野の中心４０ｃからの部品Ｄの中心Ｃｄの位置に基づいて、Ｘ軸方向の装着位置ズレ量ＸｄとＹ軸方向の装着位置ズレ量Ｙｄを抽出する。また、データ抽出部２４は、部品Ｄの外形の傾きからθ方向の装着位置ズレ量θｄを抽出する。抽出された装着位置ズレ量（Ｘｄ，Ｙｄ，θｄ）は、取得データ３２として記憶部２１に記憶される。このように、データ抽出部２４は、ヘッドカメラ１４（撮像部）による撮像結果から、基板Ｂに装着された部品Ｄの状態に関するデータ（装着位置ズレ量（Ｘｄ，Ｙｄ，θｄ））を抽出する。

図４において、オフセット値算出部２５は、データ抽出部２４によって抽出されたデータ（装着位置ズレ量（Ｘｄ，Ｙｄ，θｄ））に基づき、複数の部品装着部８（１）～８（１６）のオフセット値をそれぞれ算出する。オフセット値算出部２５は、部品装着部８（１）～８（１６）毎、かつ、ノズル９の回転角度毎にＸ軸方向、Ｙ軸方向、θ方向のオフセット値を算出する。

図５の例では、オフセット値算出部２５は、部品装着部８（１）がノズル９を「０°」の回転角度に回転させて基板Ｂに装着した３個の部品ＤのＸ軸方向の装着位置ズレ量Ｘｄの平均値をＸ軸方向のオフセット値Ｘｓ、Ｙ軸方向の装着位置ズレ量Ｙｄの平均値をＹ軸方向のオフセット値Ｙｓ、θ方向の装着位置ズレ量θｄの平均値をθ方向のオフセット値θｓとして算出する。

以下、部品装着部８（１）の「０°」の回転角度におけるオフセット値をオフセット値（１：０°）のように表示する。同様に、データ取得手段３４によって取得された部品装着部８（１）が装着した部品Ｄの装着位置ズレ量（Ｘｄ，Ｙｄ，θｄ）（データ）データに基づき、オフセット値算出部２５はオフセット値（１：９０°）、オフセット値（１：１８０°）、オフセット値（１：２７０°）を算出する。算出されたオフセット値は、オフセット値データ３３として記憶部２１に記憶される。

図４において、装着精度算出部２６は、取得データ３２に記憶されているデータ抽出部２４によって抽出された部品装着部８（１）～８（１６）によって回転角度を変更して装着された部品Ｄの全ての装着位置ズレ量（Ｘｄ，Ｙｄ，θｄ）（データ）に基づき、複数の部品装着部８（１）～８（１６）を備える装着ヘッド７の装着精度を算出する。例えば、装着精度算出部２６は、装着位置ズレ量（Ｘｄ，Ｙｄ，θｄ）のばらつき（標準偏差）が目標とする装着位置から＋３０μｍまたは－３０μｍの範囲内（母平均の推定値から上限規格値または下限規格値までの範囲）に収まる工程能力指数Ｃｐｋを装着精度として算出する。なお、装着精度は工程能力指数Ｃｐであっても、その他の指数であってもよい。

判断部２７は、装着精度算出部２６によって算出された装着精度が適正であるか否かを判断する。例えば、判断部２７は、算出された工程能力指数Ｃｐｋが所定の判定基準値以上である場合を装着精度が適正であると判断する。第１選定部２８および第２選定部２９は、データ取得手段３４が取得した回転角度毎の精度検証用のデータ（データ抽出部２４によって抽出されたデータ）に基づき、部品装着部８（１）～８（１６）のオフセット値が適正であるか否かをそれぞれ判断し、複数の部品装着部８（１）～８（１６）のうちオフセット値が適正ではない部品装着部を「不適正部品装着部」として選定する。

ここで、図７を参照して、第１選定部２８による不適正部品装着部の選定方法について説明する。図７（ａ）は、データ取得手段３４がオフセット値算出部２５によって算出されたオフセット値（１：０°）に基づいて、部品装着部８（１）によりノズル９を「０°」回転させて基板Ｂに装着させた精度検証用の５個の部品Ｄの撮像結果から抽出された装着位置ズレ量（Ｘｄ，Ｙｄ，θｄ）を示している。Ｘ軸方向の装着位置ズレ量ＸｄとＹ軸方向の装着位置ズレ量Ｙｄは、直交座標の散布図としてプロットされている。θ方向の装着位置ズレ量θｄは、一次元グラフにプロットされている。

同様に、図７（ｂ）は部品装着部８（１）による回転角度が「９０°」の、図７（ｃ）は「１８０°」の、図７（ｄ）は「２７０°」の精度検証用の５個の部品Ｄの装着位置ズレ量（Ｘｄ，Ｙｄ，θｄ）を示している。第１選定部２８は、Ｘ軸方向の装着位置ズレ量Ｘｄの平均値、Ｙ軸方向の装着位置ズレ量Ｙｄの平均値、θ方向の装着位置ズレ量θｄの平均値が、それぞれ所定の範囲内である場合に、算出されたオフセット値が適正と判断する。

図７（ａ）～図７（ｄ）において、左側の散布図中には、Ｘ軸方向の装着位置ズレ量Ｘｄの平均値とＹ軸方向の装着位置ズレ量Ｙｄの平均値が「×」でプロットされている。また、右側の一次元グラフには、θ方向の装着位置ズレ量θｄの平均値が「×」でプロットされている。第１選定部２８は、Ｘ軸方向とＹ軸方向の装着位置ズレ量（Ｘｄ，Ｙｄ）の平均値の原点からのズレ量（√（Ｘｄ＾２＋Ｙｄ＾２））が判定距離Ｒａより小さく、かつ、θ方向の装着位置ズレ量θｄの平均値の原点からのズレ量が－θａから＋θａの範囲内にある場合に、算出されたオフセット値が適正と判断する。

図７（ａ）の例では、Ｘ軸方向とＹ軸方向は、「×」で示す平均値が判定距離Ｒａを半径とする円の内部にあるため適正である。一方、θ方向は、「×」で示す平均値が＋θａの外側（範囲外）にあるため不適正である。そこで、第１選定部２８は、算出されたオフセット値（１：０°）は不適正（×）と判断する。図７（ｂ）の例では、θ方向は、平均値が－θａから＋θａの範囲内にあるため適性である。一方、Ｘ軸方向とＹ軸方向は、平均値が判定距離Ｒａを半径とする円の外にあるため不適正である。そこで、第１選定部２８は、算出されたオフセット値（１：９０°）は不適正（×）と判断する。

図７（ｃ）の例では、Ｘ軸方向とＹ軸方向は平均値が判定距離Ｒａを半径とする円の内部にあり、かつ、θ方向も平均値が－θａから＋θａの範囲内にある。そこで、第１選定部２８は、算出されたオフセット値（１：１８０°）は適正（〇）と判断する。図７（ｄ）の例でも、同様に、第１選定部２８は、算出されたオフセット値（１：２７０°）は適正（〇）と判断する。そして、第１選定部２８は、部品装着部８（１）は回転角度が「０°」と「９０°」のオフセット値が適正ではなく、部品装着部８（１）を不適正部品装着部として選定する。

このように、第１選定部２８は、基板Ｂに装着された精度検証用の部品Ｄの装着位置の部品Ｄを装着すべき位置からのズレ（装着位置ズレ量の平均値）に基づき回転角度毎のオフセット値が適正であるかを判断して、不適正部品装着部を選定する。なお、第１選定部２８は、Ｘ軸方向の装着位置ズレ量ＸｄとＹ軸方向の装着位置ズレ量Ｙｄのそれぞれの平均値が－Ｒａから＋Ｒａの範囲内にある場合に、算出されたオフセット値が適正と判断するようにしてもよい。

次に、図８を参照して、第２選定部２９による不適正部品装着部の選定方法について説明する。図８（ａ）～図８（ｄ）に示す散布図と一次元グラフにプロットされた装着位置ズレ量（Ｘｄ，Ｙｄ，θｄ）は、図７（ａ）～図７（ｄ）と同じである。第２判断処理部２６ｂは、５つのＸ軸方向の装着位置ズレ量Ｘｄのレンジ（最大値と最小値の差）、５つのＹ軸方向の装着位置ズレ量Ｙｄのレンジ、５つのθ方向の装着位置ズレ量θｄのレンジが、それぞれ所定の範囲内である場合に、算出されたオフセット値が適正と判断する。

図８（ａ）の例では、Ｘ軸方向とＹ軸方向は、「〇」で示す５つの装着位置ズレ量（Ｘｄ，Ｙｄ）の全てが、一辺が判定範囲Ｒｂの正方形の内側にある（レンジが判定範囲Ｒｂより小さい）ためオフセット値は適正である。また、θ方向は５つの装着位置ズレ量θｄの全てが幅θｂの内側にある（レンジが幅θｂより小さい）ためオフセット値は適正である。そこで、第２選定部２９は、算出されたオフセット値（１：０°）は適正（〇）と判断する。図８（ｂ）の例でも、同様に、第２判断処理部２６ｂは、算出されたオフセット値（１：９０°）は適正（〇）と判断する。

図８（ｃ）の例では、Ｘ軸方向とＹ軸方向は、５つの装着位置ズレ量（Ｘｄ，Ｙｄ）は全て判定範囲Ｒｂの正方形の内側にある。一方、θ方向は装着位置ズレ量θｄの全ては幅θｂの内側に収まらない。そこで、第２選定部２９は、算出されたオフセット値（１：１８０°）は不適正（×）と判断する。図８（ｄ）の例では、θ方向は５つの装着位置ズレ量θｄの全てが幅θｂの内側にある。一方、５つの装着位置ズレ量（Ｘｄ，Ｙｄ）の全ては判定範囲Ｒｂの正方形の内部に収まらない。そこで、第２選定部２９は、算出されたオフセット値（１：２７０°）は不適正（×）と判断する。

そして、第２選定部２９は、部品装着部８（１）は回転角度が「１８０°」と「２７０°」のオフセット値が適正ではなく、部品装着部８（１）を不適正部品装着部として選定する。このように、第２選定部２９は、データ（装着位置ズレ量）のばらつき（レンジ）に基づき回転角度毎のオフセット値が適正であるか否かを判断して、不適正部品装着部を選定する。なお、実施の形態として、第１選定部２８、および、第２選定部２９のいずれかがオフセット値が適正でないと判断した部品装着部８（１）～８（１６）を不適正部品装着部として選定するようにしもよい。

図４において、データ取得手段３４は、判断部２７が装着ヘッド７の装着精度が適正でないと判断すると、第１選定部２８または第２選定部２９が選定した不適正部品装着部により、オフセット値が適正ではないと判断した回転角度でのみデータ（装着位置ズレ量）を再取得する。そして、オフセット値算出部２５は、再取得されたデータに基づき、不適正部品装着部の適正でないと判断された回転角度のオフセット値を再算出する。図７の例では、オフセット値（１：０°）とオフセット値（１：９０°）が再算出される。

なお、オフセット値算出部２５は、不適正部品装着部のオフセット値を再算出する際は、再取得されたデータに最初に取得したデータと精度検証用に取得したデータの少なくともいずれかを加えて、オフセット値を再算出するようにしてもよい。すなわち、取得されたデータ（装着位置ズレ量）からデータ取得手段３４が基板Ｂに実装する際に使用したオフセット値を引き戻した換算データの平均値をオフセット値として再算出してもよい。算出に使用するデータ数を増加することで、テープフィーダ１０が部品Ｄを供給する位置のばらつきなどのランダム成分を除去（減少）させることができる。

図４において、更新部３０は、判断部２７が装着ヘッド７の装着精度が適正であると判断すると、ヘッド記憶部７ａに記憶されていたオフセット値（第１のオフセット値）を、オフセット値算出部２５により算出されたオフセット値に更新する。なお、装着ヘッド７の装着精度が適正であれば、部品装着部８（１）～８（１６）のうち少なくとも一つの部品装着部８（ｊ）による部品Ｄの装着位置のばらつきが他の部品装着部８（ｊ）による部品Ｄの装着位置のばらつきより大きいものであっても構わない。

次に図９のフローに沿って、部品装着装置Ｍ１においてテープフィーダ１０（部品供給部）から部品Ｄを取り出して基板Ｂに装着する部品装着部８（ｊ）のオフセット値を算出するオフセット値算出方法につて説明する。まず、装着制御部２２は、ヘッド記憶部７ａに記憶されているオフセット値（第１のオフセット値）を読み出して、オフセット値データ３３として記憶部２１に記憶させる（ＳＴ１：第１のオフセット値読出工程）。

次いでデータ取得手段３４は、記憶部２１に記憶されている第１のオフセット値に基づき、複数の部品装着部８（ｊ）によってノズル９（部品保持具）を複数の異なる回転角度に回転させ、テープフィーダ１０から部品Ｄを取り出して基板Ｂに装着させて（図５参照）、基板Ｂに装着された部品Ｄの状態に関する第１のデータ（装着位置ズレ量）を取得する（ＳＴ２：第１のデータ取得工程）。

図９において、次いでオフセット値算出部２５は、第１のデータに基づき、複数の部品装着部８（ｊ）の第２のオフセット値を回転角度毎にそれぞれ算出する（ＳＴ３：第２のオフセット値算出工程）。次いでデータ取得手段３４は、第２のオフセット値に基づき、複数の部品装着部８（ｊ）によってノズル９を複数の異なる回転角度に回転させ、テープフィーダ１０から部品Ｄを取り出して基板Ｂに装着させて、基板Ｂに装着された部品Ｄの状態に関する精度検証用の第２のデータ（装着位置ズレ量）を取得する（ＳＴ４：第２のデータ取得工程）。

次いで装着精度算出部２６は、第２のデータに基づき、装着ヘッド７（複数の部品装着部８（ｊ）の全体として）の装着精度（工程能力指数Ｃｐｋなど）を算出する（ＳＴ５：装着精度算出工程）。次いで判断部２７は、算出された装着精度は適正であるか否かを判断する（ＳＴ６：判断工程）。例えば、判断工程（ＳＴ６）において、工程能力指数Ｃｐｋが所定の判定基準値以上であるか否かが判断される。装着精度が適正ではないと判断されると（ＳＴ６においてＮｏ）、第１選定部２８または第２選定部２９は、第２のデータに基づき、第２のオフセット値が適正でない不適正部品装着部を選定する（ＳＴ７：選定工程）。

選定工程（ＳＴ７）において、第１選定部２８は、基板Ｂに装着された部品Ｄの装着位置の部品Ｄを装着すべき位置からのズレ（装着位置ズレ量の平均値）に基づき、回転角度毎に第２のオフセット値が適正であるか否かを判断して、不適正部品装着部を選定する（図７参照）。または、選定工程（ＳＴ７）において、第２選定部２９は、第２のデータのばらつき（装着位置ズレ量のレンジ）に基づき、回転角度毎に第２のオフセット値が適正であるか否かを判断して、不適正部品装着部を選定する（図８参照）。

図９において、選定工程（ＳＴ７）において不適正部品装着部が選定されると、データ取得手段３４は、第２のオフセット値に基づき、不適正部品装着部により第２のオフセット値が適正ではないと判断された回転角度によって基板Ｂに部品Ｄを装着させて、基板Ｂに装着された部品Ｄの状態に関する第３のデータ（装着位置ズレ量）を取得する（ＳＴ８：第３のデータ取得工程）。すなわち、選定工程（ＳＴ７）において、回転角度毎の第２のデータに基づき第２のオフセット値が適正であるかを判断して不適正部品装着部が選定され、第３のデータ取得工程（ＳＴ８）において、不適正部品装着部により第２のオフセット値が適正ではないと判断された回転角度の第３のデータが取得される。

次いでオフセット値算出部２５は、第３のデータに基づき、不適正部品装着部の第２のオフセット値が適正でないと判断された回転角度の第３のオフセット値を算出する（ＳＴ９：第３のオフセット値算出工程）。なお、オフセット値算出部２５は、第３のデータに、第１のデータまたは第２のデータを加えて、第３のオフセット値を算出するようにしてもよい。次いで次いでデータ取得手段３４は、第３のオフセット値に基づき、不適正部品装着部によって第２のオフセット値が適正でないと判断された回転角度により、テープフィーダ１０から部品Ｄを取り出して基板Ｂに装着させて、基板Ｂに装着された部品Ｄの状態に関する精度検証用の第４のデータ（装着位置ズレ量）を取得する（ＳＴ１０：第４のデータ取得工程）。

図９において、次いで装着精度算出工程（ＳＴ５）に戻り、装着精度算出工程（ＳＴ５）において、第２のデータと第４のデータに基づき、複数の部品装着部８（ｊ）（装着ヘッド７）の装着精度が算出される。なお、この装着精度の算出では、第２のデータから不適正部品装着部の第２のオフセット値が適正でないと判断された回転角度のデータ（装着位置ズレ量）を除外してもよい。これによって、第２のデータ取得工程（ＳＴ４）において取得された第２のデータの中に含まれている突発的な外れ値を除外することができる。この場合、既に第２のオフセット値で取得されている部品装着部８（ｊ）の適正である回転角度の装着位置ズレ量と、第３のオフセット値で再取得された不適正部品装着部の適正でなかった回転角度の装着位置ズレ量から装着精度が算出される。

次いで判断工程（ＳＴ６）が実行されて、第３のオフセット値に基づく装着精度が適正であるか否かが判断される。装着ヘッド７の装着精度が適正ではないと判断されると（ＳＴ６においてＮｏ）、選定工程（ＳＴ７）、第３のデータ取得工程（ＳＴ８）、第３のオフセット値算出工程（ＳＴ９）、第４のデータ取得工程（ＳＴ１０）、装着精度算出工程（ＳＴ５）、判定工程（ＳＴ６）が繰り返し実行される。すなわち、第３のオフセット値により不適正部品装着部の適正でない回転角度でデータを取得しても、この第３のオフセット値では所定の装着精度が達成できていない場合には、新たに第３のオフセット値が取得される。

装着ヘッド７の装着精度が適正と判断されると（ＳＴ６においてＹｅｓ）、更新部３０は、ヘッド記憶部７ａに記憶されているオフセット値（第１のオフセット値）を適正と判断された第２のオフセット値または第３のオフセット値に更新する（ＳＴ１１：オフセット値更新工程）。

このように、選定工程（ＳＴ７）において適正でないと判断された条件（部品装着部８（ｊ）と回転角度の組み合わせ）のみ第３のデータ取得工程（ＳＴ８）、第３のオフセット値算出工程（ＳＴ９）、第４のデータ取得工程（ＳＴ１０）を実行することで、第３のオフセット値の算出に要する時間を短縮して、オフセット値を適正に算出することができる。

なお、第３のデータ取得工程（ＳＴ８）において不適正部品装着部が適正でないと判断された回転角度によって基板Ｂに部品Ｄを装着する回数（例えば、５回）は、第１のデータ取得工程（ＳＴ２）において複数の部品装着部８（ｊ）のそれぞれが異なる回転角度で基板Ｂに部品Ｄを装着する回数（例えば、３回）よりも多いことが望ましい。これにより、装着位置ズレ量のランダム成分を除去して適正なオフセット値を算出することができる。

上記説明したように、本実施の形態の部品装着装置Ｍ１は、ノズル９（部品保持具）をそれぞれ有する複数の部品装着部８（ｊ）によってテープフィーダ１０（部品供給部）から部品Ｄを取り出して基板Ｂに装着し、基板Ｂに装着された部品Ｄの状態に関するデータ（装着位置ズレ量）を取得するデータ取得手段３４と、データ取得手段３４が取得したデータに基づき、複数の部品装着部８（ｊ）の装着精度を算出する装着精度算出部２６と、算出された装着精度が適正であるかを判断する判断部２７と、データ取得手段３４が取得したデータに基づき、部品装着部８（ｊ）のオフセット値を算出するオフセット値算出部２５と、データ取得手段３４が取得したデータに基づき、オフセット値が適正ではない不適正部品装着部を選定する選定部（第１選定部２８または第２選定部２９）と、を備える、オフセット値算出システムである。

オフセット値算出システム（部品装着装置Ｍ１）は、判断部２７が、装着精度が適正ではないと判断すると、データ取得手段３４は、不適正部品装着部のデータを再取得し、オフセット値算出部２５は、再取得されたデータにも基づき、不適正部品装着部のオフセット値を再算出する。これによって、装着ヘッド７（部品装着部８（ｊ））のオフセット値を適正に算出することができる。

なお、オフセット値算出システムは、部品装着装置Ｍ１のみでの構成に限定されることはなく、管理コンピュータ３や検査装置Ｍ２と組み合わせた部品装着システム１で構成してもよい。例えば、データ取得手段３４のデータ抽出部２４、オフセット値算出部２５、装着精度算出部２６、判断部２７、第１選定部２８または第２選定部２９を管理コンピュータ３が備え、部品装着装置Ｍ１のヘッドカメラ１４が撮像した基板Ｂに装着された部品Ｄの撮像結果を管理コンピュータ３に送信し、管理コンピュータ３でオフセット値を算出するようにしてもよい。

また、データ取得手段３４のデータ抽出部２４、オフセット値算出部２５、装着精度算出部２６、判断部２７、第１選定部２８または第２選定部２９を検査装置Ｍ２が備え、部品装着装置Ｍ１において部品Ｄが装着された基板Ｂを検査装置Ｍ２に搬入し、検査装置Ｍ２の検査カメラ（撮像部）で基板Ｂに装着された部品Ｄを撮像して、オフセット値を算出するようにしてもよい。

また、部品装着装置Ｍ１のデータ取得手段３４が基板Ｂに装着した部品Ｄのうち、精度検証用のデータ（第２のデータ、第４のデータ）を取得する時のみ、検査装置Ｍ２に搬入して検査装置Ｍ２でデータ（装着位置ズレ量）を取得するようにしてもよい。検査装置Ｍ２の検査カメラは、部品装着装置Ｍ１のヘッドカメラ１４よりも検出精度が高いため、装着位置ズレ量を精度良く抽出して、より適正なオフセット値を算出することができる。

なお、上記は実施例としては、１６つの部品装着部８（１）～８（１６）を備える装着ヘッド７を例に説明したが、装着ヘッド７はこれに限定されることはない。例えば、装着ヘッドは、１６つ以外に、２０つ、１２つ、８つ、４つ、２つなどの部品装着部８（ｊ）を備えていても良い。また、ロータリー型の装着ヘッドに部品装着部８を備えたものであっても適用可能である。

本発明のオフセット値算出システムおよびオフセット値算出方法ならびに部品装着装置は、装着ヘッドのオフセット値を適正に算出することができるという効果を有し、部品を基板に実装する分野において有用である。

１ 部品装着システム（オフセット値算出システム）
３ 管理コンピュータ（オフセット値算出システム）
８、８（ｊ） 部品装着部
９ ノズル（部品保持具）
１０ テープフィーダ（部品供給部）
１４ ヘッドカメラ（撮像部）
３４ データ取得手段
ＡＮ ノズル軸（軸芯）
Ｂ 基板
Ｄ 部品
Ｍ１ 部品装着装置（オフセット値算出システム）
Ｍ２ 検査装置（オフセット値算出システム）
Ｘｄ Ｘ軸方向の装着位置ズレ量（データ）
Ｙｄ Ｙ軸方向の装着位置ズレ量（データ）
θｄ θ方向の装着位置ズレ量（データ）

Claims (19)

1. 部品を保持する部品保持具をそれぞれ有する複数の部品装着部によって部品供給部から部品を取り出して基板に装着し、前記基板に装着された前記部品の状態に関するデータを取得するデータ取得手段と、
   前記データ取得手段が取得したデータに基づき、複数の前記部品装着部の装着精度を算出する装着精度算出部と、
   算出された前記装着精度が適正であるかを判断する判断部と、
   前記データ取得手段が取得したデータに基づき、複数の前記部品装着部のオフセット値をそれぞれ算出するオフセット値算出部と、
   前記データ取得手段が取得したデータに基づき、複数の前記部品装着部のうち前記オフセット値が適正ではない部品装着部である不適正部品装着部を選定する選定部と、を備え、
   前記判断部が、前記装着精度が適正ではないと判断すると、
   前記データ取得手段は、前記不適正部品装着部のデータを再取得し、
   前記オフセット値算出部は、再取得された前記データにも基づき、前記不適正部品装着部の前記オフセット値を再算出する、オフセット値算出システム。
2. 前記データ取得手段が、第１のオフセット値に基づき、複数の前記部品装着部の第１のデータを取得し、
   前記オフセット値算出部が、前記第１のデータに基づき、複数の前記部品装着部の第２のオフセット値をそれぞれ算出し、
   前記データ取得手段が、前記第２のオフセット値に基づき、複数の前記部品装着部の第２のデータを取得し、
   前記装着精度算出が、前記第２のデータに基づき、前記装着精度を算出し、
   前記判断部が、前記装着精度が適正ではないと判断すると、
   前記選定部が、前記第２のデータに基づき、前記第２のオフセット値が適正ではない不適正部品装着部を選定し、
   前記データ取得手段は、前記第２のオフセット値に基づき、前記不適正部品装着部の第３のデータを取得し、
   前記オフセット値算出部は、少なくとも前記第３のデータに基づき、前記不適正部品装着部の第３のオフセット値を算出する、請求項１に記載のオフセット値算出システム。
3. 前記データ取得手段がデータを再取得する際に前記不適正部品装着部が基板に部品を装着する回数は、前記データ取得手段が複数の前記部品装着部の全てでデータを取得する際に複数の前記部品装着部のそれぞれが基板に部品を装着する回数よりも多い、請求項１または２に記載のオフセット値算出システム。
4. 複数の前記部品装着部は、軸芯を中心に部品を回転させて基板に装着可能であって、
   前記データ取得手段は、複数の前記部品装着部によって前記部品保持具を複数の異なる所定の回転角度に回転させ、前記部品供給部から部品を取り出て基板に装着させて、前記データを取得する、請求項１から３のいずれかに記載のオフセット値算出システム。
5. 前記選定部は、前記回転角度毎の前記データに基づき前記オフセット値が適正であるかを判断して前記不適正部品装着部を選定し、
   前記データ取得手段は、前記不適正部品装着部によって前記オフセット値が適正ではないと判断された回転角度のデータを再取得する、請求項４に記載のオフセット値算出システム。
6. 前記選定部は、前記基板に装着された前記部品の装着位置の前記部品を装着すべき位置からのズレに基づき前記不適正部品装着部を選定する、請求項１から５のいずれかに記載のオフセット値算出システム。
7. 前記選定部は、前記データのばらつきに基づき前記不適正部品装着部を選定、請求項１から５のいずれかに記載のオフセット値算出システム。
8. 前記選定部は、前記データ取得手段が前記オフセット値に基づいて前記部品装着部により部品を装着させて取得したデータに基づいて、前記不適正部品装着部を選定する、請求項１から７のいずれかに記載のオフセット値算出システム。
9. 部品を保持する部品保持具をそれぞれ有し、部品供給部から部品を取り出して基板に装着する部品装着部のオフセット値を算出するオフセット値算出方法であって、
   第１のオフセット値に基づき、複数の部品装着部によって基板に部品を装着させて、前記基板に装着された前記部品の状態に関する第１のデータを取得する第１のデータ取得工程と、
   前記第１のデータに基づき、複数の前記部品装着部の第２のオフセット値をそれぞれ算出する第２のオフセット値算出工程と、
   前記第２のオフセット値に基づき、複数の前記部品装着部によって基板に部品を装着させて、前記基板に装着された前記部品の状態に関する第２のデータを取得する第２のデータ取得工程と、
   前記第２のデータに基づき、複数の前記部品装着部の装着精度を算出する装着精度算出工程と、
   算出された前記装着精度が適正であるか否かを判断する判断工程と、
   前記判断工程において前記装着精度が適正ではないと判断されると、前記第２のデータに基づき、前記第２のオフセット値が適正ではない部品装着部である不適正部品装着部を選定する選定工程と、
   前記第２のオフセット値に基づき、前記不適正部品装着部によって基板に部品を装着させて、前記基板に装着された前記部品の状態に関する第３のデータを取得する第３のデータ取得工程と、
   少なくとも前記第３のデータに基づき、前記不適正部品装着部の第３のオフセット値を算出する第３のオフセット値算出工程と、を含む、オフセット値算出方法。
10. 前記第３のデータ取得工程において前記不適正部品装着部が基板に部品を装着する回数は、前記第１のデータ取得工程において複数の前記部品装着部のそれぞれが基板に部品を装着する回数よりも多い、請求項９に記載のオフセット値算出方法。
11. 複数の前記部品装着部は、軸芯を中心に部品を回転させて基板に装着可能であって、
    前記第１のデータ取得工程、前記第２のデータ取得工程、ならびに第３のデータ取得工程において、前記部品装着部によって前記部品保持具を複数の異なる所定の回転角度に回転させ、前記部品供給部から部品を取り出して基板に装着させて、前記第１のデータ、前記第２のデータ、ならびに前記第３のデータが取得される、請求項９または１０に記載のオフセット値算出方法。
12. 前記選定工程において、前記回転角度毎の前記第２のデータに基づき前記第２のオフセット値が適正であるかを判断して前記不適正部品装着部が選定され、
    前記第３のデータ取得工程において、前記不適正部品装着部により前記第２のオフセット値が適正ではないと判断された回転角度の第３のデータが取得される、請求項１１に記載のオフセット値算出方法。
13. 前記選定工程において、前記基板に装着された前記部品の装着位置の前記部品を装着すべき位置からのズレに基づき前記不適正部品装着部が選定される、請求項９から１２のいずれかに記載のオフセット値算出方法。
14. 前記選定工程において、前記第２のデータのばらつきに基づき前記不適正部品装着部が選定される、請求項９から１２のいずれかに記載のオフセット値算出方法。
15. 前記第３のオフセット値に基づき、前記不適正部品装着部によって基板に部品を装着させて、前記基板に装着された前記部品の状態に関する第４のデータを取得する第４のデータ取得工程を、さらに含み、
    前記装着精度算出工程において、前記第２のデータと前記第４のデータに基づき、前記複数の部品装着部の装着精度が算出される、請求項９から１４のいずれかに記載のオフセット値算出方法。
16. 部品を供給する部品供給部と、
    部品を保持する部品保持具をそれぞれ有し、前記部品供給部から部品を取り出して基板に装着する複数の部品装着部と、
    前記部品供給部と複数の前記部品装着部を制御し、複数の前記部品装着部のオフセット値に基づき基板に部品を装着させる制御部と、
    前記基板に装着された前記部品を撮像する撮像部と、
    前記撮像部による撮像結果から前記基板に装着された前記部品の状態に関するデータを抽出するデータ抽出部と、
    前記データ抽出部によって抽出されたデータに基づき、複数の前記部品装着部の装着精度を算出する装着精度算出部と、
    算出された前記装着精度が適正であるかを判断する判断部と、
    前記データ抽出部によって抽出されたデータに基づき、複数の前記部品装着部のオフセット値をそれぞれ算出するオフセット値算出部と、
    前記データ抽出部によって抽出されたデータに基づき、複数の前記部品装着部のうち前記オフセット値が適正ではない部品装着部である不適正部品装着部を選定する選定部と、を備え、
    前記判断部が、前記装着精度が適正ではないと判断すると、
    前記制御部は、前記不適正部品装着部によって基板に部品を装着させ、
    前記データ抽出部は、前記撮像部による撮像結果から前記不適正部品装着部によって前記基板に装着された前記部品の状態に関するデータを再抽出し、
    前記オフセット値算出部は、再抽出された前記データにも基づき、前記不適正部品装着部の前記オフセット値を再算出する、部品装着装置。
17. 前記制御部が、第１のオフセット値に基づき、複数の前記部品装着部によって基板に部品を装着させ、
    前記データ抽出部が、前記撮像部による撮像結果から前記基板に装着された前記部品の状態に関する第１のデータを抽出し、
    前記オフセット値算出部が、前記第１のデータに基づき、複数の前記部品装着部の第２のオフセット値をそれぞれ算出し、
    前記制御部が、前記第２のオフセット値に基づき、複数の前記部品装着部によって基板に部品を装着させ、
    前記データ抽出部が、前記撮像部による撮像結果から前記基板に装着された前記部品の状態に関する第２のデータを抽出し、
    前記装着精度算出が、前記第２のデータに基づき、前記装着精度を算出し、
    前記判断部が、前記装着精度が適正ではないと判断すると、
    前記制御部は、前記第２のオフセット値に基づき、前記第２のオフセット値が適正ではないとして選定された不適正部品装着部によって基板に部品を装着させ、
    前記データ抽出部は、前記撮像部による撮像結果から前記不適正部品装着部によって前記基板に装着された前記部品の状態に関する第３のデータを抽出し、
    前記オフセット値算出部は、少なくとも前記第３のデータに基づき、前記不適正部品装着部の第３のオフセット値を算出する、請求項１６に記載の部品装着装置。
18. 複数の前記部品装着部は、軸芯を中心に部品を回転させて基板に装着可能であって、
    前記制御部は、複数の前記部品装着部によって前記部品保持具を複数の異なる所定の回転角度に回転させ、前記部品供給部から部品を取り出して基板に装着させ、
    前記データ抽出部は、前記撮像部による撮像結果から回転させた前記部品保持具により前記基板に装着された前記部品の状態に関するデータを抽出する、請求項１６または１７に記載の部品装着装置。
19. 前記選定部は、前記回転角度毎の前記データに基づき前記オフセット値が適正であるかを判断して前記不適正部品装着部を選定し、
    前記制御部は、前記不適正部品装着部によって前記オフセット値が適正ではないと判断された回転角度に部品を回転させて基板に装着させ、
    前記データ抽出部は、前記撮像部による撮像結果から前記不適正部品装着部によって前記基板に装着された前記部品の状態に関するデータを抽出する、請求項１８に記載の部品装着装置。

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