JP2022130533A - 調整可能/交換可能なエッジ結合リングのための検出システム - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2015年5月6日に出願された米国出願第14/705,430号の一部継続出願である2017年5月31日に出願された米国出願第15/609,570号に対する優先権を主張する。この出願は、2015年1月16日に出願された米国出願第14/598,943号の一部継続出願である。本出願は、これらの先行出願のすべての全体を、参照により組み込んでいる。
本発明は、たとえば、以下のような態様で実現することもできる。
適用例1:
基板処理システムであって、
第1の観測ポートを有する処理チャンバと、
前記処理チャンバに配置されたペデスタルと、
前記ペデスタルを囲むライナであって、少なくとも1つの開口部を有するライナと、
前記ペデスタルに隣接して配置されたエッジ結合リングであって、基板が前記ペデスタル上に配置された場合、前記基板の半径方向外側のエッジの外部かつ周りに位置する第1の部分を含むエッジ結合リングと、
前記エッジ結合リングのエッジ結合プロファイルを変更するために、前記エッジ結合リングの前記第1の部分を、(i)前記基板、および(ii)前記第1の部分の半径方向内側に配置された前記エッジ結合リングの第2の部分に対して、選択的に移動させるように構成されたアクチュエータであって、前記第1の部分の上面が前記基板の上面の上にある少なくとも1つの位置へ前記第1の部分を移動させるように構成されたアクチュエータと、
前記エッジ結合リングの状態を検出するように構成された検出器システムとを備え、前記検出器システムは、
前記第1の観測ポートを介して前記エッジ結合リングのプラズマに面する表面の画像データを取得するように構成されたカメラと、
前記画像データを受け取り、前記エッジ結合リングの前記プラズマに面する表面の状態および位置のうちの少なくとも1つを決定するように構成された第1のコントローラとを備えた、基板処理システム。
適用例2:
前記検出器システムはさらに、前記エッジ結合リングの前記画像データを取得するために、前記カメラのために光を提供するように構成された照明装置を備えた、適用例1の基板処理システム。
適用例3:
前記照明装置は、前記第1の観測ポートを介して光を提供する、適用例2の基板処理システム。
適用例4:
前記処理チャンバは第2の観測ポートを備え、前記照明装置は前記第2の観測ポートを介して光を提供する、適用例2の基板処理システム。
適用例5:
処理ガスおよびキャリアガスを前記処理チャンバへ供給するように構成されたガス供給システムと、
前記基板をエッチングするために、前記処理チャンバ内にプラズマを生成するように構成されたプラズマ生成器とをさらに備えた、適用例1の基板処理システム。
適用例6:
前記プラズマ生成器は、前記エッジ結合リングの前記画像データを取得するために、前記カメラのために光を提供する、適用例5の基板処理システム。
適用例7:
前記アクチュエータは、前記エッジ結合リングの前記プラズマに面する表面の浸食を示す状態に応じて、前記エッジ結合リングを、前記基板に対して垂直方向に移動させる、適用例1の基板処理システム。
適用例8:
前記アクチュエータは、前記エッジ結合リングのずれを示す状態に応じて、前記エッジ結合リングを、前記基板に対して水平方向に移動させる、適用例1の基板処理システム。
適用例9:
前記アクチュエータは、前記エッジ結合リングのずれを示す状態に応じて、前記エッジ結合リングの前記第1の部分を、前記基板に対して垂直方向に移動させる、適用例1の基板処理システム。
適用例10:
前記エッジ結合リングの前記第1の部分を選択的に移動させるように前記アクチュエータを制御するように、前記第1のコントローラに応答するように構成された第2のコントローラをさらに備えた、適用例1の基板処理システム。
適用例11:
前記第2のコントローラは、前記エッジ結合リングの十分な浸食の判定に応じて、前記エッジ結合リングの交換を有効にするように構成された、適用例10の基板処理システム。
適用例12:
前記カメラは、前記画像データを取得するために、前記エッジ結合リング上に照準される、適用例1の基板処理システム。
適用例13:
前記ペデスタル上に配置された静電チャック(ESC)をさらに備え、前記カメラは、前記画像データを取得するために、前記基板および前記ESCのうちの少なくとも1つへ照準される、適用例1の基板処理システム。
適用例14:
前記画像データは、前記ライナにおける前記少なくとも1つの開口部に対する前記エッジ結合リングの断面の画像データを含み、前記第1のコントローラは、前記エッジ結合リングの状態および位置のうちの少なくとも1つを決定するために、前記エッジ結合リングの前記断面と、前記少なくとも1つの開口部の上端との間の高さを計算する、適用例1の基板処理システム。
適用例15:
前記ライナは複数の開口部を有し、前記画像データは、前記ライナにおける前記複数の開口部に対する前記エッジ結合リングの前記断面の画像データを含み、前記第1のコントローラは、前記エッジ結合リングの前記断面と、前記複数の開口部の対応する上端との間の複数の高さを計算し、前記第1のコントローラは、前記エッジ結合リングの前記状態と前記位置とのうちの少なくとも1つを決定するために、前記複数の高さを比較する、適用例14の基板処理システム。
適用例16:
前記第1のコントローラは、前記エッジ結合リングの状態の検出に応じて、前記カメラの位置を調整する、適用例1の基板処理システム。
適用例17:
第1の観測ポートを有する処理チャンバと、前記処理チャンバに配置されたペデスタルと、前記ペデスタルを囲むライナであって、複数の開口部を有するライナと、前記ペデスタルに隣接して配置されたエッジ結合リングであって、前記ペデスタル上の基板の半径方向外側のエッジの外部かつ周りに配置された第1の部分を含むエッジ結合リングとを備えた基板処理システムにおいて、
前記エッジ結合リングの状態および位置のうちの1つまたは複数を検出するための検出器システムであって、前記検出器システムは、
前記第1の観測ポートを介して前記エッジ結合リングの画像データを取得するカメラと、
前記画像データを受け取り、前記エッジ結合リングのプラズマに面する表面の前記位置および前記状態および前記位置のうちの少なくとも1つを決定するコントローラとを備え、
前記画像データは、前記ライナにおける前記複数の開口部に対する前記エッジ結合リングの断面の画像データを含み、前記コントローラは、前記エッジ結合リングの前記断面と、前記複数の開口部の異なる上端との間の複数の高さを計算し、前記コントローラは、前記エッジ結合リングの前記状態と前記位置とのうちの少なくとも1つを決定するために、前記複数の高さを比較する、検出器システム。
適用例18:
前記基板処理システムはさらに、前記ペデスタル上に配置された静電チャック(ESC)を備え、前記カメラは、前記画像データを取得するために、前記基板および前記ESCのうちの1つへ照準される、適用例17の検出器システム。
適用例19:
基板処理システムにおけるエッジ結合リングの状態および位置のうちの少なくとも1つを決定するための方法であって、
前記エッジ結合リングの内側のエッジを識別することと、
固定基準に対する前記エッジ結合リングの画像データを取得することと、
前記エッジ結合リングが垂直方向に揃えられているか否かを判定するために、前記画像データを処理することと、
前記エッジ結合リングが垂直方向に揃えられていないとの判定に応じて、前記エッジ結合リングを垂直方向に調整することと、
前記エッジ結合リングの前記内側のエッジがあらかじめ定められた高さにあるか否かを判定することと、
前記エッジ結合リングの前記内側のエッジが前記あらかじめ定められた高さにないとの判定に応じて、前記エッジ結合リングが垂直方向に調整可能か否かを判定することと、
前記エッジ結合リングが垂直方向に調整可能であるとの判定に応じて、前記エッジ結合リングを垂直方向に調整することとを備えた、方法。
適用例20:
前記エッジ結合リングが垂直方向に調整可能でないとの判定に応じて、前記エッジ結合リングの交換を指示することをさらに備えた、適用例19の方法。
適用例21:
前記エッジ結合リングが垂直方向に調整可能か否かを判定することは、前記エッジ結合リングの前記基板処理システムへの設置から、あらかじめ定められた数の半導体処理サイクルがあったか否かを判定することを含む、適用例19の方法。
適用例22:
前記エッジ結合リングが垂直方向に調整可能か否かを判定することは、前記エッジ結合リングの半導体処理システムへの設置から、あらかじめ定められた時間長さを経過したか否かを判定することを含む、適用例19の方法。
適用例23:
前記エッジ結合リングが垂直方向に調整可能か否かを判定することは、前記エッジ結合リングが、その上限まで垂直方向に上昇されたか否かを判定することを含む、適用例19の方法。
適用例24:
前記エッジ結合リングを垂直方向に調整することは、前記エッジ結合リングの一部を、前記エッジ結合リングの別の部分に対して垂直方向に調整することを含む、適用例19の方法。
適用例25:
前記エッジ結合リングが水平方向に揃えられているか否かを判定することと、
前記エッジ結合リングが水平方向に揃えられていないとの判定に応じて、前記エッジ結合リングを水平方向に調整することとをさらに備えた、適用例19の方法。
適用例26:
前記エッジ結合リングを水平方向に調整することは、前記エッジ結合リングを、前記基板処理システムにおけるペデスタルに対して移動させることを含み、前記ペデスタル上に基板が配置された、適用例25の方法。
Claims (26)
- 基板処理システムであって、
第1の観測ポートを有する処理チャンバと、
前記処理チャンバに配置されたペデスタルと、
前記ペデスタルを囲むライナであって、少なくとも1つの開口部を有するライナと、
前記ペデスタルに隣接して配置されたエッジ結合リングであって、基板が前記ペデスタル上に配置された場合、前記基板の半径方向外側のエッジの外部かつ周りに位置する第1の部分を含むエッジ結合リングと、
前記エッジ結合リングのエッジ結合プロファイルを変更するために、前記エッジ結合リングの前記第1の部分を、(i)前記基板、および(ii)前記第1の部分の半径方向内側に配置された前記エッジ結合リングの第2の部分に対して、選択的に移動させるように構成されたアクチュエータであって、前記第1の部分の上面が前記基板の上面の上にある少なくとも1つの位置へ前記第1の部分を移動させるように構成されたアクチュエータと、
前記エッジ結合リングの状態を検出するように構成された検出器システムとを備え、前記検出器システムは、
前記第1の観測ポートを介して前記エッジ結合リングのプラズマに面する表面の画像データを取得するように構成されたカメラと、
前記画像データを受け取り、前記エッジ結合リングの前記プラズマに面する表面の状態および位置のうちの少なくとも1つを決定するように構成された第1のコントローラとを備えた、基板処理システム。 - 前記検出器システムはさらに、前記エッジ結合リングの前記画像データを取得するために、前記カメラのために光を提供するように構成された照明装置を備えた、請求項1に記載の基板処理システム。
- 前記照明装置は、前記第1の観測ポートを介して光を提供する、請求項2に記載の基板処理システム。
- 前記処理チャンバは第2の観測ポートを備え、前記照明装置は前記第2の観測ポートを介して光を提供する、請求項2に記載の基板処理システム。
- 処理ガスおよびキャリアガスを前記処理チャンバへ供給するように構成されたガス供給システムと、
前記基板をエッチングするために、前記処理チャンバ内にプラズマを生成するように構成されたプラズマ生成器とをさらに備えた、請求項1に記載の基板処理システム。 - 前記プラズマ生成器は、前記エッジ結合リングの前記画像データを取得するために、前記カメラのために光を提供する、請求項5に記載の基板処理システム。
- 前記アクチュエータは、前記エッジ結合リングの前記プラズマに面する表面の浸食を示す状態に応じて、前記エッジ結合リングを、前記基板に対して垂直方向に移動させる、請求項1に記載の基板処理システム。
- 前記アクチュエータは、前記エッジ結合リングのずれを示す状態に応じて、前記エッジ結合リングを、前記基板に対して水平方向に移動させる、請求項1に記載の基板処理システム。
- 前記アクチュエータは、前記エッジ結合リングのずれを示す状態に応じて、前記エッジ結合リングの前記第1の部分を、前記基板に対して垂直方向に移動させる、請求項1に記載の基板処理システム。
- 前記エッジ結合リングの前記第1の部分を選択的に移動させるように前記アクチュエータを制御するように、前記第1のコントローラに応答するように構成された第2のコントローラをさらに備えた、請求項1に記載の基板処理システム。
- 前記第2のコントローラは、前記エッジ結合リングの十分な浸食の判定に応じて、前記エッジ結合リングの交換を有効にするように構成された、請求項10に記載の基板処理システム。
- 前記カメラは、前記画像データを取得するために、前記エッジ結合リング上に照準される、請求項1に記載の基板処理システム。
- 前記ペデスタル上に配置された静電チャック(ESC)をさらに備え、前記カメラは、前記画像データを取得するために、前記基板および前記ESCのうちの少なくとも1つへ照準される、請求項1に記載の基板処理システム。
- 前記画像データは、前記ライナにおける前記少なくとも1つの開口部に対する前記エッジ結合リングの断面の画像データを含み、前記第1のコントローラは、前記エッジ結合リングの状態および位置のうちの少なくとも1つを決定するために、前記エッジ結合リングの前記断面と、前記少なくとも1つの開口部の上端との間の高さを計算する、請求項1に記載の基板処理システム。
- 前記ライナは複数の開口部を有し、前記画像データは、前記ライナにおける前記複数の開口部に対する前記エッジ結合リングの前記断面の画像データを含み、前記第1のコントローラは、前記エッジ結合リングの前記断面と、前記複数の開口部の対応する上端との間の複数の高さを計算し、前記第1のコントローラは、前記エッジ結合リングの前記状態と前記位置とのうちの少なくとも1つを決定するために、前記複数の高さを比較する、請求項14に記載の基板処理システム。
- 前記第1のコントローラは、前記エッジ結合リングの状態の検出に応じて、前記カメラの位置を調整する、請求項1に記載の基板処理システム。
- 第1の観測ポートを有する処理チャンバと、前記処理チャンバに配置されたペデスタルと、前記ペデスタルを囲むライナであって、複数の開口部を有するライナと、前記ペデスタルに隣接して配置されたエッジ結合リングであって、前記ペデスタル上の基板の半径方向外側のエッジの外部かつ周りに配置された第1の部分を含むエッジ結合リングとを備えた基板処理システムにおいて、
前記エッジ結合リングの状態および位置のうちの1つまたは複数を検出するための検出器システムであって、前記検出器システムは、
前記第1の観測ポートを介して前記エッジ結合リングの画像データを取得するカメラと、
前記画像データを受け取り、前記エッジ結合リングのプラズマに面する表面の前記位置および前記状態および前記位置のうちの少なくとも1つを決定するコントローラとを備え、
前記画像データは、前記ライナにおける前記複数の開口部に対する前記エッジ結合リングの断面の画像データを含み、前記コントローラは、前記エッジ結合リングの前記断面と、前記複数の開口部の異なる上端との間の複数の高さを計算し、前記コントローラは、前記エッジ結合リングの前記状態と前記位置とのうちの少なくとも1つを決定するために、前記複数の高さを比較する、検出器システム。 - 前記基板処理システムはさらに、前記ペデスタル上に配置された静電チャック(ESC)を備え、前記カメラは、前記画像データを取得するために、前記基板および前記ESCのうちの1つへ照準される、請求項17に記載の検出器システム。
- 基板処理システムにおけるエッジ結合リングの状態および位置のうちの少なくとも1つを決定するための方法であって、
前記エッジ結合リングの内側のエッジを識別することと、
固定基準に対する前記エッジ結合リングの画像データを取得することと、
前記エッジ結合リングが垂直方向に揃えられているか否かを判定するために、前記画像データを処理することと、
前記エッジ結合リングが垂直方向に揃えられていないとの判定に応じて、前記エッジ結合リングを垂直方向に調整することと、
前記エッジ結合リングの前記内側のエッジがあらかじめ定められた高さにあるか否かを判定することと、
前記エッジ結合リングの前記内側のエッジが前記あらかじめ定められた高さにないとの判定に応じて、前記エッジ結合リングが垂直方向に調整可能か否かを判定することと、
前記エッジ結合リングが垂直方向に調整可能であるとの判定に応じて、前記エッジ結合リングを垂直方向に調整することとを備えた、方法。 - 前記エッジ結合リングが垂直方向に調整可能でないとの判定に応じて、前記エッジ結合リングの交換を指示することをさらに備えた、請求項19に記載の方法。
- 前記エッジ結合リングが垂直方向に調整可能か否かを判定することは、前記エッジ結合リングの前記基板処理システムへの設置から、あらかじめ定められた数の半導体処理サイクルがあったか否かを判定することを含む、請求項19に記載の方法。
- 前記エッジ結合リングが垂直方向に調整可能か否かを判定することは、前記エッジ結合リングの半導体処理システムへの設置から、あらかじめ定められた時間長さを経過したか否かを判定することを含む、請求項19に記載の方法。
- 前記エッジ結合リングが垂直方向に調整可能か否かを判定することは、前記エッジ結合リングが、その上限まで垂直方向に上昇されたか否かを判定することを含む、請求項19に記載の方法。
- 前記エッジ結合リングを垂直方向に調整することは、前記エッジ結合リングの一部を、前記エッジ結合リングの別の部分に対して垂直方向に調整することを含む、請求項19に記載の方法。
- 前記エッジ結合リングが水平方向に揃えられているか否かを判定することと、
前記エッジ結合リングが水平方向に揃えられていないとの判定に応じて、前記エッジ結合リングを水平方向に調整することとをさらに備えた、請求項19に記載の方法。 - 前記エッジ結合リングを水平方向に調整することは、前記エッジ結合リングを、前記基板処理システムにおけるペデスタルに対して移動させることを含み、前記ペデスタル上に基板が配置された、請求項25に記載の方法。
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