JP2022117392A - 光周波数変調器 - Google Patents

Abstract

【課題】低コストで連続して所望の周波数の回折光を出射可能な光周波数変調器を提供する。【解決手段】回転軸Ｃを有し且つ回転軸Ｃに平行な方向に延びた円筒状の回転体３４Ｂであって、回転軸Ｃを中心として等速回転する回転体３４Ｂと、回転体３４Ｂの周面に複数形成され且つ回転軸Ｃに平行な複数の透過型回折格子４２Ｂであって、回転中の回転体３４Ｂの周面に入射した入射光（測定光Ｌ１）を周波数変調し、周波数変調した回折光（変調測定光Ｌ１Ａ）を出射する複数の透過型回折格子４２Ｂと、を備える。【選択図】図１０

Description

本発明は、光の周波数変調を行う光周波数変調器に関する。

光ヘテロダイン干渉計測法を用いて測定対象物までの距離及び測定対象物の変位を検出する計測装置が知られている。光ヘテロダイン干渉計測法では、周波数が異なる２種類の光の一方を測定光とすると共に他方を参照光として、測定対象物にて反射された測定光と、参照面にて反射された参照光との干渉信号を検出し、この干渉信号に基づき測定対象物までの距離及び測定対象物の変位を検出する（例えば特許文献１から特許文献３参照）。

光ヘテロダイン干渉計測法において、周波数が異なる測定光及び参照光を生成する方法としては、２種類の周波数の光を出射可能な光源を用いる方法と、光源から出射された光を測定光と参照光とに分割してその一方を光周波数変調器（周波数シフタともいう）により周波数変調する方法とが知られている。この際に、前者の方法では高価な光源を用いる必要があるので、コストの観点から後者の方法が採用される場合が多い。

光周波数変調器としては、振動子と、振動子の表面上に複数形成された回折格子と、を備えるものがよく知られている（例えば特許文献４参照）。この光周波数変調器は、振動中（往復移動中）の振動子の表面に入射した入射光を回折格子で反射して周波数変調（ドップラーシフト）し、周波数変調した回折光を測定光又は参照光として出射する。

特開２０２０－１０６２８４号公報 特開２０２０－０５６６５８号公報 特開平２－１６０２２１号公報 特開２０２０－１６５７００号公報

ところで、回折格子を用いて光の周波数変調を行う場合、回折格子を所定の一定速度で同方向に移動させる必要がある。この際に、上記特許文献４に記載の光周波数変調器では、振動子を振動させることで回折格子を移動させている。このため、振動子が振動方向の一方向に一定速度で移動している間は回折光を測定光等として利用可能であるが、振動子が振動方向の他方向（一方向とは逆方向）に移動している間は回折光の周波数が逆方向にシフトするため回折光を測定光等として利用することができない。また、特許文献４に記載の光周波数変調器は、振動子の振動方向が他方向から一方向に切り替わった場合であっても、振動子の移動速度が上述の一定速度に達するまでは回折光を測定光等として利用することができない。従って、特許文献４に記載の光周波数変調器は、所望の周波数の回折光を連続的に出射することができない。

そこで、光周波数変調器として例えば音響光学素子を用いることが考えられるが、音響光学素子を用いた光周波数変調器は、回折格子を用いた光周波数変調器よりも高価であるので、コストが増加するという問題がある。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、低コストで連続して所望の周波数の回折光を出射可能な光周波数変調器を提供することを目的とする。

本発明の目的を達成するための光周波数変調器は、回転軸を有し且つ回転軸に平行な方向に延びた円筒状の回転体であって、回転軸を中心として等速回転する回転体と、回転体の周面に複数形成され且つ回転軸に平行な複数の透過型回折格子であって、回転中の回転体の周面に入射した入射光を周波数変調し、周波数変調した回折光を出射する複数の透過型回折格子と、を備える。

この光周波数変調器によれば、各透過型回折格子を、回転軸を中心とする回転軌跡に沿って等速移動（等速回転）させることができるので、回転体に対する入射光の入射位置を各回折格子が等速度で且つ連続的に通過する状態が維持される。

本発明の他の態様に係る光周波数変調器において、透過型回折格子が、回転体の外周面から回転体の内部に入射する入射光を周波数変調する。

本発明の他の態様に係る光周波数変調器において、回転体の内部に配置された反射体であって、且つ回転体の外部から回転軸に沿って回転体の内部に入射した入射光を回転体の内周面に向けて反射する反射体を備え、透過型回折格子が、反射体から内周面に入射して回転体の外部に出射される入射光を周波数変調する。これにより、光学的に難しい調整を行うことなく最大光量の回折光が得られる。

本発明の他の態様に係る光周波数変調器において、回転体の回転速度及び回転方向を制御する駆動部を備える。

本発明は、低コストで連続して所望の周波数の回折光を出射することができる。

本発明の光周波数変調器を備える計測装置の概略図である。 第１実施形態の光周波数変調器の概略図である。 図２中の点線円Ａ内の拡大図である。 第１実施形態の回折格子の変形例を説明するための説明図である。 第２実施形態の光周波数変調器の概略図である。 第３実施形態の光周波数変調器の概略図である。 図６中の点線円Ａ１内の拡大図である。 第４実施形態の光周波数変調器の概略図である。 第５実施形態の光周波数変調器の回転体を回転軸の軸方向側から見た正面図である。 第５実施形態の光周波数変調器の回転体の断面図である。

［計測装置］
図１は、本発明の光周波数変調器１６を備える計測装置１０の概略図である。図１に示すように、計測装置１０は、光ヘテロダイン干渉計測法（光ヘテロダイン干渉計）を用いて測定対象物９までの距離及び測定対象物９の変位（微小変位を含む）を計測する。なお、測定対象物９には、計測装置１０による計測のために、コーナーキューブリフレクタ或いは３面ミラー等の再帰反射部材９ａが設けられている。

計測装置１０は、レーザ光源１２と、ハーフミラー１４と、光周波数変調器１６と、ハーフミラー１８と、受光部２０と、演算装置２２と、を備える。

レーザ光源１２は、所定の周波数（波長）のレーザ光Ｌをハーフミラー１４に向けて出射する。ハーフミラー１４は、レーザ光源１２から入射したレーザ光Ｌを同一周波数の測定光Ｌ１と参照光Ｌ２とに分割する。そして、ハーフミラー１４は、測定光Ｌ１を光周波数変調器１６に向けて出射すると共に参照光Ｌ２をハーフミラー１８に向けて出射する。

光周波数変調器１６は、詳しくは後述するが、ハーフミラー１４から入射した測定光Ｌ１をドップラーシフトにより周波数変調（周波数偏移）して、参照光Ｌ２とは周波数が異なる変調測定光Ｌ１Ａを出射する。なお、変調測定光Ｌ１Ａの周波数シフト量は、特に限定されず、光ヘテロダイン干渉計測法による計測が可能な一般的な値に設定されている。この光周波数変調器１６により周波数変調された変調測定光Ｌ１Ａは、再帰反射部材９ａに向けて出射され、さらに再帰反射部材９ａで再帰反射されることでハーフミラー１８に入射する。

ハーフミラー１８は、再帰反射部材９ａから入射した変調測定光Ｌ１Ａと、ハーフミラー１４から入射した参照光Ｌ２との干渉信号ＳＧ（ビート信号）を受光部２０へ出射する。

受光部２０は、公知のフォトダイオードなどが用いられ、ハーフミラー１４から入射した干渉信号ＳＧを検出（受光）して干渉信号ＳＧの検出信号を演算装置２２へ出力する。

演算装置２２は、受光部２０から入力された干渉信号ＳＧの検出信号に対して所定の演算処理を行い、計測装置１０から測定対象物９（再帰反射部材９ａ）までの距離を演算する。これにより、測定対象物９までの距離及び測定対象物９の変位を計測可能である。なお、演算装置２２が行う具体的な演算方法については公知技術であるので、ここでは具体的な説明は省略する。

以下、光周波数変調器１６の第１実施形態～第４実施形態の説明を行う。

［第１実施形態の光周波数変調器］
図２は、第１実施形態の光周波数変調器１６の概略図である。図３は、図２中の点線円Ａ内の拡大図である。図２及び図３に示すように、光周波数変調器１６は、測定光Ｌ１をドップラーシフトにより周波数変調して変調測定光Ｌ１Ａを出射する。この光周波数変調器１６は、第１ミラー３０と、第１レンズ３２と、回転体３４と、駆動部３６と、第２レンズ３８と、第２ミラー４０と、を備える。なお、光周波数変調器１６の中で回転体３４及び駆動部３６以外の構成については適宜変更可能である。

第１ミラー３０は、ハーフミラー１４から入射した測定光Ｌ１を、後述の回転中の回転体３４に向けて反射する。これにより、回転中の回転体３４の所定位置（入射位置Ｐ）に対して測定光Ｌ１（本発明の入射光に相当）が所定の入射角度で入射する。

第１レンズ３２は、第１ミラー３０と回転体３４との間の測定光Ｌ１の光路上に配置されており、ハーフミラー１４から入射した測定光Ｌ１を回転中の回転体３４に向けて出射する。

回転体３４は、回転軸Ｃを有し且つこの回転軸Ｃに対して平行な方向に延びた円柱体である。この回転体３４は、駆動部３６からの駆動力を受けて、回転軸Ｃを中心として回転する。

駆動部３６は、例えばモータ及びギヤ等で構成される公知のアクチュエータであり、回転体３４の回転方向及び回転速度を制御する。この駆動部３６は、回転軸Ｃを中心として回転体３４を一方向に等速回転させる。

回転体３４は、回転軸Ｃの軸周り方向（以下、単に軸周り方向と略す）に沿って形成された外周面３５（本発明の曲面に相当）を有する。この外周面３５には、回転軸Ｃに対して平行な回折格子４２が軸周り方向に沿って複数（等間隔）に形成されている。これにより、回転体３４の等速回転が継続している間、回転体３４に所定の入射角で入射する測定光Ｌ１の入射位置Ｐを、各回折格子４２が連続的に等速度で通過する。

各回折格子４２は、公知の反射型回折格子であるブレーズド回折格子である。入射位置Ｐを等速度で通過する回折格子４２に所定の入射角度で測定光Ｌ１が入射すると、この回折格子４２において鏡面反射された反射光ＬＲと、回折格子４２により反射されてドップラーシフト（周波数変調）された回折光（少なくとも１次回折光）と、が発生する。そして本実施形態では、１次回折光（図示しない２次回折光以降でも可）を変調測定光Ｌ１Ａとして用いる。なお、変調測定光Ｌ１Ａの出射角度、すなわち変調測定光Ｌ１Ａの周波数シフト量は任意であるので、所望の周波数シフト量に応じて、回転体３４の回転速度、回転体３４の回転方向、測定光Ｌ１の入射角度、回折格子４２のブレーズド角、及び回折格子４２のピッチなどが定められる。

第２レンズ３８は、回転体３４から出射された変調測定光Ｌ１Ａの光路上に配置され、この変調測定光Ｌ１Ａを第２ミラー４０に向けて出射する。第２ミラー４０は、第２レンズ３８から入射した変調測定光Ｌ１Ａを再帰反射部材９ａに向けて反射する。これにより、既述の図１に示したように、再帰反射部材９ａにて再帰反射された変調測定光Ｌ１Ａがハーフミラー１８に入射する。

以上のように本実施形態の光周波数変調器１６では、円柱状の回転体３４の外周面３５に軸周り方向に沿って複数の回折格子４２を形成することによって、この回転体３４を等速回転させるだけで、各回折格子４２を、回転軸Ｃを中心とする回転軌跡に沿って等速移動（等速回転）させることができる。このため、回転体３４の回転開始時及び回転停止時を除いた等速回転中は、入射位置Ｐを各回折格子４２が等速度で且つ連続的に通過する状態が維持される。これにより、高価な音響光学素子を用いることなく、回転体３４からの所望の周波数の変調測定光Ｌ１Ａの出射を途切れることなく連続的に行うことができる。その結果、低コストで所望の周波数の変調測定光Ｌ１Ａ（回折光）の出射を連続して行うことができる。

（回折格子の変形例）
図４は、第１実施形態の回折格子４２の変形例を説明するための説明図である。上記第１実施形態では、反射型の回折格子４２としてブレーズド回折格子を例に挙げて説明したが、例えば図４に示すように、回転体３４の外周面３５をガラス等で形成すると共に、この外周面３５に回転軸Ｃに平行な溝３５ａを軸周り方向に沿って複数形成することで、反射型の回折格子４２Ａを形成してもよい。すなわち外周面３５に形成する反射型回折格子の種類は特に限定されるものではない。

[第２実施形態]
図５は、第２実施形態の光周波数変調器１６の概略図である。図５に示すように、第２実施形態の光周波数変調器１６は、回転体３４の代わりに回転体３４Ａを備える点を除けば上記第１実施形態の光周波数変調器１６と基本的に同じ構成であるので、上記第１実施形態と機能又は構成上同一のものについては同一符号を付してその説明は省略する。

第２実施形態の回転体３４Ａは、回転軸Ｃに対して平行な方向に延びた円筒体であり、駆動部３６からの駆動力を受けて回転軸Ｃを中心として等速回転する。この回転体３４Ａは、第１実施形態と同様の外周面３５及び複数の回折格子４２（回折格子４２Ａでも可）を有している。このため、第１実施形態と同様に各回折格子４２を、回転軸Ｃを中心とする回転軌跡に沿って等速移動（等速回転）させられる。その結果、第２実施形態の光周波数変調器１６についても第１実施形態と同様の効果が得られる。

［第３実施形態］
図６は、第３実施形態の光周波数変調器１６の概略図である。図７は、図６中の点線円Ａ１内の拡大図である。上記各実施形態では回転体３４，３４Ａの外周面３５に反射型の回折格子４２，４２Ａを形成しているが、図６及び図７に示すように第３実施形態では、回転体３４Ｂの外周面３５又は内周面３７（或いは双方）に透過型の回折格子４２Ｂを複数形成している。なお、第３実施形態の光周波数変調器１６は、回転体３４Ｂ及び回折格子４２Ｂを備える点を除けば上記各実施形態の光周波数変調器１６と基本的に同じ構成であるので、上記各実施形態と機能又は構成上同一のものについては同一符号を付してその説明は省略する。

第３実施形態の回転体３４Ｂは、第２実施形態の回転体３４Ａと同様の円筒体であり、駆動部３６からの駆動力を受けて回転軸Ｃを中心として等速回転する。この回転体３４Ｂの外周面３５には、軸周り方向に沿って透過型の回折格子４２Ｂが複数形成されている。

各回折格子４２Ｂは、回転軸Ｃに平行な複数のスリット３５ｂ（ガラス等の光透過部でも可）により構成されており、外周面３５（内周面３７）に軸周り方向に沿って所定ピッチで複数形成されている。なお、透過型の回折格子４２Ｂは、図６及び図７に示したものに限定されず、公知の各種形状のもの（例えば透過型ブレーズド回折格子、刻線など）を代わりに用いてもよい。上記各実施形態と同様に、入射位置Ｐを等速度で通過する回折格子４２Ｂに所定の入射角度で測定光Ｌ１が入射すると、この回折格子４２Ｂを透過してドップラーシフトされた回折光（少なくとも１次回折光）である変調測定光Ｌ１Ａが回転体３４Ｂの内部に出射される。そして、この変調測定光Ｌ１Ａを、不図示の複数のミラー、プリズム、レンズ等の光学部材を介して、回転体３４Ｂの内部から再帰反射部材９ａまで導く。

このように第３実施形態においても、回転体３４Ｂからの所望の周波数の変調測定光Ｌ１Ａの出射を途切れることなく連続的に行うことができるので、上記各実施形態と同様の効果が得られる。

［第４実施形態］
図８は、第４実施形態の光周波数変調器１６の概略図である。上記各実施形態では、光周波数変調器１６が円柱状又は円筒状の回転体３４，３４Ａ，３４Ｂを備えているが、図８に示すように第４実施形態の光周波数変調器１６は、非円柱状・非円筒状の回転体３４Ｃを備える。なお、第４実施形態の光周波数変調器１６は、回転体３４Ｃを備える点を除けば上記各実施形態の光周波数変調器１６と基本的に同じ構成であるので、上記各実施形態と機能又は構成上同一のものについては同一符号を付してその説明は省略する。

回転体３４Ｃは、回転軸Ｃに対して平行な方向に延びた半円柱体（半円筒体でも可）であり、回転軸Ｃの軸方向側（図８の紙面垂直方向側）から見て、回転軸Ｃを中心とする円周の一部を構成する曲面５０（外周面）を有する。そして、この回転体３４Ｃは、駆動部３６からの駆動力を受けて回転軸Ｃを中心として等速回転する。

曲面５０には、軸周り方向に沿って複数の回折格子４２（回折格子４２Ａでも可）が形成されている。なお、回転体３４Ｃが半円筒形状に形成されている場合には、反射型の回折格子４２，４２Ａの代わりに第３実施形態と同様の透過型の回折格子４２Ｂを形成してもよい。これにより、回転体３４Ｃの回転に応じて、入射位置Ｐを回折格子４２が等速度で且つ連続的に通過する間、回転体３４Ｃからの所望の周波数の変調測定光Ｌ１Ａの出射を途切れることなく連続的に行うことができる。その結果、第４実施形態では、光周波数変調器１６から所望の周波数の変調測定光Ｌ１Ａ（パルス光）を出射することができる。

なお、上記第４実施形態では、回転体３４Ｃが半円柱体（半円筒体）に形成されているが、四半円柱体（四半円筒体）等の回転軸Ｃを中心とする円周の一部を構成する曲面（外周面）を有する形状であれば特に限定はされない。

［第５実施形態］
図９は、第５実施形態の光周波数変調器１６の回転体３４Ｂを回転軸Ｃの軸方向側から見た正面図（上面図、側面図）である。図１０は、第５実施形態の光周波数変調器１６の回転体３４Ｂの断面図である。

上記第３実施形態では、回転体３４Ｂに透過型の回折格子４２Ｂを複数形成し、回転体３４Ｂの外周面３５側から回転体３４の内部に入射する測定光Ｌ１を各回折格子４２Ｂによって周波数変調している。これに対して第５実施形態では、回転体３４Ｂの内周面３７側から回転体３４の外部に出射される測定光Ｌ１を各回折格子４２Ｂによって周波数変調する。

図９及び図１０に示すように、第５実施形態の光周波数変調器１６は、回転体３４Ｂの外部から回転軸Ｃに沿って回転体３４Ｂの内部に測定光Ｌ１が入射し、且つ回転体３４Ｂの内部に反射体５４が固定配置されている点を除けば、上記第３実施形態の光周波数変調器１６と基本的に同じ構成である。このため、上記第３実施形態と機能又は構成上同一のものについては同一符号を付してその説明は省略する。

反射体５４は、例えばミラー（反射鏡）或いはペンタプリズムなどが用いられ、回転体３４Ｂの内部の回転軸Ｃ上において軸周り方向に回転不能に配置（固定配置）されている。反射体５４は、回転体３４Ｂの外部から回転軸Ｃに沿って回転体３４Ｂの内部に入射した測定光Ｌ１を直角に反射して、この測定光Ｌ１を回転体３４Ｂの内周面３７に入射させる。なお、反射体５４による測定光Ｌ１の反射方向は、この測定光Ｌ１を内周面３７に入射可能であれば適宜変更してもよい。

第５実施形態の各回折格子４２Ｂは、上記第３実施形態の各回折格子４２Ｂと同様に、回転体３４Ｂの外周面３５又は内周面３７（或いは双方）に形成された透過型回折格子であり、スリット３５ｂ（図７参照）、透過型ブレーズド回折格子、刻線などが用いられる。各回折格子４２Ｂは、回転体３４Ｂの回転中に反射体５４から内周面３７に入射した測定光Ｌ１を周波数変調する。これにより、周波数変調された変調測定光Ｌ１Ａが回転体３４Ｂの外部に出射される。

このように第５実施形態の光周波数変調器１６では、回転体３４Ｂの内部に反射体５４を配置して回転体３４Ｂの内部から外部に向けて測定光Ｌ１を透過させながら、この測定光Ｌ１を各回折格子４２Ｂにより周波数変調することで、光学的に難しい調整を行うことなく最大光量の変調測定光Ｌ１Ａが得られる。

例えば円柱状又は円筒状の回転体３４の外周面３５に反射型の回折格子４２が形成されている上記第１実施形態及び第２実施形態の光周波数変調器１６で最大光量の変調測定光Ｌ１Ａを出力するためには、回折格子４２に入射する測定光Ｌ１の入射角度の角度調整と、回折格子４２のブレーズド角の角度調整と、の２種類の角度調整が必要となる。また、回折格子４２がブレーズド回折格子である場合には、回折格子４２に対して測定光Ｌ１が斜めに入射することで変調測定光Ｌ１Ａ（回折光）が拡散し易くなるため、既述の図１に示したように測定光Ｌ１の光路上に第１レンズ３２を配置し且つ変調測定光Ｌ１Ａの光路上に第２レンズ３８を配置する必要がある。さらにこの場合には、第１レンズ３２の光軸を測定光Ｌ１の光路に平行に調整し且つ第２レンズ３８の光軸を変調測定光Ｌ１Ａの光路に平行に調整する必要がある。

また例えば、円板と、この円板の中心軸を中心とする同一円周上に沿って複数形成された透過型回折格子と、を有する単純な透過型の光周波数変調器（特開２００４－２８７０２９号公報の図２参照）では、円板（透過型回折格子）に対して垂直に測定光Ｌ１を入射させた場合に最大光量の変調測定光Ｌ１Ａ（０次回折光）が同方向に得られる。しかしながら、この場合においても円板に対する測定光Ｌ１の入射角度の調整と、円板の角度調整とを含む２種類の角度調整が必要になる。

これに対して第５実施形態の光周波数変調器１６では、反射体５４の角度調整のみで測定光Ｌ１を内周面３７（回折格子４２Ｂ）に垂直入射させて最大光量の変調測定光Ｌ１Ａを出力可能である。また、測定光Ｌ１が正確に回転軸Ｃに沿って回転体３４Ｂの内部に入射する場合には、反射体５４の反射面の角度も回転軸Ｃに対して４５度に定まる。その結果、光学的に難しい調整を行うことなく最大光量の変調測定光Ｌ１Ａが得られる。さらに、反射体５４としてペンタプリズムのような光を９０度屈折可能な光学素子を用いた場合には、反射体５４の角度調整はより容易になる。さらにまた、第１レンズ３２及び第２レンズ３８の配置に関しても、ブレーズド回折格子を用いた場合に比べて変調測定光Ｌ１Ａ（回折光）の出射方向が計算し易いので、配置（位置）調整が容易になる。

［その他］
上記各実施形態では、光周波数変調器１６により測定光Ｌ１を周波数変調しているが、参照光Ｌ２を周波数変調してもよい。

上記各実施形態では、光ヘテロダイン干渉計測法を用いて測定対象物９までの距離及び測定対象物９の変位を計測する計測装置１０に用いられる光周波数変調器１６を例に挙げて説明したが、各種用途で用いられる光周波数変調器に本発明を適用可能である。

９ 測定対象物
９ａ 再帰反射部材
１０ 計測装置
１２ レーザ光源
１４ ハーフミラー
１６ 光周波数変調器
１８ ハーフミラー
２０ 受光部
２２ 演算装置
３０ 第１ミラー
３２ 第１レンズ
３４，３４Ａ～３４Ｃ 回転体
３５ 外周面
３５ａ 溝
３５ｂ スリット
３６ 駆動部
３７ 内周面
３８ 第２レンズ
４０ 第２ミラー
４２，４２Ａ，４２Ｂ 回折格子
５０ 曲面
５４ 反射体
Ｃ 回転軸
Ｌ レーザ光
Ｌ１ 測定光
Ｌ１Ａ 変調測定光
Ｌ２ 参照光
ＬＲ 反射光
Ｐ 入射位置
ＳＧ 干渉信号

Claims (4)

1. 回転軸を有し且つ前記回転軸に平行な方向に延びた円筒状の回転体であって、前記回転軸を中心として等速回転する回転体と、
   前記回転体の周面に複数形成され且つ前記回転軸に平行な複数の透過型回折格子であって、回転中の前記回転体の前記周面に入射した入射光を周波数変調し、周波数変調した回折光を出射する複数の透過型回折格子と、
   を備える光周波数変調器。
2. 前記透過型回折格子が、前記回転体の外周面から前記回転体の内部に入射する前記入射光を周波数変調する請求項１に記載の光周波数変調器。
3. 前記回転体の内部に配置された反射体であって、且つ前記回転体の外部から前記回転軸に沿って前記回転体の内部に入射した前記入射光を前記回転体の内周面に向けて反射する反射体を備え、
   前記透過型回折格子が、前記反射体から前記内周面に入射して前記回転体の外部に出射される前記入射光を周波数変調する請求項１に記載の光周波数変調器。
4. 前記回転体の回転速度及び回転方向を制御する駆動部を備える請求項１から３のいずれか１項に記載の光周波数変調器。

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