JP2022100165A - 寸法測定装置及び寸法測定方法 - Google Patents

Abstract

【課題】検査対象の寸法、特に、その側面を含む寸法を正確に測定する。
【解決手段】本発明に係る寸法測定装置（１）は、少なくとも検査対象（２）の対向する２つの側面（２Ｂ、２Ｂ’）を照明し、照明光の中心軸と、検査対象（２）の上面が、撮像部（１１）から遠ざかる方向に角度Ａを有し、角度Ａは、０．０５度以上、３０度以下であり、照明部（１１）で照明された検査対象（２）で反射した光を、光学系（１７）で集光し、集光された光を、検査対象（２）の上面に対向して配置された撮像部（１１）で撮像し、撮像部（１１）で撮像された検査対象（２）の画像に基づき、検査対象（２）の寸法を算出する。
【選択図】図３

Description

本発明は、工業部品等、精密な形状を必要とする検査対象の寸法を測定する寸法測定装置、及び、寸法測定方法に関する。

工業部品等の分野においては、製造された工業部品が適正であるか否かを検査するため、光学系を使用した検査装置が用いられている。特許文献１には、光学系を使用して、測定対象の形状を測定する形状測定装置が開示されている。

特開２０１４－１０６０９４号公報

特許文献１に示される形状測定装置のみならず、検査対象の各種寸法が適正であるか否かを検査する寸法測定装置も知られている。従来、光学的に検査対象の寸法を測定する寸法測定装置では、その検査対象は比較的薄い板状のものであった。このような寸法測定装置では、落射照明を使用し画像を取り込み、取り込んだ画像に基づいて寸法を測定していた。

近年、鉄、合金、樹脂等、各種素材を使用した工業部品について、高い寸法精度が求められることがある。この場合、工業部品の寸法を精度良く測定することが必要となる。しかしながら、前述した落射照明を使用する寸法測定装置では、正確な測定ができない場合があった。

そのため、本発明に係る寸法測定装置は、以下に記載する第１の構成を採用するものである。
対向する２つの側面を有する検査対象の寸法を測定する寸法測定装置であって、
撮像部と、光学系と、照明部と、処理部とを備え、
前記撮像部は、前記検査対象の上面に対向して配置され、
前記光学系は、前記照明部で照明された前記検査対象で反射した光を前記撮像部に集光し、
前記照明部は、少なくとも前記検査対象の対向する２つの側面を照明し、照明光の中心軸と、前記検査対象の上面が、前記撮像部から遠ざかる方向に角度Ａを有し、
前記角度Ａは、０．０５度以上、３０度以下であり、
前記処理部は、前記撮像部で撮像された前記検査対象の画像に基づき、前記検査対象の寸法を算出する。

さらに本発明に係る寸法測定装置（第２の構成）は、第１の構成において、
前記光学系は、テレセントリック光学系である。

さらに本発明に係る寸法測定装置（第３の構成）は、第２の構成において、
前記光学系の被写界深度は、少なくとも検査対象の厚さの１／７以上有する。

さらに本発明に係る寸法測定装置（第４の構成）は、第１から第２の構成の何れか１つの構成において、
前記照明部は、その中心軸が、前記検査対象の上面を照明しないように配置されている。

さらに本発明に係る寸法測定装置（第５の構成）は、第１から第４の構成の何れか１つの構成において、
前記角度Ａは、０．１度以上、２０度以下である。

さらに本発明に係る寸法測定装置（第６の構成）は、第１から第５の構成の何れか１つの構成において、
前記処理部は、前記撮像された検査対象で生じた輝線の輝度分布に基づき、エッジ測定点列を決定し、当該エッジ測定点列に基づいて前記検査対象の寸法を算出する。

また、本発明に係る寸法測定方法（第７の構成）は、
対向する２つの側面を有する検査対象の寸法を測定する寸法測定方法であって、
少なくとも前記検査対象の対向する２つの側面を照明し、照明光の中心軸と、前記検査対象の上面が、前記撮像部から遠ざかる方向に角度Ａを有し、
前記角度Ａは、０．０５度以上、３０度以下であり、
前記照明部で照明された前記検査対象で反射した光を、光学系で集光し、集光された光を、前記検査対象の上面に対向して配置された撮像部で撮像し、
前記撮像部で撮像された検査対象の画像に基づき、前記検査対象の寸法を算出する。

本発明に係る寸法測定装置、寸法測定方法によれば、対向する２つの側面を有する検査対象の寸法を正確に測定することが可能となる。

本実施形態における検査対象、及び、検査対象の実装を説明するための図 落射照明を使用した寸法測定装置を示す図 本実施形態に係る寸法測定装置を示す図 本実施形態に係る寸法測定装置における検査対象設置の様子を示す上面図 本実施形態に係る寸法測定装置の照明角度を説明するための図 ミー散乱を説明するための模式図 本実施形態に係る寸法測定装置の撮像模式図、及び、輝度分布を示す図 本実施形態の異物検査装置の撮影構成を説明するための側面図 本実施形態に係る寸法検査工程を示すフロー図 他の実施形態に係る寸法測定装置における検査対象設置の様子を示す上面図

図１は、本実施形態における検査対象２、及び、検査対象２の実装を説明するための図である。本実施形態の検査対象２は、電動機（モーター）に用いられる金属製の工業部品である。検査対象２は、幅Ｗ、高さＨ、長さＬを有する角中形状である。本実施形態の対象とする検査対象２は、幅１５ｍｍ、高さ１０ｍｍ、長さ７０ｍｍである。

検査対象２が製品で使用される場合、図１に示されるように固定対象３に設けられた嵌合空間３ａに嵌められる。嵌合空間の寸法は、幅Ｗｍ、高さＨｍ、長さＬｍとなっており、検査対象の幅Ｗ、高さＨ、長さＬと、略同じ長さに設定されている。検査対象２が、嵌合空間３ａにぴったりとはまることで、電動機における本来の性能を生じることが可能となる。

しかしながら、検査対象２と嵌合空間３ａの嵌まり具合は非常にシビアであり、数マイクロメートルの精度が必要とされている。検査対象２が嵌合空間３ａよりも大きい場合、嵌合空間３ａに嵌まらない、あるいは、検査対象２あるいは嵌合空間３ａを破損してしまうことが考えられる。

本実施形態ではこのような事情を考慮し、検査対象２の各種寸法（幅Ｗ、高さＨ、長さＬ）を精度よく、迅速に測定することを１つの目的としている。

図２は、落射照明を使用した寸法測定装置１を示す図である。各種、寸法の測定には、図２に示されるような落射照明を使用した寸法測定装置１が用いられる。出願人は、当初、この落射照明による寸法測定装置１を使用し、検査対象２の寸法測定を行った。

図２に示される寸法測定装置１は、照明部１３、ハーフミラー１４、結像レンズ系１２、撮像部１１、台座１５を有して構成されている。台座１５の上には検査対象２が載置される。なお、結像レンズ系１２は、図に示されるように１枚のレンズで構成するのみならず、複数枚のレンズを組み合わせたものであってもよい。図２の例では、側面２Ｂ、２Ｂ’間の寸法（幅Ｗ）を測定することを想定している。また、各側面２Ｂ、２Ｂ’には、寸法超過の原因となる側面突起２Ｃ、２Ｃ’が存在していることを想定している。

照明部１３から照射された光は、ハーフミラー１４で反射され、検査対象２を照明する（照明光路（Ｌ１、Ｌ３）。検査対象の上面２Ａの縁で反射した光（照明光路Ｌ１’、Ｌ３’）は、結像レンズ系１２で集光され、撮像部１１で撮像される。ここで、結像レンズ系１２には、単焦点を使用している。また、撮像部１１には、ＣＣＤカメラを使用している。

図１の検査対象２には、その側面２Ｂ、２Ｂ’に側面突起２Ｃ、２Ｃ’が生じている場合を想定している。撮像部１１側から検査対象２を眺めた場合、このような側面突起２Ｃ、２Ｃ’についても観察されることになる。照明部１３からハーフミラー１４で反射した光（照明光路Ｌ２、Ｌ４）は、側面突起２Ｃ、２Ｃ’で反射され（照明光路Ｌ２’、Ｌ４’）、結像レンズ系１２を通過後、撮像部１１で撮像されるはずである。しかしながら、図１の落射照明による寸法測定装置１では、高さ方向（Ｚ軸方向）に存在する側面突起２Ｃ、２Ｃ’を上手く撮像することができず、側面２Ｂ、２Ｂ’間の寸法を正確に測定することができなかった。特に、側面突起２Ｃ、２Ｃ’の存在を見逃してしまうことは、寸法測定の目的にそぐわないものとなってしまう。

このような状況を鑑み、出願人は、新たな照明方法を使用した寸法測定装置１を開発し、側面突起２Ｃ、２Ｃ’を含む寸法の測定を行うことを可能とした。

図３は、本実施形態に係る寸法測定装置１を示す図である。図３では、図１で説明した検査対象２の幅Ｗの寸法を図るための構成が示されている。寸法測定装置１は照明部１８ａ、１８ｂ、結像レンズ系１７、撮像部１１、台座１５、スペーサ１６を有して構成されている。

検査対象の幅Ｗを測定するために設けられた照明部１８ａ、１８ｂは、検査対象２の側面２Ｂ、２Ｂ’に向き合って配置され、検査対象２の側面２Ｂ’、２Ｂ’を照明する。検査対象２は、台座１５上に設けられたスペーサ１６上に載置されている。本実施形態では検査対象２の寸法をより正確に測定するため、スペーサ１６の幅は、検査対象２の幅Ｗよりも小さく設定されており、検査対象２の側面２Ｂ、２Ｂ’は、スペーサ１６よりもはみ出して位置させている。なお、スペーサ１６と台座１５は、一体で形成することとしてもよい。また、スペーサ１６は、検査対象２を吸着するための孔が１または複数設けられており、計測時、検査対象２を吸着することで、検査対象２をしっかり固定するとともに、その位置決めを正確なものにしている。

図３の検査対象２は、図２と同様に検査対象２の両側面２Ｂ、２Ｂ’に側面突起２Ｃ、２Ｃ’が生じたものを想定している。照明部１８ａから射出された照明光Ｌ５は、検査対象２の上面２Ａの縁で反射し、照明光路Ｌ３となって結像レンズ系１７に入射し、撮像部１１で撮像される。一方、側面２Ｂ’において、上面２Ａよりもはみ出した側面突起２Ｃ’については、照明部１８ａから射出された照明光Ｌ５は、側面突起２Ｃ’で反射され、照明光路Ｌ４として撮像部１１で撮像される。

本実施形態で使用する結像レンズ系１２（本発明における「光学系」に相当。）は、単焦点、テレセントリックのどちらであってもよい。単焦点の場合、その焦点は、例えば、検査対象２の表面２Ａに位置される。また、テレセントリックの場合も、例えば、その焦点は、検査対象２の表面２Ａに位置される。更に、その被写界深度は、Ｚ軸方向における検査対象２の高さの１／７以上、設けることが、側面２Ｂ、２Ｂ’に生じた側面突起２Ｃ、２Ｃ’の検出、すなわち、精度の高い寸法測定のために有益である。

図４は、本実施形態に係る寸法測定装置１における検査対象２の設置の様子を示す上面図である。図３の寸法測定装置１では、幅Ｗ方向の寸法測定のための構成を説明したが、本実施形態では、幅Ｗ方向の寸法測定のための照明部１８ａ、１８ｂの他、長さＬの寸法測定のための照明部１８ｃ、１８ｄが設けられている。照明部１８ａ、１８ｂから検査対象２までは距離Ｅが、照明部１８ｃ、１８ｄから検査対象２までは距離Ｆが設けられている。距離Ｅ、距離Ｆは、対面する検査対象２の側面を十分に証明できる距離であれば、適宜に設定することが可能である。

また、本実施形態の照明部１８ａ～１８ｄは、対向して配置された検査対象２の側面（例えば、側面２Ｂ、２Ｂ’）を照明する。本実施形態の照明部１８ａ～１８ｄは、砲弾型のＬＥＤを複数、平面上に配置した形態を使用しているが、照明部１８ａ～１８ｄの形態は、各種採用することが可能である。本実施形態では、砲弾型のＬＥＤから照射された光で、直接照明しているが、このような形態のみならず、照明部１８ａ～１８ｄに、レンズ等の光学系を設け、光学系で平行光に整えて照明することとしてもよい。

ここで、照明部１８ａ～１８ｄから照射される光の中心軸は、検査対象２の表面２Ａの延長面２ａ（表面２Ａが形成する面を含む面）を超えない、図３の場合、Ｚ軸方向において、撮像部１１側に位置しないようにすることが好ましい。延長面２ａを超えた場合、照明部１８ａ～１８ｄが、直接、検査対象２の表面２Ａを照明することになる。一方、超えないようにした場合、表面２Ａを照明することなく、側面２Ｂ、２Ｂ’等を照明することになる。したがって、撮像部１１で観察される画像は、側面２Ｂ、２Ｂ’等による輝線となって観察されることになる。

図５は、本実施形態に係る寸法測定装置の照明角度を説明するための図である。さらに本実施形態では、検査対象２に対する照明部１８ａ、１８ｂの照明角度に工夫を凝らし、側面突起２Ｃ、２Ｃ’の有効な検出、すなわち、寸法測定の精度向上を図っている。

図５（Ａ）は、照明部１８ａに対する検査対象２の角度を示した図である。なお、図示はしないが、反対の側面２Ｂについても同様の構成を有する。本実施形態では、砲弾型のＬＥＤを複数、配列した照明部１８ａ、１８ｂを使用している。このような砲弾型のＬＥＤでは、その軸方向が最も光の強度が強い指向性となる。したがって、使用するＬＥＤの軸方向が光の中心軸となる。本実施形態の照明部１８ａ、１８ｂは、少なくとも検査対象２の対向する２つの側面２Ｂ、２Ｂ’を照明し、照明光Ｌ５の中心軸と、検査対象２の上面２Ａのなす角度が撮像部１１から遠ざかる方向（図５の場合、Ｚ軸の負の方向）に角度Ａを有するように構成している。

図５（Ｂ）は、図５（Ａ）の破線丸印で囲われた検査対象２の角部分の拡大図である。本実施形態の検査対象２は、図５（Ｂ）に示されるように、側面２Ｂ‘は、表面２Ａの鉛直方向から僅かに角度Ｂを有している。これは、検査対象が、金型を使用して抜き出された工業部品であることを理由としている。本実施形態において、計測する寸法は、検査対象２の最大となる位置での寸法となる。したがって、側面２Ｂ’に生じた側面突起２Ｃ’は、正規の寸法の内側に入ることになる。一方、側面突起２Ｃ’’は、正規の寸法の外側に位置する。本実施形態では、寸法を測定することで、このような側面突起２Ｃ’’の検出を行うものである。

図５（Ａ）、図５（Ｂ）に示される角度Ａは、模式的に示したものであって、実際の角度とは異なって示されたものである。この角度Ａは、０．０５度以上、３０度以下とすることが好ましい。このような条件を満たすことで寸法測定の精度向上を図ることが可能となる。この角度Ａは０．１度以上、２０度以下とすることが、精度向上を更に図る上で好ましい。

図６はこのような角度Ａを設けたことによる精度向上を説明するための図であって、ミー散乱を説明するための模式図である。図６は、検査対象２の側面２Ｂ’に生じた側面突起２Ｃ’と、それに照射される照明光Ｌ５、及び、照明光Ｌ５による散乱光を示した模式図である。

微小粒子に光が照射されたした場合、微少粒子の大きさに応じて散乱の形態は異なることが知られている。微小粒子による散乱は、微少粒子の大きさと光の波長との関係によって大別され、微小粒子の大きさが光の波長の１／１０の場合、レーリー散乱を生じることが、また、微小粒子の大きさがそれ以上の場合、ミー散乱を生じることが知られている。本実施形態で検出対象となる異物は、ガラス基板の破片等であって、ミー散乱を生じる大きさの異物である。

図６は、ミー散乱を説明するための模式図であって、微小粒子（側面２Ｂ’に生じた微少な側面突起２Ｃ’）に照明光Ｌが照射されたときの散乱の様子を示す模式図である。散乱光は、Ｚ軸の正負方向それぞれに弧を描くように現れる。また、散乱光は、側面突起２Ｃ’の大きさよりも大きく観察されることになるため、散乱光を観察することで、検査対象２の側面に生じた側面突起２Ｃ’を効率よく検出することが可能となる。特に、照明光Ｌ５には、図５で説明した角度Ａを設けたことで、照明光Ｌ５のＺ成分が僅かに形成され、撮像分方向（Ｚ方向）への光の散乱量を十分なものとしている。

図７（Ａ）は、本実施形態に係る寸法測定装置の撮像画像の模式図であり、図７（Ｂ）は、位置Ａ１における輝線の輝度分布を示す図である。図７（Ｂ）は、図７（Ａ）の位置Ａ１における輝線の幅方向の輝度分布であって、図７（Ｂ）の横方向（距離）は、図７（Ａ）の縦方向に対応している。

本実施形態では、その照明方法により、図７（Ａ）に示されるように検査対象２の周囲が光った輝線として撮像される。本実施形態では、このような輝線の輝度分布を用い、検査対象２の寸法を測定することとしている。すなわち、位置Ａ１における輝度分布と、位置Ａ１に対応する位置Ａ２における輝度分布を使用し、検査対象２の幅Ｗが測定される。また、位置Ｂ１における輝度分布と、位置Ｂ１に対応する位置Ｂ２における輝度分布を使用し、検査対象２の長さＬが測定される。

では、検査対象２の寸法測定について説明を行う。図８は、検査対象２の寸法を測定するための模式図である。また、図９は、寸法検査工程を示すフロー図である。寸法検査工程においては、まず、図３で説明したように、スペーサ１６上に検査対象２を設置する（Ｓ１１）。

次に、照明部１８ａ～１８ｄを使用して、検査対象２の側面に照明光Ｌ５を照射開始する（Ｓ１２）。そして、撮像部１１による撮像が行われる（Ｓ１３）。そして、撮像部１１で撮像された撮像情報に基づき、寸法測定が行われる。まず、１つの方向（この例では、幅Ｗ方向）に対して寸法の測定、具体的には、図７（Ａ）に示されるように、Ａ１辺とＡ２の辺の間の距離、検査対象２の幅Ｗ方向について寸法測定が行われる。なお、この寸法測定は、撮像部１１で撮像された画像に基づき、各種情報処理装置（本発明の「処理部」に相当。）で実行される。

まず、測定位置を初期位置に設定する（Ｓ１４）。ここで、測定位置とは、図８に示されるように輝線に直行する直線である。図８の例では、図７（Ａ）に示されるＡ１側の辺のある位置を測定位置としている。そして、この測定位置についてＡ１エッジ点を決定する（Ｓ１５）。Ａ１エッジ点は輝線の山の側面を形成する２つの傾斜部分のうち形状の断面を意味するエッジ側傾斜の輝度分布に基づいて決定される。Ａ１波形であれば左側の傾斜波形となる。本実施形態では、左側の傾斜波形輝度分布の最小値、最大値の中間値を、この測定位置ＡのＡ１エッジ点とする。測定位置を辺Ａ１全体について行えば、辺Ａ１全体にわたるＡ１エッジ点を得る。このＡ１エッジ点の集まりをＡ１エッジ測定点列とする（Ｓ１５）。

次に、Ａ１エッジ測定点列を決定したのと同方法で、Ａ２エッジ測定点列を測定する。Ａ２エッジは右側の傾斜波形を用いて計測される。その計測点の集まりをＡ２エッジ測定点列とする（Ｓ１６）。

次に、Ａ１エッジ測定点列の最も左側の計測点と、Ａ２エッジ測定点列の最も右側の計測点から距離（例えば、幅Ｗ）を決定する（Ｓ１８）。測定した距離が閾値に適合しない場合、当該測定位置にエラーフラグを設定する（Ｓ２０）。すべての測定値を測定するまで（Ｓ２１：Ｙｅｓ）、測定位置を変更（Ｓ２２）しつつ、Ｓ１５～Ｓ２０までの処理が繰り返し実行される。

一方、全ての測定位置について測定を終えた場合（Ｓ２１：Ｙｅｓ）、両方の測定方向（本実施形態では、幅Ｗ方向と長さＬ方向）について測定を完了したか否かが判定される（Ｓ２３）。測定が終わってない場合（Ｓ２３：Ｎｏ）、測定方向を変更（Ｓ２４）し、Ｓ１４～Ｓ２１までの処理が繰り返し実行される。

両方向の測定方法の完了した場合（Ｓ２３：Ｙｅｓ）、測定結果が通知される（Ｓ２５）。結果は測定位置にエラーフラグが付いているか否か、そして、測定した距離等を含んで通知される。測定位置の１カ所でもエラーフラグが付されている場合、当該検査対象２は不合格（不良品）と判断される。なお、結果の通知は、検査対象の合否のみであってもよい。

以上、本実施形態の寸法測定装置１によれば、検査対象２の側を含む寸法を精度良く測定することが可能となる。したがって、検査対象２の側面に生じたわずかな側面突起を検出することが可能となり、検査対象２の製品上の適否を正確に判定することが可能となる。

（第１変型例）
図１０は、他の実施形態に係る寸法測定装置１における検査対象設置の様子を示す上面図である。図３、図４では検査対象２の幅Ｗ、長さＬを測定する形態について説明した。検査対象２は、図１で説明したように高さＨ方向を有し、その測定が必要になることがある。

検査対象２の高さＨについても寸法を測定することとしてもよい。図１０は、そのような形態を示すである。図１０（Ａ）は、図４と同様、検査対象２の幅Ｗと長さＨを測定する場合の上面図である。そして、図１０（Ｂ）のように、検査対象２の載置状態を変更し、照明部１８ｅ、１８ｆを用いて、検査対象２の高さＨについて寸法が測定される。図１０（Ａ）から図１０（Ｂ）の載置状態の変更は、ベルトコンベア等を使用して検査対象２を搬送し、異なる寸法測定装置１で測定することとしてもよい。あるいは、図１０（Ａ）において、検査対象２の載置方向を変更し、照明部１８ａ、１８ｂを使用して、図１０（Ｂ）と同様に照明を行い、検査対象２の高さＨについて測定することとしてもよい。

また、精度良く寸法測定を行うためには、検査対象２の全ての面（６面）を上面に配置して寸法測定を行うようにしてもよい。１つの寸法（例えば、幅Ｗ）について、２回、測定することになるが、異なる方向から測定することで、側面突起の検出洩れ等を抑制し、検出精度の向上を図ることが可能となる。

（第２変型例）
前述した実施形態では、図１で説明したように、略角柱形状を有する検査対象２の寸法を測定することととしていた。検査対象２の形状は、このような形状のみならず、対向する２つの面を有する形状あれば、本実施形態の寸法測定装置１を使用し、検査対象２の各種寸法を測定することが可能である。またその対向する面は、必ずしも互いに平行ではなく、傾斜していても構わない。

なお、本発明はこれらの実施形態のみに限られるものではなく、それぞれの実施形態の構成を適宜組み合わせて構成した実施形態も本発明の範疇となるものである。

１：寸法測定装置
２：検査対象
２Ａ：上面
２Ｂ、２Ｂ’：側面
２Ｃ、２Ｃ’：側面突起
３：固定対象
３ａ：嵌合空間
１１：撮像部
１２：結像レンズ系
１３：照明部
１４：ハーフミラー
１５：台座
１６：スペーサ
１７：結像レンズ系
１８ａ～１８ｆ：照明部

Claims (7)

1. 対向する２つの側面を有する検査対象の寸法を測定する寸法測定装置であって、
   撮像部と、光学系と、照明部と、処理部とを備え、
   前記撮像部は、前記検査対象の上面に対向して配置され、
   前記光学系は、前記照明部で照明された前記検査対象で反射した光を前記撮像部に集光し、
   前記照明部は、少なくとも前記検査対象の対向する２つの側面を照明し、照明光の中心軸と、前記検査対象の上面が、前記撮像部から遠ざかる方向に角度Ａを有し、
   前記角度Ａは、０．０５度以上、３０度以下であり、
   前記処理部は、前記撮像部で撮像された前記検査対象の画像に基づき、前記検査対象の寸法を算出する
   寸法測定装置。
2. 前記光学系は、テレセントリックの光学系である
   請求項１に記載の寸法測定装置。
3. 前記光学系の被写界深度は、少なくとも検査対象の厚さの１／７以上有する
   請求項２に記載の寸法測定装置。
4. 前記照明部は、その中心軸が、前記検査対象の上面を照明しないように配置されている
   請求項１に記載の寸法測定装置。
5. 前記角度Ａは、０．１度以上、２０度以下である
   請求項１に記載の寸法測定装置。
6. 前記処理部は、前記撮像された検査対象で生じた輝線の輝度分布に基づき、エッジ測定点列を決定し、当該エッジ測定点列に基づいて前記検査対象の寸法を算出する
   請求項１に記載の寸法測定装置。
7. 対向する２つの側面を有する検査対象の寸法を測定する寸法測定方法であって、
   少なくとも前記検査対象の対向する２つの側面を照明し、照明光の中心軸と、前記検査対象の上面が、前記撮像部から遠ざかる方向に角度Ａを有し、
   前記角度Ａは、０．０５以上、３０度以下であり、
   前記照明部で照明された前記検査対象で反射した光を、光学系で集光し、
   集光された光を、前記検査対象の上面に対向して配置された撮像部で撮像し、
   前記撮像部で撮像された検査対象の画像に基づき、前記検査対象の寸法を算出する
   寸法測定方法。

Images