JP2022095576A - 合成石英ガラスの調製方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(1)少なくとも1つの有機ケイ素出発化合物を含む原料を蒸発させ、原料蒸気を形成する工程、
(2)工程(1)からの前記原料蒸気を反応部に供給し、前記原料蒸気を酸素の存在下において火炎中で燃焼させ、酸化により及び/又は加水分解によりSiO2スート粒子に変換する工程、
(3)工程(2)により生じた前記SiO2スート粒子を堆積表面上に堆積させてスート体を形成する工程、及び、
(4)必要に応じて、工程(3)により生じた前記スート体を乾燥及びガラス化し、合成石英ガラスを形成する工程。
t成長時間 = t開始-終了 ケイ素含有出発化合物の供給
工程(1)において、少なくとも1つの有機ケイ素出発化合物を含む原料を気化させて、原料蒸気を形成する。有機ケイ素出発化合物は、好ましくは、ポリアルキルシロキサン化合物である。
SipOp(R)2p
で表されるポリアルキルシロキサンである。ここで、pは3以上の整数であり、基「R」はアルキル基であり、最も単純な場合はメチル基である。
工程(2)では、工程(1)で得られたガス状の原料蒸気を反応部に供給し、原料蒸気を酸化及び/又は加水分解することによりSiO2粒子に変換させる。
工程(3)では、工程(2)で生じたSiO2粒子を堆積表面に堆積させる。この工程の設計は、専門家の技能と知識の範囲内である。
工程(4)では、必要に応じて、工程(3)により生じたSiO2粒子を乾燥させ、ガラス化することにより、合成石英ガラスを形成する。この工程は、先に行われた工程がスートプロセスに従って行われた場合に特に必要となる。この工程の設計は、当業者の技能と知識の範囲内である。
(a)少なくとも1つの有機ケイ素出発化合物を含む少なくとも1つの原料を蒸発させて原料蒸気を形成するための、少なくとも1つの蒸発器部であって、該蒸発器部は、蒸発ユニットを具備するものと、
(b)工程(a)による前記原料蒸気が供給され、前記原料が熱分解又は加水分解によってSiO2粒子に変換される少なくとも1つの反応部であって、バーナーを含む前記反応部と、
(c)前記反応部(b)により生じたSiO2粒子を堆積させて合成石英ガラスを形成する少なくとも1つの堆積部であって、スート体からなる前記堆積部。
1:内側のノズル、
2:中間のノズル、及び、
3:外側のノズル。
Claims (13)
- (1)少なくとも1つの有機ケイ素出発化合物を含む原料を蒸発させ、原料蒸気;材料を形成する工程と、
(2)工程(1)からの前記原料蒸気を反応部に供給し、前記原料蒸気を酸素の存在下において火炎中で燃焼させ、酸化により及び/又は加水分解によりSiO2スート粒子に変換する工程と、
(3)工程(2)により生じた前記SiO2スート粒子を堆積表面上に堆積させてスート体を形成する工程と、
(4)必要に応じて、工程(3)により生じた前記SiO2粒子を乾燥及びガラス化し、合成石英ガラスを形成する工程と
を有する合成石英ガラスの製造方法であって、
工程(3)において、前記SiO2スート粒子の堆積表面が、前記スート体の成長時間の少なくとも50%の間、バーナーから離れて位置し、ターゲットレス火炎の発光強度の最大値の位置と、(バーナーから見て)前記最大値より後方の位置で前記火炎の水平方向の積分された発光強度が前記最大値の少なくとも2/3となる位置の間に存在することを特徴とする合成石英ガラスの製造方法。 - 工程(2)で用いる能動的に供給されるバーナーガスが、空気数1以下であることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 工程(2)で用いる能動的に供給されるバーナーガスが、空気数0.85以下であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の方法。
- 工程(2)で用いる能動的に供給されるバーナーガスが、空気数0.76以下であることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の方法。
- 前記工程(2)は、同心円状の断面を有するバーナーによって行われ、該同心円状の断面の内部において、前記原料蒸気が酸素と共に供給混合体としてバーナー火炎に導入され、前記供給混合体が分離ガスによって酸素含有燃料ガスから分離されることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の方法。
- 前記有機ケイ素出発化合物が、ヘキサメチルシクロトリシロキサン(D3)、オクタメチルシクロテトラシロキサン(D4)、デカメチルシクロペンタシロキサン(D5)、デカメチルシクロヘキサシロキサン(D6)、テトラデカメチルシクロヘプタシロキサン(D7)、ヘキサデカメチルシクロオクタシロキサン(D8)、それらの鎖状同族体及びこれらの化合物の任意の混合物から選択されることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の方法。
- 前記有機ケイ素出発化合物は、オクタメチルシクロテトラシロキサン(D4)であることを特徴とする請求項6に記載の方法。
- (a)少なくとも1つの有機ケイ素出発化合物を含む少なくとも1つの原料を蒸発させて原料蒸気を形成するための、少なくとも1つの蒸発器部であって、該蒸発器部は、蒸発ユニットを具備するものと、
(b)前記蒸発器部(a)から前記原料蒸気が供給され、前記原料が熱分解又は加水分解によってSiO2粒子に変換される少なくとも1つの反応部であって、火炎を有するバーナーを含む前記反応部と、
(c)前記反応部(b)により生じたSiO2粒子を堆積させて合成石英ガラスを形成する少なくとも1つの堆積部であって、スート体からなる前記堆積部と
を具備する合成石英ガラスの製造装置であって、
前記反応部(b)において、前記スート体の表面からのバーナーの距離を変化させることができ、ターゲットの無い同じガス流量で操作される参照火炎の発光強度の最大値の位置(高さ)と前記火炎の水平方向の積分された発光強度(それぞれの高さにおける火炎幅全体)が(バーナーから見て)前記最大値の後方となる前記火炎の水平方向の積分された発光強度の最大値の少なくとも2/3である点の間に広がる火炎(=バーナー距離)の範囲に前記スート体の表面が位置するように少なくとも調整することが可能であることを特徴とする合成石英ガラスの製造装置。 - 前記装置は、1以下の空気数で操作されるバーナーを具備することを特徴とする請求項8に記載の装置。
- 前記装置は、0.85以下の空気数で操作されるバーナーを具備することを特徴とする請求項8又は請求項9に記載の装置。
- 前記装置は、0.76以下の空気数で操作されるバーナーを具備することを特徴とする請求項8から請求項10のいずれか1項に記載の装置。
- 前記バーナーは同心円状の断面を有し、該同心円状の断面の内部で前記原料蒸気が酸素とともに供給混合体として前記バーナー火炎に導入され、該供給混合体は分離ガスによって酸素含有燃料ガスと分離されるものであることを特徴とする請求項8から請求項11のいずれか1項に記載の装置。
- 合成石英ガラスを製造するための請求項8から請求項12のいずれか1項に記載の装置の使用。
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