JP2022095385A - Gas measuring system - Google Patents
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Abstract
Description
本開示は、ガス測定システムに関する。 The present disclosure relates to a gas measurement system.
特許文献１には、クリーンルーム等の作業空間に供給される混合ガス中の成分ガス数と同数の検出器を用いて各成分ガスの濃度を測定する方法が開示される。
作業空間に配置されるガスセンサによるガス濃度の測定値は、作業空間の実際のガス濃度と乖離する場合がある。特に、ガス濃度が変化する条件下では、ガスセンサの測定値の変化が実際のガス濃度の変化に追従できず、その結果、ガスセンサによるガス濃度の測定値が実際のガス濃度の値を示すのに時間を要してしまう。 The measured value of the gas concentration by the gas sensor arranged in the work space may deviate from the actual gas concentration in the work space. In particular, under conditions where the gas concentration changes, the change in the measured value of the gas sensor cannot follow the change in the actual gas concentration, and as a result, the measured value of the gas concentration by the gas sensor indicates the actual gas concentration value. It takes time.
本開示の目的は、対象空間のガスに含まれる実際の特性成分の濃度に対する、ガスセンサの測定値の追従性を向上させることにある。 An object of the present disclosure is to improve the followability of the measured value of the gas sensor to the concentration of the actual characteristic component contained in the gas in the target space.
第１の態様は、
対象空間（S）のガスに含まれる特定成分の濃度を測定するガス測定システムであって、
供給された前記ガスに含まれる前記特定成分の濃度を測定する複数のガスセンサ（11,12）と、
前記ガスセンサ（11,12）に前記ガスを供給する第１状態と、前記ガスセンサ（11,12）に前記ガスを供給しない第２状態とを交互に切り換える第１動作を行う制御装置（60）とを備え、
前記制御装置（60）は、
前記第１動作において、前記対象空間（S）のガスに含まれる特定成分の濃度が連続して測定されるように、前記第１状態になる１つの前記ガスセンサ（11,12）を順に切り換える。
The first aspect is
A gas measurement system that measures the concentration of a specific component contained in the gas in the target space (S).
A plurality of gas sensors (11,12) for measuring the concentration of the specific component contained in the supplied gas, and
A control device (60) that performs a first operation of alternately switching between a first state in which the gas is supplied to the gas sensor (11,12) and a second state in which the gas is not supplied to the gas sensor (11,12). Equipped with
The control device (60) is
In the first operation, one gas sensor (11, 12) in the first state is sequentially switched so that the concentration of the specific component contained in the gas in the target space (S) is continuously measured.
第１の態様では、第１状態のガスセンサ（11,12）は、対象空間（S）のガスに含まれる特定成分の濃度を測定する。第１動作によって、ガスセンサ（11,12）が第１状態から第２状態に切り換わると、該ガスセンサ（11，12）には該ガスが供給されなくなるため、測定値が低下する。このことにより、第１動作が実行されて、第２状態から第１状態になったガスセンサ（11,12）は、測定値が比較的低い状態から特定成分の濃度を測定できる。従って、例えば、第１状態のガスセンサ（11，12）の測定値が実際の濃度からずれてその差が大きくなったと推定された時、第２状態の他のガスセンサ（11，12）を第１状態にして該ガスセンサ（11，12）の測定値を読み取ることで、実際の対象空間（S）の特定成分の濃度に比較的近い測定値を把握できる。このように、第１状態になる１つのガスセンサ（11,12）を順に切り換えることで、実際の対象空間（S）の特定成分の濃度の変化に対するガスセンサ（11,12）の測定値の追従性を向上できる。 In the first aspect, the gas sensor (11,12) in the first state measures the concentration of a specific component contained in the gas in the target space (S). When the gas sensor (11,12) is switched from the first state to the second state by the first operation, the gas is not supplied to the gas sensor (11,12), so that the measured value is lowered. As a result, the gas sensor (11,12) from the second state to the first state after the first operation is executed can measure the concentration of the specific component from the state where the measured value is relatively low. Therefore, for example, when it is estimated that the measured value of the gas sensor (11, 12) in the first state deviates from the actual concentration and the difference becomes large, the other gas sensor (11, 12) in the second state is first used. By reading the measured value of the gas sensor (11, 12) in the state, the measured value relatively close to the concentration of the specific component in the actual target space (S) can be grasped. In this way, by switching one gas sensor (11,12) in the first state in order, the followability of the measured value of the gas sensor (11,12) to the change in the concentration of the specific component in the actual target space (S). Can be improved.
第２の態様は、第１の態様において、
前記制御装置（60）は、
前記第２状態になっている前記ガスセンサ（11,12）に対して大気を供給する第２動作を行う。
The second aspect is, in the first aspect,
The control device (60) is
The second operation of supplying the atmosphere to the gas sensors (11, 12) in the second state is performed.
第２の態様では、第２状態のガスセンサ（11,12）に大気を供給することによってガスセンサ（11,12）の測定値を速やかに大気に含まれる特定成分の濃度にまで調節できる。 In the second aspect, by supplying the atmosphere to the gas sensor (11,12) in the second state, the measured value of the gas sensor (11,12) can be rapidly adjusted to the concentration of the specific component contained in the atmosphere.
第３の態様は、第２の態様において、
前記対象空間（S）の前記ガスの特定成分の濃度を低下させる第１機構（21）を有し、
前記制御装置（60）は、該第１機構（21）の作動中に前記第１動作と前記第２動作とを実行する。
The third aspect is, in the second aspect,
It has a first mechanism (21) that reduces the concentration of a specific component of the gas in the target space (S).
The control device (60) executes the first operation and the second operation while the first mechanism (21) is operating.
第３の態様では、第１機構（21）が作動中に、第１動作および第２動作を連続して実行することにより、ガスの特定成分の濃度が低下する条件下においても、ガスセンサ（11,12）の測定値は、実際の対象空間（S）の特定成分の濃度に比較的近い値を示すことができる。 In the third aspect, the gas sensor (11) is operated even under the condition that the concentration of a specific component of the gas is lowered by continuously executing the first operation and the second operation while the first mechanism (21) is operating. , 12) can show a value relatively close to the concentration of the specific component in the actual target space (S).
第４の態様は、第１～第３の態様のいずれか１つにおいて、
前記制御装置（60）は、所定の時間が経過するごとに第１動作を実行する。
The fourth aspect is in any one of the first to third aspects.
The control device (60) executes the first operation every time a predetermined time elapses.
第４の態様では、所定の時間が経過するごとに第１動作を実行できる。このことで、所定の時間を設定することによって簡便にガスに含まれる特定成分の濃度を測定できる。 In the fourth aspect, the first operation can be executed every time a predetermined time elapses. This makes it possible to easily measure the concentration of a specific component contained in the gas by setting a predetermined time.
第５の態様は、第１～４の態様のいずれか１つにおいて、前記特定成分は、過酸化水素である。 In a fifth aspect, in any one of the first to fourth aspects, the specific component is hydrogen peroxide.
第５の態様では、ガスセンサ（11,12）は、実際の対象空間（S）の過酸化水素濃度に比較的近い測定値を示すことができる。 In the fifth aspect, the gas sensor (11,12) can show a measured value relatively close to the hydrogen peroxide concentration in the actual target space (S).
以下、本実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。図４～図６、図１１および図１２に示す太矢印は空気の流れを示す。 Hereinafter, this embodiment will be described with reference to the drawings. It should be noted that the following embodiments are essentially preferred examples and are not intended to limit the scope of the present invention, its applications, or its uses. The thick arrows shown in FIGS. 4 to 6, 11 and 12 indicate the air flow.
《実施形態》
〈ガス測定システム全体構成〉
図１に示すように、実施形態のガス測定システム（1）は、医薬品の製造等が行われるクリーンルームに適用される。クリーンルームの室内（S）は、無菌環境が要求されるため、定期的に室内を殺菌する殺菌用のガスが供給される。殺菌用のガスは、高濃度の過酸化水素ガスである。
<< Embodiment >>
<Overall configuration of gas measurement system>
As shown in FIG. 1, the gas measurement system (1) of the embodiment is applied to a clean room where pharmaceutical products are manufactured or the like. Since the room (S) of the clean room is required to have a sterile environment, sterilizing gas for sterilizing the room is periodically supplied. The sterilizing gas is a high-concentration hydrogen peroxide gas.
実施形態のガス測定システム（1）は、クリーンルームの室内（S）の空気に含まれる過酸化水素の濃度を測定する。クリーンルームの室内（S）は、本開示の対象空間（S）である。室内（S）の空気は、本開示のガスである。過酸化水素は、本開示の特定成分である。 The gas measurement system (1) of the embodiment measures the concentration of hydrogen peroxide contained in the air in the room (S) of the clean room. The room (S) of the clean room is the target space (S) of the present disclosure. The air in the room (S) is the gas of the present disclosure. Hydrogen peroxide is a particular component of the present disclosure.
クリーンルームの天井面には、供給口（26）と還気口（22）とが設けられる。供給口（26）および還気口（22）は、循環機構（21）に接続される。詳細は後述するが、循環機構（21）は、過酸化水素ガスを生成すると共に、室内（S）の空気を循環させる。循環機構（21）により生成された過酸化水素ガスは、供給口（26）から室内（S）に供給される。室内（S）の空気は、還気口（22）に流入し、循環機構（21）を介して再び供給口（26）から室内（S）に流入する。 A supply port (26) and a return air port (22) are provided on the ceiling surface of the clean room. The supply port (26) and return air port (22) are connected to the circulation mechanism (21). Although the details will be described later, the circulation mechanism (21) generates hydrogen peroxide gas and circulates the air in the room (S). The hydrogen peroxide gas generated by the circulation mechanism (21) is supplied to the room (S) from the supply port (26). The air in the room (S) flows into the return air port (22), and again flows into the room (S) from the supply port (26) via the circulation mechanism (21).
クリーンルームの壁面には、吸込口（31）と吹出口（32）とが設けられる。吸込口（31）と吹出口（32）とは、後述する配管（L）を介して連通する。 A suction port (31) and an outlet (32) are provided on the wall surface of the clean room. The suction port (31) and the air outlet (32) communicate with each other via a pipe (L) described later.
クリーンルームの室内（S）には、室内ガスセンサ（13）が配置される。室内ガスセンサ（13）は、室内（S）の空気中の過酸化水素の濃度を測定する。 An indoor gas sensor (13) is arranged in the room (S) of the clean room. The indoor gas sensor (13) measures the concentration of hydrogen peroxide in the air in the room (S).
ガス測定システム（1）は、循環機構（21）、ガスセンサ（11,12）、切換弁（41～44）、配管（L1～L10）、ファン（51,52）、および制御装置（60）を有する。 The gas measurement system (1) includes a circulation mechanism (21), a gas sensor (11,12), a switching valve (41 to 44), a pipe (L1 to L10), a fan (51,52), and a control device (60). Have.
〈循環機構〉
循環機構（21）は、生成された過酸化水素ガスを室内（S）に供給する。具体的に、循環機構（21）は、空気通路（27）と、ガス生成器（23）と、循環ファン（28）とを有する。
<Circulation mechanism>
The circulation mechanism (21) supplies the generated hydrogen peroxide gas to the room (S). Specifically, the circulation mechanism (21) has an air passage (27), a gas generator (23), and a circulation fan (28).
空気通路（27）は、供給口（26）と還気口（22）とを連通する。具体的に、空気通路（27）の一端は、供給口（26）に接続する。空気通路（27）の他端は、還気口（22）に接続する。 The air passage (27) communicates the supply port (26) and the return air port (22). Specifically, one end of the air passage (27) is connected to the supply port (26). The other end of the air passage (27) is connected to the return air port (22).
循環ファン（28）は、空気通路（27）に設けられる。循環ファン（28）は、還気口（22）から供給口（26）に向けて空気通路（27）の空気を搬送する。 The circulation fan (28) is provided in the air passage (27). The circulation fan (28) conveys the air in the air passage (27) from the return air port (22) to the supply port (26).
ガス生成器（23）は、空気通路（27）の循環ファン（28）の上流側に配置される。ガス生成器（23）は、空気通路（27）内に過酸化水素ガスを生成する。生成された過酸化水素ガスは、循環ファン（28）によって、室内空間（S）に供給される。 The gas generator (23) is located upstream of the circulation fan (28) in the air passage (27). The gas generator (23) produces hydrogen peroxide gas in the air passage (27). The generated hydrogen peroxide gas is supplied to the interior space (S) by the circulation fan (28).
循環機構（21）はまた、本開示の第１機構（21）である。循環機構（21）は、室内（S）の空気に含まれる過酸化水素の濃度を低下させる。詳細は後述するが、循環機構（21）は、室内（S）に過酸化水素ガスを供給した後、ガス生成器（23）の運転を停止させた状態で、循環ファン（28）のみ運転する。このことで、室内（S）の空気は、還気口（22）に吸い込まれる。この吸い込まれた空気は供給口（26）から吹き出す。このように、循環機構（21）により室内（S）の空気は循環することで、空気中の過酸化水素は自然分解され、空気中の過酸化水素の濃度が低下する。過酸化水素濃度が、例えば１０ｐｐｍ以下の低濃度になると、室内（S）の空気は排気口（図示省略）から室外に排出されると共に、外気が給気口（図示省略）から室内（S）に供給される。 The circulation mechanism (21) is also the first mechanism (21) of the present disclosure. The circulation mechanism (21) reduces the concentration of hydrogen peroxide contained in the air in the room (S). Although the details will be described later, in the circulation mechanism (21), after supplying hydrogen peroxide gas to the room (S), only the circulation fan (28) is operated with the operation of the gas generator (23) stopped. .. As a result, the air in the room (S) is sucked into the return air port (22). This sucked air is blown out from the supply port (26). In this way, the circulation mechanism (21) circulates the air in the room (S), so that the hydrogen peroxide in the air is naturally decomposed and the concentration of hydrogen peroxide in the air decreases. When the hydrogen peroxide concentration becomes low, for example, 10 ppm or less, the air in the room (S) is discharged to the outside from the exhaust port (not shown), and the outside air is discharged from the air supply port (not shown) to the room (S). Is supplied to.
〈ガスセンサ〉
ガスセンサ（11,12）は、第１ガスセンサ（11）および第２ガスセンサ（12）を有する。第１ガスセンサ（11）および第２ガスセンサ（12）は、第１ガスセンサ（11）および第２ガスセンサ（12）は、室内（S）の空気に含まれる過酸化水素の濃度を測定する。具体的に、第１ガスセンサ（11）および第２ガスセンサ（12）は、供給口（26）から室内（S）に供給された過酸化水素ガスの過酸化水素の濃度を測定し、測定した濃度の値を後述する制御装置（60）に出力する。
<Gas sensor>
The gas sensor (11,12) has a first gas sensor (11) and a second gas sensor (12). The first gas sensor (11) and the second gas sensor (12) measure the concentration of hydrogen peroxide contained in the air in the room (S) by the first gas sensor (11) and the second gas sensor (12). Specifically, the first gas sensor (11) and the second gas sensor (12) measure the concentration of hydrogen peroxide in the hydrogen peroxide gas supplied from the supply port (26) to the room (S), and the measured concentration. The value of is output to the control device (60) described later.
〈切換弁〉
切換弁（41～44）は、第１～第４切換弁（41～44）を有する。第１～第４切換弁（41～44）は、三方切換弁である。第１～第４切換弁（41～44）は、第１ポート（P1）、第２ポート（P2）、および第３ポート（P3）有する。第１～第３ポート（P1～P3）には、配管（L）が接続される。
<Switching valve>
The switching valves (41 to 44) have first to fourth switching valves (41 to 44). The first to fourth switching valves (41 to 44) are three-way switching valves. The first to fourth switching valves (41 to 44) have a first port (P1), a second port (P2), and a third port (P3). Piping (L) is connected to the first to third ports (P1 to P3).
〈配管〉
配管（L）は、第１～第１０配管（L1～L10）を有する。第１配管（L1）の流入端は、吸込口（31）に接続される。第１配管（L1）の流出端は、第１切換弁（41）の第１ポート（P1）に接続される。
<Piping>
The pipe (L) has first to tenth pipes (L1 to L10). The inflow end of the first pipe (L1) is connected to the suction port (31). The outflow end of the first pipe (L1) is connected to the first port (P1) of the first switching valve (41).
第２配管（L2）の流入端は、第１切換弁（41）の第２ポート（P2）に接続される。第２配管（L2）の流出端は、第２切換弁（42）の第２ポート（P2）に接続される。第２配管（L2）には、第１ガスセンサ（11）が接続される。 The inflow end of the second pipe (L2) is connected to the second port (P2) of the first switching valve (41). The outflow end of the second pipe (L2) is connected to the second port (P2) of the second switching valve (42). The first gas sensor (11) is connected to the second pipe (L2).
第３配管（L3）の流入端は、第１配管（L1）の途中に接続される。第３配管（L3）の流出端は、第３切換弁（43）の第２ポート（P2）に接続される。 The inflow end of the third pipe (L3) is connected in the middle of the first pipe (L1). The outflow end of the third pipe (L3) is connected to the second port (P2) of the third switching valve (43).
第４配管（L4）の流入端は、室外に連通する。第４配管（L4）の流出端は、第３切換弁（43）の第１ポート（P1）に接続される。 The inflow end of the fourth pipe (L4) communicates with the outside. The outflow end of the fourth pipe (L4) is connected to the first port (P1) of the third switching valve (43).
第５配管（L5）の流入端は、第４配管（L4）の途中に接続される。第５配管（L5）の流出端は、第１切換弁（41）の第３ポート（P3）に接続される。 The inflow end of the fifth pipe (L5) is connected in the middle of the fourth pipe (L4). The outflow end of the fifth pipe (L5) is connected to the third port (P3) of the first switching valve (41).
第６配管（L6）の流入端は、第３切換弁（43）の第３ポート（P3）に接続される。第６配管（L6）の流出端は、第４切換弁（44）の第３ポート（P3）に接続される。第６配管（L6）には、第２ガスセンサ（12）が接続される。 The inflow end of the sixth pipe (L6) is connected to the third port (P3) of the third switching valve (43). The outflow end of the sixth pipe (L6) is connected to the third port (P3) of the fourth switching valve (44). A second gas sensor (12) is connected to the sixth pipe (L6).
第７配管（L7）の流入端は、第２切換弁（42）の第１ポート（P1）に接続される。第７配管（L7）の流出端は、吹出口（32）に接続される。 The inflow end of the seventh pipe (L7) is connected to the first port (P1) of the second switching valve (42). The outflow end of the seventh pipe (L7) is connected to the outlet (32).
第８配管（L8）の流入端は、第４切換弁（44）の第２ポート（P2）に接続される。第８配管（L8）の流出端は、第７配管（L7）の途中に接続される。 The inflow end of the eighth pipe (L8) is connected to the second port (P2) of the fourth switching valve (44). The outflow end of the eighth pipe (L8) is connected in the middle of the seventh pipe (L7).
第９配管（L9）の流入端は、第４切換弁（44）の第１ポート（P1）に接続される。第９配管（L9）の流出端は、室外に連通する。第９配管（L9）の途中には、触媒ユニット（55）が接続される。触媒ユニット（55）は、過酸化水素を分解する。 The inflow end of the ninth pipe (L9) is connected to the first port (P1) of the fourth switching valve (44). The outflow end of the ninth pipe (L9) communicates with the outside of the room. A catalyst unit (55) is connected in the middle of the ninth pipe (L9). The catalyst unit (55) decomposes hydrogen peroxide.
第１０配管（L10）の流入端は、第３切換弁（43）の第３ポート（P3）に接続される。第１０配管（L10）の流出端は、第９配管（L9）の途中に接続される。 The inflow end of the tenth pipe (L10) is connected to the third port (P3) of the third switching valve (43). The outflow end of the tenth pipe (L10) is connected in the middle of the ninth pipe (L9).
〈ファン〉
ファン（51,52）は、第１ファン（51）および第２ファン（52）を有する。第１ファン（51）は、第７配管（L7）における、第８配管（L8）の流入端の下流側に設けられる。第１ファン（51）は、配管（L）を流れる空気を吹出口（32）へ搬送する。第２ファン（52）は、第９配管（L9）における、第１０配管（L10）の流出端と触媒ユニット（55）との間に設けられる。第２ファン（52）は、配管（L）を流れる空気を室外へ搬送する。
<fan>
The fan (51,52) has a first fan (51) and a second fan (52). The first fan (51) is provided on the downstream side of the inflow end of the eighth pipe (L8) in the seventh pipe (L7). The first fan (51) conveys the air flowing through the pipe (L) to the outlet (32). The second fan (52) is provided between the outflow end of the tenth pipe (L10) and the catalyst unit (55) in the ninth pipe (L9). The second fan (52) conveys the air flowing through the pipe (L) to the outside of the room.
〈制御装置〉
図２に示すように、制御装置（60）は、マイクロコンピュータと、該マイクロコンピュータを動作させるためのソフトウエアを格納するメモリディバイス（具体的には半導体メモリ）とを有する。
<Control device>
As shown in FIG. 2, the control device (60) has a microcomputer and a memory device (specifically, a semiconductor memory) for storing software for operating the microcomputer.
制御装置（60）は、各種の機器およびセンサと有線または無線で接続される。制御装置（60）は、第１～第２ファン（52）、循環ファン（28）、ガス生成器（23）、および第１～第４切換弁（41～44）を制御する。制御装置（60）は、第１～第２ガスセンサ（11,12）から入力される信号に基づいて、第１～第４切換弁（41～44）を制御する。 The control device (60) is connected to various devices and sensors by wire or wirelessly. The control device (60) controls the first to second fans (52), the circulation fan (28), the gas generator (23), and the first to fourth switching valves (41 to 44). The control device (60) controls the first to fourth switching valves (41 to 44) based on the signals input from the first to second gas sensors (11, 12).
〈表示装置〉
ガス測定システム（1）は、表示装置（62）を有する。表示装置（62）は、第１ガスセンサ（11）の測定値と第２ガスセンサ（12）の測定値とを所定の時間おきに切り換えて表示する。測定値の表示の切り換えについては後述する。表示される測定値は、制御装置（60）に出力されて記憶されてもよい。
<Display device>
The gas measurement system (1) has a display device (62). The display device (62) switches and displays the measured value of the first gas sensor (11) and the measured value of the second gas sensor (12) at predetermined time intervals. Switching the display of the measured value will be described later. The displayed measured value may be output to the control device (60) and stored.
〈第１動作および第２動作〉
ガス測定システム（1）は、第１動作および第２動作を実行する。第１動作および第２動作による配管（L）の空気の流れについて、図３～図５を参照しながら説明する。
<First operation and second operation>
The gas measurement system (1) performs the first operation and the second operation. The air flow of the pipe (L) by the first operation and the second operation will be described with reference to FIGS. 3 to 5.
制御装置（60）は、循環機構（21）のガス生成器（23）と循環ファン（28）とを作動させて過酸化水素ガスを室内（S）に供給する。室内（S）に過酸化水素ガスが充満した後、制御装置（60）は、ガス生成器（23）を停止させ、循環ファン（28）のみ運転を継続する。このことで、室内（S）空気は循環して、過酸化水素の自然分解が促される。過酸化水素の自然分解により、室内（S）の空気中の過酸化水素濃度が低下する。制御装置（60）は、室内（S）の過酸化水素濃度が低下する過程において、第１動作と第２動作とを実行する。第１動作および第２動作において、制御装置（60）は、第１ファン（51）および第２ファン（52）を運転する。 The control device (60) operates the gas generator (23) and the circulation fan (28) of the circulation mechanism (21) to supply hydrogen peroxide gas to the room (S). After the room (S) is filled with hydrogen peroxide gas, the control device (60) stops the gas generator (23) and continues the operation of only the circulation fan (28). As a result, the indoor (S) air circulates and the natural decomposition of hydrogen peroxide is promoted. Due to the natural decomposition of hydrogen peroxide, the concentration of hydrogen peroxide in the air in the room (S) decreases. The control device (60) executes the first operation and the second operation in the process of lowering the hydrogen peroxide concentration in the room (S). In the first operation and the second operation, the control device (60) operates the first fan (51) and the second fan (52).
第１動作は、第１～第２ガスセンサ（11,12）について第１状態と第２状態とを交互に切り換える動作である。第１状態は、室内（S）の空気が第１～第２ガスセンサ（11,12）に供給される状態である。具体的に、第１状態では、室内（S）の過酸化水素を含む空気が第１～第２ガスセンサ（11,12）に供給される。第２状態は、室内（S）の空気が第１～第２ガスセンサ（11,12）に供給されない状態である。具体的に、第２状態では、室内（S）の過酸化水素を含む空気が第１～第２ガスセンサ（11,12）に供給されない。 The first operation is an operation of alternately switching between the first state and the second state of the first to second gas sensors (11, 12). The first state is a state in which the air in the room (S) is supplied to the first and second gas sensors (11, 12). Specifically, in the first state, air containing hydrogen peroxide in the room (S) is supplied to the first and second gas sensors (11, 12). The second state is a state in which the air in the room (S) is not supplied to the first and second gas sensors (11, 12). Specifically, in the second state, the air containing hydrogen peroxide in the room (S) is not supplied to the first and second gas sensors (11, 12).
第２動作は、第２状態の第１ガスセンサ（11）および第２状態の第２ガスセンサ（12）に対して大気である外気を供給する動作である。 The second operation is an operation of supplying outside air, which is the atmosphere, to the first gas sensor (11) in the second state and the second gas sensor (12) in the second state.
図３および図４に示すように、制御装置（60）は、時刻T1で、第１動作を実行して、第１ガスセンサ（11）を第１状態にし、第２ガスセンサ（12）を第２状態にする。制御装置（60）は、第２動作を実行して、第２状態の第２ガスセンサ（12）に外気を供給する。具体的に、制御装置（60）は、第１切換弁（41）および第２切換弁（42）の第１ポート（P1）と第２ポート（P2）とを連通させる。制御装置（60）は、第３切換弁（43）および第４切換弁（44）の第１ポート（P1）と第３ポート（P3）とを連通させる。 As shown in FIGS. 3 and 4, the control device (60) executes the first operation at time T1, puts the first gas sensor (11) in the first state, and puts the second gas sensor (12) in the second state. Put it in a state. The control device (60) executes the second operation to supply outside air to the second gas sensor (12) in the second state. Specifically, the control device (60) communicates the first port (P1) and the second port (P2) of the first switching valve (41) and the second switching valve (42). The control device (60) communicates the first port (P1) and the third port (P3) of the third switching valve (43) and the fourth switching valve (44).
これにより、吸込口（31）に吸い込まれた室内（S）の空気は、第１配管（L1）を流れた後、第２配管（L2）に流入する。第２配管（L2）の空気は、第１ガスセンサ（11）に供給される。室内（S）の空気が供給された第１ガスセンサ（11）は第１状態になる。第１ガスセンサ（11）を通過した空気は、第７配管（L7）を流れた後、吹出口（32）から室内（S）に吹き出される。第４配管（L4）に流入した外気は、第６配管（L6）に流入する。第６配管（L6）の外気は、第２ガスセンサ（12）に供給される。外気が供給された第２ガスセンサ（12）は第２状態になる。第２ガスセンサ（12）を通過した外気は、第９配管（L9）を流れて室外に排出される。 As a result, the air in the room (S) sucked into the suction port (31) flows into the second pipe (L2) after flowing through the first pipe (L1). The air in the second pipe (L2) is supplied to the first gas sensor (11). The first gas sensor (11) to which the air in the room (S) is supplied is in the first state. The air that has passed through the first gas sensor (11) flows through the seventh pipe (L7) and then is blown out from the outlet (32) into the room (S). The outside air that has flowed into the fourth pipe (L4) flows into the sixth pipe (L6). The outside air of the sixth pipe (L6) is supplied to the second gas sensor (12). The second gas sensor (12) to which the outside air is supplied is in the second state. The outside air that has passed through the second gas sensor (12) flows through the ninth pipe (L9) and is discharged to the outside of the room.
図３および図５に示すように、制御装置（60）は、時刻T2で、第２ガスセンサ（12）について第１動作を実行して、第１ガスセンサ（11）および第２ガスセンサ（12）を第１状態にする（この状態を以下「オーバーラップ状態」という）。具体的に、制御装置（60）は、第３切換弁（43）および第４切換弁（44）の第２ポート（P2）と第３ポート（P3）とを連通させる。 As shown in FIGS. 3 and 5, the control device (60) performs the first operation on the second gas sensor (12) at time T2 to press the first gas sensor (11) and the second gas sensor (12). Set to the first state (this state is hereinafter referred to as "overlap state"). Specifically, the control device (60) communicates the second port (P2) and the third port (P3) of the third switching valve (43) and the fourth switching valve (44).
このことで、第１配管（L1）の空気の一部は第３配管（L3）に分流し、第６配管（L6）を流れる。第６配管（L6）の空気は、第２ガスセンサ（12）に供給される。室内（S）の空気が供給された第２ガスセンサ（12）は第１状態になる。第２ガスセンサ（12）を通過した空気は、第８配管（L8）を流れた後、第７配管（L7）を流れる空気と合流して吹出口（32）から室内（S）に吹き出される。 As a result, a part of the air in the first pipe (L1) is diverted to the third pipe (L3) and flows through the sixth pipe (L6). The air in the sixth pipe (L6) is supplied to the second gas sensor (12). The second gas sensor (12) to which the air in the room (S) is supplied is in the first state. The air that has passed through the second gas sensor (12) flows through the eighth pipe (L8), then merges with the air flowing through the seventh pipe (L7), and is blown out from the outlet (32) into the room (S). ..
図３および図６に示すように、制御装置（60）は、時刻T3で、第１ガスセンサ（11）について第１動作および第２動作を実行して、第１ガスセンサ（11）を第２状態にし、第２ガスセンサ（12）を第１状態にする。具体的に、制御装置（60）は、第１切換弁（41）および第２切換弁（42）の第２ポート（P2）と第３ポート（P3）とを連通させる。 As shown in FIGS. 3 and 6, the control device (60) executes the first operation and the second operation for the first gas sensor (11) at time T3, and puts the first gas sensor (11) in the second state. And put the second gas sensor (12) in the first state. Specifically, the control device (60) communicates the second port (P2) and the third port (P3) of the first switching valve (41) and the second switching valve (42).
このことで、第４配管（L4）に流入した外気は、第５配管（L5）を流れた後、第２配管（L2）に流入する。第２配管（L2）の外気は、第１ガスセンサ（11）に供給される。外気が供給された第１ガスセンサ（11）は、第２状態になる。第１ガスセンサ（11）を通過した外気は、第１０配管（L10）に流入した後、第９配管（L9）を流れて室外に排出される。 As a result, the outside air that has flowed into the fourth pipe (L4) flows into the second pipe (L2) after flowing through the fifth pipe (L5). The outside air of the second pipe (L2) is supplied to the first gas sensor (11). The first gas sensor (11) to which the outside air is supplied is in the second state. The outside air that has passed through the first gas sensor (11) flows into the tenth pipe (L10), then flows through the ninth pipe (L9), and is discharged to the outside.
同様に、時刻T4で制御装置（60）は、第１ガスセンサ（11）について第１動作を実行して、オーバーラップ状態にする。その後時刻T5で、制御装置（60）は第２ガスセンサ（12）について第１動作および第２動作を実行して、第１ガスセンサ（11）を第１状態にし、第２ガスセンサ（12）を第２状態にする。 Similarly, at time T4, the control device (60) performs the first operation on the first gas sensor (11) to bring it into an overlapping state. After that, at time T5, the control device (60) executes the first operation and the second operation for the second gas sensor (12), puts the first gas sensor (11) in the first state, and puts the second gas sensor (12) in the first state. Put it in two states.
このように、制御装置（60）は、室内（S）の空気に含まれる過酸化水素が連続して測定されるように、第１ガスセンサ（11）および第２ガスセンサ（12）の一方が第２状態のとき他方が第１状態になるように切り換える。 As described above, in the control device (60), one of the first gas sensor (11) and the second gas sensor (12) is second so that the hydrogen peroxide contained in the air in the room (S) is continuously measured. When there are two states, switch so that the other is in the first state.
〈殺菌運転および過酸化水素濃度の測定〉
次に、室内（S）を殺菌運転と、ガス測定システム（1）による室内（S）の空気中の過酸化水素濃度の測定について、以下具体的に説明する。
<Sterilization operation and measurement of hydrogen peroxide concentration>
Next, the sterilization operation of the room (S) and the measurement of the hydrogen peroxide concentration in the air of the room (S) by the gas measurement system (1) will be specifically described below.
－殺菌運転－
図７に示すように、制御装置（60）は、殺菌運転を行う。殺菌運転では、供給工程、殺菌工程およびエアレーション工程が順次実行される。室内ガスセンサ（13）は、供給工程および殺菌工程における室内（S）の空気中の過酸化水素の濃度を測定する。
-Sterilization operation-
As shown in FIG. 7, the control device (60) performs a sterilization operation. In the sterilization operation, the supply process, the sterilization process, and the aeration process are sequentially executed. The indoor gas sensor (13) measures the concentration of hydrogen peroxide in the air of the room (S) in the supply process and the sterilization process.
時刻d1に供給工程が開始されると、制御装置（60）は、循環機構（21）を作動させて、室外で調製された過酸化水素ガスを室内（S）に供給する。室内（S）の過酸化水素ガスの濃度が所定値に達すると、殺菌工程が開始される（時刻d2）。 When the supply process is started at time d1, the control device (60) activates the circulation mechanism (21) to supply the hydrogen peroxide gas prepared outdoors to the room (S). When the concentration of hydrogen peroxide gas in the room (S) reaches a predetermined value, the sterilization step is started (time d2).
時刻d2に殺菌工程が開始されると、制御装置（60）は、室内（S）の過酸化水素濃度が一定に保たれるように循環機構（21）を制御する。殺菌工程は、時刻d3まで継続される。その後、エアレーション工程が開始される。 When the sterilization step is started at time d2, the control device (60) controls the circulation mechanism (21) so that the hydrogen peroxide concentration in the room (S) is kept constant. The sterilization process continues until time d3. After that, the aeration process is started.
時刻d3にエアレーション工程が開始されると、制御装置（60）は、ガス生成器（23）の運転を停止する。室内（S）の過酸化水素ガスを含む空気は、還気口（22）に吸い込まれ、供給口（26）から再び吹き出される。このように室内（S）の空気が循環することにより、室内（S）空気中の過酸化水素は自然分解していき、室内（S）の過酸化水素濃度が低下していく。 When the aeration process is started at time d3, the controller (60) shuts down the gas generator (23). The air containing hydrogen peroxide gas in the room (S) is sucked into the return air port (22) and blown out again from the supply port (26). By circulating the air in the room (S) in this way, the hydrogen peroxide in the air in the room (S) is naturally decomposed, and the concentration of hydrogen peroxide in the room (S) decreases.
－過酸化水素濃度の測定－
図８に示すように、ガス測定システム（1）は、エアレーション工程における過酸化水素濃度を測定する。具体的に、制御装置（60）は、室内（S）の空気中の過酸化水素濃度が低下していく環境下において、過酸化水素の濃度を連続して測定できるように、第１ガスセンサ（11）および第２ガスセンサ（12）について第１状態および第２状態を交互に切り換える。
-Measurement of hydrogen peroxide concentration-
As shown in FIG. 8, the gas measuring system (1) measures the hydrogen peroxide concentration in the aeration step. Specifically, the control device (60) is a first gas sensor (1st gas sensor) so that the concentration of hydrogen peroxide can be continuously measured in an environment where the concentration of hydrogen peroxide in the air in the room (S) is decreasing. 11) and the second gas sensor (12) alternate between the first state and the second state.
図８のＲ（二点鎖線）は、エアレーション工程における室内（S）の過酸化水素濃度の推定値の時間変化を示す。エアレーション工程開始から所定の時刻における過酸化水素濃度の推定値は、例えば、エアレーション工程開始時の室内（S）空気の過酸化水素濃度、室内（S）の容積、エアレーション工程開始から所定の時刻までの経過時間、室内（S）空気の排気流量、外気の供給流量などに基づいて求められる。図８のＡ（細線）は、第１ガスセンサ（11）の測定値の時間変化を示す。図８のＢ（太線）は、第２ガスセンサ（12）の測定値の時間変化を示す。図８のＣ（実線）は、室内ガスセンサ（13）の測定値の時間変化を示す。図８のＩ（実線）は、第１状態の測定値の時間変化を示す。図８のII（破線）は、第２状態の測定値の時間変化を示す。 R (dashed-dotted line) in FIG. 8 shows the time change of the estimated value of the hydrogen peroxide concentration in the room (S) in the aeration step. The estimated value of the hydrogen peroxide concentration at a predetermined time from the start of the aeration process is, for example, the hydrogen peroxide concentration of the indoor (S) air at the start of the aeration process, the volume of the indoor (S), and the time from the start of the aeration process to the predetermined time. It is obtained based on the elapsed time of, the exhaust flow rate of indoor (S) air, the supply flow rate of outside air, and the like. A (thin line) in FIG. 8 shows the time change of the measured value of the first gas sensor (11). B (thick line) in FIG. 8 shows the time change of the measured value of the second gas sensor (12). C (solid line) in FIG. 8 shows the time change of the measured value of the indoor gas sensor (13). I (solid line) in FIG. 8 shows the time change of the measured value in the first state. II (dashed line) in FIG. 8 shows the time change of the measured value in the second state.
エアレーション工程中では、室内（S）の空気に含まれる実際の過酸化水素の濃度は低下していく（図８のＲ）。 During the aeration process, the actual concentration of hydrogen peroxide contained in the air in the room (S) decreases (R in FIG. 8).
制御装置（60）は、時刻T1～T7の各時刻において、第１動作を実行する。制御装置（60）は、時刻T3および時刻T7において、第１ガスセンサ（11）について第２動作を実行する。制御装置（60）は、時刻T5において、第２ガスセンサ（12）について第２動作を実行する。 The control device (60) executes the first operation at each time T1 to T7. The control device (60) performs a second operation on the first gas sensor (11) at time T3 and time T7. The control device (60) executes the second operation with respect to the second gas sensor (12) at time T5.
時刻T1～時刻T7の各時刻は、予め設定された時刻である。時刻T1は、エアレーション工程開始時刻である。時刻T3は、第２ガスセンサ（12）の測定値が第１ガスセンサ（11）の測定値よりも過酸化水素濃度の推定値（Ｒ）に近くなったと推定される時刻である。時刻T5は、第１ガスセンサ（11）の測定値が第２ガスセンサ（12）による測定値よりも過酸化水素濃度の推定値（Ｒ）に近くなったと推定される時刻である。時刻T7は、第２ガスセンサ（12）による測定値が第１ガスセンサ（11）による測定値よりも過酸化水素濃度（Ｒ）の推定値に近くなったと推定される時刻である。 Each time from time T1 to time T7 is a preset time. Time T1 is the aeration process start time. Time T3 is a time when the measured value of the second gas sensor (12) is estimated to be closer to the estimated value (R) of the hydrogen peroxide concentration than the measured value of the first gas sensor (11). Time T5 is a time when the measured value of the first gas sensor (11) is estimated to be closer to the estimated value (R) of the hydrogen peroxide concentration than the value measured by the second gas sensor (12). Time T7 is a time when it is estimated that the value measured by the second gas sensor (12) is closer to the estimated value of the hydrogen peroxide concentration (R) than the value measured by the first gas sensor (11).
時刻T１では、第１ガスセンサ（11）は第１状態になる。第１状態の第１ガスセンサ（11）には、過酸化水素濃度を含んだ室内（S）の空気が送られる。そのため、時刻T1から時間が経過するにつれて、第１ガスセンサ（11）による測定値が次第に上昇する。該測定値は、室内（S）の過酸化水素濃度の推定値を超えると推定される時刻から徐々に低下していくが、時間経過と共に過酸化水素濃度の推定値との差が大きくなっていくと推定される。 At time T1, the first gas sensor (11) is in the first state. The air in the room (S) containing the hydrogen peroxide concentration is sent to the first gas sensor (11) in the first state. Therefore, as time elapses from the time T1, the measured value by the first gas sensor (11) gradually increases. The measured value gradually decreases from the time when it is estimated that the estimated value of the hydrogen peroxide concentration in the room (S) is exceeded, but the difference from the estimated value of the hydrogen peroxide concentration becomes large with the passage of time. It is estimated that it will go.
時刻T2では、第２ガスセンサ（12）は第１状態になる。第１状態の第２ガスセンサ（12）には、過酸化水素濃度を含んだ室内（S）の空気が送られる。そのため、時刻T2から時間が経過するにつれて、第２ガスセンサ（12）による測定値が次第に上昇する。 At time T2, the second gas sensor (12) is in the first state. The air in the room (S) containing the hydrogen peroxide concentration is sent to the second gas sensor (12) in the first state. Therefore, as time elapses from the time T2, the measured value by the second gas sensor (12) gradually increases.
時刻T3では、第２ガスセンサ（12）による測定値の方が第１ガスセンサ（11）による測定値よりも室内（S）の過酸化水素濃度の測定値に近いと推定される。このとき、第１ガスセンサ（11）は第２状態になる。第２状態の第１ガスセンサ（11）には、第２動作により外気が供給される。外気（大気）における過酸化水素の濃度は、実質的にゼロである。そのため、第２状態の第１ガスセンサ（11）が測定する過酸化水素濃度の測定値は、略ゼロにまで低下する。 At time T3, it is estimated that the measured value by the second gas sensor (12) is closer to the measured value of the hydrogen hydrogen concentration in the room (S) than the measured value by the first gas sensor (11). At this time, the first gas sensor (11) is in the second state. The first gas sensor (11) in the second state is supplied with outside air by the second operation. The concentration of hydrogen peroxide in the outside air (atmosphere) is virtually zero. Therefore, the measured value of the hydrogen peroxide concentration measured by the first gas sensor (11) in the second state drops to substantially zero.
時刻T4では、第１ガスセンサ（11）は、第１状態になる。時刻T4から時間が経過するにつれて、第１ガスセンサ（11）による測定値は次第に上昇する。 At time T4, the first gas sensor (11) is in the first state. As time elapses from time T4, the measured value by the first gas sensor (11) gradually increases.
時刻T5では、第１ガスセンサ（11）による測定値の方が第２ガスセンサ（12）による測定値よりも室内（S）の過酸化水素濃度の測定値に近いと推定される。このとき、第２ガスセンサ（12）は第２状態になる。第２状態の第２ガスセンサ（12）には、第２動作により外気が供給され、第２ガスセンサ（12）による測定値は、略ゼロにまで低下する。 At time T5, it is estimated that the measured value by the first gas sensor (11) is closer to the measured value of the hydrogen hydrogen concentration in the room (S) than the measured value by the second gas sensor (12). At this time, the second gas sensor (12) is in the second state. The second gas sensor (12) in the second state is supplied with outside air by the second operation, and the measured value by the second gas sensor (12) drops to substantially zero.
時刻T6では、第２ガスセンサ（12）は第１状態になる。第１状態の第２ガスセンサ（12）による測定値が次第に上昇する。 At time T6, the second gas sensor (12) is in the first state. The value measured by the second gas sensor (12) in the first state gradually increases.
時刻T7では、第２ガスセンサ（12）による測定値の方が第１ガスセンサ（11）による測定値よりも室内（S）の過酸化水素濃度の測定値に近いと推定される。このとき、第１ガスセンサ（11）は第２状態になる。第２状態の第１ガスセンサ（11）による測定値は、略ゼロにまで低下する。時刻T7以降も、第２ガスセンサ（12）は第１状態を継続する。 At time T7, it is estimated that the measured value by the second gas sensor (12) is closer to the measured value of the hydrogen hydrogen concentration in the room (S) than the measured value by the first gas sensor (11). At this time, the first gas sensor (11) is in the second state. The measured value by the first gas sensor (11) in the second state drops to almost zero. The second gas sensor (12) continues in the first state even after the time T7.
表示装置（62）は、時刻T1～Tcの間の室内ガスセンサ（13）による測定値を表示する。時刻Tcは、第１ガスセンサ（11）の測定値と過酸化水素濃度の推定値との差が、室内ガスセンサ（13）と過酸化水素濃度の推定値との差よりも小さくなったと推定される時刻である。表示装置（62）は、時刻Tc～T3の間、および時刻T5～T7の間の第１ガスセンサ（11）による測定値を表示する。表示装置（62）は、時刻T3～T5の間、および時刻T7以降の第２ガスセンサ（12）による測定値を表示する。このように表示装置は、時刻T3、時刻T5および時刻T7において第１ガスセンサ（11）と第２ガスセンサ（12）とを切り換えて測定値を表示する。 The display device (62) displays the measured value by the indoor gas sensor (13) between the times T1 and Tc. At time Tc, it is estimated that the difference between the measured value of the first gas sensor (11) and the estimated value of hydrogen peroxide concentration became smaller than the difference between the indoor gas sensor (13) and the estimated value of hydrogen peroxide concentration. It is the time. The display device (62) displays the measured value by the first gas sensor (11) between the times Tc and T3 and between the times T5 and T7. The display device (62) displays the measured value by the second gas sensor (12) between the time T3 and T5 and after the time T7. In this way, the display device switches between the first gas sensor (11) and the second gas sensor (12) at time T3, time T5, and time T7 to display the measured value.
表示装置（62）の測定値の表示の切り換えについて説明する。一方のガスセンサ（11，12）の測定値が過酸化水素濃度の推定値を超えている場合において、該一方のガスセンサ（11,12）の測定値と上記推定値との差よりも、他方のガスセンサ（11，12）の測定値と上記推定値との差の方が小さくなるときに、表示装置（62）は、該一方のガスセンサ（11,12）の測定値から他方のガスセンサ（11,12）の測定値に切り換えて表示する。このことで、表示装置（62）が表示する過酸化水素濃度の測定値は、推定値に近い値になる。 Switching the display of the measured value of the display device (62) will be described. When the measured value of one gas sensor (11, 12) exceeds the estimated value of hydrogen peroxide concentration, the difference between the measured value of one gas sensor (11, 12) and the above estimated value is more than the difference between the other gas sensor (11, 12). When the difference between the measured value of the gas sensor (11, 12) and the above estimated value becomes smaller, the display device (62) changes the measured value of the one gas sensor (11, 12) to the other gas sensor (11, 12). 12) Switch to the measured value and display it. As a result, the measured value of the hydrogen peroxide concentration displayed by the display device (62) becomes a value close to the estimated value.
このように、室内（S）の実際の過酸化水素濃度が、推定値と同じ値で推移する場合、オーバーラップ状態である時刻T2～T3、時刻T4～T5、および時刻T6～T7の各期間において、先に第１状態となった一方のガスセンサ（11,12）が第２状態に切り換わった時の他方の第１ガスセンサ（11）の測定値を読み取ることで、実際の過酸化水素濃度を把握できる。また、時刻T3、T5、T7の各時刻の測定値を繋げることで、室内（S）の実際の過酸化水素濃度変化の推移に近似させることができる。 In this way, when the actual hydrogen peroxide concentration in the room (S) changes at the same value as the estimated value, each period of the overlapping states, time T2 to T3, time T4 to T5, and time T6 to T7. In, the actual hydrogen peroxide concentration is obtained by reading the measured value of the other first gas sensor (11) when the one gas sensor (11,12) that was previously in the first state is switched to the second state. Can be grasped. In addition, by connecting the measured values at each time T3, T5, and T7, it is possible to approximate the transition of the actual change in hydrogen peroxide concentration in the room (S).
－殺菌ガスに含まれる過酸化水素濃度の測定における課題－
医薬品を製造するクリーンルームでは、一連の製造工程が完了すると、次の製造に備えるため、室内（S）に過酸化水素ガスを供給することによって殺菌運転が行われる。
-Issues in measuring the concentration of hydrogen peroxide contained in sterilizing gas-
In a clean room for manufacturing pharmaceutical products, when a series of manufacturing steps are completed, a sterilization operation is performed by supplying hydrogen peroxide gas to the room (S) in preparation for the next manufacturing.
この殺菌運転は、過酸化水素ガスを一定時間充満させた後、過酸化水素ガスを分解させることで完了する。過酸化水素ガスが排出された後、クリーンルームに入室して次の製造の準備を行うことができる。しかし、過酸化水素ガスの分解が不十分であると、室内の空気に残存する過酸化水素により人体に悪影響が生じるおそれがある。このため、室内（S）に過酸化水素の濃度を測定する室内ガスセンサ（13）を設置して、過酸化水素の濃度が十分低下したことを確認してから入室する。 This sterilization operation is completed by filling the hydrogen peroxide gas for a certain period of time and then decomposing the hydrogen peroxide gas. After the hydrogen peroxide gas is discharged, the clean room can be entered to prepare for the next production. However, if the decomposition of the hydrogen peroxide gas is insufficient, the hydrogen peroxide remaining in the indoor air may have an adverse effect on the human body. Therefore, an indoor gas sensor (13) for measuring the concentration of hydrogen peroxide is installed in the room (S), and the room is entered after confirming that the concentration of hydrogen peroxide has sufficiently decreased.
しかし、図９に示すように、室内（S）の空気中の過酸化水素濃度が低下していく場合（図９の破線）では、室内ガスセンサ（13）が測定する過酸化水素濃度の測定値（図９の実線）は、室内（S）の空気に含まれる実際の過酸化水素濃度の変化に追従できず、実際の過酸化水素濃度よりも高い値になってしまう。このように、室内（S）の過酸化水素濃度が低下していく条件下では、室内ガスセンサ（13）のみでは室内（S）の空気に含まれる実際の過酸化水素濃度の正確な値を確認できない。 However, as shown in FIG. 9, when the hydrogen peroxide concentration in the air in the room (S) decreases (broken line in FIG. 9), the measured value of the hydrogen peroxide concentration measured by the indoor gas sensor (13). (The solid line in FIG. 9) cannot follow the change in the actual hydrogen peroxide concentration contained in the air in the room (S), and the value becomes higher than the actual hydrogen peroxide concentration. In this way, under the condition that the hydrogen peroxide concentration in the room (S) is decreasing, the accurate value of the actual hydrogen peroxide concentration contained in the air in the room (S) can be confirmed only by the indoor gas sensor (13). Can not.
本実施形態のガス測定システム（1）では、制御装置（60）は、第１ガスセンサ（11）および第２ガスセンサ（12）に室内（S）の空気を供給する第１状態と、第１ガスセンサ（11）および第２ガスセンサ（12）に室内（S）の空気を供給しない第２状態とを交互に切り換える第１動作を行う。制御装置（60）は、室内（S）の空気に含まれる過酸化水素の濃度が連続して測定されるように、第１ガスセンサ（11）および第２ガスセンサ（12）を順に切り換えて第１状態にする。 In the gas measurement system (1) of the present embodiment, the control device (60) has a first state of supplying indoor (S) air to the first gas sensor (11) and the second gas sensor (12), and a first gas sensor. The first operation of alternately switching between (11) and the second state in which the air in the room (S) is not supplied to the second gas sensor (12) is performed. The control device (60) switches the first gas sensor (11) and the second gas sensor (12) in order so that the concentration of hydrogen peroxide contained in the air in the room (S) is continuously measured. Put it in a state.
このことにより、例えば第１ガスセンサ（11）が第１状態になって過酸化水素の濃度を測定している間、第２ガスセンサ（12）は第２状態になって外気に晒されるため、該第２ガスセンサ（12）による測定値は低下する。そのため、第１動作により第２ガスセンサ（12）が第１状態となった時、第２ガスセンサ（12）の測定値は第１ガスセンサ（11）の測定値よりも低い。このことより、第１状態の第１ガスセンサ（11）の測定値と、室内（S）の過酸化水素濃度の推定値との差が大きくなっても、該推定値との差が小さい第１状態の第２ガスセンサ（12）の測定値を読み取ることで、室内（S）の実際の過酸化水素の濃度に比較的近い値を確認できる。 As a result, for example, while the first gas sensor (11) is in the first state to measure the concentration of hydrogen peroxide, the second gas sensor (12) is in the second state and is exposed to the outside air. The value measured by the second gas sensor (12) decreases. Therefore, when the second gas sensor (12) is in the first state by the first operation, the measured value of the second gas sensor (12) is lower than the measured value of the first gas sensor (11). From this, even if the difference between the measured value of the first gas sensor (11) in the first state and the estimated value of the hydrogen peroxide concentration in the room (S) is large, the difference from the estimated value is small. By reading the measured value of the second gas sensor (12) in the state, it is possible to confirm the value relatively close to the actual concentration of hydrogen peroxide in the room (S).
加えて、第１動作を連続して実行することで、過酸化水素濃度の推定値に近い方のガスセンサ（11，12）の測定値を読み取ることで、室内（S）の実際の過酸化水素濃度の変化に対する測定値の追従性を向上させることができる。 In addition, by continuously executing the first operation, the measured value of the gas sensor (11, 12) closer to the estimated value of the hydrogen peroxide concentration is read, and the actual hydrogen peroxide in the room (S) is read. It is possible to improve the followability of the measured value to the change in concentration.
実施形態のガス測定システム（1）では、制御装置（60）は、第２状態の第１ガスセンサ（11）および第２状態の第２ガスセンサ（12）に対して外気を供給する第２動作を行う。 In the gas measurement system (1) of the embodiment, the control device (60) performs a second operation of supplying outside air to the first gas sensor (11) in the second state and the second gas sensor (12) in the second state. conduct.
このことにより、第２状態の第１～第２ガスセンサ（11,12）の過酸化水素濃度の測定値を速やかに低下できる。そのため、第２状態から第１状態に切り換える度に、第１～第２ガスセンサ（11,12）は、実際の過酸化水素濃度よりも十分低い測定値から過酸化水素の濃度を測定できる。その結果、例えば空気中の過酸化水素濃度が低下していく条件下では、第１状態の第１～第２ガスセンサ（11，12）の一方の測定値が空気中の過酸化水素濃度の推定値を超えて比較的大きくなっても、該推定値との差が比較的小さい他方の測定値を読み取ることで、実際の空気中の過酸化水素濃度に近い値を確認することができる。 As a result, the measured value of the hydrogen peroxide concentration of the first to second gas sensors (11, 12) in the second state can be rapidly lowered. Therefore, each time the second state is switched to the first state, the first to second gas sensors (11,12) can measure the hydrogen peroxide concentration from a measured value sufficiently lower than the actual hydrogen peroxide concentration. As a result, for example, under the condition that the hydrogen peroxide concentration in the air decreases, one of the measured values of the first and second gas sensors (11, 12) in the first state estimates the hydrogen peroxide concentration in the air. Even if the value exceeds the value and becomes relatively large, the value close to the actual hydrogen peroxide concentration in the air can be confirmed by reading the other measured value having a relatively small difference from the estimated value.
実施形態のガス測定システム（1）は、室内（S）の過酸化水素濃度を低下させる循環機構（21）を有する。制御装置（60）は、循環機構（21）が作動するとき第１動作と第２動作とを実行する。 The gas measurement system (1) of the embodiment has a circulation mechanism (21) that reduces the hydrogen peroxide concentration in the room (S). The control device (60) executes the first operation and the second operation when the circulation mechanism (21) is activated.
循環機構（21）の作動により、室内（S）の空気中の過酸化水素濃度が時間経過とともに低下する条件下においても、室内（S）の空気中の実際の過酸化水素濃度の変化に対する測定値の追従性を向上させることができる。 Measurement of changes in the actual hydrogen peroxide concentration in the indoor (S) air even under the condition that the hydrogen peroxide concentration in the indoor (S) air decreases with the passage of time due to the operation of the circulation mechanism (21). The followability of the value can be improved.
実施形態のガス測定システム（1）の制御装置（60）は、所定の時間が経過するごとに第１動作を実行する。そのため、所定の時間を予め設定しておくだけで、簡便に過酸化水素濃度を測定できる。 The control device (60) of the gas measurement system (1) of the embodiment executes the first operation every time a predetermined time elapses. Therefore, the hydrogen peroxide concentration can be easily measured only by setting a predetermined time in advance.
実施形態のガス測定システム（1）は過酸化水素を測定する。そのため、室内（S）の過酸化窒素ガス濃度により近い値を把握できる。このことにより、室内（S）の空気中の過酸化水素ガス濃度が低下する条件下では、室内（S）の空気中の過酸化水素濃度が十分に低下していることを比較的早く確認できる。加えて、室内（S）の空気中の過酸化水素濃度が十分に低下していることを早く確認できれば、その分早く入室して作業を開始できるため、作業の効率化および作業時間の短縮化を実現できる。 The gas measurement system (1) of the embodiment measures hydrogen peroxide. Therefore, it is possible to grasp a value closer to the concentration of nitrogen oxide gas in the room (S). As a result, it can be confirmed relatively quickly that the hydrogen peroxide concentration in the indoor (S) air is sufficiently reduced under the condition that the hydrogen peroxide gas concentration in the indoor (S) air is sufficiently reduced. .. In addition, if it can be confirmed early that the hydrogen peroxide concentration in the air in the room (S) is sufficiently lowered, the work can be started earlier by that much, so that the work efficiency and the work time can be shortened. Can be realized.
《変形例》
変形例に係るガス測定システム（1）について、上記実施形態のガス測定システム（1）と異なる構成について図１０を参照しながら説明する。
<< Modification example >>
The gas measurement system (1) according to the modified example will be described with reference to FIG. 10 with reference to a configuration different from the gas measurement system (1) of the above embodiment.
変形例のガス測定システム（1）は、第１１～第１６配管（L11～L16）および第１～第８開閉弁（D1～D8）を有する。 The modified gas measurement system (1) has eleventh to sixteenth pipes (L11 to L16) and first to eighth on-off valves (D1 to D8).
〈配管〉
第１１配管（L11）の流入端は、吸込口（31）に接続され、流出端は吹出口（32）に接続される。第１１配管（L11）には、第１ガスセンサ（11）が設けられる。第１１配管（L11）の流出端寄りには、第１ファン（51）が接続される。
<Piping>
The inflow end of the eleventh pipe (L11) is connected to the suction port (31), and the outflow end is connected to the air outlet (32). A first gas sensor (11) is provided in the eleventh pipe (L11). A first fan (51) is connected to the eleventh pipe (L11) near the outflow end.
第１２配管（L12）の流入端および流出端は、室外に連通する。第１２配管（L12）には、第２ガスセンサ（12）が設けられる。第１２配管（L12）の流出端寄りには、第２ファン（52）が接続される。 The inflow end and the outflow end of the twelfth pipe (L12) communicate with the outside of the room. A second gas sensor (12) is provided in the twelfth pipe (L12). A second fan (52) is connected to the twelfth pipe (L12) near the outflow end.
第１３配管（L13）の流入端は、第１１配管（L11）における第１ガスセンサ（11）の上流側に接続される。第１３配管（L13）の流出端は、第１２配管（L12）における第２ガスセンサ（12）の上流側に接続される。 The inflow end of the thirteenth pipe (L13) is connected to the upstream side of the first gas sensor (11) in the eleventh pipe (L11). The outflow end of the thirteenth pipe (L13) is connected to the upstream side of the second gas sensor (12) in the twelfth pipe (L12).
第１４配管（L14）の流入端は、第１２配管（L12）における第１３配管（L13）の流出端の上流側に接続される。第１４配管（L14）の流出端は、第１１配管（L11）における第１３配管（L13）の流入端と第１ガスセンサ（11）との間に接続される。 The inflow end of the 14th pipe (L14) is connected to the upstream side of the outflow end of the 13th pipe (L13) in the 12th pipe (L12). The outflow end of the 14th pipe (L14) is connected between the inflow end of the 13th pipe (L13) in the 11th pipe (L11) and the first gas sensor (11).
第１５配管（L15）の流入端は、第１１配管（L11）における第１ガスセンサ（11）の下流側に接続される。第１５配管（L15）の流出端は、第１２配管（L12）における第２ガスセンサ（12）の下流側に接続される。 The inflow end of the fifteenth pipe (L15) is connected to the downstream side of the first gas sensor (11) in the eleventh pipe (L11). The outflow end of the fifteenth pipe (L15) is connected to the downstream side of the second gas sensor (12) in the twelfth pipe (L12).
第１６配管（L16）の流入端は、第１２配管（L12）における、第２ガスセンサ（12）と第１５配管（L15）の流出端との間に接続される。第１６配管（L16）の流出端は、第１１配管（L11）における第１５配管（L15）の流入端よりも下流側に接続される。 The inflow end of the 16th pipe (L16) is connected between the second gas sensor (12) and the outflow end of the 15th pipe (L15) in the 12th pipe (L12). The outflow end of the 16th pipe (L16) is connected to the downstream side of the inflow end of the 15th pipe (L15) in the 11th pipe (L11).
〈開閉弁〉
第１～第８開閉弁（D1～D8）は、それぞれ接続される配管（L11～L16）を開閉する電磁弁である。第１～第８開閉弁（D1～D8）は、制御装置（60）により制御される。
<Opening valve>
The first to eighth on-off valves (D1 to D8) are solenoid valves that open and close the pipes (L11 to L16) connected to each other. The first to eighth on-off valves (D1 to D8) are controlled by the control device (60).
第１開閉弁（D1）は、第１１配管（L11）における、第１３配管（L13）の流入端と第１４配管（L14）の流出端との間に接続される。第２開閉弁（D2）は、第１２配管（L12）における、第１４配管（L14）の流入端と第１３配管（L13）の流出端との間に接続される。第３開閉弁（D3）は、第１３配管（L13）に接続される。第４開閉弁（D4）は、第１４配管（L14）に接続される。第５開閉弁（D5）は、第１１配管（L11）における、第１５配管（L15）の流入端と第１６配管（L16）の流出端との間に接続される。第６開閉弁（D6）は、第１２配管（L12）における、第１６配管（L16）の流入端と第１５配管（L15）の流出端との間に接続される。第７開閉弁（D7）は、第１５配管（L15）に接続される。第８開閉弁（D8）は、第１６配管（L16）に接続される。 The first on-off valve (D1) is connected between the inflow end of the thirteenth pipe (L13) and the outflow end of the fourteenth pipe (L14) in the eleventh pipe (L11). The second on-off valve (D2) is connected between the inflow end of the 14th pipe (L14) and the outflow end of the 13th pipe (L13) in the 12th pipe (L12). The third on-off valve (D3) is connected to the thirteenth pipe (L13). The fourth on-off valve (D4) is connected to the 14th pipe (L14). The fifth on-off valve (D5) is connected between the inflow end of the fifteenth pipe (L15) and the outflow end of the sixteenth pipe (L16) in the eleventh pipe (L11). The sixth on-off valve (D6) is connected between the inflow end of the 16th pipe (L16) and the outflow end of the 15th pipe (L15) in the 12th pipe (L12). The seventh on-off valve (D7) is connected to the fifteenth pipe (L15). The eighth on-off valve (D8) is connected to the sixteenth pipe (L16).
〈第１動作および第２動作〉
変形例のガス測定システム（1）の第１動作および第２動作による空気の流れについて、図１１～図１３を参照しながら説明する。
<First operation and second operation>
The air flow due to the first operation and the second operation of the gas measurement system (1) of the modified example will be described with reference to FIGS. 11 to 13.
制御装置（60）は、循環機構（21）を作動させて過酸化水素ガスを室内（S）に供給する。室内（S）を殺菌後、制御装置（60）は、循環機構（21）のガス生成器（23）の運転を停止して、室内（S）の過酸化水素を含む空気を循環させる。過酸化水素を含む空気を循環させることで、該過酸化水素の分解が促進されて、空気中の過酸化水素濃度が低下する。制御装置（60）は、循環機構（21）の作動中に、第１動作と第２動作とを実行する。第１動作および第２動作において、制御装置（60）は、第１ファン（51）および第２ファン（52）を運転する。 The control device (60) operates the circulation mechanism (21) to supply hydrogen peroxide gas to the room (S). After sterilizing the room (S), the control device (60) stops the operation of the gas generator (23) of the circulation mechanism (21) to circulate the air containing hydrogen peroxide in the room (S). By circulating the air containing hydrogen peroxide, the decomposition of the hydrogen peroxide is promoted and the concentration of hydrogen peroxide in the air is lowered. The control device (60) executes the first operation and the second operation while the circulation mechanism (21) is operating. In the first operation and the second operation, the control device (60) operates the first fan (51) and the second fan (52).
図１１に示すように、制御装置（60）は、第１動作を実行して、第１ガスセンサ（11）を第１状態にし、第２ガスセンサ（12）を第２状態にする。制御装置（60）は、第２動作を実行して、第２状態の第２ガスセンサ（12）に外気を供給する。具体的に、制御装置（60）は、第３～第４開閉弁（D3,D4）および第７～第８開閉弁（D7,D8）を閉じ、第１～第２開閉弁（D1,D2）および第５～第６開閉弁（D5,D6）を開ける。 As shown in FIG. 11, the control device (60) executes the first operation to put the first gas sensor (11) in the first state and the second gas sensor (12) in the second state. The control device (60) executes the second operation to supply outside air to the second gas sensor (12) in the second state. Specifically, the control device (60) closes the 3rd to 4th on-off valves (D3, D4) and the 7th to 8th on-off valves (D7, D8), and closes the 1st to 2nd on-off valves (D1, D2). ) And the 5th to 6th on-off valves (D5, D6) are opened.
これにより、吸込口（31）から第１１配管（L11）に流入した室内（S）の過酸化水素を含む空気は、第１ガスセンサ（11）に供給される。室内（S）の空気が供給された第１ガスセンサ（11）は、第１状態になる。第１ガスセンサ（11）を通過した空気は、吹出口（32）から室内（S）に吹き出される。第１２配管（L12）に流入した外気は、第２ガスセンサ（12）に供給される。外気が供給された第２ガスセンサ（12）は、第２状態になる。第２ガスセンサ（12）を通過した外気は、室外に排出される。 As a result, the air containing hydrogen peroxide in the room (S) that has flowed into the eleventh pipe (L11) from the suction port (31) is supplied to the first gas sensor (11). The first gas sensor (11) to which the air in the room (S) is supplied is in the first state. The air that has passed through the first gas sensor (11) is blown out from the outlet (32) into the room (S). The outside air flowing into the twelfth pipe (L12) is supplied to the second gas sensor (12). The second gas sensor (12) to which the outside air is supplied is in the second state. The outside air that has passed through the second gas sensor (12) is discharged to the outside of the room.
図１２に示すように、制御装置（60）は、第２ガスセンサ（12）について第１動作を実行して、第１ガスセンサ（11）および第２ガスセンサ（12）を第１状態にする。具体的に、制御装置（60）は、第２開閉弁（D2）および第６開閉弁（D6）を閉じ、第３開閉弁（D3）および第８開閉弁（D8）を開く。制御装置（60）は、第１ファン（51）の風量を増大させる。 As shown in FIG. 12, the control device (60) executes the first operation with respect to the second gas sensor (12) to put the first gas sensor (11) and the second gas sensor (12) in the first state. Specifically, the control device (60) closes the second on-off valve (D2) and the sixth on-off valve (D6), and opens the third on-off valve (D3) and the eighth on-off valve (D8). The control device (60) increases the air volume of the first fan (51).
これにより、第１１配管（L11）の過酸化水素を含む空気は、第１３配管（L13）に分流し、第１２配管（L12）に流入する。第１２配管（L12）の空気は第２ガスセンサ（12）に供給される。第２ガスセンサ（12）を通過した空気は、第1６配管（L16）に流入し、第１１配管（L11）の空気と合流する。この空気は、吹出口（32）から室内（S）に吹き出される。 As a result, the air containing hydrogen peroxide in the eleventh pipe (L11) is diverted to the thirteenth pipe (L13) and flows into the twelfth pipe (L12). The air in the twelfth pipe (L12) is supplied to the second gas sensor (12). The air that has passed through the second gas sensor (12) flows into the sixteenth pipe (L16) and joins the air in the eleventh pipe (L11). This air is blown into the room (S) from the outlet (32).
図１３に示すように、制御装置（60）は、第１ガスセンサ（12）について第１動作を実行して、第１ガスセンサ（11）を第２状態にし、第２ガスセンサ（12）を第１状態にする。具体的に、制御装置（60）は、第１開閉弁（D1）および第５開閉弁（D5）を閉じ、第４開閉弁（D4）および第７開閉弁（D7）を開く。 As shown in FIG. 13, the control device (60) executes the first operation for the first gas sensor (12), puts the first gas sensor (11) in the second state, and puts the second gas sensor (12) in the first state. Put it in a state. Specifically, the control device (60) closes the first on-off valve (D1) and the fifth on-off valve (D5), and opens the fourth on-off valve (D4) and the seventh on-off valve (D7).
これにより、第１２配管（L12）に流入した外気は、第１４配管（L14）から第１１配管（L11）に流入する。第１１配管（L11）の外気が第１ガスセンサ（11）に供給される。外気が供給された第１ガスセンサ（12）は、第２状態になる。第１ガスセンサ（11）を通過した外気は、第１５配管（L15）を流れて、第１２配管（L12）に流入する。この空気は室外に排出される。 As a result, the outside air that has flowed into the 12th pipe (L12) flows from the 14th pipe (L14) to the 11th pipe (L11). The outside air of the eleventh pipe (L11) is supplied to the first gas sensor (11). The first gas sensor (12) to which the outside air is supplied is in the second state. The outside air that has passed through the first gas sensor (11) flows through the fifteenth pipe (L15) and flows into the twelfth pipe (L12). This air is discharged to the outside of the room.
このように本例においても、制御装置（60）は、第１～第８開閉弁（D1～D8）の開閉を制御することにより、第１動作を実行できる。第１ガスセンサ（11）および第２ガスセンサ（12）の一方が第２状態のとき他方が第１状態になるように、第１動作を連続して実行することで、室内（S）の空気中の過酸化水素の濃度を連続して測定できる。 As described above, also in this example, the control device (60) can execute the first operation by controlling the opening and closing of the first to eighth on-off valves (D1 to D8). By continuously executing the first operation so that when one of the first gas sensor (11) and the second gas sensor (12) is in the second state and the other is in the first state, the air in the room (S) The concentration of hydrogen peroxide can be continuously measured.
《その他の実施形態》
上記実施形態および変形例においては、以下のような構成としてもよい。
<< Other Embodiments >>
In the above-described embodiment and modification, the configuration may be as follows.
ガス測定システム（1）のガスセンサ（11,12）は３つ以上であってもよい。例えば、ガスセンサが３つの場合、制御装置（60）は、第１動作を実行して、１つのガスセンサを第１状態にして、２つのガスセンサを第２状態にしてもよいし、２つガスセンサを第１状態にして、１つのガスセンサを第２状態にしてもよい。また、制御装置（60）は、２つのガスセンサが第２状態にあるとき、第２動作を実行して、２つのガスセンサに大気を供給してもよいし、１つのガスセンサのみに大気を供給してもよい。 The number of gas sensors (11,12) in the gas measurement system (1) may be three or more. For example, when there are three gas sensors, the control device (60) may execute the first operation to put one gas sensor in the first state and two gas sensors in the second state, or two gas sensors. The first state may be set and one gas sensor may be set to the second state. Further, the control device (60) may execute the second operation when the two gas sensors are in the second state to supply the atmosphere to the two gas sensors, or supply the atmosphere to only one gas sensor. You may.
上記実施形態および上記変形例において、制御装置（60）は、オーバーラップ状態にすることなく、第２状態の第２ガスセンサ（12）を第１状態にする時に、第１状態の第１ガスセンサ（11）を第２状態にしてもよい。同様に、制御装置（60）は、オーバーラップ状態にすることなく、第２状態の第１ガスセンサ（11）を第１状態にする時に、第１状態の第２ガスセンサ（12）を第２状態にしてもよい。 In the above embodiment and the above modification, when the second gas sensor (12) in the second state is put into the first state without being put into the overlapping state, the control device (60) is the first gas sensor in the first state ( 11) may be in the second state. Similarly, the control device (60) sets the second gas sensor (12) in the first state to the second state when the first gas sensor (11) in the second state is put into the first state without putting the first gas sensor (11) in the second state into the first state. You may do it.
循環機構（21）は触媒ユニットを有していてもよい。具体的に、循環機構（21）はエアレーション工程において空気通路（27）の空気が触媒ユニットに流れるように構成されてもよい。 The circulation mechanism (21) may have a catalyst unit. Specifically, the circulation mechanism (21) may be configured so that the air in the air passage (27) flows to the catalyst unit in the aeration step.
上記実施形態において、制御装置（60）は、第２状態の第１ガスセンサ（11）および第２ガスセンサ（12）の一方に対して、第２状態中ずっと第２動作を実行しなくてもよい。言い換えると、第２状態の第１ガスセンサ（11）および第２ガスセンサ（12）には、第２状態中ずっと大気が供給されなくてもよい。 In the above embodiment, the control device (60) does not have to execute the second operation for one of the first gas sensor (11) and the second gas sensor (12) in the second state during the second state. .. In other words, the first gas sensor (11) and the second gas sensor (12) in the second state do not have to be supplied with air throughout the second state.
対象空間（S）は、クリーンルームの室内（S）でなくてもよい。対象空間（S）は、医療機関や大学の研究施設、病院や食品工場などの室内であってもよいし、試料を保存する倉庫の庫内であってもよい。 The target space (S) does not have to be the room (S) of the clean room. The target space (S) may be a room of a medical institution, a research facility of a university, a hospital, a food factory, or the like, or may be a warehouse for storing a sample.
本開示のガスに含まれる特定成分は、酸素、二酸化炭素、窒素、またはオゾンであってもよい。 The specific component contained in the gas of the present disclosure may be oxygen, carbon dioxide, nitrogen, or ozone.
エアレーション工程において、第１ガスセンサ（11）及び第２ガスセンサ（12）のいずれか一方が第１状態である時間およびオーバーラップの時間は固定値であってもよい。具体的に、図３において、第１ガスセンサ（11）及び第２ガスセンサ（12）のいずれか一方が第１状態である時間（時刻T1～T2および時刻T3～T4）、およびオーバーラップの時間（時刻T2～T3および時刻T4～T5）は、室内（S）の過酸化水素ガスの濃度の低下に伴い短くなっているが、これらの時間を短くしていく必要はなく、それぞれ同じ長さとなるように予め設定してもよい。 In the aeration step, the time during which one of the first gas sensor (11) and the second gas sensor (12) is in the first state and the overlap time may be fixed values. Specifically, in FIG. 3, the time (time T1 to T2 and time T3 to T4) in which one of the first gas sensor (11) and the second gas sensor (12) is in the first state, and the overlap time (time) Times T2 to T3 and times T4 to T5) become shorter as the concentration of hydrogen peroxide gas in the room (S) decreases, but it is not necessary to shorten these times, and they have the same length. It may be set in advance.
以上、実施形態および変形例を説明したが、特許請求の範囲の趣旨および範囲から逸脱することなく、形態や詳細の多様な変更が可能なことが理解されるであろう。また、以上の実施形態および変形例は、本開示の対象の機能を損なわない限り、適宜組み合わせたり、置換したりしてもよい。以上に述べた「第１」、「第２」、…という記載は、これらの記載が付与された語句を区別するために用いられており、その語句の数や順序までも限定するものではない。 Although the embodiments and modifications have been described above, it will be understood that various modifications of the forms and details are possible without departing from the spirit and scope of the claims. Further, the above embodiments and modifications may be appropriately combined or replaced as long as the functions of the subject of the present disclosure are not impaired. The above-mentioned descriptions of "first", "second", ... Are used to distinguish the words and phrases to which these descriptions are given, and do not limit the number and order of the words and phrases. ..
以上説明したように、本開示は、ガス測定システムについて有用である。 As described above, the present disclosure is useful for gas measurement systems.
Ｓ 対象空間
１１ 第１ガスセンサ（ガスセンサ）
１２ 第２ガスセンサ（ガスセンサ）
２１ 循環機構（第１機構）
６０ 制御装置
12 Second gas sensor (gas sensor)
21 Circulation mechanism (first mechanism)
60 Control device
Claims (5)
前記ガスに含まれる前記特定成分の濃度を測定する複数のガスセンサ（11,12）と、
前記ガスセンサ（11,12）に前記ガスを供給する第１状態と、前記ガスセンサ（11,12）に前記ガスを供給しない第２状態とを交互に切り換える第１動作を行う制御装置（60）とを備え、
前記制御装置（60）は、
前記第１動作において、前記対象空間（S）のガスに含まれる特定成分の濃度が連続して測定されるように、前記第１状態になる１つの前記ガスセンサ（11,12）を順に切り換える
ことを特徴とするガス測定システム。 A gas measurement system that measures the concentration of a specific component contained in the gas in the target space (S).
A plurality of gas sensors (11,12) for measuring the concentration of the specific component contained in the gas, and
A control device (60) that performs a first operation of alternately switching between a first state in which the gas is supplied to the gas sensor (11,12) and a second state in which the gas is not supplied to the gas sensor (11,12). Equipped with
The control device (60) is
In the first operation, one gas sensor (11, 12) in the first state is sequentially switched so that the concentration of the specific component contained in the gas in the target space (S) is continuously measured. A gas measurement system featuring.
前記制御装置（60）は、
前記第２状態になっている前記ガスセンサ（11,12）に対して大気を供給する第２動作を行う
ことを特徴とするガス測定システム。 In the gas measurement system of claim 1,
The control device (60) is
A gas measurement system characterized in that a second operation of supplying air to the gas sensors (11, 12) in the second state is performed.
前記対象空間（S）の前記ガスの前記特定成分の濃度を低下させる第１機構（21）を有し、
前記制御装置（60）は、該第１機構（21）の作動中に前記第１動作と前記第２動作とを実行する
ことを特徴とするガス測定システム。 In the gas measurement system of claim 2,
It has a first mechanism (21) that reduces the concentration of the specific component of the gas in the target space (S).
The control device (60) is a gas measuring system characterized in that the first operation and the second operation are executed during the operation of the first mechanism (21).
前記制御装置（60）は、所定の時間が経過するごとに前記第１動作を実行する
ことを特徴とするガス測定システム。 In the gas measurement system according to any one of claims 1 to 3,
The control device (60) is a gas measurement system characterized in that the first operation is executed every time a predetermined time elapses.
前記特定成分は、過酸化水素である
ことを特徴とするガス測定システム。 In the gas measurement system according to any one of claims 1 to 4.
A gas measurement system characterized in that the specific component is hydrogen peroxide.
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