JP2022091406A

JP2022091406A - 加圧装置

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Publication number: JP2022091406A
Application number: JP2020204226A
Authority: JP
Inventors: 豊樹佐藤; Toyoki Sato; 孝男寺山; Takao Terayama
Original assignee: MIKADO TECHNOS KK
Current assignee: MIKADO TECHNOS KK
Priority date: 2020-12-09
Filing date: 2020-12-09
Publication date: 2022-06-21

Abstract

【課題】膜状部材を皺や弛み等なく被加圧物に圧接させて密着させる。【解決手段】加圧装置は、被加圧物を載置可能な載置基台と、載置基台に対して対向配置されて、内部に圧力媒体室を形成可能なハウジングと、圧力媒体を圧力媒体室内に供給可能な媒体供給部と、載置基台とハウジングとの間に、被加圧物を覆うように配置された枚葉状の膜状部材と、を有し、膜状部材を介して圧力媒体により被加圧物に対して繰り返し加圧可能な加圧装置であって、膜状部材は、枠状の第１部材及び第１部材の外周側に嵌まる第２部材を有する保持治具を介して、載置基台及びハウジングのいずれか一方に取り付けられ、保持治具は、膜状部材の外周部近傍の第１部位を第１部材及び第２部材の間に挟持すると共に、第１部位よりも内側の第２部位を第１部材の膜状部材との接触側端面に設けられた溝部に吸引可能に構成されている。【選択図】図１Ａ

Description

本発明は、被加圧物に圧力を加える加圧装置に関する。

従来より、回路基板に搭載された半導体チップ等を樹脂封止する際に、圧縮成形法により樹脂封止を行う樹脂成形装置が知られている（下記特許文献１参照）。この樹脂成形装置は、型開き及び型締め可能な成形型の一方の型（例えば、下型）の頂面に設けられたキャビティを有する。そして、このキャビティの外側の外周部の頂面に設けられた環状の外周吸着溝と、この外周吸着溝と繋がる外周貫通路と、を備え、離型フィルムを外周吸着溝及び外周貫通路を介して外周吸着溝の内面に吸着した上で、外周吸着溝の内側に設けられた主吸着溝及びキャビティの型面に沿って吸着する。その後、キャビティ内の溶融樹脂に回路基板に搭載された半導体チップを浸漬し、溶融樹脂を硬化させて樹脂封止を行う。

一方、絶縁体からなる基材の上に導電体からなる回路パターンを形成しめっきをする場合、例えば、陽極と、この陽極に対して陰極となる回路パターンの導体層が表面に形成された樹脂部材との間に配置されるイオン伝導膜と、陽極と導体層との間に電圧を印加する電源部と、を備えた成膜装置により、固相電析（ＳｏｌｉｄＥｌｅｃｔｒｏｌｙｔｅＤｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：ＳＥＤ）法を用いて回路パターンの表面にめっき処理を施すことが行われている（下記特許文献２参照）。この成膜装置は、金属イオンが含有したイオン伝導膜を基材側から吸引して基材の表面に倣わせて密着させ、陽極と導体層との間に電圧を印加することにより、金属イオンを導体層の表面に析出させて、導体層上にめっきを形成し成膜を行う。

特許第６４３０３４２号公報特許第６０５６９８７号公報

上記特許文献１に開示された従来技術の樹脂成形装置では、離型フィルムを外周吸着溝の内面に吸着して固定し、更に主吸着溝及びキャビティの型面に沿って吸着して下型に吸着する。このため、離型フィルムに均一な張力を加えて皺や弛み等の発生を防止するとしているが、特に外周吸着溝への吸着時に吸引バランスが崩れた場合等、必ずしも離型フィルムを均一な状態で固定することができず、主吸着溝や型面への吸着時に皺や弛み等が発生してしまうおそれは拭いきれない。

また、上記特許文献２に開示された従来技術の成膜装置では、基材の周縁部に設けられた複数の膜吸引口によりイオン伝導膜を基材の周縁部に沿って吸引し、基材の表面に密着させている。このため、基材の表面に密着するよりも早く膜吸引口にイオン伝導膜が吸着されてしまうと、残留空気を完全に排出することは困難となり、イオン伝導膜に皺や弛み等が発生してその密着具合にバラつきが生じ、成膜ムラが発生してしまうおそれがある。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、離型フィルムやイオン伝導膜等の膜状部材を皺や弛み等なく被加圧物に圧接させて密着させることができる加圧装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明に係る加圧装置は、被加圧物を載置可能な載置基台と、前記載置基台に対して対向配置されて、内部に圧力媒体室を形成可能なハウジングと、圧力媒体を前記圧力媒体室内に供給可能な媒体供給部と、前記載置基台と前記ハウジングとの間に、前記被加圧物を覆うように配置された枚葉状の膜状部材と、を有し、前記膜状部材を介して前記圧力媒体により前記被加圧物に対して繰り返し加圧可能な加圧装置であって、前記膜状部材は、枠状の第１部材及び該第１部材の外周側に嵌まる第２部材を有する保持治具を介して、前記載置基台及び前記ハウジングのいずれか一方に取り付けられ、前記保持治具は、前記膜状部材の外周部近傍の第１部位を前記第１部材及び前記第２部材の間に挟持すると共に、該第１部位よりも内側の第２部位を前記第１部材の前記膜状部材との接触側端面に設けられた溝部に吸引可能に構成されていることを特徴とする。

本発明に係る加圧装置において、前記溝部は、平面視環状となるように前記第１部材の前記接触側端面に形成されている。

本発明に係る加圧装置において、前記保持治具は、前記第１部材及び前記第２部材の間に配置された第１の弾性シール材を有する。

本発明に係る加圧装置において、前記保持治具は、前記第１部材の前記接触側端面における前記溝部の両側に位置する端面のうち、少なくとも前記第２部材側とは反対側の端面に配置された第２の弾性シール材を有する。

本発明に係る加圧装置において、前記保持治具の前記第１部材よりも内周側に設けられ、前記膜状部材の前記第２部位よりも内側の第３部位と接触する凸部又は凹部からなる補助接触部を更に備える。

本発明に係る加圧装置において、前記補助接触部は、前記載置基台の前記被加圧物の外周側の載置面に設けられている。また、本発明に係る加圧装置において、前記補助接触部は、非連続の突条又は溝からなる。

本発明に係る加圧装置において、前記膜状部材と前記被加圧物との間に配置された箔状部材と、前記膜状部材と前記箔状部材との間に空気を送気可能な送気機構と、を更に備える。

本発明に係る加圧装置において、前記第１部材は、前記膜状部材の前記第２部位よりも内側の第３部位の一部を、前記第１部材側から覆う板状部材を備える。

本発明に係る加圧装置において、前記圧力媒体室の形成時に前記膜状部材と前記載置基台との間に形成される下方空間を有し、前記圧力媒体室及び前記下方空間を減圧可能な減圧部を更に備える。

本発明に係る加圧装置において、前記減圧部は、前記圧力媒体室と連通する第１の流路と、前記下方空間と連通する第２の流路と、これら第１の流路及び第２の流路をバイパスするバイパス流路と、前記第１の流路を開閉する第１開閉弁と、前記第２の流路を開閉する第２開閉弁と、前記バイパス流路に接続された圧力調整機構と、を有する。

本発明に係る加圧装置において、前記減圧部は、前記圧力媒体室と連通する第１の流路と、前記下方空間と連通する第２の流路と、前記第１の流路を開閉する第１開閉弁と、前記第２の流路を開閉する第２開閉弁と、前記第１開閉弁を介して前記第１の流路に接続された第１圧力調整機構と、前記第２開閉弁を介して前記第２の流路に接続された第２圧力調整機構と、を有する。

本発明に係る加圧装置において、前記第１開閉弁は、進退移動して前記第１の流路を閉塞及び開放する弁体を有し、前記弁体は、前記第１開閉弁が閉状態のときに、進行方向先端面が前記圧力媒体室の壁面と面一又は該壁面から突出した状態となるよう構成されている。

本発明によれば、膜状部材を皺や弛み等なく被加圧物に圧接させて密着させることができる。

本発明の一実施形態に係る加圧装置の型開き状態における概略構成を示す図である。図１Ａの一部拡大断面図である。同加圧装置の型閉じ状態における概略構成を示す図である。同加圧装置の傾斜状態における概略構成を示す図である。同加圧装置のハウジングを一部を断面及び省略して概略的に示す透過平面図である。同ハウジングを概略的に示す図４のＢ矢視図である。同ハウジングに固定される保持治具へのイオン伝導膜の取り付け及び膜張りを説明するための図である。同保持治具におけるイオン伝導膜の吸膜を説明するための図である。同加圧装置における被加圧物の導体層の近傍箇所を部分的に拡大して概略的に説明するための断面図である。本発明の他の実施形態に係る加圧装置におけるイオン伝導膜の補助的な膜張り機構を概略的に説明するための図である。本発明の更に他の実施形態に係る加圧装置の減圧系の回路を概略的に説明するための図である。同加圧装置のハウジング側の減圧系の回路を概略的に示す図である。同加圧装置の減圧系の回路の他の例を概略的に示す図である。同減圧系の回路の液室側の減圧流路を閉塞した状態を概略的に示す図である。

以下、添付の図面を参照して、本発明の実施形態に係る加圧装置を詳細に説明する。ただし、以下の実施形態は、各請求項に係る発明を限定するものではなく、また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。なお、本実施形態においては、各構成要素の縮尺や寸法が誇張されて示されている場合や、一部の構成要素が省略されている場合がある。また、符号を付与していないが、図中に白抜きの丸や四角で示した部分は、主要なＯリング等のシール部材を表している。

図１Ａ～図３は、本発明の一実施形態に係る加圧装置１の概略構成を示す図であり、図１Ａは加圧装置１の型開き状態を、図１Ｂは加圧装置１の一部拡大断面を、図２は加圧装置１の型閉じ状態を、図３は加圧装置１の傾斜状態を、それぞれ示している。また、図４は、加圧装置１のハウジング４を一部を断面及び省略して概略的に示す透過平面図であり、図５はハウジング４を概略的に示す図４のＢ矢視図である。

なお、本実施形態に係る加圧装置１は、例えば、金属イオンを含有する電解液を加圧しつつ、金属イオン還元することで金属を析出させて、金属からなる被膜を被加圧物Ｃの導体層Ｄの表面Ｅに形成するめっき処理装置として用いられ得る。ただし、加圧装置１は、これに限定されるものではなく、気体や液体等の種々の圧力媒体を用いて被加圧物Ｃに繰り返し圧力を加えることができる装置であれば、種々のものに適用可能である。以下においては、加圧装置１をめっき処理装置として構成し、被加圧物Ｃに加圧及び表面処理する態様について説明する。

図１Ａ～図５に示すように、加圧装置１は、概略的には、被加圧物Ｃを載置可能な載置基台２と、この載置基台２に対して対向配置され、内部に圧力媒体室としての液室（閉鎖空間、密閉空間）３を形成するハウジング４と、を備えている。また、加圧装置１は、載置基台２及びハウジング４の少なくとも一方を他方に対して相対移動させる移動機構５と、液室３内に電解液（圧力媒体）を供給又は排出する溶液供給部（媒体供給部、図示省略）と、を備えている。なお、本実施形態において、電解液は、金属イオンを含有する金属溶液を用いることができる。

さらに、加圧装置１は、被加圧物Ｃを覆い、これと電解液とを分離するために、ハウジング４と載置基台２との間に配置された膜状部材（イオン伝導膜６）と、この膜状部材（イオン伝導膜６）と被加圧物Ｃとの間に配置された箔状部材１０と、を備えている。また、加圧装置１は、液室３内に配置された電極（本実施形態では陽極）となる導電性を有する籠状部材２０と、この陽極となる籠状部材２０に対して陰極となる被加圧物Ｃの導体層Ｄとの間に電圧を印加する電源部７と、を備えている。なお、以下の説明では、膜状部材としてイオン伝導膜６を例に挙げて説明するが、これに限定されず、例えば、離型フィルムやゴムシート等の膜状の部材を任意に採用可能である。また、ゴムシートとしては、例えば、シリコーンゴムシートやフッ素ゴムシート等の種々のゴムシートを任意に採用可能である。

載置基台２は、支持基台８とハウジング４との間に配置されており、被加圧物Ｃをその表面に載置可能に構成されている。本実施形態では、載置基台２は、被加圧物Ｃを嵌め込むことが可能なトレイ９ｂを有すると共に、該トレイ９ｂを嵌め込むことが可能な凹部を有しているが、トレイ９ｂを介さずに被加圧物Ｃを嵌め込む構成や、被加圧物Ｃを単に載置させる構成であっても良い。ハウジング４は、上記のように載置基台２と対向配置されると共に、例えば、移動機構５によって載置基台２側へ移動された状態のときに、載置基台２との間に閉鎖空間となる液室３を形成可能に構成されている。

載置基台２は、例えば、載置基台２の上面に開口し、載置基台２の内部を通って外部に連通する排気流路９及び排気ポート９ａと、図示しない排気ポンプ（例えば、真空ポンプ）と、を有しており、イオン伝導膜６の離隔時に排気ポンプを動作させることにより、載置基台２（トレイ９ｂが設けられている場合にはトレイ９ｂ）に被加圧物Ｃを吸着保持させるよう構成されている。

ハウジング４には、液室３内の気体を排出可能な排出流路３１と、液室３に対して電解液を供給可能な供給流路４１と、が形成されている。また、ハウジング４には、例えば、排出流路３１に接続されてこれを開閉する開閉弁として機能すると共に、載置基台２とハウジング４との間において開閉弁が閉じられたときに形成される液室３の閉鎖空間の容積を減少させて、閉鎖空間内を加圧する加圧機構としても機能する開閉弁付き加圧機構３０が設けられている。

さらに、ハウジング４には、供給流路４１を開閉させる流路開閉弁４０が設けられている。なお、排出流路３１の液室３に臨む開口部は、例えば、供給流路４１の液室３に臨む開口部よりも鉛直方向の上方側に形成されている。より具体的には、ハウジング４は、載置基台２の鉛直方向の上方に配置されており、内部上面と内部側面とを有する液室３を構成する有底筒状（有底円筒状、有底角筒状等）に形成され、排出流路３１の液室３に臨む開口部は、ハウジング４の内部上面又は内部側面の上部に形成されている。

また、供給流路４１の液室３に臨む開口部は、ハウジング４の内部側面の下部等の任意の箇所に形成されている。さらに、ハウジング４の内部上面は、排出流路３１の開口部が最上部となるように、鉛直方向に対して傾斜し、且つ、水平方向に沿って傾斜している。

開閉弁付き加圧機構３０は、排出流路３１を開閉可能に構成されると共に、液室３内に供給された電解液を加圧可能に構成されている。開閉弁付き加圧機構３０は、ハウジング４の壁面を貫通して形成された排出流路３１の外壁面に装着され、流路開閉弁４０とはハウジング４の鉛直中心に対して対向した位置（対角の位置を含む）に、ハウジング４の側面から突出するように設けられている。これら開閉弁付き加圧機構３０及び流路開閉弁４０は、例えばハウジング４の短辺側（図４参照）に対向配置されている。開閉弁付き加圧機構３０は、開閉弁を閉じてから液室３内の容積を減少させて液室３内の電解液を加圧する。

このように、ハウジング４の内部側面の最下部には、開口部を持つ供給流路４１が形成され、供給流路４１に流路開閉弁４０が接続される。また、ハウジング４の内部側面（好ましくは、対向した内部側面）の最上部には、開口部を持つ排出流路３１が形成され、排出流路３１に開閉弁付き加圧機構３０が接続される。

ここで、「対向した」とは、供給流路４１が、排出流路３１と、ハウジング４において、ハウジング４の中心軸に対して互いに対称となる位置に配置されていることを意味する。供給流路４１が排出流路３１と対向して位置する構成であると、ハウジング４の液室３内への電解液及び空気の注入や排出がスムーズになる。

本実施形態では、排出流路３１の開口部と供給流路４１の開口部とは、対向した、すなわち、中心軸に対して１８０°の位置関係であるが、これに限らない。ハウジング４の液室３の内部上面の最上部に排出流路３１の開口部があることが好ましく、載置基台２の最下部に接する位置に供給流路４１の開口部があることが好ましい。

また、本実施形態では、開閉弁として、開閉弁付き加圧機構３０と流路開閉弁４０を有し、これらはハウジング４の流路それぞれに備えられている。本実施形態では、上記のように供給流路４１がハウジング４内側の最下部に設けてあり、排出流路３１がハウジング４内側の最上部に設けてあるので、電解液をハウジング４の液室３内で澱むことなく循環させることができ、供給流路４１から電解液を容易に排除することができる。

本実施形態では、液室３の内部上面が傾斜したハウジング４において、供給流路４１が、内部上面が最も低い箇所の近傍に設けてあり、排出流路３１が、内部上面が最も高い箇所の近傍に設けてあるので、液室３内を電解液で満たす際に空気等の気泡を排出流路３１の方向に集めて排気しやすく、液室３内から電解液を排出する際に排出流路３１から空気を流入させることにより、電解液を供給流路４１の方向に集めて排液しやすい構造となっている。

液室３内の電解液が供給流路４１を通過して外部へ排出される際の入り口、すなわち、開口部の通路は、本実施形態では、水平で狭くなっている（例えば、供給流路４１を中心としハウジング４中心に向かって広がる高さ２ｍｍ程度の扇形開口）。その後、通路は垂直に上がり、さらに流路開閉弁４０内で再び水平となり、その後、通路は再び垂直に上がって給排ポート４５から外部へ排出される。本実施形態によれば、供給流路４１の開口部が載置基台２に面して設けられているので、電解液を排出する際に電解液が残留しにくい構造を有する。

開閉弁付き加圧機構３０は、中空の開閉調整室兼加圧室で、内壁面に摺接し摺動可能な加圧兼用のスプール３２を備え、例えば、外側から内側（液室３側）にかけて閉操作ポート３３、開操作ポート３４、及び給排ポート３５が設けられている。各ポート３３，３４，３５は、開閉弁付き加圧機構３０の外側から内部の開閉調整室兼加圧室への貫通孔であり、給排ポート３５はハウジング４の排出流路３１と直結して接続されている。開閉弁付き加圧機構３０は、給排ポート３５の流路側先端を含む端部がハウジング４の壁面（外部側面）内に嵌合されることによりハウジング４に設けられている。

流路開閉弁４０は、供給流路４１の外壁面に装着され、開閉弁付き加圧機構３０とは上記のように対向する位置に、ハウジング４の側面から突出するように設けられている。流路開閉弁４０は、内部に中空の開閉調整室で内壁面に摺接して摺動可能な中実構造のスプール４２を備え、外側から内側（液室３側）にかけて閉操作ポート４３、開操作ポート４４、及び給排ポート４５が設けられている。各ポート４３，４４，４５は、流路開閉弁４０の外側から内部の開閉調整室への貫通孔であり、給排ポート４５はハウジング４の供給流路４１と直結して接続されている。流路開閉弁４０は、給排ポート４５の流路側先端を含む端部がハウジング４の壁面（外部側面）内に嵌合されることによりハウジング４に設けられている。

開閉弁付き加圧機構３０及び流路開閉弁４０において、各スプール３２，４２は、例えば、中実のピストン状部材からなる。閉操作ポート３３，４３の位置にスプール３２，４２の基端部が位置するときは、給排ポート３５は排出流路３１と繋がり、給排ポート４５は供給流路４１と繋がった状態となる。開操作ポート３４，４４の位置にスプール３２，４２の基端部が位置するときは、排出流路３１及び供給流路４１は塞がれた状態となる。開閉弁付き加圧機構３０及び流路開閉弁４０は、電解液の供給を行う溶液供給部を含む外部の液制御系とハウジング４との間に設置されている。なお、各スプール３２，４２は、図１Ａに示す構成では開閉弁付き加圧機構３０及び流路開閉弁４０と一体式のシリンダ機構により動作するが、図４に示すように、別体式のシリンダ機構により動作する構成であっても良い。

なお、流路開閉弁４０の開閉調整室よりも開閉弁付き加圧機構３０の開閉調整室兼加圧室の方が大径に構成されている。したがって、スプール３２は、スプール４２よりも大径のピストン状部材からなる。開閉弁付き加圧機構３０は、その動作圧を制御可能に構成されており、これにより、液室３内の圧力を容易且つ安定的に変化させることができる。すなわち、ハウジング４の内部には、液室３内の圧力をモニタリングすることが可能な圧力センサ６０（図４及び図５参照）が設置されており、この圧力センサ６０の計測値を基に、閉操作ポート３３に供給される作動空気の圧力がフィードバック制御され得るように構成されている。この構成により、より正確に開閉弁付き加圧機構３０の動作圧、延いては液室３内の圧力を制御可能となる。また、ハウジング４の内部には、液室３内の温度を計測可能な温度センサ６９（図４参照）が設置されており、液室３内の温度をモニタリングして、液室３内の温度を制御可能に構成されている。

一方、移動機構５は、図３に示すように、載置基台２及びハウジング４の少なくとも一方（本例ではハウジング４）を他方（本例では載置基台２）に対して接近又は離隔する方向に相対移動させる。これにより、載置基台２及びハウジング４間に形成される液室３を開閉可能に構成されている。

本実施形態において、移動機構５は、直動ロッド５１によってハウジング４を載置基台２に対して昇降させることにより離隔又は嵌合させるように構成されている。移動機構５は、載置基台２に対するハウジング４の位置制御及び圧力制御を実行可能に構成されている。

移動機構５は、具体的には、ハウジング４が載置基台２に対して最も離隔された上昇端位置（原位置：図１Ａ参照）と、ハウジング４及び載置基台２の間に液室３を形成すると共に、該液室３及びイオン伝導膜６の下部に載置基台２と下クランプ部３９とが嵌合して形成される下方空間の減圧を実行する減圧位置と、該減圧位置よりも更にハウジング４を載置基台２に接近させて加圧又は表面処理を実行する処理位置（図２参照）との少なくとも３か所において、ハウジング４を停止させることが可能に構成されている。

また、移動機構５は、例えば処理位置において、液室３の内圧を相殺する以上の力でハウジング４を載置基台２に対して押圧するよう構成されている。ただし、移動機構５は、上述した直動ロッド５１を備える構成に限定されず、ハウジング４を載置基台２に対して離隔又は嵌合させることが可能な構成であれば、任意の構成を採用することができる。

また、本実施形態に係る加圧装置１は、図３に示すように、載置基台２及びハウジング４を所定の角度（例えば、２°）に傾斜させるための傾斜機構５０が設けられている。本実施形態において、傾斜機構５０は、直動ロッド５０ａによって支持基台８の側縁部の一部を昇降させることにより、載置基台２及びハウジング４を傾斜させるよう構成されている。

この傾斜機構５０により、ハウジング４の液室３を含む流路系全体を所定の角度で傾斜させることで、例えば、電解液を液室３内に注入する際の残留空気をより確実に排除したり、電解液を液室３内から排出する際の残留溶液をより確実に排水したりすることが可能である。

なお、傾斜機構５０により載置基台２及びハウジング４を傾斜させると、例えば、載置基台２の上面が、供給流路４１の開口部近傍側を最下部として鉛直方向に対して傾斜している状態となる。載置基台２がハウジング４の下クランプ部３９と嵌合したときに、供給流路４１の開口部の真下になる部分が僅かに低くなる。したがって、液室３内の電解液が供給流路４１の開口部付近に集まり、排液しやすくなる。このため、排液能力を高め、電解液の漏洩リスクを低減し、被加圧物Ｃが電解液に完全に曝露されてしまうリスクが低減される。

具体的には、傾斜機構５０によって、ハウジング４は全体が傾斜すると共に、載置基台２は、ハウジング４の傾斜方向と同じ方向に傾斜する。より詳細には、据付床面に対し、流路系全体、すなわち、支持基台８、載置基台２、ハウジング４、開閉弁付き加圧機構３０、流路開閉弁４０、移動機構５等が、所定の角度だけ同じ方向に傾斜する。

被加圧物Ｃは、載置基台２の凹部（又はトレイ９ｂ）に嵌め込まれているため、傾斜機構５０によって傾斜した場合であっても、位置がずれてしまう等の問題は生じない。このように、傾斜機構５０の傾斜によって排液力を増すことができるので、排液能力をさらに向上させることができる。

イオン伝導膜６は、保持治具を構成する第１部材である内枠膜治具３６及び第２部材である外枠膜治具３７の間に挟持された枚葉状の膜状部材である。ここで、このイオン伝導膜６を保持する保持治具としての内枠膜治具３６及び外枠膜治具３７は、例えばチタン（Ｔｉ）、ステンレス（ＳＵＳ）、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）、ポリ塩化ビニル等の、電解液の種類や処理条件に応じて必要な強度、耐薬品性、耐熱性を備えた材料からなる枠状部材により構成されており、外枠膜治具３７は、内枠膜治具３６の外周側に嵌まるように構成されている。これら内枠膜治具３６及び外枠膜治具３７はハウジング４の下部に固定されており、イオン伝導膜６は、液室３内に配置された籠状部材２０の直下に配置されている。

内枠膜治具３６は、例えば図６に示すように、イオン伝導膜６との接触側の端面（接触側端面）６１に開口し、イオン伝導膜６を吸引する吸引溝（溝部）３６ａと、この吸引溝３６ａと連通する吸引通路３６ｂと、を有する。内枠膜治具３６の吸引溝３６ａは、例えば平面視環状となるように内枠膜治具３６の端面６１に形成されているが、これに限定されるものではなく、非連続の環状等、種々の形態を採用し得る。なお、図６は、内枠膜治具３６及び外枠膜治具３７共に、ハウジング４の下部への実際の固定状態とは天地が逆となっている。

内枠膜治具３６には、内枠膜治具３６及び外枠膜治具３７の間に配置される第１の弾性シール材であるＯリング６２が取り付けられている。また、内枠膜治具３６の端面６１において、吸引溝３６ａの両側に位置する部分（端面６１）には、第２の弾性シール材であるＯリング６３がそれぞれ取り付けられている。なお、これらのＯリング６３のうち、吸引溝３６ａよりも外枠膜治具３７側とは反対側（内側）のＯリング６３は取り付けられていることが望ましいが、吸引溝３６ａよりも外枠膜治具３７側に配置されたＯリング６３は、必要に応じて取り付けられなくても良い。なお、上記内側のＯリング６３は、液室３側の減圧（例えば、－０．１ＭＰａＧ（Ｇ：ゲージ圧））や加圧（１ＭＰａＧ（Ｇ：ゲージ圧））という圧力変動から吸引溝３６ａ側を切り分ける機能を有し、吸引溝３６ａによる吸引圧力（例えば、－０．１～－０．０１ＭＰａＧ（Ｇ：ゲージ圧）程度）の変動を保護する役割を担っている。ただし、これらのＯリング６３は、吸引溝３６ａによる吸引圧力の程度及び液室３側の圧力の程度等によっては、設けられていなくても良い。

また、内枠膜治具３６は、外枠膜治具３７の嵌合限位置を規定可能なフランジ部３６ｃを有している。フランジ部３６ｃは、内枠膜治具３６の閉塞側端部（イオン伝導膜６との接触側の端部とは反対側の端部）に形成されており、該閉塞側端部から径方向外側に向けて延出している。内枠膜治具３６は、このようなフランジ部３６ｃを備えることにより、イオン伝導膜６をしごく際に発生するしごき量に制限を与えることができると共に、内枠膜治具３６と外枠膜治具３７とを精度よく位置合わせすることができる（内枠膜治具３６と外枠膜治具３７との嵌合量を一定化することができる）という利点を有する。

イオン伝導膜６は、これら内枠膜治具３６及び外枠膜治具３７に対し、次のように取り付けられ膜張りされて、吸引（吸膜）され保持される。まず、図６（ａ）に示すように、枚葉状のイオン伝導膜６を、内枠膜治具３６の吸引溝３６ａ上に配置する。そして、図６（ｂ）に示すように、外枠膜治具３７を内枠膜治具３６の外周側に嵌め込む。このとき、イオン伝導膜６は、Ｏリング６２及び外枠膜治具３７によりしごかれながら、その外周部近傍の第１部位６ａが内枠膜治具３６及び外枠膜治具３７の間に嵌まり、これらの治具３６，３７の間で挟持される。イオン伝導膜６の第１部位６ａは、内枠膜治具３６及び外枠膜治具３７の間において、これらの間のクリアランスを吸収した状態でＯリング６２により、例えば外枠膜治具３７側に押し付けられた状態で挟持される。このため、この状態において、第１部位６ａよりも内枠膜治具３６側のイオン伝導膜６は、ある程度均一に膜張りされた状態で保持治具に保持される。

ただし、この段階では、イオン伝導膜６は、Ｏリング６２及び外枠膜治具３７によってしごかれて膜張りされた状態であるので、天地を逆にしてハウジング４に取り付けられた状態のときに、図７（ａ）に示すように、弛みが生じてしまう可能性がある。そこで、図７（ｂ）に示すように、イオン伝導膜６は、例えばハウジング４に取り付けられて被加圧物Ｃと接触する前に、第１部位６ａよりも内側の第２部位６ｂが、端面６１に設けられた吸引溝３６ａに、この吸引溝３６ａと連通する吸引通路３６ｂを介して吸引される。これにより、イオン伝導膜６の第２部位６ｂが吸引溝３６ａに吸引（吸膜）される。このようにして、イオン伝導膜６は、均一に膜張り及び吸膜された状態で内枠膜治具３６及び外枠膜治具３７からなる保持治具に保持される。このように、本実施形態の加圧装置１における保持治具は、上記のように内枠膜治具３６及び外枠膜治具３７でイオン伝導膜６を一旦しごいて膜張りした上で、吸引溝３６ａに吸膜して保持する構造を採用しているので、イオン伝導膜６を、皺や弛み等なく均一の膜張りして被加圧物Ｃに接触（圧接）させることが可能となる。

なお、イオン伝導膜６は、液室３内に供給された電解液に接触させることで、金属イオンを含浸し、電源部７により電圧を印加したときに金属イオン由来の金属を被加圧物Ｃの導体層Ｄの表面Ｅに析出可能なものであれば、特に限定されるものではない。イオン伝導膜６としては、例えば、多孔質膜、固体電解質膜等が挙げられ、ポリエチレンや、ポリプロピレン、炭化水素系樹脂、フッ素系樹脂等の樹脂を用いることができる。そのため、イオン伝導膜６は、十分な柔軟性や撓み性を有するので、例えば、イオン伝導膜６で被加圧物Ｃを覆った後に、被加圧物Ｃの周辺を減圧状態にして真空度を高めた場合、被加圧物Ｃの表面形状の微細な凹凸等に倣って追従し確実に密着し得る。

イオン伝導膜６は、例えば数μｍ～数百μｍ（例えば、５～４５０μｍ）の膜厚で形成されている。また、イオン伝導膜６は、上記供給流路４１の開口部の下方に位置する部分（第３部位６ｃの一部）が、例えば、その部分の上面側を覆って支持するように内枠膜治具３６に取り付けられた板状部材である保護板２４（図１Ｂ参照）により補強されていると良い。換言すれば、内枠膜治具３６は、イオン伝導膜６の第３部位６ｃの一部を、内枠膜治具３６側から覆う板状部材（保護板２４）を備えることが好ましい。このような保護板２４を供給流路４１の開口部の下方側に位置するように取り付けることにより、供給流路４１を介して電解液が注入・排出される際の流速増大に起因する局所的減圧効果による開口部下方に位置するイオン伝導膜６の浮き上がりを効果的に防止することができ、繰り返し使用されるイオン伝導膜６の破れ等の不具合を防止することができる。

箔状部材１０は、外枠膜治具３７の外側に設けられた上クランプ部３８と、この上クランプ部３８の下方に設けられた下クランプ部３９との間で挟持され、イオン伝導膜６の直下に配置される。箔状部材１０は、例えば、イオン伝導膜６側に配置された絶縁層１１と、被加圧物Ｃ側に配置された通電層１２と、を有するように構成されている。すなわち、絶縁層１１は、通電層１２とイオン伝導膜６との間に配置されている。これら絶縁層１１及び通電層１２は、互いに接着されていても良いし、非接着状態で積層された構成であっても良い。なお、本明細書において、「箔状」とは、厚さが、平面視における幅及び長さよりも小さい形状（薄い形状）を指し、所謂シート状、フィルム状、平板状等の形態を含む概念であり、その材質が金属等に限定されることを意図するものではない。

箔状部材１０の絶縁層１１は、例えば、ポリイミド（ＰＩ）、ポリアミド（ＰＡ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリオレフィン（ＰＯ）、ガラス織布入りエポキシ樹脂等の絶縁性及び耐薬品性を有する樹脂材料により構成されている。絶縁層１１としては、例えば５～１２５μｍの厚みを有する絶縁フィルム（例えば２５μｍのポリイミド製絶縁フィルム）を用いることが可能であるが、これに限定されるものではない。箔状部材１０の通電層１２は、銅、金、銀等の導電性を有する金属材料により構成されている。通電層１２としては、例えば１．５～１５０μｍの厚みを有する金属箔（例えば１８μｍの銅箔）を用いることが可能であるが、これに限定されるものではない。

ここで、電解液は、例えば、導体層Ｄの表面Ｅに析出される金属をイオンの状態で含有している液体であり、含有される金属は、例えば、銅、金、銀、ニッケル等が挙げられる。電解液は、これらの金属をイオン化したものであり、公知の各種の電解液を用いることができる。なお、電解液は、ここに例示したものに限定されるものではない。

また、本実施形態に係る加圧装置１は、図３に示すように、イオン伝導膜６と箔状部材１０とを接近又は剥離させるための剥離機構５２を備えている。具体的には、剥離機構５２は、例えば上クランプ部３８に接続された直動ロッド５２ａを備えており、該直動ロッド５２ａを進退させることで、上クランプ部３８を外枠膜治具３７に対して摺動させ、外枠膜治具３７に固定された内枠膜治具３６を下クランプ部３９に対して接近又は離隔する方向に相対移動させるよう構成されている。そして、内枠膜治具３６と下クランプ部３９との間でイオン伝導膜６と箔状部材１０とがクランプされる。

なお、上クランプ部３８には、剥離機構５２によるイオン伝導膜６及び箔状部材１０の剥離に先立ち、イオン伝導膜６と箔状部材１０との間にエアブローを行い、イオン伝導膜６と箔状部材１０との密着状態を解除することができるように、空気導入流路３８ｂが設けられている。この空気導入流路３８ｂは、外枠膜治具３７の外側において、例えば外枠膜治具３７を囲むように、ハウジング４の長辺側及び短辺側の所定の位置の複数箇所（例えば、４箇所（図４参照））に、上クランプ部３８の内部分岐経路３８ｂａを介して開口するように設けられている。空気導入流路３８ｂには、図示しないコンプレッサ等の送気機構が接続されている。

さらに、イオン伝導膜６と箔状部材１０との間には、図８に示すように、例えば、少なくともイオン伝導膜６側の表面に離型処理が施された離型フィルム材４６が配置されていても良い。離型処理は、例えば、凹凸を付けるシボ加工やシリカ粒子を塗布する粗面化処理等が挙げられるが、これに限定されず、粗面化処理に代えて又はこれに加えて、フッ素系離型剤等の離型促進剤を塗布する処理を採用可能である。離型フィルム材４６は、表面処理後のイオン伝導膜６と箔状部材１０との密着状態をより簡単に解除するために用いられ得る。離型フィルム材４６を用いない場合は、絶縁層１１のイオン伝導膜６側の表面（イオン伝導膜６と接触する表面）に上記の離型処理が施されていても良い。

なお、下クランプ部３９には、該下クランプ部３９と載置基台２とが嵌合した状態において、載置基台２と箔状部材１０及びイオン伝導膜６との間の下方空間の空気を排気（好適には真空排気）するための排気手段（減圧部）が設けられている。

排気手段（減圧部）は、概略的には、液室３（圧力媒体室）と連通する減圧流路７１（第１の流路）と、下方空間と連通する減圧流路４８（第２の流路）と、これら減圧流路７１及び減圧流路４８をバイパスするバイパス流路（図示せず）と、減圧流路７１を開閉する流路開閉弁７０（第１開閉弁）と、減圧流路４８を開閉する開閉弁４７（第２開閉弁）と、バイパス流路に接続された減圧ユニット（ポンプ機構を含む圧力調整機構、図示せず）とを有する。

具体的には、排気手段は、上記の下方空間を減圧するために開閉される開閉弁４７を有しており、該開閉弁４７は、上記の下方空間に開口すると共に下クランプ部３９の下方に連通する減圧流路４８の外側に配置されるように設けられている。

この減圧流路４８は、図５に示すように、ハウジング４の液室３（イオン伝導膜６の上方空間）に連通する減圧流路７１と、流路開閉弁７０及び図示しないバイパス流路を介して接続されている。なお、バイパス流路は、可能な限り流路長が短くなるように設定され、バイパス流路には、減圧用の真空ポンプ等を有する減圧ユニット（図示せず）が接続されている。このような減圧系の回路は、開閉弁付き加圧機構３０や流路開閉弁４０等の溶液供給系の回路とは別回路で設けられている。

すなわち、流路開閉弁７０は、内部に中空のシリンダ室でその内壁面に摺接して摺動可能な中実構造のスプール７２と、このスプール７２をシリンダ室内で進退動作させるシリンダ機構７３と、を有している。流路開閉弁７０は、シリンダ室を含む端部がハウジング４の壁面（外部側面）内に嵌合されることによりハウジング４に設けられている。なお、減圧系の回路を用いた減圧動作については、後述の加圧及び表面処理プロセスにおいて説明する。

開閉弁４７は、図１Ａ等に示すように、内部に中空の開閉調整室で内壁面に摺接して摺動可能な中実構造のスプール４９を備え、下クランプ部３９の外側に設けられた閉操作ポート５７と、この閉操作ポート５７よりも内側で且つ下クランプ部３９の下側に設けられた開操作ポート５８と、を備えている。各ポート５７，５８は、開閉弁４７の外側から内部の開閉調整室への貫通孔である。開閉弁４７は、例えば、電解液等の液体が透過或いは浸透しやすいイオン伝導膜６を使用した際に、開閉弁付き加圧機構３０による圧縮体積以上に液体が下方空間に流れ込むと加圧できなくなってしまうことを防止するために設けられている。

また、上述した箔状部材１０は、絶縁層１１及び通電層１２を交互に複数積層（接着又は非接着のいずれでも良い）してなるものでも良く、より好適には、絶縁層１１上に通電層１２が形成された可撓性プリント基板（例えばフレキシブルプリント基板）、或いは多層構造の絶縁層１１及び通電層１２を有する多層可撓性プリント基板（例えば多層フレキシブルプリント基板）により構成されていても良い。箔状部材１０が可撓性プリント基板により構成される場合は、絶縁層１１は、例えば１２～２５μｍ程度の厚みで形成され、通電層１２は、例えば６～１８μｍ程度の厚みで形成されることが好適であるが、これに限定されるものではない。

箔状部材１０は、図１Ａ及び図２に示すように、通電層１２を電源部７の負極（－極）と電気的に接続させるためのコネクタ部１３を備えており、図８（ｂ）に示すように、通電層１２が、上記のコネクタ部１３を介して電源部７の負極と導体層Ｄとを導通するように、導体層Ｄの一部に接触可能に配置される。これと共に、箔状部材１０は、絶縁層１１が、導体層Ｄの表面Ｅの被処理領域の形状に応じた形状の貫通孔１１ａを有し、この貫通孔１１ａが被処理領域上に配置されるように構成される。

箔状部材１０は、一例として、絶縁層１１の貫通孔１１ａが平面視で見て矩形開口状（ロの字状）に形成されている場合、例えば、通電層１２は貫通孔１１ａよりも僅かに大きな貫通孔１２ａを有するように形成される。これにより、箔状部材１０は、図８（ｃ）に示すように、表面処理時に、上記のコネクタ部１３を介して通電層１２を導体層Ｄに接触させて陰極とすることができると共に、絶縁層１１を、貫通孔１１ａを除く部分が導体層Ｄの表面Ｅにおける非処理領域上を覆って、被処理領域上にのみイオン伝導膜６を接触させるマスク材とすることができる。なお、箔状部材１０及び離型フィルム材４６は、このようなマスク材として機能し得ると共に、イオン伝導膜６の弛みに対する補強材としても機能し得る。

なお、絶縁層１１の貫通孔１１ａと通電層１２の貫通孔１２ａとを同じ大きさとし、離型フィルム材４６の貫通孔をこれら貫通孔１１ａ，１２ａよりも僅かに小さい大きさとすることで、離型フィルム材４６をマスク材として機能させる構成であっても良い。また、通電層１２の全体に一律に電圧を印加して良い場合（例えば通電層１２に形成された通電パターン毎に選択的に電圧を印加する必要が無い場合等）には、電源部７の負極を上記のコネクタ部１３ではなく下クランプ部３９に接続し、該下クランプ部３９に通電層１２を接触させることで通電層１２に電圧を印加する構成としても良い。

加圧装置１におけるイオン伝導膜６は、処理毎に破棄したり取り替えたりするものではなく、繰り返し使用されることを前提にしており、加圧時や表面処理時の膜損傷等に対処するために、その変形に伴い内部に発生する応力をできるだけ低減可能な構造のものが好適である。ただし、被加圧物Ｃの表面の凹凸形状や導体層Ｄのパターン形状が微細化或いは複雑化してくると、その形状に倣うためには、イオン伝導膜６の膜厚をできるだけ薄くした上で上記構造を満たす必要が生じる。

この点、本実施形態の加圧装置１は、非常に薄い通電層１２（及び絶縁層１１）を有する箔状部材１０により、導体層Ｄを陰極とすることができると共に、貫通孔１１ａを介してイオン伝導膜６を導体層Ｄの表面Ｅの被処理領域に接触させることができる。このため、イオン伝導膜６に求められる上記構造を満たしてイオン伝導膜６に掛かる負荷を減少させ、より微細化及び複雑化したパターン形状の導体層Ｄであっても、イオン伝導膜６とその表面Ｅとを適切に接触させて加圧や表面処理することが可能となる。

一方、籠状部材２０は、例えば、ハウジング４に鉛直方向に貫通するように複数取り付けられた支持柱部２１に、高さ調整スペーサ２２を介して吊り下げられた状態で液室３内に配置されている。籠状部材２０の底部２３は、例えば、網目状に形成されており、その内部には、電解液に対して可溶性を有する球状、円柱状及び板状等の任意形状の金属（例えば、銅ボール等）が複数配置されている。

籠状部材２０は、例えば、その底部２３がイオン伝導膜６の直上に位置するように、高さ調整スペーサ２２により液室３内の位置を調整された上で配置されている。高さ調整スペーサ２２の形状や数を変更することで、籠状部材２０の液室３内の位置は自在に変更し得る。籠状部材２０は、支持柱部２１及びハウジング４を介して、電源部７の正極（＋極）に接続されている。

これにより、籠状部材２０は、加圧装置１における陽極を構成する。なお、籠状部材２０は、支持柱部２１に吊り下げられる態様に限定されるものではなく、イオン伝導膜６の上方に配置可能であれば、種々の支持態様を採用し得る。また、陽極は、籠状部材２０に限定されず、液室３内の電解液に浸かる位置に配置され得るものであれば、種々の形状（例えばプレート状等）、配置態様を採り得る。本実施形態では、籠状部材２０は、その底部２３がイオン伝導膜６と接しない状態で直上に配置されるのみならず、陰極となる被加圧物Ｃの導体層Ｄとの間の鉛直方向の極間距離が一定となるように配置されている。

なお、本実施形態の加圧装置１では、電解液が流れる流路は、供給流路４１及び排出流路３１の二つであるが、三つ以上であっても良い。また、本実施形態では、支持基台８、載置基台２及びハウジング４は、例えば、平面視で見て矩形状の外形を有し、液室３を構成する部分は角丸矩形状に形成されているが、これらはいずれも円形でも良く、矩形状や角丸矩形状には限定されない。また、載置基台２は支持基台８の上面中央に固定されているが、載置基台２が支持基台８と一体構成となったものでも良い。

ハウジング４は、図４に示すように、例えば平面視矩形状で、本実施形態においては、短辺側の側面に開閉弁付き加圧機構３０及び流路開閉弁４０が、並びに長辺側の側面に圧力センサ６０及び流路開閉弁７０が、それぞれ互いに対向する位置に差し込まれて装着された状態で固定してあり、その下部には矩形状のイオン伝導膜６等が固定してあるが、これら開閉弁付き加圧機構３０、流路開閉弁４０、圧力センサ６０及び流路開閉弁７０等は、その機能を果たせる態様であれば、固定箇所はこれに限定されるものではない。なお、本実施形態では、図１Ａに示すように、ハウジング４の上部の上面全体に上ヒータ５５及び絶縁部材５５ａを設け、載置基台２の内部に下ヒータ５６を設けてあるが、被加圧物Ｃへの表面処理の種類によっては設けなくても良い。

また、本実施形態では、流路開閉弁４０と、電解液を増圧する開閉弁付き加圧機構３０とがハウジング４に直接接続され一体化されているので、高い圧力が生じる外部配管を必要とせず、装置全体の小型化を実現すると共に、電解液の加圧時に高圧となる領域をハウジング４の液室３に限定することができる。これにより、表面処理における加圧圧力が増大しても配管が破裂する心配がなく、安全性が高い。また、加圧に必要な加圧機構を弁機構と兼用することで小型化でき、加圧すべき電解液の容積を最小化できるので、その結果、電解液の圧力による配管系の膨張の影響を受けない構造となり、全体がさらにコンパクト、かつシンプルな構成となり、製造コストやメンテナンスコストも削減することができる。また、減圧系の回路においても、流路開閉弁７０がハウジング４と一体化されているので、外部配管が不要であり、小型且つ簡易な構成の実現に寄与し得る。

次に、図示は省略するが、本実施形態に係る加圧装置１による加圧及び表面処理プロセスの一例について説明する。なお、ここでは、離型フィルム材４６については省略して説明する。

まず、表面処理の前段階として、イオン伝導膜６を、上述したように、内枠膜治具３６及び外枠膜治具３７の間に第１部位６ａを挟持して膜張りを行い、予めハウジング４に取り付ける。さらに、上クランプ部３８と下クランプ部３９とを、その間に箔状部材１０を挟持した状態で固定し、図３に示すように、剥離機構５２の直動ロッド５２ａの下端に上クランプ部３８を固定する。そして、ハウジング４が載置基台２と離隔した状態（原位置：図１Ａ参照）において、載置基台２の上面に被加圧物Ｃを載置する。次に、内枠膜治具３６の吸引溝３６ａにイオン伝導膜６の第２部位６ｂを吸引して吸膜を行う（ステップＳ１）。このステップＳ１の吸膜は、被加圧物Ｃを載置した後のサイクル毎に行い、サイクル終了時には解除するが、吸膜状態が良好に維持されている場合は、必ずしもサイクル毎に行わなくても良い。

この状態において、イオン伝導膜６及び箔状部材１０は、剥離機構５２によって剥離されており、これらの間には隙間が形成されている。その後、剥離機構５２によってイオン伝導膜６と箔状部材１０とを密着させる（ステップＳ２）。このとき、ハウジング４とイオン伝導膜６との間には、開閉弁系以外の部分が閉鎖された常圧の液室３が形成される。

その後、ハウジング４の下クランプ部３９とこれの下方に配置された被加圧物Ｃを載置した載置基台２とを嵌合する（ステップＳ３）。すなわち、ステップＳ２の状態から、移動機構５によって、ハウジング４を上述の減圧位置まで下降させると、下クランプ部３９は載置基台２に嵌合する。このとき、下クランプ部３９と載置基台２との嵌合位置は、イオン伝導膜６（及び箔状部材１０）が被加圧物Ｃの導体層Ｄの表面Ｅと可能な限り近づいた状態となる位置に設定される。被加圧物Ｃは、液室３内ではなく、載置基台２とイオン伝導膜６との間に形成される下方空間内に密閉され、液室３とは隔てられる。したがって、このステップＳ３では、被加圧物Ｃは、開口部が内壁最下部に設けてある供給流路４１と開口部が内壁最上部に設けてある排出流路３１とを備え内部上面が傾斜したハウジング４と、イオン伝導膜６（及び箔状部材１０）を隔てて載置基台２に載置される。

次に、ステップＳ３の状態から、下クランプ部３９に設けられた開閉弁４７を開状態にすると共に、上述した減圧系の流路開閉弁７０を開状態にして、減圧流路４８と減圧流路７１を図示しないバイパス流路を介して連通させ、液室３と下方空間を同時に減圧する（ステップＳ４）。すなわち、このステップＳ４では、液室３と下方空間をイオン伝導膜６を介して等圧にする。このように液室３と下方空間を同時に減圧することで、液室３と下方空間との差圧の発生を低減することができ、後述するステップＳ７において、イオン伝導膜６（及び箔状部材１０）を被加圧物Ｃの全体的な表面形状に沿って精度良く密着させることができる。

そして、例えば、この減圧状態を継続したまま、載置基台２を下クランプ部３９に完全嵌合させるべく相対移動（本実施形態では、移動機構５によってハウジング４を上述の減圧位置まで下降）させて（ステップＳ５：図２参照）、イオン伝導膜６を導体層Ｄの表面Ｅに接近させ、上述した減圧系の流路開閉弁７０を閉状態にして、液室３の減圧系の回路（バイパス流路）を遮断して（ステップＳ６）、液室３を大気開放させる（ステップＳ７）。なお、この状態においても、載置基台２とイオン伝導膜６の間は減圧状態を継続している。

なお、液室３の減圧系の回路遮断の際には、減圧系の流路開閉弁７０のスプール（弁体）７２の先端面（進行方向先端面）７２ａは、液室３の内部側面（壁面）と面一又はこの内部側面から突出するように移動して、減圧系の回路を遮断する。このように、スプール７２の先端面７２ａが内部側面と面一又は内部側面よりも突出することで、スプール７２の先端面７２ａが内部側面よりも引っ込んだ位置に移動した場合に起こる、内部側面と先端面７２ａとで形成される窪み部分に電解液が残留したり空気が残留する等の不具合の発生を無くすことが可能となる。ステップＳ７の大気開放が行われた場合、イオン伝導膜６は大気圧によって下方空間側に押された状態となる。

そして、このステップＳ７と同時に、載置基台２とハウジング４を相対移動させて該載置基台２と下クランプ部３９とを完全嵌合（処理位置（図２参照）まで下降）することで、イオン伝導膜６は、被加圧物Ｃの中心部から最初に密着する状態となる。この際、イオン伝導膜６と載置基台２との間に残留する空気を減圧流路４８から吸引することで、被加圧物Ｃの周囲を減圧状態とし、空気の残留を抑制することができる。そして、このようにして載置基台２と下クランプ部３９を完全嵌合させた後（すなわち、載置基台２とハウジング４とを最接近させた後）に、開閉弁４７を閉状態にして、下方空間の減圧系の回路を遮断する。

これにより、イオン伝導膜６（及び箔状部材１０）が被加圧物Ｃの全体的な表面形状に沿って密着し、箔状部材１０の通電層１２を導体層Ｄの一部に接触させた状態（図８（ｃ）参照）となる。このような各ステップを経てイオン伝導膜６及び箔状部材１０を被加圧物Ｃに接触させることで、例えば、表面処理面（すなわち、被加圧物Ｃの導体層Ｄの表面Ｅ）に残留する微細な気泡を確実に排除してこれらを密着させることができる。

次に、傾斜機構５０によって、図３に示すように、載置基台２及びハウジング４を、例えば、排出流路３１側が傾斜上方となるように所定の角度で傾斜させ（ステップＳ８）、液室３内に、電解液を注入する（ステップＳ９）。すなわち、ステップＳ８に続くステップＳ９では、被加圧物Ｃをイオン伝導膜６で覆った状態で、ハウジング４の液室３の内部側面の最下部に開口部を有する供給流路４１から電解液を液室３内に注入する。

具体的には、流路開閉弁４０の給排ポート４５から、液室３の内部に向かって電解液が注入される。電解液は、ハウジング４の壁面流路である供給流路４１を通り、イオン伝導膜６の近傍の供給流路４１の開口部から、液室３の内部を満たしていく。電解液がハウジング４の壁面上面に達すると、液室３の内部に残留している空気は、内部上壁面の傾斜に沿って移動し、開閉弁付き加圧機構３０の接続流路である排出流路３１から、給排ポート３５に接続された外部の溶液供給部（図示省略）に排気される。電解液の注入をさらに続けると、液室３の内部は常圧の電解液で完全に満たされる。

そして、ハウジング４の内部側面の最上部に開口部を有する排出流路３１から液室３内の残留空気を排出する（ステップＳ１０）。ステップＳ１０では、ステップＳ９で残留空気が排除され給排ポート４５からの電解液の注入を継続した状態で、開閉弁付き加圧機構３０の給排ポート３５から、液室３内の残留空気と余剰の電解液が排出される。

残留空気を排出したら、ハウジング４の外部側面に装着された流路開閉弁４０と開閉弁付き加圧機構３０を閉じて、液室３内を密閉する（ステップＳ１１）。ステップＳ１１では、流路開閉弁４０の閉操作ポート４３に作動空気が送気され、スプール４２が液室３側に移動することにより、電解液の供給流路４１と給排ポート４５との間が遮断され、流路開閉弁４０が閉状態となる。また、開閉弁付き加圧機構３０の閉操作ポート３３に作動空気が送気され、スプール３２が液室３側に移動し、開閉弁付き加圧機構３０の給排ポート３５が閉じられる。

次に、ハウジング４の外部側面に設けられた加圧機構兼開閉弁である開閉弁付き加圧機構３０によって、液室３内の電解液を加圧すると共に、電源部７により籠状部材２０と箔状部材１０の通電層１２との間に電圧を印加する。これにより、イオン伝導膜６で覆われた被加圧物Ｃの導体層Ｄの表面Ｅの被処理領域上に、金属イオンを析出させて金属の被膜を形成する表面処理を実行する（ステップＳ１２）。

電解液の加圧に際しては、閉状態となった開閉弁付き加圧機構３０の閉操作ポート３３にさらに作動空気を送気し、スプール３２をさらに液室３側に移動させて液室３内の電解液を圧縮して加圧する。作動空気の圧力を高めると、スプール３２の基端部に圧力が掛かり、液室３側にスプール３２が移動する。このスプール３２が移動した体積分だけ液室３内が加圧され、内部を満たす電解液に掛かる圧力がその分増加する。

なお、ハウジング４に設置された液室３の内部の圧力を計測可能な圧力センサ６０からの計測値を基に、閉操作ポート３３に供給する作動空気圧力を制御すれば、電解液を所望の圧力に加圧制御することが可能である。この状態を所定の時間保持し、所定の電圧印加時間が経過すれば、表面処理が完了する。

被加圧物Ｃは、表面処理中、電解液が含まれる液室３とはイオン伝導膜６によって隔てられているが、電解液が加圧されることで、被加圧物Ｃには均一な加圧力が付与される。したがって、多孔質体の陽極で電解質膜ごと陰極を押圧する従来の構成と比較して、イオン伝導膜６と導体層Ｄの表面Ｅとの密着性が向上し、表面処理の品質が向上する。

加圧及び表面処理を完了したら、ハウジング４の内部側面の最下部に開口部を有する供給流路４１から電解液を排出する（ステップＳ１３）。ステップＳ１３では、流路開閉弁４０と開閉弁付き加圧機構３０とを開状態にし、開閉弁付き加圧機構３０の給排ポート３５から低圧の空気を送気して、流路開閉弁４０の給排ポート４５から電解液を排液する。

流路開閉弁４０に接続されているハウジング４の供給流路４１は、イオン伝導膜６に接した最下部に開口部を設けているため、電解液を十分に排除することが可能である。最後に、傾斜機構５０による傾斜状態を解除して、ハウジング４を載置基台２から離隔するように上昇させ、被加圧物Ｃを取り出す（ステップＳ１４）。

本実施形態の加圧装置１によれば、内枠膜治具３６及び外枠膜治具３７によりイオン伝導膜６を膜張りした上で吸引溝３６ａに吸膜した状態で、さらに液室３及び下方空間を同時に減圧して被加圧物Ｃに接触させるので、イオン伝導膜６に皺や弛みが発生することはなく、これらに起因する不具合を防止することができる。そして、被加圧物Ｃの導体層Ｄの表面Ｅをイオン伝導膜６で均一に加圧しながら、箔状部材１０の通電層１２を導体層Ｄに接触させて表面Ｅに金属の被膜を形成することができるので、イオン伝導膜６に掛かる各種の負荷を低減することができる。

また、被加圧物Ｃを効率よく表面処理できるのみならず、例えば、被加圧物Ｃを取り出す際の電解液の漏洩リスクを低減できると共に、被加圧物Ｃの周囲に電解液が残留することを抑制して被加圧物Ｃが電解液に完全に曝露されてしまうリスクも低減できる。そして、傾斜機構５０による傾斜も含めてイオン伝導膜６の上に電解液が残留しにくい構造のため、例えば、被加圧物Ｃを取り出す際に万が一イオン伝導膜６が破損したとしても、電解液が漏洩するリスクと、被加圧物Ｃが電解液に曝露されるリスクが極力低減される。

また、非常に薄いイオン伝導膜６と箔状部材１０を備えるため、微細化及び複雑化したパターン形状の導体層Ｄを有する被加圧物Ｃにおいても、イオン伝導膜６を導体層Ｄの表面Ｅに適切に接触させて表面処理することができ、イオン伝導膜６の変形量を小さくして掛かる負荷を減少させることができる。

図９は、本発明の他の実施形態に係る加圧装置１におけるイオン伝導膜６の補助的な膜張り機構を概略的に説明するための図である。なお、図９を含む以降の説明においては、上記の実施形態と同一又は相当する構成要素に関しては、同一の符号を付して重複した説明を省略したり、図示そのものを省略する場合がある。また、各構成要素の縮尺や寸法が誇張されて示されている場合や一部の構成要素が省略されている場合がある。

図９（ａ）に示すように、本実施形態の加圧装置１は、内枠膜治具３６及び外枠膜治具３７からなる保持治具の内枠膜治具３６よりも内周側に設けられた補助膜張り機構としての補助接触部８０を備えている。なお、図９（ａ）において、Ｏリング６２，６３等の部材については図示を省略し、被加圧物Ｃについては処理基材Ｂのみを図示している。

補助接触部８０は、例えばイオン伝導膜６の第２部位６ｂよりも内側の第３部位６ｃと接触する凸部（本実施形態においては突条）からなる。この補助接触部８０は、載置基台２の被加圧物Ｃ（処理基材Ｂ）の外周側の載置面に設けられている。補助接触部８０は、図９（ｂ）に示すように、例えば少なくとも排液時の電解液の流れ（図中白抜き矢印）に応じた排水箇所８９を塞がないように、非連続の突条により形成されている。なお、図９（ｂ）においては、トレイ９ｂや処理基材Ｂの図示は省略している。

このように補助接触部８０を設けることで、上述したような内枠膜治具３６及び外枠膜治具３７による吸膜後に、万が一イオン伝導膜６に皺や弛み等が発生したとしても、その皺や弛み等を吸収して均一な膜張りを実現することが可能となるので、上述した作用効果を更に補強することが可能となる。なお、補助接触部８０は、凸部（突条）の他、図示は省略するが凹部（例えば、溝）により形成されていても良い。また、補助接触部８０は、ゴム材やスポンジ材等の弾性を有する材料からなるものでも良く、図示しないバネ等の弾性力或いは内部に介在されたシリンダ等の上下機構によって上下可動させることにより、膜張り力を調整可能な機構を有していても良い。さらに、補助接触部８０は、載置基台２の凹部に嵌め込まれるトレイ９ｂの高さを高く調整、或いは凹部の深さを浅く調整することにより、載置基台２の上面とトレイ９ｂ及び被加圧物Ｃの上面との間に段差を設けることによって、その機能を実現できる構成としても良い。すなわち、この場合は、トレイ９ｂ及び／又は被加圧物Ｃの上面がイオン伝導膜６の第３部位６ｃと接触する凸部となって、補助接触部８０の機能を兼ねる構成となる。

図１０は、本発明の更に他の実施形態に係る加圧装置１の減圧系の回路を概略的に説明するための図であり、図１１はハウジング４側の減圧系の回路を概略的に示す図である。
図１０及び図１１に示すように、本実施形態の加圧装置１の減圧系の回路は、ハウジング４の液室３に連通する減圧流路（第１の流路）９１と、下クランプ部３９を通して下方空間に連通する減圧流路（第２の流路）９４と、これらの減圧流路９１，９４をバイパスするバイパス流路９３と、減圧流路９１（及びバイパス流路９３）を開閉する図示しない流路開閉弁（第１開閉弁）のスプール（弁体）９２と、を備えている。この減圧系の回路は、例えばハウジング４の長辺側に対向配置され、減圧流路９１は、ハウジング４の長辺側において所定間隔毎に枝分かれするように設けられている（図１１参照）。なお、減圧流路９４についても同様に設けられていても良い。具体的な実装の際には、減圧流路９１が水平方向に分かれ、バイパス流路９３及び減圧流路９４が更に枝分かれする構造を採用することもできる。この場合、減圧流路９１は図示のものよりも水平方向の流路がより細くなり、バイパス流路９３及び減圧流路９４の流路は更に細くなる。

バイパス流路９３は、例えば外枠膜治具３７を上下方向に貫通するように設けられており、その流路長は可能な限り短くなるよう構成されている。このバイパス流路９３には、図示しない真空ポンプ等の減圧手段が接続されている。このような構成の減圧系の回路においても、上述したステップＳ４のような減圧工程において、液室３と下方空間を同時に減圧することが可能となる。なお、液室３と下方空間を同時に減圧した場合であっても、液室３側の減圧流路９１等の流路抵抗と、下方空間側の減圧流路９４等の流路抵抗とが同じであれば、液室３に比べると下方空間の方が空間容積が小さいため先に真空度が高まるが、両者が共に減圧されるため真空度は等しくなる。そうすると、イオン伝導膜６は、まずは上述したように被加圧物Ｃの中心部から最初に密着するように下方に向けて凸状に撓むこととなるが、液室３と下方空間の圧力が等圧となったときにイオン伝導膜６は撓みが解消されて元の膜張り状態に戻るため、その後の工程においては問題は生じない。

図１２は、加圧装置１の減圧系の回路の他の例を概略的に示す図であり、図１３はこの減圧系の回路の液室３側の減圧流路１０１を閉塞した状態を概略的に示す図である。
図１２に示すように、本例の減圧系の回路は、ハウジング４の液室３に連通する減圧流路（第１の流路）１０１と、下クランプ部３９を通して下方空間に連通する減圧流路（第２の流路）１０２と、これらの減圧流路１０１，１０２をバイパスするバイパス流路１０３と、減圧流路１０１（及びバイパス流路１０３）を開閉する図示しない流路開閉弁（第１開閉弁）のスプール（弁体）１０４と、を備えている。なお、減圧流路１０１の一部には、ハウジング４に設けられた吸気流路１０５及び流路開閉弁（第１開閉弁）を介して真空ポンプ等を有する第１の減圧手段（第１圧力調整機構）１０６が接続され、減圧流路１０２の一部には、下クランプ部３９に設けられた吸気流路１０７及び流路開閉弁（第２開閉弁）１０８を介して真空ポンプ等を有する第２の減圧手段（第２圧力調整機構）１０９が接続されている。また、図１２の向かって左側の状態は上述した原位置のときを、向かって右側の状態は上述した減圧位置のときを、それぞれ描画方向を反転して示している。

このような構成の減圧系の回路においても、液室３と下方空間を同時に減圧することが可能となると共に、第１の減圧手段１０６及び第２の減圧手段１０９の動作制御をすることによって、より繊細な減圧動作を行うことが可能となる。なお、イオン伝導膜６と載置基台２との間に残留する空気は、減圧流路１０１（及びバイパス流路１０３）を図示しない流路開閉弁により閉状態とした後においても、減圧位置から処理位置へ至る間に亘って、スプール１０４の周縁で繋がった吸気流路１０５及びバイパス流路１０３を介して第１の減圧手段１０６により減圧を続けることで、吸引し続けることができる。また、この吸引を補助するために、流路開閉弁１０８を開状態にしたまま第２の減圧手段１０９により減圧を続けるようにしても、吸気流路１０７を介して吸引し続けることができる。また、第２の減圧手段１０９の機能を流路開閉弁１０８等のバルブ機構の組み合わせで実現することもできるため、第２の減圧手段１０９を設けずにより簡易な構成とすることも可能である。

なお、図１３に示すように、減圧流路１０１（及びバイパス流路１０３）を閉状態とした場合、図示しない流路開閉弁（第１開閉弁）のスプール（弁体）１０４の先端面（進行方向先端面）１０４ａは、上述したように液室３の内部側面（壁面）と面一又はこの内部側面から突出するように移動して、減圧系の回路を遮断するので、内部側面と先端面１０４ａとで形成される窪み部分に電解液が残留したり空気が残留する等の不具合の発生を無くすことができる。

以上のように、上述した実施形態の加圧装置１によれば、内枠膜治具３６及び外枠膜治具３７によりイオン伝導膜６を膜張りした上で吸引溝３６ａに吸膜した状態で、さらに液室３及び下方空間を同時に減圧して被加圧物Ｃに接触させることができる。これにより、イオン伝導膜６に皺や弛みを発生させることなく、被加圧物Ｃに圧接させて密着させ、表面処理を行うことが可能となる。

なお、上記の説明では、開閉弁付き加圧機構３０の作動に空気圧を使用した例を示したが、液圧或いは電動の方式を採用することもできる。また、流路開閉弁４０及び開閉弁付き加圧機構３０を含む各種開閉弁は、空気圧駆動を想定した弁構造について説明を行ったが、液圧での駆動や、一般の電磁弁、ボールねじ機構、ラックアンドピニオン機構等の種々の手段を用いることも可能である。さらに、これらの作動機構を弁構造から独立させ、各種の汎用作動機構部品を用いることも可能である。

また、ハウジング４を上下動させる移動機構５は、空気圧シリンダ機構や電動のリニア駆動機構等の種々の構成を任意に用いることが可能である。これらの直動機構には、位置検出センサ及び圧力検出センサが設けられることが好ましい。なお、作動空気の制御系、電解液の制御系については、一般の流体制御系の回路が使用できるため、詳細の説明は省略する。このような種々の構成は、剥離機構５２についても適宜採用可能である。

上述した作用効果と共に、加圧装置１によれば、ハウジング４の内部に被加圧物Ｃを加圧し表面処理する液室３を形成し、その液室３に臨む加圧機構を直接取り付けてあるので、不要な配管や圧力ポンプ等を排除して小型化することができる。また、載置基台２とハウジング４を離隔させることにより、被加圧物Ｃを容易に取り出すことができる。

また、表面処理の後、液室３の内部を排液させた上で載置基台２とハウジング４を離隔させるので、電解液の漏洩を極力防ぐことができる。さらに、供給流路４１を液室３の最下部に、また、排出流路３１を液室３の最上部にそれぞれ設けてあるので、液室３内に満たされた電解液は給気排気口から空気を入れることにより、空気圧と重力を利用して給液排液口から効率良く排出され得る。このように、液室３内に電解液が残留していなければその漏洩のリスクは著しく低くなる。

また、加圧機構（開閉弁付き加圧機構３０）を小型化するためには、電解液を注入する際、液室３内の残留空気の排除が重要となる。加圧装置１は、液室３の上面を最上部にある給気排気口（排出流路３１）に向けた傾斜構造とすることにより、液室３内の空気を容易に排除することができる。また、液室３内の空気を排除した状態で、加圧機構により加圧を行うことにより、効率よく加圧することができるようになるだけでなく、効率が良くなったことによる加圧機構の小型化を図ることができる。

以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これらの新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると共に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

例えば、上記の実施形態では、液室３内の籠状部材２０を陽極とすると共に、箔状部材１０の通電層１２が表面Ｅに接触した被加圧物Ｃの導体層Ｄを陰極として、イオン伝導膜６を導体層Ｄの表面Ｅに密着させて電圧を印加し、金属を析出させるめっき処理を例に挙げて説明したが、表面処理としては、このようなめっき処理に限定されるものではない。例えば、真空下の雰囲気内で部材間の接着界面の気泡を排除した貼り合わせ処理や樹脂封止処理等の各種処理も表面処理に含まれる。また、加圧装置１は、電源部７の正極及び負極の極性を入れ替え、被加圧物Ｃの導体層Ｄを陽極、ハウジング４内に配された電極（上記の実施形態では籠状部材２０）を陰極とすることにより、被加圧物Ｃの導体層Ｄのエッチング処理や洗浄処理等に利用することも可能である。

また、例えば、上述した実施形態に係る加圧及び表面処理プロセスでは、電解液を増圧して通電により金属を析出させる表面処理プロセスについて説明したが、被加圧物Ｃを加熱する必要がある場合は、図１Ａに示したハウジング４の上面と、載置基台２の下面側とに、上ヒータ５５及び下ヒータ５６を配置し、被加圧物Ｃを所望の温度に設定することが可能である。また、溶液供給部に、電解液の加熱ユニット及び冷却ユニットを設ければ、被加圧物Ｃの温度をさらに急速に変化させることも可能である。

また、加圧装置１としては、載置基台２の上方にハウジング４が設けられた、いわゆる縦型の加圧装置を例に挙げて説明したが、これに限定されるものではなく、これらの上下関係が反対となった構成等、種々の構成を採用し得る。また、排出流路３１の液室３に臨む開口部が、ハウジング４の内部側面の最上部に設けられるものとして説明したが、これに限定されず、液室３内の気体を排出させるという機能を阻害しない範囲において、排出流路３１の開口部の位置は任意に変更可能である。そのため、例えば、ハウジング４の内部上面に開口部が形成される構成としても良い。

また、供給流路４１の液室３に臨む開口部が、ハウジング４の内部側面の最下部に設けられるものとして説明したが、これに限定されず、液室３に対して電解液を供給・排出するという機能を阻害しない範囲において、供給流路４１の開口部の位置は任意に変更可能である。そのため、例えば、載置基台２に開口部が形成される構成としても良い。

また、ハウジング４の（液室３の）内部上面が排出流路３１の開口部側を最上部として鉛直方向に対して傾斜するものとして説明したが、これに限定されず、ハウジング４の（液室３の）内部上面の一部のみが鉛直方向に対して傾斜する構成や、ハウジング４の（液室３の）内部上面が鉛直方向に対して傾斜せずに平坦な構成など、種々の構成を採用することができる。

さらに、上述した実施形態では、開閉弁付き加圧機構３０及び流路開閉弁４０や減圧系の流路開閉弁がハウジング４の外部側面に装着されるものとして説明したが、これに限定されず、例えば、ハウジング４の側壁内に埋め込まれるように、加圧装置１に一体的に設けられる構成、或いは流路系の配管等を介して完全に外部に別体として設けられる構成等、これらの設置位置は任意に変更可能である。

その他、ハウジング４に開閉弁付き加圧機構３０が設けられるものとして説明したが、これに限定されず、加圧装置１が液室３内に充填された電解液を加圧可能な構成であれば良く、例えば、液室３の形成後にさらにハウジング４を載置基台２に対して接近させる（又は載置基台２をハウジング４に対して接近させる）ことで、液室３内の電解液を加圧する構成等であっても良い。また、開閉弁付き加圧機構３０の設置位置は、液室３内の電解液を加圧するという機能を阻害しない範囲において、任意に変更可能である。

また、移動機構５が、直動ロッド５１を備えるものとして説明したが、これに限定されず、載置基台２及びハウジング４の少なくとも一方を他方に対して接近又は離隔する方向に相対移動させることが可能な構成であれば、例えば空気式又は油圧式のシリンダ機構、ボールねじ機構、ラックアンドピニオン機構及びトグル機構等の種々の機構を採用することが可能であり、このような構成は、剥離機構５２についても採用可能である。

なお、移動機構５は、載置基台２及びハウジング４が相対移動不能となるよう位置保持（ロック）可能な構成、例えば、液室３内の圧力（内圧）以上の圧力で載置基台２及びハウジング４の少なくとも一方を押さえ込むことで載置基台２及びハウジング４の相対移動を規制する構成や、物理的なロック機構等の構成をさらに備えることが挙げられる。

１加圧装置
２載置基台
３液室
４ハウジング
５移動機構
６イオン伝導膜
６ａ第１部位
６ｂ第２部位
６ｃ第３部位
７電源部
８支持基台
９排気流路
９ａ排気ポート
９ｂトレイ
１０箔状部材
１１絶縁層
１２通電層
１３コネクタ部
２０籠状部材
２１支持柱部
２２高さ調整スペーサ
２３底部
２４保護板
３０開閉弁付き加圧機構
３１排出流路
３２，４２，４９スプール
３３，４３，５７閉操作ポート
３４，４４，５８開操作ポート
３５，４５給排ポート
３６内枠膜治具
３６ａ吸引溝
３６ｂ吸引通路
３７外枠膜治具
３８上クランプ部
３８ｂ空気導入流路
３９下クランプ部
４０流路開閉弁
４１供給流路
４６離型フィルム材
４７開閉弁
４８減圧流路
５０傾斜機構
５０ａ直動ロッド
５１直動ロッド
５２剥離機構
５２ａ直動ロッド
５５上ヒータ
５５ａ絶縁部材
５６下ヒータ
６０圧力センサ
６１端面
６２，６３Ｏリング
７０流路開閉弁
７１減圧流路
７２スプール
７２ａ先端面
８０補助接触部
Ｂ処理基材
Ｃ被加圧物
Ｄ導体層
Ｅ表面

Claims

被加圧物を載置可能な載置基台と、
前記載置基台に対して対向配置されて、内部に圧力媒体室を形成可能なハウジングと、
圧力媒体を前記圧力媒体室内に供給可能な媒体供給部と、
前記載置基台と前記ハウジングとの間に、前記被加圧物を覆うように配置された枚葉状の膜状部材と、を有し、
前記膜状部材を介して前記圧力媒体により前記被加圧物に対して繰り返し加圧可能な加圧装置であって、
前記膜状部材は、枠状の第１部材及び該第１部材の外周側に嵌まる第２部材を有する保持治具を介して、前記載置基台及び前記ハウジングのいずれか一方に取り付けられ、
前記保持治具は、前記膜状部材の外周部近傍の第１部位を前記第１部材及び前記第２部材の間に挟持すると共に、該第１部位よりも内側の第２部位を前記第１部材の前記膜状部材との接触側端面に設けられた溝部に吸引可能に構成されている
ことを特徴とする加圧装置。
前記溝部は、平面視環状となるように前記第１部材の前記接触側端面に形成されている
ことを特徴とする請求項１記載の加圧装置。
前記保持治具は、前記第１部材及び前記第２部材の間に配置された第１の弾性シール材を有する
ことを特徴とする請求項１又は２記載の加圧装置。
前記保持治具は、前記第１部材の前記接触側端面における前記溝部の両側に位置する端面のうち、少なくとも前記第２部材側とは反対側の端面に配置された第２の弾性シール材を有する
ことを特徴とする請求項１～３のいずれか１項記載の加圧装置。
前記保持治具の前記第１部材よりも内周側に設けられ、前記膜状部材の前記第２部位よりも内側の第３部位と接触する凸部又は凹部からなる補助接触部を更に備える
ことを特徴とする請求項１～４のいずれか１項記載の加圧装置。
前記補助接触部は、前記載置基台の前記被加圧物の外周側の載置面に設けられている
ことを特徴とする請求項５記載の加圧装置。
前記補助接触部は、非連続の突条又は溝からなる
ことを特徴とする請求項５又は６記載の加圧装置。
前記膜状部材と前記被加圧物との間に配置された箔状部材と、
前記膜状部材と前記箔状部材との間に空気を送気可能な送気機構と、を更に備えた
ことを特徴とする請求項１～７のいずれか１項記載の加圧装置。
前記第１部材は、前記膜状部材の前記第２部位よりも内側の第３部位の一部を、前記第１部材側から覆う板状部材を備える
ことを特徴とする請求項１～８のいずれか１項記載の加圧装置。
前記圧力媒体室の形成時に前記膜状部材と前記載置基台との間に形成される下方空間を有し、
前記圧力媒体室及び前記下方空間を減圧可能な減圧部を更に備える
ことを特徴とする請求項１～９のいずれか１項記載の加圧装置。
前記減圧部は、
前記圧力媒体室と連通する第１の流路と、
前記下方空間と連通する第２の流路と、
これら第１の流路及び第２の流路をバイパスするバイパス流路と、
前記第１の流路を開閉する第１開閉弁と、
前記第２の流路を開閉する第２開閉弁と、
前記バイパス流路に接続された圧力調整機構と、
を有することを特徴とする請求項１０記載の加圧装置。
前記減圧部は、
前記圧力媒体室と連通する第１の流路と、
前記下方空間と連通する第２の流路と、
前記第１の流路を開閉する第１開閉弁と、
前記第２の流路を開閉する第２開閉弁と、
前記第１開閉弁を介して前記第１の流路に接続された第１圧力調整機構と、
前記第２開閉弁を介して前記第２の流路に接続された第２圧力調整機構と、
を有することを特徴とする請求項１０記載の加圧装置。
前記第１開閉弁は、進退移動して前記第１の流路を閉塞及び開放する弁体を有し、
前記弁体は、前記第１開閉弁が閉状態のときに、進行方向先端面が前記圧力媒体室の壁面と面一又は該壁面から突出した状態となるよう構成されている
ことを特徴とする請求項１１又は１２記載の加圧装置。