JP2022091165A - ロボット及び教示方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ティーチングに対する耐久性が良好なロボットを提供する。【解決手段】水平多関節型のロボットは、マニピュレータと、ハンドと、教示部材と、を備える。前記ハンドは、前記マニピュレータに連結される。前記ハンドは、基板を保持可能である。前記教示部材は、前記マニピュレータに連結される。前記教示部材は、基板の搬送に用いられない。【選択図】図１

Description

本発明は、水平多関節型のロボットへの教示に関する。

特許文献１は、ウエハーハンドリングロボットの位置定め（ティーチング）を行うティーチング装置を開示する。このティーチング装置は、基板と、嵌合部と、を含む。嵌合部は、ウエハーハンドリングロボットが備えるエンドエフェクターに嵌合する。基板と接するようにエンドエフェクターを配置した場合、エンドエフェクターの上面位置がウエハーの下面と一致する。エンドエフェクターが嵌合部に嵌合されると、ウエハーハンドリングロボットのエンドエフェクター、アーム及び回転軸のティーチングが実行される。

特許第４６０１１３０号公報

上記特許文献１の構成は、エンドエフェクタであるハンドを直接用いて教示を行うため、ハンドに負荷が加わり易く、教示時に変形、破損等が生じることがあった。ウエハを搬送するハンドは軽量かつコンパクトであることが求められるため、ハンドの機械的強度を向上させることも困難であった。

本発明は以上の事情に鑑みてされたものであり、その目的は、教示作業に対する耐久性が良好なロボットを提供することにある。

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段とその効果を説明する。

本発明の第１の観点によれば、以下の構成のロボットが提供される。即ち、水平多関節型のロボットは、マニピュレータと、ハンドと、教示部材と、を備える。前記ハンドは、上下方向の軸を中心として回転可能に前記マニピュレータに連結される。前記ハンドは、基板を保持可能である。前記教示部材は、上下方向の軸を中心として回転可能に前記マニピュレータに連結される。前記教示部材は、基板の搬送に用いられない。

本発明の第２の観点によれば、マニピュレータに連結されるハンドによって基板を保持して搬送する水平多関節型のロボットに対する、以下のような教示方法が提供される。即ち、この教示方法では、前記マニピュレータに連結される、基板の搬送に用いられない教示部材を用いて、教示を行う。

これにより、ロボット側が備える教示部材を用いて、ロボットへの自動教示を実現することができる。ハンドとは別の部材である教示部材を使って教示が行われるので、ハンドの破損等を防止することができる。

本発明によれば、教示作業に対する耐久性が良好なロボットを提供することができる。

本発明の一実施形態に係るロボットシステムの全体的な構成を示す斜視図。 ロボットの構成を示す斜視図。 ロボットシステムの一部の構成を示すブロック図。 教示部材が教示台にセットされる様子を示す斜視図。 教示部材を回転駆動するモータのサーボ制御を説明するブロック図。

次に、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図１は、本発明の一実施形態に係るロボットシステム１００の構成を示す斜視図である。図２は、ロボット１の構成を示す斜視図である。図３は、ロボットシステム１００の一部の構成を示すブロック図である。図４は、教示部材１２が教示台８にセットされる様子を示す斜視図である。

図１に示すロボットシステム１００は、クリーンルーム等の作業空間内でロボット１に作業を行わせるシステムである。

ロボットシステム１００は、ロボット１と、コントローラ５と、教示台８と、を備える。

ロボット１は、例えば、保管容器３に保管されるウエハ（基板）２を搬送するウエハ移載ロボットとして機能する。本実施形態では、ロボット１は、ＳＣＡＲＡ（スカラ）型の水平多関節ロボットによって実現される。ＳＣＡＲＡは、Ｓｅｌｅｃｔｉｖｅ Ｃｏｍｐｌｉａｎｃｅ Ａｓｓｅｍｂｌｙ Ｒｏｂｏｔ Ａｒｍの略称である。

ロボット１は、図２に示すように、ハンド（保持部）１１と、教示部材１２と、マニピュレータ１３と、を備える。

ハンド１１は、エンドエフェクタの一種であって、概ね、平面視でＶ字状又はＵ字状に形成されている。ハンド１１は、マニピュレータ１３（具体的には、後述の第２リンク１８）の先端に支持されている。ハンド１１は、第２リンク１８に対して、上下方向に延びる第３軸ａ３を中心として回転可能である。

ハンド１１は、エッジグリップ型のハンドとして構成されている。ハンド１１において分岐されたそれぞれの先端部分には、エッジガイド６が設けられている。ハンド１１の手首部近傍には、押圧部材７が設けられている。押圧部材７は、ハンド１１の手首部に内蔵された図略のアクチュエータ（例えば、空気圧シリンダ）によって、ハンド１１の先端方向に向かって移動する。

ハンド１１の上面側にウエハ２を載せた状態で押圧部材７を先端側へ変位させることで、エッジガイド６と押圧部材７との間にウエハ２を挟んで保持することができる。

教示部材１２は、板状に形成されている。教示部材１２は、その厚み方向を上下方向に向けて配置されている。教示部材１２は、マニピュレータ１３（第２リンク１８）の先端に支持されている。教示部材１２は、第２リンク１８に対して、上記の第３軸ａ３を中心として回転可能である。

本実施形態において、教示部材１２は円板状に形成されている。ただし、教示部材１２の平面視での形状は任意である。教示部材１２の外周面は、図１において鎖線で示すように、教示台８が備える教示用ピン８２に接触することができる。教示台８の詳細な構成については後述する。本実施形態において、教示部材１２の円板状部分の径は、搬送対象であるウエハ２の径と等しい。ただし、教示部材１２の円板状部分の径がウエハ２の径よりも大きくても良いし、小さくても良い。

教示部材１２はウエハ２の搬送を目的としていない。従って、エッジガイド６、及び押圧部材７等は、教示部材１２に設けられていない。

マニピュレータ１３は、主として、基台１５と、昇降軸１６と、複数のリンク（ここでは、第１リンク１７及び第２リンク１８）と、を備える。

基台１５は、例えば、クリーンルームを構成する天井面に固定される。基台１５は、昇降軸１６を支持するベース部材として機能する。

昇降軸１６は、基台１５に対して上下方向に移動する。この昇降により、第１リンク１７、第２リンク１８、ハンド１１及び教示部材１２の高さを変更することができる。

基台１５には、モータＭ１と、エンコーダＥ１と、が設けられている。モータＭ１は、昇降軸１６を、例えば図略のネジ機構を介して駆動する。エンコーダＥ１は、昇降軸１６の上下方向の位置を検出する。

第１リンク１７は、昇降軸１６の下部に支持されている。第１リンク１７は、昇降軸１６に対して、上下方向に延びる第１軸ａ１を中心として回転する。これにより、第１リンク１７の姿勢を水平面内で変更することができる。

第１リンク１７には、モータＭ２と、エンコーダＥ２と、が設けられている。モータＭ２は、第１リンク１７を、昇降軸１６に対して回転するように駆動する。エンコーダＥ２は、昇降軸１６に対する第１リンク１７の角度を検出する。

第２リンク１８は、第１リンク１７の先端に支持されている。第２リンク１８は、第１リンク１７に対して、上下方向に延びる第２軸ａ２を中心として回転する。これにより、第２リンク１８の姿勢を水平面内で変更することができる。

第１リンク１７には、モータＭ３と、エンコーダＥ３と、が設けられている。モータＭ３は、第２リンク１８を、第１リンク１７に対して回転するように駆動する。エンコーダＥ３は、第１リンク１７に対する第２リンク１８の角度を検出する。

第２リンク１８には、モータＭ４と、エンコーダＥ４と、が設けられている。モータＭ４は、ハンド１１を、第２リンク１８に対して回転するように駆動する。エンコーダＥ４は、第２リンク１８に対するハンド１１の角度を検出する。

第２リンク１８には、モータＭ５と、エンコーダＥ５と、が設けられている。モータＭ５は、教示部材１２を、第２リンク１８に対して回転するように駆動する。エンコーダＥ５は、第２リンク１８に対する教示部材１２の角度を検出する。

モータＭ１～Ｍ５は、ロボット１の各部を動かすアクチュエータである。モータＭ１～Ｍ５は、電動モータの一種であるサーボモータとして構成されている。モータＭ１～Ｍ５を駆動することにより、ハンド１１及び教示部材１２の位置及び姿勢を様々に変更することができる。図３に示すように、モータＭ１～Ｍ５は、コントローラ５と電気的に接続されている。モータＭ１～Ｍ５のそれぞれの駆動は、コントローラ５から入力された指令値を反映するように行われる。

コントローラ５は、モータＭ１～Ｍ５を駆動するための駆動回路を備える。この駆動回路と、ロボット１のモータＭ１～Ｍ５とが、図示しない電気ケーブルによって接続される。この駆動回路には、電流センサＣ１～Ｃ５が設けられている。電流センサＣ１～Ｃ５は、モータＭ１～Ｍ５の電流値を検出することができる。

エンコーダＥ１は、位置を検出するセンサである。エンコーダＥ２～Ｅ５は、角度を検出するセンサである。エンコーダＥ１～Ｅ５の検出結果に基づいて、ハンド１１及び教示部材１２の位置及び姿勢を検出することができる。エンコーダＥ１～Ｅ５は、コントローラ５と電気的に接続されている。エンコーダＥ１～Ｅ５のそれぞれは、検出結果をコントローラ５に出力する。

コントローラ５は、予め定められる動作プログラム又はユーザから入力される移動指令に従って、モータＭ１～Ｍ５に指令値を出力して制御し、予め定められる位置にハンド１１及び教示部材１２を移動させる。

コントローラ５は、図３に示すように、演算部５１と、サーボ制御部５２と、を備える。演算部５１は、前記プログラムに従って演算処理を行う。サーボ制御部５２は、モータＭ１～Ｍ５のサーボ制御に必要な処理を行う。

コントローラ５は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、補助記憶装置等を備える公知のコンピュータとして構成されている。補助記憶装置は、例えばＨＤＤ、ＳＳＤ等として構成される。補助記憶装置には、ロボット制御プログラム、及び、本発明の教示方法を実現するためのプログラム等が記憶されている。これらのハードウェア及びソフトウェアの協働により、コントローラ５を、演算部５１及びサーボ制御部５２等として動作させることができる。

教示台８は、図４に示すように、ベース部材８１と、教示用ピン（位置決め部材）８２と、を備える。

ベース部材８１は、ロボット１の設置面に対して固定的に設けられている。ベース部材８１は、ロボット１の周囲に配置される図示しないステージの上面に固定されている。

ベース部材８１の上面には、４つの教示用ピン８２が固定されている。それぞれの教示用ピン８２は、ベース部材８１から上方に突出するように設けられている。４つの教示用ピン８２の形状は、互いに同一である。平面視で、４つの教示用ピン８２は、所定の基準点から互いに等しい距離となるように配置される。この基準点が、平面視での教示位置に相当する。４つの教示用ピン８２によって囲まれた空間に、教示部材１２の円板部分を上から差し込むことができる。

４つの教示用ピン８２は何れも、先端テーパ部８２ａと、円柱部８２ｂと、根元テーパ部８２ｃと、を有する。

先端テーパ部８２ａは、教示用ピン８２の上端部に配置されている。先端テーパ部８２ａは、下方となるに従って径が増大する円錐状に形成されている。先端テーパ部８２ａの下端が、円柱部８２ｂに接続している。この先端テーパ部８２ａにより、上方から差し込まれる教示部材１２を、４つの教示用ピン８２の円柱部８２ｂの間に入るように案内することができる。

円柱部８２ｂは、教示用ピン８２の上下方向中間部に配置されている。この円柱部８２ｂに相当する高さまで教示部材１２が差し込まれた状態では、教示部材１２の外周面と、円柱部８２ｂの外周面と、の隙間が僅かとなるように、４つの教示用ピン８２の位置が定められている。

根元テーパ部８２ｃは、教示用ピン８２の下端部に配置されている。根元テーパ部８２ｃは、下方となるに従って径が増大する円錐状に形成されている。根元テーパ部８２ｃの上端が、円柱部８２ｂに接続している。円柱部８２ｂと根元テーパ部８２ｃとの境界部分の高さが、上下方向での教示位置に相当する。

次に、サーボ制御部５２について詳細に説明する。図５には、教示部材１２を第２リンク１８に対して回転させるモータＭ５を例として、ロボット１の制御系が模式的に示されている。

サーボ制御部５２は、位置制御器５５と、速度制御器５６と、電流制御器５７と、微分器５８と、を備える。更に、サーボ制御部５２は、減算器６１，６２，６３を備える。

コントローラ５が備える演算部５１は、角度位置の指令値を生成して減算器６１に出力する。この減算器６１には、エンコーダＥ５が検出する角度位置の検出値が入力される。減算器６１は、角度位置の偏差を計算し、その結果を位置制御器５５に出力する。

位置制御器５５は、予め定められた伝達関数、又は比例係数に基づいた演算処理により、減算器６１から入力された角度偏差から速度指令値を生成する。位置制御器５５は、生成した速度指令値を減算器６２に出力する。この減算器６２には、エンコーダＥ５の角度位置を微分器５８で微分して得られた速度値が入力される。減算器６２は、速度の偏差を計算し、その結果を速度制御器５６に出力する。

速度制御器５６は、予め定められた伝達関数、又は比例係数に基づいた演算処理により、減算器６２から入力された速度偏差から電流指令値を生成する。速度制御器５６は、生成した電流指令値を減算器６３に出力する。この減算器６３には、電流センサＣ５が検出した、モータＭ５の電流値が入力される。減算器６３は、電流の偏差を計算し、その結果を電流制御器５７に出力する。

電流制御器５７は、減算器６３から入力された電流偏差に基づいて、モータＭ５に出力する電流値を制御する。

演算部５１は、サーボ制御部５２が備える位置制御器５５、速度制御器５６及び電流制御器５７のうち少なくとも何れかに対して、ゲインの切換を指示する信号を出力する。これにより、位置制御器５５、速度制御器５６及び電流制御器５７のうち少なくとも何れかにおいて、ゲインが実質的にゼロになる。言い換えれば、位置ループゲイン、速度ループゲイン及び電流ループゲインのうち少なくとも何れかが、実質的にゼロになる。

ゲインがゼロ、又はゼロに近い値となっていると、教示部材１２に加わる外力（例えば、教示部材１２が教示用ピン８２に接触したときの反力）によって、モータＭ５の回転角度が自由に変更される状態になる。

上記ではモータＭ５を例にして説明しているが、他のモータＭ１～Ｍ４についても同様にサーボ制御のゲインを実質的にゼロとすることで、当該モータＭ１～Ｍ４の回転角度が自由に変更される状態になる。

本実施形態においてロボット１の自動教示を行う場合、コントローラ５は、ロボット１の教示部材１２が教示台８のほぼ直上方に位置するようにモータＭ１～Ｍ５を制御する。このとき、ハンド１１は、教示部材１２と実質的に重ならない姿勢としておく。

続いて、コントローラ５の演算部５１は、モータＭ１～Ｍ３，Ｍ５に関して、サーボ制御のゲインを実質的にゼロとする。この状態で、演算部５１は、モータＭ１を駆動して、昇降軸１６とともに教示部材１２を下降させる。

ロボット１の公差等により、教示部材１２の中心が教示台８の中心と一致していない場合がある。この場合、下方へ移動する教示部材１２の外周面が、何れかの教示用ピン８２の先端テーパ部８２ａに接触して押される。サーボ制御のゲインが実質的にゼロであるので、教示部材１２が押されるのに応じて、教示部材１２、第１リンク１７、及び第２リンク１８の姿勢が自由に変化する。

教示部材１２を下降させていくと、やがて、教示部材１２が、教示用ピン８２の根元テーパ部８２ｃの上に載る。この結果、モータＭ１を駆動しても、昇降軸１６が下降しなくなる。このときの教示部材１２の位置が、教示位置となる。コントローラ５の演算部５１は、このときのエンコーダＥ１～Ｅ３，Ｅ５の検出結果を記憶する。以上により、教示部材１２を用いた自動的な教示を実現することができる。

モータＭ１～Ｍ５の回転角度を自由に変更できる状態とする方法は様々である。演算部５１は、ゲインを低くすることに代えて、位置偏差、速度偏差、及び電流偏差のうち何れかを、ゼロ、又はゼロに近い値としても良い。演算部５１は、電流制御器５７からモータＭ１～Ｍ５に出力される電流値を、ゼロ、又はゼロに近い値としても良い。速度制御器５６から出力される電流指令値を、ゼロ、又はゼロに近い値としても良い。

本実施形態では、ウエハ２の搬送に用いるハンド１１とは別に、教示部材１２をロボット１側に設けている。この教示部材１２は、ウエハ２の搬送に用いられることはない。従って、押圧部材７等の精密な機構が必要なハンド１１と比較して、簡素で、機械的な強度が良好であるように教示部材１２を構成することが容易である。従って、教示の際に外力が加わっても破損しにくく、耐久性に優れた構成とすることができる。

例えば半導体のウエハ２を搬送する場合、クリーン度の高い環境で作業を行うために、閉鎖された空間内にロボット１が配置される場合がある。この構成では、教示台８が外部からは見えないので、公知のティーチペンダントを用いた目視での教示が困難である。しかし、本実施形態によれば、ロボット１が備える教示部材１２によって自動的に教示が行われるので、閉鎖された空間にロボット１が配置されても、問題なく教示を行うことができる。

ウエハ２を水等の液体で濡らす処理を行う場合、電気部品であるセンサを教示部材１２の近傍に配置することが困難な場合が多い。本実施形態では、ロボット１が制御のために通常備えるエンコーダＥ１～Ｅ３，Ｅ５を用いて、教示を実現している。従って、本実施形態の構成は、ウェット環境に適用することが特に好ましい。

教示部材１２の非使用時には、コントローラ５は、図１の実線で示すように、第２リンク１８に対して１８０°折返し状となるように教示部材１２の姿勢を制御する。１８０°折返し状の姿勢は、第２リンク１８に沿う姿勢と言い換えることもできる。平面視で教示部材１２の一部が第２リンク１８に重なるように姿勢を制御することで、教示部材１２がウエハ２の搬送の邪魔にならないようにすることができ、また、周辺の部材とも干渉しにくくなる。

教示部材１２の使用時には、コントローラ５は、図４等で示すように、第２リンク１８に対して１８０°折返し状となるようにハンド１１の姿勢を制御する。平面視でハンド１１の一部が第２リンク１８に重なるように姿勢を制御することで、ハンド１１がロボット１への教示の邪魔にならないようにすることができる。

以上に説明したように、本実施形態の水平多関節型のロボット１は、マニピュレータ１３と、ハンド１１と、教示部材１２と、を備える。ハンド１１は、上下方向の第３軸ａ３を中心として回転可能にマニピュレータ１３に連結される。ハンド１１は、ウエハ２を保持可能である。教示部材１２は、上下方向の第３軸ａ３を中心として回転可能にマニピュレータ１３に連結される。教示部材１２は、ウエハ２の搬送に用いられない。

これにより、ロボット１側が備える教示部材１２を用いて、ロボット１への自動教示を実現することができる。ハンド１１とは別の部材である教示部材１２を使って教示が行われるので、ハンド１１の破損等を防止することができる。

また、本実施形態のロボット１において、教示部材１２が、ロボット１への教示のために用いられる。

これにより、ロボット１への教示を行うにあたって、ロボット１に治具を装着したりする必要がない。従って、教示のためのロボット１の動作を簡素にすることができる。

また、本実施形態のロボット１において、マニピュレータ１３は、リンク１７，１８と、エンコーダＥ２，Ｅ３，Ｅ５と、を備える。エンコーダＥ２，Ｅ３，Ｅ５は、リンク１７，１８及び教示部材１２の姿勢を検出する。ロボット１の設置面に対して固定的に設けられた教示用ピン８２に教示部材１２が接触した場合のエンコーダＥ２，Ｅ３，Ｅ５の検出結果に基づいて、ロボット１への教示が行われる。

これにより、センサ等の電気的構成を特別に追加する必要がないので、コストを低減することができる。

また、本実施形態のロボット１において、ハンド１１によってウエハ２を搬送する場合、教示部材１２は、平面視で少なくとも一部がマニピュレータ１３と重なる姿勢となる。

これにより、ウエハ２の搬送時に教示部材１２が邪魔にならないようにすることができる。

また、本実施形態のロボット１において、ハンド１１によってウエハ２を搬送する場合、教示部材１２は、平面視で、マニピュレータ１３のうち最も先端側に位置するリンク１８に沿う姿勢を維持する。

これにより、教示部材１２が周囲と干渉しにくくすることができる。

また、本実施形態のロボット１において、教示部材１２によってロボット１への教示を行う場合、ハンド１１は、平面視で少なくとも一部がマニピュレータ１３と重なる姿勢となる。

これにより、教示を行うときにハンド１１が邪魔にならないようにすることができる。

また、本実施形態のロボット１において、ハンド１１は、マニピュレータ１３の先端に、上下方向の第３軸ａ３を中心として回転可能に連結される。教示部材１２は、マニピュレータ１３の先端に、ハンド１１と同軸である第３軸ａ３で回転可能に連結される。

これにより、教示部材１２とハンド１１が同軸で配置されているので、教示部材１２による教示によって、ハンド１１の動作精度を確実に良好にすることができる。

以上に本発明の好適な実施の形態を説明したが、上記の構成は例えば以下のように変更することができる。

平面視での位置の教示だけを行い、上下方向での位置の教示を省略しても良い。この場合、教示用ピン８２において根元テーパ部８２ｃを省略することができる。

教示にあたって、教示部材１２が教示用ピン８２に接触して押されることを利用しなくても良い。例えば、適宜の位置に非接触型のセンサ（例えば、光センサ）を配置し、このセンサが教示部材１２を検出した位置を教示位置とすることができる。

教示部材１２は、第３軸ａ３に連結されることに代えて、例えば第２軸ａ２又は第１軸ａ１に連結されるように構成することもできる。

教示部材１２は、円板状に形成されなくても良い。例えば、教示部材１２は、細長い矩形の対向する２辺を円弧状に外側に突出させた、長円状に形成することができる。また、教示部材１２を３角形、４角形、６角形等の多角形に構成することもできる。

教示部材１２に、貫通状の軸孔を形成することができる。この場合、軸孔の内周面に教示用ピン８２を接触させるように構成することができる。軸孔を円形孔とした場合、教示用ピン８２の代わりに、軸孔に差込可能な円錐状の位置決め部材を教示台８に設けることができる。

教示用ピン８２の数は、４つに限らず、例えば３つとすることもできる。

上記の実施形態では、ハンド１１の上方に教示部材１２が配置され、教示部材１２の上方に第２リンク１８が配置されている。言い換えれば、第３軸ａ３の方向で、教示部材１２はハンド１１よりも第２リンク１８に近い。しかしながら、ハンド１１の下方に教示部材１２が配置されても良い。

ロボット１は、基台１５が天井面に設置される構成（天吊り式）に代えて、床面に設置される構成とすることもできる。

ハンド１１がフリップ動作可能に構成することもできる。この場合でも、教示部材１２がフリップ動作機能を有する必要はない。教示部材１２がフリップ動作機能を有しないことで、簡素な構成の教示部材１２を実現することができる。

本願発明は、ウエハ２以外の基板（例えば、ガラス板）を搬送するためのロボットに適用することもできる。

１ ロボット
２ ウエハ（基板）
１１ ハンド
１２ 教示部材
１３ マニピュレータ
１６，１７ リンク
８２ 教示用ピン（位置決め部材）
Ｅ１～Ｅ５ エンコーダ（センサ）
ａ３ 第３軸（軸）

Claims (8)

1. 水平多関節型のロボットであって、
   マニピュレータと、
   上下方向の軸を中心として回転可能に前記マニピュレータに連結される、基板を保持可能なハンドと、
   上下方向の軸を中心として回転可能に前記マニピュレータに連結される、基板の搬送に用いられない教示部材と、
   を備えることを特徴とするロボット。
2. 請求項１に記載のロボットであって、
   前記教示部材が、当該ロボットへの教示のために用いられることを特徴とするロボット。
3. 請求項２に記載のロボットであって、
   前記マニピュレータは、
   リンクと、
   前記リンク及び前記教示部材のうち少なくとも何れかの姿勢を検出するセンサと、
   を備え、
   前記ロボットの設置面に対して固定的に設けられた位置決め部材に前記教示部材が接触した場合の前記センサの検出結果に基づいて、当該ロボットへの教示が行われることを特徴とするロボット。
4. 請求項１から３までの何れか一項に記載のロボットであって、
   前記ハンドによって前記基板を搬送する場合、前記教示部材は、平面視で少なくとも一部が前記マニピュレータと重なる姿勢となることを特徴とするロボット。
5. 請求項４に記載のロボットであって、
   前記ハンドによって前記基板を搬送する場合、前記教示部材は、平面視で、前記マニピュレータのうち最も先端側に位置するリンクに沿う姿勢を維持することを特徴とするロボット。
6. 請求項１から５までの何れか一項に記載のロボットであって、
   前記教示部材によって前記ロボットへの教示を行う場合、前記ハンドは、平面視で少なくとも一部が前記マニピュレータと重なる姿勢となることを特徴とするロボット。
7. 請求項１から６までの何れか一項に記載のロボットであって、
   前記ハンドは、前記マニピュレータの先端に、上下方向の軸を中心として回転可能に連結され、
   前記教示部材は、前記マニピュレータの先端に、前記ハンドと同軸で回転可能に連結されることを特徴とするロボット。
8. マニピュレータに連結されるハンドによって基板を保持して搬送する水平多関節型のロボットに対する教示方法であって、
   前記マニピュレータに連結される、基板の搬送に用いられない教示部材を用いて、教示を行うことを特徴とする教示方法。

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