JP2022090957A - ポンプの目詰まり検知システム - Google Patents

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Abstract

【課題】ポンプ停止時の点検や定期的な点検に煩わされずに目詰まりを検知可能なポンプの目詰まり検知システムを提供する。【解決手段】電動機により駆動されて空気等の流体を圧送または吸引するポンプの流体流路における目詰まり検知システムにおいて、電力変換装置２０の制御手段内の目詰まり検知部７０は、目詰まりにより電動機３０が過負荷になって電流が増加した時に、電動機３０の電流制限動作、出力トルク制限動作、または出力電力制限動作の有無に応じて第１のスコアをセットする第１の機能と、過電流制限動作の有無に応じて第２のスコアをセットする第２の機能と、電動機３０の過電流を除去する過電流保護動作の有無に応じて第３のスコアをセットする第３の機能と、を備え、第１～第３のスコアのうち一つ以上のスコアに基いて真空ポンプ４０の吸気側配管４２または排気側配管４３等の目詰まりを検知する。【選択図】図４

Description

本発明は、ポンプの配管等に付着した堆積物による目詰まりを検知する技術に関し、詳しくは、気体や液体等の流体を吸引または圧送するポンプにおける目詰まり検知システムに関するものである。
例えば、半導体製造装置におけるスパッタリング等の成膜工程では、チャンバー（炉）内を真空状態に保つために、真空ポンプを構成するインペラー（羽根車）を電動機により駆動している。この場合、チャンバー内に導入されるガスと成膜材料との化学反応による生成物が、真空ポンプの吸気側配管や排気側配管の内壁、更にはインペラーに付着して堆積し、この堆積物が真空ポンプの目詰まりを引き起こす。そして、堆積物が増えていくに従って電動機の負荷トルクが増大し、電動機が過熱状態になって、最悪の場合には電動機及び真空ポンプが停止してしまう。
従来では、運転中の真空ポンプが突然停止した時点で点検を行い、または、定期的に点検を行う等の方法で目詰まりを発見し、堆積物を除去するメンテナンス体制がとられていた。
しかし、真空ポンプが突然停止してしまうようなトラブルを回避したいのは言うまでもなく、また、定期的に点検を行うにしても、半導体製造工程で使用されるガスの種類やプロセスの違いにより、点検に最適なタイミングを決定することが困難かつ煩雑である等の問題があった。
このため、真空ポンプの運転に支障をきたす前の段階で目詰まりを検知することが望まれている。
ここで、特許文献１には、フィルタに付着した塵埃を気流により除去するシステムにおいて、上記気流を発生させる電動機の駆動電流を測定する手段と、駆動電流の上限値を複数の値から選択する手段と、駆動電流測定値が設定値を超えて継続する時間（継続時間）を測定する手段と、を備え、この継続時間に応じて電動機の駆動電流を変える技術が開示されている。
この従来技術においては、上記継続時間に基づいて塵埃によるフィルタの目詰まりを検知し、その場合に電動機の駆動電流の上限値を高くして電動機を高トルクで回転させることにより、塵埃を効率的に除去している。
特許第４９７３４７７号公報 （請求項１～３、［００３５］～［００４５］、図５等）
特許文献１に記載された従来技術では、フィルタの目詰まりを検知するために駆動電流の測定値が設定値を超えた継続時間を測定する必要があり、演算処理が複雑化するという問題があった。
そこで、本発明の解決課題は、ポンプ停止等の突発的なトラブルに応じた点検作業や定期的な点検作業に煩わされることなく、流体流路の目詰まりを確実に検知して効率的なメンテナンス作業を可能にしたポンプの目詰まり検知システムを提供することにある。
上記課題を解決するため、請求項１に係る発明は、電力変換装置により制御される電動機と、前記電動機により駆動されて流体を圧送または吸引するポンプと、を備え、前記ポンプを構成する流体流路の目詰まりを検知するシステムにおいて、
前記電力変換装置の制御手段に設けられた目詰まり検知部は、
前記目詰まりにより前記電動機が過負荷になって前記電動機の電流が増加した時に、前記電動機に対する電流制限動作、出力トルク制限動作、または出力電力制限動作の有無に応じて第１のスコアをセットする第１の機能と、
前記電動機に対する過電流制限動作の有無に応じて第２のスコアをセットする第２の機能と、
前記電動機の過電流を除去するための過電流保護動作の有無に応じて第３のスコアをセットする第３の機能と、
を備え、
前記第１のスコア～前記第３のスコアのうち一つ以上のスコアに基づいて前記目詰まりを検知することを特徴とする。
請求項２に係る発明は、請求項１に記載したポンプの目詰まり検知システムにおいて、前記目詰まり検知部は、前記電動機の始動時における過電流保護動作の有無に応じて第４のスコアをセットする第４の機能を更に備え、前記第１のスコア～前記第３のスコアのうち一つ以上のスコアと前記第４のスコアとに基づいて前記目詰まりを検知することを特徴とする。
請求項３に係る発明は、請求項１または２に記載したポンプの目詰まり検知システムにおいて、前記目詰まり検知部は、複数の前記スコアを加算して得たスコア積算値に基づいて前記目詰まりを検知することを特徴とする。
請求項４に係る発明は、請求項１～３の何れか１項に記載したポンプの目詰まり検知システムにおいて、前記第１のスコアを、前記電力変換装置の出力周波数の低下量に応じて算出することを特徴とする。
請求項５に係る発明は、請求項３または請求項４に記載したポンプの目詰まり検知システムにおいて、前記目詰まり検知部は、前記スコア積算値と、前記流体流路に配置された圧力センサーによる圧力測定値と、に基づいて前記目詰まりを検知することを特徴とする。
請求項６に係る発明は、請求項５に記載したポンプの目詰まり検知システムにおいて、前記目詰まり検知部は、前記スコア積算値と前記圧力測定値との組み合わせを所定の閾値と比較して前記目詰まりの発生箇所を推定し、その結果を出力する第５の機能を備えたことを特徴とする。
請求項７に係る発明は、請求項６に記載したポンプの目詰まり検知システムにおいて、今回の演算周期により演算した前記スコア積算値を今回スコア積算値とし、前記今回スコア積算値と前記圧力測定値との組み合わせを所定の閾値と比較して前記目詰まりの発生箇所を推定することを特徴とする。
請求項８に係る発明は、請求項６に記載したポンプの目詰まり検知システムにおいて、前回の演算周期により演算した前記スコア積算値を前回スコア積算値とし、前記前回スコア積算値と今回の演算周期における複数の前記スコアの積算値とを加算して今回スコア積算値を求め、前記今回スコア積算値と前記圧力測定値との組み合わせを所定の閾値と比較して前記目詰まりの発生箇所を推定することを特徴とする。
請求項９に係る発明は、請求項６～８の何れか１項に記載したポンプの目詰まり検知システムにおいて、前記第５の機能により推定した前記目詰まりの発生箇所を、モニタ画面に表示し、またはネットワークを介して外部に送信し、もしくは記録媒体に記録することを特徴とする。
請求項１０に係る発明は、請求項７～９の何れか１項に記載したポンプの目詰まり検知システムにおいて、前記今回スコア積算値を、モニタ画面に表示し、またはネットワークを介して外部に送信し、もしくは記録媒体に記録することを特徴とする。
請求項１１に係る発明は、請求項１～１０の何れか１項に記載したポンプの目詰まり検知システムにおいて、前記ポンプが真空ポンプであり、前記流体流路が前記真空ポンプの排気側配管または吸気側配管であることを特徴とする。
本発明によれば、ポンプ停止等の突発的なトラブルに応じた点検作業や定期的な点検作業に煩わされることなく、流体流路における目詰まりを確実に検知することができる。また、ポンプ内の目詰まり個所を推定可能として、点検・清掃作業を容易化することができる。
本発明の第１実施形態に係る目詰まり検知システムの構成図である。 本発明の第２実施形態に係る目詰まり検知システムの構成図である 本発明の第３実施形態に係る目詰まり検知システムの構成図である。 各実施形態における代表的な目詰まり検知動作を示すフローチャートである。 目詰まり検知部の機能を電力変換装置及び制御器に分散して設けた場合の動作説明図である。
以下、図に沿って本発明の実施形態を説明する。
なお、各実施形態では、本発明を半導体製造工程で使用される真空ポンプの目詰まり検知システムについて説明するが、本発明は、気体や液体等の流体を吸引または圧送する各種の流体機械を対象としており、「ポンプ」はコンプレッサを含む概念である。
図１は、本発明の第１実施形態に係る目詰まり検知システムの構成図である。
図１において、１０は三相商用電源等の電源、２０は例えばＶＶＶＦ（可変電圧可変周波数）インバータ及びその制御回路を備えた電力変換装置、３０は誘導電動機や同期電動機等の電動機であり、この電動機３０によって真空ポンプ４０内のインペラー（羽根車）４１が駆動される。
インペラー４１には吸気側配管４２を介してチャンバー（炉）５０が連結され、吸気側配管４２の反対側には排気側配管４３が設けられている。電動機３０によって駆動されるインペラー４１がチャンバー５０内の空気を吸引して排気側配管４３から排出することにより、チャンバー５０の内部は真空状態に保たれる。このチャンバー５０は、例えば半導体基板への成膜工程を行うためのものである。上記の吸気側配管４２、インペラー４１、及び排気側配管４３は、請求項における流体流路を構成している。
なお、本発明の要旨はポンプの目詰まり検知機能にあるため、電源１０や電動機３０の種別（交流、直流、相数）、電力変換装置２０の変換方式及び構成等は特に限定されるものではない。
排気側配管４３には排気圧センサー６０が接続され、この排気圧センサー６０による真空ポンプ４０の排気圧測定値が電力変換装置２０の制御回路が有する目詰まり検知部７０に入力されている。
目詰まり検知部７０は、後に詳述するように、電力変換装置２０による各種の制限動作や保護動作に応じた複数のスコアの積算値と上記排気圧測定値及び所定の閾値に基づいて、真空ポンプ４０（吸気側配管４２、排気側配管４３、及びインペラー４１を含む）の内部の目詰まりを検知し、出力する機能を備えている。
チャンバー５０の内部では、例えば半導体基板への成膜工程で各種のガスを使用することにより固形化した生成物１０１が発生し、この生成物１０１や塵埃がインペラー４１を介して排気される過程で、吸気側配管４２や排気側配管４３の内壁、インペラー４１等に付着して堆積物１０２となる。目詰まり検知部７０は、これらの生成物１０１や堆積物１０２による目詰まりを検知する。
本実施形態では、排気圧センサー６０による排気圧測定値を目詰まり検知に用いているが、吸気側配管４２に吸気圧センサー（図示せず）を接続し、その吸気圧測定値を目詰まり検知に用いても良い。あるいは、排気圧センサー及び吸気圧センサーを設けて排気圧測定値と吸気圧測定値との何れか一方（例えば、大きい方）の測定値、または両測定値の平均値を目詰まり検知に用いても良い。
次に、図２は、本発明の第２実施形態に係る目詰まり検知システムの構成図である。
この実施形態は、パソコンやＰＬＣ（Programmable Logic Controller）等からなる制御器８０を用いて電力変換装置２０を制御するものである。この場合、排気圧センサー６０による排気圧測定値は、制御器８０を介して電力変換装置２０内の目詰まり検知部７０に入力される。
また、図３は、本発明の第３実施形態に係る目詰まり検知システムの構成図である。
この実施形態は、目詰まり検知部７０を制御器８０に備えたものであり、排気圧センサー６０による排気圧測定値は、制御器８０内の目詰まり検知部７０に入力される。
なお、目詰まり検知部７０については、図１や図２のように電力変換装置２０の内部や図３のように制御器８０の内部だけでなく、いわゆるクラウド側に電力変換装置２０の制御手段（プログラム）を設け、その制御手段が本発明の目詰まり検知機能を備えていても良い。
次に、各実施形態において、目詰まり検知部７０により実行される代表的な目詰まり検知動作を図４のフローチャートに基づいて説明する。この検知動作は、定期的に実行されるものである。
まず、真空ポンプ４０を長期にわたって使用すると、生成物１０１が吸気側配管４２の内壁や排気側配管４３の内壁等に付着して堆積物１０２となり、または、生成物１０１や堆積物１０２がインペラー４１の内部に侵入することもある。このため、インペラー４１を駆動する電動機３０にとって過負荷状態となり、電力変換装置２０から電動機３０に流入する電流、入力電力、電動機３０の出力トルクが増加する。
電力変換装置２０は通常、制御回路の動作によって出力電流や出力周波数、出力電力、及び、電動機３０の出力トルク等を所定値に制限することが可能である。例えば、電力変換装置２０の出力電流が所定値を超えて電流制限動作が働くと（図４のステップＳ１ Ｙｅｓ）、電力変換装置２０の出力周波数が低下するため、その低下量をメモリに記録しておく（ステップＳ２）。そして、出力周波数低下量に応じて第１のスコアを算出し、これをセットする（ステップＳ３）。なお、電流制限動作が働かない場合（ステップＳ１ Ｎｏ）には、第１のスコアとして“０”をセットする。
次に、電動機３０が高速回転している時に堆積物１０２がインペラー４１の内部に付着する等の事態が発生して急激に過負荷状態になり、電力変換装置２０から電動機３０に、閾値（ステップＳ１の電流制限動作判定時における前記所定値より大きい値）以上の過電流が流入するのを防止するべく過電流制限動作が働いた場合には（ステップＳ４ Ｙｅｓ）、予め設定された第２のスコアをセットする（ステップＳ５）。なお、過電流制限動作が働かない場合（ステップＳ４ Ｎｏ）には、第２のスコアとして“０”をセットする。
そして、上記の過電流状態が解消されない場合には、電力変換装置２０から供給される電力を遮断して電動機３０を停止させる等の過電流保護動作を行い（ステップＳ６ Ｙｅｓ）、予め設定された第３のスコアをセットする（ステップＳ７）。なお、過電流保護動作が働かない場合（ステップＳ６ Ｎｏ）には、第３のスコアとして“０”をセットする。
更に、停止中の電動機３０を再び始動させる際に過電流保護動作が働いているか否かを判定し、これが働いていれば（ステップＳ８ Ｙｅｓ）、予め設定された第４のスコアをセットする（ステップＳ９）。なお、始動時過電流保護動作が働かない場合（ステップＳ８ Ｎｏ）には、第４のスコアとして“０”をセットする。
ここで、上述した始動時過電流保護動作の判定（ステップＳ８）は、運転中の過電流保護動作（ステップＳ６）が継続している場合のほか、ステップＳ１～Ｓ５を経てから長時間にわたってポンプの運転を停止し、その後にポンプを始動する場合に、吸気側配管４２に付着した堆積物１０２や新たな生成物１０１がインペラー４１に流入して目詰まりを起こし、始動時過電流保護動作が働くことも考えられるので、このような場合もステップＳ８による判定の対象となる。
なお、上記の始動時過電流保護動作の有無を判定する処理（ステップＳ８）は、本発明において必須のものではない。すなわち、請求項１に記載するように、目詰まり検知部７０は、少なくとも電流制限動作（ステップＳ１）等の有無に応じて第１のスコアをセットする第１の機能、過電流制限動作（ステップＳ４）の有無に応じて第２のスコアをセットする第２の機能、過電流保護動作（ステップＳ６）の有無に応じて第３のスコアをセットする第３の機能を備えていれば良く、これら第１～第３のスコアを用いて目詰まり検知を行うものである。
その後、第１～第４のスコアを、前回の演算周期で算出した前回スコア積算値に加算して今回スコア積算値を算出する（ステップＳ１０）。
そして、ステップＳ１０による加算結果（今回スコア積算値）と、図１～図３の排気圧センサー６０による排気圧測定値とを組み合わせ、その組み合わせを後述する各種の閾値と比較することにより目詰まりの箇所を推定し（ステップＳ１１）、その結果を分類してモニタ表示やインターネット等の外部ネットワークへの送信、記録媒体への記録等の方法により出力する（ステップＳ１２）。また、必要に応じて、今回スコア積算値についてもモニタ表示や外部ネットワークへの送信、記録媒体への記録等を行う。
半導体製造装置の運転を監視している操作員や現場の作業者は、上記の出力から目詰まりの発生を認識し、必要に応じて電動機３０を停止して点検・清掃作業等を実行すれば良い。
その後、今回スコア積算値を記録し（ステップＳ１３）、更に第１～第４のスコアをクリアする（ステップＳ１４）。このように今回スコア積算値をその都度記録しておくことで、目詰まりが進行していく状況をトレンドとして残すことができ、半導体製造工程における成膜条件の検討などに役立てることができる。
ここで、上述した第１～第４のスコアのクリア（ステップＳ１４）と共に各スコアの加算値（単なる「スコア積算値」）をクリアしても良く、クリアするタイミングは、例えば、目詰まり箇所の点検・清掃作業を完了した時点にすれば良い。
図５は、目詰まり検知部７０の機能を電力変換装置２０及び制御器８０に分散して設けた場合の動作説明図である。
電力変換装置２０では、図４におけるステップＳ１～Ｓ１０の処理を実行し、第１～第４のスコアと前回スコア積算値との加算結果を今回スコア積算値として、通信用送信バッファに格納し、この通信データを制御器８０に伝送する。
なお、図５の電力変換装置２０においてカッコ書きで示した「前回スコア積算値」は、必要に応じて各スコアに加算することを意味しており、言い換えれば、図４のステップＳ１０における前回スコア積算値をゼロにしても良い。つまり、前回スコア積算値をゼロに設定し、第１～第４のスコアの積算値のみを今回スコア積算値として用いれば、図４のフローチャートを実行する都度、今回スコア積算値を瞬時値的に用いて目詰まりを検知することができる。
図５において、制御器８０では、受信した今回スコア積算値を通信用受信バッファに格納し、その今回スコア積算値を比較・推定手段７１の一方の入力とする。
比較・推定手段７１の他方の入力としては、図１～図３における排気圧センサー６０の排気圧測定値が与えられる。
比較・推定手段７１は、図４のステップＳ１１，Ｓ１２の処理を実行するものであり、今回スコア積算値と排気圧測定値とを組み合わせ、その組み合わせを閾値ａ１，ａ２，ａ３，ｂ１と比較して目詰まりの箇所を推定し、例えば制御器８０のモニタ画面８１に出力する。なお、今回スコア積算値を別途、独立してモニタ画面８１に出力しても良い。前述したごとく、比較・推定手段７１の出力や今回スコア積算値をディジタルデータとして外部に送信し、あるいはＵＳＢメモリやメモリカード等、各種の記録媒体に記録しても良い。
図５に示すモニタ画面８１は、今回スコア積算値と排気圧測定値との組み合わせが、閾値ａ１，ａ２，ｂ１等により区画される４つの象限の何れに属するかを推定して表示した例である。例えば、ａ１は排気圧の下限値に相当する閾値、ａ２は排気圧の上昇を警告するための閾値、ａ３は排気圧の上限値に相当する閾値であり、排気圧がこの閾値ａ３を超えるような場合は警報を発生してポンプの運転停止を促すことが望ましい。また、ｂ１は今回スコア積算値の上昇を警告するための閾値である。これらの閾値の数や意義（種類）、モニタ画面８１の表示形式等は、上述した例に何ら限定されないのは言うまでもない。
モニタ画面８１内の４つの象限（１）～（４）について説明すると、経験的に、排気圧測定値が高いほど排気側配管４３における堆積物１０２が多く、今回スコア積算値が大きいほど吸気側配管４２における堆積物１０２が多い傾向にある。
このことを考慮して、象限（１）は吸気側配管４２及び排気側配管４３に堆積物１０２が多く、象限（２）は吸気側配管４２に堆積物１０２が多く、象限（３）は排気側配管４３に堆積物１０２が多い領域と設定し、今回スコア積算値と排気圧測定値との組み合わせをこれらの象限（１），（２），（３）の何れかに分類してプロット等により表示する。象限（４）は吸気側配管４２及び排気側配管４３に堆積物１０２が少ないケースであり、通常はプロット等による表示を行わないが、インペラー４１への不純物の噛み込み等が発生した場合には、この象限（４）を用いて異常発生警報を表示しても良い。
以上説明したように、本発明の実施形態においては、電流制限動作、過電流制限動作、過電流保護動作の有無をスコアに換算し、これらのスコアの積算値と例えば排気圧測定値とを組み合わせて、吸気側配管４２、インペラー４１、排気側配管４３等の目詰まりの発生箇所を推定して出力することができる。これにより、目詰まり発生時の点検・清掃作業を迅速かつ的確に行うことができ、真空ポンプ等を始めとした各種ポンプのメンテナンス作業の効率化が可能になる。
本発明は、気体や液体等の流体を吸引または圧送する流体機械としての各種ポンプにおいて、反応生成物や不純物等によって生じた流体流路における目詰まりの検知に利用することができる。
１０：電源
２０：電力変換装置
３０：電動機
４０：真空ポンプ
４１：インペラー（羽根車）
４２：吸気側配管
４３：排気側配管
５０：チャンバー（炉）
６０：排気圧センサー
７０：目詰まり検知部
７１：比較・推定手段
８０：制御器
８１：モニタ画面
１０１：生成物
１０２：堆積物

Claims (11)

  1. 電力変換装置により制御される電動機と、前記電動機により駆動されて流体を圧送または吸引するポンプと、を備え、前記ポンプを構成する流体流路の目詰まりを検知するシステムにおいて、
    前記電力変換装置の制御手段に設けられた目詰まり検知部は、
    前記目詰まりにより前記電動機が過負荷になって前記電動機の電流が増加した時に、前記電動機に対する電流制限動作、出力トルク制限動作、または出力電力制限動作の有無に応じて第１のスコアをセットする第１の機能と、
    前記電動機に対する過電流制限動作の有無に応じて第２のスコアをセットする第２の機能と、
    前記電動機の過電流を除去するための過電流保護動作の有無に応じて第３のスコアをセットする第３の機能と、
    を備え、
    前記第１のスコア～前記第３のスコアのうち一つ以上のスコアに基づいて前記目詰まりを検知することを特徴とするポンプの目詰まり検知システム。
  2. 請求項１に記載したポンプの目詰まり検知システムにおいて、
    前記目詰まり検知部は、
    前記電動機の始動時における過電流保護動作の有無に応じて第４のスコアをセットする第４の機能を更に備え、
    前記第１のスコア～前記第３のスコアのうち一つ以上のスコアと前記第４のスコアとに基づいて前記目詰まりを検知することを特徴とするポンプの目詰まり検知システム。
  3. 請求項１または２に記載したポンプの目詰まり検知システムにおいて、
    前記目詰まり検知部は、
    複数の前記スコアを加算して得たスコア積算値に基づいて前記目詰まりを検知することを特徴とするポンプの目詰まり検知システム。
  4. 請求項１～３の何れか１項に記載したポンプの目詰まり検知システムにおいて、
    前記第１のスコアを、前記電力変換装置の出力周波数の低下量に応じて算出することを特徴とするポンプの目詰まり検知システム。
  5. 請求項３または請求項４に記載したポンプの目詰まり検知システムにおいて、
    前記目詰まり検知部は、
    前記スコア積算値と、前記流体流路に配置された圧力センサによる圧力測定値と、に基づいて前記目詰まりを検知することを特徴とするポンプの目詰まり検知システム。
  6. 請求項５に記載したポンプの目詰まり検知システムにおいて、
    前記目詰まり検知部は、
    前記スコア積算値と前記圧力測定値との組み合わせを所定の閾値と比較して前記目詰まりの発生箇所を推定し、その結果を出力する第５の機能を備えたことを特徴とするポンプの目詰まり検知システム。
  7. 請求項６に記載したポンプの目詰まり検知システムにおいて、
    今回の演算周期により演算した前記スコア積算値を今回スコア積算値とし、前記今回スコア積算値と前記圧力測定値との組み合わせを所定の閾値と比較して前記目詰まりの発生箇所を推定することを特徴とするポンプの目詰まり検知システム。
  8. 請求項６に記載したポンプの目詰まり検知システムにおいて、
    前回の演算周期により演算した前記スコア積算値を前回スコア積算値とし、前記前回スコア積算値と今回の演算周期における複数の前記スコアの積算値とを加算して今回スコア積算値を求め、前記今回スコア積算値と前記圧力測定値との組み合わせを所定の閾値と比較して前記目詰まりの発生箇所を推定することを特徴とするポンプの目詰まり検知システム。
  9. 請求項６～８の何れか１項に記載したポンプの目詰まり検知システムにおいて、
    前記第５の機能により推定した前記目詰まりの発生箇所を、モニタ画面に表示し、またはネットワークを介して外部に送信し、もしくは記録媒体に記録することを特徴とするポンプの目詰まり検知システム。
  10. 請求項７～９の何れか１項に記載したポンプの目詰まり検知システムにおいて、
    前記今回スコア積算値を、モニタ画面に表示し、またはネットワークを介して外部に送信し、もしくは記録媒体に記録することを特徴とするポンプの目詰まり検知システム。
  11. 請求項１～１０の何れか１項に記載したポンプの目詰まり検知システムにおいて、
    前記ポンプが真空ポンプであり、前記流体流路が前記真空ポンプの排気側配管または吸気側配管であることを特徴とするポンプの目詰まり検知システム。
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