JP2022087051A - 電界発光表示装置 - Google Patents

電界発光表示装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2022087051A
JP2022087051A JP2021190663A JP2021190663A JP2022087051A JP 2022087051 A JP2022087051 A JP 2022087051A JP 2021190663 A JP2021190663 A JP 2021190663A JP 2021190663 A JP2021190663 A JP 2021190663A JP 2022087051 A JP2022087051 A JP 2022087051A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
layer
auxiliary
pattern
display device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2021190663A
Other languages
English (en)
Other versions
JP7308251B2 (ja
Inventor
フメイル ペク
Heume-Il Baek
ジュンホ ユン
Joonho Yoon
ジョンムク チェ
Jeong-Mook Choi
ヘテ イム
Hee-Tae Lim
ジホ カン
Ji-Ho Kang
キョンジ ペ
Kyoung-Ji Bae
ジンア クァク
Jin-Ah Kwak
サンビン イ
Sang-Bin Lee
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
LG Display Co Ltd
Original Assignee
LG Display Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from KR1020210128816A external-priority patent/KR20220076294A/ko
Application filed by LG Display Co Ltd filed Critical LG Display Co Ltd
Publication of JP2022087051A publication Critical patent/JP2022087051A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7308251B2 publication Critical patent/JP7308251B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/10OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
    • H10K50/11OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED] characterised by the electroluminescent [EL] layers
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/80Constructional details
    • H10K50/805Electrodes
    • H10K50/82Cathodes
    • H10K50/824Cathodes combined with auxiliary electrodes
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/12Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/122Pixel-defining structures or layers, e.g. banks
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08LCOMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
    • C08L79/00Compositions of macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing nitrogen with or without oxygen or carbon only, not provided for in groups C08L61/00 - C08L77/00
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/12Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/131Interconnections, e.g. wiring lines or terminals
    • H10K59/1315Interconnections, e.g. wiring lines or terminals comprising structures specially adapted for lowering the resistance
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/30Devices specially adapted for multicolour light emission
    • H10K59/35Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/80Constructional details
    • H10K59/805Electrodes
    • H10K59/8052Cathodes
    • H10K59/80522Cathodes combined with auxiliary electrodes
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K2102/00Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
    • H10K2102/301Details of OLEDs
    • H10K2102/351Thickness

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

【課題】大面積および高解像度の電界発光表示装置を提供する。【解決手段】本発明の電界発光表示装置は、基板と、前記基板の上部に位置する第1電極と、前記基板の上部に、前記第1電極と同じ物質で形成される接続パターンと、前記第1電極および前記接続パターンの端部を覆うバンクと、前記第1電極の上部に位置する発光層と、前記発光層と前記バンクおよび前記接続パターンの上部に位置する第2電極と、前記第2電極と前記接続パターンの間の補助パターンを含み、前記補助パターンは、金属酸化物や導電性ナノ粒子からなる。したがって、溶液工程により発光層を形成するとき、ノズル間におけるばらつきを最小化し、接続パターンを介し、第2電極を補助電極に接続することにより、第2電極の抵抗を下げることができる。また、補助パターンにより、第2電極と接続パターンの間の電気的接触特性を向上させることができる。【選択図】図2

Description

本発明は、電界発光表示装置に関し、特に大面積および高解像度の電界発光表示装置に関する。
フラットパネル表示装置の1つである電界発光表示装置(Electroluminescent Display Device)は、自己発光型であるため、液晶表示装置(Liquid Crystal Display Device)に比べ、視野角などに優れており、バックライトが不要であることから、軽量・薄型が可能である上に、消費電力の面でも有利である。
また、電界発光表示装置は、直流低電圧による駆動が可能であり、応答速度が速く、構成要素が全て固体であるため、外部からの衝撃に強く、使用温度の範囲も広い。特に、製造コストが安価であるというメリットがある。
電界発光表示装置は、赤・緑・青色の副画素で構成される複数の画素を含み、赤・緑・青色の副画素を選択的に発光させ、多様なカラー映像を表示する。
赤・緑・青色の副画素は、それぞれ赤・緑・青色の発光層を含み、一般的に各発光層は、ファインメタルマスクを用いて発光物質を選択的に蒸着する真空熱蒸着(Vacuum Thermal Evaporation)工程を経て形成される。
ところが、かかる蒸着工程は、マスク準備などのため、製造コストが増加する。また、マスク製造におけるばらつき、たわみ、そして影の影響などにより、大面積および高解像度の表示装置への適用が困難である。
特開2020-0164874号公報
本発明は、前述の問題を解決するためのものであって、大面積および高解像度の電界発光表示装置を提供することを目的とする。
上述の目的を達成するため、本発明に係る電界発光表示装置は、基板と、前記基板の上部に位置する第1電極と、前記基板の上部に、前記第1電極と同じ物質で形成される接続パターンと、前記第1電極および前記接続パターンの端部を覆うバンクと、前記第1電極の上部に位置する発光層と、前記発光層と前記バンクおよび前記接続パターンの上部に位置する第2電極と、前記第2電極と前記接続パターンの間の補助パターンとを含み、前記補助パターンは、金属酸化物や導電性ナノ粒子、または仕事関数変更ポリマーからなる。
前記金属酸化物は、酸化亜鉛と酸化モリブデンとを含み、前記導電性ナノ粒子は、金属ナノロッド、金属ナノワイヤ、金属ナノドット、およびカーボンナノチューブを含む。
前記仕事関数変更ポリマーは、下記の化学式1で表されるエトキシ化したポリエチレンイミン(PEIE)である。
Figure 2022087051000002
あるいは、前記仕事関数変更ポリマーは、下記の化学式2で表されるポリエチレンイミン(PEI)である。
Figure 2022087051000003
化学式1中、x、y、zは繰り返し単位であって、それぞれ独立して1~50の整数であり、化学式2中、a、b、c、dは繰り返し単位であって、それぞれ独立して1~50の整数である。
前記補助パターンの端部の高さは、前記補助パターンの中央よりも高い。
本発明に係る他の電界発光表示装置は、基板と、前記基板の上部に位置する第1電極と、前記基板の上部に、前記第1電極と同じ物質で形成される接続パターンと、前記第1電極および前記接続パターンの端部を覆うバンクと、前記第1電極の上部に位置する発光層と、前記発光層と前記バンクおよび前記接続パターンの上部に位置する第2電極と、前記第2電極と前記接続パターンの間の補助パターンとを含み、前記接続パターンは突出部を有し、前記突出部は前記補助パターン内に位置する。
前記補助パターンの上面は、凸凹を有する。
前記補助パターンの表面粗さは、前記接続パターンの表面粗さよりも大きい。
前記補助パターンの厚さは、前記突出部の高さよりも大きい。
前記補助パターンの厚さは、300nm以上1μm以下である。
前記補助パターンは、前記バンクと接触する。
前記第1電極と前記接続パターンのそれぞれは、第1層および第2層を含み、前記第2層は、前記基板と前記第1層との間に位置し、前記第1層の仕事関数は、前記第2層の仕事関数より高い。
前記第1電極と前記接続パターンのそれぞれは、前記第2層と前記基板との間に第3層をさらに含む。
前記発光層は、正孔補助層、発光物質層および電子補助層を含み、前記正孔補助層と前記発光物質層のそれぞれは、少なくとも一側面が前記バンクにより取り囲まれ、前記電子補助層の一部は、前記バンクと前記第2電極との間、および前記補助パターンと前記第2電極との間に位置する。
前記基板と前記第1電極との間に少なくとも1つの薄膜トランジスタをさらに含み、前記第1電極は、前記少なくとも1つの薄膜トランジスタに接続される。
前記バンクは、親水性の第1バンクと疎水性の第2バンクとを含む。
前記補助パターンは、前記第1バンクと前記第2バンクとの間に位置する。
前記第1バンクと前記第2バンクとは、一体に形成される。
一方向に沿って隣接する画素領域の発光層は、互いに接続され、一体に形成される。
本発明では、各副画素の発光層を溶液工程により形成することで、マスクを省略し、製造コストを減らすことができ、大面積および高解像度の表示装置を実現することができる。
また、同色の副画素同士の発光層が互いに接続され、一体に形成されるようにすることで、ノズル間における滴下量のばらつきを最小化することができ、各副画素に形成される発光層の厚さを均一にすることができる。その結果、ムラを防止し、表示装置の画質低下を防ぐことができる。
さらに、接続パターンを介し、第2電極を補助電極に接続することで、第2電極の抵抗を下げることができ、第2電極と接続パターンの間に補助パターンを形成し、第2電極と接続パターンの間の電気的接触特性を向上させることができる。
また、補助パターンの表面に凸凹を形成し、または補助パターンを比較的に厚く形成することで、接続パターンのヒロックによる電流集中現象を防止することができる。
本発明の実施例に係る電界発光表示装置における1つの画素領域を示す回路図である。 本発明の実施例に係る電界発光表示装置における1つの画素を概略的に示す平面図である。 本発明の第1実施例に係る電界発光表示装置を概略的に示す断面図である。 本発明の第2実施例に係る電界発光表示装置を概略的に示す断面図である。 本発明の第3実施例に係る電界発光表示装置を概略的に示す断面図である。 本発明の第4実施例に係る電界発光表示装置を概略的に示す断面図である。 図6のA1領域を拡大した概略的な断面図である。 ヒロックが発生した本発明の第4実施例に係る電界発光表示装置を概略的に示す断面図である。 図8のA2領域を拡大した概略的な断面図である。 本発明の第5実施例に係る電界発光表示装置を概略的に示す断面図である。 図10のA3領域を拡大した概略的な断面図である。 ヒロックが発生した本発明の第5実施例に係る電界発光表示装置を概略的に示す断面図である。 図12のA4領域を拡大した概略的な断面図である。 本発明の第6実施例に係る電界発光表示装置を概略的に示す断面図である。 本発明の第6実施例に係る電界発光表示装置における第2電極と接続パターンとの接続構造に対するバンドダイアグラムである。 比較例にかかる電界発光表示装置における第2電極と接続パターンの接続構造に対するバンドダイアグラムである。 他の比較例に係る発光ダイオードのバンドダイアグラムである。
以下、図面を参照し、本発明の実施例に係る電界発光表示装置について詳細に説明する。
本発明の実施例に係る電界発光表示装置は、映像を表示するため、複数の画素(pixel)を含む。各画素は、赤・緑・青色の副画素(sub pixel)を含み、各副画素に対応する画素領域は、図1に示すような構成を有することができる。
図1は、本発明の実施例に係る電界発光表示装置における1つの画素領域を示す回路図である。
図1に示すように、本発明の電界発光表示装置は、互いに交差して画素領域Pを定義するゲート配線GLおよびデータ配線DLを含み、各画素領域Pにはスイッチング薄膜トランジスタTsと駆動薄膜トランジスタTd、ストレージキャパシタCst、および発光ダイオードDeが形成される。
さらに詳細に説明すると、スイッチング薄膜トランジスタTsのゲート電極はゲート配線GLに接続され、ソース電極はデータ配線DLに接続される。駆動薄膜トランジスタTdのゲート電極は、スイッチング薄膜トランジスタTsのドレイン電極に接続され、ソース電極は高電位電圧VDDに接続される。発光ダイオードDeのアノードは駆動薄膜トランジスタTdのドレイン電極に接続され、カソードは低電位電圧VSSに接続される。ストレージキャパシタCstは、駆動薄膜トランジスタTdのゲート電極およびドレイン電極に接続される。
かかる電界発光表示装置が映像を表示する動作について説明すると、ゲート配線GLを介して印加されたゲート信号に応じ、スイッチング薄膜トランジスタTsがオンする。このとき、データ配線DLに印加されたデータ信号がスイッチング薄膜トランジスタTsを介し、駆動薄膜トランジスタTdのゲート電極およびストレージキャパシタCstの一電極に印加される。
駆動薄膜トランジスタTdは、データ信号に応じてオンし、発光ダイオードDeを流れる電流を制御し、映像を表示する。発光ダイオードDeは、駆動薄膜トランジスタTdを介して供給される高電位電圧VDDの電流により発光する。
すなわち、発光ダイオードDeを流れる電流はデータ信号の大きさに比例し、発光ダイオードDeからの光の強度は、発光ダイオードDeを流れる電流に比例するため、画素領域Pはデータ信号の大きさに応じて異なる階調を表示し、その結果、電界発光表示装置は、映像を表示する。
ストレージキャパシタCstは、データ信号に対応する電荷を1フレームの間に維持し、発光ダイオードDeを流れる電流を一定にすることで、発光ダイオードDeが表示する階調を一定に維持させる役割を果たす。
一方、画素領域Pには、スイッチング薄膜トランジスタTsおよび駆動薄膜トランジスタTd、そしてストレージキャパシタCstの他に、別の薄膜トランジスタとキャパシタとをさらに設けることができる。
電界発光表示装置では、データ信号が駆動薄膜トランジスタTdのゲート電極に印加され、発光ダイオードDeが発光し、階調を表示する相対的に長時間、駆動薄膜トランジスタTdがオン状態を維持するが、このようなデータ信号の長時間印加により、駆動薄膜トランジスタTdは劣化し得る。そのため、駆動薄膜トランジスタTdの移動度(mobility)および/または閾値電圧(threshold voltage:Vth)が変わり、電界発光表示装置の画素領域Pは、同じデータ信号に対し、異なる階調を表示することになり、その結果、輝度のばらつきが生じ、電界発光表示装置の画質が低下する。
したがって、かかる駆動薄膜トランジスタTdの移動度、および/または閾値電圧の変化を補償するため、各画素領域Pに電圧変化を感知するための少なくとも1つのセンシング薄膜トランジスタ、および/またはキャパシタをさらに設けることができる。センシング薄膜トランジスタ、および/またはキャパシタは、基準電圧を印加し、センシング電圧を出力するための基準配線に接続することができる。
本発明の実施例にかかる電界発光表示装置における発光ダイオードDeは、第1電極、発光層、および第2電極を含む。第1電極と発光層、および第2電極は、基板上に順次形成することができ、スイッチング薄膜トランジスタTsと駆動薄膜トランジスタTd、およびストレージキャパシタCstは、基板と第1電極の間に形成することができる。このような本発明の実施例に係る電界発光表示装置は、発光ダイオードDeの発光層からの光が基板とは反対方向、すなわち、第2電極を介し、外部へ出射するトップエミッション型であり得る。トップエミッション型は、同じ面積のボトムエミッション型に比べ、より広い発光領域を有し得るため、輝度を向上させ、消費電力を低下させることができる。
ところが、光を透過させるため、第2電極は、金属物質で比較的に薄い厚さに形成するか、または透明導電性物質で形成しなければならない。そのため、第2電極の抵抗が増加し、それにより電圧が降下して輝度のばらつきが生じ得る。
したがって、本発明は、第2電極の抵抗を低下させるため、第2電極を補助電極に電気的に接続する。このとき、第2電極と補助電極とは、接続パターンを介し、電気的に接続されるが、接続パターンと第2電極との間の接触抵抗を減らし、電気的接触特性を向上させるため、接続パターンと第2電極との間に補助パターンを形成する。
図2は、本発明の実施例に係る電界発光表示装置における1つの画素を概略的に示す平面図であって、バンクの構成を中心に示している。
図2に示すように、本発明の実施例に係る電界発光表示装置における1つの画素は、赤・緑・青色の副画素R、G、Bを含む。赤・緑・青色の副画素R、G、Bのそれぞれは、図1に示す画素領域Pの回路構成を有することができる。
赤・緑・青色の副画素R、G、Bは、図面上の横方向である第1方向(X軸方向)に沿って順次位置し、第1方向(X軸方向)に垂直な第2方向(Y軸方向)に沿って、同色の副画素R、G、Bが位置する。ここで、赤・緑・青色の副画素R、G、Bは、矩形状になっているが、これに限定されるものではない。赤・緑・青色の副画素R、G、Bは、それぞれの角が丸みを帯びた矩形や楕円形など、様々な形状を有することができる。
ここで、赤・緑・青色の副画素R、G、Bは、それぞれの面積が互いに異なってもよい。かかる赤・緑・青色の副画素R、G、Bの面積は、各副画素に設けられた発光ダイオードの寿命を考慮し、決定される。例えば、緑色の副画素Gの面積は、赤色の副画素Rの面積より大きく、かつ青色の副画素Bの面積より小さい。しかしながら、本発明がこれに限定されるものではなく、赤・緑・青色の副画素R、G、Bの面積は同じであってもよい。
かかる赤・緑・青色の副画素R、G、Bは、バンク172、174によって定義することができる。バンク172、174は、親水性の第1バンク172と疎水性の第2バンク174とを含む。
より詳細に説明すると、第1バンク172は、隣接する同色の副画素R、G、Bの間、および隣接する異色の副画素R、G、Bの間に位置する。かかる第1バンク172は各副画素R、G、Bを取り囲むよう、形成することができる。
あるいは、第1バンク172は、隣接する異色の副画素R、G、Bの間において省略してもよい。すなわち、第1バンク172は、第1方向(X軸方向)に延伸し、第2方向(Y軸方向)に沿って隣接する同色の副画素R、G、Bの間のみに位置してもよい。
次に、第1バンク172の上部に第2バンク174が形成される。第2バンク174は、同色の副画素R、G、B列に対応して開口部174aを有し、第1方向(X軸方向)に沿って隣接する異色の副画素R、G、Bの間に位置する。
したがって、開口部174aは第2方向(Y軸方向)に沿って延伸し、第2方向(Y軸方向)の長さは第1方向(X軸方向)の長さ、すなわち、幅より長い。かかる開口部174aは、第1方向(X軸方向)に平行な短辺と、第2方向(Y軸方向)に平行な長辺を有する。このとき、第1方向(X軸方向)に沿って隣接する異色の副画素R、G、Bの間において、第2バンク174は、第1バンク172よりその幅が狭くてもよい。
また、第2バンク174の少なくとも一側は、第1方向(X軸方向)に沿って延伸した延長部174cを有することができる。このとき、延長部174cは、第2方向(Y軸方向)に沿って隣接する同色の副画素R、G、Bの間に位置し、第1バンク172と重なってもよい。かかる延長部174cは、第1方向(X軸方向)に沿って第2バンク174間の距離を減らすことで、発光層形成のための溶液工程を行う際に溶液の流れを制御し、発光層がより均一に形成されるようにする。
延長部174cの大きさは、各副画素R、G、Bの面積に応じて異なってもよい。
一方、第1バンク172と第2バンク174は、少なくとも1つの延長部174cに対応し、それぞれ第1補助コンタクトホール172bと第2補助コンタクトホール174bとを有する。
ここで、第1補助コンタクトホール172bおよび第2補助コンタクトホール174bは、赤・緑・青色の副画素R、G、Bを含む1つの画素に対応し、1つずつ形成することができる。このとき、第1補助コンタクトホール172bおよび第2補助コンタクトホール174bは、最も面積の大きい副画素R、G、Bに隣接して形成することができる。例えば、第1補助コンタクトホール172bおよび第2補助コンタクトホール174bは、第2方向(Y方向)に沿って隣接する青色の副画素B間に位置する延長部174cに対応し、形成することができるが、本発明がこれに限定されるものではない。第1補助コンタクトホール172bおよび第2補助コンタクトホール174bの位置と数は変えることができる。
図に示していないが、かかる第1補助コンタクトホール172bおよび第2補助コンタクトホール174bが形成された延長部174cに対応し、補助電極および接続パターンが形成され、接続パターンは、第1補助コンタクトホール172bおよび第2補助コンタクトホール174bを介し、露出される。また、接続パターンと第2電極の間には補助パターンが形成される。したがって、発光ダイオードの第2電極は、接続パターンを介して補助電極と電気的に接続され、補助パターンにより、接続パターンと第2電極の間の接触抵抗を減らすことができる。
かかる本発明の実施例に係る電界発光表示装置の構成について図面を参照し、詳細に説明する。
第1実施例
図3は、本発明の第1実施例に係る電界発光表示装置を概略的に示す断面図であって、図2のI-I’線に対応する断面を示す。
図3に示すように、本発明の第1実施例にかかる電界発光表示装置1000において、基板100の上部に、金属等の第1導電性物質からなる遮光パターン112と第1補助電極114とが形成される。基板100は、ガラス基板であってもよく、プラスチック基板であってもよい。例えば、プラスチック基板にはポリイミドを用いることができるが、これに限定されるものではない。
遮光パターン112と第1補助電極114は、アルミニウム(Al)、銅(Cu)、モリブデン(Mo)、チタン(Ti)、クロム(Cr)、ニッケル(Ni)、タングステン(W)、またはこれらの合金のうち、少なくとも1つを用いて、単層、または多層に形成することができる。例えば、遮光パターン112と第1補助電極114は、モリブデン・チタン合金(MoTi)の下部層と、銅(Cu)の上部層を含む二層構造にすることができ、上部層が下部層より厚くてもよい。
第1補助電極114は、平面視において、基板100に平行な第1方向(X軸方向)および/または第2方向(Y軸方向)に延伸することができる。例えば、第1補助電極114は、第1方向(X軸方向)に沿って延伸し、第1方向(X軸方向)に沿って配列された複数の画素領域に対応するよう、形成してもよく、第1方向(X軸方向)と交差する第2方向(Y軸方向)に沿って延伸し、第2方向に沿って配列された複数の画素領域に対応するよう、形成してもよい。一方、第1補助電極114は、第1方向および第2方向に沿って延伸し、格子構造を有することもできる。しかしながら、本発明がこれに限定されるものではない。
実質的に基板100の全面に亘り、遮光パターン112および第1補助電極114の上部には、バッファー層120が形成される。バッファー層120は、酸化シリコン(SiO)や窒化シリコン(SiN)のような無機絶縁物質から単層、または多層に形成することができる。
ここで、バッファー層120は、遮光パターン112の上部にバッファーホール120aを有し、遮光パターン112の上面はバッファーホール120aを介し、部分的に露出される。
バッファー層120の上部には、パターニングされた半導体層122およびキャパシタ電極124が形成される。半導体層122とキャパシタ電極124は、遮光パターン112の上部において、互いに離隔して位置する。遮光パターン112は半導体層122への入射光を遮断し、半導体層122が光により劣化することを防止する。
半導体層122およびキャパシタ電極124は、多結晶シリコンから形成することができ、この場合、半導体層122の両端部およびキャパシタ電極124には不純物がドープされることがある。あるいは、半導体層122およびキャパシタ電極124は、酸化物半導体物質からなってもよい。
半導体層122の上部には、絶縁物質からなるゲート絶縁膜130と、金属のような第2導電性物質からなるゲート電極132が順次形成される。ゲート絶縁膜130およびゲート電極132は、半導体層122の中央に対応して位置する。
ゲート絶縁膜130は、酸化シリコン(SiO)または窒化シリコン(SiN)のような無機絶縁物質から形成することができる。半導体層122が酸化物半導体物質からなる場合、ゲート絶縁膜130は、酸化シリコン(SiO)で形成されることが好ましい。
また、ゲート電極132は、アルミニウム(Al)、銅(Cu)、モリブデン(Mo)、チタン(Ti)、クロム(Cr)、ニッケル(Ni)、タングステン(W)、またはこれらの合金のうち、少なくとも1つを用いて、単層、または多層に形成することができる。例えば、ゲート電極132は、モリブデン・チタン合金(MoTi)の下部層と、銅(Cu)の上部層を含む二層構造にすることができ、上部層が下部層より厚くてもよい。
図3に示すように、ゲート絶縁膜130は、ゲート電極132と同じ形状にパターニングすることができる。このとき、ゲート絶縁膜130の幅がゲート電極132の幅より広くてもよい。その結果、ゲート絶縁膜130の上面端部が露出され得る。あるいは、ゲート絶縁膜130の幅はゲート電極132の幅と同じであってもよい。
または、ゲート絶縁膜130はパターニングされず、実質的に基板100の全面に形成されてもよい。
一方、ゲート電極132と同じ層において同じ物質により、ゲート配線(不図示)をさらに形成することができる。ゲート配線は、第1方向(X軸方向)に延伸して形成することができ、第1補助電極114が第1方向(X軸方向)に延伸した場合、ゲート配線と第1補助電極114は、互いに平行になり得る。
実質的に基板100の全面に亘り、絶縁物質からなる層間絶縁膜140がゲート電極132の上部に形成される。層間絶縁膜140は、酸化シリコン(SiO)や窒化シリコン(SiN)のような無機絶縁物質から形成することができる。あるいは、層間絶縁膜140は、フォトアクリルやベンゾシクロブテンのような有機絶縁物質で形成することもできる。
層間絶縁膜140は、第1、第2、第3、第4コンタクトホール140a、140b、140c、140dを有する。第1コンタクトホール140aと第2コンタクトホール140bは、半導体層122の両端部をそれぞれ露出させる。第3コンタクトホール140cは、遮光パターン112の上面の一部を露出し、バッファーホール120a内に位置する。あるいは、バッファーホール120aが省略され、第3コンタクトホール140cは、層間絶縁膜140のみならず、バッファー層120内にも形成され、遮光パターン112の上面の一部を露出させることもできる。第4コンタクトホール140dは、層間絶縁膜140のみならず、バッファー層120内にも形成され、第1補助電極114の上面の一部を露出させる。
層間絶縁膜140の上部には、金属等の第3導電性物質からなるソース電極142およびドレイン電極144、そして第2補助電極146が形成される。ソース電極142およびドレイン電極144、そして第2補助電極146は、アルミニウム(Al)、銅(Cu)、モリブデン(Mo)、チタン(Ti)、クロム(Cr)、ニッケル(Ni)、タングステン(W)、またはこれらの合金のうち、少なくとも1つを用いて、単層、または多層に形成することができる。例えば、ソース電極142およびドレイン電極144、そして第2補助電極146は、モリブデン・チタン合金(MoTi)の下部層と、銅(Cu)の上部層を含む二層構造にすることができ、上部層が下部層より厚くてもよい。あるいは、ソース電極142およびドレイン電極144、そして第2補助電極146は三層構造にすることもできる。
ソース電極142とドレイン電極144は、それぞれ第1コンタクトホール140aと第2コンタクトホール140bを介し、半導体層122の両端部に接触する。また、ドレイン電極144は、第3コンタクトホール140cを介して遮光パターン112に接触し、キャパシタ電極124と重なる。キャパシタ電極124は、遮光パターン112およびドレイン電極144と重なり、ストレージキャパシタを構成する。
一方、第2補助電極146は第1補助電極114と重なり、第4コンタクトホール140dを介し、第1補助電極114に接触する。このような第2補助電極146は第2方向(Y軸方向)に沿って延伸し、第2方向(Y軸方向)に沿って配列された複数の画素領域に対応するよう形成することができる。しかしながら、本発明がこれに限定されるものではない。
また、層間絶縁膜140の上部には、第3導電性物質からなるデータ配線(不図示)および高電位配線(不図示)をさらに形成することができる。データ配線および高電位配線は、第2方向(Y軸方向)に沿って延伸するように形成することができる。その結果、データ配線と高電位配線、および第2補助電極146は、互いに平行になり得る。
半導体層122、ゲート電極132、そしてソース電極142およびドレイン電極144は、薄膜トランジスタTを構成する。ここで、薄膜トランジスタTは、半導体層122の一側面、すなわち、半導体層122の上部にゲート電極132と、ソース電極142およびドレイン電極144が位置するコプラナー構造であり得る。
あるいは、薄膜トランジスタTは、半導体層の下部にゲート電極が位置し、半導体層の上部にソース電極およびドレイン電極が位置する逆スタガード構造であってもよい。この場合、半導体層は、酸化物半導体物質、または非晶質シリコンから形成することができる。
ここで、薄膜トランジスタTは、図1の駆動薄膜トランジスタTdに相当し、図に示していないが、かかる薄膜トランジスタTと同じ構成のスイッチング薄膜トランジスタ(図1のTs)をさらに形成することができる。
実質的に基板100の全面に亘り、絶縁物質からなる保護層150が、ソース電極142およびドレイン電極144、そして第2補助電極146の上部に形成される。保護層150は、酸化シリコン(SiO)や窒化シリコン(SiN)のような無機絶縁物質から形成することができる。
次に、実質的に基板100の全面に亘り、絶縁物質からなるオーバーコート層155が保護層150の上部に形成される。オーバーコート層155はフォトアクリルやベンゾシクロブテンのような有機絶縁物質で形成することができる。かかるオーバーコート層155は下部膜による段差を解消し、実質的に平坦な上面を有する。
ここで、保護層150とオーバーコート層155のうち、一方を省略することができる。例えば、保護層150を省略することができるが、これに限定されるものではない。
オーバーコート層155は、保護層150と共にドレイン電極144を露出するドレインコンタクトホール155aを有する。また、オーバーコート層155は、保護層150と共に第2補助電極146を露出する第5コンタクトホール155bを有する。
オーバーコート層155の上部には、比較的に高い仕事関数を有する第1電極160が形成される。第1電極160は、ドレインコンタクトホール155aを介し、ドレイン電極144に接触する。
第1電極160は、第1層160aおよび第2層160bを含み、第2層160bは第1層160aと基板100の間、より詳細には第1層160aとオーバーコート層155の間に位置する。
第1層160aは、比較的に高い仕事関数を有する導電性物質からなり、例えば、酸化インジウムスズ(Indium Tin Oxide:ITO)や酸化インジウム亜鉛(Indium Zinc Oxide:IZO)のような透明導電性物質で形成することができる。第2層160bは、比較的に高い反射率を有する金属物質からなり、例えば、銀(Ag)で形成することができる。かかる第1層160aの仕事関数は、第2層160bの仕事関数より高い。
ここで、第2層160bは、第1層160aより厚くてもよい。例えば、第2層160bの厚さは80nm~100nmであり、第1層160aの厚さは10nm~80nmであり得るが、これに限定されるものではない。
また、第1電極160は、第2層160bとオーバーコート層155の間に第3層160cをさらに含むことができる。かかる第3層160cは、第2層160bとオーバーコート層155の間の接着特性を改善するためのものであって、省略することもできる。例えば、第3層160cは、ITOやIZOのような透明導電性物質で形成することができるが、これに限定されるものではない。
かかる第3層160cの厚さは、第1層160aの厚さより小さく、第2層160bの厚さより小さい、もしくは同じであり得る。例えば、第3層160cの厚さは10nmであり得るが、これに限定されるものではない。
また、オーバーコート層155の上部に、第1電極160と同じ物質からなる接続パターン162が形成される。したがって、接続パターン162は、第1、第2、第3層162a、162b、162cを含むことができる。このとき、第2層162bは、第1層162aと第3層162cとの間に位置し、第3層162cは、第2層162bと基板100との間、より詳細には第2層162bとオーバーコート層155との間に位置する。接続パターン162は、第5コンタクトホール155bを介し、第2補助電極146に接触する。
一方、前述したように、第1電極160の第3層160cが省略され、第1電極160が二層構造となる場合、接続パターン162の第3層162cも省略され、接続パターン162は二層構造となる。
第1電極160の上部には、絶縁物質からなるバンク172、174が形成される。バンク172、174は、親水性の第1バンク172と疎水性の第2バンク174とを含む。
さらに詳細に説明すると、第1バンク172は、第1電極160の端部と重なって第1電極160の端部を覆い、第1電極160の中央部を露出させる。かかる第1バンク172は、第1電極160の端部と接触する。また、第1バンク172は、接続パターン162の上部にも形成され、接続パターン162の端部を覆い、接続パターン162の中央部を露出する第1補助コンタクトホール172bを有する。
かかる第1バンク172は、親水性を示す物質、例えば、酸化シリコン(SiO)や窒化シリコン(SiN)のような無機絶縁物質から形成することができる。あるいは、第1バンク172は、ポリイミドで形成することもできる。
第1バンク172の上部には、第2バンク174が形成される。このとき、第2バンク174の少なくとも上面は疎水性であり、第2バンク174の側面は疎水性、または親水性であり得る。
第2バンク174は、第1電極160の中央部を露出する開口部174aを有する。前述した通り、第2バンク174は、隣接する異色の副画素間に形成し、第2バンク174の開口部174aは、同色の副画素列に対応して形成することができる。
第2バンク174は、第1バンク172よりその幅が狭く、第1バンク172の上部に位置し、第1バンク172の端部を露出する。また、第2バンク174は、第1バンク172より厚くてもよい。
一方、前述したように、隣接する異色の副画素間において、第1バンク172を省略することができる。この場合、第2バンク174は、第1電極160の端部と接触することができる。
かかる第2バンク174は、疎水性の有機絶縁物質で形成することができる。あるいは、第2バンク174は、親水性の有機絶縁物質で形成し、疎水性処理を施すこともできる。
また、第2バンク174は、第1補助コンタクトホール172bに対応して第2補助コンタクトホール174bを有し、接続パターン162は、第1補助コンタクトホール172bおよび第2補助コンタクトホール174bを介し、露出される。
一方、図に示していない第1電極160の他端の上部には、第1バンク172のみを配置することができる。
また、図3には、第1バンク172と第2バンク174とが異なる物質で分離形成されているが、親水性の第1バンク172と疎水性の第2バンク174とを同一物質で一体に形成することもできる。例えば、上面が疎水性を示す有機層を基板100の全面に形成した後、透過部と遮断部、そして半透過部を含むハーフトーンマスクを使用し、パターニングすることで、幅と厚さが互いに異なる第1バンク172および第2バンク174を形成することもできる。
露出された第1電極160の上部には発光層180が形成される。発光層180は、第1電極160の上部に順次位置する第1電荷補助層182と、発光物質層184、そして第2電荷補助層186を含むことができる。発光物質層184は、赤・緑・青色の発光物質のうち、いずれか1つからなり得るが、これに限定されるものではない。かかる発光物質は、燐光化合物、または蛍光化合物のような有機発光物質であってもよく、量子ドットのような無機発光物質であってもよい。
第1電荷補助層182は、正孔補助層(Hole Auxiliary Layer)であり得る。そして、正孔補助層は、正孔注入層(Hole Injecting Layer:HIL)と正孔輸送層(Hole Transporting Layer:HTL)のうち、少なくとも1つを含むことができる。また、第2電荷補助層186は、電子補助層(Electron Auxiliary Layer)であり得る。そして、電子補助層は、電子注入層(Electron Injecting Layer:EIL)と電子輸送層(Electron Transporting Layer:ETL)のうち、少なくとも1つを含むことができる。しかしながら、本発明がこれに限定されるものではない。
ここで、第1電荷補助層182と発光物質層184とのそれぞれは、溶液工程により形成することができる。したがって、工程を単純化し、大面積および高解像度の表示装置を提供することができる。溶液工程には、スピンコート法やインクジェットプリント法、スクリーンプリント法を利用することができるが、これに限定されるものではない。
前述した通り、第2バンク174の開口部174aは、同色の副画素列に対応して形成されるため、異なるノズルを介し、同色の副画素列に対応する各画素領域に滴下した溶液は互いに繋がる。該溶液を乾燥させ、第1電荷補助層182および発光物質層184を形成する。その結果、第1電荷補助層182と発光物質層184のそれぞれは、同色の副画素列に対応する隣接する画素領域において互いに接続され、一体に形成される。したがって、ノズル間における滴下量のばらつきを最小化し、各画素領域に形成される薄膜の厚さを均一にすることができる。
溶液が乾燥するとき、第2バンク174に隣接する部分と、他の部分とでは溶媒の蒸発速度に差がある。すなわち、第2バンク174付近の方が他の部分に比べ、溶媒の蒸発速度が速く、その結果、第2バンク174に隣接する部分において、第1電荷補助層182と発光物質層184の高さは、第2バンク174に近づくほど高くなる。
一方、第2電荷補助層186は、熱蒸着工程により形成することができる。したがって、第2電荷補助層186は、実質的に基板100の全面に形成することができる。すなわち、第2電荷補助層186は、第2バンク174の上面および側面にも形成することができ、接続パターン162の上部にも形成することができる。
一方、接続パターン162と第2電荷補助層186との間には補助パターン200が形成される。
かかる補助パターン200は、接続パターン162に比べ、その幅および面積が小さく、第1バンク172および第2バンク174から離隔することができる。このとき、補助パターン200は、第5コンタクトホール155b内に位置することができる。
補助パターン200の厚さは、100nm~300nmであり得るが、これに限定されるものではない。
かかる補助パターン200は、金属や金属酸化物からなり得る。また、補助パターン200は、蒸着工程や溶液工程により形成することができるが、詳細については後述する。
発光層180の上部、具体的に第2電荷補助層186の上部には、比較的に低い仕事関数を有する導電性物質からなる第2電極190が実質的に基板100の全面に形成される。ここで、第2電極190は、アルミニウム(Al)やマグネシウム(Mg)、銀(Ag)、またはこれらの合金で形成することができる。このとき、第2電極190は、発光層180からの光が透過できるよう、その厚さが相対的に薄い。例えば、第2電極190の厚さは、5nm~10nmであり得るが、これに限定されるものではない。
あるいは、第2電極190は、酸化インジウムガリウム(Indium Gallium Oxide:IGO)やIZOのような透明導電性物質で形成することもできる。
かかる第2電極190は、第1補助コンタクトホール172bおよび第2補助コンタクトホール174bを介し、接続パターン162と電気的に接続される。したがって、第2電極190は、接続パターン162を介し、第1補助電極114および第2補助電極146と電気的に接続される。このとき、第2電極190と接続パターン162の間には第2電荷補助層186が位置するが、第2電荷補助層186は絶縁特性を持ち、抵抗として作用するため、第2電極190と接続パターン162の間の接触特性が低下する。また、各画素領域の第1補助コンタクトホール172bおよび第2補助コンタクトホール174bに働く抵抗の大きさが異なるため、画素領域間において発光のばらつきが引き起こされる。
しかしながら、本発明では、第2電極190と接続パターン162との間、より詳細には、第2電荷補助層186と接続パターン162との間に補助パターン200を形成することで、第2電極190と接続パターン162の間の接触特性を向上させ、各画素領域における発光を均一にすることができる。
前述したように、補助パターン200は、金属や金属酸化物で形成することができる。
具体的に、補助パターン200は、接続パターン162の第1層162aより小さい比抵抗を有する金属で形成することができる。例えば、補助パターン200は、アルミニウム(Al)や銀(Ag)で形成することができるが、これに限定されるものではない。
あるいは、補助パターン200は、金属酸化物で形成することもできる。例えば、補助パターン200は、酸化亜鉛(ZnO)や三酸化モリブデン(MoO)で形成することができる。
接続パターン162と第2電荷補助層186とは、それぞれのエネルギー準位の差が比較的に大きいため、電子注入特性が低下するところ、酸化亜鉛から補助パターン200を形成し、接続パターン162と第2電荷補助層186との間、より詳細には、接続パターン162の第1層162aと第2電荷補助層186との間に、電子注入が可能なLUMO(最低空軌道)準位を設けることで、接続パターン162から第2電荷補助層186へ効率的な電子注入が可能となるようにすることができる。すなわち、酸化亜鉛のLUMO準位は、接続パターン162の第1層162aのフェルミ準位と第2電荷補助層186のLUMO準位との間に位置する。したがって、接続パターン162の第1層162aから第2電荷補助層186への電子注入を容易に行うことができる。
一方、三酸化モリブデンから補助パターン200を形成することで、接続パターン162の第1層162aと第2電荷補助層186との間における電荷発生を利用し、第2電荷補助層186へ効率的な電子注入が可能となるようにすることができる。すなわち、三酸化モリブデンは、接続パターン162の第1層162aと第2電荷補助層186との間において、フェルミ準位を整列させ、正孔と電子を分離し、接続パターン162の第1層162aへ正孔を伝達し、第2電荷補助層186へ電子を伝達することで、第2電荷補助層186への電子注入を容易に行うことができる。
かかる金属酸化物からなる補助パターン200は、蒸着工程や溶液工程により形成することができる。溶液工程により形成する場合、別途のパターニング工程を省略することができるため、製造時間およびコストを低減することができる。
ここで、酸化亜鉛は、ナノワイヤ状にすることもできる。かかる酸化亜鉛からなるナノワイヤ状の補助パターン200は、溶液工程により形成することができる。
第1電極160と発光層180、および第2電極190は、発光ダイオードDeを構成する。ここで、第1電極160はアノードとして働き、第2電極190はカソードとして働くことができるが、これに限定されるものではない。
前述したように、本発明の電界発光表示装置は、発光ダイオードDeの発光層180からの光が基板100とは反対方向、すなわち、第2電極190を通して外部へ出射するトップエミッション型であり得る。トップエミッション型は、同じ面積のボトムエミッション型に比べ、より広い発光領域を有し得るため、輝度を向上させ、消費電力を低下させることができる。
このとき、各画素領域の発光ダイオードDeは、放出する光の波長に応じ、マイクロキャビティ効果に該当する素子の厚さを有することができ、その結果、光効率を高めることができる。
一方、図に示していないが、実質的に基板100の全面に亘り、第2電極190の上部にキャッピング層を形成することができる。キャッピング層は、比較的に屈折率の高い絶縁物質で形成することができる。キャッピング層に沿って移動する光の波長が表面プラズマ共振により増幅するため、ピークの強度が増加し、トップエミッション型の電界発光表示装置における光効率を向上させることができる。例えば、キャッピング層は、有機膜や無機膜の単一膜にしてもよく、有機無機積層膜にしてもよい。
このように、本発明の第1実施例に係る電界発光表示装置1000では、発光層180の一部を溶液工程により形成することで、ファインメタルマスクを省略し、製造コストを低減することができ、大面積および高解像度の表示装置を実現することができる。
また、本発明の第1実施例に係る電界発光表示装置1000は、トップエミッション型を採用することで、輝度を向上させ、消費電力を減らすことができる。ここで、第2電極190は、光を透過させるため、比較的に薄い厚さに形成される。あるいは、透明導電性物質で形成される。その結果、その抵抗が高くなるが、接続パターン162を介し、第2電極190を第1補助電極114および第2補助電極146と電気的に接続することにより、第2電極190の抵抗を低下させることができる。
このとき、第2電極190と接続パターン162との間、より詳細には、第2電荷補助層186と接続パターン162との間に金属や金属酸化物からなる補助パターン200を形成することで、第2電極190と接続パターン162の間の接触特性を向上させることができる。
一方、第1補助電極114と第2補助電極146のうち、一方を省略することもできる。
第2実施例
図4は、本発明の第2実施例に係る電界発光表示装置を概略的に示す断面図であって、図2のI-I’線に対応する断面を示す。本発明の第2実施例に係る電界発光表示装置は、補助パターンを除けば第1実施例と同じ構成である。同じ構成に対しては同じ符号を与え、それに対する説明は省略、または簡略にする。
図4に示すように、本発明の第2実施例に係る電界発光表示装置2000において、基板100上に順次形成された第1電極160、発光層180および第2電極190は、発光ダイオードDeを構成する。ここで、発光ダイオードDeの発光層180からの光は、第2電極190を介し、外部へ出射される。
そのため、第2電極190は、アルミニウム(Al)やマグネシウム(Mg)、銀(Ag)、またはこれらの合金のような金属物質からなり、光を透過できるよう、相対的に薄く形成することができる。例えば、第2電極190の厚さは、5nm~10nmであり得るが、これに限定されるものではない。あるいは、第2電極190は、IGOやIZOのような透明導電性物質で形成することもできる。
かかる第2電極190は、第1補助コンタクトホール172bおよび第2補助コンタクトホール174bを介し、接続パターン162と電気的に接続される。したがって、第2電極190は、接続パターン162を介し、第1補助電極114および第2補助電極146と電気的に接続される。
このとき、第2電極190と接続パターン162との間には第2電荷補助層186が位置するが、第2電荷補助層186は絶縁特性を持つため、第2電極190と接続パターン162との間の接触特性が低下し得る。したがって、第2電極190と接続パターン162との間の接触特性を向上させるため、第2電極190と接続パターン162との間、より詳細には第2電荷補助層186と接続パターン162との間に補助パターン300を形成する。
ここで、補助パターン300は、第1バンク172および第2バンク174と接触する。かかる補助パターン300は、接続パターン162に対応する幅を有することができる。
具体的に、補助パターン300は、第1バンク172の側面および上面と接触し、第2バンク174の側面と接触することができる。この場合、補助パターン300の幅は、接続パターン162の幅より大きい、または同じであり得る。
あるいは、補助パターン300は、第1バンク172と接触しながら、第2バンク174から離隔することができる。この場合、補助パターン300は、第1バンク172の側面にのみ接触することができ、補助パターン300の幅は、接続パターン162の幅より小さくてもよい。
補助パターン300の厚さは、100nm~300nmであり得るが、これに限定されるものではない。
かかる補助パターン300は、接続パターン162の第1層162aより小さい比抵抗を有する金属で形成することができる。例えば、補助パターン300は、アルミニウム(Al)や銀(Ag)で形成することができるが、これに限定されるものではない。
あるいは、補助パターン300は、金属酸化物で形成することもできる。金属酸化物で形成された補助パターン300は、接続パターン162の第1層162aから第2電荷補助層186への電子注入を容易に行うことができる。例えば、補助パターン300は、酸化亜鉛(ZnO)や三酸化モリブデン(MoO)で形成することができる。
金属酸化物からなる補助パターン300は、蒸着工程や溶液工程により形成することができる。
ここで、酸化亜鉛は、ナノワイヤ状にすることもできる。
このように、本発明の第2実施例に係る電界発光表示装置2000は、トップエミッション型を採用することで、輝度を向上させ、消費電力を減らすことができる。また、接続パターン162を介し、第2電極190を第1補助電極114および第2補助電極146と接続することにより、第2電極190の抵抗を低下させることができる。
このとき、第2電極190と接続パターン162との間、より詳細には、第2電荷補助層186と接続パターン162との間に金属や金属酸化物からなる補助パターン300を形成することで、第2電極190と接続パターン162との間の接触特性を向上させることができる。
また、補助パターン300が第1バンク172および第2バンク174と接触し、比較的に広い面積を有するようにすることで、第1実施例に比べ、接触面積を増加させ、第2電極190と接続パターン162の間の接触抵抗をさらに低下させることができる。
第3実施例
図5は、本発明の第3実施例に係る電界発光表示装置を概略的に示す断面図であって、図2のI-I’線に対応する断面を示す。本発明の第3実施例にかかる電界発光表示装置は、補助パターンを除けば第1実施例と同じ構成である。同じ構成に対しては同じ符号を与え、それに対する説明は省略、または簡略にする。
図5に示すように、本発明の第3実施例に係る電界発光表示装置3000において、基板100上に順次形成された第1電極160、発光層180および第2電極190は、発光ダイオードDeを構成する。ここで、発光ダイオードDeの発光層180からの光は、第2電極190を介し、外部へ出射される。
そのため、第2電極190は、アルミニウム(Al)やマグネシウム(Mg)、銀(Ag)、またはこれらの合金のような金属物質からなり、光を透過できるよう、相対的に薄く形成することができる。例えば、第2電極190の厚さは、5nm~10nmであり得るが、これに限定されるものではない。あるいは、第2電極190は、IGOやIZOのような透明導電性物質で形成することもできる。
かかる第2電極190は、第1補助コンタクトホール172bおよび第2補助コンタクトホール174bを介し、接続パターン162と電気的に接続される。したがって、第2電極190は、接続パターン162を介し、第1補助電極114および第2補助電極146と電気的に接続される。
このとき、第2電極190と接続パターン162との間には第2電荷補助層186が位置するが、第2電荷補助層186は絶縁特性を有するため、第2電極190と接続パターン162の間の接触特性が低下し得る。したがって、第2電極190と接続パターン162との間の接触特性を向上させるため、第2電極190と接続パターン162との間、より詳細には第2電荷補助層186と接続パターン162との間に補助パターン400を形成する。
ここで、補助パターン400は、第1バンク172および第2バンク174と接触する。かかる補助パターン400は、接続パターン162に対応する幅を有することができる。
具体的に、補助パターン400は、第1バンク172と第2バンク174の間に形成され、第1バンク172の側面および上面と接触し、第2バンク174の下面と接触することができる。この場合、補助パターン400の幅は、接続パターン162の幅より大きい、または同じであり得る。
補助パターン400の厚さは、100nm~300nmであり得るが、これに限定されるものではない。
かかる補助パターン400は、接続パターン162の第1層162aより小さい比抵抗を有する金属で形成することができる。例えば、補助パターン400は、アルミニウム(Al)や銀(Ag)で形成することができるが、これに限定されるものではない。
あるいは、補助パターン400は、金属酸化物で形成することもできる。金属酸化物で形成された補助パターン400は、接続パターン162の第1層162aから第2電荷補助層186への電子注入を容易に行うことができる。例えば、補助パターン400は、酸化亜鉛(ZnO)や三酸化モリブデン(MoO)で形成することができる。
金属酸化物からなる補助パターン400は、蒸着工程や溶液工程により形成することができる。
ここで、酸化亜鉛は、ナノワイヤ状にすることもできる。
このように、本発明の第3実施例に係る電界発光表示装置3000は、トップエミッション型を採用することで、輝度を向上させ、消費電力を減らすことができる。また、接続パターン162を介し、第2電極190を第1補助電極114および第2補助電極146と接続することにより、第2電極190の抵抗を低下させることができる。
このとき、第2電極190と接続パターン162との間、より詳細には、第2電荷補助層186と接続パターン162との間に金属や金属酸化物からなる補助パターン400を形成することで、第2電極190と接続パターン162との間の接触特性を向上させることができる。
また、補助パターン400が第1バンク172および第2バンク174と接触し、比較的に広い面積を有するようにすることで、第1実施例に比べ、接触面積を増加させ、第2電極190と接続パターン162との間の接触抵抗をさらに低下させることができる。
一方、前述したように、第1電極160の第2層160bおよび接続パターン162の第2層162bは、銀(Ag)からなり得るが、銀(Ag)は高温でヒロックが発生する。特に、第2電極190と接続パターン162との間の高い抵抗により、接続パターン162の第2層162bにヒロックが発生し得るが、かかるヒロックは、接続パターン162の第1層162aおよび第2電荷補助層186を貫通し、第2電極190と直接接触することで、電流集中現象を引き起こす。その結果、ヒロックと第2電極190の接触部分において、白く点滅したり、またはバーニングしたりする現象が発生する。
したがって、以下の実施例では、かかるヒロックによる電流集中現象を解決することができる構成を提示する。
第4実施例
図6は、本発明の第4実施例に係る電界発光表示装置を概略的に示す断面図であって、図2のI-I’線に対応する断面を示し、さは、図6のA1領域を拡大した概略的な断面図である。本発明の第4実施例に係る電界発光表示装置は、補助パターンを除けば第1実施例と同じ構成である。同じ構成に対しては同じ符号を与え、それに対する説明は省略、または簡略にする。
図6および図7に示すように、本発明の第4実施例に係る電界発光表示装置4000において、基板100上に順次形成された第1電極160、発光層180および第2電極190は、発光ダイオードDeを構成する。ここで、発光ダイオードDeの発光層180からの光は、第2電極190を介し、外部へ出射される。
そのため、第2電極190は、アルミニウム(Al)やマグネシウム(Mg)、銀(Ag)、またはこれらの合金のような金属物質からなり、光を透過できるよう、相対的に薄く形成することができる。例えば、第2電極190の厚さは、5nm~10nmであり得るが、これに限定されるものではない。あるいは、第2電極190は、IGOやIZOのような透明導電性物質で形成することもできる。
かかる第2電極190は、第1補助コンタクトホール172bおよび第2補助コンタクトホール174bを介し、接続パターン162と電気的に接続される。したがって、第2電極190は、接続パターン162を介し、第1補助電極114および第2補助電極146と電気的に接続される。
このとき、第2電極190と接続パターン162との間には第2電荷補助層186が位置するが、第2電荷補助層186は絶縁特性を有するため、第2電極190と接続パターン162との間の接触特性が低下し得る。したがって、第2電極190と接続パターン162との間の接触特性を向上させるため、第2電極190と接続パターン162との間、より詳細には第2電荷補助層186と接続パターン162との間に補助パターン500を形成する。
かかる補助パターン500は、接続パターン162よりその幅および面積が小さく、第1バンク172および第2バンク174から離隔することができる。このとき、補助パターン500は、第5コンタクトホール155b内に位置することができる。
あるいは、補助パターン500は、第2実施例、または第3実施例と同様、第1バンク172および第2バンク174と接触することもできる。かかる補助パターン500は、接続パターン162に対応する幅を有することができる。
補助パターン500の厚さは、100nm~300nmであり得るが、これに限定されるものではない。
かかる補助パターン500は、導電性ナノ粒子510で形成することができる。このとき、導電性ナノ粒子510は、接続パターン162の第1層162aより小さい比抵抗を有することができる。例えば、補助パターン500は、金ナノロッドや銀ナノワイヤ、銀ナノドット、またはカーボンナノチューブ(CNT)で形成することができるが、これに限定されるものではない。あるいは、補助パターン500は、酸化亜鉛ナノワイヤで形成することもできる。
導電性ナノ粒子510からなる補助パターン500の上面には、凸凹が形成される。その結果、補助パターン500の上面は、接続パターン162の第1層162aの上面より表面粗さが大きい。表面粗さは、原子間力顕微鏡(Atomic Force Microscope:AFM)で測定した最高高さと最低高さとの差である粗さの高低差値(Rpv)から判断することができ、補助パターン500の上面のRpvが、接続パターン162の第1層162aの上面のRpvよりも大きい。
例えば、補助パターン500の上面のRpvは、200nm~300nmであり、接続パターン162の第1層162aの上面のRpvは、7nm~11nmであり得るが、これに限定されるものではない。
かかる導電性ナノ粒子510からなる補助パターン500は、接続パターン162の上部に導電性ナノ粒子510をプリントし、別途の熱処理工程を行うことにより形成することができる。このとき、導電性ナノ粒子510は熱処理工程を通じて互いに結合し、ネットワーク構造を形成しながら凝集する。その結果、補助パターン500の上面は、表面粗さを有することになる。
あるいは、導電性ナノ粒子510からなる補助パターン500は、接続パターン162の上部に導電性ナノ粒子510をプリントし、溶液工程により発光層180を形成することで、発光層180の第1電荷補助層182や発光物質層184の熱処理工程を行う際にネットワーク構造を形成することができる。この場合、導電性ナノ粒子510の結合のための熱処理工程を省略することができ、工程時間およびコストを低減することができる。
かかる導電性ナノ粒子510からなる補助パターン500は、接続パターン162の第2層162bにヒロックが発生しても、ヒロックによる電流集中現象を防止することができる。これについて図8および図9を参照し、説明する。
図8は、ヒロックが発生した本発明の第4実施例に係る電界発光表示装置を概略的に示す断面図であり、図9は、図8のA2領域を拡大した概略的な断面図である。
図8および図9に示すように、接続パターン162と第2電極190との間に第2電荷補助層186が位置し、接続パターン162と第2電荷補助層186との間に補助パターン500が位置し、補助パターン500は、導電性ナノ粒子510からなる。
かかる補助パターン500は、導電性ナノ粒子510によりその上面に凸凹を有し、補助パターン500の上面は、接続パターン162の第1層162aの上面よりも表面粗さが大きい。したがって、導電性ナノ粒子510の一部は、別の導電性ナノ粒子510に比べ、第2電極190との距離を短くし、実質的に第2電極190と接触することができる。
ところが、接続パターン162の第2層162bにはヒロックによる突出部162hが発生し得る。この突出部162hは、接続パターン162の第1層162aと補助パターン500、および第2電荷補助層186を貫通し、成長して第2電極190と接触することができる。しかしながら、本発明の第4実施例では、図9に示すように、突出部162hと第2電極190の間の接触点(CP1)の他、導電性ナノ粒子510と第2電極190との間に複数の接触点(CP2)が生じるため、ヒロックによる電流集中現象を防止することができる。
このように、本発明の第4実施例にかかる電界発光表示装置4000は、トップエミッション型を採用することで、輝度を向上させ、消費電力を減らすことができる。また、接続パターン162を介し、第2電極190を第1補助電極114および第2補助電極146と接続することにより、第2電極190の抵抗を低下させることができる。
このとき、第2電極190と接続パターン162との間、より詳細には、第2電荷補助層186と接続パターン162との間に導電性ナノ粒子510からなる補助パターン500を形成することで、第2電極190と接続パターン162との間の接触特性を向上させることができる。
また、導電性ナノ粒子510で補助パターン500を形成し、補助パターン500の上面が表面粗さを有するようにすることで、ヒロックによる電流集中現象を防止することができる。
第5実施例
図10は、本発明の第5実施例に係る電界発光表示装置を概略的に示す断面図であって、図2のI-I’線に対応する断面を示し、図11は、図10のA3領域を拡大した概略的な断面図である。本発明の第5実施例に係る電界発光表示装置は、補助パターンを除けば第1実施例と同じ構成である。同じ構成に対しては同じ符号を与え、それに対する説明は省略、または簡略にする。
図10および図11に示すように、本発明の第5実施例に係る電界発光表示装置5000において、基板100上に順次形成された第1電極160、発光層180および第2電極190は、発光ダイオードDeを構成する。ここで、発光ダイオードDeの発光層180からの光は、第2電極190を介し、外部へ出射される。
そのため、第2電極190は、アルミニウム(Al)やマグネシウム(Mg)、銀(Ag)、またはこれらの合金のような金属物質からなり、光を透過できるよう、相対的に薄く形成することができる。例えば、第2電極190の厚さは、5nm~10nmであり得るが、これに限定されるものではない。あるいは、第2電極190は、IGOやIZOのような透明導電性物質で形成することもできる。
かかる第2電極190は、第1補助コンタクトホール172bおよび第2補助コンタクトホール174bを介し、接続パターン162と電気的に接続される。したがって、第2電極190は、接続パターン162を介し、第1補助電極114および第2補助電極146と電気的に接続される。
このとき、第2電極190と接続パターン162との間には第2電荷補助層186が位置するが、第2電荷補助層186は絶縁特性を持つため、第2電極190と接続パターン162の間との接触特性が低下し得る。したがって、第2電極190と接続パターン162の間との接触特性を向上させるため、第2電極190と接続パターン162の間、より詳細には第2電荷補助層186と接続パターン162の間に補助パターン600を形成する。
かかる補助パターン600は、接続パターン162よりその幅および面積が小さく、第1バンク172および第2バンク174から離隔することができる。このとき、補助パターン600は、第5コンタクトホール155b内に位置することができる。
あるいは、補助パターン600は、第2実施例、または第3実施例と同様、第1バンク172および第2バンク174と接触することもできる。かかる補助パターン600は、接続パターン162に対応する幅を有することができる。
ここで、補助パターン600は、300nm以上の比較的に大きい厚さ(t1)を有する。例えば、補助パターン600の厚さ(t1)は、300nm以上1μm以下であり、好ましくは、500nm以上1μm以下であり得るが、これに限定されるものではない。
かかる補助パターン600は、接続パターン162の第1層162aより小さい比抵抗を有する金属から形成することができる。例えば、補助パターン600は、アルミニウム(Al)や銀(Ag)で形成することができるが、これに限定されるものではない。
あるいは、補助パターン600は、金属酸化物で形成することもできる。かかる金属酸化物からなる補助パターン600は、接続パターン162の第1層162aから第2電荷補助層186への電子注入を容易に行うことができる。例えば、補助パターン600は、酸化亜鉛(ZnO)や三酸化モリブデン(MoO)で形成することができる。
金属酸化物からなる補助パターン600は、蒸着工程や溶液工程により形成することができる。
ここで、酸化亜鉛は、ナノワイヤ状にすることもできる。
かかる補助パターン600は、接続パターン162の第2層162bにヒロックが発生しても、ヒロックによる電流集中現象を防止することができる。これについて図12および図13を参照し、説明する。
図12は、ヒロックが発生した本発明の第5実施例に係る電界発光表示装置を概略的に示す断面図であり、図13は、図12のA4領域を拡大した概略的な断面図である。
図12および図13に示すように、接続パターン162と第2電極190との間に第2電荷補助層186が位置し、接続パターン162と第2電荷補助層186との間に補助パターン600が位置し、補助パターン600は、比較的に大きい厚さ(t1)を有する。
このとき、補助パターン600の厚さ(t1)は、接続パターン162の第2層162bに発生したヒロックによる突出部162hの高さよりも大きい。
かかる補助パターン600は、比較的に厚く、かつ突出部162hの高さよりも大きい厚さ(t1)を有するため、ヒロックにより突出部162hが発生し、接続パターン162の第1層162aを貫通して成長しても、突出部162hが第2電極190と接触することを防止することができる。したがって、ヒロックによる電流集中現象を防止することができる。
このように、本発明の第5実施例に係る電界発光表示装置5000は、トップエミッション型を採用することで、輝度を向上させ、消費電力を減らすことができる。また、接続パターン162を介し、第2電極190を第1補助電極114および第2補助電極146と接続することにより、第2電極190の抵抗を低下させることができる。
このとき、第2電極190と接続パターン162との間、より詳細には、第2電荷補助層186と接続パターン162との間に補助パターン600を形成することで、第2電極190と接続パターン162との間の接触特性を向上させることができる。
また、補助パターン600の厚さ(t1)を厚くし、補助パターン600がヒロックによる突出部162hを完全に覆うようにすることで、ヒロックによる電流集中現象を防止することができる。
第6実施例
図14は、本発明の第6実施例にかかる電界発光表示装置を概略的に示す断面図であって、図2のI-I’線に対応する断面を示す。本発明の第6実施例にかかる電界発光表示装置は、補助パターンを除けば第1実施例と同じ構成である。同じ構成に対しては同じ符号を与え、それに対する説明は省略、または簡略にする。
図14に示すように、本発明の第6実施例に係る電界発光表示装置6000において、基板100上に順次形成された第1電極160、発光層180および第2電極190は、発光ダイオードDeを構成する。ここで、発光ダイオードDeの発光層180からの光は、第2電極190を介し、外部へ出射される。
そのため、第2電極190は、アルミニウム(Al)やマグネシウム(Mg)、銀(Ag)、またはこれらの合金のような金属物質からなり、光を透過できるよう、相対的に薄く形成することができる。例えば、第2電極190の厚さは、5nm~10nmであり得るが、これに限定されるものではない。あるいは、第2電極190は、IGOやIZOのような透明導電性物質で形成することもできる。
かかる第2電極190は、第1補助コンタクトホール172bおよび第2補助コンタクトホール174bを介し、接続パターン162と電気的に接続される。したがって、第2電極190は、接続パターン162を介し、第1補助電極114および第2補助電極146と電気的に接続される。
このとき、第2電極190と接続パターン162の間に第2電荷補助層186が位置するが、接続パターン162と第2電荷補助層186は、それぞれのエネルギー準位の差が大きく、電子移動がスムーズに行われていないため、第2電極190と接続パターン162の間の接触特性が低下し得る。
一般的に、電子(-)と正孔(+)の移動のため、隣接する層間のエネルギー準位の差は0.5eV以内であることが好ましく、0.3eV以内であることがさらに好ましい。
したがって、本発明の第6実施例に係る電界発光表示装置6000では、第2電極190と接続パターン162との間の接触特性を向上させるため、第2電極190と接続パターン162との間、より詳細には第2電荷補助層186と接続パターン162との間に補助パターン700を形成する。かかる補助パターン700は、接続パターン162の有効仕事関数を低下させるが、詳細については後述する。
補助パターン700は、接続パターン162よりその幅および面積が小さく、第1バンク172および第2バンク174から離隔することができる。このとき、補助パターン700は、第5コンタクトホール155b内に位置することができる。
あるいは、補助パターン700は、第1バンク172と接触しながら第2バンク174から離隔することもできる。この場合、補助パターン700は、第1バンク172の側面にのみ接触することができ、補助パターン700の幅は、接続パターン162の幅より小さくてもよい。
あるいは、補助パターン700は、第1バンク172と第2バンク174との両方と接触することもできる。
補助パターン700は、溶液工程により形成することができる。それにより、補助パターン700の高さは、端部に行くほど高くなり得る。すなわち、補助パターン700の端部の高さは、補助パターン700の中央よりも高くなり得る。
かかる補助パターン700は、第1電荷補助層182と発光物質層184とのうち、いずれかの一方と同じ工程により形成することができる。
例えば、補助パターン700を第1電荷補助層182と同じ工程により形成する場合、第1電荷補助物質を含む第1溶液を第1電極160上に塗布し、補助パターン物質を含む第2溶液を接続パターン162上に塗布した後、第1溶液と第2溶液を同時に乾燥させ、第1電荷補助層182と補助パターン700を形成することができる。あるいは、補助パターン700を発光物質層184と同じ工程により形成する場合は、発光物質を含む第1溶液を第1電荷補助層182上に塗布し、補助パターン物質を含む第2溶液を接続パターン162上に塗布した後、第1溶液と第2溶液を同時に乾燥させ、発光物質層184と補助パターン700とを形成することができる。すなわち、補助パターン700は、第1電荷補助層182と発光物質層184とのうち、いずれか一方と同じ乾燥工程により形成することができる。
一方、第1電荷補助層182が正孔注入層および正孔輸送層を含む場合、補助パターン700は、正孔注入層、または正孔輸送層と同じ工程により形成することができる。
補助パターン700の厚さは、0mmより大きく5nm以下であり得る。すなわち、補助パターン700の厚さは、0nmより大きく、5nmより小さい、または5mmであり得る。
かかる補助パターン700は、仕事関数変更ポリマーからなり得る。仕事関数変更ポリマーは、下記の化学式1で表されるエトキシ化したポリエチレンイミン(PEIE)であり得る。
Figure 2022087051000004
化学式1中、x、y、zは繰り返し単位であって、それぞれ独立して1~50の整数であり得る。
あるいは、仕事関数変更ポリマーは、下記の化学式2で表されるポリエチレンイミン(PEI)であり得る。
Figure 2022087051000005
化学式2中、a、b、c、dは繰り返し単位であって、それぞれ独立して1~50の整数であり得る。
例えば、PEIは、a、b、c、dのそれぞれが1である、下記の化学式3で表される物質であり得る。
Figure 2022087051000006
化学式3中、nは1以上の整数である。
かかる仕事関数変更ポリマーは、電極表面において双極子を誘導することで、電極の有効仕事関数を低下させる。したがって、仕事関数変更ポリマーからなる補助パターン700により、接続パターン162の有効仕事関数が低下し、接続パターン162から第2電荷補助層186への電子注入を容易にすることができる。
このとき、接続パターン162の仕事関数、すなわち、第1層162aの仕事関数は、4.7eV~5.3eVであり、補助パターン700による接続パターン162の有効仕事関数、すなわち、第1層162aの有効仕事関数は、3.2eV~3.8eVであり得る。
また、第2電荷補助層186が電子注入層および電子輸送層を含み、電子輸送層が単一の電子輸送物質からなる場合、電子輸送層のLUMO準位は、-3.3eV~-2.4eVであり得る。
あるいは、第2電荷補助層186が電子注入層および電子輸送層を含み、電子輸送層が、共蒸着された第1電子輸送物質と第2電子輸送物質からなる場合、電子輸送層のLUMO準位は、-3.4eV~-3.0eVであり得る。
かかる補助パターン700により接続パターン162の有効仕事関数を変更する構成について、図面を参照し、詳細に説明する。
図15は、本発明の第6実施例に係る電界発光表示装置における第2電極と接続パターンの接続構造に対するバンドダイアグラムであり、図16は、比較例に係る電界発光表示装置における第2電極と接続パターンの接続構造に対するバンドダイアグラムである。図14を共に参照して説明する。
ここで、接続パターン162、すなわち、第1層162aはITOからなり、第2電極190はマグネシウム(Mg)と銀(Ag)からなり、補助パターン700はPEIEからなる。
また、第2電荷補助層186は、電子注入層(EIL)と電子輸送層(ETL)とを含む。このとき、電子注入層(EIL)はフッ化リチウムからなり、電子輸送層(ETL)は第1電子輸送物質(ETM1)と第2電子輸送物質(ETM2)からなる。第2電子輸送物質(ETM2)のLUMO準位が第1電子輸送物質(ETM1)のLUMO準位よりも低く、第2電子輸送物質(ETM2)はリチウムキノラート(Liq)である。
図15に示すように、本発明の第6実施例にかかる電界発光表示装置6000では、電子輸送層(ETL)と接続パターン162の間にPEIEからなる補助パターン700が位置し、接続パターン162の有効仕事関数は3.6eVである。
したがって、接続パターン162の有効仕事関数と第2電子輸送物質(ETM2)のLUMO準位の差は、0.45eVであり、接続パターン162から電子輸送層(ETL)への電子注入が容易になる。
一方、図16に示すように、比較例にかかる電界発光表示装置では、接続パターン162の仕事関数が4.8eVである。
かかる接続パターン162の仕事関数と第2電子輸送物質(ETM2)のLUMO準位との差は1.65eVであるため、接続パターン162から電子輸送層(ETL)への電子注入は困難であり、第2電極190と接続パターン162との間の接触特性が低下する。
このように、本発明の第6実施例にかかる電界発光表示装置6000は、第2電極190と接続パターン162の間、より詳細には、第2電荷補助層186と接続パターン162との間に、仕事関数変更ポリマーからなる補助パターン700を形成することにより接続パターン162の有効仕事関数を低くし、第2電極190と接続パターン162との間の接触特性を向上させることができる。
かかる補助パターン700は、第1電荷補助層182や発光物質層184と同じ乾燥工程により形成することができるため、製造工程を単純化することができる。
一方、本発明の第6実施例にかかる電界発光表示装置6000において、発光物質層184の上部には仕事関数変更ポリマー層が形成されない。これについて図17を参照し、説明する。
図17は、他の比較例に係る発光ダイオードのバンドダイアグラムである。
図17に示すように、他の比較例に係る発光ダイオードは、図14の発光ダイオードDeに比べ、発光物質層(EML)と第2電荷補助層、すなわち、電子輸送層(ETL)との間にPEIEからなる仕事関数変更ポリマー層(WML)をさらに含み、発光物質層(EML)と仕事関数変更ポリマー層(WML)とのLUMO準位の差は、発光物質層(EML)と第2電子輸送物質(ETM2)とのLUMO準位の差より大きい。
したがって、他の比較例にかかる発光ダイオードでは、電子輸送層(ETL)から発光物質層(EML)への電子注入が仕事関数変更ポリマー層(WML)により妨げられるため、発光物質層(EML)と電子輸送層(ETL)との間には仕事関数変更ポリマー層(WML)を形成しないことが好ましい。
以上、本発明の好適な実施例を参照し、説明したが、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載された本発明の技術的思想および領域から逸脱しない範囲で、本発明を種々に修正および変更できることを理解できるであろう。
R、G、B…赤・緑・青色の副画素、100…基板、160…第1電極、162…接続パターン、172…第1バンク、174…第2バンク、174a…開口部、180…発光層、190…第2電極、De…発光ダイオード、200、300、400、500、600、700…補助パターン

Claims (18)

  1. 基板と、
    前記基板の上部に位置する第1電極と、
    前記基板の上部に、前記第1電極と同じ物質で形成される接続パターンと、
    前記第1電極および前記接続パターンの端部を覆うバンクと、
    前記第1電極の上部に位置する発光層と、
    前記発光層と前記バンクおよび前記接続パターンの上部に位置する第2電極と、
    前記第2電極と前記接続パターンの間の補助パターンとを含み、
    前記補助パターンは、金属酸化物や導電性ナノ粒子、または仕事関数変更ポリマーからなる電界発光表示装置。
  2. 前記金属酸化物は、酸化亜鉛と酸化モリブデンとを含み、前記導電性ナノ粒子は、金属ナノロッド、金属ナノワイヤ、金属ナノドット、およびカーボンナノチューブを含む、請求項1に記載の電界発光表示装置。
  3. 前記仕事関数変更ポリマーは、下記の化学式1で表されるエトキシ化したポリエチレンイミン(PEIE)、あるいは、下記の化学式2で表されるポリエチレンイミン(PEI)である、請求項1に記載の電界発光表示装置。
    Figure 2022087051000007
    Figure 2022087051000008
    (化学式1中、x、y、zは繰り返し単位であって、それぞれ独立して1~50の整数であり、化学式2中、a、b、c、dは繰り返し単位であって、それぞれ独立して1~50の整数である。)
  4. 前記補助パターンの端部の高さは、前記補助パターンの中央よりも高い、請求項1に記載の電界発光表示装置。
  5. 基板と、
    前記基板の上部に位置する第1電極と、
    前記基板の上部に、前記第1電極と同じ物質で形成される接続パターンと、
    前記第1電極および前記接続パターンの端部を覆うバンクと、
    前記第1電極の上部に位置する発光層と、
    前記発光層と前記バンクおよび前記接続パターンの上部に位置する第2電極と、
    前記第2電極と前記接続パターンの間の補助パターンとを含み、
    前記接続パターンは突出部を有し、前記突出部は前記補助パターン内に位置する電界発光表示装置。
  6. 前記補助パターンの上面は、凸凹を有する、請求項5に記載の電界発光表示装置。
  7. 前記補助パターンの表面粗さは、前記接続パターンの表面粗さよりも大きい、請求項5に記載の電界発光表示装置。
  8. 前記補助パターンの厚さは、前記突出部の高さよりも大きい、請求項5に記載の電界発光表示装置。
  9. 前記補助パターンの厚さは、300nm以上1μm以下である、請求項8に記載の電界発光表示装置。
  10. 前記補助パターンは、前記バンクと接触する、請求項1または請求項5に記載の電界発光表示装置。
  11. 前記第1電極と前記接続パターンのそれぞれは、第1層および第2層を含み、前記第2層は、前記基板と前記第1層との間に位置し、前記第1層の仕事関数は、前記第2層の仕事関数より高い、請求項1または請求項5に記載の電界発光表示装置。
  12. 前記第1電極と前記接続パターンのそれぞれは、前記第2層と前記基板との間に第3層をさらに含む、請求項11に記載の電界発光表示装置。
  13. 前記発光層は、正孔補助層、発光物質層および電子補助層を含み、前記正孔補助層と前記発光物質層のそれぞれは、少なくとも一側面が前記バンクにより取り囲まれ、前記電子補助層の一部は、前記バンクと前記第2電極との間、および前記補助パターンと前記第2電極との間に位置する、請求項1または請求項5に記載の電界発光表示装置。
  14. 前記基板と前記第1電極との間に少なくとも1つの薄膜トランジスタをさらに含み、前記第1電極は、前記少なくとも1つの薄膜トランジスタに接続される、請求項1または請求項5に記載の電界発光表示装置。
  15. 前記バンクは、親水性の第1バンクと疎水性の第2バンクとを含む、請求項1または請求項5に記載の電界発光表示装置。
  16. 前記補助パターンは、前記第1バンクと前記第2バンクとの間に位置する、請求項15に記載の電界発光表示装置。
  17. 前記第1バンクと前記第2バンクとは、一体に形成される、請求項15に記載の電界発光表示装置。
  18. 一方向に沿って隣接する画素領域の発光層は、互いに接続され、一体に形成される、請求項15に記載の電界発光表示装置。
JP2021190663A 2020-11-30 2021-11-25 電界発光表示装置 Active JP7308251B2 (ja)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20200164874 2020-11-30
KR10-2020-0164874 2020-11-30
KR10-2021-0128816 2021-09-29
KR1020210128816A KR20220076294A (ko) 2020-11-30 2021-09-29 전계발광 표시장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2022087051A true JP2022087051A (ja) 2022-06-09
JP7308251B2 JP7308251B2 (ja) 2023-07-13

Family

ID=81586235

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021190663A Active JP7308251B2 (ja) 2020-11-30 2021-11-25 電界発光表示装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20220173351A1 (ja)
JP (1) JP7308251B2 (ja)
CN (1) CN114582928A (ja)
DE (1) DE102021129221A1 (ja)
GB (1) GB2602715B (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2024141862A1 (ja) * 2022-12-27 2024-07-04 株式会社半導体エネルギー研究所 発光デバイス

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006505908A (ja) * 2002-11-12 2006-02-16 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ エレクトロルミネセント装置及びその製造
JP2009295479A (ja) * 2008-06-06 2009-12-17 Sony Corp 有機発光素子およびその製造方法ならびに表示装置
JP2012018938A (ja) * 2008-12-18 2012-01-26 Panasonic Corp 有機エレクトロルミネッセンス表示装置及びその製造方法
US20140353609A1 (en) * 2013-05-29 2014-12-04 Samsung Display Co., Ltd. Organic light-emitting display apparatus and method of manufacturing the same
KR20150002422A (ko) * 2013-06-28 2015-01-07 엘지디스플레이 주식회사 유기발광표시장치 및 그의 제조방법
JP2015069854A (ja) * 2013-09-30 2015-04-13 株式会社ジャパンディスプレイ 有機el表示装置及び有機el表示装置の製造方法
US20160093680A1 (en) * 2014-09-26 2016-03-31 Lg Display Co., Ltd. Organic light emitting diode display device and method of fabricating the same
US20160240598A1 (en) * 2015-02-13 2016-08-18 Samsung Display Co., Ltd. Organic light-emitting diode display and method of manufacturing the same
JP2018097361A (ja) * 2016-12-07 2018-06-21 三星ディスプレイ株式會社Samsung Display Co.,Ltd. 有機発光表示装置およびその製造方法
JP2019114620A (ja) * 2017-12-22 2019-07-11 国立大学法人山形大学 有機el素子

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101926515B1 (ko) * 2011-12-01 2019-03-08 엘지디스플레이 주식회사 터치 스크린
KR102294626B1 (ko) * 2014-10-22 2021-08-26 엘지디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법
KR102393788B1 (ko) * 2017-11-30 2022-05-02 엘지디스플레이 주식회사 유기발광 표시장치
KR102451404B1 (ko) * 2017-12-08 2022-10-05 엘지디스플레이 주식회사 상전이 광 이성질체 화합물, 투명 전계발광 표시장치 및 그 제조 방법
JP6818715B2 (ja) * 2018-04-27 2021-01-20 株式会社Joled 表示パネル、表示装置、および、表示パネルの製造方法
CN114424357B (zh) * 2019-09-20 2024-07-26 夏普株式会社 显示设备及显示设备的制造方法
KR20210052700A (ko) * 2019-10-30 2021-05-11 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
KR20210071368A (ko) * 2019-12-06 2021-06-16 엘지디스플레이 주식회사 전계발광 표시장치
KR20210128816A (ko) 2020-04-17 2021-10-27 강정권 여닫이문용 손끼임 방지장치

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006505908A (ja) * 2002-11-12 2006-02-16 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ エレクトロルミネセント装置及びその製造
JP2009295479A (ja) * 2008-06-06 2009-12-17 Sony Corp 有機発光素子およびその製造方法ならびに表示装置
JP2012018938A (ja) * 2008-12-18 2012-01-26 Panasonic Corp 有機エレクトロルミネッセンス表示装置及びその製造方法
US20140353609A1 (en) * 2013-05-29 2014-12-04 Samsung Display Co., Ltd. Organic light-emitting display apparatus and method of manufacturing the same
KR20150002422A (ko) * 2013-06-28 2015-01-07 엘지디스플레이 주식회사 유기발광표시장치 및 그의 제조방법
JP2015069854A (ja) * 2013-09-30 2015-04-13 株式会社ジャパンディスプレイ 有機el表示装置及び有機el表示装置の製造方法
US20160093680A1 (en) * 2014-09-26 2016-03-31 Lg Display Co., Ltd. Organic light emitting diode display device and method of fabricating the same
US20160240598A1 (en) * 2015-02-13 2016-08-18 Samsung Display Co., Ltd. Organic light-emitting diode display and method of manufacturing the same
JP2018097361A (ja) * 2016-12-07 2018-06-21 三星ディスプレイ株式會社Samsung Display Co.,Ltd. 有機発光表示装置およびその製造方法
JP2019114620A (ja) * 2017-12-22 2019-07-11 国立大学法人山形大学 有機el素子

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2024141862A1 (ja) * 2022-12-27 2024-07-04 株式会社半導体エネルギー研究所 発光デバイス

Also Published As

Publication number Publication date
DE102021129221A1 (de) 2022-06-02
GB2602715B (en) 2023-10-25
GB2602715A (en) 2022-07-13
US20220173351A1 (en) 2022-06-02
CN114582928A (zh) 2022-06-03
JP7308251B2 (ja) 2023-07-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US12052896B2 (en) Electroluminescent display device with bank between same color sub-pixels
JP7410918B2 (ja) 透明表示装置
US11605681B2 (en) Electroluminescent display device
US11917847B2 (en) Electroluminescent display device including a conductive bank disposed between a second electrode and a connection pattern
EP3832731B1 (en) Electroluminescent display device and method of manufacturing the same
US11903235B2 (en) Transparent display device
US11864440B2 (en) Electroluminescent display device
JP7308251B2 (ja) 電界発光表示装置
KR20090021709A (ko) 전계발광소자 및 그 제조방법
KR20220076294A (ko) 전계발광 표시장치
JP7451657B2 (ja) 電界発光表示装置およびその製造方法
JP7308244B2 (ja) 電界発光表示装置
KR102705126B1 (ko) 투명표시장치
KR20240119513A (ko) 전계발광 표시장치 및 그 제조 방법
KR20230089304A (ko) 발광 표시장치

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20211125

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20220916

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20220929

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20221228

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230329

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20230606

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20230703

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7308251

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150