JP2022073108A - Unnecessary resin removal device - Google Patents

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JP2022073108A JP2020182887A JP2020182887A JP2022073108A JP 2022073108 A JP2022073108 A JP 2022073108A JP 2020182887 A JP2020182887 A JP 2020182887A JP 2020182887 A JP2020182887 A JP 2020182887A JP 2022073108 A JP2022073108 A JP 2022073108A
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Abstract

To provide an unnecessary resin removal device capable of accurately removing an unnecessary resin from a resin-sealed molded product.SOLUTION: An unnecessary resin removal device 100 includes a gate break part 1, and a loader part 2. The gate brake part 1 relatively rotates a base material on which a semiconductor element is mounted to an unnecessary resin that is connected to a resin-sealed molded product in a state in which the base material holds a base material of the resin-sealed molded product formed by resin sealing and molding, and contains a runner and a cull, and subjects peeling treatment of peeling an unnecessary resin from the resin-sealed molded product. The loader part 2 holds the resin-sealed molded product subjected to peeling treatment by the gate brake part 1, and takes it out of the gate brake part 1. The loader part 2 includes a holding mechanism 20, and a pressing mechanism 21. The holding mechanism 20 holds a base material of the resin-sealed molded product subjected to the peeling treatment. The pressing mechanism 21 presses the cull in the unnecessary resin in a state in which the base material is held by the holding mechanism 20.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

開示の実施形態は、不要樹脂除去装置に関する。 The disclosed embodiment relates to an unnecessary resin removing device.

従来、リードフレームなどの基材に半導体素子が載置されて樹脂封止成形される樹脂封止成形品には、樹脂封止成形の際にカルおよびランナーを含む不要樹脂が形成される。かかる不要樹脂は不要樹脂除去装置によって樹脂封止成形品から除去される。 Conventionally, in a resin-sealed molded product in which a semiconductor element is placed on a base material such as a lead frame and resin-sealed and molded, unnecessary resin including cal and runner is formed during resin-sealed molding. Such unnecessary resin is removed from the resin-sealed molded product by the unnecessary resin removing device.

例えば、特許文献1には、不要樹脂が連結された樹脂封止成形品の基材を不要樹脂に対して回転させて樹脂封止成形品から不要樹脂を剥離する剥離処理を行う不要樹脂除去装置が開示されている。 For example, in Patent Document 1, an unnecessary resin removing device for peeling an unnecessary resin from a resin-sealed molded product by rotating a base material of a resin-sealed molded product to which an unnecessary resin is connected with respect to the unnecessary resin. Is disclosed.

特開平3-290218号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 3-290218

しかしながら、樹脂封止装置による樹脂封止成形の際に、樹脂による薄いバリが基材に形成され、かかる薄いバリを介して基材と不要樹脂とが連結される場合がある。この場合、特許文献1に記載の不要樹脂除去装置によって基材と不要樹脂との連結部分が剥離されても、樹脂封止成形品に薄いバリを介して不要樹脂が連結された状態が維持されて樹脂封止成形品から不要樹脂を除去できない場合がある。 However, during resin encapsulation molding by a resin encapsulation device, thin burrs due to the resin may be formed on the base material, and the base material and the unnecessary resin may be connected via the thin burrs. In this case, even if the connecting portion between the base material and the unnecessary resin is peeled off by the unnecessary resin removing device described in Patent Document 1, the state in which the unnecessary resin is connected to the resin-sealed molded product via a thin burr is maintained. In some cases, unnecessary resin cannot be removed from the resin-sealed molded product.

実施形態の一態様は、上記に鑑みてなされたものであって、樹脂封止成形品から不要樹脂を精度よく除去することができる不要樹脂除去装置を提供することを目的とする。 One aspect of the embodiment is made in view of the above, and an object thereof is to provide an unnecessary resin removing device capable of accurately removing unnecessary resin from a resin-sealed molded product.

実施形態の一態様に係る不要樹脂除去装置は、ゲートブレイク部と、ローダ部とを備える。ゲートブレイク部は、半導体素子が載置された基材が樹脂封止成形されて形成される樹脂封止成形品の基材を保持した状態で樹脂封止成形品に連結されたランナーおよびカルを含む不要樹脂に対して相対的に基材を回転させて樹脂封止成形品から不要樹脂を剥離する剥離処理を行う。ローダ部は、ゲートブレイク部によって剥離処理が行われた樹脂封止成形品を保持してゲートブレイク部から搬出する。ローダ部は、保持機構と、押圧機構とを備える。保持機構は、剥離処理が行われた樹脂封止成形品の基材を保持する。押圧機構は、保持機構によって基材が保持された状態で不要樹脂のうちカルを押圧する。 The unnecessary resin removing device according to one embodiment includes a gate break unit and a loader unit. The gate break portion includes runners and cals connected to the resin-sealed molded product while holding the base material of the resin-sealed molded product formed by resin-sealed molding of the base material on which the semiconductor element is placed. A peeling process is performed to peel off the unnecessary resin from the resin-sealed molded product by rotating the base material relative to the unnecessary resin contained. The loader section holds the resin-sealed molded product that has been peeled off by the gate break section and carries it out from the gate break section. The loader unit includes a holding mechanism and a pressing mechanism. The holding mechanism holds the base material of the resin-sealed molded product that has been peeled off. The pressing mechanism presses the cal of the unnecessary resin while the base material is held by the holding mechanism.

実施形態の一態様によれば、樹脂封止成形品から不要樹脂を精度よく除去することができる。 According to one aspect of the embodiment, unnecessary resin can be accurately removed from the resin-sealed molded product.

図1は、実施形態に係る不要樹脂除去装置の構成の一例を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing an example of the configuration of an unnecessary resin removing device according to an embodiment. 図2は、実施形態に係る不要樹脂が連結された樹脂封止成形品の側面図である。FIG. 2 is a side view of a resin-sealed molded product to which unnecessary resins according to the embodiment are connected. 図3は、実施形態に係る不要樹脂が連結された樹脂封止成形品の平面図である。FIG. 3 is a plan view of a resin-sealed molded product to which unnecessary resins according to the embodiment are connected. 図4は、実施形態に係る不要樹脂が連結され且つ基材に薄いバリが形成された樹脂封止成形品の平面図である。FIG. 4 is a plan view of a resin-sealed molded product in which unnecessary resins according to the embodiment are connected and thin burrs are formed on the base material. 図5は、実施形態に係る不要樹脂除去装置のゲートブレイク部の構成の一例を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing an example of the configuration of the gate break portion of the unnecessary resin removing device according to the embodiment. 図6は、実施形態に係るゲートブレイク部での剥離処理を説明するための図(その1)である。FIG. 6 is a diagram (No. 1) for explaining the peeling process at the gate break portion according to the embodiment. 図7は、実施形態に係るゲートブレイク部での剥離処理を説明するための図(その2)である。FIG. 7 is a diagram (No. 2) for explaining the peeling process at the gate break portion according to the embodiment. 図8は、実施形態に係るゲートブレイク部での剥離処理を説明するための図(その3)である。FIG. 8 is a diagram (No. 3) for explaining the peeling process at the gate break portion according to the embodiment. 図9は、実施形態に係る不要樹脂除去装置のローダ部の構成の一例を示す図(その1)である。FIG. 9 is a diagram (No. 1) showing an example of the configuration of the loader portion of the unnecessary resin removing device according to the embodiment. 図10は、実施形態に係る不要樹脂除去装置のローダ部の構成の一例を示す図(その2)である。FIG. 10 is a diagram (No. 2) showing an example of the configuration of the loader portion of the unnecessary resin removing device according to the embodiment. 図11は、図10に示すローダ部による剥離処理の一例を説明するための図(その1)である。FIG. 11 is a diagram (No. 1) for explaining an example of the peeling process by the loader portion shown in FIG. 図12は、図10に示すローダ部による剥離処理の一例を説明するための図(その2)である。FIG. 12 is a diagram (No. 2) for explaining an example of the peeling process by the loader portion shown in FIG. 図13は、図10に示すローダ部による剥離処理の一例を説明するための図(その3)である。FIG. 13 is a diagram (No. 3) for explaining an example of the peeling process by the loader portion shown in FIG. 図14は、図10に示すローダ部による剥離処理の一例を説明するための図(その4)である。FIG. 14 is a diagram (No. 4) for explaining an example of the peeling process by the loader portion shown in FIG. 図15は、実施形態に係る不要樹脂除去装置のローダ部の一部の構成の他の例を示す図である。FIG. 15 is a diagram showing another example of the configuration of a part of the loader portion of the unnecessary resin removing device according to the embodiment. 図16は、図15に示すローダ部による剥離処理の他の例を説明するための図(その1)である。FIG. 16 is a diagram (No. 1) for explaining another example of the peeling process by the loader portion shown in FIG. 図17は、図15に示すローダ部による剥離処理の他の例を説明するための図(その2)である。FIG. 17 is a diagram (No. 2) for explaining another example of the peeling process by the loader portion shown in FIG. 図18は、図15に示すローダ部による剥離処理の他の例を説明するための図(その3)である。FIG. 18 is a diagram (No. 3) for explaining another example of the peeling process by the loader portion shown in FIG.

以下、添付図面を参照して、本願の開示する不要樹脂除去装置の実施形態を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。 Hereinafter, embodiments of the unnecessary resin removing apparatus disclosed in the present application will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The present invention is not limited to the embodiments shown below.

<1.不要樹脂除去装置の構成>
図1に示すように、実施形態に係る不要樹脂除去装置100は、ゲートブレイク部1と、ローダ部2とを備える。ゲートブレイク部1は、ランナーおよびカルを含む不要樹脂が連結された樹脂封止成形品が搬入され、かかる樹脂封止成形品に連結された不要樹脂に対して相対的に樹脂封止成形品の基材を回転させて樹脂封止成形品から不要樹脂を剥離する剥離処理を行う。
<1. Configuration of unnecessary resin removal device>
As shown in FIG. 1, the unnecessary resin removing device 100 according to the embodiment includes a gate break unit 1 and a loader unit 2. In the gate break portion 1, a resin-sealed molded product to which an unnecessary resin including a runner and a cal is connected is carried in, and the resin-sealed molded product is relatively relative to the unnecessary resin connected to the resin-sealed molded product. A peeling process is performed in which the base material is rotated to peel off unnecessary resin from the resin-sealed molded product.

ローダ部2は、ゲートブレイク部1によって剥離処理が行われた樹脂封止成形品を保持してゲートブレイク部1から搬出する。ローダ部2は、ゲートブレイク部1によって樹脂封止成形品から不要樹脂が剥離されていない場合であっても、ゲートブレイク部1から樹脂封止成形品を搬出する際またはゲートブレイク部1から樹脂封止成形品を搬出中に、樹脂封止成形品から不要樹脂を除去する。 The loader unit 2 holds the resin-sealed molded product that has been peeled off by the gate break unit 1 and carries it out from the gate break unit 1. Even when the unnecessary resin is not peeled off from the resin-sealed molded product by the gate break unit 1, the loader unit 2 is used when the resin-sealed molded product is carried out from the gate break unit 1 or the resin is removed from the gate break unit 1. While the sealed molded product is being carried out, unnecessary resin is removed from the resin sealed molded product.

ローダ部2は、保持機構20と、押圧機構21とを備える。保持機構20は、ゲートブレイク部1によって剥離処理が行われた樹脂封止成形品の基材を保持する。押圧機構21は、保持機構20によって樹脂封止成形品の基材が保持された状態で樹脂封止成形品に連結された不要樹脂のうちカルを押圧する。 The loader unit 2 includes a holding mechanism 20 and a pressing mechanism 21. The holding mechanism 20 holds the base material of the resin-sealed molded product that has been peeled off by the gate break portion 1. The pressing mechanism 21 presses the cal of the unnecessary resin connected to the resin-sealed molded product while the base material of the resin-sealed molded product is held by the holding mechanism 20.

これにより、不要樹脂除去装置100は、例えば、ゲートブレイク部1の剥離処理後において薄いバリを介して基材と不要樹脂とが連結された状態が維持された場合であっても、樹脂封止成形品から不要樹脂を精度よく除去することができる。以下、不要樹脂除去装置100で不要樹脂が除去される前の樹脂封止成形品の構成の一例と不要樹脂除去装置100の構成の一例について具体的に説明する。 As a result, the unnecessary resin removing device 100 is resin-sealed even when the base material and the unnecessary resin are maintained in a connected state via a thin burr after the peeling treatment of the gate break portion 1, for example. Unnecessary resin can be removed from the molded product with high accuracy. Hereinafter, an example of the configuration of the resin-sealed molded product before the unnecessary resin is removed by the unnecessary resin removing device 100 and an example of the configuration of the unnecessary resin removing device 100 will be specifically described.

<2.不要樹脂が除去される前の樹脂封止成形品の構成>
不要樹脂除去装置100で不要樹脂が除去される前の樹脂封止成形品は、不図示の樹脂封止装置によって形成される。樹脂封止装置は、ポット、カル樹脂路、ランナー樹脂路、およびキャビティなどを有する金型を備え、複数の半導体素子が載置された状態のリードフレームなどの基材が金型に供給される。また、金型のポットには、封止樹脂が供給される。
<2. Configuration of resin-sealed molded product before unnecessary resin is removed>
The resin-sealed molded product before the unnecessary resin is removed by the unnecessary resin removing device 100 is formed by a resin sealing device (not shown). The resin sealing device includes a mold having a pot, a cal resin path, a runner resin path, a cavity, and the like, and a base material such as a lead frame in which a plurality of semiconductor elements are placed is supplied to the mold. .. Further, a sealing resin is supplied to the pot of the mold.

樹脂封止装置は、金型のポットに封止樹脂が供給された後、金型を閉じて封止樹脂を溶融させる。溶融した封止樹脂は、金型のポットからカル樹脂路およびランナー樹脂路を経てキャビティへ流入し、基材に載置された複数の半導体素子を封止する。 The resin sealing device closes the mold and melts the sealing resin after the sealing resin is supplied to the pot of the mold. The molten sealing resin flows from the pot of the mold into the cavity through the caracal resin path and the runner resin path, and seals a plurality of semiconductor elements placed on the base material.

図2および図3に示すように、不要樹脂除去装置100で不要樹脂が除去される前の樹脂封止成形品3は、基材である2つのリードフレーム30,31と、各リードフレーム30,31に載置される複数の半導体素子32と、カル34およびランナー35を含む不要樹脂33とを含む。2つのリードフレーム30,31は、不要樹脂33によって間隔を空けて繋がれている。 As shown in FIGS. 2 and 3, the resin-sealed molded product 3 before the unnecessary resin is removed by the unnecessary resin removing device 100 includes two lead frames 30 and 31 as a base material and each lead frame 30. A plurality of semiconductor elements 32 mounted on 31 and an unnecessary resin 33 including a cal 34 and a runner 35 are included. The two lead frames 30 and 31 are connected at a distance by an unnecessary resin 33.

カル34は、樹脂封止装置の金型におけるカル樹脂路によって形成され、ランナー35は、樹脂封止装置の金型におけるランナー樹脂路によって形成されている。ランナー35は、リードフレーム30,31の裏面(図2における下方の面)に形成される。2枚のリードフレーム30,31は、基材の一例である。 The cal 34 is formed by the cal resin path in the mold of the resin sealing device, and the runner 35 is formed by the runner resin path in the mold of the resin sealing device. The runner 35 is formed on the back surface (lower surface in FIG. 2) of the lead frames 30 and 31. The two lead frames 30 and 31 are examples of the base material.

基材は、リードフレーム30,31に限定されない。また、カル34、およびランナー35の配列および数などは図3に示す例に限定されない。また、図3に示す例では、複数の半導体素子32がリードフレーム30,31に載置されるが、リードフレーム30,31に載置される半導体素子32の数は、1つであってもよい。 The base material is not limited to the lead frames 30 and 31. Further, the arrangement and number of the cal 34 and the runner 35 are not limited to the example shown in FIG. Further, in the example shown in FIG. 3, a plurality of semiconductor elements 32 are mounted on the lead frames 30 and 31, but the number of semiconductor elements 32 mounted on the lead frames 30 and 31 may be one. good.

上述した基材と金型とが設計図面通りの公差内に仕上げられていても、基材と金型のカル樹脂路とに隙間が生じ、かかる隙間によって、図4に示すように、リードフレーム30,31に樹脂による薄いバリ36が形成される場合がある。薄いバリ36は、リードフレーム30,31の各々と不要樹脂33とに跨って形成される。 Even if the above-mentioned base material and the mold are finished within the tolerance according to the design drawing, a gap is generated between the base material and the cal resin path of the mold, and the gap causes a lead frame as shown in FIG. Thin burrs 36 made of resin may be formed on 30 and 31. The thin burr 36 is formed so as to straddle each of the lead frames 30 and 31 and the unnecessary resin 33.

<3.ゲートブレイク部1の構成>
次に、ゲートブレイク部1の構成について説明する。図5に示すように、ゲートブレイク部1は、上ブレイク盤4と、上ブレイク盤4と対向する下ブレイク盤5とを備える。
<3. Configuration of gate break part 1>
Next, the configuration of the gate break unit 1 will be described. As shown in FIG. 5, the gate break portion 1 includes an upper break board 4 and a lower break board 5 facing the upper break board 4.

上ブレイク盤4は、上述した樹脂封止成形品3のリードフレーム30,31に図5における上方から当接する2つのクランプ部材41,42と、樹脂封止成形品3に連結された不要樹脂33のうちカル34を押圧する押圧部材43と、2つのクランプ部材41,42および押圧部材43を支持する支持部材44とを備える。各クランプ部材41,42は、支持部材44によって不図示の回転軸を中心に回転可能に支持される。 The upper break board 4 has two clamp members 41 and 42 that abut from above on the lead frames 30 and 31 of the resin-sealed molded product 3 described above in FIG. 5, and an unnecessary resin 33 connected to the resin-sealed molded product 3. Of these, a pressing member 43 that presses the cal 34, and a support member 44 that supports the two clamp members 41, 42 and the pressing member 43 are provided. Each of the clamp members 41 and 42 is rotatably supported by the support member 44 about a rotation axis (not shown).

下ブレイク盤5は、樹脂封止成形品3のリードフレーム30,31に図5における下方から当接する2つのクランプ部材51,52と、2つのクランプ部材51,52を不図示の回転軸を中心に回転可能に支持する支持部53とを備える。 The lower break board 5 has two clamp members 51 and 52 and two clamp members 51 and 52 that abut from below in FIG. 5 on the lead frames 30 and 31 of the resin-sealed molded product 3 centered on a rotation axis (not shown). It is provided with a support portion 53 that rotatably supports the vehicle.

下ブレイク盤5は、各クランプ部材51,52の端部を図5における上方へ押す不図示の駆動機構を有しており、かかる駆動機構によって、各クランプ部材51,52が上述した回転軸を中心に回転させられる。クランプ部材51,52は、保持部の一例である。 The lower break board 5 has a drive mechanism (not shown) that pushes the ends of the clamp members 51 and 52 upward in FIG. 5, and the drive mechanism causes the clamp members 51 and 52 to rotate the rotation shaft described above. Rotated to the center. The clamp members 51 and 52 are examples of the holding portion.

また、ゲートブレイク部1は、上ブレイク盤4を移動させる不図示の移動機構を有しており、かかる移動機構によって、上ブレイク盤4が図5における上下方向に移動させられる。なお、ゲートブレイク部1は、移動機構によって、下ブレイク盤5が図5における上下方向に移動させられる構成であってもよい。 Further, the gate break portion 1 has a moving mechanism (not shown) for moving the upper break board 4, and the upper break board 4 is moved in the vertical direction in FIG. 5 by such a moving mechanism. The gate break portion 1 may be configured such that the lower break board 5 is moved in the vertical direction in FIG. 5 by a moving mechanism.

次に、ゲートブレイク部1による樹脂封止成形品3からの不要樹脂33の剥離処理について説明する。図6に示すように、下ブレイク盤5における2つのクランプ部材51,52上に不要樹脂33が除去される前の樹脂封止成形品3が載置される。 Next, the peeling treatment of the unnecessary resin 33 from the resin-sealed molded product 3 by the gate break portion 1 will be described. As shown in FIG. 6, the resin-sealed molded product 3 before the unnecessary resin 33 is removed is placed on the two clamp members 51 and 52 in the lower break board 5.

クランプ部材51,52上への樹脂封止成形品3の載置は、不図示の樹脂封止装置から樹脂封止成形品3を搬出する不図示のアウトローダ部によって行われる。なお、樹脂封止装置から樹脂封止成形品3を搬出する装置は、ローダ部2であってもよい。この場合、ローダ部2は、不図示の樹脂封止装置から樹脂封止成形品3を搬出し、搬出した樹脂封止成形品3をゲートブレイク部1に搬入してクランプ部材51,52上に樹脂封止成形品3を載置する。 The resin-sealed molded product 3 is placed on the clamp members 51 and 52 by an outlaw unit (not shown) that carries out the resin-sealed molded product 3 from a resin-sealed molded product (not shown). The device for carrying out the resin-sealed molded product 3 from the resin-sealing device may be the loader unit 2. In this case, the loader unit 2 carries out the resin-sealed molded product 3 from a resin sealing device (not shown), carries the carried-out resin-sealed molded product 3 into the gate break portion 1, and places it on the clamp members 51 and 52. The resin-sealed molded product 3 is placed.

不要樹脂33が除去される前の樹脂封止成形品3が下ブレイク盤5のクランプ部材51,52上に載置された後、上ブレイク盤4が不図示の移動機構によって図6における下方に移動させられる。 After the resin-sealed molded product 3 before the unnecessary resin 33 is removed is placed on the clamp members 51 and 52 of the lower break board 5, the upper break board 4 is moved downward in FIG. 6 by a moving mechanism (not shown). Be moved.

これにより、ゲートブレイク部1では、図7に示すように、上ブレイク盤4の2つのクランプ部材41,42と下ブレイク盤5の2つのクランプ部材51,52とによって樹脂封止成形品3のリードフレーム30,31が挟持される。具体的には、クランプ部材41とクランプ部材51とによってリードフレーム30が挟持され、クランプ部材42とクランプ部材52とによってリードフレーム31が挟持される。 As a result, in the gate break portion 1, as shown in FIG. 7, the resin-sealed molded product 3 is formed by the two clamp members 41, 42 of the upper break board 4 and the two clamp members 51, 52 of the lower break board 5. The lead frames 30 and 31 are clamped. Specifically, the lead frame 30 is clamped by the clamp member 41 and the clamp member 51, and the lead frame 31 is clamped by the clamp member 42 and the clamp member 52.

また、図7に示す状態では、上ブレイク盤4の押圧部材43と、下ブレイク盤5の支持部53とによって、カル34が挟持されている。 Further, in the state shown in FIG. 7, the cal 34 is sandwiched between the pressing member 43 of the upper break board 4 and the support portion 53 of the lower break board 5.

次に、ゲートブレイク部1は、樹脂封止成形品3に連結された不要樹脂33に対して相対的にリードフレーム30,31を回転させて樹脂封止成形品3から不要樹脂33を剥離する剥離処理を行う。 Next, the gate break portion 1 separates the unnecessary resin 33 from the resin-sealed molded product 3 by rotating the lead frames 30 and 31 relative to the unnecessary resin 33 connected to the resin-sealed molded product 3. Perform peeling treatment.

かかる剥離処理は、上ブレイク盤4の押圧部材43と、下ブレイク盤5の支持部53とによって、カル34が挟持された状態で、下ブレイク盤5における不図示の駆動機構がクランプ部材51,52の端部を押すことによって行われる。 In such a peeling process, the cal 34 is sandwiched between the pressing member 43 of the upper break board 4 and the support portion 53 of the lower break board 5, and the drive mechanism (not shown) in the lower break board 5 is the clamp member 51. This is done by pushing the end of 52.

具体的には、クランプ部材51の図7における左端部とクランプ部材52の図7における右端部とが不図示の駆動機構によって図7における上方へ押される。これにより、図8に示すように、クランプ部材41とクランプ部材51とが、不図示の回転軸を中心に図8における時計回りに回転し、クランプ部材42とクランプ部材52とが、不図示の回転軸を中心に図8における反時計回りに回転する。 Specifically, the left end portion of the clamp member 51 in FIG. 7 and the right end portion of the clamp member 52 in FIG. 7 are pushed upward in FIG. 7 by a drive mechanism (not shown). As a result, as shown in FIG. 8, the clamp member 41 and the clamp member 51 rotate clockwise in FIG. 8 about a rotation axis (not shown), and the clamp member 42 and the clamp member 52 are not shown. It rotates counterclockwise in FIG. 8 around the axis of rotation.

このように、ゲートブレイク部1は、押圧部材43と支持部53との間にカル34が挟持された状態で、リードフレーム30を挟持したクランプ部材41およびクランプ部材51を回転させ、リードフレーム31を挟持したクランプ部材42およびクランプ部材52を回転させる。 In this way, the gate break portion 1 rotates the clamp member 41 and the clamp member 51 holding the lead frame 30 in a state where the cal 34 is sandwiched between the pressing member 43 and the support portion 53, and the lead frame 31 The clamp member 42 and the clamp member 52 that sandwich the clamp member 52 are rotated.

これにより、リードフレーム30,31に薄いバリ36が形成されていない場合には、樹脂封止成形品3に連結された不要樹脂33に対して相対的にリードフレーム30,31が回転するため、リードフレーム30,31から不要樹脂33が剥離される。 As a result, when the thin burrs 36 are not formed on the lead frames 30 and 31, the lead frames 30 and 31 rotate relative to the unnecessary resin 33 connected to the resin-sealed molded product 3. The unnecessary resin 33 is peeled off from the lead frames 30 and 31.

一方、リードフレーム30,31に薄いバリ36が形成されている場合、ゲートブレイク部1によって剥離処理を行っても、リードフレーム30,31の各々と不要樹脂33とが薄いバリ36を介して連結された状態が維持されて樹脂封止成形品3から不要樹脂33が剥離されない場合がある。 On the other hand, when thin burrs 36 are formed on the lead frames 30 and 31, even if the gate break portion 1 performs the peeling treatment, each of the lead frames 30 and 31 and the unnecessary resin 33 are connected via the thin burrs 36. In some cases, the unnecessary resin 33 may not be peeled off from the resin-sealed molded product 3 while the state of being maintained is maintained.

このような場合であっても、不要樹脂除去装置100では、ローダ部2によって樹脂封止成形品3から不要樹脂33を剥離することができる。以下、ローダ部2について具体的に説明する。 Even in such a case, in the unnecessary resin removing device 100, the unnecessary resin 33 can be peeled from the resin-sealed molded product 3 by the loader unit 2. Hereinafter, the loader unit 2 will be specifically described.

<4.ローダ部2の構成>
図9に示すように、ローダ部2は、保持機構20と、押圧機構21と、支持部22とを備える。保持機構20は、ゲートブレイク部1によって剥離処理が行われた樹脂封止成形品3のリードフレーム30,31を保持する。
<4. Configuration of loader unit 2>
As shown in FIG. 9, the loader unit 2 includes a holding mechanism 20, a pressing mechanism 21, and a support unit 22. The holding mechanism 20 holds the lead frames 30 and 31 of the resin-sealed molded product 3 that has been peeled off by the gate break portion 1.

押圧機構21は、保持機構20によってリードフレーム30,31が保持された状態で不要樹脂33のうちカル34を押圧する。なお、図9では、リードフレーム31がリードフレーム30に隠れて見えない位置にある。支持部22は、保持機構20および押圧機構21を支持する。 The pressing mechanism 21 presses the cal 34 of the unnecessary resins 33 while the lead frames 30 and 31 are held by the holding mechanism 20. In FIG. 9, the lead frame 31 is hidden behind the lead frame 30 and cannot be seen. The support portion 22 supports the holding mechanism 20 and the pressing mechanism 21.

図9に示す例では、リードフレーム30とリードフレーム31とが6つのカル34を含む不要樹脂33によって連結されており、6つのカル34の各々は、押圧機構21に設けられる6つの押圧部80のうち対応する押圧部80によって押圧されている状態である。なお、押圧機構21では、押圧部80は、カル34毎に設けられるが、複数のカル34毎に設けられる構成であってもよい。 In the example shown in FIG. 9, the lead frame 30 and the lead frame 31 are connected by an unnecessary resin 33 including six cals 34, and each of the six cals 34 is each of the six pressing portions 80 provided in the pressing mechanism 21. Of these, it is in a state of being pressed by the corresponding pressing portion 80. In the pressing mechanism 21, the pressing portion 80 is provided for each cal 34, but may be provided for each of a plurality of cals 34.

図10に示すように、保持機構20は、リードフレーム30を保持する保持部60と、リードフレーム31を保持する保持部70とを備える。なお、図10は、ローダ部2を図9とは別の角度から見た図である。 As shown in FIG. 10, the holding mechanism 20 includes a holding portion 60 for holding the lead frame 30 and a holding portion 70 for holding the lead frame 31. Note that FIG. 10 is a view of the loader unit 2 as viewed from a different angle from that of FIG.

保持部60は、リードフレーム30の裏面に当接する爪部61,62を有する腕部63,64と、腕部63,64の一方を図10における左右方向に移動させる駆動部65とを備える。保持部70は、リードフレーム31の裏面に当接する爪部71,72を有する腕部73,74と、腕部73,74の一方を図10における左右方向に移動させる駆動部75とを備える。 The holding portion 60 includes arm portions 63, 64 having claw portions 61, 62 that abut on the back surface of the lead frame 30, and a driving portion 65 that moves one of the arm portions 63, 64 in the left-right direction in FIG. The holding portion 70 includes arm portions 73, 74 having claw portions 71, 72 that abut on the back surface of the lead frame 31, and a driving portion 75 that moves one of the arm portions 73, 74 in the left-right direction in FIG.

押圧機構21の押圧部80は、カル34に当接する当接部材81と、当接部材81をカル34に押圧させる弾性部材82と、当接部材81を図10における上下方向に移動可能に支持する支持部83とを備える。当接部材81は、ピン状の部材であり、頭部811と、頭部811に基端が連続する胴部812とを備える。 The pressing portion 80 of the pressing mechanism 21 movably supports the abutting member 81 that abuts on the cal 34, the elastic member 82 that presses the abutting member 81 against the cal 34, and the abutting member 81 in the vertical direction in FIG. A support portion 83 is provided. The contact member 81 is a pin-shaped member, and includes a head portion 811 and a body portion 812 whose base end is continuous with the head portion 811.

頭部811は、円盤状に形成され、胴部812は、円柱状に形成される。頭部811の径は、胴部812の径よりも大きい。胴部812は、支持部83に形成された貫通孔831に挿通され、図10における上下方向に移動可能である。胴部812の頭部811が形成された基端と反対側の先端には係合部813が設けられており、胴部812に設けられた係合部813が支持部83の支持面832に係合することで、貫通孔831から胴部812が脱落することが防止される。 The head 811 is formed in a disk shape, and the body portion 812 is formed in a columnar shape. The diameter of the head 811 is larger than the diameter of the body 812. The body portion 812 is inserted through a through hole 831 formed in the support portion 83, and is movable in the vertical direction in FIG. An engaging portion 813 is provided at the tip opposite to the base end on which the head 811 of the body portion 812 is formed, and the engaging portion 813 provided on the body portion 812 is provided on the support surface 832 of the support portion 83. By engaging, the body portion 812 is prevented from falling off from the through hole 831.

弾性部材82は、例えば、円筒コイルバネであり、円筒コイル内に胴部812が挿通される。弾性部材82の一端は、頭部811に当接し、弾性部材82の他端は、支持部83の当接面833に当接している。図10に示す状態では、弾性部材82は、図10における上下方向に圧縮されており、当接部材81を図10における下方に付勢している。なお、弾性部材82は、円筒コイルバネに限定されず、円筒コイルバネ以外のバネであってもよく、ゴムまたは樹脂で形成された弾性部材であってもよい。 The elastic member 82 is, for example, a cylindrical coil spring, and a body portion 812 is inserted into the cylindrical coil. One end of the elastic member 82 is in contact with the head 811, and the other end of the elastic member 82 is in contact with the contact surface 833 of the support portion 83. In the state shown in FIG. 10, the elastic member 82 is compressed in the vertical direction in FIG. 10, and the abutting member 81 is urged downward in FIG. The elastic member 82 is not limited to the cylindrical coil spring, and may be a spring other than the cylindrical coil spring, or may be an elastic member made of rubber or resin.

次に、ゲートブレイク部1の剥離処理では樹脂封止成形品3から不要樹脂33が剥離されない場合におけるローダ部2による樹脂封止成形品3からの不要樹脂33の剥離処理について説明する。図11に示すように、ゲートブレイク部1では、剥離処理が終了して上ブレイク盤4が下ブレイク盤5に対して図11における上方に移動させられており、上ブレイク盤4は、図11では見えない位置にある。 Next, the peeling treatment of the unnecessary resin 33 from the resin-sealed molded product 3 by the loader unit 2 when the unnecessary resin 33 is not peeled from the resin-sealed molded product 3 in the peeling treatment of the gate break portion 1 will be described. As shown in FIG. 11, in the gate break portion 1, the peeling process is completed and the upper break board 4 is moved upward in FIG. 11 with respect to the lower break board 5, and the upper break board 4 is shown in FIG. It is in an invisible position.

下ブレイク盤5のクランプ部材51,52には樹脂封止成形品3が載置された状態であり、ローダ部2は、下ブレイク盤5の図11における上方に移動する。その後、ローダ部2が図11における下方に移動し、ローダ部2と下ブレイク盤5とが図12に示す状態になる。なお、不要樹脂除去装置100では、ローダ部2に代えて、図11における上下方向に下ブレイク盤5が移動する構成であってもよい。 The resin-sealed molded product 3 is placed on the clamp members 51 and 52 of the lower break board 5, and the loader unit 2 moves upward in FIG. 11 of the lower break board 5. After that, the loader unit 2 moves downward in FIG. 11, and the loader unit 2 and the lower break board 5 are in the state shown in FIG. The unnecessary resin removing device 100 may have a configuration in which the lower break board 5 moves in the vertical direction in FIG. 11 instead of the loader unit 2.

ローダ部2と下ブレイク盤5とが図12に示す状態になる前に、不要樹脂33のカル34が押圧部80の当接部材81に当接し、ローダ部2の図11における下方へのさらなる移動に伴って、当接部材81に対するカル34からの反力によって押圧部80の当接部材81が図11における上方に移動して押圧部80の弾性部材82が収縮し、係合部813が支持面832から離れる。 Before the loader portion 2 and the lower break board 5 are in the state shown in FIG. 12, the cal 34 of the unnecessary resin 33 abuts on the abutting member 81 of the pressing portion 80, and the loader portion 2 further downwards in FIG. Along with the movement, the contact member 81 of the pressing portion 80 moves upward in FIG. 11 due to the reaction force from the cal 34 against the contact member 81, the elastic member 82 of the pressing portion 80 contracts, and the engaging portion 813 Move away from the support surface 832.

図12に示す状態では、リードフレーム30が保持部60によって保持され、リードフレーム31が保持部70によって保持されており、さらに、不要樹脂33のカル34が押圧部80の当接部材81によって押圧された状態である。 In the state shown in FIG. 12, the lead frame 30 is held by the holding portion 60, the lead frame 31 is held by the holding portion 70, and the cal 34 of the unnecessary resin 33 is pressed by the contact member 81 of the pressing portion 80. It is in the state of being done.

このように、不要樹脂除去装置100では、当接部材81は、保持機構20がリードフレーム30,31の保持を開始する位置に移動する際に保持機構20の移動に伴ってカル34に当接し弾性部材82を収縮させる。 As described above, in the unnecessary resin removing device 100, the contact member 81 comes into contact with the cal 34 as the holding mechanism 20 moves when the holding mechanism 20 moves to the position where the holding mechanism 20 starts holding the lead frames 30 and 31. The elastic member 82 is contracted.

その後、不要樹脂除去装置100では、図12に示す状態から、ローダ部2が図12における上方に移動していき、図13に示す状態になる。ローダ部2が図12に示す状態から図13に示す状態へ移動する過程で、リードフレーム30,31は保持部60,70に保持されている状態でローダ部2が図12に示す上方に移動していくが、押圧部80の弾性部材82の収縮に対する反発力によって、係合部813が支持面832に当接するまで、押圧部80の当接部材81が図12における下方に移動して不要樹脂33のカル34が押圧部80によって押圧された状態が維持される。 After that, in the unnecessary resin removing device 100, the loader unit 2 moves upward in FIG. 12 from the state shown in FIG. 12, and becomes the state shown in FIG. In the process of moving the loader unit 2 from the state shown in FIG. 12 to the state shown in FIG. 13, the loader unit 2 moves upward as shown in FIG. 12 while the lead frames 30 and 31 are held by the holding units 60 and 70. However, due to the repulsive force against the contraction of the elastic member 82 of the pressing portion 80, the contact member 81 of the pressing portion 80 moves downward in FIG. 12 until the engaging portion 813 abuts on the support surface 832, which is unnecessary. The state in which the cal 34 of the resin 33 is pressed by the pressing portion 80 is maintained.

そのため、不要樹脂除去装置100では、ローダ部2が図12に示す状態から図13に示す状態へ移動する過程で、樹脂封止成形品3から不要樹脂33が確実に剥離される。このように、不要樹脂除去装置100は、ゲートブレイク部1の剥離処理で樹脂封止成形品3から不要樹脂33が剥離されない場合であっても、図13および図14に示すように、ローダ部2によって樹脂封止成形品3から不要樹脂33を精度よく除去することができる。 Therefore, in the unnecessary resin removing device 100, the unnecessary resin 33 is surely peeled from the resin-sealed molded product 3 in the process of moving the loader unit 2 from the state shown in FIG. 12 to the state shown in FIG. As described above, the unnecessary resin removing device 100 has a loader unit as shown in FIGS. 13 and 14 even when the unnecessary resin 33 is not peeled from the resin-sealed molded product 3 by the peeling process of the gate break portion 1. According to 2, the unnecessary resin 33 can be accurately removed from the resin-sealed molded product 3.

また、不要樹脂除去装置100では、ゲートブレイク部1のクランプ部材51,52に樹脂封止成形品3が載置された状態で樹脂封止成形品3のリードフレーム30,31を保持機構20によって保持し且つ押圧機構21でカル34を押圧した状態で移動する。そのため、ゲートブレイク部1によって樹脂封止成形品3から不要樹脂33が剥離された場合の不要樹脂33の位置と、ローダ部2によって樹脂封止成形品3から不要樹脂33が剥離された場合の不要樹脂33の位置とを同じ位置にすることができる。 Further, in the unnecessary resin removing device 100, the lead frames 30 and 31 of the resin-sealed molded product 3 are held by the holding mechanism 20 in a state where the resin-sealed molded product 3 is placed on the clamp members 51 and 52 of the gate break portion 1. It is held and moved in a state where the cal 34 is pressed by the pressing mechanism 21. Therefore, the position of the unnecessary resin 33 when the unnecessary resin 33 is peeled from the resin-sealed molded product 3 by the gate break portion 1 and the position of the unnecessary resin 33 when the unnecessary resin 33 is peeled from the resin-sealed molded product 3 by the loader portion 2. The position of the unnecessary resin 33 can be the same as that of the unnecessary resin 33.

これにより、不要樹脂除去装置100では、ゲートブレイク部1の剥離処理で樹脂封止成形品3から不要樹脂33が剥離されない場合であっても、ゲートブレイク部1の剥離処理で樹脂封止成形品3から不要樹脂33が剥離された場合と同様の処理によってゲートブレイク部1から不要樹脂33を外部へ排出することができる。 As a result, in the unnecessary resin removing device 100, even if the unnecessary resin 33 is not peeled from the resin-sealed molded product 3 by the peeling treatment of the gate break portion 1, the resin-sealed molded product is peeled by the peeling treatment of the gate break portion 1. The unnecessary resin 33 can be discharged to the outside from the gate break portion 1 by the same treatment as when the unnecessary resin 33 is peeled from 3.

ローダ部2の構成および動作は、上述した例に限定されない。例えば、不要樹脂除去装置100は、図10~図14に示すローダ部2に代えて、図15に示すローダ部2Aを備える構成であってもよい。ローダ部2Aは、当接部材81および弾性部材82を含む押圧機構21に代えて、当接部材84とアクチュエータ85とを各々含む複数の押圧部80Aを備える押圧機構21Aを備える点で、ローダ部2と異なる。 The configuration and operation of the loader unit 2 are not limited to the above-mentioned example. For example, the unnecessary resin removing device 100 may be configured to include the loader unit 2A shown in FIG. 15 instead of the loader unit 2 shown in FIGS. 10 to 14. The loader unit 2A is provided with a pressing mechanism 21A including a plurality of pressing portions 80A including the abutting member 84 and the actuator 85, instead of the pressing mechanism 21 including the abutting member 81 and the elastic member 82. Different from 2.

押圧部80Aのアクチュエータ85は、当接部材84がカル34に当接した状態で当接部材84をカル34に押圧させる。当接部材84は、アクチュエータ85のピストンの先端に形成される。アクチュエータ85は、エアシリンダであるが、電磁ソレノイドであってもよく、油圧シリンダであってもよい。 The actuator 85 of the pressing portion 80A presses the contact member 84 against the cal 34 in a state where the contact member 84 is in contact with the cal 34. The contact member 84 is formed at the tip of the piston of the actuator 85. Although the actuator 85 is an air cylinder, it may be an electromagnetic solenoid or a hydraulic cylinder.

ローダ部2Aは、ローダ部2と同様に、下ブレイク盤5のクランプ部材51,52に載置された状態の樹脂封止成形品3のカル34をアクチュエータ85によって当接部材84で押圧した状態で移動することで、樹脂封止成形品3から不要樹脂33を除去することができる。 Similar to the loader unit 2, the loader unit 2A is in a state where the cal 34 of the resin-sealed molded product 3 placed on the clamp members 51 and 52 of the lower break board 5 is pressed by the abutting member 84 by the actuator 85. By moving with, the unnecessary resin 33 can be removed from the resin-sealed molded product 3.

また、ローダ部2Aは、ゲートブレイク部1から樹脂封止成形品3を搬出中にまたはゲートブレイク部1から樹脂封止成形品3を搬出した後に、アクチュエータ85によりカル34を当接部材84で押圧することによって、樹脂封止成形品3から不要樹脂33を除去することもできる。 Further, the loader unit 2A attaches the cal 34 to the contact member 84 by the actuator 85 while the resin-sealed molded product 3 is being carried out from the gate break part 1 or after the resin-sealed molded product 3 is carried out from the gate break part 1. By pressing, the unnecessary resin 33 can also be removed from the resin-sealed molded product 3.

例えば、図16に示すように、ローダ部2Aは、ゲートブレイク部1の下ブレイク盤5から不要樹脂33が連結された状態の樹脂封止成形品3を搬出した後、図17に示すように、アクチュエータ85を駆動させて当接部材84を不要樹脂33のカル34に当接させる。そして、ローダ部2Aは、アクチュエータ85をさらに駆動させて当接部材84によって不要樹脂33のカル34を図17における下方に押圧する。これにより、図18に示すように、不要樹脂33が樹脂封止成形品3から剥離される。 For example, as shown in FIG. 16, the loader unit 2A carries out the resin-sealed molded product 3 in a state where the unnecessary resin 33 is connected from the lower break board 5 of the gate break unit 1, and then, as shown in FIG. , The actuator 85 is driven to bring the contact member 84 into contact with the cal 34 of the unnecessary resin 33. Then, the loader unit 2A further drives the actuator 85 and presses the cal 34 of the unnecessary resin 33 downward in FIG. 17 by the contact member 84. As a result, as shown in FIG. 18, the unnecessary resin 33 is peeled off from the resin-sealed molded product 3.

以上のように、実施形態に係る不要樹脂除去装置100は、ゲートブレイク部1と、ローダ部2,2Aとを備える。ゲートブレイク部1は、半導体素子32が載置されたリードフレーム30,31が樹脂封止成形されて形成される樹脂封止成形品3のリードフレーム30,31を保持した状態で樹脂封止成形品3に連結されたランナー35およびカル34を含む不要樹脂33に対して相対的にリードフレーム30,31を回転させて樹脂封止成形品3から不要樹脂33を剥離する剥離処理を行う。リードフレーム30,31は、基材の一例である。ローダ部2,2Aは、ゲートブレイク部1によって剥離処理が行われた樹脂封止成形品3を保持してゲートブレイク部1から搬出する。ローダ部2,2Aは、保持機構20と、押圧機構21,21Aとを備える。保持機構20は、剥離処理が行われた樹脂封止成形品3のリードフレーム30,31を保持する。押圧機構21,21Aは、保持機構20によってリードフレーム30,31が保持された状態で不要樹脂33のうちカル34を押圧する。これにより、不要樹脂除去装置100は、ゲートブレイク部1の剥離処理で樹脂封止成形品3から不要樹脂33が剥離されない場合であっても、樹脂封止成形品3から不要樹脂33を精度よく除去することができる。 As described above, the unnecessary resin removing device 100 according to the embodiment includes a gate break unit 1 and a loader unit 2 and 2A. The gate break portion 1 is resin-sealed molded in a state where the lead frames 30 and 31 on which the semiconductor element 32 is placed are held by the lead frames 30 and 31 of the resin-sealed molded product 3 formed by resin-sealed molding. The lead frames 30 and 31 are relatively rotated with respect to the unnecessary resin 33 including the runner 35 and the cal 34 connected to the product 3, and the unnecessary resin 33 is peeled off from the resin-sealed molded product 3. The lead frames 30 and 31 are examples of the base material. The loader units 2 and 2A hold the resin-sealed molded product 3 that has been peeled off by the gate break unit 1 and carry it out from the gate break unit 1. The loader units 2 and 2A include a holding mechanism 20 and pressing mechanisms 21 and 21A. The holding mechanism 20 holds the lead frames 30 and 31 of the resin-sealed molded product 3 that has been peeled off. The pressing mechanisms 21 and 21A press the cal 34 of the unnecessary resins 33 while the lead frames 30 and 31 are held by the holding mechanism 20. As a result, the unnecessary resin removing device 100 can accurately remove the unnecessary resin 33 from the resin-sealed molded product 3 even when the unnecessary resin 33 is not peeled from the resin-sealed molded product 3 by the peeling process of the gate break portion 1. Can be removed.

また、ローダ部2,2Aは、ゲートブレイク部1のクランプ部材51,52に樹脂封止成形品3が載置された状態で樹脂封止成形品3のリードフレーム30,31を保持機構20によって保持し且つ押圧機構21,21Aでカル34を押圧した状態で移動する。これにより、不要樹脂除去装置100では、ゲートブレイク部1の剥離処理で樹脂封止成形品3から不要樹脂33が剥離されない場合であっても、樹脂封止成形品3から不要樹脂33を精度よく除去することができる。 Further, the loader portions 2 and 2A hold the lead frames 30 and 31 of the resin-sealed molded product 3 by the holding mechanism 20 in a state where the resin-sealed molded product 3 is placed on the clamp members 51 and 52 of the gate break portion 1. It is held and moved in a state where the cal 34 is pressed by the pressing mechanisms 21 and 21A. As a result, in the unnecessary resin removing device 100, even if the unnecessary resin 33 is not peeled from the resin-sealed molded product 3 by the peeling process of the gate break portion 1, the unnecessary resin 33 is accurately removed from the resin-sealed molded product 3. Can be removed.

また、押圧機構21は、カル34に当接する当接部材81と、当接部材81をカル34に押圧させる弾性部材82とを備える。これにより、不要樹脂除去装置100では、カル34を押圧する押圧機構21を簡単な構成で形成することができる。 Further, the pressing mechanism 21 includes a contact member 81 that abuts on the cal 34 and an elastic member 82 that presses the contact member 81 against the cal 34. As a result, in the unnecessary resin removing device 100, the pressing mechanism 21 for pressing the cal 34 can be formed with a simple configuration.

また、当接部材81は、保持機構20がリードフレーム30,31の保持を開始する位置に移動する際に保持機構20の移動に伴ってカル34に当接し弾性部材82を収縮させる。弾性部材82は、弾性部材82の収縮に対する反発力によって当接部材81にカル34を押圧させる。これにより、不要樹脂除去装置100では、カル34を押圧する押圧機構21をより簡単な構成で形成することができる。 Further, when the holding mechanism 20 moves to the position where the holding mechanism 20 starts holding the lead frames 30, the contact member 81 comes into contact with the cal 34 as the holding mechanism 20 moves, and the elastic member 82 contracts. The elastic member 82 presses the cal 34 against the contact member 81 by the repulsive force against the contraction of the elastic member 82. As a result, in the unnecessary resin removing device 100, the pressing mechanism 21 for pressing the cal 34 can be formed with a simpler configuration.

また、押圧機構21Aは、カル34に当接する当接部材84と、当接部材84がカル34に当接した状態で当接部材84をカル34に押圧させるアクチュエータ85とを備える。これにより、不要樹脂除去装置100では、ローダ部2Aの位置にかかわらず押圧機構21Aによりカル34を押圧することができる。 Further, the pressing mechanism 21A includes a contact member 84 that abuts on the cal 34, and an actuator 85 that presses the contact member 84 against the cal 34 while the contact member 84 is in contact with the cal 34. As a result, in the unnecessary resin removing device 100, the cal 34 can be pressed by the pressing mechanism 21A regardless of the position of the loader portion 2A.

また、アクチュエータ85は、エアシリンダである。これにより、不要樹脂除去装置100では、例えば、ローダ部2Aがエア駆動で移動する場合において、ローダ部2Aに押圧機構21Aを容易に設けることができる。 Further, the actuator 85 is an air cylinder. Thereby, in the unnecessary resin removing device 100, for example, when the loader unit 2A is moved by air drive, the pressing mechanism 21A can be easily provided on the loader unit 2A.

さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の特許請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。 Further effects and variations can be easily derived by those skilled in the art. For this reason, the broader aspects of the invention are not limited to the particular details and representative embodiments described and described above. Accordingly, various modifications can be made without departing from the spirit or scope of the general concept of the invention as defined by the appended claims and their equivalents.

1 ゲートブレイク部
2,2A ローダ部
3 樹脂封止成形品
4 上ブレイク盤
5 下ブレイク盤
20 保持機構
21,21A 押圧機構
30,31 リードフレーム(基材の一例)
32 半導体素子
33 不要樹脂
34 カル
35 ランナー
36 バリ
51,52 クランプ部材(保持部の一例)
80,80A 押圧部
81,84 当接部材
82 弾性部材
85 アクチュエータ
100 不要樹脂除去装置
1 Gate break part 2, 2A Loader part 3 Resin-sealed molded product 4 Upper break board 5 Lower break board 20 Holding mechanism 21,21A Pressing mechanism 30, 31 Lead frame (example of base material)
32 Semiconductor element 33 Unnecessary resin 34 Cal 35 Runner 36 Vari 51, 52 Clamp member (example of holding part)
80,80A Pressing part 81,84 Contact member 82 Elastic member 85 Actuator 100 Unnecessary resin removal device

Claims (6)

半導体素子が載置された基材が樹脂封止成形されて形成される樹脂封止成形品の前記基材を保持した状態で前記樹脂封止成形品に連結されたランナーおよびカルを含む不要樹脂に対して相対的に前記基材を回転させて前記樹脂封止成形品から前記不要樹脂を剥離する剥離処理を行うゲートブレイク部と、
前記ゲートブレイク部によって前記剥離処理が行われた前記樹脂封止成形品を保持して前記ゲートブレイク部から搬出するローダ部と、を備え、
前記ローダ部は、
前記剥離処理が行われた前記樹脂封止成形品の前記基材を保持する保持機構と、
前記保持機構によって前記基材が保持された状態で前記不要樹脂のうち前記カルを押圧する押圧機構と、を備える
ことを特徴とする不要樹脂除去装置。
An unnecessary resin including a runner and a cal that is connected to the resin-sealed molded product while holding the base material of the resin-sealed molded product formed by resin-sealing molding the base material on which the semiconductor element is placed. A gate break portion that performs a peeling process for peeling the unnecessary resin from the resin-sealed molded product by rotating the base material relatively with respect to the resin-sealed molded product.
A loader unit that holds the resin-sealed molded product that has been peeled off by the gate break unit and carries it out from the gate break unit is provided.
The loader unit
A holding mechanism for holding the base material of the resin-sealed molded product subjected to the peeling treatment, and
An unnecessary resin removing device comprising: a pressing mechanism for pressing the cal of the unnecessary resin while the base material is held by the holding mechanism.
前記ローダ部は、
前記ゲートブレイク部の保持部に前記樹脂封止成形品が載置された状態で前記樹脂封止成形品の前記基材を前記保持機構によって保持し且つ前記押圧機構で前記カルを押圧した状態で移動する
ことを特徴とする請求項1に記載の不要樹脂除去装置。
The loader unit
In a state where the resin-sealed molded product is placed on the holding portion of the gate break portion, the base material of the resin-sealed molded product is held by the holding mechanism, and the cal is pressed by the pressing mechanism. The unnecessary resin removing device according to claim 1, wherein the device is movable.
前記押圧機構は、
前記カルに当接する当接部材と、
前記当接部材を前記カルに押圧させる弾性部材と、を備える
ことを特徴とする請求項1または2に記載の不要樹脂除去装置。
The pressing mechanism is
The contact member that comes into contact with the cal
The unnecessary resin removing device according to claim 1 or 2, further comprising an elastic member that presses the contact member against the cal.
前記当接部材は、
前記保持機構が前記基材の保持を開始する位置に移動する際に前記保持機構の移動に伴って前記カルに当接し前記弾性部材を収縮させ、
前記弾性部材は、
当該弾性部材の収縮に対する反発力によって前記当接部材に前記カルを押圧させる
ことを特徴とする請求項3に記載の不要樹脂除去装置。
The contact member is
When the holding mechanism moves to a position where the holding of the base material is started, the elastic member abuts on the cal as the holding mechanism moves, and the elastic member is contracted.
The elastic member is
The unnecessary resin removing device according to claim 3, wherein the contact member is pressed against the cal by a repulsive force against the contraction of the elastic member.
前記押圧機構は、
前記カルに当接する当接部材と、
前記当接部材が前記カルに当接した状態で前記当接部材を前記カルに押圧させるアクチュエータと、を備える
ことを特徴とする請求項1または2に記載の不要樹脂除去装置。
The pressing mechanism is
The contact member that comes into contact with the cal
The unnecessary resin removing device according to claim 1 or 2, further comprising an actuator that presses the contact member against the cal while the contact member is in contact with the cal.
前記押圧機構は、
エアシリンダである
ことを特徴とする請求項5に記載の不要樹脂除去装置。
The pressing mechanism is
The unnecessary resin removing device according to claim 5, which is an air cylinder.
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