JP2022067270A - 酸基を有する(メタ)アクリレート樹脂、硬化性樹脂組成物、硬化物、絶縁材料及びレジスト部材 - Google Patents

酸基を有する(メタ)アクリレート樹脂、硬化性樹脂組成物、硬化物、絶縁材料及びレジスト部材 Download PDF

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Abstract

【課題】高い光感度及び優れたアルカリ現像性を有し、優れた伸度及び誘電特性を有する硬化物を形成可能な酸基を有する(メタ)アクリレート樹脂、これを含有する硬化性樹脂組成物、前記硬化性樹脂組成物の硬化物、絶縁材料及びレジスト部材を提供する。【解決手段】エポキシ樹脂(A)と、不飽和一塩基酸(B)と、多塩基酸無水物(C)とを必須原料とする酸基を有する(メタ)アクリレート樹脂であって、前記エポキシ樹脂(A)が、フェノール性水酸基を有する化合物(a1)、エチレン性不飽和結合を少なくとも2つ有する芳香族化合物(a2)及びエピハロヒドリン(a3)を必須原料とするものであることを特徴とする酸基を有する(メタ)アクリレート樹脂を用いる。【選択図】なし

Description

本発明は、高い光感度を有し、優れた伸度及び誘電特性を有する硬化物を形成可能な酸基を有する(メタ)アクリレート樹脂、これを含有する硬化性樹脂組成物、前記硬化性樹脂組成物の硬化物、絶縁材料及びレジスト部材に関する。
近年、紫外線等の活性エネルギー線により硬化可能な活性エネルギー線硬化性組成物や、熱により硬化可能な熱硬化性組成物などの硬化性組成物は、インキ、塗料、コーティング剤、接着剤、光学部材等の分野において広く用いられている。なかでも、前記コーティング剤用途としては、一般に、各種基材表面へ意匠性を付与できるとともに、優れた硬化性を有しており、また、基材表面の劣化を防止可能な塗膜を形成できることが求められている。さらに、プリント配線板向けのソルダーレジスト用硬化性組成物として用いる場合、少ない露光量で硬化することなども求められている。
従来のソルダーレジスト用硬化性組成物としては、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂とアクリル酸と無水フタル酸とを反応させて得られる中間体に、更にテトラヒドロ無水フタル酸を反応させて得られる酸基含有エポキシアクリレート樹脂を含む感光性樹脂組成物が知られているが(例えば、特許文献1参照。)、水酸基の生成により誘電率及び誘電正接が上昇するなど、誘電特性が十分ではない等の問題があった。
そこで、高い光感度及び優れたアルカリ現像性を有し、優れた伸度及び誘電特性を有する材料が求められていた。
特開平8-259663号公報
本発明が解決しようとする課題は、高い光感度及び優れたアルカリ現像性を有し、優れた伸度及び誘電特性を有する硬化物を形成可能な酸基を有する(メタ)アクリレート樹脂、これを含有する硬化性樹脂組成物、前記硬化性樹脂組成物の硬化物、絶縁材料及びレジスト部材を提供することである。
本発明者らは、上記課題を解決するため鋭意検討を行った結果、原料としてフェノール性水酸基を有する化合物、エチレン性不飽和結合を少なくとも2つ有する芳香族化合物及びエピハロヒドリンを必須として用いたエポキシ樹脂と、不飽和一塩基酸と、多塩基酸無水物とを必須原料とする酸基を有する(メタ)アクリレート樹脂を用いることによって、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成させた。
すなわち、本発明は、エポキシ樹脂(A)と、不飽和一塩基酸(B)と、多塩基酸無水物(C)とを必須原料とする酸基を有する(メタ)アクリレート樹脂であって、前記エポキシ樹脂(A)が、フェノール性水酸基を有する化合物(a1)、エチレン性不飽和結合を少なくとも2つ有する芳香族化合物(a2)及びエピハロヒドリン(a3)を必須原料とするものであることを特徴とする酸基を有する(メタ)アクリレート樹脂、これを含有する硬化性樹脂組成物、前記硬化性樹脂組成物の硬化物、絶縁材料及びレジスト部材に関するものである。
本発明の酸基を有する(メタ)アクリレート樹脂は、高い光感度及び優れたアルカリ現像性を有し、優れた伸度及び誘電特性を有する硬化物を形成できることから、前記酸基を有する(メタ)アクリレート樹脂と光重合開始剤とを含有した硬化性樹脂組成物は、コーティング剤や接着剤として用いることができ、前記コーティング剤としては、特にソルダーレジスト用途に好適に用いることができる。なお、本発明でいう「優れた誘電特性」とは、低誘電率及び低誘電正接のことを云う。
本発明の酸基を有する(メタ)アクリレート樹脂は、エポキシ樹脂(A)と、不飽和一塩基酸(B)と、多塩基酸無水物(C)とを必須原料とすることを特徴とする。
なお、本発明において、「(メタ)アクリレート」とは、アクリレート及び/又はメタクリレートを意味する。また、「(メタ)アクリロイル」とは、アクリロイル及び/又はメタクリロイルを意味する。さらに、「(メタ)アクリル」とは、アクリル及び/又はメタクリルを意味する。
また、本発明の酸基を有する(メタ)アクリレート樹脂が含有する酸基としては、例えば、カルボキシル基、スルホン酸基、燐酸基等が挙げられる。これらの中でもカルボキシル基が好ましい。
前記エポキシ樹脂(A)としては、フェノール性水酸基を有する化合物(a1)、エチレン性不飽和結合を少なくとも2つ有する芳香族化合物(a2)及びエピハロヒドリン(a3)を必須原料とするものを用いる。
前記フェノール性水酸基を有する化合物(a1)とは、分子内にフェノール性水酸基を少なくとも1つ有する化合物をいう。前記分子内にフェノール性水酸基を少なくとも1つ有する化合物としては、例えば、下記構造式(1-1)~(1-4)で表される化合物が挙げられる。
Figure 2022067270000001
上記構造式(1-1)~(1-4)において、Rは、炭素原子数1~20のアルキル基、炭素原子数1~20のアルコキシ基、アリール基、ハロゲン原子の何れかであり、Rは、それぞれ独立して、水素原子又はメチル基である。また、pは、0又は1以上の整数であり、好ましくは0又は1~3の整数であり、より好ましくは0又は1であり、さらに好ましくは0である。qは、1以上の整数であり、好ましくは、2又は3である。なお、上記構造式における芳香環上の置換基の位置については、任意であり、例えば、構造式(1-2)のナフタレン環においてはいずれの環上に置換していてもよく、構造式(1-3)では、1分子中に存在するベンゼン環のいずれの環上に置換していてもよく、構造式(1-4)では、1分子中に存在するベンゼン環のいずれかの環上に置換していてもよいことを示し、1分子中における置換基の個数がp及びqであることを示している。
また、前記フェノール性水酸基を有する化合物(a1)としては、例えば、分子内にフェノール性水酸基を少なくとも1つ有する化合物と下記構造式(x-1)~(x-5)の何れかで表される化合物とを必須の反応原料とする反応生成物なども用いることができる。また、分子内にフェノール性水酸基を少なくとも1つ有する化合物の1種又は2種以上を反応原料とするノボラック型フェノール樹脂なども用いることができる。
Figure 2022067270000002
[式(x-1)中、hは0又は1である。式(x-2)~(x-5)中、Rは、炭素原子数1~20のアルキル基、炭素原子数1~20のアルコキシ基、アリール基、ハロゲン原子の何れかであり、iは、0又は1~4の整数である。式(x-2)、(x-3)及び(x-5)中、Zは、それぞれ独立してビニル基、ハロメチル基、ヒドロキシメチル基、アルキルオキシメチル基の何れかである。式(x-5)中、Yは、炭素原子数1~4のアルキレン基、酸素原子、硫黄原子、カルボニル基の何れかであり、jは1~4の整数である。]
これらのフェノール性水酸基を有する化合物(a1)は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記芳香族化合物(a2)としては、エチレン性不飽和結合を少なくとも2つ有するものを用いる。例えば、ジビニルベンゼン、アルキルジビニルベンゼン、ジアリルフタレート、ジイソプロペニルベンゼン等の芳香族ジビニル化合物、などが挙げられる。これらの芳香族化合物(a2)は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。また、高い光感度及び優れたアルカリ現像性を有し、伸度及び誘電特性に優れた硬化物を形成可能な酸基を有する(メタ)アクリレート樹脂が得られることから、芳香族ジビニル化合物が好ましく、なかでもジビニルベンゼン、ジイソプロペニルベンゼンが特に好ましい。
前記ジビニルベンゼンとしては、例えば、1,2-ジビニルベンゼン、1,3-ジビニルベンゼン、1,4-ジビニルベンゼン等が挙げられる。これらのジビニルベンゼンは、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記ジイソプロペニルベンゼンとしては、例えば、1,2-ジイソプロペニルベンゼン、1,3-ジイソプロペニルベンゼン、1,4-ジイソプロペニルベンゼン等が挙げられる。これらのジイソプロペニルベンゼンは、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
また、前記芳香族化合物(a2)は、必要に応じて他の反応性第三成分を併用することができる。前記反応性第三成分としては、例えば、スチレン、メチルスチレン、エチルスチレン、モノブロモスチレン等の芳香族モノビニル化合物、(メタ)アクリル酸メチルエステル、(メタ)アクリル酸ステアリルエステル、(メタ)アクリル酸、N-メチロール(メタ)アクリルアミド、γ-メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の脂肪族モノビニル化合物などが挙げられる。これらの反応性第三成分は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記芳香族化合物(a2)の使用量は、高い光感度及び優れたアルカリ現像性を有し、伸度及び誘電特性に優れた硬化物を形成可能な酸基を有する(メタ)アクリレート樹脂が得られることから、前記フェノール性水酸基を有する化合物(a1)1モルに対して、前記芳香族化合物(a2)のモル数が、0.25~1モルの範囲が好ましい。
前記エピハロヒドリン(a3)としては、例えば、エピクロルヒドリン、エピブロモヒドリン等が挙げられる。これらのエピハロヒドリンは、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。また、これらの中でも、反応を制御しやすいことから、エピクロルヒドリンが好ましい。
また、本発明の酸基を有する(メタ)アクリレート樹脂は、高い光感度及び優れたアルカリ現像性を有し、優れた伸度及び誘電特性を有する硬化物を形成可能なことから、下記の構造で表されるものが好ましい。
Figure 2022067270000003
[式(2)中、環Aは、それぞれ独立してベンゼン環又はナフタレン環であり、Rは、それぞれ独立して水素原子、メチル基、エチル基又はプロピル基であり、Rは、それぞれ独立して水素原子、メチル基、エチル基又はプロピル基であり、Xは、それぞれ独立して下記構造式(X-1)、(X-2)の何れかで表されるものであり、mは1~6の整数であり、nは1~20の整数である。]
Figure 2022067270000004
[式(X-1)中、Rは、水素原子又はメチル基であり、Rは、炭素原子数1~10の炭化水素基、ベンゼン環及び/又はシクロ環である。なお、前記シクロ環は、不飽和結合を有するものを含む。]
[式(X-2)中、Rは、水素原子又はメチル基である。]
前記エポキシ樹脂(A)の製造方法としては、特に制限されず、適宜公知の方法により製造することができる。例えば、反応原料の全てを一括で反応させる方法で製造してもよいし、反応原料を順次反応させる方法で製造してもよい。
前記反応原料を順次反応させる方法としては、例えば、先ず、前記フェノール性水酸基を有する化合物(a1)と前記芳香族化合物(a2)とを、酸性触媒の存在下、80~200℃の温度範囲で反応させ、次いで、前記フェノール性水酸基を有する化合物(a1)と前記芳香族化合物(a2)との反応物に含まれる水酸基1モルに対し、前記エピハロヒドリン(a3)を1~10モルを添加し、更に、原料の水酸基1モルに対し0.5~10モルの塩基性触媒を一括添加又は徐々に添加しながら20~120℃の温度で0.5~10時間反応させエポキシ化反応を行う方法等が挙げられる。この塩基性触媒は固形でもその水溶液を使用してもよく、水溶液を使用する場合は、連続的に添加すると共に、反応混合物中から減圧下、又は常圧下、連続的に水及びエピハロヒドリンを留出せしめ、更に分液して水は除去しエピハロヒドリンは反応混合物中に連続的に戻す方法でもよい。
なお、前記フェノール性水酸基を有する化合物(a1)と、前記芳香族化合物(a2)と、前記エピハロヒドリン(a3)の反応は、必要に応じて有機溶剤中で行うこともできる。
なお、工業生産を行う際、エポキシ樹脂生産の初バッチでは仕込みに用いるエピハロヒドリンの全てが新しいものであるが、次バッチ以降は、粗反応生成物から回収されたエピハロヒドリンと、反応で消費される分で消失する分に相当する新しいエピハロヒドリンとを併用することが好ましい。この際、グリシドール等、エピクロルヒドリンと水、有機溶剤等との反応により誘導される不純物を含有していても良い。
なお、得られたエポキシ樹脂(A)は、必要に応じて、水洗し、加熱減圧下、蒸留によって未反応のエピハロヒドリンや併用する有機溶媒を留去する。また、更に加水分解性ハロゲンの少ないエポキシ樹脂とするために、得られたエポキシ樹脂(A)を再びトルエン、メチルイソブチルケトン、メチルエチルケトン等の有機溶媒に溶解し、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどのアルカリ金属水酸化物の水溶液を加えてさらに反応を行うこともできる。この際、反応速度の向上を目的として、4級アンモニウム塩やクラウンエーテル等の相関移動触媒を存在させてもよい。前記相関移動触媒を使用する場合のその使用量としては、用いるエポキシ樹脂に対して0.1~3質量%の範囲が好ましい。反応終了後、生成した塩を濾過、水洗などにより除去し、更に、加熱減圧下トルエン、メチルイソブチルケトンなどの溶剤を留去することにより高純度のエポキシ樹脂(A)を得ることができる。
特に前記フェノール性水酸基を有する化合物(a1)と前記芳香族化合物(a2)との反応物とエピハロヒドリン(a3)とを反応させる際、溶媒中の水分濃度を5~25%とすることにより、効率的に目的とするエポキシ樹脂を得ることができる。
前記酸性触媒としては、例えば、塩酸、硫酸、リン酸等の無機酸、メタンスルホン酸、パラトルエンスルホン酸、シュウ酸等の有機酸、三フッ化ホウ素、無水塩化アルミニウム、塩化亜鉛等のルイス酸などが挙げられる。また、スルホニル基等の強酸を有する固体酸触媒等も用いることができる。これらの酸性触媒は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記固体酸触媒の市販品としては、例えば、オルガノ株式会社製「アンバーリスト 15DRY」、「アンバーリスト 15JWET」、「アンバーリスト 16WET」、「アンバーリスト 35WET」、「アンバーリスト 33」、テイカ株式会社製「テイカキュア-6」、「テイカキュア-10」、「テイカキュア-15」などが挙げられる。
前記塩基性触媒としては、例えば、N-メチルモルフォリン、ピリジン、1,8-ジアザビシクロ[5.4.0]ウンデセン-7(DBU)、1,5-ジアザビシクロ[4.3.0]ノネン-5(DBN)、1,4-ジアザビシクロ[2.2.2]オクタン(DABCO)、トリ-n-ブチルアミンもしくはジメチルベンジルアミン、ブチルアミン、オクチルアミン、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、イミダゾール、1-メチルイミダゾール、2,4-ジメチルイミダゾール、1,4-ジエチルイミダゾール、3-アミノプロピルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリエトキシシラン、3-(N-フェニル)アミノプロピルトリメトキシシラン、3-(2-アミノエチル)アミノプロピルトリメトキシシラン、3-(2-アミノエチル)アミノプロピルメチルジメトキシシラン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド等のアミン化合物;トリオクチルメチルアンモニウムクロライド、トリオクチルメチルアンモニウムアセテート等の四級アンモニウム塩;トリメチルホスフィン、トリブチルホスフィン、トリフェニルホスフィン等のホスフィン化合物;テトラメチルホスホニウムクロライド、テトラエチルホスホニウムクロライド、テトラプロピルホスホニウムクロライド、テトラブチルホスホニウムクロライド、テトラブチルホスホニウムブロマイド、トリメチル(2-ヒドロキシルプロピル)ホスホニウムクロライド、トリフェニルホスホニウムクロライド、ベンジルホスホニウムクロライド等のホスホニウム塩;ジブチル錫ジラウレート、オクチル錫トリラウレート、オクチル錫ジアセテート、ジオクチル錫ジアセテート、ジオクチル錫ジネオデカノエート、ジブチル錫ジアセテート、オクチル酸錫、1,1,3,3-テトラブチル-1,3-ドデカノイルジスタノキサン等の有機錫化合物;オクチル酸亜鉛、オクチル酸ビスマス等の有機金属化合物;オクタン酸錫等の無機錫化合物;無機金属化合物などが挙げられる。また、アルカリ土類金属水酸化物、アルカリ金属炭酸塩及びアルカリ金属水酸化物等を用いることもできる。特にエポキシ樹脂合成反応の触媒活性に優れることからアルカリ金属水酸化物が好ましく、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムがより好ましい。これらの塩基性触媒は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。なお、前記塩基性触媒の使用に際しては、10質量%~55質量%程度の水溶液の形態で使用してもよいし、固形の形態で使用してもよい。
前記有機溶剤としては、例えば、メチルエチルケトン、アセトン、ジメチルホルムアミド、メチルイソブチルケトン等のケトン溶剤;テトラヒドロフラン、ジオキソラン等の環状エーテル溶剤;酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル溶剤;トルエン、キシレン、ソルベントナフサ等の芳香族溶剤;シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン等の脂環族溶剤;カルビトール、セロソルブ、メタノール、イソプロパノール、ブタノール、プロピレングリコールモノメチルエーテルなどのアルコール溶剤;アルキレングリコールモノアルキルエーテル、ジアルキレングリコールモノアルキルエーテル、ジアルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート等のグリコールエーテル溶剤;メトキシプロパノール、シクロヘキサノン、メチルセロソルブ、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等が挙げられる。これらの有機溶剤は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。また、前記有機溶剤の使用量は、反応効率が良好となることから、反応原料の合計質量に対し0.1~5倍量程度の範囲で用いることが好ましい。
また、前記エポキシ樹脂(A)の製造において、本発明の効果を損なわない範囲で、前記フェノール性水酸基を有する化合物(a1)以外のフェノール性水酸基を有する化合物を併用することもできる。
前記不飽和一塩基酸(B)としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、桂皮酸、α-シアノ桂皮酸、β-スチリルアクリル酸、β-フルフリルアクリル酸等が挙げられる。また、前記不飽和一塩基酸のエステル化物、酸ハロゲン化物、酸無水物等も用いることができる。さらに、下記構造式(3)で表される化合物等も用いることができる。
Figure 2022067270000005
[式(3)中、Xは、炭素数1~10のアルキレン鎖、ポリオキシアルキレン鎖、(ポリ)エステル鎖、芳香族炭化水素鎖、又は(ポリ)カーボネート鎖を表し、構造中にハロゲン原子やアルコキシ基等を有していても良い。Yは、水素原子又はメチル基である。]
前記ポリオキシアルキレン鎖としては、例えば、ポリオキシエチレン鎖、ポリオキシプロピレン鎖等が挙げられる。
前記(ポリ)エステル鎖としては、例えば、下記構造式(4)で表される(ポリ)エステル鎖が挙げられる。
Figure 2022067270000006
[式(4)中、Rは、炭素原子数1~10のアルキレン基であり、nは1~5の整数である。]
前記芳香族炭化水素鎖としては、例えば、フェニレン鎖、ナフチレン鎖、ビフェニレン鎖、フェニルナフチレン鎖、ビナフチレン鎖等が挙げられる。また、部分構造として、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環等の芳香環を有する炭化水素鎖も用いることができる。
これらの不飽和一塩基酸(B)は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
また、前記不飽和一塩基酸(B)の使用量は、高い光感度及び優れたアルカリ現像性を有し、伸度及び誘電特性に優れた硬化物を形成可能な酸基を有する(メタ)アクリレート樹脂が得られることから、前記エポキシ樹脂(A)が有するエポキシ基1モルに対して、前記不飽和一塩基酸(B)が有する酸基のモル数が、0.9~1.1の範囲であることが好ましく、0.95~1.05の範囲がより好ましい。
前記多塩基酸無水物(C)としては、例えば、脂肪族多塩基酸無水物、脂環式多塩基酸無水物、芳香族多塩基酸無水物等が挙げられる。
前記脂肪族多塩基酸無水物としては、例えば、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、イタコン酸、グルタコン酸、1,2,3,4-ブタンテトラカルボン酸の酸無水物等が挙げられる。また、前記脂肪族多塩基酸無水物としては、脂肪族炭化水素基は直鎖型及び分岐型のいずれでもよく、構造中に不飽和結合を有していてもよい。
前記脂環式多塩基酸無水物としては、本発明では、酸無水物基が脂環構造に結合しているものを脂環式多塩基酸無水物とし、それ以外の構造部位における芳香環の有無は問わないものとする。前記脂環式多塩基酸無水物としては、例えば、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、メチルヘキサヒドロフタル酸、シクロヘキサントリカルボン酸、シクロヘキサンテトラカルボン酸、ビシクロ[2.2.1]ヘプタン-2,3-ジカルボン酸、メチルビシクロ[2.2.1]ヘプタン-2,3-ジカルボン酸、4-(2,5-ジオキソテトラヒドロフラン-3-イル)-1,2,3,4-テトラヒドロナフタレン-1,2-ジカルボン酸の酸無水物等が挙げられる。
前記芳香族多塩基酸無水物としては、例えば、フタル酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、ナフタレンジカルボン酸、ナフタレントリカルボン酸、ナフタレンテトラカルボン酸、ビフェニルジカルボン酸、ビフェニルトリカルボン酸、ビフェニルテトラカルボン酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸の酸無水物等が挙げられる。
これらの多塩基酸無水物(C)は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
また、前記多塩基酸無水物(C)の使用量は、高い光感度及び優れたアルカリ現像性を有し、伸度及び誘電特性に優れた硬化物を形成可能な酸基を有する(メタ)アクリレート樹脂が得られることから、前記エポキシ樹脂(A)が有するエポキシ基1モルに対して、前記多塩基酸無水物(C)のモル数が、0.45~1の範囲であることが好ましく、0.45~0.95の範囲がより好ましい。
本発明の酸基(メタ)アクリレート樹脂の製造方法は、特に制限されず、適宜公知の方法により製造することができる。例えば、反応原料の全てを一括で反応させる方法で製造してもよいし、反応原料を順次反応させる方法で製造してもよい。
前記反応原料を順次反応させる方法としては、先にエポキシ樹脂(A)と、不飽和一塩基酸(B)とを、酸性触媒又は塩基性触媒の存在下、80~140℃の温度範囲で反応させ、次いで、多塩基酸無水物(C)を添加し、80~140℃の温度範囲で反応させて製造する方法が好ましい。
また、前記エポキシ樹脂(A)と、前記不飽和一塩基酸(B)と、前記多塩基酸無水物(C)との反応は、必要に応じて有機溶剤中で行うこともできる。
前記酸性触媒としては、上述の酸性触媒として例示したものと同様のものを用いることができ、前記酸性触媒は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記塩基性触媒としては、上述の塩基性触媒として例示したものと同様のものを用いることができ、前記塩基性触媒は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。これらの中でも、高い光感度及び優れたアルカリ現像性を有し、伸度及び誘電特性に優れた硬化物を形成可能な酸基を有する(メタ)アクリレート樹脂が得られることから、ホスフィン化合物が好ましい。
前記有機溶剤としては、上述の有機溶剤として例示したものと同様のものを用いることができ、前記有機溶剤は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
本発明の酸基を有する(メタ)アクリレート樹脂の製造において、必要に応じて、重合禁止剤、酸化防止剤等を用いることもできる。
前記重合禁止剤としては、例えば、p-メトキシフェノール、p-メトキシクレゾール、4-メトキシ-1-ナフトール、4,4’-ジアルコキシ-2,2’-ビ-1-ナフトール、3-(N-サリチロイル)アミノ-1,2,4-トリアゾール、N’1,N’12-ビス(2-ヒドロキシベンゾイル)ドデカンジヒドラジド、スチレン化フェノール、N-イソプロピル-N’-フェニルベンゼン-1,4-ジアミン、6-エトキシ-2,2,4-トリメチル-1,2-ジヒドロキノリン等のフェノール化合物、ヒドロキノン、メチルヒドロキノン、p-ベンゾキノン、メチル-p-ベンゾキノン、2,5-ジフェニルベンゾキノン、2-ヒドロキシ-1,4-ナフトキノン、アントラキノン、ジフェノキノン等のキノン化合物、メラミン、p-フェニレンジアミン、4-アミノジフェニルアミン、N.N’-ジフェニル-p-フェニレンジアミン、N-i-プロピル-N’-フェニル-p-フェニレンジアミン、N-(1.3-ジメチルブチル)-N’-フェニル-p-フェニレンジアミン、ジフェニルアミン、4,4’-ジクミル-ジフェニルアミン、4,4’-ジオクチル-ジフェニルアミン、ポリ(2,2,4-トリメチル-1,2-ジヒドロキノリン)、スチレン化ジフェニルアミン、スチレン化ジフェニルアミンと2,4,4-トリメチルペンテンの反応生成物、ジフェニルアミンと2,4,4-トリメチルペンテンの反応生成物等のアミン化合物、フェノチアジン、ジステアリルチオジプロピオネート、2,2-ビス({[3-(ドデシルチオ)プロピオニル]オキシ}メチル)-1,3-プロパンジイル=ビス[3-(ドデシルチオ)プロピオナート]、ジトリデカン-1-イル=3,3’-スルファンジイルジプロパノアート等のチオエーテル化合物、N-ニトロソジフェニルアミン、N-ニトロソフェニルナフチルアミン、p-ニトロソフェノール、ニトロソベンゼン、p-ニトロソジフェニルアミン、α-ニトロソ-β-ナフトール等、N、N-ジメチルp-ニトロソアニリン、p-ニトロソジフェニルアミン、p-ニトロンジメチルアミン、p-ニトロン-N、N-ジエチルアミン、N-ニトロソエタノールアミン、N-ニトロソジ-n-ブチルアミン、N-ニトロソ-N-n-ブチル-4-ブタノールアミン、N-ニトロソ-ジイソプロパノールアミン、N-ニトロソ-N-エチル-4-ブタノールアミン、5-ニトロソ-8-ヒドロキシキノリン、N-ニトロソモルホリン、N-二トロソーN-フェニルヒドロキシルアミンアンモニウム塩、二トロソベンゼン、N-ニトロソ-N-メチル-p-トルエンスルホンアミド、N-ニトロソ-N-エチルウレタン、N-ニトロソ-N-n-プロピルウレタン、1-ニトロソ-2-ナフトール、2-ニトロソ-1-ナフトール、1-ニトロソ-2-ナフトール-3,6-スルホン酸ナトリウム、2-ニトロソ-1-ナフトール-4-スルホン酸ナトリウム、2-ニトロソ-5-メチルアミノフェノール塩酸塩、2-ニトロソ-5-メチルアミノフェノール塩酸塩等のニトロソ化合物、リン酸とオクタデカン-1-オールのエステル、トリフェニルホスファイト、3,9-ジオクタデカン-1-イル-2,4,8,10-テトラオキサ-3,9-ジホスファスピロ[5.5]ウンデカン、トリスノニルフェニルホスフィト、亜リン酸-(1-メチルエチリデン)-ジ-4,1-フェニレンテトラ-C12-15-アルキルエステル、2-エチルヘキシル=ジフェニル=ホスフィット、ジフェニルイソデシルフォスファイト、トリイソデシル=ホスフィット、トリス(2,4-ジ-tert-ブチルフェニル)ホスファイト等のホスファイト化合物、ビス(ジメチルジチオカルバマト-κ(2)S,S’)亜鉛、ジエチルジチオカルバミン酸亜鉛、ジブチル・ジチオカルバミン酸亜鉛等の亜鉛化合物、ビス(N,N-ジブチルカルバモジチオアト-S,S’)ニッケル等のニッケル化合物、1,3-ジヒドロ-2H-ベンゾイミダゾール-2-チオン、4,6-ビス(オクチルチオメチル)-o-クレゾール、2-メチル-4,6-ビス[(オクタン-1-イルスルファニル)メチル]フェノール、ジラウリルチオジプロピオン酸エステル、3,3’-チオジプロピオン酸ジステアリル等の硫黄化合物などが挙げられる。これらの重合禁止剤は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記酸化防止剤としては、前記重合禁止剤で例示した化合物と同様のものを用いることができ、前記酸化防止剤は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
また、前記重合禁止剤、及び前記酸化防止剤の市販品としては、例えば、和光純薬工業株式会社製「Q-1300」、「Q-1301」、住友化学株式会社製「スミライザーBBM-S」、「スミライザーGA-80が」等が挙げられる。
本発明の酸基を有する(メタ)アクリレート樹脂は、光重合開始剤を添加することにより硬化性樹脂組成物として用いることができる。
前記光重合開始剤としては、例えば、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-フェニルプロパン-1-オン、1-〔4-(2-ヒドロキシエトキシ)フェニル〕-2-ヒドロキシ-2-メチル-1-プロパン-1-オン、チオキサントン及びチオキサントン誘導体、2,2’-ジメトキシ-1,2-ジフェニルエタン-1-オン、ジフェニル(2,4,6-トリメトキシベンゾイル)ホスフィンオキシド、2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、ビス(2,4,6-トリメチルベンゾイル)フェニルホスフィンオキシド、2-メチル-1-(4-メチルチオフェニル)-2-モルフォリノプロパン-1-オン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルホリノフェニル)-1-ブタノン等の光ラジカル重合開始剤などが挙げられる。
前記その他の光重合開始剤の市販品としては、例えば、「Omnirad 1173」、「Omnirad 184」、「Omnirad 127」、「Omnirad 2959」、「Omnirad 369」、「Omnirad 379」、「Omnirad 907」、「Omnirad 4265」、「Omnirad 1000」、「Omnirad 651」、「Omnirad TPO」、「Omnirad 819」、「Omnirad 2022」、「Omnirad 2100」、「Omnirad 754」、「Omnirad 784」、「Omnirad 500」、「Omnirad 81」(IGM Resins社製);「KAYACURE DETX」、「KAYACURE MBP」、「KAYACURE DMBI」、「KAYACURE EPA」、「KAYACURE OA」(日本化薬株式会社製);「Vicure 10」、「Vicure 55」(Stoffa Chemical社製);「Trigonal P1」(Akzo Nobel社製)、「SANDORAY 1000」(SANDOZ社製);「DEAP」(Upjohn Chemical社製)、「Quantacure PDO」、「Quantacure ITX」、「Quantacure EPD」(Ward Blenkinsop社製);「Runtecure 1104」(Runtec社製)等が挙げられる。これらの光重合開始剤は、単独で用いることも、2種以上を併用することもできる。
前記光重合開始剤の添加量は、例えば、前記硬化性樹脂組成物中に、0.5~20質量%の範囲で用いることが好ましい。
本発明の硬化性樹脂組成物は、前述した酸基を有する(メタ)アクリレート樹脂以外の樹脂成分(以下、「その他の樹脂成分」と称することがある。)を含有しても良い。前記その他の樹脂成分としては、酸基及び重合性不飽和基を有する樹脂、各種の(メタ)アクリレートモノマー等が挙げられる。
前記酸基及び重合性不飽和基を有する樹脂としては、樹脂中に酸基及び重合性不飽和基を有するものであれば何れでもよく、例えば、酸基及び重合性不飽和基を有するエポキシ樹脂、酸基及び重合性不飽和基を有するウレタン樹脂、酸基及び重合性不飽和基を有するアクリル樹脂、酸基及び重合性不飽和基を有するアミドイミド樹脂、酸基及び重合性不飽和基を有するアクリルアミド樹脂、酸基及び重合性不飽和基を有するエステル樹脂等が挙げられる。
前記酸基としては、例えば、カルボキシル基、スルホン酸基、燐酸基等が挙げられる。
前記酸基及び重合性不飽和基を有するエポキシ樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、不飽和一塩基酸、及び多塩基酸無水物を必須原料とする酸基を有するエポキシ(メタ)アクリレート樹脂や、エポキシ樹脂、不飽和一塩基酸、多塩基酸無水物、ポリイソシアネート化合物、及び水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物を反応原料とする酸基及びウレタン基を有するエポキシ(メタ)アクリレート樹脂などが挙げられる。
前記エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノール型エポキシ樹脂、フェニレンエーテル型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、トリフェニルメタン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールノボラック型エポキシ樹脂、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、ナフトール-フェノール共縮ノボラック型エポキシ樹脂、ナフトール-クレゾール共縮ノボラック型エポキシ樹脂、フェノールアラルキル型エポキシ樹脂、ナフトールアラルキル型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン-フェノール付加反応型エポキシ樹脂、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、フルオレン型エポキシ樹脂、キサンテン型エポキシ樹脂、ジヒドロキシベンゼン型エポキシ樹脂、トリヒドロキシベンゼン型エポキシ樹脂、オキサゾリドン型エポキシ樹脂等が挙げられる。これらのエポキシ樹脂は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記ビスフェノール型エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールAP型エポキシ樹脂、ビスフェノールB型エポキシ樹脂、ビスフェノールBP型エポキシ樹脂、ビスフェノールE型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂等が挙げられる。
前記水添ビスフェノール型エポキシ樹脂としては、例えば、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールB型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールE型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールF型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールS型エポキシ樹脂等が挙げられる。
前記ビフェノール型エポキシ樹脂としては、例えば、4,4’-ビフェノール型エポキシ樹脂、2,2’-ビフェノール型エポキシ樹脂、テトラメチル-4,4’-ビフェノール型エポキシ樹脂、テトラメチル-2,2’-ビフェノール型エポキシ樹脂等が挙げられる。
前記水添ビフェノール型エポキシ樹脂としては、例えば、水添4,4’-ビフェノール型エポキシ樹脂、水添2,2’-ビフェノール型エポキシ樹脂、水添テトラメチル-4,4’-ビフェノール型エポキシ樹脂、水添テトラメチル-2,2’-ビフェノール型エポキシ樹脂等が挙げられる。
前記不飽和一塩基酸としては、上述の不飽和一塩基酸(B)として例示したものと同様のものを用いることができ、前記不飽和一塩基酸は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記多塩基酸無水物としては、上述の多塩基酸無水物(C)として例示したものと同様のものを用いることができ、前記多塩基酸無水物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記ポリイソシアネート化合物としては、例えば、ブタンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、2,2,4-トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、2,4,4-トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート等の脂肪族ジイソシアネート化合物;ノルボルナンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、水添キシリレンジイソシアネート、水添ジフェニルメタンジイソシアネート等の脂環式ジイソシアネート化合物;トリレンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、テトラメチルキシリレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、1,5-ナフタレンジイソシアネート、4,4’-ジイソシアナト-3,3’-ジメチルビフェニル、o-トリジンジイソシアネート等の芳香族ジイソシアネート化合物;下記構造式(5)で表される繰り返し構造を有するポリメチレンポリフェニルポリイソシアネート;これらのイソシアヌレート変性体、ビウレット変性体、アロファネート変性体等が挙げられる。また、これらのポリイソシアネート化合物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
Figure 2022067270000007
[式中、Rはそれぞれ独立に水素原子、炭素原子数1~6の炭化水素基の何れかである。Rはそれぞれ独立に炭素原子数1~4のアルキル基、又は構造式(5)で表される構造部位と*印が付されたメチレン基を介して連結する結合点の何れかである。lは0又は1~3の整数であり、mは1~15の整数である。]
前記水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物としては、上述の水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物として例示したものと同様のものを用いることができ、前記水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記酸基及び重合性不飽和基を有するエポキシ樹脂の製造方法としては、特に限定されず、どのような方法で製造してもよい。前記酸基及び重合性不飽和基を有するエポキシ樹脂の製造においては、必要に応じて有機溶剤中で行ってもよく、また、必要に応じて塩基性触媒を用いてもよい。
前記有機溶剤としては、上述の有機溶剤として例示したものと同様のものを用いることができ、前記有機溶剤は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記塩基性触媒としては、上述の塩基性触媒として例示したものと同様のものを用いることができ、前記塩基性触媒は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記酸基及び重合性不飽和基を有するウレタン樹脂としては、例えば、ポリイソシアネート化合物、水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物、カルボキシル基を有するポリオール化合物、及び必要に応じて多塩基酸無水物、前記カルボキシル基を有するポリオール化合物以外のポリオール化合物とを反応させて得られたものや、ポリイソシアネート化合物、水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物、多塩基酸無水物、及びカルボキシル基を有するポリオール化合物以外のポリオール化合物とを反応させて得られたもの等が挙げられる。
前記ポリイソシアネート化合物としては、上述のポリイソシアネート化合物として例示したものと同様のものを用いることができ、前記ポリイソシアネート化合物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物としては、上述の水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物として例示したものと同様のものを用いることができ、前記水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記カルボキシル基を有するポリオール化合物としては、例えば、2,2-ジメチロールプロピオン酸、2,2-ジメチロールブタン酸、2,2-ジメチロール吉草酸等が挙げられる。前記カルボキシル基を有するポリオール化合物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記多塩基酸無水物としては、上述の多塩基酸無水物(C)として例示したものと同様のものを用いることができ、前記多塩基酸無水物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記カルボキシル基を有するポリオール化合物以外のポリオール化合物としては、例えば、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、ヘキサンジオール、グリセリン、トリメチロールプロパン、ジトリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール等の脂肪族ポリオール化合物;ビフェノール、ビスフェノール等の芳香族ポリオール化合物;前記各種のポリオール化合物の分子構造中に(ポリ)オキシエチレン鎖、(ポリ)オキシプロピレン鎖、(ポリ)オキシテトラメチレン鎖等の(ポリ)オキシアルキレン鎖を導入した(ポリ)オキシアルキレン変性体;前記各種のポリオール化合物の分子構造中に(ポリ)ラクトン構造を導入したラクトン変性体等が挙げられる。前記カルボキシル基を有するポリオール化合物以外のポリオール化合物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記酸基及び重合性不飽和基を有するウレタン樹脂の製造方法としては、特に限定されず、どのような方法で製造してもよい。前記酸基及び重合性不飽和基を有するウレタン樹脂の製造においては、必要に応じて有機溶剤中で行ってもよく、また、必要に応じて塩基性触媒を用いてもよい。
前記有機溶剤としては、上述の有機溶剤として例示したものと同様のものを用いることができ、前記有機溶剤は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記塩基性触媒としては、上述の塩基性触媒として例示したものと同様のものを用いることができ、前記塩基性触媒は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記酸基及び重合性不飽和基を有するアクリル樹脂としては、例えば、水酸基やカルボキシル基、イソシアネート基、グリシジル基等の反応性官能基を有する(メタ)アクリレート化合物(α)を必須の成分として重合させて得られるアクリル樹脂中間体に、これらの官能基と反応し得る反応性官能基を有する(メタ)アクリレート化合物(β)をさらに反応させることにより(メタ)アクリロイル基を導入して得られる反応生成物や、前記反応生成物中の水酸基に多塩基酸無水物を反応させて得られるもの等が挙げられる。
前記アクリル樹脂中間体は、前記(メタ)アクリレート化合物(α)の他、必要に応じてその他の重合性不飽和基を有する化合物を共重合させたものであってもよい。前記その他の重合性不飽和基を有する化合物は、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2-エチルヘキシル(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸アルキルエステル;シクロヘキシル(メタ)アクリレート、イソボロニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート等の脂環式構造含有(メタ)アクリレート;フェニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、フェノキシエチルアクリレート等の芳香環含有(メタ)アクリレート;3-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン等のシリル基を有する(メタ)アクリレート;スチレン、α-メチルスチレン、クロロスチレン等のスチレン誘導体等が挙げられる。これらは単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記(メタ)アクリレート化合物(β)は、前記(メタ)アクリレート化合物(α)が有する反応性官能基と反応し得るものであれば特に限定されないが、反応性の観点から以下の組み合わせであることが好ましい。即ち、前記(メタ)アクリレート化合物(α)として水酸基を有する(メタ)アクリレートを用いた場合には、(メタ)アクリレート化合物(β)としてイソシアネート基を有する(メタ)アクリレートを用いることが好ましい。前記(メタ)アクリレート化合物(α)としてカルボキシル基を有する(メタ)アクリレートを用いた場合には、(メタ)アクリレート化合物(β)としてグリシジル基を有する(メタ)アクリレートを用いることが好ましい。前記(メタ)アクリレート化合物(α)としてイソシアネート基を有する(メタ)アクリレートを用いた場合には、(メタ)アクリレート化合物(β)として水酸基を有する(メタ)アクリレートを用いることが好ましい。前記(メタ)アクリレート化合物(α)としてグリシジル基を有する(メタ)アクリレートを用いた場合には、(メタ)アクリレート化合物(β)としてカルボキシル基を有する(メタ)アクリレートを用いることが好ましい。前記(メタ)アクリレート化合物(β)は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記多塩基酸無水物は、上述の多塩基酸無水物(C)として例示したものと同様のものを用いることができ、前記多塩基酸無水物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記酸基及び重合性不飽和基を有するアクリル樹脂の製造方法としては、特に限定されず、どのような方法で製造してもよい。前記酸基及び重合性不飽和基を有するアクリル樹脂の製造においては、必要に応じて有機溶剤中で行ってもよく、また、必要に応じて塩基性触媒を用いてもよい。
前記有機溶剤としては、上述の有機溶剤として例示したものと同様のものを用いることができ、前記有機溶剤は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記塩基性触媒としては、上述の塩基性触媒として例示したものと同様のものを用いることができ、前記塩基性触媒は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記酸基及び重合性不飽和基を有するアミドイミド樹脂としては、例えば、酸基及び/又は酸無水物基を有するアミドイミド樹脂と、水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物及び/又はエポキシ基を有する(メタ)アクリレート化合物と、必要に応じて、水酸基、カルボキシル基、イソシアネート基、グリシジル基、及び酸無水物基からなる群より選ばれる1種以上の反応性官能基を有する化合物を反応させて得られるものが挙げられる。なお、前記反応性官能基を有する化合物は、(メタ)アクリロイル基を有していてもよいし、有していなくてもよい。
前記アミドイミド樹脂としては、酸基又は酸無水物基のどちらか一方のみを有するものであってもよいし、両方を有するものであってもよい。水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物や(メタ)アクリロイル基を有するエポキシ化合物との反応性や反応制御の観点から、酸無水物基を有するものであることが好ましく、酸基と酸無水物基との両方を有するものであることがより好ましい。前記アミドイミド樹脂の固形分酸価は、中性条件下、即ち、酸無水物基を開環させない条件での測定値が60~350mgKOH/gの範囲であることが好ましい。他方、水の存在下等、酸無水物基を開環させた条件での測定値が61~360mgKOH/gの範囲であることが好ましい。
前記アミドイミド樹脂としては、例えば、ポリイソシアネート化合物と、多塩基酸無水物とを反応原料として得られるものが挙げられる。
前記ポリイソシアネート化合物としては、上述のポリイソシアネート化合物として例示したものと同様のものを用いることができ、前記ポリイソシアネート化合物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記多塩基酸無水物としては、上述の多塩基酸無水物(C)として例示したものと同様のものを用いることができ、前記多塩基酸無水物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
また、前記アミドイミド樹脂は、必要に応じて、前記ポリイソシアネート化合物及び多塩基酸無水物以外に、多塩基酸を反応原料として併用することもできる。
前記多塩基酸としては、一分子中にカルボキシル基を2つ以上有する化合物であれば何れのものも用いることができる。例えば、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、マレイン酸、フマル酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、メチルヘキサヒドロフタル酸、シトラコン酸、イタコン酸、グルタコン酸、1,2,3,4-ブタンテトラカルボン酸、シクロヘキサントリカルボン酸、シクロヘキサンテトラカルボン酸、ビシクロ[2.2.1]ヘプタン-2,3-ジカルボン酸、メチルビシクロ[2.2.1]ヘプタン-2,3-ジカルボン酸、4-(2,5-ジオキソテトラヒドロフラン-3-イル)-1,2,3,4-テトラヒドロナフタレン-1,2-ジカルボン酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、ナフタレンジカルボン酸、ナフタレントリカルボン酸、ナフタレンテトラカルボン酸、ビフェニルジカルボン酸、ビフェニルトリカルボン酸、ビフェニルテトラカルボン酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸等が挙げられる。また、前記多塩基酸としては、例えば、共役ジエン系ビニルモノマーとアクリロニトリルとの共重合体であって、その分子中にカルボキシル基を有する重合体も用いることができる。これらの多塩基酸は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物としては、上述の水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物として例示したものと同様のものを用いることができ、前記水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記エポキシ基を有する(メタ)アクリレート化合物としては、上述したエポキシ基を有する(メタ)アクリレート化合物として例示したものと同様のものを用いることができ、前記エポキシ基を有する(メタ)アクリレート化合物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記酸基及び重合性不飽和基を有するアミドイミド樹脂の製造方法としては、特に限定されず、どのような方法で製造してもよい。前記酸基及び重合性不飽和基を有するアミドイミド樹脂の製造においては、必要に応じて有機溶剤中で行ってもよく、また、必要に応じて塩基性触媒を用いてもよい。
前記有機溶剤としては、上述の有機溶剤として例示したものと同様のものを用いることができ、前記有機溶剤は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記塩基性触媒としては、上述の塩基性触媒として例示したものと同様のものを用いることができ、前記塩基性触媒は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記酸基及び重合性不飽和基を有するアクリルアミド樹脂としては、例えば、フェノール性水酸基を有する化合物と、アルキレンオキサイド又はアルキレンカーボネートと、N-アルコキシアルキル(メタ)アクリルアミド化合物と、多塩基酸無水物と、必要に応じて不飽和一塩基酸とを反応させて得られたものが挙げられる。
前記フェノール性水酸基を有する化合物としては、上述のフェノール性水酸基を有する化合物(a1)として例示したものと同様のものを用いることができ、前記フェノール性水酸基を有する化合物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記アルキレンオキサイドとしては、例えば、エチレンオキサイド、プロピレンオキサイド、ブチレンオキサイド、ペンチレンオキサイド等が挙げられる。これらの中でも、高い光感度及び優れたアルカリ現像性を有し、伸度及び誘電特性に優れた硬化物を形成可能な硬化性樹脂組成物が得られることから、エチレンオキサイド又はプロピレンオキサイドが好ましい。前記アルキレンオキサイドは、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記アルキレンカーボネートとしては、例えば、エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート、ブチレンカーボネート、ペンチレンカーボネート等が挙げられる。これらの中でも、高い光感度及び優れたアルカリ現像性を有し、伸度及び誘電特性に優れた硬化物を形成可能な硬化性樹脂組成物が得られることから、エチレンカーボネート又はプロピレンカーボネートが好ましい。前記アルキレンカーボネートは、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記N-アルコキシアルキル(メタ)アクリルアミド化合物としては、例えば、N-メトキシメチル(メタ)アクリルアミド、N-エトキシメチル(メタ)アクリルアミド、N-ブトキシメチル(メタ)アクリルアミド、N-メトキシエチル(メタ)アクリルアミド、N-エトキシエチル(メタ)アクリルアミド、N-ブトキシエチル(メタ)アクリルアミド等が挙げられる。前記N-アルコキシアルキル(メタ)アクリルアミド化合物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記多塩基酸無水物としては、上述の多塩基酸無水物(C)として例示したものと同様のものを用いることができ、前記多塩基酸無水物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記不飽和一塩基酸としては、上述の不飽和一塩基酸(B)として例示したものと同様を用いることができ、前記不飽和一塩基酸は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記酸基及び重合性不飽和基を有するアクリルアミド樹脂の製造方法としては、特に限定されず、どのような方法で製造してもよい。前記酸基及び重合性不飽和基を有するアクリルアミド樹脂の製造においては、必要に応じて有機溶剤中で行ってもよく、また、必要に応じて塩基性触媒及び酸性触媒を用いてもよい。
前記有機溶剤としては、上述の有機溶剤として例示したものと同様のものを用いることができ、前記有機溶剤は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記塩基性触媒としては、上述の塩基性触媒として例示したものと同様のものを用いることができ、前記塩基性触媒は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記酸性触媒としては、上述の酸性触媒として例示したものと同様のものを用いることができ、前記酸性触媒は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記酸基及び重合性不飽和基を有するエステル樹脂としては、例えば、フェノール性水酸基を有する化合物と、アルキレンオキサイド又はアルキレンカーボネートと、不飽和一塩基酸と、多塩基酸無水物とを反応させて得られたものが挙げられる。
前記フェノール性水酸基を有する化合物としては、上述のフェノール性水酸基を有する化合物として例示したものと同様のものを用いることができ、前記フェノール性水酸基を有する化合物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記アルキレンオキサイドとしては、上述のアルキレンオキサイドとして例示したものと同様のものを用いることができる。これらの中でも、高い光感度及び優れたアルカリ現像性を有し、伸度及び誘電特性に優れた硬化物を形成可能な硬化性樹脂組成物が得られることから、エチレンオキサイド又はプロピレンオキサイドが好ましい。前記アルキレンオキサイドは、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記アルキレンカーボネートとしては、上述のアルキレンカーボネートとして例示したものと同様のものを用いることができる。これらの中でも、高い光感度及び優れたアルカリ現像性を有し、伸度及び誘電特性に優れた硬化物を形成可能な硬化性樹脂組成物が得られることから、エチレンカーボネート又はプロピレンカーボネートが好ましい。前記アルキレンカーボネートは、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記不飽和一塩基酸としては、上述の不飽和一塩基酸(B)として例示したものと同様を用いることができ、前記不飽和一塩基酸は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記多塩基酸無水物としては、上述の多塩基酸無水物(C)として例示したものと同様のものを用いることができ、前記多塩基酸無水物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記酸基及び重合性不飽和基を有するエステル樹脂の製造方法としては、特に限定されず、どのような方法で製造してもよい。前記酸基及び重合性不飽和基を有するエステル樹脂の製造においては、必要に応じて有機溶剤中で行ってもよく、また、必要に応じて塩基性触媒及び酸性触媒を用いてもよい。
前記有機溶剤としては、上述の有機溶剤として例示したものと同様のものを用いることができ、前記有機溶剤は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記塩基性触媒としては、上述の塩基性触媒として例示したものと同様のものを用いることができ、前記塩基性触媒は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記酸性触媒としては、上述の酸性触媒として例示したものと同様のものを用いることができ、前記酸性触媒は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記酸基及び重合性不飽和基を有する樹脂の使用量は、本発明の酸基を有する(メタ)アクリレート樹脂100質量部に対して、10~900質量部の範囲が好ましい。
前記各種の(メタ)アクリレートモノマーとしては、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、ペンチル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、2-エチルヘキシル(メタ)アクリレート、オクチル(メタ)アクリレート等の脂肪族モノ(メタ)アクリレート化合物;シクロヘキシル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、アダマンチルモノ(メタ)アクリレート等の脂環型モノ(メタ)アクリレート化合物;グリシジル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリルアクリレート等の複素環型モノ(メタ)アクリレート化合物;ベンジル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、フェニルベンジル(メタ)アクリレート、フェノキシ(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、フェノキシエトキシエチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシ-3-フェノキシプロピル(メタ)アクリレート、フェノキシベンジル(メタ)アクリレート、フェニルフェノキシエチル(メタ)アクリレート等の芳香族モノ(メタ)アクリレート化合物等のモノ(メタ)アクリレート化合物:前記各種のモノ(メタ)アクリレートモノマーの分子構造中に(ポリ)オキシエチレン鎖、(ポリ)オキシプロピレン鎖、(ポリ)オキシテトラメチレン鎖等のポリオキシアルキレン鎖を導入した(ポリ)オキシアルキレン変性モノ(メタ)アクリレート化合物;前記各種のモノ(メタ)アクリレート化合物の分子構造中に(ポリ)ラクトン構造を導入したラクトン変性モノ(メタ)アクリレート化合物;エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート等の脂肪族ジ(メタ)アクリレート化合物;1,4-シクロヘキサンジメタノールジ(メタ)アクリレート、ノルボルナンジ(メタ)アクリレート、ノルボルナンジメタノールジ(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルジ(メタ)アクリレート、トリシクロデカンジメタノールジ(メタ)アクリレート等の脂環型ジ(メタ)アクリレート化合物;ビフェノールジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールジ(メタ)アクリレート等の芳香族ジ(メタ)アクリレート化合物;前記各種のジ(メタ)アクリレート化合物の分子構造中に(ポリ)オキシエチレン鎖、(ポリ)オキシプロピレン鎖、(ポリ)オキシテトラメチレン鎖等の(ポリ)オキシアルキレン鎖を導入したポリオキシアルキレン変性ジ(メタ)アクリレート化合物;前記各種のジ(メタ)アクリレート化合物の分子構造中に(ポリ)ラクトン構造を導入したラクトン変性ジ(メタ)アクリレート化合物;トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、グリセリントリ(メタ)アクリレート等の脂肪族トリ(メタ)アクリレート化合物;前記脂肪族トリ(メタ)アクリレート化合物の分子構造中に(ポリ)オキシエチレン鎖、(ポリ)オキシプロピレン鎖、(ポリ)オキシテトラメチレン鎖等の(ポリ)オキシアルキレン鎖を導入した(ポリ)オキシアルキレン変性トリ(メタ)アクリレート化合物;前記脂肪族トリ(メタ)アクリレート化合物の分子構造中に(ポリ)ラクトン構造を導入したラクトン変性トリ(メタ)アクリレート化合物;ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等の4官能以上の脂肪族ポリ(メタ)アクリレート化合物;前記脂肪族ポリ(メタ)アクリレート化合物の分子構造中に(ポリ)オキシエチレン鎖、(ポリ)オキシプロピレン鎖、(ポリ)オキシテトラメチレン鎖等の(ポリ)オキシアルキレン鎖を導入した4官能以上の(ポリ)オキシアルキレン変性ポリ(メタ)アクリレート化合物;前記脂肪族ポリ(メタ)アクリレート化合物の分子構造中に(ポリ)ラクトン構造を導入した4官能以上のラクトン変性ポリ(メタ)アクリレート化合物などが挙げられる。
また、前記その他の(メタ)アクリレートモノマーとしては、上述したものの他に、フェノール化合物と、環状カーボネート化合物又は環状エーテル化合物と、不飽和モノカルボン酸とを必須の反応原料とする(メタ)アクリレートモノマーを用いることができる。
前記フェノール化合物としては、例えば、クレゾール、キシレノール、カテコール、レゾルシノール、ヒドロキノン、3-メチルカテコール、4-メチルカテコール、4-アリルピロカテコール、1,2,3-トリヒドロキシベンゼン、1,2,4-トリヒドロキシベンゼン、1-ナフトール、2-ナフトール、1,3-ナフタレンジオール、1,5-ナフタレンジオール、2,6-ナフタレンジオール、2,7-ナフタレンジオール、水添ビスフェノール、水添ビフェノール、ポリフェニレンエーテル型ジオール、ポリナフチレンエーテル型ジオール、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ビスフェノールノボラック型樹脂、ナフトールノボラック型樹脂、フェノールアラルキル型樹脂、ナフトールアラルキル型樹脂、シクロ環構造含有フェノール樹脂等が挙げられる。
前記環状カーボネート化合物としては、例えば、エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート、ブチレンカーボネート、ペンチレンカーボネート等が挙げられる。これらの環状カーボネート化合物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記環状エーテル化合物としては、例えば、エチレンオキサイド、プロピレンオキサイド、テトラヒドロフラン等が挙げられる。これらの環状エーテル化合物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記不飽和モノカルボン酸としては、上述の不飽和一塩基酸(B)として例示したものと同様のものを用いることができる。
前記その他の(メタ)アクリレートモノマーの含有量は、本発明の硬化性樹脂組成物中に90質量%以下が好ましい。
また、本発明の硬化性樹脂組成物には、必要に応じて、硬化剤、硬化促進剤、紫外線吸収剤、有機溶剤、無機質充填材やポリマー微粒子、顔料、消泡剤、粘度調整剤、レベリング剤、難燃剤、保存安定化剤等の各種添加剤を含有することもできる。
前記硬化剤としては、例えば、エポキシ樹脂、多塩基酸、不飽和一塩基酸、アミン化合物、アミド化合物、アゾ化合物、有機過酸化物、ポリオール化合物、エポキシ樹脂等が挙げられる。
前記エポキシ樹脂としては、上述のエポキシ樹脂として例示したものと同様のものを用いることができ、前記エポキシ樹脂は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記多塩基酸としては、例えば、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、マレイン酸、フマル酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、メチルヘキサヒドロフタル酸、シトラコン酸、イタコン酸、グルタコン酸、1,2,3,4-ブタンテトラカルボン酸、シクロヘキサントリカルボン酸、シクロヘキサンテトラカルボン酸、ビシクロ[2.2.1]ヘプタン-2,3-ジカルボン酸、メチルビシクロ[2.2.1]ヘプタン-2,3-ジカルボン酸、4-(2,5-ジオキソテトラヒドロフラン-3-イル)-1,2,3,4-テトラヒドロナフタレン-1,2-ジカルボン酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、ナフタレンジカルボン酸、ナフタレントリカルボン酸、ナフタレンテトラカルボン酸、ビフェニルジカルボン酸、ビフェニルトリカルボン酸、ビフェニルテトラカルボン酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸等が挙げられる。また、前記多塩基酸としては、例えば、共役ジエン系ビニルモノマーとアクリロニトリルとの共重合体であって、その分子中にカルボキシル基を有する重合体も用いることができる。これらの多塩基酸は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記不飽和一塩基酸としては、上述の不飽和一塩基酸(B)として例示したものと同様のものを用いることができ、前記不飽和一塩基酸は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記アミン化合物としては、例えば、ジアミノジフェニルメタン、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、ジアミノジフェニルスルホン、イソホロンジアミン、イミダゾ-ル、BF3-アミン錯体、グアニジン誘導体等が挙げられる。これらのアミン化合物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記アミド系化合物としては、例えば、ジシアンジアミド、リノレン酸の2量体とエチレンジアミンとより合成されるポリアミド樹脂等が挙げられる。これらのアミド化合物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記アゾ化合物としては、例えば、アゾビスイソブチロニトリル等が挙げられる。
前記有機過酸化物としては、例えば、ケトンパーオキサイド、パーオキシケタール、ハイドロパーオキサイド、ジアルキルパーオキサイド、ジアシルパーオキサイド、パーオキシエステル、パーオキシジカーボネート、アルキルパーオキシカーボネート等が挙げられる。これらの有機過酸化物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記ポリオール化合物としては、例えば、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、1,3-プロパンジオール、1,4-ブタンジオール、1,3-ブタンジオール、3-メチル-1,3-ブタンジオール、1,5-ペンタンジオール、ネオペンチルグリコール、1,6-ヘキサンジオール、グリセリン、グリセリンモノ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタン、トリメチロールメタンモノ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパン、トリメチロールプロパンモノ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールモノ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート等のポリオールモノマー;前記ポリオールモノマーと、コハク酸、アジピン酸、アゼライン酸、セバシン酸、テレフタル酸、イソフタル酸、オルソフタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、イタコン酸、グルタコン酸、1,4-シクロヘキサンジカルボン酸等のジカルボン酸との共縮合によって得られるポリエステルポリオール;前記ポリオールモノマーと、ε-カプロラクトン、δ-バレロラクトン、3-メチル-δ-バレロラクトン等の種々のラクトンとの重縮合反応によって得られるラクトン型ポリエステルポリオール;前記ポリオールモノマーと、エチレンオキシド、プロピレンオキシド、テトラヒドロフラン、エチルグリシジルエーテル、プロピルグリシジルエーテル等の環状エーテル化合物との開環重合によって得られるポリエーテルポリオールなどが挙げられる。これらのポリオール化合物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記エポキシ樹脂としては、上述のエポキシ樹脂として例示したものと同様のものを用いることができ、前記エポキシ樹脂は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記硬化促進剤としては、硬化反応を促進するものであり、例えば、リン系化合物、アミン系化合物、イミダゾール、有機酸金属塩、ルイス酸、アミン錯塩等が挙げられる。これらの硬化促進剤は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。また、前記硬化促進剤の添加量は、例えば、前記硬化性樹脂組成物の固形分中に0.01~10質量%の範囲で用いることが好ましい。
前記紫外線吸収剤としては、例えば、2-[4-{(2-ヒドロキシ-3-ドデシルオキシプロピル)オキシ}-2-ヒドロキシフェニル]-4,6-ビス(2,4-ジメチルフェニル)-1,3,5-トリアジン、2-[4-{(2-ヒドロキシ-3-トリデシルオキシプロピル)オキシ}-2-ヒドロキシフェニル]-4,6-ビス(2,4-ジメチルフェニル)-1,3,5-トリアジン等のトリアジン誘導体、2-(2’-キサンテンカルボキシ-5’-メチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2-(2’-o-ニトロベンジロキシ-5’-メチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2-キサンテンカルボキシ-4-ドデシロキシベンゾフェノン、2-o-ニトロベンジロキシ-4-ドデシロキシベンゾフェノン等が挙げられる。これらの紫外線吸収剤は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記有機溶剤としては、上述の有機溶剤として例示したものと同様のものを用いることができ、前記有機溶剤は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記無機質充填材としては、例えば、溶融シリカ、結晶シリカ、アルミナ、窒化珪素、水酸化アルミ等が挙げられる。
前記顔料としては、公知慣用の無機顔料や有機顔料を使用することができる。
前記無機顔料としては、例えば、白色顔料、アンチモンレッド、ベンガラ、カドミウムレッド、カドミウムイエロー、コバルトブルー、紺青、群青、カーボンブラック、黒鉛等が挙げられる。これらの無機顔料は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記白色顔料としては、例えば、酸化チタン,酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、硫酸バリウム、シリカ、タルク、マイカ、水酸化アルミニウム、ケイ酸カルシウム、ケイ酸アルミニウム、中空樹脂粒子、硫化亜鉛等が挙げられる。
前記有機顔料としては、例えば、キナクリドン顔料、キナクリドンキノン顔料、ジオキサジン顔料、フタロシアニン顔料、アントラピリミジン顔料、アンサンスロン顔料、インダンスロン顔料、フラバンスロン顔料、ペリレン顔料、ジケトピロロピロール顔料、ペリノン顔料、キノフタロン顔料、アントラキノン顔料、チオインジゴ顔料、ベンツイミダゾロン顔料、アゾ顔料等が挙げられる。これらの有機顔料は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
前記難燃剤としては、例えば、赤リン、リン酸一アンモニウム、リン酸二アンモニウム、リン酸三アンモニウム、ポリリン酸アンモニウム等のリン酸アンモニウム、リン酸アミド等の無機リン化合物;リン酸エステル化合物、ホスホン酸化合物、ホスフィン酸化合物、ホスフィンオキシド化合物、ホスホラン化合物、有機系含窒素リン化合物、9,10-ジヒドロ-9-オキサ-10-ホスファフェナントレン-10-オキシド、10-(2,5―ジヒドロオキシフェニル)-10H-9-オキサ-10-ホスファフェナントレン-10-オキシド、10-(2,7-ジヒドロオキシナフチル)-10H-9-オキサ-10-ホスファフェナントレン-10-オキシド等の環状有機リン化合物、及びそれをエポキシ樹脂やフェノール樹脂等の化合物と反応させた誘導体等の有機リン化合物;トリアジン化合物、シアヌル酸化合物、イソシアヌル酸化合物、フェノチアジン等の窒素系難燃剤;シリコーンオイル、シリコーンゴム、シリコーン樹脂等のシリコーン系難燃剤;金属水酸化物、金属酸化物、金属炭酸塩化合物、金属粉、ホウ素化合物、低融点ガラス等の無機難燃剤などが挙げられる。これらの難燃剤は、単独でも用いることも2種以上を併用することもできる。また、これら難燃剤を用いる場合は、全樹脂組成物中0.1~20質量%の範囲であることが好ましい。
本発明の硬化物は、前記硬化性樹脂組成物に、活性エネルギー線を照射することで得ることができる。前記活性エネルギー線としては、例えば、紫外線、電子線、α線、β線、γ線等の電離放射線が挙げられる。また、前記活性エネルギー線として、紫外線を用いる場合、紫外線による硬化反応を効率よく行う上で、窒素ガス等の不活性ガス雰囲気下で照射してもよく、空気雰囲気下で照射してもよい。
紫外線発生源としては、実用性、経済性の面から紫外線ランプが一般的に用いられている。具体的には、低圧水銀ランプ、高圧水銀ランプ、超高圧水銀ランプ、キセノンランプ、ガリウムランプ、メタルハライドランプ、太陽光、LED等が挙げられる。
前記活性エネルギー線の積算光量は、特に制限されないが、0.1~50kJ/mであることが好ましく、0.5~10kJ/mであることがより好ましい。積算光量が上記範囲であると、未硬化部分の発生の防止又は抑制ができることから好ましい。
なお、前記活性エネルギー線の照射は、一段階で行ってもよいし、二段階以上に分けて行ってもよい。
また、本発明の硬化物は、高い光感度及び優れたアルカリ現像性を有し、伸度及び誘電特性に優れることから、例えば、半導体デバイス用途における、ソルダーレジスト、層間絶縁材料、パッケージ材、アンダーフィル材、回路素子等のパッケージ接着層や、集積回路素子と回路基板の接着層として好適に用いることができる。また、LCD、OELDに代表される薄型ディスプレイ用途における、薄膜トランジスタ保護膜、液晶カラーフィルタ保護膜、カラーフィルタ用顔料レジスト、ブラックマトリックス用レジスト、スペーサー等に好適に用いることができる。これらの中でも、特にソルダーレジスト用途に好適に用いることができる。
本発明のソルダーレジスト用樹脂材料は、前記硬化性樹脂組成物からなるものである。
本発明のレジスト部材は、例えば、前記ソルダーレジスト用樹脂材料を基材上に塗布し、60~100℃程度の温度範囲で有機溶媒を揮発乾燥させた後、所望のパターンが形成されたフォトマスクを通して活性エネルギー線にて露光させ、アルカリ水溶液にて未露光部を現像し、更に140~200℃程度の温度範囲で加熱硬化させて得ることができる。
前記基材としては、例えば、銅、アルミニウム等の金属張積層板などが挙げられる。
以下、実施例と比較例とにより、本発明を具体的に説明する。なお、本発明は、以下に挙げた実施例に限定されるものではない。
(合成例1:エポキシ樹脂(1)の製造)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、トルエン285質量部、レゾルシノール220質量部、パラトルエンスルホン酸2.2質量部を添加し、窒素雰囲気下で115℃に昇温した。1,4-ジビニルベンゼン208質量部を2時間で滴下し、115℃で5時間ホールドした。20質量%水酸化ナトリウム水溶液2.3質量部を添加し、170℃でトルエンを脱溶剤し、フェノール樹脂(1)を得た。このフェノール樹脂(1)の水酸基当量は、108g/当量であった。本発明にて規定するフェノール性水酸基を有する化合物(a1)に相当するレゾルシノール1モルに対して、本発明にて規定する芳香族化合物(a2)に相当する1,4-ジビニルベンゼンのモル数は0.8であった。
次いで、温度計、攪拌器、滴下ロート及び還流冷却器を備えたフラスコに、フェノール樹脂(1)108質量部をエピクロルヒドリン462.5質量部中に溶解した後、攪拌しながら80℃で20質量%水酸化ナトリウム水溶液1,000質量部を5時間かけて滴下し、更に1時間反応を継続した。次いで、分液操作によって水層を棄却し、有機層に存在する過剰のエピクロルヒドリンを蒸留によって回収し反応粗製物を得た。有機層をメチルイソブチルケトン250質量部加えて内容物を均一に溶解させた後、水洗した。次いで、有機層から共沸蒸留により水を除去し、濾過により析出する不溶解物を除去した後、メチルイソブチルケトンを留去して、目的のエポキシ樹脂(1)を得た。このエポキシ樹脂(1)のエポキシ当量は、195g/当量であった。
(合成例2:エポキシ樹脂(2)の製造)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、トルエン233質量部、レゾルシノール220質量部、パラトルエンスルホン酸2.2質量部を添加し、窒素雰囲気下で115℃に昇温した。1,4-ジビニルベンゼン130質量部を2時間で滴下し、115℃で3時間ホールドした。20質量%水酸化ナトリウム水溶液2.3質量部を添加し、170℃でトルエンを脱溶剤し、フェノール樹脂(2)を得た。このフェノール樹脂(2)の水酸基当量は、90g/当量であった。本発明にて規定するフェノール性水酸基を有する化合物(a1)に相当するレゾルシノール1モルに対して、本発明にて規定する芳香族化合物(a2)に相当する1,4-ジビニルベンゼンのモル数は0.5であった。
次いで、温度計、攪拌器、滴下ロート及び還流冷却器を備えたフラスコに、フェノール樹脂(2)90質量部をエピクロルヒドリン462.5質量部中に溶解した後、攪拌しながら80℃で20質量%水酸化ナトリウム水溶液1,000質量部を5時間かけて滴下し、更に1時間反応を継続した。次いで、分液操作によって水層を棄却し、有機層に存在する過剰のエピクロルヒドリンを蒸留によって回収し反応粗製物を得た。有機層をメチルイソブチルケトン250質量部加えて内容物を均一に溶解させた後、水洗した。次いで、有機層から共沸蒸留により水を除去し、濾過により析出する不溶解物を除去した後、メチルイソブチルケトンを留去して、目的のエポキシ樹脂(2)を得た。このエポキシ樹脂(2)のエポキシ当量は、178g/当量であった。
(合成例3:エポキシ樹脂(3)の製造)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、トルエン199質量部、レゾルシノール220質量部、パラトルエンスルホン酸2.2質量部を添加し、窒素雰囲気下で115℃に昇温した。1,4-ジビニルベンゼン78質量部を2時間で滴下し、115℃で3時間ホールドした。20質量%水酸化ナトリウム水溶液2.3質量部を添加し、170℃でトルエンを脱溶剤し、フェノール樹脂(3)を得た。このフェノール樹脂(3)の水酸基当量は、79g/当量であった。本発明にて規定するフェノール性水酸基を有する化合物(a1)に相当するレゾルシノール1モルに対して、本発明にて規定する芳香族化合物(a2)に相当する1,4-ジビニルベンゼンのモル数は0.3であった。
次いで、温度計、攪拌器、滴下ロート及び還流冷却器を備えたフラスコに、フェノール樹脂(3)79質量部をエピクロルヒドリン462.5質量部中に溶解した後、攪拌しながら80℃で20質量%水酸化ナトリウム水溶液1,000質量部を5時間かけて滴下し、更に1時間反応を継続した。次いで、分液操作によって水層を棄却し、有機層に存在する過剰のエピクロルヒドリンを蒸留によって回収し反応粗製物を得た。有機層をメチルイソブチルケトン250質量部加えて内容物を均一に溶解させた後、水洗した。次いで、有機層から共沸蒸留により水を除去し、濾過により析出する不溶解物を除去した後、メチルイソブチルケトンを留去して、目的のエポキシ樹脂(3)を得た。このエポキシ樹脂(3)のエポキシ当量は、164g/当量であった。
(合成例4:エポキシ樹脂(4)の製造)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、トルエン181質量部、レゾルシノール220質量部、パラトルエンスルホン酸2.2質量部を添加し、窒素雰囲気下で115℃に昇温した。1,4-ジビニルベンゼン52質量部を2時間で滴下し、115℃で3時間ホールドした。20質量%水酸化ナトリウム水溶液2.3質量部を添加し、170℃でトルエンを脱溶剤し、フェノール樹脂(4)を得た。このフェノール樹脂(4)の水酸基当量は、72g/当量であった。本発明にて規定するフェノール性水酸基を有する化合物(a1)に相当するレゾルシノール1モルに対して、本発明にて規定する芳香族化合物(a2)に相当する1,4-ジビニルベンゼンのモル数は0.2であった。
次いで、温度計、攪拌器、滴下ロート及び還流冷却器を備えたフラスコに、フェノール樹脂(4)72質量部をエピクロルヒドリン462.5質量部中に溶解した後、攪拌しながら80℃で20質量%水酸化ナトリウム水溶液1,000質量部を5時間かけて滴下し、更に1時間反応を継続した。次いで、分液操作によって水層を棄却し、有機層に存在する過剰のエピクロルヒドリンを蒸留によって回収し反応粗製物を得た。有機層をメチルイソブチルケトン250質量部加えて内容物を均一に溶解させた後、水洗した。次いで、有機層から共沸蒸留により水を除去し、濾過により析出する不溶解物を除去した後、メチルイソブチルケトンを留去して、目的のエポキシ樹脂(4)を得た。このエポキシ樹脂(4)のエポキシ当量は、158g/当量であった。
(合成例5:エポキシ樹脂(5)の製造)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、トルエン320質量部、レゾルシノール220質量部、パラトルエンスルホン酸4.4質量部を添加し、窒素雰囲気下で115℃に昇温した。1,4-ジビニルベンゼン260質量部を3時間で滴下し、115℃で7時間ホールドした。20質量%水酸化ナトリウム水溶液4.6質量部を添加し、170℃でトルエンを脱溶剤し、フェノール樹脂(5)を得た。このフェノール樹脂(5)の水酸基当量は、131g/当量であった。本発明にて規定するフェノール性水酸基を有する化合物(a1)に相当するレゾルシノール1モルに対して、本発明にて規定する芳香族化合物(a2)に相当する1,4-ジビニルベンゼンのモル数は1.0であった。
次いで、温度計、攪拌器、滴下ロート及び還流冷却器を備えたフラスコに、フェノール樹脂(5)131質量部をエピクロルヒドリン462.5質量部中に溶解した後、攪拌しながら80℃で20質量%水酸化ナトリウム水溶液1,000質量部を5時間かけて滴下し、更に1時間反応を継続した。次いで、分液操作によって水層を棄却し、有機層に存在する過剰のエピクロルヒドリンを蒸留によって回収し反応粗製物を得た。有機層をメチルイソブチルケトン250質量部加えて内容物を均一に溶解させた後、水洗した。次いで、有機層から共沸蒸留により水を除去し、濾過により析出する不溶解物を除去した後、メチルイソブチルケトンを留去して、目的のエポキシ樹脂(5)を得た。このエポキシ樹脂(5)のエポキシ当量は、219g/当量であった。
(合成例6:エポキシ樹脂(6)の製造)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、トルエン329質量部、レゾルシノール220質量部、パラトルエンスルホン酸4.4質量部を添加し、窒素雰囲気下で115℃に昇温した。1,4-ジビニルベンゼン273質量部を3時間で滴下し、115℃で7時間ホールドした。20質量%水酸化ナトリウム水溶液4.6質量部を添加し、170℃でトルエンを脱溶剤し、フェノール樹脂(6)を得た。このフェノール樹脂(6)の水酸基当量は、135g/当量であった。本発明にて規定するフェノール性水酸基を有する化合物(a1)に相当するレゾルシノール1モルに対して、本発明にて規定する芳香族化合物(a2)に相当する1,4-ジビニルベンゼンのモル数は1.05であった。
次いで、温度計、攪拌器、滴下ロート及び還流冷却器を備えたフラスコに、フェノール樹脂(6)135質量部をエピクロルヒドリン462.5質量部中に溶解した後、攪拌しながら80℃で20質量%水酸化ナトリウム水溶液1,000質量部を5時間かけて滴下し、更に1時間反応を継続した。次いで、分液操作によって水層を棄却し、有機層に存在する過剰のエピクロルヒドリンを蒸留によって回収し反応粗製物を得た。有機層をメチルイソブチルケトン250質量部加えて内容物を均一に溶解させた後、水洗した。次いで、有機層から共沸蒸留により水を除去し、濾過により析出する不溶解物を除去した後、メチルイソブチルケトンを留去して、目的のエポキシ樹脂(6)を得た。このエポキシ樹脂(6)のエポキシ当量は、223g/当量であった。
(合成例7:エポキシ樹脂(7)の製造)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、トルエン283質量部、オルソクレゾール216質量部、パラトルエンスルホン酸2.2質量部を添加し、窒素雰囲気下で115℃に昇温した。1,4-ジビニルベンゼン208質量部を2時間で滴下し、115℃で5時間ホールドした。20質量%水酸化ナトリウム水溶液2.3質量部を添加し、170℃でトルエンを脱溶剤し、フェノール樹脂(7)を得た。このフェノール樹脂(7)の水酸基当量は、219g/当量であった。本発明にて規定するフェノール性水酸基を有する化合物(a1)に相当するオルソクレゾール1モルに対して、本発明にて規定する芳香族化合物(a2)に相当する1,4-ジビニルベンゼンのモル数は0.8であった。
次いで、温度計、攪拌器、滴下ロート及び還流冷却器を備えたフラスコに、フェノール樹脂(7)219質量部をエピクロルヒドリン462.5質量部中に溶解した後、攪拌しながら80℃で20質量%水酸化ナトリウム水溶液1,000質量部を5時間かけて滴下し、更に1時間反応を継続した。次いで、分液操作によって水層を棄却し、有機層に存在する過剰のエピクロルヒドリンを蒸留によって回収し反応粗製物を得た。有機層をメチルイソブチルケトン250質量部加えて内容物を均一に溶解させた後、水洗した。次いで、有機層から共沸蒸留により水を除去し、濾過により析出する不溶解物を除去した後、メチルイソブチルケトンを留去して、目的のエポキシ樹脂(7)を得た。このエポキシ樹脂(7)のエポキシ当量は、300g/当量であった。
(合成例8:エポキシ樹脂(8)の製造)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、トルエン300質量部、1,6-ジヒドロキシナフタレン320質量部、パラトルエンスルホン酸3.2質量部を添加し、窒素雰囲気下で115℃に昇温した。1,4-ジビニルベンゼン130質量部を2時間で滴下し、115℃で5時間ホールドした。20質量%水酸化ナトリウム水溶液3.4質量部を添加し、170℃でトルエンを脱溶剤し、フェノール樹脂(8)を得た。このフェノール樹脂(8)の水酸基当量は、119g/当量であった。本発明にて規定するフェノール性水酸基を有する化合物(a1)に相当する1,6-ジヒドロキシナフタレン1モルに対して、本発明にて規定する芳香族化合物(a2)に相当する1,4-ジビニルベンゼンのモル数は0.5であった。
次いで、温度計、攪拌器、滴下ロート及び還流冷却器を備えたフラスコに、フェノール樹脂(8)119質量部をエピクロルヒドリン462.5質量部中に溶解した後、攪拌しながら80℃で20質量%水酸化ナトリウム水溶液1,000質量部を5時間かけて滴下し、更に1時間反応を継続した。次いで、分液操作によって水層を棄却し、有機層に存在する過剰のエピクロルヒドリンを蒸留によって回収し反応粗製物を得た。有機層をメチルイソブチルケトン250質量部加えて内容物を均一に溶解させた後、水洗した。次いで、有機層から共沸蒸留により水を除去し、濾過により析出する不溶解物を除去した後、メチルイソブチルケトンを留去して、目的のエポキシ樹脂(8)を得た。このエポキシ樹脂(8)のエポキシ当量は、206g/当量であった。
(合成例9:エポキシ樹脂(9)の製造)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、トルエン285質量部、カテコール220質量部、パラトルエンスルホン酸2.2質量部を添加し、窒素雰囲気下で115℃に昇温した。1,4-ジビニルベンゼン208質量部を2時間で滴下し、115℃で5時間ホールドした。20質量%水酸化ナトリウム水溶液2.3質量部を添加し、170℃でトルエンを脱溶剤し、フェノール樹脂(9)を得た。このフェノール樹脂(9)の水酸基当量は、110g/当量であった。本発明にて規定するフェノール性水酸基を有する化合物(a1)に相当するカテコール1モルに対して、本発明にて規定する芳香族化合物(a2)に相当する1,4-ジビニルベンゼンのモル数は0.8であった。
次いで、温度計、攪拌器、滴下ロート及び還流冷却器を備えたフラスコに、フェノール樹脂(9)110質量部をエピクロルヒドリン462.5質量部中に溶解した後、攪拌しながら80℃で20質量%水酸化ナトリウム水溶液1,000質量部を5時間かけて滴下し、更に1時間反応を継続した。次いで、分液操作によって水層を棄却し、有機層に存在する過剰のエピクロルヒドリンを蒸留によって回収し反応粗製物を得た。有機層をメチルイソブチルケトン250質量部加えて内容物を均一に溶解させた後、水洗した。次いで、有機層から共沸蒸留により水を除去し、濾過により析出する不溶解物を除去した後、メチルイソブチルケトンを留去して、目的のエポキシ樹脂(9)を得た。このエポキシ樹脂(9)のエポキシ当量は、199g/当量であった。
(合成例10:エポキシ樹脂(10)の製造)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、トルエン409質量部、レゾルシノール220質量部、パラトルエンスルホン酸4.4質量部を添加し、窒素雰囲気下で115℃に昇温した。フタル酸ジアリル394質量部を3時間で滴下し、115℃で8時間ホールドした。20質量%水酸化ナトリウム水溶液2.3質量部を添加し、170℃でトルエンを脱溶剤し、フェノール樹脂(10)を得た。このフェノール樹脂(10)の水酸基当量は、161g/当量であった。本発明にて規定するフェノール性水酸基を有する化合物(a1)に相当するレゾルシノール1モルに対して、本発明にて規定する芳香族化合物(a2)に相当するフタル酸ジアリルのモル数は0.8であった。
次いで、温度計、攪拌器、滴下ロート及び還流冷却器を備えたフラスコに、フェノール樹脂(10)161質量部をエピクロルヒドリン462.5質量部中に溶解した後、攪拌しながら80℃で20質量%水酸化ナトリウム水溶液1,000質量部を5時間かけて滴下し、更に1時間反応を継続した。次いで、分液操作によって水層を棄却し、有機層に存在する過剰のエピクロルヒドリンを蒸留によって回収し反応粗製物を得た。有機層をメチルイソブチルケトン250質量部加えて内容物を均一に溶解させた後、水洗した。次いで、有機層から共沸蒸留により水を除去し、濾過により析出する不溶解物を除去した後、メチルイソブチルケトンを留去して、目的のエポキシ樹脂(10)を得た。このエポキシ樹脂(10)のエポキシ当量は、249g/当量であった。
(合成例11:エポキシ樹脂(11)の製造)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、トルエン315質量部、レゾルシノール220質量部、パラトルエンスルホン酸2.2質量部を添加し、窒素雰囲気下で115℃に昇温した。1,4-ジイソプロペニルベンゼン253質量部を2時間で滴下し、115℃で5時間ホールドした。20質量%水酸化ナトリウム水溶液2.3質量部を添加し、170℃でトルエンを脱溶剤し、フェノール樹脂(11)を得た。このフェノール樹脂(11)の水酸基当量は、123g/当量であった。本発明にて規定するフェノール性水酸基を有する化合物(a1)に相当するレゾルシノール1モルに対して、本発明にて規定する芳香族化合物(a2)に相当する1,4-ジイソプロペニルベンゼンのモル数は0.8であった。
次いで、温度計、攪拌器、滴下ロート及び還流冷却器を備えたフラスコに、フェノール樹脂(11)123質量部をエピクロルヒドリン462.5質量部中に溶解した後、攪拌しながら80℃で20質量%水酸化ナトリウム水溶液1,000質量部を5時間かけて滴下し、更に1時間反応を継続した。次いで、分液操作によって水層を棄却し、有機層に存在する過剰のエピクロルヒドリンを蒸留によって回収し反応粗製物を得た。有機層をメチルイソブチルケトン250質量部加えて内容物を均一に溶解させた後、水洗した。次いで、有機層から共沸蒸留により水を除去し、濾過により析出する不溶解物を除去した後、メチルイソブチルケトンを留去して、目的のエポキシ樹脂(11)を得た。このエポキシ樹脂(11)のエポキシ当量は、211g/当量であった。
(実施例1:酸基を有するアクリレート樹脂(1)の調製)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート67質量部を入れ、エポキシ樹脂(1)195質量部を溶解し、ジブチルヒドロキシトルエン0.5質量部、メトキノン0.1質量部加えた後、アクリル酸72質量部、トリフェニルホスフィン1.4質量部を添加し、空気を吹き込みながら120℃で8時間エステル化反応を行なった。その後、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート116質量部、テトラヒドロ無水フタル酸71.4質量部を加え110℃で3時間反応し、酸基を有するアクリレート樹脂(1)を得た。この酸基を有するアクリレート樹脂(1)の不揮発分は65%で、固形分酸価は80mgKOH/gであった。なお、酸価は、JIS K 0070(1992)の中和滴定法に基づいて測定した値である。また、エポキシ樹脂(1)が有するエポキシ基1モルに対して、アクリル酸のモル数は1であり、エポキシ樹脂(1)が有するエポキシ基1モルに対して、テトラヒドロ無水フタル酸のモル数は、0.47であった。
(実施例2:酸基を有するアクリレート樹脂(2)の調製)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート63質量部を入れ、エポキシ樹脂(2)178質量部を溶解し、ジブチルヒドロキシトルエン0.5質量部、メトキノン0.1質量部加えた後、アクリル酸72質量部、トリフェニルホスフィン1.3質量部を添加し、空気を吹き込みながら120℃で8時間エステル化反応を行なった。その後、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート108質量部、テトラヒドロ無水フタル酸66.9質量部を加え110℃で3時間反応し、酸基を有するアクリレート樹脂(2)を得た。この酸基を有するアクリレート樹脂(2)の不揮発分は65%で、固形分酸価は80mgKOH/gであった。また、エポキシ樹脂(2)が有するエポキシ基1モルに対して、アクリル酸のモル数は1であり、エポキシ樹脂(2)が有するエポキシ基1モルに対して、テトラヒドロ無水フタル酸のモル数は、0.44であった。
(実施例3:酸基を有するアクリレート樹脂(3)の調製)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート59質量部を入れ、エポキシ樹脂(3)164質量部を溶解し、ジブチルヒドロキシトルエン0.5質量部、メトキノン0.1質量部加えた後、アクリル酸72質量部、トリフェニルホスフィン1.2質量部を添加し、空気を吹き込みながら120℃で9時間エステル化反応を行なった。その後、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート103質量部、テトラヒドロ無水フタル酸63.8質量部を加え110℃で3時間反応し、酸基を有するアクリレート樹脂(3)を得た。この酸基を有するアクリレート樹脂(3)の不揮発分は65%で、固形分酸価は81mgKOH/gであった。また、エポキシ樹脂(3)が有するエポキシ基1モルに対して、アクリル酸のモル数は1であり、エポキシ樹脂(3)が有するエポキシ基1モルに対して、テトラヒドロ無水フタル酸のモル数は、0.42であった。
(実施例4:酸基を有するアクリレート樹脂(4)の調製)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート58質量部を入れ、エポキシ樹脂(4)158質量部を溶解し、ジブチルヒドロキシトルエン0.5質量部、メトキノン0.1質量部加えた後、アクリル酸72質量部、トリフェニルホスフィン1.2質量部を添加し、空気を吹き込みながら120℃で10時間エステル化反応を行なった。その後、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート100質量部、テトラヒドロ無水フタル酸62.3質量部を加え110℃で3時間反応し、酸基を有するアクリレート樹脂(4)を得た。この酸基を有するアクリレート樹脂(4)の不揮発分は65%で、固形分酸価は81mgKOH/gであった。また、エポキシ樹脂(4)が有するエポキシ基1モルに対して、アクリル酸のモル数は1であり、エポキシ樹脂(4)が有するエポキシ基1モルに対して、テトラヒドロ無水フタル酸のモル数は、0.41であった。
(実施例5:酸基を有するアクリレート樹脂(5)の調製)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート73質量部を入れ、エポキシ樹脂(5)219質量部を溶解し、ジブチルヒドロキシトルエン0.6質量部、メトキノン0.1質量部加えた後、アクリル酸72質量部、トリフェニルホスフィン1.5質量部を添加し、空気を吹き込みながら120℃で7時間エステル化反応を行なった。その後、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート126質量部、テトラヒドロ無水フタル酸77.5質量部を加え110℃で3時間反応し、酸基を有するアクリレート樹脂(5)を得た。この酸基を有するアクリレート樹脂(5)の不揮発分は65%で、固形分酸価は80mgKOH/gであった。また、エポキシ樹脂(5)が有するエポキシ基1モルに対して、アクリル酸のモル数は1であり、エポキシ樹脂(5)が有するエポキシ基1モルに対して、テトラヒドロ無水フタル酸のモル数は、0.51であった。
(実施例6:酸基を有するアクリレート樹脂(6)の調製)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート74質量部を入れ、エポキシ樹脂(6)223質量部を溶解し、ジブチルヒドロキシトルエン0.6質量部、メトキノン0.1質量部加えた後、アクリル酸72質量部、トリフェニルホスフィン1.5質量部を添加し、空気を吹き込みながら120℃で7時間エステル化反応を行なった。その後、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート128質量部、テトラヒドロ無水フタル酸79質量部を加え110℃で3時間反応し、酸基を有するアクリレート樹脂(6)を得た。この酸基を有するアクリレート樹脂(6)の不揮発分は65%で、固形分酸価は81mgKOH/gであった。また、エポキシ樹脂(6)が有するエポキシ基1モルに対して、アクリル酸のモル数は1であり、エポキシ樹脂(6)が有するエポキシ基1モルに対して、テトラヒドロ無水フタル酸のモル数は、0.52であった。
(実施例7:酸基を有するアクリレート樹脂(7)の調製)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート93質量部を入れ、エポキシ樹脂(7)300質量部を溶解し、ジブチルヒドロキシトルエン0.7質量部、メトキノン0.2質量部加えた後、アクリル酸72質量部、トリフェニルホスフィン1.9質量部を添加し、空気を吹き込みながら120℃で7時間エステル化反応を行なった。その後、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート161質量部、テトラヒドロ無水フタル酸99質量部を加え110℃で3時間反応し、酸基を有するアクリレート樹脂(7)を得た。この酸基を有するアクリレート樹脂(7)の不揮発分は65%で、固形分酸価は80mgKOH/gであった。また、エポキシ樹脂(7)が有するエポキシ基1モルに対して、アクリル酸のモル数は1であり、エポキシ樹脂(7)が有するエポキシ基1モルに対して、テトラヒドロ無水フタル酸のモル数は、0.65であった。
(実施例8:酸基を有するアクリレート樹脂(8)の調製)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート70質量部を入れ、エポキシ樹脂(8)206質量部を溶解し、ジブチルヒドロキシトルエン0.6質量部、メトキノン0.1質量部加えた後、アクリル酸72質量部、トリフェニルホスフィン1.4質量部を添加し、空気を吹き込みながら120℃で7時間エステル化反応を行なった。その後、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート120質量部、テトラヒドロ無水フタル酸74.5質量部を加え110℃で3時間反応し、酸基を有するアクリレート樹脂(8)を得た。この酸基を有するアクリレート樹脂(8)の不揮発分は65%で、固形分酸価は80mgKOH/gであった。また、エポキシ樹脂(8)が有するエポキシ基1モルに対して、アクリル酸のモル数は1であり、エポキシ樹脂(8)が有するエポキシ基1モルに対して、テトラヒドロ無水フタル酸のモル数は、0.49であった。
(実施例9:酸基を有するアクリレート樹脂(9)の調製)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート68質量部を入れ、エポキシ樹脂(9)199質量部を溶解し、ジブチルヒドロキシトルエン0.5質量部、メトキノン0.1質量部加えた後、アクリル酸72質量部、トリフェニルホスフィン1.4質量部を添加し、空気を吹き込みながら120℃で8時間エステル化反応を行なった。その後、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート118質量部、テトラヒドロ無水フタル酸73質量部を加え110℃で3時間反応し、酸基を有するアクリレート樹脂(9)を得た。この酸基を有するアクリレート樹脂(9)の不揮発分は65%で、固形分酸価は81mgKOH/gであった。また、エポキシ樹脂(9)が有するエポキシ基1モルに対して、アクリル酸のモル数は1であり、エポキシ樹脂(9)が有するエポキシ基1モルに対して、テトラヒドロ無水フタル酸のモル数は、0.48であった。
(実施例10:酸基を有するアクリレート樹脂(10)の調製)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート80質量部を入れ、エポキシ樹脂(10)249質量部を溶解し、ジブチルヒドロキシトルエン0.6質量部、メトキノン0.2質量部加えた後、アクリル酸72質量部、トリフェニルホスフィン1.6質量部を添加し、空気を吹き込みながら120℃で7時間エステル化反応を行なった。その後、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート139質量部、テトラヒドロ無水フタル酸86.6質量部を加え110℃で3時間反応し、酸基を有するアクリレート樹脂(10)を得た。この酸基を有するアクリレート樹脂(10)の不揮発分は65%で、固形分酸価は81mgKOH/gであった。また、エポキシ樹脂(10)が有するエポキシ基1モルに対して、アクリル酸のモル数は1であり、エポキシ樹脂(10)が有するエポキシ基1モルに対して、テトラヒドロ無水フタル酸のモル数は、0.57であった。
(実施例11:酸基を有するアクリレート樹脂(11)の調製)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート71質量部を入れ、エポキシ樹脂(11)211質量部を溶解し、ジブチルヒドロキシトルエン0.6質量部、メトキノン0.1質量部加えた後、アクリル酸72質量部、トリフェニルホスフィン1.4質量部を添加し、空気を吹き込みながら120℃で8時間エステル化反応を行なった。その後、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート123質量部、テトラヒドロ無水フタル酸76質量部を加え110℃で3時間反応し、酸基を有するアクリレート樹脂(11)を得た。この酸基を有するアクリレート樹脂(11)の不揮発分は65%で、固形分酸価は80mgKOH/gであった。また、エポキシ樹脂(11)が有するエポキシ基1モルに対して、アクリル酸のモル数は1であり、エポキシ樹脂(11)が有するエポキシ基1モルに対して、テトラヒドロ無水フタル酸のモル数は、0.5であった。
(実施例12:酸基を有するアクリレート樹脂(12)の調製)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート65質量部を入れ、エポキシ樹脂(1)195質量部を溶解し、ジブチルヒドロキシトルエン0.5質量部、メトキノン0.1質量部加えた後、アクリル酸63.4質量部、トリフェニルホスフィン1.3質量部を添加し、空気を吹き込みながら100℃で10時間エステル化反応を行なった。その後、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート119質量部、テトラヒドロ無水フタル酸82質量部を加え100℃で3時間反応し、酸基を有するアクリレート樹脂(12)を得た。この酸基を有するアクリレート樹脂(12)の不揮発分は65%で、固形分酸価は78mgKOH/gであった。また、エポキシ樹脂(1)が有するエポキシ基1モルに対して、アクリル酸のモル数は0.89であり、エポキシ樹脂(1)が有するエポキシ基1モルに対して、テトラヒドロ無水フタル酸のモル数は、0.54であった。
(実施例13:酸基を有するアクリレート樹脂(13)の調製)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート66質量部を入れ、エポキシ樹脂(1)195質量部を溶解し、ジブチルヒドロキシトルエン0.5質量部、メトキノン0.1質量部加えた後、アクリル酸68.4質量部、トリフェニルホスフィン1.3質量部を添加し、空気を吹き込みながら110℃で8時間エステル化反応を行なった。その後、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート119質量部、テトラヒドロ無水フタル酸79質量部を加え100℃で3時間反応し、酸基を有するアクリレート樹脂(13)を得た。この酸基を有するアクリレート樹脂(13)の不揮発分は65%で、固形分酸価は80mgKOH/gであった。また、エポキシ樹脂(1)が有するエポキシ基1モルに対して、アクリル酸のモル数は0.95であり、エポキシ樹脂(1)が有するエポキシ基1モルに対して、テトラヒドロ無水フタル酸のモル数は、0.52であった。
(実施例14:酸基を有するアクリレート樹脂(14)の調製)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート68質量部を入れ、エポキシ樹脂(1)195質量部を溶解し、ジブチルヒドロキシトルエン0.5質量部、メトキノン0.1質量部加えた後、アクリル酸75.6質量部、トリフェニルホスフィン1.4質量部を添加し、空気を吹き込みながら120℃で8時間エステル化反応を行なった。その後、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート113質量部、テトラヒドロ無水フタル酸65質量部を加え110℃で3時間反応し、酸基を有するアクリレート樹脂(14)を得た。この酸基を有するアクリレート樹脂(14)の不揮発分は65%で、固形分酸価は79mgKOH/gであった。また、エポキシ樹脂(1)が有するエポキシ基1モルに対して、アクリル酸のモル数は1.05であり、エポキシ樹脂(1)が有するエポキシ基1モルに対して、テトラヒドロ無水フタル酸のモル数は、0.43であった。
(実施例15:酸基を有するアクリレート樹脂(15)の調製)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート69質量部を入れ、エポキシ樹脂(1)195質量部を溶解し、ジブチルヒドロキシトルエン0.6質量部、メトキノン0.1質量部加えた後、アクリル酸79.9質量部、トリフェニルホスフィン1.4質量部を添加し、空気を吹き込みながら120℃で8時間エステル化反応を行なった。その後、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート112質量部、テトラヒドロ無水フタル酸61質量部を加え110℃で3時間反応し、酸基を有するアクリレート樹脂(15)を得た。この酸基を有するアクリレート樹脂(15)の不揮発分は65%で、固形分酸価は78mgKOH/gであった。また、エポキシ樹脂(1)が有するエポキシ基1モルに対して、アクリル酸のモル数は1.11であり、エポキシ樹脂(1)が有するエポキシ基1モルに対して、テトラヒドロ無水フタル酸のモル数は、0.4であった。
(実施例16:酸基を有するアクリレート樹脂(16)の調製)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート67質量部を入れ、エポキシ樹脂(1)195質量部を溶解し、ジブチルヒドロキシトルエン0.5質量部、メトキノン0.1質量部加えた後、アクリル酸72質量部、トリフェニルホスフィン1.3質量部を添加し、空気を吹き込みながら120℃で8時間エステル化反応を行なった。その後、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート98質量部、テトラヒドロ無水フタル酸39.5質量部を加え110℃で3時間反応し、酸基を有するアクリレート樹脂(16)を得た。この酸基を有するアクリレート樹脂(16)の不揮発分は65%で、固形分酸価は50mgKOH/gであった。また、エポキシ樹脂(1)が有するエポキシ基1モルに対して、アクリル酸のモル数は1であり、エポキシ樹脂(1)が有するエポキシ基1モルに対して、テトラヒドロ無水フタル酸のモル数は、0.26であった。
(実施例17:酸基を有するアクリレート樹脂(17)の調製)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート67質量部を入れ、エポキシ樹脂(1)195質量部を溶解し、ジブチルヒドロキシトルエン0.5質量部、メトキノン0.1質量部加えた後、アクリル酸72質量部、トリフェニルホスフィン1.3質量部を添加し、空気を吹き込みながら120℃で8時間エステル化反応を行なった。その後、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート96質量部、テトラヒドロ無水フタル35質量部を加え110℃で3時間反応し、酸基を有するアクリレート樹脂(17)を得た。この酸基を有するアクリレート樹脂(17)の不揮発分は65%で、固形分酸価は44mgKOH/gであった。また、エポキシ樹脂(1)が有するエポキシ基1モルに対して、アクリル酸のモル数は1であり、エポキシ樹脂(1)が有するエポキシ基1モルに対して、テトラヒドロ無水フタル酸のモル数は、0.23であった。
(実施例18:酸基を有するアクリレート樹脂(18)の調製)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート67質量部を入れ、エポキシ樹脂(1)195質量部を溶解し、ジブチルヒドロキシトルエン0.5質量部、メトキノン0.1質量部加えた後、アクリル酸72質量部、トリフェニルホスフィン1.3質量部を添加し、空気を吹き込みながら120℃で8時間エステル化反応を行なった。その後、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート159質量部、テトラヒドロ無水フタル酸152質量部を加え110℃で5時間反応し、酸基を有するアクリレート樹脂(18)を得た。この酸基を有するアクリレート樹脂(18)の不揮発分は65%で、固形分酸価は137mgKOH/gであった。また、エポキシ樹脂(1)が有するエポキシ基1モルに対して、アクリル酸のモル数は1であり、エポキシ樹脂(1)が有するエポキシ基1モルに対して、テトラヒドロ無水フタル酸のモル数は、1であった。
(実施例19:酸基を有するアクリレート樹脂(19)の調製)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート67質量部を入れ、エポキシ樹脂(1)195質量部を溶解し、ジブチルヒドロキシトルエン0.5質量部、メトキノン0.1質量部加えた後、アクリル酸72質量部、トリフェニルホスフィン1.3質量部を添加し、空気を吹き込みながら120℃で8時間エステル化反応を行なった。その後、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート161質量部、テトラヒドロ無水フタル酸156.6質量部を加え110℃で6時間反応し、酸基を有するアクリレート樹脂(19)を得た。この酸基を有するアクリレート樹脂(19)の不揮発分は65%で、固形分酸価は141mgKOH/gであった。また、エポキシ樹脂(1)が有するエポキシ基1モルに対して、アクリル酸のモル数は1であり、エポキシ樹脂(1)が有するエポキシ基1モルに対して、テトラヒドロ無水フタル酸のモル数は、1.03であった。
(実施例20:酸基を有するアクリレート樹脂(20)の調製)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート67質量部を入れ、エポキシ樹脂(1)195質量部を溶解し、ジブチルヒドロキシトルエン0.5質量部、メトキノン0.1質量部加えた後、アクリル酸72質量部、トリフェニルホスフィン1.3質量部を添加し、空気を吹き込みながら120℃で8時間エステル化反応を行なった。その後、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート100質量部、無水コハク酸43質量部を加え110℃で3時間反応し、酸基を有するアクリレート樹脂(20)を得た。この酸基を有するアクリレート樹脂(20)の不揮発分は65%で、固形分酸価は80mgKOH/gであった。また、エポキシ樹脂(1)が有するエポキシ基1モルに対して、アクリル酸のモル数は1であり、エポキシ樹脂(1)が有するエポキシ基1モルに対して、無水コハク酸のモル数は、0.43であった。
(実施例21:酸基を有するアクリレート樹脂(21)の調製)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート70質量部を入れ、エポキシ樹脂(1)195質量部を溶解し、ジブチルヒドロキシトルエン0.6質量部、メトキノン0.1質量部加えた後、メタクリル酸86質量部、トリフェニルホスフィン1.4質量部を添加し、空気を吹き込みながら120℃で7時間エステル化反応を行なった。その後、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート122質量部、テトラヒドロ無水フタル酸76質量部を加え110℃で3時間反応し、酸基を有するアクリレート樹脂(21)を得た。この酸基を有するアクリレート樹脂(21)の不揮発分は65%で、固形分酸価は81mgKOH/gであった。また、エポキシ樹脂(1)が有するエポキシ基1モルに対して、メタクリル酸のモル数は1であり、エポキシ樹脂(1)が有するエポキシ基1モルに対して、テトラヒドロ無水フタル酸のモル数は、0.5であった。
(比較例1:酸基を有するアクリレート樹脂(R1)の調製)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート101質量部を入れ、オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(DIC株式会社製「EPICLON N-680」、エポキシ当量:214g/eq)428質量部を溶解し、ジブチルヒドロキシトルエン4質量部、メトキノン0.4質量部加えた後、アクリル酸144質量部、トリフェニルホスフィン1.6質量部を添加し、空気を吹き込みながら120℃で10時間エステル化反応を行なった。その後、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート311質量部、テトラヒドロ無水フタル酸160質量部を加え110℃で2.5時間反応し、酸基を有するアクリレート樹脂(R1)を得た。この酸基を有するアクリレート樹脂(R1)の固形分酸価は85mgKOH/gであった。
(実施例22:硬化性樹脂組成物(1)の調製)
実施例1で得た不揮発分65質量%の酸基を有するアクリレート樹脂(1)100質量部と、硬化剤としてオルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(DIC株式会社製「EPICLON N-680」、エポキシ当量:214)26.2質量部と、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート14.1質量部と、光重合性開始剤(IGM Resins社製「Omnirad 907」)3.5質量部と、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート7.0質量部と、2-エチル-4-メチル-イミダゾール0.5質量部と、フタロシアニングリーン0.7質量部とを混合し、硬化性樹脂組成物(1)を得た。
(実施例23~43:硬化性樹脂組成物(2)~(22)の調製)
実施例22で用いた酸基を有するアクリレート樹脂(1)の代わりに、実施例2~21で得た不揮発分65質量%酸基を有するアクリレート樹脂(2)~(21)を表1及び2に示した配合量で用いた以外は、実施例22と同様にして、硬化性樹脂組成物(2)~(22)を得た。
(比較例2:硬化性樹脂組成物(R1)の調製)
比較例1で得た不揮発分65質量%の酸基を有するアクリレート樹脂(R1)100質量部と、硬化剤としてオルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(DIC株式会社製「EPICLON N-680」、エポキシ当量:214)24.9質量部と、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート13.4質量部と、光重合性開始剤(IGM Resins社製「Omnirad 907」)3.2質量部と、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート6.4質量部と、2-エチル-4-メチル-イミダゾール0.5質量部と、フタロシアニングリーン0.7質量部とを混合し、硬化性樹脂組成物(R1)を得た。
上記の実施例及び比較例で得られた硬化性樹脂組成物(1)~(22)、及び(R1)を用いて、下記の評価を行った。
[光感度の評価方法]
各実施例及び比較例で得られた硬化性樹脂組成物を、アプリケーターを用いてガラス基材上に膜厚50μmとなるように塗布した後、80℃でそれぞれ30分間乾燥させた。次いで、コダック社製のステップタブレットNo.2を介し、メタルハライドランプを用いて10kJ/mの紫外線を照射した。これを1質量%の炭酸ナトリウム水溶液で180秒現像し、残存した段数を下記の基準に従い評価した。なお、残存段数が多いほど光感度が高い。
A:残存した段数が11段以上であった。
B:残存した段数が9段以上11段未満であった。
C:残存した段数が7段以上9段未満であった。
D:残存した段数が6段以上7段未満であった。
E:残存した段数が6段未満であった。
[アルカリ現像性の評価方法]
各実施例及び比較例で得られた硬化性樹脂組成物を、アプリケーターを用いてガラス基材上に膜厚50μmとなるように塗布した後、80℃でそれぞれ40分間、50分間、60分間、70分間、80分間、90分間、100分間、110分間乾燥させ、乾燥時間が異なるサンプルを作成した。これらを1%炭酸ナトリウム水溶液で30℃180秒間現像し、基板上に残渣が残らなかったサンプルの80℃での乾燥時間を乾燥管理幅として下記の基準に従い評価した。なお、乾燥管理幅が長いほどアルカリ現像性が優れていることを示す。
A:乾燥管理幅が90分以上であった。
B:乾燥管理幅が70分以上90分未満であった。
C:乾燥管理幅が50分以上70分未満であった。
D:乾燥管理幅が40分以上50分未満であった。
E:乾燥管理幅が40分未満であった。
実施例22~43で作製した硬化性樹脂組成物(1)~(22)、及び比較例2で作製した硬化性樹脂組成物(R1)の組成及び評価結果を表1及び2に示す。
Figure 2022067270000008
Figure 2022067270000009
(実施例44:硬化性樹脂組成物(23)の調製)
実施例1で得た酸基を有するアクリレート樹脂(1)100質量部と、硬化剤としてオルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(DIC株式会社製「EPICLON N-680」、エポキシ当量:214)26.2質量部と、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート14.1質量部と、光重合性開始剤(IGM Resins社製「Omnirad 907」)3.5質量部とを混合し、硬化性樹脂組成物(23)を得た。
(実施例45~65:硬化性樹脂組成物(24)~(44)の調製)
実施例44で用いた酸基を有するアクリレート樹脂(1)の代わりに、実施例2~21で得た酸基を有するアクリレート樹脂(2)~(21)を表3及び4に示した配合量で用いた以外は、実施例44と同様にして、硬化性樹脂組成物(24)~(44)を得た。
(比較例3:硬化性樹脂組成物(R2)の調製)
比較例1で得た酸基を有するアクリレート樹脂(R1)100質量部と、硬化剤としてオルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(DIC株式会社製「EPICLON N-680」、エポキシ当量:214)24.9質量部と、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート13.4質量部と、光重合性開始剤(IGM Resins社製「Omnirad 907」)3.2質量部とを混合し、硬化性樹脂組成物(R2)を得た。
上記の実施例及び比較例で得られた硬化性樹脂組成物(23)~(44)、及び(R2)を用いて、下記の評価を行った。
[伸度の測定方法]
伸度の測定は、引張試験に基づいて行った。
<試験片1の作製>
銅箔(古河産業株式会社製、電解銅箔「F2-WS」18μm)上に実施例及び比較例で得られた硬化性樹脂組成物を50μmのアプリケーターで塗布し、メタルハライドランプを用いて10kJ/mの紫外線を照射した後、160℃で1時間加熱した。銅箔から硬化物を剥離し、試験片1(硬化物)を得た。
<引張試験>
前記試験片1を10mm×80mmの大きさに切り出し、株式会社島津製作所製精密万能試験機オートグラフ「AG-IS」を用いて、下記の測定条件で試験片1の引張試験を行った。試験片が破断するまでの伸度(%)を測定し、以下の基準に従い評価した。
測定条件:温度23℃、湿度50%、標線間距離20mm、支点間距離20mm、引張速度10mm/分
A:伸度が3.9%以上であった。
B:伸度が3.6%以上3.9%未満であった。
C:伸度が3.3%以上3.6%未満であった。
D:伸度が3.0%以上3.3%未満であった。
E:伸度が3.0%未満であった。
[誘電率の測定方法]
各実施例及び比較例で得られた硬化性樹脂組成物を、アプリケーターを用いてガラス基材上に膜厚50μmとなるように塗布し、80℃で30分乾燥させた。次いで、メタルハライドランプを用いて10kJ/mの紫外線を照射した後、160℃で1時間加熱して、硬化塗膜を得た。次いで、前記硬化塗膜をガラス基材から剥離し、硬化物を得た。次いで、温度23℃、湿度50%の室内に24時間保管したものを試験片とし、アジレント・テクノロジー株式会社製「ネットワークアナライザE8362C」を用いて、空洞共振法により試験片の1GHzでの誘電率を測定し、下記の基準に従い評価した。
A:誘電率が2.3%以下であった。
B:誘電率が2.3%超2.44以下であった。
C:誘電率が2.44%超2.58%以下であった。
D:誘電率が2.58%超2.72%以下であった。
E:誘電率が2.72%超であった。
[誘電正接の測定方法]
各実施例及び比較例で得られた硬化性樹脂組成物を、アプリケーターを用いてガラス基材上に膜厚50μmとなるように塗布し、80℃で30分乾燥させた。次いで、メタルハライドランプを用いて10kJ/mの紫外線を照射した後、160℃で1時間加熱して、硬化塗膜を得た。次いで、前記硬化塗膜をガラス基材から剥離し、硬化物を得た。次いで、温度23℃、湿度50%の室内に24時間保管したものを試験片とし、アジレント・テクノロジー株式会社製「ネットワークアナライザE8362C」を用いて、空洞共振法により試験片の1GHzでの誘電正接を測定しし、下記の基準に従い評価した。
A:誘電正接が0.02以下であった。
B:誘電正接が0.02超0.022以下であった。
C:誘電正接が0.022超0.024以下であった。
D:誘電正接が0.024超0.026以下であった。
E:誘電正接が0.026超であった。
実施例5及び6で作製した硬化性樹脂組成物(3)及び(4)、並びに比較例3で作製した硬化性樹脂組成物(R2)の組成及び評価結果を表2に示す。
Figure 2022067270000010
Figure 2022067270000011
なお、表1~4における酸基を有するアクリレート樹脂の質量部の記載は、固形分値である。
表1及び2中の「硬化剤」は、オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(DIC株式会社製「EPICLON N-680」)を示す。
表1及び2中の「有機溶剤」は、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテートを示す。
表1及び2中の「光重合開始剤」は、IGM Resins社製「Omnirad 907」を示す。
表1及び2に示した実施例22~43は、本発明の酸基を有するアクリレート樹脂を用いた硬化性樹脂組成物の例である。これらの硬化性樹脂組成物の硬化物は、高い感度及び優れたアルカリ現像性を有することが確認できた。
また、表3及び4に示した実施例44~65は、本発明の酸基を有するアクリレート樹脂を用いた硬化性樹脂組成物の例である。これらの硬化性樹脂組成物の硬化物は、優れた伸度及び誘電特性を有することが確認できた。
一方、比較例2は、エチレン性不飽和結合を少なくとも2つ有する芳香族化合物(a2)を原料に用いないエポキシ樹脂を用いた酸基を有する(メタ)アクリレート樹脂を含有する硬化性樹脂組成物の例である。この硬化性樹脂組成物は、光感度、アルカリ現像性ともに不十分であることが確認できた。
また、比較例3は、比較例2同様にエチレン性不飽和結合を少なくとも2つ有する芳香族化合物(a2)を原料に用いないエポキシ樹脂を用いた酸基を有する(メタ)アクリレート樹脂を含有する硬化性樹脂組成物の例である。この硬化性樹脂組成物は、伸度が不十分であり、また、誘電率が高く誘電特性においても不十分であることが確認できた。

Claims (10)

  1. エポキシ樹脂(A)と、
    不飽和一塩基酸(B)と、
    多塩基酸無水物(C)とを必須原料とする酸基を有する(メタ)アクリレート樹脂であって、
    前記エポキシ樹脂(A)が、フェノール性水酸基を有する化合物(a1)、エチレン性不飽和結合を少なくとも2つ有する芳香族化合物(a2)及びエピハロヒドリン(a3)を必須原料とするものであることを特徴とする酸基を有する(メタ)アクリレート樹脂。
  2. 前記芳香族化合物(a2)の使用量が、前記フェノール性水酸基を有する化合物(a1)1モルに対して、0.25~1モルの範囲である請求項1記載の酸基を有する(メタ)アクリレート樹脂。
  3. 前記芳香族化合物(a2)が、ジビニルベンゼン及び/又はジイソプロペニルベンゼンである請求項1又は2記載の酸基を有する(メタ)アクリレート樹脂。
  4. 前記不飽和一塩基酸(B)の使用量が、前記不飽和一塩基酸(B)の有する酸基を基準として、前記エポキシ樹脂(A)が有するエポキシ基1モルに対して、0.9~1.1モルの範囲である請求項1~3の何れか1項記載の酸基を有する(メタ)アクリレート樹脂。
  5. 前記多塩基酸無水物(C)の使用量が、前記エポキシ樹脂(A)が有するエポキシ基1モルに対して、0.45~1モルの範囲である請求項1~4の何れか1項記載の酸基を有する(メタ)アクリレート樹脂。
  6. 請求項1~5の何れか1項記載の酸基を有する(メタ)アクリレート樹脂と、光重合開始剤とを含有することを特徴とする硬化性樹脂組成物。
  7. さらに、前記酸基を有する(メタ)アクリレート樹脂以外の酸基及び重合性不飽和基を有する樹脂を含有する請求項6記載の硬化性樹脂組成物。
  8. 請求項6又は7記載の硬化性樹脂組成物の硬化物。
  9. 請求項8記載の硬化物からなることを特徴とする絶縁材料。
  10. 請求項8記載の硬化物からなることを特徴とするレジスト部材。
JP2020175894A 2020-10-20 2020-10-20 酸基を有する(メタ)アクリレート樹脂、硬化性樹脂組成物、硬化物、絶縁材料及びレジスト部材 Active JP7567351B2 (ja)

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