JP2022064934A - スリットバルブゲート被覆及びスリットバルブゲートの洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
Description
また、本願は以下に記載する態様を含む。
(態様1)
処理チャンバの開口部を密閉するように構成されたスリットバルブゲートであって、前記処理チャンバの処理空間領域に面した表面を備えるスリットバルブゲートと、
前記スリットバルブゲートの前記表面上に形成された非多孔性陽極酸化被覆と
を備える、処理チャンバ内で使用されるスリットバルブ。
(態様2)
前記非多孔性陽極酸化被覆は約400ナノメートルから約1400ナノメートルまでの厚みを有する、態様1に記載のスリットバルブ。
(態様3)
前記非多孔性陽極酸化被覆は約800ナノメートルから約1200ナノメートルまでの厚みを有する、態様1に記載のスリットバルブ。
(態様4)
前記非多孔性陽極酸化被覆は約400ナノメートルから約500ナノメートルまでの厚みを有する、態様1に記載のスリットバルブ。
(態様5)
前記非多孔性陽極酸化被覆はアモルファス酸化アルミニウム被覆である、態様1から4のいずれか一項に記載のスリットバルブ。
(態様6)
前記スリットバルブの前記表面はアルミニウムから作られる、態様1から4のいずれか一項に記載のスリットバルブ。
(態様7)
前記スリットバルブゲートが閉鎖位置にあるとき、前記処理チャンバの前記開口部の周囲での密閉の形成を促進するため、前記スリットバルブゲートの前記表面の中又は上に配置されるガスケットを更に備える、態様1から4のいずれか一項に記載のスリットバルブ。
(態様8)
処理空間領域を備える処理チャンバと、
前記処理空間領域へのアクセスをもたらす前記処理チャンバの側壁の開口部と、
前記開口部を密閉するように構成されたスリットバルブゲートであって、態様1から7のいずれか一項に記載のスリットバルブゲートと
を備える、基板を処理するための装置。
(態様9)
処理チャンバの処理空間領域を密閉するためのスリットバルブゲートの洗浄方法であって、
脱イオン水を含むタンクにスリットバルブゲートを沈浸することと、
前記スリットバルブゲートを約6W/cm 2 から約15W/cm 2 までの第1の電力密度と約25kHzから約40kHzまでの周波数で第1の期間だけ超音波処理することと、
前記スリットバルブゲートを約30W/cm 2 から約45W/cm 2 までの第2の電力密度と約25kHzから約40kHzまでの周波数で第2の期間だけ超音波処理することと、
前記スリットバルブゲートを前記タンクから取り出すことと
を含む洗浄方法。
(態様10)
前記第2の期間は前記第1の期間より短い、態様9に記載の方法。
(態様11)
前記第1の期間は約15分間から約45分間までである、態様9に記載の方法。
(態様12)
前記第2の期間は約数十秒間から約数十分間までである、態様11に記載の方法。
(態様13)
前記スリットバルブゲートは、処理空間領域に面した前記スリットバルブゲートの表面に配置される非多孔性陽極酸化被覆を含む、態様9から12のいずれか一項に記載の方法。
(態様14)
前記スリットバルブゲートは、前記第1の電力密度と前記第2の電力密度で交互に繰り返し超音波処理される、態様9から12のいずれか一項に記載の方法。
(態様15)
所定のサイクル数だけ、所定の時間だけ、或いは、前記スリットバルブゲートが十分に洗浄されたと判断されるまで、前記第1の電力密度及び前記第2の電力密度で、交互に繰り返し超音波処理されるよう継続することを更に含む、態様9から12のいずれか一項に記載の方法。
Claims (15)
- 処理チャンバの開口部を密閉するように構成されたスリットバルブゲートであって、前記処理チャンバの処理空間領域に面した表面を備えるスリットバルブゲートと、
前記スリットバルブゲートの前記表面上に形成された非多孔性陽極酸化被覆と
を備える、処理チャンバ内で使用されるスリットバルブ。 - 前記非多孔性陽極酸化被覆は約400ナノメートルから約1400ナノメートルまでの厚みを有する、請求項1に記載のスリットバルブ。
- 前記非多孔性陽極酸化被覆は約800ナノメートルから約1200ナノメートルまでの厚みを有する、請求項1に記載のスリットバルブ。
- 前記非多孔性陽極酸化被覆は約400ナノメートルから約500ナノメートルまでの厚みを有する、請求項1に記載のスリットバルブ。
- 前記非多孔性陽極酸化被覆はアモルファス酸化アルミニウム被覆である、請求項1から4のいずれか一項に記載のスリットバルブ。
- 前記スリットバルブの前記表面はアルミニウムから作られる、請求項1から4のいずれか一項に記載のスリットバルブ。
- 前記スリットバルブゲートが閉鎖位置にあるとき、前記処理チャンバの前記開口部の周囲での密閉の形成を促進するため、前記スリットバルブゲートの前記表面の中又は上に配置されるガスケットを更に備える、請求項1から4のいずれか一項に記載のスリットバルブ。
- 処理空間領域を備える処理チャンバと、
前記処理空間領域へのアクセスをもたらす前記処理チャンバの側壁の開口部と、
前記開口部を密閉するように構成されたスリットバルブゲートであって、請求項1から7のいずれか一項に記載のスリットバルブゲートと
を備える、基板を処理するための装置。 - 処理チャンバの処理空間領域を密閉するためのスリットバルブゲートの洗浄方法であって、
脱イオン水を含むタンクにスリットバルブゲートを沈浸することと、
前記スリットバルブゲートを約6W/cm2から約15W/cm2までの第1の電力密度と約25kHzから約40kHzまでの周波数で第1の期間だけ超音波処理することと、
前記スリットバルブゲートを約30W/cm2から約45W/cm2までの第2の電力密度と約25kHzから約40kHzまでの周波数で第2の期間だけ超音波処理することと、
前記スリットバルブゲートを前記タンクから取り出すことと
を含む洗浄方法。 - 前記第2の期間は前記第1の期間より短い、請求項9に記載の方法。
- 前記第1の期間は約15分間から約45分間までである、請求項9に記載の方法。
- 前記第2の期間は約数十秒間から約数十分間までである、請求項11に記載の方法。
- 前記スリットバルブゲートは、処理空間領域に面した前記スリットバルブゲートの表面に配置される非多孔性陽極酸化被覆を含む、請求項9から12のいずれか一項に記載の方法。
- 前記スリットバルブゲートは、前記第1の電力密度と前記第2の電力密度で交互に繰り返し超音波処理される、請求項9から12のいずれか一項に記載の方法。
- 所定のサイクル数だけ、所定の時間だけ、或いは、前記スリットバルブゲートが十分に洗浄されたと判断されるまで、前記第1の電力密度及び前記第2の電力密度で、交互に繰り返し超音波処理されるよう継続することを更に含む、請求項9から12のいずれか一項に記載の方法。
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