JP2022064518A - 転写基材再生装置及び転写基材再生方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】実施形態に係る転写基材再生装置100は、ロール状に巻回された長尺帯状の転写基材10を巻出して、搬送する第1パスライン1と、ロール状に巻回された長尺帯状の粘着フィルム20を巻出して、搬送する第2パスライン2と、転写基材10の搬送を制御する制御部と、第1パスライン1に設けられ、転写基材10に粘着フィルム20を接触させて、転写基材10上の不純物を粘着フィルム20に転写して除去する第1除去部3と、第1パスライン1において、第1除去部3の下流に設けられ、転写基材10の表面を検査する検査部4と、第1パスライン1に設けられ、検査部4により検出された残存不純物を除去する第2除去部30とを備える転写基材再生装置。
【選択図】図1
Description
1 第1パスライン
2 第2パスライン
3 第1除去部
4 検査部
10 転写基材
11 転写基材巻出部
12 貼り合せローラ
13 送りローラ
14 ニップローラ
15 アキュームローラ
16 ニップ
17 ニップ
18 クリーナロール
19 転写基材巻取部
20 粘着フィルム
21 粘着フィルム巻出部
22 非粘着ローラ
23 押圧ローラ
24 剥離バー
25 非粘着ローラ
26 粘着フィルム巻取部
30 第2除去部
31 状態モニター
40 カメラ
41 照明
Claims (13)
- ロール状に巻回された長尺帯状の転写基材を巻出して、搬送する第1パスラインと、
ロール状に巻回された長尺帯状の粘着材を巻出して、搬送する第2パスラインと、
前記転写基材の搬送を制御する制御部と、
前記第1パスラインに設けられ、前記転写基材に前記粘着材を接触させて、前記転写基材上の不純物を前記粘着材に転写して除去する第1除去部と、
前記第1パスラインにおいて、前記第1除去部の下流に設けられ、前記転写基材の表面を検査する検査部と、
前記第1パスラインに設けられ、前記検査部により検出された残存不純物を除去する第2除去部と、
を備える転写基材再生装置。 - 前記制御部は、前記第2除去部による前記残存不純物の除去後に、前記転写基材の前記残存不純物が検出された箇所が再度前記検査部を通過するように、前記転写基材の搬送を制御する、
請求項1に記載の転写基材再生装置。 - 前記検査部は、前記第2除去部の下流に設けられ、
前記制御部は、前記検査部により前記残存不純物が検出された場合に、前記転写基材の前記残存不純物が検出された箇所が前記第2除去部に移動するように、前記転写基材を逆方向に搬送する、
請求項1又は2に記載の転写基材再生装置。 - 前記検査部は、前記第2除去部の上流に設けられ、
前記制御部は、前記第2除去部で前記残存不純物が除去された後に、前記転写基材の前記残存不純物が検出された箇所が再度前記検査部に移動するように、前記転写基材を逆方向に搬送する、
請求項1又は2に記載の転写基材再生装置。 - 前記第1パスラインにおいて、前記第1除去部の下流であり、前記検査部及び前記第2除去部の上流に設けられ、アキュームローラを備え、
前記転写基材が逆方向に搬送されたときに、前記アキュームローラを移動させることにより搬送経路長を変更して、前記転写基材を貯留する、
請求項3又は4に記載の転写基材再生装置。 - 前記転写基材は透光性を有し、
前記第2除去部は、前記転写基材の前記残存不純物が付着した面の裏面側から光を照射する照明光源をさらに備える、
請求項1~5のいずれか1項に記載の転写基材再生装置。 - 前記転写基材はポリテトラフルオロエチレン(PTFE)であり、前記不純物は触媒である、
請求項1~6のいずれか1項に記載の転写基材再生装置。 - ロール状に巻回された長尺帯状の転写基材を巻出して、第1パスラインを搬送させ、
ロール状に巻回された長尺帯状の粘着材を巻出して、第2パスラインを搬送させ、
前記第1パスラインにおいて、第1除去部で前記転写基材に前記粘着材を接触させて、前記転写基材上の不純物を前記粘着材に転写して除去し、
前記第1パスラインにおいて、前記第1除去部による前記不純物の除去後に、前記転写基材の表面を検査し、
前記第1パスラインにおいて、残存不純物が検出された場合に、前記第1除去部と異なる第2除去部で前記残存不純物を除去する、
転写基材再生方法。 - 前記第2除去部による前記残存不純物の除去後に、前記転写基材の前記残存不純物が検出された箇所が再度前記検査部を通過するように、前記転写基材の搬送を制御する、
請求項8に記載の転写基材再生方法。 - 前記残存不純物が検出された場合に、前記転写基材の前記残存不純物が検出された箇所が前記第2除去部に移動するように、前記転写基材を逆方向に搬送する、
請求項8又は9に記載の転写基材再生方法。 - 前記第2除去部で前記残存不純物が除去された後に、前記転写基材の前記残存不純物が検出された箇所が再度前記検査部に移動するように、前記転写基材を逆方向に搬送する、
請求項8又は9に記載の転写基材再生方法。 - 前記第1パスラインにおいて、前記転写基材が逆方向に搬送されたときに、アキュームローラを移動させることにより搬送経路長を変更して、前記第1除去部に前記転写基材が戻らないように前記転写基材を貯留する、
請求項10又は11に記載の転写基材再生方法。 - 前記第2除去部では、透光性を有する前記転写基材の裏面側から光を照射して、前記残存不純物を除去する、
請求項8~12のいずれか1項に記載の転写基材再生方法。
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