JP2022047856A - Cleaning water supply device for electronic component and member, and method for supplying cleaning water for electronic component and member - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、電子産業分野等で使用される電子部品・電子部材の洗浄水の製造装置及び供給方法に関し、特に水素含有水を洗浄水として洗浄機に供給する電子部品・部材の洗浄水供給装置及び供給方法に関する。 The present invention relates to an apparatus and a supply method for cleaning water for electronic parts / members used in the electronic industry field and the like, and in particular, a cleaning water supply device for electronic parts / members that supplies hydrogen-containing water as cleaning water to a cleaning machine. And the supply method.
近年、電子産業分野のウエハ処理に使用される洗浄溶液として、超純水に導電率付与物質や酸化還元電位コントロール物質、ガスなどを添加することで、各種機能を付与した機能性水が使用されている。この機能性水を複数台の枚葉式洗浄機に供給して、ウエハなどの電子デバイスを洗浄することがあるが、これら複数台の枚葉式洗浄機で洗浄を行う場合、各洗浄機からウエハに注がれる洗浄水の供給・停止が複数のバルブの開閉で制御されているので、洗浄水の使用量が不規則に変動する。このため、複数の洗浄チャンバを有する枚葉式洗浄機においては、不規則な流量変動に十分追随できる薬注コントロールが必要であるが実現できていない。そこで、最大使用量を想定した機能性水を製造して洗浄機に供給することが考えられるが、これでは大幅に過剰量の機能性水を供給することになるので、高価な機能性水が無駄になってしまう。 In recent years, as a cleaning solution used for wafer processing in the electronic industry field, functional water having various functions by adding a conductivity-imparting substance, a redox potential control substance, a gas, etc. to ultrapure water has been used. ing. This functional water may be supplied to multiple single-wafer cleaning machines to wash electronic devices such as wafers. When cleaning with these multiple single-wafer washing machines, each washing machine may be used. Since the supply / stop of the wash water poured on the wafer is controlled by opening and closing a plurality of valves, the amount of the wash water used fluctuates irregularly. For this reason, in a single-wafer washing machine having a plurality of washing chambers, it is necessary to control the drug injection that can sufficiently follow irregular flow rate fluctuations, but this has not been realized. Therefore, it is conceivable to manufacture functional water assuming the maximum usage amount and supply it to the washing machine, but this will supply a significantly excessive amount of functional water, so expensive functional water will be used. It will be wasted.
そこで、機能性水の節水を目的として貯留槽を設け、洗浄機で使用しない機能水を貯留槽に戻し循環する方式の電子部品・部材の洗浄水供給装置が特許文献1で提案されている。
Therefore,
しかしながら、特許文献1に記載された電子部品・部材の洗浄水の供給装置では循環中に機能性水に溶存酸素が混入してしまい、洗浄機からリターンした後に再度ユースポイントに供給する機能性水(洗浄水)は、多量の溶存酸素を含んだものとなってしまう、という問題点がある。特に超純水に少なくとも水素を含有させた機能性水では、溶存酸素が存在すると、酸化還元電位やpHなど、その性状の変動への影響が大きく、所定の洗浄力を発揮できなくなるおそれがある、という問題点がある。
However, in the washing water supply device for electronic parts / members described in
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、水素含有水を洗浄水として複数台の洗浄機に供給する際に安定した洗浄性を発揮可能な電子部品・部材の洗浄水供給装置を提供することを目的とする。また、本発明は、この洗浄水供給装置を用いた安定した洗浄性を発揮する電子部品・部材の洗浄水の供給方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and provides a cleaning water supply device for electronic parts / members capable of exhibiting stable cleaning performance when hydrogen-containing water is supplied as cleaning water to a plurality of cleaning machines. The purpose is to do. Another object of the present invention is to provide a method of supplying cleaning water for electronic parts / members that exhibits stable cleaning performance using this cleaning water supply device.
上記目的に鑑み、本発明は第一に、超純水に対して水素を添加した水素含有水を洗浄水として複数台の洗浄機に供給する電子部品・部材の洗浄水供給装置であって、前記洗浄水を製造する補給水製造部と、前記補給水製造部で製造された洗浄水を洗浄機に供給する循環式の洗浄水供給管と、前記洗浄機で未使用の洗浄水を前記循環式の洗浄水供給管に返送する返送配管と、前記返送配管の下流側に設けられた白金族金属触媒処理装置とを備える、電子部品・部材の洗浄水供給装置を提供する(発明1)。 In view of the above object, the present invention is firstly a cleaning water supply device for electronic parts / members that supplies hydrogen-containing water obtained by adding hydrogen to ultrapure water as cleaning water to a plurality of cleaning machines. The make-up water manufacturing unit that produces the wash water, the circulation type wash water supply pipe that supplies the wash water produced by the make-up water manufacturing unit to the wash machine, and the wash water that is not used in the wash machine are circulated. Provided is a washing water supply device for electronic parts / members including a return pipe for returning to the washing water supply pipe of the type and a platinum group metal catalyst treatment device provided on the downstream side of the return pipe (Invention 1).
かかる発明(発明1)によれば、補給水製造部で超純水に水素を添加して水素含有水(洗浄水)を製造し、この洗浄水を洗浄水供給管から複数台の洗浄機に供給し、洗浄機で使用しなかった洗浄水は返送配管から洗浄水供給管に還流して循環させる。この際、返送配管の下流側に設けられた白金族金属触媒処理装置により、洗浄水中の溶存酸素を除去することで、洗浄水としての水素含有水の性状の変化を抑制することができるので、循環して再利用することが可能となる。 According to the present invention (Invention 1), the make-up water production unit adds hydrogen to ultrapure water to produce hydrogen-containing water (washing water), and the washing water is transferred from the washing water supply pipe to a plurality of washing machines. The washed water that has been supplied and not used in the washing machine is returned from the return pipe to the washing water supply pipe and circulated. At this time, by removing the dissolved oxygen in the washing water by the platinum group metal catalyst treatment device provided on the downstream side of the return pipe, it is possible to suppress the change in the properties of the hydrogen-containing water as the washing water. It can be circulated and reused.
上記発明(発明1)においては、前記補給水製造部で製造された洗浄水を貯留する貯留槽を備え、該貯留槽を循環するように前記洗浄水供給管が設けられていることが好ましい(発明2)。 In the above invention (Invention 1), it is preferable that a storage tank for storing the wash water produced in the make-up water manufacturing unit is provided, and the wash water supply pipe is provided so as to circulate in the storage tank (invention 1). Invention 2).
かかる発明(発明2)によれば、貯留槽に洗浄水を貯留して、洗浄機での使用した量に応じて、補給水製造部で超純水に水素を添加した水素含有水を製造して洗浄水を補充することで、高価な洗浄水(水素含有水)を節水することができる。 According to the present invention (Invention 2), the washing water is stored in the storage tank, and the make-up water production unit produces hydrogen-containing water obtained by adding hydrogen to ultrapure water according to the amount used in the washing machine. By replenishing the washing water, expensive washing water (hydrogen-containing water) can be saved.
上記発明(発明1,2)においては、前記白金族金属触媒処理装置の白金族金属が、白金もしくは金属パラジウムもしくはロジウムであることが好ましい(発明3)。また、上記発明(発明1~3)においては、前記白金族金属触媒が、平均粒子径1~50nmである白金族金属のナノコロイド粒子を担体に担持させたものであることが好ましい(発明4)。
In the above inventions (
かかる発明(発明3,4)によれば、これらの白金族金属触媒は、洗浄水中の溶存酸素を効率よく除去することができる。
According to the inventions (
また、本発明は第二に、超純水に対して水素を添加した水素含有水を製造し、この水素含有水を洗浄水として複数台の洗浄機に供給して電子部品・部材の洗浄を行う電子部品・部材の洗浄水の供給方法であって、前記洗浄水を循環式の洗浄水供給管から洗浄機に供給するとともに未使用の洗浄水を該洗浄水供給管に返送し、前記洗浄水供給管に返送した未使用の洗浄水を含む洗浄水を白金族金属触媒処理装置で処理して循環利用する、電子部品・部材の洗浄水の供給方法を提供する(発明5)。 Secondly, the present invention produces hydrogen-containing water obtained by adding hydrogen to ultrapure water, and supplies the hydrogen-containing water as cleaning water to a plurality of cleaning machines to clean electronic parts / members. This is a method of supplying cleaning water for electronic parts / members. The cleaning water is supplied from a circulating cleaning water supply pipe to a cleaning machine, and unused cleaning water is returned to the cleaning water supply pipe to perform the cleaning. Provided is a method for supplying cleaning water for electronic parts / members, in which the cleaning water containing unused cleaning water returned to the water supply pipe is treated by a platinum group metal catalyst treatment apparatus and circulated for reuse (Invention 5).
かかる発明(発明5)によれば、超純水に水素を添加した水素含有水(洗浄水)を洗浄水供給管から複数台の洗浄機に供給し、洗浄機で使用しなかった洗浄水は洗浄水供給管に還流して循環させる。この際、前記洗浄水供給管に返送した未使用の洗浄水を含む洗浄水を白金族金属触媒処理装置により処理して該洗浄水中の溶存酸素を除去することで、洗浄水としての水素含有水の性状の変化を抑制して再利用することができる。 According to the present invention (Invention 5), hydrogen-containing water (washing water) obtained by adding hydrogen to ultrapure water is supplied to a plurality of washing machines from a washing water supply pipe, and the washing water not used in the washing machines is used. It is circulated by returning to the washing water supply pipe. At this time, the washing water containing the unused washing water returned to the washing water supply pipe is treated with a platinum group metal catalyst treatment device to remove the dissolved oxygen in the washing water, whereby the hydrogen-containing water as the washing water is used. It is possible to suppress changes in the properties of the product and reuse it.
上記発明(発明5)においては、前記洗浄水を貯留槽に一旦貯留し、この貯留槽を循環するように設けた洗浄水供給管から前記洗浄機に洗浄水を供給するとともに未使用の洗浄水を該洗浄水供給管に返送し、前記洗浄水供給管に返送した未使用の洗浄水を含む洗浄水を白金族金属触媒処理装置で処理した後、貯留槽に返送して循環利用することが好ましい(発明6)。 In the above invention (Invention 5), the washing water is temporarily stored in a storage tank, and the washing water is supplied to the washing machine from a washing water supply pipe provided so as to circulate in the storage tank, and unused washing water is supplied. Is returned to the washing water supply pipe, and the washing water containing unused washing water returned to the washing water supply pipe is treated with a platinum group metal catalyst treatment device, and then returned to the storage tank for recycling. Preferred (Invention 6).
かかる発明(発明6)によれば、貯留槽に洗浄水を貯留して、洗浄機での使用した量に応じて、補給水製造部で超純水に水素を添加した水素含有水を製造して洗浄水を補充することで、高価な洗浄水を節水することができる。 According to the present invention (Invention 6), the washing water is stored in the storage tank, and the make-up water production unit produces hydrogen-containing water obtained by adding hydrogen to ultrapure water according to the amount used in the washing machine. By replenishing the washing water, expensive washing water can be saved.
上記発明(発明5,6)においては、前記洗浄水の水素濃度が0.2ppm以上であることが好ましい(発明7)。
In the above inventions (
かかる発明(発明7)によれば、洗浄水の水素濃度が0.2ppm以上とすることで、水素含有水としての性能を良好に発揮することができるとともに、酸素の溶解を抑制し、かつ溶存酸素を効率良く除去することができる。 According to the present invention (Invention 7), when the hydrogen concentration of the washing water is 0.2 ppm or more, the performance as hydrogen-containing water can be satisfactorily exhibited, and the dissolution of oxygen is suppressed and dissolved. Oxygen can be removed efficiently.
上記発明(発明5~7)においては、前記白金族金属触媒処理装置の白金族金属触媒の白金族金属が、白金もしくは金属パラジウムもしくはロジウムであることが好ましい(発明8)。また、上記発明(発明5~8)においては、前記白金族金属触媒が、平均粒子径1~50nmである白金族金属のナノコロイド粒子を担体に担持させたものであることが好ましい(発明9)。
In the above inventions (
かかる発明(発明8,9)によれば、これらの白金族金属触媒は、洗浄水中の溶存酸素を効率よく除去することができる。 According to such inventions (Inventions 8 and 9), these platinum group metal catalysts can efficiently remove dissolved oxygen in the washing water.
本発明の電子部品・部材の洗浄水供給装置によれば、洗浄機で使用しなかった洗浄水を、洗浄水供給管を流通する洗浄水と合流させ、白金族金属触媒処理装置で洗浄水中の溶存酸素を除去することで、循環再利用することができる。これにより、高価な水素含有水を効率良く利用して節水を図ることが可能となる。 According to the washing water supply device for electronic parts / members of the present invention, the washing water not used in the washing machine is merged with the washing water flowing through the washing water supply pipe, and the washing water is mixed with the washing water by the platinum group metal catalyst treatment device. By removing the dissolved oxygen, it can be recycled and reused. This makes it possible to save water by efficiently using expensive hydrogen-containing water.
<第一の実施形態>
以下、本発明の電子部品・部材の洗浄水供給装置の第一の実施形態について添付図面を参照にして詳細に説明する。
<First embodiment>
Hereinafter, the first embodiment of the washing water supply device for electronic parts / members of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
〔電子部品・部材の洗浄水供給装置〕
図1は、本発明の第一の実施形態による電子部品・部材の洗浄水供給装置を示しており、図1において電子部品・部材の洗浄水供給装置1は、補給水配管2から超純水Wを導入してガス溶解膜などにより水素を添加することで洗浄水としての水素含有水を製造する補給水製造部3と、製造した水素含有水(洗浄水)W1を貯留する貯留槽4とを有する。貯留槽4には、該貯留槽4を出発して還流する循環式の洗浄水供給管5が設けられている。この洗浄水供給管5は、ユースポイント(UP)としての複数(本実施形態においては4台)の枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dにそれぞれ送給配管61A,61B,61C,61Dを経由して洗浄水W1を給液可能となっているとともに、これら各枚葉式洗浄機の稼働状況に応じ未使用の洗浄水W1を返送配管62A,62B,62C,62Dから洗浄水供給管5に返送可能となっている。そして、洗浄水供給管5の返送配管62A,62B,62C,62Dよりも下流側で貯留槽4の直前には、白金族金属触媒処理装置(PC)7が設けられている。また、本実施形態においては、洗浄水供給管5の出口側と入口側には、洗浄水W1の性状を確認するために溶存酸素計8A,8Bがそれぞれ設けられている。なお、9は補給水配管2から分岐したドレン水(DW)の排出管であり、洗浄水W1が所定の水質となるまで貯留槽4に貯留することなく排出可能となっている。
[Washing water supply device for electronic parts / members]
FIG. 1 shows a washing water supply device for electronic parts / members according to the first embodiment of the present invention. In FIG. 1, the washing
<白金族金属触媒処理装置>
(白金族金属)
本実施形態において、白金族金属触媒処理装置7には、白金族金属を担持樹脂に担持させたものを用いる。この担持樹脂に担持される白金族金属としては、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、オスミウム、イリジウム及び白金を挙げることができる。こられの白金族金属は、1種を単独で用いることができ、2種以上を組み合わせて用いることもでき、2種以上の合金として用いることもでき、あるいは、天然に産出される混合物の精製品を単体に分離することなく用いることもできる。これらの中で白金もしくは金属パラジウムもしくはロジウムの単独又はこれらの2種以上の混合物は、触媒活性が強いので好適に用いることができる。また、これらの平均粒子径1~50nmである白金族金属のナノコロイド粒子も特に好適に用いることができる。
<Platinum group metal catalyst treatment equipment>
(Platinum group metal)
In the present embodiment, the platinum group metal
(担体樹脂)
白金族金属触媒処理装置7において、白金族金属を担持させる担体樹脂としては、イオン交換樹脂を用いることができる。これらの中で、アニオン交換樹脂を特に好適に用いることができる。白金系金属は、負に帯電しているので、アニオン交換樹脂に安定に担持されて剥離しにくいものとなる。アニオン交換樹脂の交換基は、OH形であることが好ましい。OH形アニオン交換樹脂は、樹脂表面がアルカリ性となり、過酸化水素の分解を促進する。
(Carrier resin)
In the platinum group metal
<超純水>
本実施形態において、原水となる超純水Wとは、例えば、抵抗率:18.1MΩ・cm以上、微粒子:粒径50nm以上で1000個/L以下、生菌:1個/L以下、TOC(Total Organic Carbon):1μg/L以下、全シリコン:0.1μg/L以下、金属類:1ng/L以下、イオン類:10ng/L以下、過酸化水素;30μg/L以下、水温:25±2℃のものが好適である。
<Ultrapure water>
In the present embodiment, the ultrapure water W as raw water is, for example, resistivity: 18.1 MΩ · cm or more, fine particles: 1000 cells / L or less with a particle size of 50 nm or more, viable bacteria: 1 cell / L or less, TOC. (Total Organic Carbon): 1 μg / L or less, total silicon: 0.1 μg / L or less, metals: 1 ng / L or less, ions: 10 ng / L or less, hydrogen peroxide; 30 μg / L or less, water temperature: 25 ± The one at 2 ° C. is preferable.
〔電子部品・部材洗浄水の供給方法〕
次に前述したような構成を有する本実施形態の電子部品・部材の洗浄水供給装置を用いた電子部品・部材の洗浄水の供給方法について説明する。
[Supplying method of cleaning water for electronic parts / members]
Next, a method of supplying cleaning water for electronic components / members using the cleaning water supply device for electronic components / members according to the present embodiment having the above-described configuration will be described.
まず、補給水配管2から超純水Wを補給水製造部3に供給し、超純水Wに水素を添加することで水素含有水(洗浄水)W1を製造する。この水素含有水W1は、水素濃度が0.2ppm以上となるように製造することが好ましい。水素濃度が0.2ppm未満では、水素含有水として期待される洗浄性能が十分でなく、また、酸素などの他のガス成分が溶解しやすくなるばかりか、水素濃度が低減しやすくなる。
First, ultrapure water W is supplied from the make-up
この製造された洗浄水W1は、一旦貯留槽4に貯留して所定量の洗浄水W1を貯留したら、図示しない送液ポンプを駆動して洗浄水供給管5から送給管61A,61B,61C,61Dを経由して枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dに洗浄水W1を供給する。この際、枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dで使用しなかった洗浄水W1は、返送配管62A,62B,62C,62Dから洗浄水供給管5に戻して貯留槽4に還流する。このとき返送された洗浄水W1は、枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dなどで空気に接することによりその溶存酸素が上昇した状態となっているので、このような返送洗浄水W1が混合されることにより洗浄水W1全体の溶存酸素は上昇する。これにより洗浄水W1のpHや酸化還元電位など性状が変動するので、洗浄水W1が所望とする洗浄性能を発揮できなくなるおそれがある。
The manufactured wash water W1 is once stored in the
そこで、本実施形態においては、洗浄水W1を貯留槽4の直前に設けられた白金族金属触媒処理装置7で処理し、洗浄水W1に含まれている溶存酸素を除去した後、貯留槽4に返送することで、洗浄水W1を再利用してもその性状を安定した状態に維持することができる。そして、貯留槽4の洗浄水W1が所定量を下回ったら、補給水製造部3で水素含有水(洗浄水)W1を製造して逐次補充してやればよい。また、補給水製造部3で水素含有水(洗浄水)W1を微量に製造して連続的に補充するようにしてもよい。
Therefore, in the present embodiment, the washing water W1 is treated by the platinum group metal
以上のように本実施形態の電子部品・部材洗浄水の供給方法によれば、枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dでの余剰の水素含有水(洗浄水)W1を洗浄水供給管5に合流させた洗浄水W1中の溶存酸素を除去して再利用するので、枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dの稼働状況に影響されることなく常に安定した条件で洗浄水W1を供給し続けることができる。これにより高価な水素含有水を効率良く利用して節水することが可能となるだけでなく、電子部品・部材の洗浄恒定の安定化の向上も期待できる。
As described above, according to the method of supplying the electronic parts / member washing water of the present embodiment, the excess hydrogen-containing water (washing water) W1 in the single-wafer
<第二の実施形態>
次に本発明の電子部品・部材の洗浄水供給装置の第二の実施形態について添付図面を参照にして詳細に説明する。
<Second embodiment>
Next, a second embodiment of the washing water supply device for electronic parts / members of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings.
〔電子部品・部材の洗浄水供給装置〕
図2は、本発明の第二の実施形態による電子部品・部材の洗浄水供給装置を示している。本実施形態の電子部品・部材の洗浄水供給装置は、前述した第一の実施形態において、貯留槽4を有せず、補給水としての洗浄水W1を洗浄水供給管5に図示しないライン注入装置もしくはバッファー管で混合して循環する構造を有する以外、同じ構成を有する。
[Washing water supply device for electronic parts / members]
FIG. 2 shows a washing water supply device for electronic parts / members according to the second embodiment of the present invention. In the first embodiment described above, the washing water supply device for electronic parts / members of the present embodiment does not have a
〔電子部品・部材洗浄水の供給方法〕
上述したような構成を有する本実施形態の電子部品・部材の洗浄水供給装置を用いた電子部品・部材の洗浄水の供給方法は、基本的には前述した第一の実施形態と同じである。ただし、本実施形態においては、補給水製造部3で製造した水素含有水(洗浄水)W1を微量ずつ連続的もしくは断続的に洗浄水供給管5に補充することが好ましい。
[Supplying method of cleaning water for electronic parts / members]
The method of supplying the washing water of the electronic parts / members using the washing water supply device of the electronic parts / members of the present embodiment having the above-described configuration is basically the same as that of the first embodiment described above. .. However, in the present embodiment, it is preferable to continuously or intermittently replenish the washing
以上、本発明について添付図面を参照にして上記実施形態に基づき説明してきたが、本発明は上記実施形態に限定されず、種々の変更実施が可能である。例えば、補給水製造部3では、少なくとも水素を溶解していればよく、pH調整剤や酸化還元電位調整剤など他の成分を添加して水素含有水(洗浄水)W1とすることができる。ここで、pH調整剤としては特に制限はないが、pH7未満に調整する場合には、塩酸、硝酸、硫酸、酢酸などの酸性溶液を、pH7以上に調整する場合には、アンモニア等のアルカリ性溶液を用いることができる。また、酸化還元電位調整剤としては、酸化還元電位を高く調整する場合には、過酸化水素水などを、酸化還元電位を低く調整する場合にはシュウ酸、硫化水素、ヨウ化カリウムなどの溶液を添加してもよい。
Although the present invention has been described above based on the above-described embodiment with reference to the accompanying drawings, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made. For example, in the make-up
以下の具体的実施例により本発明をさらに詳細に説明する。 The present invention will be described in more detail with reference to the following specific examples.
[比較例1]
図3に示すように図1に示す装置1において、白金族金属触媒処理装置7を有しない電子部品・部材の洗浄水供給装置1を用意した。この電子部品・部材の洗浄水供給装置1を用いて、150L/分で超純水W(温度27℃、以下同じ)を補給水配管2から補給水製造部3に供給し、水素を1.4ppmとなるよう超純水Wに添加して水素含有水(洗浄水)W1を製造して貯留槽4に送水した。この水素含有水(洗浄水)W1の初期溶存酸素濃度は、1ppb未満であった(以下、同じ)。続いて、貯留槽4から循環式の洗浄水供給管5を経由して枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dに洗浄水W1を供給した。この際、各枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dで使用しなかった洗浄水W1を返送配管62A,62B,62C,62Dから洗浄水供給管5に合流させ、貯留槽4に戻して、これを繰り返すことで循環させた。
[Comparative Example 1]
As shown in FIG. 3, in the
この際、使用しなかった洗浄水W1を返送配管62A,62B,62C,62Dから洗浄水供給管5に合流させた後の洗浄水W1の溶存酸素濃度を溶存酸素計8Aで測定したところ、溶存酸素濃度は10ppbであった。また、貯留槽4から再度洗浄水W1を枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dに送液した溶存酸素濃度を溶存酸素計8Bで測定したところ、溶存酸素濃度は6ppbであった。これらの結果を溶存酸素計8Aの箇所における洗浄水W1の水素濃度の測定値とともに表1にあわせて示す。
At this time, the dissolved oxygen concentration of the washing water W1 after merging the unused washing water W1 from the
[比較例2]
比較例1において、図3に示す装置として、送給管61A,61B,61C,61Dと返送配管62A,62B,62C,62Dの配管の長さを比較例1の1/2の長さとしたものを用いた以外は同様にして、貯留槽4から循環式の洗浄水供給管5を経由して枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dに洗浄水W1を供給した。この際、各枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dで使用しなかった洗浄水W1を洗浄水供給管5に返送し、貯留槽4に戻して、これを繰り返すことで循環させた。
[Comparative Example 2]
In Comparative Example 1, as the apparatus shown in FIG. 3, the lengths of the
この際、使用しなかった洗浄水W1を返送配管62A,62B,62C,62Dから洗浄水供給管5に合流させた後の洗浄水W1の溶存酸素濃度を溶存酸素計8Aで測定したところ、溶存酸素濃度は3ppbであった。また、貯留槽4から再度洗浄水W1を枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dに送液した溶存酸素濃度を溶存酸素計8Bで測定したところ、溶存酸素濃度は2ppbであった。これらの結果を溶存酸素計8Aの箇所における洗浄水W1の水素濃度の測定値とともに表1にあわせて示す。
At this time, the dissolved oxygen concentration of the washing water W1 after merging the unused washing water W1 from the
[比較例3]
比較例1において、150L/分で超純水Wを補給水配管2から補給水製造部3に供給し、水素を0.2ppmとなるよう超純水Wに添加した以外は同様にして水素含有水(洗浄水)W1を製造して貯留槽4に送水した。貯留槽4から循環式の洗浄水供給管5を経由して枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dに洗浄水W1を供給した。この際、各枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dで使用しなかった洗浄水W1を洗浄水供給管5に返送し、貯留槽4に戻して、これを繰り返すことで循環させた。
[Comparative Example 3]
In Comparative Example 1, the ultrapure water W was supplied from the make-up
この際、使用しなかった洗浄水W1を返送配管62A,62B,62C,62Dから洗浄水供給管5に合流させた後の洗浄水W1の溶存酸素濃度を溶存酸素計8Aで測定したところ、溶存酸素濃度は10ppbであった。また、貯留槽4から再度洗浄水W1を枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dに送液した溶存酸素濃度を溶存酸素計8Bで測定したところ、溶存酸素濃度は6ppbであった。これらの結果を溶存酸素計8Aの箇所における洗浄水W1の水素濃度の測定値とともに表1にあわせて示す。
At this time, the dissolved oxygen concentration of the washing water W1 after merging the unused washing water W1 from the
[比較例4]
図4に示すように図2に示す装置1において、白金族金属触媒処理装置7を有しない電子部品・部材の洗浄水供給装置1を用意した。この電子部品・部材の洗浄水供給装置1を用いて、150L/分で超純水Wを補給水配管2から補給水製造部3に供給し、水素を1.4ppmとなるよう超純水Wに添加して水素含有水(洗浄水)W1を製造し、循環式の洗浄水供給管5にライン注入で供給した。続いて、洗浄水供給管5を経由して枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dに洗浄水W1を供給した。この際、各枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dで使用しなかった洗浄水W1を洗浄水供給管5に返送し、これを繰り返すことで循環させた。
[Comparative Example 4]
As shown in FIG. 4, in the
この際、使用しなかった洗浄水W1を返送配管62A,62B,62C,62Dから洗浄水供給管5に合流させた後の洗浄水W1の溶存酸素濃度を溶存酸素計8Aで測定したところ、溶存酸素濃度は10ppbであった。また、再度洗浄水W1を枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dに送液した溶存酸素濃度を溶存酸素計8Bで測定したところ、溶存酸素濃度は8ppbであった。これらの結果を溶存酸素計8Aの箇所における洗浄水W1の水素濃度の測定値とともに表1にあわせて示す。
At this time, the dissolved oxygen concentration of the washing water W1 after merging the unused washing water W1 from the
[比較例5]
比較例4において、150L/分で超純水Wを補給水配管2から補給水製造部3に供給し、水素を0.2ppmとなるよう超純水Wに添加した以外は同様にして水素含有水(洗浄水)W1を製造し、循環式の洗浄水供給管5を経由して枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dに洗浄水W1を供給した。この際、各枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dで使用しなかった洗浄水W1を洗浄水供給管5に返送し、これを繰り返すことで循環させた。
[Comparative Example 5]
In Comparative Example 4, the ultrapure water W was supplied from the make-up
この際、使用しなかった洗浄水W1を返送配管62A,62B,62C,62Dから洗浄水供給管5に合流させた後の洗浄水W1の溶存酸素濃度を溶存酸素計8Aで測定したところ、溶存酸素濃度は10ppbであった。また、再度洗浄水W1を枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dに送液した溶存酸素濃度を溶存酸素計8Bで測定したところ、溶存酸素濃度は8ppbであった。これらの結果を溶存酸素計8Aの箇所における洗浄水W1の水素濃度の測定値とともに表1にあわせて示す。
At this time, the dissolved oxygen concentration of the washing water W1 after merging the unused washing water W1 from the
[比較例6]
図1に示す装置1において、超純水Wを補給水製造部3に供給し、水素を添加することなく、そのまま貯留槽4に送水した。続いて、貯留槽4から循環式の洗浄水供給管5を経由して枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dに洗浄水W1を供給した。この際、各枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dで使用しなかった洗浄水W1を洗浄水供給管5に返送し、貯留槽4に戻して、これを繰り返すことで循環させた。
[Comparative Example 6]
In the
この際、使用しなかった洗浄水W1を返送配管62A,62B,62C,62Dから洗浄水供給管5に合流させた後の洗浄水W1の溶存酸素濃度を溶存酸素計8Aで測定したところ、溶存酸素濃度は10ppbであった。また、貯留槽4から再度洗浄水W1を枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dに送液した溶存酸素濃度を溶存酸素計8Bで測定したところ、溶存酸素濃度は6ppbであった。これらの結果を溶存酸素計8Aの箇所における洗浄水W1の水素濃度の測定値とともに表1にあわせて示す。
At this time, the dissolved oxygen concentration of the washing water W1 after merging the unused washing water W1 from the
[実施例1]
図1に示す装置を用いて、150L/分で超純水Wを補給水配管2から補給水製造部3に供給し、水素を1.4ppmとなるよう超純水Wに添加して水素含有水(洗浄水)W1を製造して貯留槽4に送水した。続いて、貯留槽4から循環式の洗浄水供給管5を経由して枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dに洗浄水W1を供給した。この際、各枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dで使用しなかった洗浄水W1を洗浄水供給管5に返送し、白金族金属触媒処理装置7で処理した後、貯留槽4に戻して、これを繰り返すことで循環させた。
[Example 1]
Using the device shown in FIG. 1, ultrapure water W is supplied from the make-up
この際、使用しなかった洗浄水W1を返送配管62A,62B,62C,62Dから洗浄水供給管5に合流させた後の洗浄水W1の溶存酸素濃度を溶存酸素計8Aで測定したところ、溶存酸素濃度は1ppb未満であった。また、貯留槽4から再度洗浄水W1を枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dに送液した溶存酸素濃度を溶存酸素計8Bで測定したところ、溶存酸素濃度は1ppb未満であった。これらの結果を溶存酸素計8Aの箇所における洗浄水W1の水素濃度の測定値とともに表1にあわせて示す。
At this time, the dissolved oxygen concentration of the washing water W1 after merging the unused washing water W1 from the
[実施例2]
実施例1において、図1に示す装置として送給管61A,61B,61C,61Dと返送配管62A,62B,62C,62Dの配管の長さを比較例1の1/2の長さとしたものを用いた以外同様にして、貯留槽4から循環式の洗浄水供給管5を経由して枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dに洗浄水W1を供給した。この際、各枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dで使用しなかった洗浄水W1を洗浄水供給管5に返送し、白金族金属触媒処理装置7で処理した後、貯留槽4に戻して、これを繰り返すことで循環させた。
[Example 2]
In the first embodiment, as the apparatus shown in FIG. 1, the lengths of the
この際、使用しなかった洗浄水W1を返送配管62A,62B,62C,62Dから洗浄水供給管5に合流させた後の洗浄水W1の溶存酸素濃度を溶存酸素計8Aで測定したところ、溶存酸素濃度は1ppb未満であった。また、貯留槽4から再度洗浄水W1を枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dに送液した溶存酸素濃度を溶存酸素計8Bで測定したところ、溶存酸素濃度は1ppb未満であった。これらの結果を溶存酸素計8Aの箇所における洗浄水W1の水素濃度の測定値とともに表1にあわせて示す。
At this time, the dissolved oxygen concentration of the washing water W1 after merging the unused washing water W1 from the
[実施例3]
実施例1において、150L/分で超純水Wを補給水配管2から補給水製造部3に供給し、水素を0.2ppmとなるよう超純水Wに添加した以外は同様にして水素含有水(洗浄水)W1を製造し、貯留槽4に送水した。貯留槽4から循環式の洗浄水供給管5を経由して枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dに洗浄水W1を供給した。この際、各枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dで使用しなかった洗浄水W1を洗浄水供給管5に返送し、白金族金属触媒処理装置7で処理した後、貯留槽4に戻して、これを繰り返すことで循環させた。
[Example 3]
In Example 1, ultrapure water W was supplied from the make-up
この際、使用しなかった洗浄水W1を返送配管62A,62B,62C,62Dから洗浄水供給管5に合流させた後の洗浄水W1の溶存酸素濃度を溶存酸素計8Aで測定したところ、溶存酸素濃度は1ppb未満であった。また、貯留槽4から再度洗浄水W1を枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dに送液した溶存酸素濃度を溶存酸素計8Bで測定したところ、溶存酸素濃度は1ppb未満であった。これらの結果を溶存酸素計8Aの箇所における洗浄水W1の水素濃度の測定値とともに表1にあわせて示す。
At this time, the dissolved oxygen concentration of the washing water W1 after merging the unused washing water W1 from the
[実施例4]
図2に示す装置1において、150L/分で超純水Wを補給水配管2から補給水製造部3に供給し、水素を1.4ppmとなるよう超純水Wに添加して水素含有水(洗浄水)W1を製造し、循環式の洗浄水供給管5にライン注入で供給した。続いて、洗浄水供給管5を経由して枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dに洗浄水W1を供給した。この際、各枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dで使用しなかった洗浄水W1を洗浄水供給管5に返送し、これを繰り返すことで循環させた。
[Example 4]
In the
この際、使用しなかった洗浄水W1を返送配管62A,62B,62C,62Dから洗浄水供給管5に合流させた後の洗浄水W1の溶存酸素濃度を溶存酸素計8Aで測定したところ、溶存酸素濃度は1ppb未満であった。また、再度洗浄水W1を枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dに送液した溶存酸素濃度を溶存酸素計8Bで測定したところ、溶存酸素濃度は1ppb未満であった。これらの結果を溶存酸素計8Aの箇所における洗浄水W1の水素濃度の測定値とともに表1にあわせて示す。
At this time, the dissolved oxygen concentration of the washing water W1 after merging the unused washing water W1 from the
[実施例5]
実施例4において、150L/分で超純水Wを補給水配管2から補給水製造部3に供給し、水素を0.2ppmとなるよう超純水Wに添加した以外は同様にして水素含有水(洗浄水)W1を製造し、循環式の洗浄水供給管5にライン注入で供給した。続いて、洗浄水供給管5を経由して枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dに洗浄水W1を供給した。この際、各枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dで使用しなかった洗浄水W1を洗浄水供給管5に返送し、これを繰り返すことで循環させた。
[Example 5]
In Example 4, the ultrapure water W was supplied from the make-up
この際、使用しなかった洗浄水W1を返送配管62A,62B,62C,62Dから洗浄水供給管5に合流させた後の洗浄水W1の溶存酸素濃度を溶存酸素計8Aで測定したところ、溶存酸素濃度は1ppb未満であった。また、再度洗浄水W1を枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dに送液した溶存酸素濃度を溶存酸素計8Bで測定したところ、溶存酸素濃度は1ppb未満であった。これらの結果を溶存酸素計8Aの箇所における洗浄水W1の水素濃度の測定値とともに表1にあわせて示す。
At this time, the dissolved oxygen concentration of the washing water W1 after merging the unused washing water W1 from the
表1から明らかな通り、実施例1~5の電子部品・部材の洗浄水供給方法によれば、洗浄水供給管5を流通する洗浄水W1を白金族金属触媒処理装置7することにより、洗浄水W1の溶存酸素濃度を1ppb未満とすることができ、再度洗浄水W1を枚葉式洗浄機6A,6B,6C,6Dに送液する洗浄水W1の溶存酸素濃度も1ppb未満とすることができることがわかる。このような実施例1~5の電子部品・部材の洗浄水供給方法により超純水に水素を添加した水素含有水(洗浄水)W1の性状を安定化することが可能となる。
As is clear from Table 1, according to the cleaning water supply method for the electronic parts / members of Examples 1 to 5, the cleaning water W1 flowing through the cleaning
1 電子部品・部材の洗浄水供給装置
2 補給水配管
3 補給水製造部
4 貯留槽
5 循環式の洗浄水供給管
6A,6B,6C,6D 枚葉式洗浄機
61A,61B,61C,61D 送給配管
62A,62B,62C,62D 返送配管
7 白金族金属触媒処理装置
8A,8B 溶存酸素計
9 ドレン排出管
W 超純水
W1 水素含有水(洗浄水)
1 Washing water supply device for electronic parts /
Claims (9)
前記洗浄水を製造する補給水製造部と、
前記補給水製造部で製造された洗浄水を洗浄機に供給する循環式の洗浄水供給管と、
前記洗浄機で未使用の洗浄水を前記循環式の洗浄水供給管に返送する返送配管と、
前記返送配管の下流側に設けられた白金族金属触媒処理装置と
を備える、電子部品・部材の洗浄水供給装置。 A cleaning water supply device for electronic parts and components that supplies hydrogen-containing water obtained by adding hydrogen to ultrapure water as cleaning water to multiple cleaning machines.
The make-up water manufacturing unit that manufactures the washing water and
A circulation type washing water supply pipe that supplies the washing water produced by the make-up water manufacturing unit to the washing machine, and
A return pipe that returns unused washing water from the washing machine to the circulation type washing water supply pipe, and
A cleaning water supply device for electronic parts / members including a platinum group metal catalyst treatment device provided on the downstream side of the return pipe.
前記洗浄水を循環式の洗浄水供給管から洗浄機に供給するとともに未使用の洗浄水を該洗浄水供給管に返送し、
前記洗浄水供給管に返送した未使用の洗浄水を含む洗浄水を白金族金属触媒処理装置で処理して循環利用する、電子部品・部材の洗浄水の供給方法。 Hydrogen-containing water obtained by adding hydrogen to ultrapure water is produced, and this hydrogen-containing water is supplied to multiple cleaning machines as cleaning water to clean electronic parts / members. Cleaning water for electronic parts / members. It ’s a supply method,
The washing water is supplied to the washing machine from the circulation type washing water supply pipe, and the unused washing water is returned to the washing water supply pipe.
A method for supplying cleaning water for electronic parts / members, wherein the cleaning water containing unused cleaning water returned to the cleaning water supply pipe is treated by a platinum group metal catalyst treatment apparatus and recycled.
Priority Applications (2)
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