JP2022030276A - 磁気センサ回路および磁界検出装置 - Google Patents
磁気センサ回路および磁界検出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022030276A JP2022030276A JP2020134148A JP2020134148A JP2022030276A JP 2022030276 A JP2022030276 A JP 2022030276A JP 2020134148 A JP2020134148 A JP 2020134148A JP 2020134148 A JP2020134148 A JP 2020134148A JP 2022030276 A JP2022030276 A JP 2022030276A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic sensor
- magnetic
- magnetic field
- sensor circuit
- series
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 45
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims abstract description 15
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 63
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 claims description 24
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 10
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 3
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910000808 amorphous metal alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/063—Magneto-impedance sensors; Nanocristallin sensors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/09—Magnetoresistive devices
- G01R33/095—Magnetoresistive devices extraordinary magnetoresistance sensors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/0023—Electronic aspects, e.g. circuits for stimulation, evaluation, control; Treating the measured signals; calibration
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
Abstract
Description
本発明は、磁気インピーダンス効果により磁界を感受する磁気センサを有する磁気センサ回路、および磁気センサ回路を用いた磁界検出装置において、磁界の検出精度を向上させることを目的とする。
また、このような磁気センサ回路において、前記磁気センサが感受する磁界が前記基準値である場合に、前記第1の要素のインピーダンスZ1と前記第3の要素のインピーダンスZ3とが等しく、且つ、前記第2の要素のインピーダンスZ2と前記第4の要素のインピーダンスZ4とが等しいことを特徴とすることができる。
また、このような磁気センサ回路において、前記第1の要素の抵抗の大きさと前記第3の要素の抵抗の大きさとが等しく、且つ、当該第1の要素のコンデンサの容量と当該第3の要素のコンデンサの容量とが等しいことを特徴とすることができる。
また、このような磁気センサ回路において、前記第2の要素のインダクタもしくは当該第2の要素の前記磁気センサの誘導性リアクタンスXLに対する前記第1の要素のコンデンサの容量性リアクタンスXCの比率(XC/XL)が1以上であることを特徴とすることができる。
(磁界検出装置1)
図1は、本実施の形態が適用される磁界検出装置1を説明する図である。磁界検出装置1は、磁気センサ回路2と、磁気センサ回路2に対して予め定められた周期の高周波電圧を印加する電圧印加部3と、磁気センサ回路2からの出力に基づいて、磁気センサ回路2の後述する磁気センサ14で感受される磁界または磁界の変化を検出する磁界検出部4とを備えている。
図1に示すように、磁気センサ回路2は、ブリッジ回路部の一例であって、第1の要素11、第2の要素12、第3の要素13および磁気センサ14を有している。磁気センサ回路2では、第1の要素11、第2の要素12、第3の要素13および磁気センサ14が、ブリッジ回路を構成している。
具体的には、磁気センサ回路2は、第1の要素11と第2の要素12とが第1接続点31を介して直列接続されることにより構成される第1直列回路部21を有している。また、磁気センサ回路2は、第3の要素13と磁気センサ14とが第2接続点32を介して直列接続されることにより構成される第2直列回路部22を有している。
詳細については後述するが、本実施の形態では、第1の要素11がコンデンサC1を有し、且つ第3の要素13がコンデンサC3を有することで、磁気センサ回路2の出力電圧Voutの振幅を大きくすることができ、磁界検出装置1による磁界変化の検出精度を向上させることができる。
ここで、本実施の形態の磁気センサ回路2では、磁気センサ14が、第4の要素を構成する。
これにより、磁気センサ回路2では、磁気センサ14が感受する磁界が予め定められた基準値である場合に、第1の要素11のインピーダンスZ1と磁気センサ14のインピーダンスZ4との積と、第2の要素12のインピーダンスZ2と第3の要素13のインピーダンスZ3との積とが、等しくなっている(Z1*Z4=Z2*Z3)。
なお、第1の要素11のコンデンサC1の容量および第3の要素13のコンデンサC3の容量は、第2の要素12や磁気センサ14の構成等に応じて設定することができる。
電圧印加部3は、磁気センサ回路2の第3接続点33に接続され、磁気センサ回路2に、予め定められた振幅および周波数を有する高周波電圧を印加する。
電圧印加部3が磁気センサ回路2に印加する高周波電圧の大きさ(振幅)は、例えば、0.1V~10Vの範囲とすることができる。また、電圧印加部3が磁気センサ回路2に印加する高周波電圧の周波数は、例えば、1MHz~100MHzの範囲とすることができる。なお、電圧印加部3が磁気センサ回路2に印加する高周波電圧の各条件は、磁気センサ回路2の回路構成、測定したい磁界の大きさ等に応じて設定することができ、上記範囲に限定されるものではない。
磁界検出部4は、磁気センサ回路2の第1接続点31および第2接続点32に接続されている。
磁界検出部4は、電圧印加部3により磁気センサ回路2に対して高周波電圧が印加された際に、磁気センサ回路2から出力される電圧を測定する。そして、測定した電圧に基づいて、磁気センサ14が感受する磁界の変化を検出する。
磁界検出部4は、磁気センサ14で感受される磁界の大きさと、磁気センサ回路2から出力される出力電圧Voutの振幅との関係を記憶している。そして、磁界検出部4は、取得した出力電圧Voutの振幅に基づいて、磁気センサ14で感受される磁界の変化を検出する。
続いて、本実施の形態の磁界検出装置1により磁気センサ14で感受される磁界を測定する方法の一例について説明する。
磁界検出装置1により磁界を測定する場合、まず、電圧印加部3が、磁気センサ回路2に対し、予め定められた振幅および周波数を有する高周波電圧を印加する。
Vout={(Z2*Z3-Z1*Z4)/(Z1+Z3)*(Z2+Z4)}Vin …(1)
また、磁気センサ14で感受される磁界が基準値から変化した場合、上述したように、磁気センサ14のインピーダンスZ4が変化する。この結果、出力電圧Voutの振幅が、磁気センサ14のインピーダンスZ4に応じて変化する。言い換えると、出力電圧Voutの振幅が、磁気センサ14で感受された磁界の変化に応じた値となる。
なお、出力電圧Voutの振幅と磁気センサ14で感受される磁界の変化量との相関関係は、例えば、磁気センサ回路2の磁気センサ14を磁界発生装置内にセットし、出力電圧Voutの振幅と磁界の大きさとの関係を測定することで求められる。
続いて、磁界検出装置1において、磁気センサ14で感受される磁界の変化に伴って磁気センサ回路2から出力され磁界検出部4により検出される出力電圧Voutについて、従来例と比較しながら詳細に説明する。
図2は、従来の磁気センサ回路2Aの構成の一例を示した図である。図2に示す従来の磁気センサ回路2Aは、第1の要素11、第2の要素12および第3の要素13の構成を除いては、図1に示した本実施の形態の磁気センサ回路2と同様の構成を有している。図2および以下の説明では、図1に示した本実施の形態の磁気センサ回路2と従来の磁気センサ回路2Aとで共通する構成については同じ符号を用いている。
そして、従来の磁気センサ回路2Aでも、磁気センサ回路2と同様に、磁気センサ14で感受される磁界が予め定められた基準値から変化した場合に、磁気センサ回路2Aから出力される出力電圧Voutの振幅が変化する。なお、詳細については記載を省略するが、従来の磁気センサ回路2Aでは、磁気センサ14で感受される磁界が予め定められた基準値から変化した場合に、出力電圧Voutの位相も変化する。
同様に、従来例である従来の磁気センサ回路2Aでは、第1の要素11の抵抗R1´、第2の要素12の抵抗R2´、および第3の要素13の抵抗R3´の大きさを50Ωとした。また、従来の磁気センサ回路2Aでは、第1の要素11のコンデンサC1´の容量を40pFとした。
そして、図3では、磁気センサ回路2および従来の磁気センサ回路2Aにおいて、磁気センサ14が感受する磁界が予め定められた基準値(0H)から変化し、磁気センサ14の抵抗R4の大きさが50Ωから51Ωに、インダクタL4のインダクタンスが100nHから102nHに、2%増加したものとした。
付言すると、本実施の形態の磁気センサ回路2を採用することで、従来の磁気センサ回路2Aと比較して、磁界検出装置1による磁界変化の検出精度を向上できることが確認された。
ところで、磁気センサ回路2では、第2の要素12のインダクタL2および磁気センサ14のインダクタL4の誘導性リアクタンスと、第1の要素11のコンデンサC1および第3の要素13のコンデンサC3の容量性リアクタンスとの関係によって、磁気センサ14で感受される磁界が基準値から変化した場合に出力される出力電圧Voutの振幅等が変化する。
言い換えると、本実施の形態の磁気センサ回路2では、第2の要素12のインダクタL2および磁気センサ14のインダクタL4に対し、第1の要素11のコンデンサC1および第3の要素13のコンデンサC3の容量等を調整することで、出力電圧Voutの振幅を大きくすることができる。
また、以下の説明では、第1の要素11のコンデンサC1の容量性リアクタンスXCを、単に第1の要素11の容量性リアクタンスXCと表記する場合がある。同様に、第2の要素12のインダクタL2の誘導性リアクタンスXLを、単に第2の要素12の誘導性リアクタンスXLと表記する場合がある。
本実施の形態では、第1の要素11(および第3の要素13)の容量性リアクタンスXCと第2の要素12の誘導性リアクタンスXLとが上記要件を満たすことで、磁気センサ回路2の出力電圧Voutの振幅を大きくすることができ、磁界検出装置1による磁界変化の検出精度を向上させることができる。
図5および図6は、第2の要素12の誘導性リアクタンスXLに対する第1の要素11の容量性リアクタンスXCの比率(XC/XL)を変化させた場合の、出力電圧Voutの振幅の変化を示した図である。図5および図6では、抵抗R1~抵抗R4の大きさを、図4(a)~(b)に示した例とは異ならせた場合の出力電圧Voutの振幅の変化を示している。なお、図5および図6は、コンピュータを用いたシミュレーションにより得られたものである。
また、図6では、第1の要素11の抵抗R1、第2の要素の抵抗R2、第3の要素13の抵抗R3の大きさを1Ωに変更した点、磁気センサ14が感受する磁界が予め定められた基準値(0H)から変化した場合に、磁気センサ14の抵抗R4が1Ωから1.02Ωに、インダクタL4の誘導性リアクタンスXLが30Ωから30.6Ωに、2%増加した点以外は、図4(a)~(b)に示した磁気センサ回路2と同様の構成とした。
したがって、磁気センサ回路2では、抵抗R1~抵抗R4の大きさ等に応じて、第1の要素11のコンデンサC1および第3の要素13のコンデンサC3の容量等を選択することが好ましい。
続いて、本実施の形態の磁気センサ14の構成の一例について説明する。
図7(a)~(b)は、本実施の形態が適用される磁気センサ14の構成の一例を示した図である。図7(a)は、平面図であり、図7(b)は、図7(a)におけるVIIB-VIIB線での断面図である。
ここで、硬磁性体とは、外部磁界によって磁化されると、外部磁界を取り除いても磁化された状態が保持される、いわゆる保磁力の大きい材料である。一方、軟磁性体とは、外部磁界によって容易に磁化されるが、外部磁界を取り除くと速やかに磁化がないかまたは磁化が小さい状態に戻る、いわゆる保磁力の小さい材料である。
また、ヨーク60は、感受素子51の長手方向の端部に磁力線を誘導する。
これにより、本実施の形態の磁気センサ回路2および磁界検出装置1では、上述したように、磁気センサ14の感受素子51で感受される磁界の変化を、磁気センサ回路2から出力される出力電圧Voutの振幅に変換することができる。
続いて、磁気センサ回路2の変形例について説明する。図8は、磁気センサ回路2の変形例を説明する図である。なお、図8および以下の説明では、上述した実施の形態と同様の構成については同様の符号を用い、ここではその詳細な説明を省略する。
これにより、図8に示す磁気センサ回路2では、磁気センサ14および磁気センサ15が感受する磁界が予め定められた基準値である場合に、第1の要素11のインピーダンスZ1と磁気センサ14のインピーダンスZ4との積と、磁気センサ15のインピーダンスZ2と第3の要素13のインピーダンスZ3との積とが、等しくなっている(Z1*Z4=Z2*Z3)。
Claims (5)
- 抵抗とコンデンサとが直列接続され、もしくはコンデンサのみからなる第1の要素と、
抵抗とインダクタとが直列接続され、もしくは磁気インピーダンス効果により磁界を感受する磁気センサからなる第2の要素と、
抵抗とコンデンサとが直列接続され、もしくはコンデンサのみからなる第3の要素と、
磁気インピーダンス効果により磁界を感受する磁気センサからなる第4の要素と、を有し、
前記第1の要素と前記第2の要素とが直列接続された第1直列回路部と、前記第3の要素と前記第4の要素とが直列接続された第2直列回路部とが並列接続され、
前記磁気センサが感受する磁界が予め定められた基準値である場合に、前記第1の要素のインピーダンスZ1と前記第4の要素のインピーダンスZ4との積と、前記第2の要素のインピーダンスZ2と前記第3の要素のインピーダンスZ3との積とが等しい磁気センサ回路。 - 前記磁気センサが感受する磁界が前記基準値である場合に、前記第1の要素のインピーダンスZ1と前記第3の要素のインピーダンスZ3とが等しく、且つ、前記第2の要素のインピーダンスZ2と前記第4の要素のインピーダンスZ4とが等しいことを特徴とする請求項1に記載の磁気センサ回路。
- 前記第1の要素の抵抗の大きさと前記第3の要素の抵抗の大きさとが等しく、且つ、当該第1の要素のコンデンサの容量と当該第3の要素のコンデンサの容量とが等しいことを特徴とする請求項2に記載の磁気センサ回路。
- 前記第2の要素のインダクタもしくは当該第2の要素の前記磁気センサの誘導性リアクタンスXLに対する前記第1の要素のコンデンサの容量性リアクタンスXCの比率(XC/XL)が1以上であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の磁気センサ回路。
- 抵抗とコンデンサとが直列接続され、もしくはコンデンサのみからなる第1の要素と、抵抗とインダクタとが直列接続され、もしくは磁気インピーダンス効果により磁界を感受する磁気センサからなる第2の要素と、抵抗とコンデンサとが直列接続され、もしくはコンデンサのみからなる第3の要素と、磁気インピーダンス効果により磁界を感受する磁気センサからなる第4の要素とを有し、当該第1の要素と当該第2の要素が直列接続された第1直列回路部と、当該第3の要素と当該第4の要素とが直列接続された第2直列回路部とが並列接続されたブリッジ回路部と、
前記ブリッジ回路部に対して予め定められた周波数および振幅を有する入力電圧を供給する電圧印加部と、
前記第1直列回路部における前記第1の要素と前記第2の要素との接続点と、前記第2直列回路部における前記第3の要素と前記第4の要素との接続点との電圧差に基づいて、磁界を検出する磁界検出部と
を備える磁界検出装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020134148A JP2022030276A (ja) | 2020-08-06 | 2020-08-06 | 磁気センサ回路および磁界検出装置 |
CN202110781794.XA CN114062984A (zh) | 2020-08-06 | 2021-07-09 | 磁传感器电路和磁场检测装置 |
EP21184707.4A EP3951414A1 (en) | 2020-08-06 | 2021-07-09 | Magnetic sensor circuit and magnetic field detection device |
US17/375,367 US11940503B2 (en) | 2020-08-06 | 2021-07-14 | Magnetic sensor circuit and magnetic field detection device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020134148A JP2022030276A (ja) | 2020-08-06 | 2020-08-06 | 磁気センサ回路および磁界検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022030276A true JP2022030276A (ja) | 2022-02-18 |
Family
ID=76859461
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020134148A Pending JP2022030276A (ja) | 2020-08-06 | 2020-08-06 | 磁気センサ回路および磁界検出装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11940503B2 (ja) |
EP (1) | EP3951414A1 (ja) |
JP (1) | JP2022030276A (ja) |
CN (1) | CN114062984A (ja) |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6069475A (en) * | 1996-09-17 | 2000-05-30 | Tokin Corporation | Magnetic sensor utilizing impedance variation of a soft magnetic element in dependence upon a magnetic field strength and a method of manufacturing the same |
US6104593A (en) * | 1996-09-27 | 2000-08-15 | Canon Denshi Kabushiki Kaisha | Tire magnetization method, tire magnetized by the tire magnetization method, tire magnetic field detection method, tire revolution detection signal processing method, and tire revolution detection apparatus |
JP2002243815A (ja) * | 2001-02-16 | 2002-08-28 | Fuji Electric Co Ltd | 磁気検出装置 |
JP2003177167A (ja) | 2001-12-11 | 2003-06-27 | Hitachi Metals Ltd | 磁気センサ |
JP2007085824A (ja) * | 2005-09-21 | 2007-04-05 | Sanyo Electric Co Ltd | 磁気検出装置 |
US20130181701A1 (en) * | 2011-07-27 | 2013-07-18 | Stephen L. L. Galbraith | Nondestructive inspection apparatus and method for evaluating cold working effectiveness at fastener holes |
-
2020
- 2020-08-06 JP JP2020134148A patent/JP2022030276A/ja active Pending
-
2021
- 2021-07-09 EP EP21184707.4A patent/EP3951414A1/en active Pending
- 2021-07-09 CN CN202110781794.XA patent/CN114062984A/zh active Pending
- 2021-07-14 US US17/375,367 patent/US11940503B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11940503B2 (en) | 2024-03-26 |
US20220043076A1 (en) | 2022-02-10 |
CN114062984A (zh) | 2022-02-18 |
EP3951414A1 (en) | 2022-02-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6276190B2 (ja) | 磁場センサ | |
US20180090253A1 (en) | Integrated gap sensing electromagnetic reluctance actuator | |
EP2639594B1 (en) | Magnetic sensor | |
JP5210983B2 (ja) | 地磁気センサ | |
WO2002037131A1 (fr) | Capteur de champ magnetique a couche mince | |
JPH07181239A (ja) | 磁気インピーダンス効果素子 | |
WO2008016198A1 (en) | 3 axis thin film fluxgate | |
JP2009162499A (ja) | 磁気センサ | |
CN103140741A (zh) | 用于检测磁场的方法和设备 | |
US11719768B2 (en) | Magnetic sensor and magnetic sensor device | |
JP5802565B2 (ja) | 磁気センサ | |
EP1662520A1 (en) | Magnetic bias film and magnetic sensor using the same | |
JP5711368B2 (ja) | 磁界検出方法及び磁界検出回路 | |
JP4524195B2 (ja) | 磁気検出素子 | |
US6466012B1 (en) | MI element made of thin film magnetic material | |
JP2022030276A (ja) | 磁気センサ回路および磁界検出装置 | |
JP3272397B2 (ja) | 磁気インダクタンス素子 | |
EP3851864B1 (en) | Magnetic sensor and current sensor | |
US11493572B2 (en) | Magnetic sensor | |
CN115128519A (zh) | 磁传感器 | |
JP2021025820A (ja) | 磁界検出センサ | |
JP4110468B2 (ja) | 磁気インピーダンス素子 | |
JP2003177167A (ja) | 磁気センサ | |
US10866267B2 (en) | Electric current sensor | |
TW201229525A (en) | Electric power measuring apparatus and method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20230131 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20230201 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20230307 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230619 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20240131 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20240206 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240404 |