JP2022026427A - 案内装置 - Google Patents
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 126
- 239000003921 oil Substances 0.000 claims description 70
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 27
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 25
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 claims description 19
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 claims description 13
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 claims description 13
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims description 7
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 claims description 7
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims description 6
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims description 4
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims description 4
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 abstract 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 6
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 6
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/02—Sliding-contact bearings
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q11/00—Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
- B23Q11/12—Arrangements for cooling or lubricating parts of the machine
- B23Q11/121—Arrangements for cooling or lubricating parts of the machine with lubricating effect for reducing friction
- B23Q11/124—Arrangements for cooling or lubricating parts of the machine with lubricating effect for reducing friction for lubricating linear guiding systems
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/02—Sliding-contact bearings
- F16C29/025—Hydrostatic or aerostatic
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/02—Parts of sliding-contact bearings
- F16C33/04—Brasses; Bushes; Linings
- F16C33/06—Sliding surface mainly made of metal
- F16C33/10—Construction relative to lubrication
- F16C33/1025—Construction relative to lubrication with liquid, e.g. oil, as lubricant
- F16C33/106—Details of distribution or circulation inside the bearings, e.g. details of the bearing surfaces to affect flow or pressure of the liquid
- F16C33/1065—Grooves on a bearing surface for distributing or collecting the liquid
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
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Abstract
【課題】支持体の案内面と移動体の摺動面との摩擦を低減すること。【解決手段】案内装置は、案内面を有する支持体と、潤滑油が供給されるオイルポケット及び案内面に対向する摺動面を有する移動体とを備える。摺動面は、オイルポケットの周囲に配置され第1材料により形成される第1領域と、第1領域の周囲の少なくとも一部に配置され第2材料により形成される第2領域とを含む。【選択図】図2
Description
本開示は、案内装置に関する。
案内装置に係る技術分野において、特許文献1に開示されているような案内装置が知られている。案内装置は、案内面を有する支持体と、摺動面を有する移動体とを備える。
案内装置において、支持体の案内面と移動体の摺動面との摩擦を低減することが要求される。
本開示の一態様に係る案内装置は、案内面を有する支持体と、潤滑油が供給されるオイルポケット及び案内面に対向する摺動面を有する移動体とを備える。摺動面は、オイルポケットの周囲に配置され第1材料により形成される第1領域と、第1領域の周囲の少なくとも一部に配置され第2材料により形成される第2領域とを含む。
本開示によれば、支持体の案内面と移動体の摺動面との摩擦が低減される。
以下、本開示に係る実施形態について図面を参照しながら説明するが、本開示は実施形態に限定されない。以下で説明する実施形態の構成要素は、適宜組み合わせることができる。また、一部の構成要素を用いない場合もある。
以下の説明においては、案内装置に3次元直交座標系を設定し、3次元直交座標系を参照しつつ各部の位置関係について説明する。所定面内のX軸と平行な方向をX軸方向とする。所定面内においてX軸と直交するY軸と平行な方向をY軸方向とする。X軸及びY軸のそれぞれと直交するZ軸と平行な方向をZ軸方向とする。X軸を中心とする回転方向又は傾斜方向をA軸方向とする。Z軸を中心とする回転方向又は傾斜方向をC軸方向とする。X軸及びY軸を含む平面をXY平面とする。Y軸及びZ軸を含む平面をYZ平面とする。Z軸及びX軸を含む平面をZX平面とする。上述の所定面は、XY平面である。X軸は、YZ平面と直交する。Y軸は、ZX平面と直交する。Z軸は、XY平面と直交する。実施形態において、Y軸方向は、鉛直方向である。ZX平面は、水平面と平行である。
[第1実施形態]
第1実施形態について説明する。
第1実施形態について説明する。
<工作機械>
図1は、本実施形態に係る工作機械100を模式的に示す図である。本実施形態において、工作機械100は、マシニングセンタである。
図1は、本実施形態に係る工作機械100を模式的に示す図である。本実施形態において、工作機械100は、マシニングセンタである。
工作機械100は、ベッド101と、コラム102と、第1支持部材103と、第2支持部材104と、ヘッド105と、テーブル106とを備える。
ベッド101は、支持面107に固定される。支持面107として、工作機械100が設置される工場の床面が例示される。
コラム102は、案内装置1Aを介して、ベッド101に移動可能に支持される。案内装置1Aは、コラム102をX軸方向に案内する。コラム102は、案内装置1Aに案内されながら、X軸方向に移動する。
第1支持部材103は、コラム102に移動可能に支持される。第1支持部材103は、Y軸方向に移動する。
第2支持部材104は、第1支持部材103に移動可能に支持される。第2支持部材104は、C軸方向に回転する。
ヘッド105は、工具を保持する。ヘッド105は、第2支持部材104に移動可能に支持される。ヘッド105は、A軸方向に回転する。
テーブル106は、ワークWを支持する。テーブル106は、案内装置1Bを介して、ベッド101に移動可能に支持される。案内装置1Bは、テーブル106をZ軸方向に案内する。テーブル106は、案内装置1Bに案内されながら、Z軸方向に移動する。
<案内装置>
図2は、本実施形態に係る案内装置1を模式的に示す断面図である。案内装置1は、図1を参照して説明した案内装置1A及び案内装置1Bの少なくとも一方として使用される。以下の説明においては、案内装置1が案内装置1Aとして使用されることとする。案内装置1は、ベッド101とコラム102との間に配置される。案内装置1は、コラム102をX軸方向に案内する。
図2は、本実施形態に係る案内装置1を模式的に示す断面図である。案内装置1は、図1を参照して説明した案内装置1A及び案内装置1Bの少なくとも一方として使用される。以下の説明においては、案内装置1が案内装置1Aとして使用されることとする。案内装置1は、ベッド101とコラム102との間に配置される。案内装置1は、コラム102をX軸方向に案内する。
図1及び図2に示すように、案内装置1は、支持体2と、移動体3とを備える。支持体2は、ベッド101の上面に固定される。支持体2は、X軸方向に延伸する。移動体3は、コラム102の下面に固定される。移動体3は、支持体2に対して移動可能である。移動体3は、支持体2に対してX軸方向へ移動するように案内される。
支持体2は、案内面4を有する。案内面4は、支持体2の上面を含む。案内面4は、平面である。案内面4は、ZX平面と平行である。案内面4は、X軸方向に延伸する。
案内面4は、金属材料により形成される。本実施形態において、支持体2は、鉄鋼製である。案内面4は、鉄鋼材料により形成される。
<移動体>
図3は、本実施形態に係る移動体3を下方から視た図である。図2及び図3に示すように、移動体3は、摺動面5を有する。摺動面5は、移動体3の下面を含む。摺動面5は、実質的に平面である。摺動面5が微小な凹凸を含んでもよい。摺動面5は、ZX平面と平行である。摺動面5は、案内面4に対向する。摺動面5は、案内面4に対向した状態で、X軸方向に移動する。摺動面5は、案内面4に接触しながら、X軸方向に移動する。なお、図2においては、図を見易くするため、案内面4と摺動面5とが離れているように図示してある。
図3は、本実施形態に係る移動体3を下方から視た図である。図2及び図3に示すように、移動体3は、摺動面5を有する。摺動面5は、移動体3の下面を含む。摺動面5は、実質的に平面である。摺動面5が微小な凹凸を含んでもよい。摺動面5は、ZX平面と平行である。摺動面5は、案内面4に対向する。摺動面5は、案内面4に対向した状態で、X軸方向に移動する。摺動面5は、案内面4に接触しながら、X軸方向に移動する。なお、図2においては、図を見易くするため、案内面4と摺動面5とが離れているように図示してある。
摺動面5は、合成樹脂材料により形成される。
移動体3は、オイルポケット6を有する。オイルポケット6は、摺動面5の一部に設けられた凹部である。オイルポケット6は、摺動面5から上方に凹むように形成される。オイルポケット6に潤滑油が供給される。
オイルポケット6は、天井面61と、周壁面62と、開口63とを有する。天井面61は、摺動面5よりも上方に配置される。天井面61は、下方を向く。天井面61は、ZX平面と平行である。周壁面62は、天井面61の周縁部に接続される。周壁面62は、ZX平面と直交する。周壁面62の一部は、XY平面と平行である。周壁面62の一部は、YZ平面と平行である。開口63は、周壁面62の下端部に配置される。開口63は、案内面4に対向する。なお、天井面61は、ZX平面に対して傾斜してもよいし、曲面を含んでもよい。周壁面62は、ZX平面と直交しなくてもよいし、曲面を含んでもよい。
ZX平面内において、オイルポケット6は、X軸方向に長い長方形状である。X軸方向における開口63の寸法は、Z軸方向における開口63の寸法よりも大きい。
移動体3は、油路7を有する。潤滑油は、油路7を介して、オイルポケット6に供給される。油路7は、絞り7Aと、供給口7Bとを有する。絞り7Aは、オイルポケット6に供給される潤滑油の流量を調整する。供給口7Bは、流量が調整された潤滑油をオイルポケット6に供給する。供給口7Bは、オイルポケット6の天井面61に設けられる。本実施形態において、供給口7Bは、天井面61の中央部に設けられる。
オイルポケット6は、供給口7Bから供給された潤滑油で満たされる。供給口7Bからオイルポケット6に供給された潤滑油の少なくとも一部は、開口63を介して、案内面4と摺動面5との間に供給される。流量が調整された潤滑油が案内面4と摺動面5との間に供給されることにより、支持体2に対して移動体3が僅かに浮上する。流量が調整された潤滑油が案内面4と摺動面5との間に供給されることにより、案内面4と摺動面5との摩擦が低減される。
移動体3は、基材8と、第1膜9と、第2膜10とを有する。
基材8は、金属製である。本実施形態において、基材8は、鉄鋼製である。オイルポケット6は、基材8の下面80の一部に設けられる。本実施形態において、オイルポケット6は、基材8の下面80の中央部に設けられる。オイルポケット6は、下面80から上方に凹むように形成される。
第1膜9は、基材8の下面80の少なくとも一部に配置される。第1膜9は、開口63の周囲の下面80の環状領域81に配置される。
第2膜10は、基材8の下面80において第1膜9の周囲の少なくとも一部に配置される。第2膜10は、環状領域81よりも外側の下面80の外側領域82に配置される。本実施形態において、第1膜9と第2膜10とは、Z軸方向に配置される。第2膜10は、第1膜9の+Z側及び-Z側のそれぞれに配置される。
第1膜9は、第1材料により形成される。第2膜10は、第2材料により形成される。第1材料及び第2材料のそれぞれは、合成樹脂材料である。第1材料の物理特性と第2材料の物理特性とは、異なる。
移動体3の摺動面5は、オイルポケット6の周囲に配置される第1領域51と、第1領域51の周囲の少なくとも一部に配置される第2領域52とを含む。第1領域51は、第1膜9の下面を含む。第2領域52は、第2膜10の下面を含む。第1領域51は、第1材料により形成される。第2領域52は、第2材料により形成される。第1材料及び第2材料のそれぞれは、摺動面5を形成する摺動材料である。
案内面4に対する第2領域52の摩擦係数は、案内面4に対する第1領域51の摩擦係数よりも低い。
本実施形態において、第1材料は、エポキシ樹脂を主成分とする合成樹脂材料である。第2材料は、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE:polytetrafluoroethylene)を主成分とする合成樹脂材料である。第1材料として、モグライス(商品名)が例示される。第2材料として、ターカイト(登録商標)又はベアリー(登録商標)が例示される。
図4は、本実施形態に係る摺動材料の評価試験結果を示す図である。図4は、工作機械100の一般的な使用条件において案内面4に対して摺動面5を摺動させたときの摺動速度と摩擦係数との関係を示すグラフである。摺動速度は、案内面4に対する摺動材料の移動速度である。摩擦係数は、案内面4に対する摺動材料の摩擦係数である。図4に示すグラフにおいて、横軸は対数表示した摺動速度を示し、縦軸は摩擦係数を示す。摺動材料は、第1材料及び第2材料を評価した。
評価試験においては、第1摺動速度Vaから第1摺動速度Vaよりも高い第2摺動速度Vbまでの範囲において、第1材料の摩擦係数及び第2材料の摩擦係数を測定した。図4に示すように、第1摺動速度Vaから第2摺動速度Vbまでの範囲において、案内面4に対する第2材料(第2領域52)の摩擦係数は、案内面4に対する第1材料(第1領域51)の摩擦係数よりも低い。
図2及び図3に示すように、第1領域51は、案内面4に対向するように、下方を向く。第1領域51は、ZX平面と実質的に平行である。第1領域51は、オイルポケット6の開口63を囲むように配置される。第1領域51の外形は、X軸方向に長い長方形状である。
第2領域52は、案内面4に対向するように、下方を向く。第2領域52は、ZX平面と実質的に平行である。第2領域52は、第1領域51の周囲の一部に配置される。第2領域52の外形は、X軸方向に長い長方形状である。
第1領域51と第2領域52とは、同一面内に配置される。すなわち、第1領域51の高さと第2領域52の高さとは、等しい。高さとは、Y軸方向における位置をいう。
第1領域51と第2領域52とは、X軸方向と直交するZ軸方向に配置される。第2領域52は、下面80の2箇所に配置される。第2領域52は、第1領域51の+Z側及び-Z側のそれぞれに配置される。2つの第2領域52の外形及び寸法は、等しい。
X軸方向において、第1領域51の寸法と第2領域52の寸法とは、等しい。X軸方向において、第1領域51の端部の位置と第2領域52の端部の位置とは、等しい。Z軸方向において、第1領域51の寸法は、第2領域52の寸法よりも大きい。
摺動面5において、第2領域52の比率は、第1領域51の比率よりも高い。すなわち、第2領域52の面積は、第1領域51の面積よりも大きい。本実施形態において、第2領域52の面積とは、2つの第2領域52の面積の和をいう。
ZX平面内において、オイルポケット6と第2領域52との距離は、オイルポケット6と第1領域51の距離よりも長い。オイルポケット6と第2領域52との距離は、開口63の周縁部と第2領域52との最短距離である。オイルポケット6と第1領域51との距離は、開口63の周縁部と第1領域51との最短距離である。なお、オイルポケット6と第2領域52との距離は、オイルポケット6の中心と第2領域52との最短距離でもよい。オイルポケット6と第1領域51との距離は、オイルポケット6の中心と第1領域51との最短距離でもよい。
すなわち、第2領域52は、第1領域51よりもオイルポケット6から離れた位置に配置される。第2領域52が第1領域51よりもオイルポケット6から離れた位置に配置されるので、第2領域52に作用する潤滑油の静圧は、第1領域51に作用する潤滑油の静圧よりも低い。
移動体3は、第1領域51と第2領域52との間に設けられる溝11を有する。溝11は、基材8の下面80に設けられる。溝11は、下面80から上方に凹むように形成される。溝11は、第1膜9と第2膜10とを区画するように設けられる。第1膜9及び第2膜10は、溝11の内側に配置されない。
溝11は、摺動面5の周縁部に繋がるように形成される。図3に示すように、溝11は、第1領域51と第2領域52との間において、X軸方向に延伸する。溝11の+X側の端部は、摺動面5の+X側の周縁部に繋がる。溝11の-X側の端部は、摺動面5の-X側の周縁部に繋がる。摺動面5の周囲の空気は、溝11の端部を介して、溝11の内側に流入可能である。溝11の内側の空気は、溝11の端部を介して、摺動面5の周囲の外部空間に流出可能である。溝11は、大気解放される。
供給口7Bからオイルポケット6に供給された潤滑油の少なくとも一部は、開口63を介して、案内面4と第1領域51との間に供給される。案内面4と第1領域51との間に供給された潤滑油の少なくとも一部は、案内面4と第2領域52との間に供給される。第1領域51と第2領域52との間に溝11が設けられるので、第2領域52に作用する潤滑油の静圧は、第1領域51に作用する潤滑油の静圧よりも低い。
<移動体の製造方法>
図5は、本実施形態に係る移動体3を模式的に示す分解図である。本実施形態において、第1膜9は、基材8に塗布された第1材料により形成される。第1材料は、オイルポケット6の開口63を囲む環状領域81に塗布される。第1材料は、所謂、塗布型摺動材料である。第1材料は、液状である。第1材料は、例えば主剤と硬化剤とを混合した混合液である。液状の第1材料が基材8の環状領域81に塗布された後、例えば主剤と硬化剤とが反応し硬化することにより、第1膜9が基材8の環状領域81に配置される。第1膜9は、環状領域81に固定される。第1膜9の下面により、第1領域51が形成される。
図5は、本実施形態に係る移動体3を模式的に示す分解図である。本実施形態において、第1膜9は、基材8に塗布された第1材料により形成される。第1材料は、オイルポケット6の開口63を囲む環状領域81に塗布される。第1材料は、所謂、塗布型摺動材料である。第1材料は、液状である。第1材料は、例えば主剤と硬化剤とを混合した混合液である。液状の第1材料が基材8の環状領域81に塗布された後、例えば主剤と硬化剤とが反応し硬化することにより、第1膜9が基材8の環状領域81に配置される。第1膜9は、環状領域81に固定される。第1膜9の下面により、第1領域51が形成される。
本実施形態において、第2膜10は、基材8に接着された第2材料のシート材12である。第2材料のシート材12は、環状領域81の外側の外側領域82に接着剤により接着される。第2材料は、所謂、接着型摺動材料である。第2材料のシート材12が接着剤により外側領域82に接着されることにより、第2膜10が基材8の外側領域82に配置される。第2膜10は、外側領域82に固定される。第2膜10の下面により、第2領域52が形成される。
<移動体の具体例>
図6は、本実施形態に係る移動体3を示す平面図である。図6において、移動体3は、支持体2に対してX軸方向へ移動するように案内される。
図6は、本実施形態に係る移動体3を示す平面図である。図6において、移動体3は、支持体2に対してX軸方向へ移動するように案内される。
図6に示すように、移動体3は、X軸方向に長い。X軸方向における移動体3の寸法は、Z軸方向における移動体3の寸法よりも大きい。基材8の下面80の外形は、X軸方向に長い長方形状である。オイルポケット6は、基材8の下面80に複数設けられる。オイルポケット6は、X軸方向に間隔をあけて配置される。オイルポケット6は、Z軸方向に1つ配置される。X軸方向において、複数のオイルポケット6の間隔は、均一でもよいし、不均一でもよい。Z軸方向において、オイルポケット6の中心と基材8の中心とは、一致する。ZX平面内において、オイルポケット6は、X軸方向に長い長方形状である。複数のオイルポケット6の形状及び寸法は、等しい。
第1領域51は、複数のオイルポケット6のそれぞれを囲むように配置される。第1領域51の外形は、X軸方向に長い長方形状である。複数の第1領域51の外形及び寸法は、等しい。
第2領域52は、X軸方向に間隔をあけて配置される。第2領域52は、Z軸方向に間隔をあけて2つ配置される。第1領域51と第2領域52とは、Z軸方向に配置される。第1領域51と第2領域52とは、Z軸方向に交互に配置される。第2領域52は、第1領域51の+Z側及び-Z側のそれぞれに1つずつ配置される。第2領域52の外形は、X軸方向に長い長方形状である。複数の第2領域52の外形及び寸法は、等しい。
X軸方向において、第1領域51の外形の寸法と第2領域52の外形の寸法とは、等しい。Z軸方向において、第1領域51の外形の寸法は、第2領域52の外形の寸法よりも大きい。
第1領域51と第2領域52との間に溝11が設けられる。溝11は、X軸方向に延伸する。
X軸方向に隣り合う第1領域51の間及びX軸方向に隣り合う第2領域52の間に、溝13が設けられる。溝13は、下面80から上方に凹むように形成される。溝13は、Z軸方向に延伸する。溝13は、摺動面5の周縁部に繋がる。溝13の+Z側の端部は、摺動面5の+Z側の周縁部に繋がる。溝13の-Z側の端部は、摺動面5の-Z側の周縁部に繋がる。溝13は、大気解放される。溝11は、溝13に接続される。溝11は、溝13を介して、大気解放される。
支持体2に対して移動体3が移動すると、摺動面5に潤滑油の動圧が作用する。溝13により、摺動面5に作用する動圧が低減される。
<効果>
以上説明したように、本実施形態によれば、摺動面5は、オイルポケット6の周囲に配置される第1領域51と、第1領域51の周囲の少なくとも一部に配置される第2領域52とを含む。第1領域51は、第1材料により形成される。第2領域52は、第1材料とは異なる第2材料により形成される。第1材料及び第2材料のそれぞれが適正に選択されることにより、支持体2の案内面4と移動体3の摺動面5との摩擦が低減される。また、第1材料及び第2材料のそれぞれが適正に選択されることにより、案内装置1の信頼性の低下が抑制される。
以上説明したように、本実施形態によれば、摺動面5は、オイルポケット6の周囲に配置される第1領域51と、第1領域51の周囲の少なくとも一部に配置される第2領域52とを含む。第1領域51は、第1材料により形成される。第2領域52は、第1材料とは異なる第2材料により形成される。第1材料及び第2材料のそれぞれが適正に選択されることにより、支持体2の案内面4と移動体3の摺動面5との摩擦が低減される。また、第1材料及び第2材料のそれぞれが適正に選択されることにより、案内装置1の信頼性の低下が抑制される。
本実施形態において、第1領域51は、オイルポケット6の開口63の周囲に環状に配置される。第2領域52は、第1領域51の周囲の少なくとも一部に配置される。ZX平面内において、オイルポケット6と第2領域52との距離は、オイルポケット6と第1領域51との距離よりも長い。これにより、第2領域52に作用する静圧は、第1領域51に作用する静圧よりも低くなる。第2領域52に作用する静圧が低くなるので、第2領域52の劣化が抑制される。そのため、案内装置1の信頼性の低下が抑制される。
第1膜9は、液状の第1材料が基材8の下面80の環状領域81に塗布された後、硬化することによって形成される。これにより、第1膜9は、基材8の環状領域81に強固に固定される。第2膜10は、第2材料のシート材12が基材8の下面80の外側領域82に接着されることによって形成される。これにより、第2膜10は良好な作業性で基材8に固定される。本実施形態において、第2膜10に作用する静圧は、第1膜9に作用する静圧よりも低い。そのため、第2膜10が基材8から剥離することが抑制される。第1膜9は、基材8に強固に固定される。そのため、第1膜9に作用する静圧が第2膜10に作用する静圧よりも高くても、第1膜9が基材8から剥離する可能性は低い。したがって、案内装置1の信頼性の低下が抑制される。
第1膜9を形成する第1材料は、エポキシ樹脂を主成分とする合成樹脂材料である。これにより、第1膜9は、基材8に強固に固定される。第2膜10を形成する第2材料は、ポリテトラフルオロエチレンを主成分とする合成樹脂材料である。案内面4に対する第2膜10の摩擦係数は、案内面4に対する第1膜9の摩擦係数よりも低い。そのため、支持体2の案内面4と移動体3の摺動面5との摩擦が低減される。
第2領域52の面積は、第1領域51の面積よりも大きい。これにより、支持体2の案内面4と移動体3の摺動面5との摩擦が低減される。
供給口7Bからオイルポケット6に供給された潤滑油の少なくとも一部は、開口63を介して、第1領域51と案内面4との間に供給される。第1領域51と案内面4との間に供給された潤滑油の少なくとも一部は、第2領域52と案内面4との間に供給される。第1領域51と第2領域52との間に溝11が設けられることにより、第2領域52に作用する静圧は、第1領域51に作用する静圧よりも低くなる。
溝11は、摺動面5の周縁部に繋がるように形成される。これにより、溝11は、大気解放される。そのため、第2領域52に作用する静圧は、十分に低くなる。
[第2実施形態]
第2実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成要素については同一の符号を付し、その構成要素の説明を簡略又は省略する。
第2実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成要素については同一の符号を付し、その構成要素の説明を簡略又は省略する。
図7は、本実施形態に係る移動体3Bを示す平面図である。移動体3Bは、支持体2に対してX軸方向へ移動するように案内される。
図7に示すように、移動体3Bは、X軸方向に長い。オイルポケット6は、X軸方向に間隔をあけて配置される。オイルポケット6は、Z軸方向に1つ配置される。Z軸方向において、オイルポケット6の中心と基材8の中心とは、一致する。ZX平面内において、オイルポケット6は、Z軸方向に長い長方形状である。複数のオイルポケット6の形状及び寸法は、等しい。
第1領域51は、複数のオイルポケット6のそれぞれを囲むように配置される。第1領域51の外形は、Z軸方向に長い長方形状である。複数の第1領域51の外形及び寸法は、等しい。
第2領域52は、X軸方向に間隔をあけて配置される。第2領域52は、Z軸方向に1つ配置される。第1領域51と第2領域52とは、X軸方向に配置される。第1領域51と第2領域52とは、X軸方向に交互に配置される。第2領域52は、X軸方向に隣り合う第1領域51の間に配置される。第2領域52の外形は、Z軸方向に長い長方形状である。X軸方向の端部に配置される2つの第2領域52の外形及び寸法は、等しい。X軸方向の中間部に配置される5つの第2領域52の外形及び寸法は、等しい。
X軸方向において、第1領域51の外形の寸法と中間部の第2領域52の外形の寸法とは、等しい。Z軸方向において、第1領域51の外形の寸法と第2領域52の外形の寸法とは、等しい。
第1領域51と第2領域52との間に溝11が設けられる。溝11は、Z軸方向に延伸する。溝11は、摺動面5の周縁部に繋がる。溝11の+Z側の端部は、摺動面5の+Z側の周縁部に繋がる。溝11の-Z側の端部は、摺動面5の-Z側の周縁部に繋がる。溝11は、大気解放される。
溝11により、第2領域52に作用する静圧が低減される。溝11により、摺動面5に作用する動圧も低減される。
以上説明したように、本実施形態においても、支持体2の案内面4と移動体3Bの摺動面5との摩擦が低減される。また、案内装置1の信頼性の低下が抑制される。
[第3実施形態]
第3実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成要素については同一の符号を付し、その構成要素の説明を簡略又は省略する。
第3実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成要素については同一の符号を付し、その構成要素の説明を簡略又は省略する。
図8は、本実施形態に係る移動体3Cを示す平面図である。図8において、移動体3Cは、支持体2に対してX軸方向へ移動するように案内される。
図8に示すように、移動体3Cは、X軸方向に長い。オイルポケット6は、X軸方向に間隔をあけて6つ配置される。オイルポケット6は、Z軸方向に間隔をあけて2つ配置される。ZX平面内において、オイルポケット6は、X軸方向に長い長方形状である。複数のオイルポケット6の形状及び寸法は、等しい。
第1領域51は、複数のオイルポケット6のそれぞれを囲むように配置される。第1領域51の外形は、X軸方向に長い長方形状である。複数の第1領域51の外形及び寸法は、等しい。
第2領域52は、X軸方向に間隔をあけて配置される。第2領域52は、Z軸方向に1つ配置される。第1領域51と第2領域52とは、Z軸方向に配置される。第1領域51と第2領域52とは、Z軸方向に交互に配置される。第2領域52は、Z軸方向に隣り合う第1領域51の間に配置される。Z軸方向において、第2領域52の中心と基材8の中心とは、一致する。第2領域52の外形は、X軸方向に長い長方形状である。複数の第2領域52の外形及び寸法は、等しい。
X軸方向において、第1領域51の外形の寸法と第2領域52の外形の寸法とは、等しい。Z軸方向において、第1領域51の外形の寸法と第2領域52の外形の寸法とは、等しい。
第1領域51と第2領域52との間に溝11が設けられる。溝11は、X軸方向に延伸する。
X軸方向に隣り合う第1領域51の間及びX軸方向に隣り合う第2領域52の間に、溝13が設けられる。溝13は、Z軸方向に延伸する。溝13は、大気解放される。溝11は、溝13に接続される。溝11は、溝13を介して、大気解放される。
溝11により、第2領域52に作用する静圧が低減される。溝13により、摺動面5に作用する動圧が低減される。
以上説明したように、本実施形態においても、支持体2の案内面4と移動体3Cの摺動面5との摩擦が低減される。また、案内装置1の信頼性の低下が抑制される。
[第4実施形態]
第4実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成要素については同一の符号を付し、その構成要素の説明を簡略又は省略する。
第4実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成要素については同一の符号を付し、その構成要素の説明を簡略又は省略する。
図9は、本実施形態に係る移動体3Dを示す平面図である。移動体3Dは、支持体2に対してX軸方向へ移動するように案内される。
図9に示すように、移動体3Dは、X軸方向に長い。オイルポケット6は、X軸方向に間隔をあけて配置される。オイルポケット6は、Z軸方向に1つ配置される。Z軸方向において、オイルポケット6の中心と基材8の中心とは、一致する。ZX平面内において、オイルポケット6は、正方形状である。複数のオイルポケット6の形状及び寸法は、等しい。
第1領域51は、複数のオイルポケット6のそれぞれを囲むように配置される。第1領域51の外形は、正方形状である。複数の第1領域51の外形及び寸法は、等しい。
第2領域52は、X軸方向に間隔をあけて配置される。第2領域52は、Z軸方向に1つ配置される。第1領域51と第2領域52とは、X軸方向に配置される。第1領域51と第2領域52とは、X軸方向に交互に配置される。第2領域52は、X軸方向に隣り合う第1領域51の間に配置される。第2領域52の外形は、X軸方向に長い長方形状である。複数の第2領域52の外形及び寸法は、等しい。
X軸方向において、第2領域52の外形の寸法は、第1領域51の外形の寸法よりも長い。Z軸方向において、第1領域51の外形の寸法と第2領域52の外形の寸法とは、等しい。
第1領域51と第2領域52との間に溝11が設けられる。溝11は、Z軸方向に延伸する。溝11は、摺動面5の周縁部に繋がる。溝11の+Z側の端部は、摺動面5の+Z側の周縁部に繋がる。溝11の-Z側の端部は、摺動面5の-Z側の周縁部に繋がる。溝11は、大気解放される。
溝11により、第2領域52に作用する静圧が低減される。溝11により、摺動面5に作用する動圧も低減される。
以上説明したように、本実施形態においても、支持体2の案内面4と移動体3Dの摺動面5との摩擦が低減される。また、案内装置1の信頼性の低下が抑制される。
[第5実施形態]
第5実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成要素については同一の符号を付し、その構成要素の説明を簡略又は省略する。
第5実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成要素については同一の符号を付し、その構成要素の説明を簡略又は省略する。
図10は、本実施形態に係る案内装置1を模式的に示す断面図である。上述の実施形態においては、第2領域52に作用する静圧を低減する溝11が基材8の下面80に設けられることとした。図10に示すように、溝11Eが支持体2Eの案内面4に設けられてもよい。図10において、移動体3Eは、支持体2Eに対してX軸方向へ移動するように案内される。第1領域51と第2領域52とは、Z軸方向に配置される。案内面4に設けられる溝11Eは、第1領域51と第2領域52との境界に対向するように配置される。溝11Eは、X軸方向に延伸する。
本実施形態においても、第2領域52に作用する静圧が低減される。また、本実施形態においても、支持体2の案内面4と移動体3Bの摺動面5との摩擦が低減される。また、案内装置1の信頼性の低下が抑制される。
[その他の実施形態]
上述の実施形態において、第1膜9は、塗布型摺動材料により形成され、第2膜10は、接着型摺動材料により形成されることとした。第1膜9は、接着型摺動材料により形成されてもよい。すなわち、第1材料のシート材が環状領域81に接着剤により接着されることにより、第1膜9が形成されてもよい。また、第2膜10は、塗布型摺動材料により形成されてもよい。すなわち、液状の第2材料が外側領域82に塗布された後、硬化することにより、第2膜10が形成されてもよい。また、第1膜9及び第2膜10の少なくとも一方がシート材である場合、シート材は、ねじのような固定部材により、基材8に固定されてもよい。
上述の実施形態において、第1膜9は、塗布型摺動材料により形成され、第2膜10は、接着型摺動材料により形成されることとした。第1膜9は、接着型摺動材料により形成されてもよい。すなわち、第1材料のシート材が環状領域81に接着剤により接着されることにより、第1膜9が形成されてもよい。また、第2膜10は、塗布型摺動材料により形成されてもよい。すなわち、液状の第2材料が外側領域82に塗布された後、硬化することにより、第2膜10が形成されてもよい。また、第1膜9及び第2膜10の少なくとも一方がシート材である場合、シート材は、ねじのような固定部材により、基材8に固定されてもよい。
上述の実施形態において、第1膜9を形成する第1材料は、エポキシ樹脂を主成分とする合成樹脂材料であり、第2膜10を形成する第2材料は、ポリテトラフルオロエチレンを主成分とする合成樹脂材料であることとした。第1材料及び第2材料は、上述の実施形態で説明した合成樹脂材料に限定されない。例えば、第1膜9がポリテトラフルオロエチレンと第3材料とを含む合成樹脂材料であり、第2膜10がポリテトラフルオロエチレンと第4材料とを含む合成樹脂材料でもよい。
上述の実施形態において、案内面4に対する第2領域52の摩擦係数は、案内面4に対する第1領域51の摩擦係数よりも低いこととした。案内面4に対する第2領域52の摩擦係数は、案内面4に対する第1領域51の摩擦係数よりも高くてもよい。案内面4に対する第1領域51の摩擦係数と案内面4に対する第2領域52の摩擦係数とは、等しくてもよい。
上述の実施形態において、第2領域52の面積は、第1領域51の面積よりも大きいこととした。第2領域52の面積は、第1領域51の面積よりも小さくてもよい。第1領域51の面積と第2領域52の面積とは、等しくてもよい。
上述の実施形態において、溝11は、摺動面5の周縁部に繋がっていなくてもよい。溝11が摺動面5の周縁部に繋がっていなくても、第2領域52に作用する静圧は、第1領域51に作用する静圧よりも低くなる。
上述の実施形態において、溝11は無くてもよい。オイルポケット6と第2領域52との距離は、オイルポケット6と第1領域51との距離よりも長い。そのため、溝11が無くても、第2領域52に作用する静圧は、第1領域51に作用する静圧よりも低くなる。
上述の実施形態において、第2領域52は、第1領域51の周囲の一部に配置されることとした。第2領域52は、第1領域51の周囲の全部に配置されてもよい。すなわち、第2領域52は、第1領域51を囲むように配置されてもよい。
上述の実施形態において、案内装置1が案内装置1Aとして使用されることとした。案内装置1が案内装置1Bとして使用されてもよい。案内装置1が案内装置1Bとして使用される場合、案内装置1は、ベッド101とテーブル106との間に配置され、テーブル106をZ軸方向に案内する。
上述の実施形態において、工作機械100は、マシニングセンタであることとしたが、これに限定するものではなく、例えば、レーザ加工機、電子ビーム加工機、ホーニング加工機、又は、研削盤であってもよい。工作機械が第1部材と第1部材に対して相対移動する第2部材とを備える場合、上述の実施形態で説明した案内装置1が第1部材と第2部材との間に配置されてもよい。
1…案内装置、1A…案内装置、1B…案内装置、2…支持体、2E…支持体、3…移動体、3B…移動体、3C…移動体、3D…移動体、3E…移動体、4…案内面、5…摺動面、6…オイルポケット、7…油路、7A…絞り、7B…供給口、8…基材、9…第1膜、10…第2膜、11…溝、11E…溝、12…シート材、13…溝、51…第1領域、52…第2領域、61…天井面、62…周壁面、63…開口、80…下面、81…環状領域、82…外側領域、100…工作機械、101…ベッド、102…コラム、103…第1支持部材、104…第2支持部材、105…ヘッド、106…テーブル、107…支持面、W…ワーク。
Claims (10)
- 案内面を有する支持体と、
潤滑油が供給されるオイルポケット及び前記案内面に対向する摺動面を有する移動体と、を備え、
前記摺動面は、
前記オイルポケットの周囲に配置され第1材料により形成される第1領域と、
前記第1領域の周囲の少なくとも一部に配置され第2材料により形成される第2領域と、を含む、
案内装置。 - 前記第2領域に作用する静圧は、前記第1領域に作用する静圧よりも低い、
請求項1に記載の案内装置。 - 前記移動体は、
基材と、
前記基材に塗布された前記第1材料により形成される第1膜と、
前記基材に接着された前記第2材料のシート材である第2膜と、を有し、
前記第1領域は、前記第1膜の下面を含み、
前記第2領域は、前記第2膜の下面を含む、
請求項1又は請求項2に記載の案内装置。 - 前記第1材料は、エポキシ樹脂を主成分とする合成樹脂材料であり、
前記第2材料は、ポリテトラフルオロエチレンを主成分とする合成樹脂材料である、
請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の案内装置。 - 前記案内面に対する前記第2領域の摩擦係数は、前記案内面に対する前記第1領域の摩擦係数よりも低い、
請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の案内装置。 - 前記第2領域の面積は、前記第1領域の面積よりも大きい、
請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の案内装置。 - 前記第1領域と前記第2領域との間に設けられる溝を備える、
請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の案内装置。 - 前記溝は、前記摺動面の周縁部に繋がる、
請求項7に記載の案内装置。 - 前記移動体は、前記支持体に対して第1方向へ移動するように案内され、
前記第1領域と前記第2領域とは、前記第1方向と直交する第2方向に配置される、
請求項1から請求項8のいずれか一項に記載の案内装置。 - 前記移動体は、前記支持体に対して第1方向へ移動するように案内され、
前記第1領域と前記第2領域とは、前記第1方向に配置される、
請求項1から請求項8のいずれか一項に記載の案内装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020129899A JP2022026427A (ja) | 2020-07-31 | 2020-07-31 | 案内装置 |
PCT/JP2021/021394 WO2022024548A1 (ja) | 2020-07-31 | 2021-06-04 | 案内装置 |
DE112021003050.7T DE112021003050T5 (de) | 2020-07-31 | 2021-06-04 | Führungsvorrichtung |
US18/012,241 US20230250849A1 (en) | 2020-07-31 | 2021-06-04 | Guide device |
CN202180048437.0A CN115777044A (zh) | 2020-07-31 | 2021-06-04 | 引导装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020129899A JP2022026427A (ja) | 2020-07-31 | 2020-07-31 | 案内装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022026427A true JP2022026427A (ja) | 2022-02-10 |
Family
ID=80035387
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020129899A Pending JP2022026427A (ja) | 2020-07-31 | 2020-07-31 | 案内装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20230250849A1 (ja) |
JP (1) | JP2022026427A (ja) |
CN (1) | CN115777044A (ja) |
DE (1) | DE112021003050T5 (ja) |
WO (1) | WO2022024548A1 (ja) |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB812929A (en) * | 1954-12-18 | 1959-05-06 | Gendron Freres S A | A system for circulating liquid under pressure through the space between two relatively slidable surfaces |
NL6807674A (ja) * | 1968-05-31 | 1969-12-02 | ||
US3903993A (en) * | 1973-03-26 | 1975-09-09 | Minster Machine Co | Hydrostatic bearing arrangement for press slide |
JPH06330944A (ja) * | 1993-05-24 | 1994-11-29 | Fujitsu Autom Ltd | 静圧移動案内装置 |
JPH08174294A (ja) * | 1994-12-20 | 1996-07-09 | Komatsu Ltd | プレス機械のスライドガイド装置及びその製造方法 |
US5961218A (en) * | 1996-02-20 | 1999-10-05 | Ebara Corporation | Water lubricated machine component having contacting sliding surfaces |
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-
2020
- 2020-07-31 JP JP2020129899A patent/JP2022026427A/ja active Pending
-
2021
- 2021-06-04 CN CN202180048437.0A patent/CN115777044A/zh active Pending
- 2021-06-04 WO PCT/JP2021/021394 patent/WO2022024548A1/ja active Application Filing
- 2021-06-04 DE DE112021003050.7T patent/DE112021003050T5/de active Pending
- 2021-06-04 US US18/012,241 patent/US20230250849A1/en active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE112021003050T5 (de) | 2023-06-07 |
WO2022024548A1 (ja) | 2022-02-03 |
CN115777044A (zh) | 2023-03-10 |
US20230250849A1 (en) | 2023-08-10 |
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