JP2022012868A - フローティングユニット - Google Patents

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正浩 大江
Masahiro Oe
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Abstract

【課題】あらゆる姿勢においても、第2部材の第1部材に対する相対移動を容易に行うことができるフローティングユニットを提供する。【解決手段】フローティングユニット100において、第1部材1と第2部材2とを相対移動可能に支持する可動支持機構3は、N個(Nは3以上の自然数)の伸縮シリンダ4を備え、各伸縮シリンダ4は、基部41と、可動部42と、当該可動部42を駆動する駆動部43と、を備え、各基部41は、第1玉継手61を介して第1部材1に連結された第1連結部51を備え、各可動部42は、第2玉継手62を介して第2部材2に連結された第2連結部52を備え、N個の第1連結部51は、第1基準円に沿って配置され、N個の第2連結部52は、第2基準円に沿って配置され、各可動部42に、当該可動部42における伸縮荷重を検出する荷重センサ7が設けられ、制御部は、荷重センサ7の検出値に基づいて、駆動部43を制御する。【選択図】図1

Description

本発明は、第1部材に対して第2部材が相対移動可能に構成されたフローティングユニットに関する。
このようなフローティングユニットの一例が、下記の特許文献1に開示されている。以下、「背景技術」及び「発明が解決しようとする課題」の説明では、特許文献1における符号を括弧内に引用する。
特許文献1のフローティングユニットは、互いに離間して配置された第1部材(1)及び第2部材(2)と、それらを接続する複数の流体圧シリンダ(3)と、を備えている(特許文献1の図1参照)。複数の流体圧シリンダ(3)のそれぞれは、筒状の基部(30)と、当該基部に対して伸縮自在に支持された棒状の可動部(31)と、を備えている。基部(30)における可動部(31)の側とは反対側の端部は、自在継手(4)を介して第1部材(1)に連結されている。そして、可動部(31)における基部(30)の側とは反対側の端部は、玉継手(5)を介して第2部材(2)に連結されている。このような構造により、第2部材(2)に外力が付与されると、当該第2部材が第1部材(1)に対して相対的に移動する。
特開2008-62335号公報
しかし、特許文献1のフローティングユニットをロボットアーム(R)の先端部に取り付けて、第2部材(2)により保持された第1部品(W1)を、所定の位置に固定された第2部品(W2)に組み付ける作業を行う場合において(特許文献1の図4参照)、例えば、第2部材(2)と第1部品(W1)とが水平方向に並ぶ姿勢となった場合、それらの重量により、第2部材(2)の第1部材(1)に対する下方への相対移動に比べて、第2部材(2)の第1部材(1)に対する上方への相対移動を行いにくい。
このように、特許文献1のフローティングユニットは、その姿勢によっては、第2部材(2)の第1部材(1)に対する相対移動が行いにくくなる可能性があった。
そこで、あらゆる姿勢においても、第2部材の第1部材に対する相対移動を容易に行うことができるフローティングユニットの実現が望まれる。
上記に鑑みた、フローティングユニットの特徴構成は、
互いに離間して配置された第1部材及び第2部材と、
前記第1部材に対して前記第2部材が相対移動するように、前記第1部材及び前記第2部材を支持する可動支持機構と、
前記可動支持機構を制御する制御部と、を備え、
前記可動支持機構は、N個(Nは3以上の自然数)の伸縮シリンダを備え、
N個の前記伸縮シリンダのそれぞれは、基部と、前記基部に対して伸縮自在に支持された可動部と、前記可動部を駆動する駆動部と、を備え、
N個の前記基部のそれぞれは、第1玉継手を介して前記第1部材に連結された第1連結部を備え、
N個の前記可動部のそれぞれは、第2玉継手を介して前記第2部材に連結された第2連結部を備え、
N個の前記第1連結部は、第1基準円に沿って配置され、
N個の前記第2連結部は、第2基準円に沿って配置され、
N個の前記可動部のそれぞれに、当該可動部における伸縮方向の荷重である伸縮荷重を検出する荷重センサが設けられ、
前記制御部は、N個の前記荷重センサの検出値に基づいて、N個の前記駆動部を制御する点にある。
この特徴構成によれば、N個の可動部のそれぞれに作用する伸縮荷重が荷重センサを用いて検出される。そして、N個の荷重センサを用いて検出された伸縮荷重に基づいて、N個の駆動部がN個の可動部を駆動するための推力を出力する。これにより、N個の可動部に作用する伸縮荷重を低減するように、N個の駆動部に推力を出力させることができる。したがって、フローティングユニットの姿勢によらず、第2部材の第1部材に対する相対移動を容易に行うことができる。
実施形態に係るフローティングユニットの斜視図 実施形態に係るフローティングユニットの平面図 実施形態に係るフローティングユニットの制御ブロック図 伸縮シリンダとその周辺の構成を示す図 第2部材2が基準位置から径方向に移動した状態を示す平面図 第2部材2が基準位置から周方向に移動した状態を示す平面図 第2部材2が基準位置から軸方向に移動した状態を示す側面図 実施形態に係るフローティングユニットを備えた着脱設備を示す概略図
以下では、実施形態に係るフローティングユニット100について、図面を参照して説明する。図1及び図2に示すように、フローティングユニット100は、互いに離間して配置された第1部材1及び第2部材2と、第1部材1に対して第2部材2が相対移動するように、第1部材1及び第2部材2を支持する可動支持機構3と、を備えている。
図1に示すように、本実施形態では、第1部材1は、円環板状に形成されている。以下の説明では、第1部材1の軸心を基準として、「軸方向L」、「径方向R」、及び「周方向C」を定義している。
軸方向Lは、第1部材1の軸心に沿う方向である。径方向Rは、軸方向Lに直交する方向であって、第1部材1の軸心から放射状に延在する方向である。周方向Cは、第1部材1の軸心を中心とする円周に沿う方向である。以下の説明では、軸方向Lの一方側を「軸方向第1側L1」とし、軸方向Lの他方側を「軸方向第2側L2」とする。また、径方向Rにおいて、第1部材1の軸心側を「径方向内側R1」とし、その反対側を「径方向外側R2」とする。
本実施形態では、第2部材2は、矩形板状に形成されている。そして、第2部材2は、第1部材1に対する基準位置P1に位置した状態で、第1部材1よりも径方向内側R1に、第2部材2が配置されている。ここで、基準位置P1は、第2部材2に外力が付与されていない場合における、第1部材1に対する第2部材2の相対位置である。本実施形態では、基準位置P1は、第1部材1の軸心と第2部材2の軸心とが重なっている状態における、第1部材1に対する第2部材2の相対位置である。つまり、本実施形態では、第2部材2が基準位置P1にある場合、第1部材1と第2部材2とが同軸となる。なお、ここでの第1部材1の軸心とは、後述する第1基準円C1の軸心であり、第2部材2の軸心とは、後述する第2基準円C2の軸心である。
可動支持機構3は、N個(Nは3以上の自然数)の伸縮シリンダ4を備えている。本実施形態では、可動支持機構3は、4個の伸縮シリンダ4を備えている(N=4)。
N個の伸縮シリンダ4のそれぞれは、基部41と、当該基部41に対して伸縮自在に支持された可動部42と、当該可動部42を駆動する駆動部43と、を備えている。
本実施形態では、各伸縮シリンダ4は、所謂、電動シリンダである。具体的には、基部41は、筒状に形成されている。そして、可動部42は、基部41の軸心に沿って延在し、その一方の端部が外部に露出するように基部41の内部に配置されている。ここでは、可動部42は、円柱状の部材である。また、駆動部43は、可動部42に連結されたボールねじと、当該ボールねじを回転駆動させるモータと、を含む動力伝達機構である。こうして、駆動部43のモータがボールねじを回転駆動させることで、可動部42が基部41に対して伸縮するように移動する。本例では、可動部42は、その外周面にねじ山が形成されたねじ軸となっており、駆動部43は、当該ねじ山に螺合するボールねじ用ナットをモータにより回転駆動することで、可動部42を基部41に対して突出又は引退させる。
N個の基部41のそれぞれは、第1連結部51を備えている。第1連結部51は、第1玉継手61を介して第1部材1に連結されている。本実施形態では、第1連結部51は、基部41における可動部42の側とは反対側の端部に設けられている。
第1玉継手61は、第1部材1に対して基部41が相対的に全方向に揺動するように、それらを接続する継手である。第1玉継手61は、球状の先端部を有する第1球状体61aと、当該第1球状体61aにおける球状の先端部を揺動可能に支持する第1支持体61bと、を備えている。本実施形態では、第1球状体61aは、第1部材1における軸方向第1側L1の表面から突出するように設けられている。そして、第1支持体61bは、基部41(第1連結部51)における可動部42の側とは反対側の端面から突出するように設けられている。
N個の可動部42のそれぞれは、第2連結部52を備えている。第2連結部52は、第2玉継手62を介して第2部材2に連結されている。本実施形態では、第2連結部52は、可動部42における基部41の側とは反対側の外部に露出した部分に設けられている。本例では、第2連結部52は、可動部42における基部41から外部に露出した部分の先端部に設けられている。
第2玉継手62は、第2部材2に対して可動部42が相対的に全方向に揺動するように、それらを接続する継手である。第2玉継手62は、球状の先端部を有する第2球状体62aと、当該第2球状体62aにおける球状の先端部を揺動可能に支持する第2支持体62bと、を備えている。本実施形態では、第2球状体62aは、第2部材2における軸方向第1側L1の表面から突出するように設けられている。そして、第2支持体62bは、可動部42における基部41から外部に露出した部分の先端部に固定されている。
図2に示すように、N個の第1連結部51は、第1基準円C1に沿って配置されている。本実施形態では、4個の第1連結部51が、第1基準円C1に沿って等間隔で配置されている。N個の第2連結部52は、第2基準円C2に沿って配置されている。本実施形態では、4個の第2連結部52が、第2基準円C2に沿って等間隔で配置されている。
第1基準円C1及び第2基準円C2のそれぞれは、仮想的な円である。本実施形態では、第1基準円C1及び第2基準円C2のそれぞれは、第2部材2が基準位置P1にある状態で、周方向Cに沿って配置されている。言い換えると、第1基準円C1は、第1部材1(第1部材1の軸心)と同軸に配置されている。また、第2部材2が基準位置P1にある状態では、第2基準円C2も第1部材1(第1部材1の軸心)と同軸に配置されている。
また、本実施形態では、第2基準円C2は、第1基準円C1よりも小径であり、第1基準円C1よりも径方向内側R1に配置されている。つまり、本実施形態では、各伸縮シリンダ4は、基部41が可動部42に対して径方向外側R2に位置するように配置されている。また、本実施形態では、各伸縮シリンダ4は、第2部材2が基準位置P1にある状態で、径方向Rに沿う姿勢となるように配置されている。
N個の可動部42のそれぞれには、当該可動部42における伸縮方向の荷重である伸縮荷重F1(図4参照)を検出する荷重センサ7が設けられている。荷重センサ7は、引張荷重及び圧縮荷重の双方を検出可能なセンサである。本実施形態では、荷重センサ7は、三次元空間における各軸方向の力と、各軸を中心に回転する力とを計測する力覚センサである。
本実施形態では、各荷重センサ7は、可動部42における伸縮方向の中央部よりも第2連結部52の側に配置されている。つまり、本実施形態では、各荷重センサ7は、可動部42における第2連結部52に比較的近い位置に配置されている。図示の例では、各荷重センサ7は、第2連結部52に隣接して配置されている。
図3に示すように、フローティングユニット100は、可動支持機構3を制御する制御部10を備えている。
制御部10は、N個の荷重センサ7の検出値に基づいて、N個の駆動部43を制御する。図4に示すように、本実施形態では、制御部10は、各可動部42に作用する伸縮荷重F1の向きとは反対向きに、当該伸縮荷重F1と同じ大きさの推力F2を、対応する駆動部43に出力させるフローティング制御を実行する。つまり、フローティング制御では、制御部10は、各可動部42に作用する伸縮荷重F1を打ち消すように、対応する駆動部43に推力F2を出力させる。これにより、フローティングユニット100の姿勢によらず、N個の第2連結部52を介して第2部材2に作用する荷重を互いに同等にすることができる。
伸縮荷重F1は、第2部材2に外力(重力に起因する力を除く)が付与されていない状態で、第2部材2の重量、及び当該第2部材2に取り付けられた機器の重量等によって各可動部42に作用する伸縮方向の荷重である。そのため、フローティングユニット100の姿勢に応じて、可動部42ごとに伸縮荷重F1が変化する。フローティング制御は、第2部材2に外力が付与された場合に、当該外力に応じて第2部材2の位置が移動するフローティング状態を実現するために実行される。そのため、フローティング制御は、第2部材2に外力が付与されていない状態でも実行される。
図4は、フローティングユニット100が、軸方向Lが鉛直方向に直交する姿勢となった場合における、第2部材2よりも上方に位置する伸縮シリンダ4及びその周囲の構成を示している。図4に示す例では、伸縮荷重F1は、伸縮シリンダ4から第2部材2に向けた方向に作用している。これに対して、駆動部43は、フローティング制御の実行中、伸縮荷重F1と同じ大きさの推力F2を、可動部42が基部41に向かう方向に出力させる。
本実施形態では、制御部10は、各可動部42の基部41に対する伸縮方向の相対位置を固定するロック制御を実行する。ロック制御中、制御部10は、N個の伸縮シリンダ4のそれぞれにおいて、可動部42が基部41に対して伸縮方向に移動しないように、第2部材2から可動部42に作用する全ての外力を打ち消す推力を駆動部43に出力させる。或いは、各駆動部43が図示しないブレーキ機構又はロック機構を備えている場合には、制御部10は、当該ブレーキ機構又はロック機構を作動させて、各可動部42が基部41に対して伸縮方向に移動しないように固定する。
また、本実施形態では、制御部10は、第2部材2が基準位置P1に戻るように、各可動部42を伸縮させるセンタリング制御を実行する。センタリング制御では、制御部10は、N個の伸縮シリンダ4のそれぞれにおいて、可動部42が基部41に対して伸縮方向の基準位置にある状態とするように、駆動部43を駆動して可動部42を移動させる。
図5に、基準位置P1の第2部材2に径方向Rの外力が付与されて、第2部材2が基準位置P1から径方向外側R2に移動し、径方向移動位置P2にある状態を示している。図6に、基準位置P1の第2部材2に周方向Cの外力が付与されて、第2部材2が第1部材1に対して周方向Cに相対移動、つまり、第1部材1の軸心を中心として回転し、周方向移動位置P3にある状態を示している。図7に、基準位置P1の第2部材2に軸方向Lの外力が付与されて、第2部材2が基準位置P1から軸方向第1側L1に移動し、軸方向移動位置P4にある状態を示している。なお、これらの各位置への第2部材2の移動は、制御部10によるフローティング制御の実行中に各方向の外力が第2部材2に作用することにより行われる。
これらの位置P2~P4のそれぞれに第2部材2が位置している状態で、ロック制御が実行されると、位置P2~P4のそれぞれに第2部材2が固定される。また、これらの位置P2~P4のそれぞれに第2部材2が位置している状態で、センタリング制御が実行されると、第2部材2が基準位置P1に戻るように、第1部材1に対して相対移動する。
なお、フローティング制御が実行されている状態では、第2部材2は上記の位置P2~P4に限らず、任意の位置へ移動可能である。具体的には、第2部材2は、第1部材1に対する径方向Rへの相対移動、第1部材1に対する周方向Cへの相対移動、及び第1部材1に対する軸方向Lへの相対移動の各動作のみならず、それらの少なくとも2つを組み合わせた動作が可能となっている。
図8に示すように、本実施形態では、一例として、フローティングユニット100は、規定の部品を着脱するための着脱設備20に設けられている。
着脱設備20は、部品を把持する把持装置21と、多関節のロボットアーム22と、を備えている。把持装置21は、フローティングユニット100の第2部材2に取り付けられている。本実施形態では、把持装置21は、第2部材2における軸方向第1側L1の表面に取り付けられている。ロボットアーム22の先端部は、フローティングユニット100の第1部材1に取り付けられている。本実施形態では、ロボットアーム22の先端部は、第1部材1における軸方向第2側L2の表面に取り付けられている。ロボットアーム22を制御することで、把持装置21をロボットアーム22の動作範囲内において所望の位置に移動させると共に所望の角度に調整することができる。
本実施形態では、部品を把持している把持装置21が当該部品を規定の取付対象に取り付ける取付作業を行う場合には、当該取付作業の開始直前から当該部品の取付対象に対する位置決め完了まで間、フローティング制御が実行される。また、取付対象に取り付けられている部品を把持装置21が取り外す取外作業を行う場合には、当該取外作業の開始直前から当該取付対象に取り付けられた部品の把持装置21による把持完了までの間、フローティング制御が実行される。そして、フローティング制御の終了直後に、制御部10によりロック制御が実行される。これにより、フローティング制御中に定まった把持装置21の位置を維持した状態で、その後の取付作業及び取外作業を実行することができる。なお、部品や取付対象の形状等によっては、フローティング制御を、取付作業の完了まで、及び、取外作業の完了まで実行するようにしても良い。
〔その他の実施形態〕
(1)上記の実施形態では、伸縮シリンダ4が、所謂、電動シリンダである構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、伸縮シリンダ4が、油圧シリンダ、又は空圧シリンダ等であっても良い。この場合、基部41は筒状のシリンダチューブであり、可動部42は基部41の内周面を摺動するピストンである。そして、駆動部43は、基部41(シリンダチューブ)と可動部42(ピストン)との間に形成された流体圧室に、油や空気等の流体を供給する流体供給装置である。
(2)上記の実施形態では、可動支持機構3が4個の伸縮シリンダ4を備えた構成(N=4)を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、可動支持機構3は、少なくとも3個の伸縮シリンダ4を備えていれば良く、その数は限定されない。
(3)上記の実施形態では、第2部材2が基準位置P1にある状態で、各伸縮シリンダ4が径方向Rに沿う姿勢となるように配置された構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、第2部材2が基準位置P1にある状態で、各伸縮シリンダ4が軸方向Lに沿う姿勢となるように配置されていても良い。
(4)上記の実施形態では、第2基準円C2が、第1基準円C1よりも小径であり、第1基準円C1よりも径方向内側R1に配置された構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、第2基準円C2が、第1基準円C1よりも大径であり、第1基準円C1よりも径方向外側R2に配置されていても良い。この場合、各伸縮シリンダ4は、基部41が可動部42に対して径方向内側R1に位置するように配置される。また、第1基準円C1と第2基準円C2とが同径であり、それらが軸方向Lに並ぶように配置されていても良い。この場合には、上述したように、各伸縮シリンダ4が軸方向Lに沿う姿勢となるように配置される。
(5)上記の実施形態では、制御部10が、フローティング制御中、各可動部42に作用する伸縮荷重F1の向きとは反対向きに、当該伸縮荷重F1と同じ大きさの推力F2を、対応する駆動部43に出力させる構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、制御部10が、フローティング制御中、各可動部42に作用する伸縮荷重F1の向きとは反対向きに、当該伸縮荷重F1よりも小さい推力F2を、対応する駆動部43に出力させても良い。
(6)上記の実施形態では、各荷重センサ7が、可動部42における伸縮方向の中央部よりも第2連結部52の側に配置された構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、各荷重センサ7が、可動部42における伸縮方向の中央部に配置されていても良い。或いは、各荷重センサ7が、可動部42における伸縮方向の中央部よりも基部41の側に配置されていても良い。
(7)なお、上述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。したがって、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。
〔上記実施形態の概要〕
以下では、上記において説明したフローティングユニットの概要について説明する。
フローティングユニットは、
互いに離間して配置された第1部材及び第2部材と、
前記第1部材に対して前記第2部材が相対移動するように、前記第1部材及び前記第2部材を支持する可動支持機構と、
前記可動支持機構を制御する制御部と、を備え、
前記可動支持機構は、N個(Nは3以上の自然数)の伸縮シリンダを備え、
N個の前記伸縮シリンダのそれぞれは、基部と、前記基部に対して伸縮自在に支持された可動部と、前記可動部を駆動する駆動部と、を備え、
N個の前記基部のそれぞれは、第1玉継手を介して前記第1部材に連結された第1連結部を備え、
N個の前記可動部のそれぞれは、第2玉継手を介して前記第2部材に連結された第2連結部を備え、
N個の前記第1連結部は、第1基準円に沿って配置され、
N個の前記第2連結部は、第2基準円に沿って配置され、
N個の前記可動部のそれぞれに、当該可動部における伸縮方向の荷重である伸縮荷重を検出する荷重センサが設けられ、
前記制御部は、N個の前記荷重センサの検出値に基づいて、N個の前記駆動部を制御する。
この構成によれば、N個の可動部のそれぞれに作用する伸縮荷重が荷重センサを用いて検出される。そして、N個の荷重センサを用いて検出された伸縮荷重に基づいて、N個の駆動部がN個の可動部を駆動するための推力を出力する。これにより、N個の可動部に作用する伸縮荷重を低減するように、N個の駆動部に推力を出力させることができる。したがって、フローティングユニットの姿勢によらず、第2部材の第1部材に対する相対移動を容易に行うことができる。
ここで、前記制御部は、N個の前記可動部のそれぞれに作用する前記伸縮荷重の向きとは反対向きに、当該伸縮荷重と同じ大きさの推力を前記駆動部に出力させるフローティング制御を実行すると好適である。
この構成によれば、N個の可動部に作用する伸縮荷重を打ち消すように、N個の駆動部に推力を出力させることができる。これにより、フローティングユニットの姿勢によらず、N個の第2連結部を介して第2部材に作用する荷重を互いに同等にすることができる。したがって、第2部材の第1部材に対する相対移動を更に容易に行うことができる。
また、前記制御部は、N個の前記可動部のそれぞれの前記基部に対する前記伸縮方向の相対位置を固定するロック制御を実行すると好適である。
この構成によれば、第2部材を第1部材に対する任意の相対位置に固定することができる。これにより、フローティング制御における、第2部材が第1部材に対して相対移動可能な状態と、ロック制御における、第2部材が第1部材に対して相対移動不能な状態とを切り替えることができる。
また、前記制御部は、前記第2部材が前記第1部材に対する基準位置に戻るように、N個の前記可動部を伸縮させるセンタリング制御を実行すると好適である。
この構成によれば、フローティング制御において、第2部材が第1部材に対する基準位置からずれた位置に移動した場合に、センタリング制御を実行することにより、第2部材を第1部材に対する基準位置に戻すことができる。
また、N個の前記荷重センサのそれぞれは、前記可動部における前記伸縮方向の中央部よりも前記第2連結部の側に配置されていると好適である。
この構成によれば、N個の荷重センサのそれぞれは、可動部における第2連結部に比較的近い位置に配置されている。これにより、荷重センサによって検出される伸縮荷重に対する、可動部の重量の影響を少なく抑えることができる。したがって、荷重センサによって適切に伸縮荷重を検出することができる。
本開示に係る技術は、第1部材に対して第2部材が相対移動可能に構成されたフローティングユニットに利用することができる。
100 :フローティングユニット
1 :第1部材
2 :第2部材
3 :可動支持機構
4 :伸縮シリンダ
41 :基部
42 :可動部
43 :駆動部
51 :第1連結部
52 :第2連結部
61 :第1玉継手
62 :第2玉継手
7 :荷重センサ
10 :制御部
C1 :第1基準円
C2 :第2基準円
F1 :伸縮荷重

Claims (5)

  1. 互いに離間して配置された第1部材及び第2部材と、
    前記第1部材に対して前記第2部材が相対移動するように、前記第1部材及び前記第2部材を支持する可動支持機構と、
    前記可動支持機構を制御する制御部と、を備え、
    前記可動支持機構は、N個(Nは3以上の自然数)の伸縮シリンダを備え、
    N個の前記伸縮シリンダのそれぞれは、基部と、前記基部に対して伸縮自在に支持された可動部と、前記可動部を駆動する駆動部と、を備え、
    N個の前記基部のそれぞれは、第1玉継手を介して前記第1部材に連結された第1連結部を備え、
    N個の前記可動部のそれぞれは、第2玉継手を介して前記第2部材に連結された第2連結部を備え、
    N個の前記第1連結部は、第1基準円に沿って配置され、
    N個の前記第2連結部は、第2基準円に沿って配置され、
    N個の前記可動部のそれぞれに、当該可動部における伸縮方向の荷重である伸縮荷重を検出する荷重センサが設けられ、
    前記制御部は、N個の前記荷重センサの検出値に基づいて、N個の前記駆動部を制御する、フローティングユニット。
  2. 前記制御部は、N個の前記可動部のそれぞれに作用する前記伸縮荷重の向きとは反対向きに、当該伸縮荷重と同じ大きさの推力を前記駆動部に出力させるフローティング制御を実行する、請求項1に記載のフローティングユニット。
  3. 前記制御部は、N個の前記可動部のそれぞれの前記基部に対する前記伸縮方向の相対位置を固定するロック制御を実行する、請求項1又は2に記載のフローティングユニット。
  4. 前記制御部は、前記第2部材が前記第1部材に対する基準位置に戻るように、N個の前記可動部を伸縮させるセンタリング制御を実行する、請求項1から3のいずれか一項に記載のフローティングユニット。
  5. N個の前記荷重センサのそれぞれは、前記可動部における前記伸縮方向の中央部よりも前記第2連結部の側に配置されている、請求項1から4のいずれか一項に記載のフローティングユニット。
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