JP2022010863A - 格納プレート及び格納装置 - Google Patents

Abstract

【課題】特定位置に偏った部品の集合が低減される格納プレートを提供する。【解決手段】第１主面１８を有し、部品１０１を格納できる複数の格納穴１３と、気体を通す複数の気体経路１２とが上記第１主面１８に設けられている格納プレート１１であって、上記格納穴１３における通気性が、上記第１主面１８の上記格納穴１３を除く部分における通気性より低く、上記第１主面１８は、上記第１主面の中央領域から上記中央領域を囲む周辺領域に向かう第１の部品移動経路を有する、又は、上記第１主面の上記周辺領域から上記中央領域に向かう第２の部品移動経路を有する格納プレート１１。【選択図】図２

Description

本発明は、格納プレート及び格納装置に関する。

部品の格納方法は、たとえば特許文献１に記載されている。特許文献１には、複数の格納穴を有する格納プレートを用意し、この格納プレート上に、複数の部品を投入し、その状態で、格納プレートを、所定の軸線まわりに搖動させるとともに、当該軸線方向に振動させることによって、複数の部品を、格納プレート上で移動させながら、各格納穴内に振り込む方法が記載されている。

ＷＯ２０１８／１０５５９１号公報

特許文献１に記載の方法では、格納プレート上での部品は、格納プレートの表面を摺動する。そのため、複数の部品は、一塊となって重力に基づき転がりかつ攪拌されながら格納プレート上を繰り返し格納プレートの表面と物理的に摩擦しながら移動する。そして、移動する部品のうち、格納穴と位置合わせされたものが格納穴内に入れられる。

上述した方法では、複数の部品は振動により格納プレート上で移動する。格納プレート上での振動により部品が格納プレート上で移動する場合に、振動の固有振動等の影響により、部品が格納プレート上の特定の位置に寄っていき、集合する傾向が見られる。典型的には部品が格納プレート上で中央付近に集合する傾向が見られる。
部品が格納プレート上で特定の位置に偏って集合してしまうと、部品の格納穴への収納が不充分になるので、特定の位置に偏って集合してしまった部品を再度分散させる処理が必要となってしまう。

本発明は、特定位置に偏った部品の集合が低減される格納プレート、及び、格納装置を提供することを目的とする。

本発明の格納プレートは、第１主面を有し、部品を格納できる複数の格納穴と、気体を通す複数の気体経路とが上記第１主面に設けられている格納プレートであって、上記格納穴における通気性が、上記第１主面の上記格納穴を除く部分における通気性より低く、上記第１主面は、上記第１主面の中央領域から上記中央領域を囲む周辺領域に向かう第１の部品移動経路を有する、又は、上記第１主面の上記周辺領域から上記中央領域に向かう第２の部品移動経路を有する。

本発明の格納装置は、上記第１主面に載せた部品が、上記第２の部品移動経路を有する本発明の格納プレートと、上記格納プレートの中央領域に位置する回転軸を中心にして上記格納プレートを回転させる回転駆動機構と、を備えることを特徴とする。

本発明によれば、特定位置に偏った部品の集合が低減される格納プレート、及び、格納装置を提供することができる。

図１は、第１実施形態に係る格納装置及び格納プレートの一例を模式的に示す上面図である。 図２は、図１に示す格納装置及び格納プレートのＩＩ－ＩＩ線断面図である。 図３は、第２実施形態に係る格納装置及び格納プレートの一例を模式的に示す断面図である。 図４は、第３実施形態に係る格納装置及び格納プレートの一例を模式的に示す断面図である。 図５は、第３実施形態に係る格納装置及び格納プレートの別の一例を模式的に示す断面図である。 図６は、第４実施形態に係る格納装置及び格納プレートの一例を模式的に示す断面図である。 図７は、第４実施形態に係る格納装置及び格納プレートの別の一例を模式的に示す断面図である。 図８は、第５実施形態に係る格納装置及び格納プレートの一例を模式的に示す上面図である。

以下、本発明の格納プレート及び格納装置について説明する。
しかしながら、本発明は、以下の構成に限定されるものではなく、本発明の要旨を変更しない範囲において適宜変更して適用することができる。なお、以下において記載する個々の望ましい構成を２つ以上組み合わせたものもまた本発明である。

（第１実施形態）
本発明の第１実施形態及びその変形例による格納装置及び格納プレートの構成について説明する。

図１は、第１実施形態に係る格納装置及び格納プレートの一例を模式的に示す上面図であり、図２は、図１に示す格納装置及び格納プレートのＩＩ－ＩＩ線断面図である。
図１及び図２に示すように、格納装置１は、格納プレート１１と、主チャンバ８１とを備える。さらに、格納装置１は、気体供給器８２及び制御器８５を備えている。
また、格納装置１は、格納プレート１１を振動させるための図示しない振動機構を有しており、格納プレート１１の振動により部品を格納プレート上で移動させることができる。制御器８５は、気体供給器８２からの気体の発生量を制御したり、振動機構における振動の程度を制御する。また、格納装置が後述する送風部を有する場合、送風部からの気体の送風速度を制御する。また、格納装置が後述する回転駆動機構を有する場合、回転駆動機構による回転速度を制御する。

格納プレート１１には、それぞれ部品１０１（図２参照）が格納できる複数の格納穴１３が設けられている。なお、図１では、実際に設けたすべての格納穴１３を図示するのではなく、模式的に図示している。各々の格納穴１３は、開口１４、底面１５、側面１６を有する。第１主面を平面視したとき、格納穴１３の形状は、部品１０１が直方体形状である場合、部品１０１の形状に合わせて略矩形形状であることが好ましく、底面１５が矩形形状であることが好ましい。

複数の格納穴１３は、第１主面１８に沿う第１方向（行方向）と、第１主面１８に沿い第１方向に直交する第２方向（列方向）とに沿って格子状に設けられている。さらに、格納プレート１１の第１主面１８の周縁部には、第１主面１８から突出する枠部を設けることもできる。枠部によって、格納プレート１１の第１主面１８上に置かれた部品１０１が格納プレート１１から脱落することを防止できる。

なお、図示しないが、格納プレート１１は、格納穴１３の側面を構成する貫通孔が形成される上板部と、格納穴１３の底面を構成する下板部とを組み合わせた構造であってもよい。部品１０１の寸法の条件が異なる場合、部品１０１に最適な格納穴１３の寸法も異なる。異なる種類の上板部を用意しておけば、共通の下板部を使用して、部品１０１の寸法の条件変更に迅速に対応することができる。

この実施形態では、部品１０１は各格納穴１３内に１個ずつ入れられる。格納穴１３に振り込まれた部品１０１が、完成品としての部品であるとき、複数の部品１０１が格納プレート１１上に格子状に整列して保持されることにより、当該部品のたとえば測定工程又は梱包工程への供給に際して便宜が図られる。また、格納穴１３に振り込まれた部品１０１が、外部電極が形成される前のチップ状の電子部品本体であるとき、複数の電子部品本体が格納プレート１１上に整列して保持されることにより、当該部品本体の外部電極形成のための工程への供給に際して便宜が図られる。

図２に示すように、格納装置１は、格納プレート１１を支持する基台ともなる主チャンバ８１を備えることができる。主空間８６を有する主チャンバ８１は、格納プレート１１を支持する。格納プレート１１が主チャンバ８１に支持されることで、主チャンバ８１の主空間８６が格納プレート１１の第２主面１９により閉じた内部空間を形成する。

格納プレートに部品を格納するにあたって、まず、格納プレート１１の第１主面１８上に複数の部品１０１が置かれる。
一例として、格納プレート１１に、格納穴１３が複数の行及び複数の列を有する格子状に並べられている場合、格納穴１３の矩形形状の開口１４の寸法が第１主面１８を平面視して、一辺が０．６５ｍｍ以上、０．８０ｍｍ以下の正方形形状であり、開口１４の間隔が０．８５ｍｍ以上であることが好ましい。このような格納穴１３に対して、格納穴１３の個数の約１．５倍の個数の部品１０１が格納プレート１１の第１主面１８上に置かれる。

なお、この実施形態において取り扱われる部品１０１は、略直方体形状を有するチップ状である。一例としては、部品１０１が０．６ｍｍ×０．６ｍｍの略正方形形状の平面寸法を有するものである。このとき、一例としては、収納穴１３の矩形形状の開口１４の寸法が、第１主面１８を平面視して、一辺が０．６５ｍｍの正方形形状であって、開口１４の間隔が正方形形状のチップの対角線の長さ以上となる０．８５ｍｍである。

気体供給器８２から主チャンバ８１を介して供給された空気が、格納プレート１１の第１主面１８に設けられた複数の気体経路１２から放出される。
また、格納穴１３における通気性は、第１主面１８の格納穴１３を除く部分における通気性より低くなっている。このようになっていると、格納穴１３から出る空気の第１流速が格納穴１３の周囲に位置する第１主面１８から出る空気の第２流速より遅くなるので、この流速の相対差により部品１０１が格納穴に入りやすくなる。
なお、格納プレート１１は、第１主面１８と第２主面１９とに接続される複数の貫通孔によって構成される複数の気体経路１２を有することが好ましい。さらに、多数の細孔が互いに連結された多孔質部を有する構成が好ましい。
多孔質部は、少なくとも第１主面１８及び格納穴１３の一部に設けられ、主チャンバ８１の主空間８６に接続できることが好ましい。格納プレート１１が、多孔質材料によって形成されていると、構造が簡素で格納プレート１１の製作が容易であるため、最も好ましい。

図２に示す格納プレート１１は、第１主面１８の法線方向における表面位置が連続的に変化し、第１主面１８の断面形状が、第１主面１８の中央領域の表面位置が高く、周辺領域の表面位置が低い、凸面形状となっている。すなわち、第１主面の法線方向において、第１主面１８の中央領域の表面位置と周辺領域の表面位置とに差があり、表面位置が高い領域から表面位置が低い領域に向かう、高低差による部品移動経路を有する構成となっている。
このような構成であると、第１主面１８に載せた部品は、第１主面１８の法線方向における中央領域の表面位置と周辺領域の表面位置の差に起因して、中央領域から周辺領域へ向かうこととなる。
このように、第１主面に載せた部品が第１主面の中央領域から周辺領域に向かう経路を第１の部品移動経路という。一方、第１主面に載せた部品が第１主面の周辺領域から中央領域に向かう経路を第２の部品移動経路という。

従来の格納プレートにおいて、部品を格納プレート上で振動させた場合には、部品が格納プレート上で中央付近(第１主面の中央領域）に偏って集合する傾向があるが、図２に示す格納プレートのように、第１主面における表面に高低差を設けて、中央領域から周辺領域に部品が移動するようにすると、特定位置に偏った部品の集合が低減され、格納プレートの全体に分布するようになるので、格納プレートに複数の部品が効率的に格納させられる。

第１実施形態に係る格納プレートは、部品を第１主面の周辺領域から中央領域へ移動させるような構成（上記例の振動機構）と組み合わせて使用することにより、特定位置に偏った部品の集合を低減することができる。

本明細書において、格納プレートの中央領域とは、格納プレートを上面視した形状における重心を含む領域である。当該重心は、格納プレートを上面視した形状が長方形、正方形又は平行四辺形であれば対角線の交点である。また、格納プレートを上面視した形状が円であれば円の中心である。格納プレートの周辺領域とは、当該中央領域を囲む領域である。
本明細書において中央領域及び周辺領域は、格納プレートの第１主面に載せた部品が移動する方向を示すために定められる領域である。
部品の移動方向を考える際に、部品が移動を開始する始点と移動した先の終点を比べて、始点が格納プレートを上面視した形状における重心に近く、終点が当該重心から遠い場合は、部品は中央領域から周辺領域へ移動すると考える。
一方、部品が移動を開始する始点と移動した先の終点を比べて、始点が格納プレートを上面視した形状における重心から遠く、終点が当該重心から近い場合は、部品は周辺領域から中央領域へ移動すると考える。
本発明の格納プレートは、第１主面の中央領域から中央領域を囲む周辺領域に向かう第１の部品移動経路を有する、又は、第１主面の周辺領域から中央領域に向かう第２の部品移動経路を有するものである。

図１及び図２には格納プレートの上面視形状における重心Ｇを示している。当該重心Ｇに対して近い点から遠い点に向かう方向に部品が移動する場合、部品は中央領域から周辺領域へ移動すると考える。この場合、格納プレートは第１の部品移動経路を有する。図２に示すように、第１主面１８において重心Ｇの表面位置が高く、重心Ｇの周辺領域の表面位置が低い形状であると、部品は中央領域から周辺領域へ移動するように方向づけられる。また、第１の部品移動経路は、第１主面の中央領域から周辺領域へと放射線状に分布していることが好ましい。

なお、気体供給器８２の具体例としては、送風機が挙げられる。また、任意の正圧発生源が用いられてもよい。なお、実施形態において、複数の気体経路１２から放出される気体は、空気に限定されない。たとえば、気体として、窒素ガス、アルゴンガスなどの不活性ガスを用いることができる。これにより、気体と部品１０１との化学反応の影響が低減できる。あるいは、気体の所定の構造、たとえば部品１０１の特定の材料との反応性を有する気体を用いことができる。特定の反応性を有する気体により、部品の格納と部品加工を同時に得ることができる。また、大気より湿度を低減させた空気を用いることができる。このとき、気体供給器８２に除湿機構部を含む、あるいは除湿機構部が接続される構成が好ましい。

この実施形態では、１個の部品１０１が１個の格納穴１３に入れられる形態を示した。この場合、格納穴１３の深さ寸法は、部品１０１の外形寸法における最も長い辺の長さ寸法とほぼ同じとされる。このように構成されると、部品１０１が、格納穴１３に振り込まれた後、再び外へ飛び出すといった不都合が低減できるばかりでなく、格納穴１３に入った部品１０１の上面と第１主面１８との段差を低減させた状態で部品１０１が整列する。次に当該格納穴１３を越えて通過しようとする部品１０１を格納穴１３に入った部品１０１が支え、かつ通過しようとする部品１０１の移動経路をより平坦なものにするように機能する。したがって、後続する部品１０１を格納プレート１１上で円滑に移動させることができる。この作用効果は、この実施形態のように、部品１０１が直方体形状であるとき、より顕著となる。

（第２実施形態）
本発明の第２実施形態及びその変形例による格納装置及び格納プレートの構成について説明する。第２実施形態及び以後の実施形態並びにその変形例において、第１実施形態に示す要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明を省略することがある。

図３は、第２実施形態に係る格納装置及び格納プレートの一例を模式的に示す断面図である。
図３に示す格納装置２は、図１に示す格納装置１とその上面視形状は同様であるが、格納プレート２１の形状が異なる。
図２に示す格納プレート２１は、第１主面１８の法線方向における表面位置が連続的に変化し、第１主面１８の断面形状が、第１主面１８の中央領域の表面位置が低く、周辺領域の表面位置が高い、凹面形状となっている。このような例も、第１主面の法線方向において、第１主面１８の中央領域の表面位置と周辺領域の表面位置とに高低差があり、表面位置が高い領域から表面位置が低い領域に向かう、高低差による部品移動経路を有する構成である。
このような構成であると、第１主面１８に載せた部品は、第１主面１８の法線方向における中央領域の表面位置と周辺領域の表面位置の差に起因して、周辺領域から中央領域に向かうこととなる。
すなわち、この格納プレートは、第２の部品移動経路を有している。

図３に示す格納装置２は、空気を第１主面１８に対して供給する送風機を用いた送風部８３をさらに有する。この送風部８３により、第１主面１８にある部品１０１に加速度を与えて、部品１０１を第１主面１８上で移動させることができる。
送風部８３により部品１０１を第１主面１８上で移動させる場合、第１主面１８の中央領域に対して真上から送風することによって、部品１０１を第１主面１８の中央領域から周辺領域へ移動させるようにすることができる。
単に送風部を使用するだけであると部品が格納プレートの周辺領域に偏って集合する傾向があるが、格納プレートの第１主面に高低差を設けて、第１主面の高低差に起因して部品が周辺領域から中央領域へ移動するようにすると、特定位置に偏った部品の集合が低減され、格納プレートの全体に分布するようになるので、格納プレートに複数の部品が効率的に格納させられる。

第２実施形態に係る格納プレートは、部品を第１主面の中央領域から周辺領域へ移動させるような構成（上記例における、空気を第１主面に対して供給する送風部）と組み合わせて使用することにより、特定位置に偏った部品の集合を低減することができる。
また、第２の部品移動経路は、第１主面の周辺領域から中央領域へと放射線状に分布していることが好ましい。

（第３実施形態）
本発明の第３実施形態及びその変形例による格納プレートの構成について説明する。

図４は、第３実施形態に係る格納装置及び格納プレートの一例を模式的に示す断面図である。
図４に示す格納プレート３１の第１主面１８には気体経路１２が設けられており、気体経路１２に気体を供給する気体供給器８２が接続されている。
図４に示す格納装置３は、図１に示す格納装置１とその上面視形状は同様であるが、格納プレート３１の形態が異なる。格納プレート３１は、第１主面１８の中央領域における通気性と周辺領域における通気性とに差がある構成を有している。
第１主面の中央領域における通気性、第１主面の周辺領域における通気性は、第１主面の格納穴を除く部分における通気性を意味する。

図４に示す格納プレート３１は、第１主面に通気性が高い部分と通気性が低い部分を有する構成である。この場合、通気性が高い部分と通気性が低い部分との境界線を中央領域と周辺領域の境界線とみなすことができる。

図４には、格納プレートの上面視形状における重心Ｇを含む中央領域３２と、中央領域３２を囲む周辺領域３３を示している。図４に示す例では、中央領域３２の通気性が周辺領域３３の通気性より高いこととする。
なお、図４以降の図面において、通気性が高い部分を白色に近い薄いハッチングで示しており、通気性が低い部分を黒色に近い濃いハッチングで示している。
この場合、気体供給器８２から主チャンバ８１を介して供給された空気の圧力は、中央領域３２において相対的に高く、周辺領域３３において相対的に低くなる。
すると、気体供給器から通気性が高い領域（中央領域）に供給された空気の通気性が低い領域（周辺領域）に向かう空気の流れに沿って部品は中央領域から周辺領域と移動するように方向づけられる。このような通気性差により中央領域から周辺領域に向かう部品移動経路が形成される。
すなわち、格納プレートが第１の部品移動経路を有している。
この場合、部品を第１主面の周辺領域から中央領域へ移動させるような構成（第１実施形態で説明した例の振動機構等）と組み合わせて使用することにより、特定位置に偏った部品の集合をより低減させることができる。

一方、中央領域の通気性が周辺領域の通気性より低いこととすると、気体供給器から主チャンバを介して供給された空気の圧力は、中央領域において相対的に低く、周辺領域において相対的に高くなる。この場合、気体供給器から通気性が高い領域（周辺領域）に供給された空気の通気性が低い領域（中央領域）に向かう空気の流れに沿って部品は周辺領域から中央領域と移動するように方向づけられる。
すなわち、この場合は格納プレートが第２の部品移動経路を有している。
この場合、部品を第１主面の中央領域から周辺領域へ移動させるような構成（第２実施形態で説明した例の送風部等）と組み合わせて使用することにより、特定位置に偏った部品の集合をより低減させることができる。

また、第１主面の中央領域における通気性と周辺領域における通気性とに差がある場合、中央領域から周辺領域にかけて通気性が段階的に変化していてもよい。
図５は、第３実施形態に係る格納装置及び格納プレートの別の一例を模式的に示す断面図である。

図５に示す格納装置４が備える格納プレート４１は、格納プレートの上面視形状における重心Ｇを含む中央領域４２と、中央領域４２を囲む周辺領域４３を示している。
図５に示すように、格納プレート４１の通気性は４段階に分かれており、中央領域４２において最も通気性が高く、格納プレート４１の最も外周に位置する周辺領域４３におい最も通気性が低くなっている。すなわち、中央領域から周辺領域にかけて通気性が段階的に変化しているといえる。格納プレートの通気性に細かく差をつけることにより、部品の移動を細かく制御できるので、特定位置に偏った部品の集合をより低減させることができる。
図５には中央領域において最も通気性が高い場合の例を示したが、中央領域において最も通気性が低くてもよい。

格納プレートにおける通気性の制御は、格納プレートに設ける気体経路となる穴の大きさを変更したり、穴の数（面積当たりの穴の密度）を変更したりすることにより行うことができる。すなわち、第１主面において通気性が低い部分が、通気性が高い部分と比較して、気体経路の穴が小さくてもよい。また、すなわち、第１主面において通気性が低い部分が、通気性が高い部分と比較して、気体経路の穴が少なくてもよい。
また、格納プレートの気体経路となる穴自体は格納プレートに一様に設けておき、穴の一部をコーティング剤で埋める等の処理により一部の領域において穴の密度を下げて通気性を低くする構成も可能である。
この場合は、第１主面において通気性が低い部分が、複数ある気体経路の穴の一部が被覆されることにより気体経路の穴の数が少なくなっている形態であるといえる。
また、格納プレートが、格納穴の側面を構成する貫通孔が形成される上板部と、格納穴の底面を構成する下板部を組み合わせた構造であり、上板部と下板部の間の一部の領域に、通気性を阻害するマスクパターンを有することにより、第１主面における通気性が低い部分が設けられていてもよい。

（第４実施形態）
本発明の第４実施形態及びその変形例による格納装置及び格納プレートの構成について説明する。

図６は、第４実施形態に係る格納装置及び格納プレートの一例を模式的に示す断面図である。
図６に示す格納装置５は、図１に示す格納装置１とその上面視形状は同様であるが、格納プレート５１の形状及び形態が異なる。
格納プレート５１は、図２に示す格納プレート１１と同様に、第１主面１８の中央領域の表面位置が高く、周辺領域の表面位置が低い、凸面形状となっている。また、第１主面１８の中央領域における通気性と周辺領域における通気性とに差がある構成を有している。格納プレートの通気性に関しては、図４に示す格納プレート３１とは逆に、中央領域５２の通気性が周辺領域５３の通気性より低くなっている。

図６に示す格納プレート５１は、第１主面１８の中央領域の表面位置と周辺領域の表面位置とに高低差があり、かつ、第１主面１８の中央領域における通気性と周辺領域における通気性とに差がある構成であるといえる。
第１主面１８に載せた部品は、高低差により、第１主面１８の中央領域から周辺領域へ移動する。すなわち、高低差による移動経路が第１の部品移動経路である。
一方、第１主面１８に載せた部品は、通気性の差により、第１主面１８の周辺領域から中央領域へ移動する。すなわち、通気性差による移動経路が第２の部品移動経路である。

このように、格納プレートが、高低差による第１の移動経路と通気性差による第２の移動経路の両方を備えることにより、特定位置に偏った部品の集合が低減され、部品が格納プレートの全体に分布するようになるので、格納プレートに複数の部品を効率的に格納させられる。

図７は、第４実施形態に係る格納装置及び格納プレートの別の一例を模式的に示す断面図である。
図７に示す格納装置６は、図１に示す格納装置１とその上面視形状は同様であるが、格納プレート６１の形状及び形態が異なる。
格納プレート６１は、図３に示す格納プレート２１と同様に、第１主面１８の中央領域の表面位置が低く、周辺領域の表面位置が高い、凹面形状となっている。また、第１主面１８の中央領域における通気性と周辺領域における通気性とに差がある構成を有している。格納プレートの通気性に関しては、図４に示す格納プレート３１と同様に、中央領域６２の通気性が周辺領域６３の通気性より高くなっている。

図７に示す格納プレート６１は、第１主面１８の中央領域の表面位置と周辺領域の表面位置とに高低差があり、かつ、第１主面１８の中央領域における通気性と周辺領域における通気性とに差がある構成であるといえる。
第１主面１８に載せた部品は、高低差により、第１主面１８の周辺領域から中央領域へ移動する。すなわち、高低差による移動経路が第２の部品移動経路である。
一方、第１主面１８に載せた部品は、通気性の差により、第１主面１８の中央領域から周辺領域へ移動する。すなわち、通気性差による移動経路が第２の部品移動経路である。

このように、格納プレートが、高低差による第２の移動経路と通気性差による第１の移動経路の両方を備えることにより、特定位置に偏った部品の集合が低減され、部品が格納プレートの全体に分布するようになるので、格納プレートに複数の部品を効率的に格納させられる。

すなわち、第４実施形態に係る格納装置及び格納プレートは、いずれも、格納プレートの第１主面に載せた部品を高低差により移動させる方向と、通気性の差により移動させる方向とが反対になるようにしたものである。このような構成であると、特定位置に偏った部品の集合が低減され、部品が格納プレートの全体に分布するようになるので、格納プレートに複数の部品を効率的に格納させられる。

（第５実施形態）
本発明の第５実施形態及びその変形例による格納装置及び格納プレートの構成について説明する。
図８は、第５実施形態に係る格納装置及び格納プレートの一例を模式的に示す上面図である。
図８に示す格納装置７は、第１主面１８の周辺領域から中央領域に向かう第２位の部品移動経路を有する格納プレート７１を備える。
さらに、格納装置７は、格納プレート７１の中央領域に位置する回転軸を中心にして格納プレート７１を回転させる回転駆動機構８４を備えている。

格納プレート７１の上面視形状は円形であり、円形の中心に回転駆動機構８４の回転軸が存在する。
格納プレート７１の第１主面１８に部品を載せて、回転駆動機構８４を駆動させて格納プレート７１を回転させると、部品を遠心力により第１主面１８の中央領域から周辺領域へ移動させることができる。

上記の遠心力による移動だけが行われると、部品は第１主面１８の周辺領域に偏って集合してしまうが、格納プレート７１は、第１主面１８の周辺領域から中央領域に向かう第２の移動経路を有する。
このような格納プレートの構成としては、図３に示す格納プレート２１と同様に、第１主面１８の中央領域の表面位置が低く、周辺領域の表面位置が高い、凹面形状となっているものが挙げられる。また、図４に示す格納プレート３１とは逆に、中央領域の通気性が周辺領域の通気性より低いものも挙げられる。

格納装置７は、周辺領域から中央領域に向かう第２の部品移動経路（格納プレート自体の構成）と、部品を中央領域から周辺領域へと移動させる構成（回転駆動機構）の両方を備える。そのため、特定位置に偏った部品の集合が低減され、部品が格納プレートの全体に分布するようになるので、格納プレートに複数の部品を効率的に格納させられる。

以上に説明した各実施形態は、例示的なものであり、本発明の範囲内において種々の変形が可能である。たとえば、取り扱われる部品の形状は、直方体形状でなくてもよい。たとえば、部品の形状が、円盤状、円柱状、又は角柱状の形状であってもよい。さらには、部品の形状が、螺旋状に巻かれたワイヤからなるコイル状の形状であってもよい。

また、本件で、「部品」と言うときは、完成品としての部品に限らず、たとえば、外部電極が形成される前のチップ状の電子部品本体のように、部品の製造途中の中間製品であって、完成品としての部品のための部品となるべきものをも含む。

また、本発明の範囲は、上述した実施形態に限らず、異なる実施形態間において、構成を部分的に置換したり、組み合わせたりしたものにも及ぶことを指摘しておく。

１、２、３、４、５、６、７ 格納装置
１１、２１、３１、４１、５１、６１、７１ 格納プレート
１２ 気体経路
１３ 格納穴
１４ 開口
１５ 底面
１６ 側面
１８ 第１主面
１９ 第２主面
３２、４２、５２、６２ 中央領域
３３、４３、５３、６３ 周辺領域
８１ 主チャンバ
８２ 気体供給器
８３ 送風部
８４ 回転駆動機構
８５ 制御器
８６ 主空間
１０１ 部品

Claims (13)

1. 第１主面を有し、部品を格納できる複数の格納穴と、気体を通す複数の気体経路とが前記第１主面に設けられている格納プレートであって、
   前記格納穴における通気性が、前記第１主面の前記格納穴を除く部分における通気性より低く、
   前記第１主面は、前記第１主面の中央領域から前記中央領域を囲む周辺領域に向かう第１の部品移動経路を有する、又は、前記第１主面の前記周辺領域から前記中央領域に向かう第２の部品移動経路を有する、格納プレート。
2. 前記第１の部品移動経路、又は前記第２の部品移動経路は、前記第１主面の中央領域から前記周辺領域へと放射線状に分布している、請求項１に記載の格納プレート。
3. 前記第１主面の法線方向において、前記第１主面の前記中央領域の表面位置と前記周辺領域の表面位置とに差があり、表面位置が高い領域から表面位置が低い領域に向かう、高低差による部品移動経路を有する請求項１又は２に記載の格納プレート。
4. 前記第１主面の法線方向における表面位置が連続的に変化し、
   前記第１主面の断面形状が、前記中央領域の表面位置が高く、前記周辺領域の表面位置が低い凸面形状であり、前記第１主面の中央領域から前記周辺領域に向かう第１の部品移動経路を有する請求項１～３のいずれかに記載の格納プレート。
5. 前記第１主面の法線方向における表面位置が連続的に変化し、
   前記第１主面の断面形状が、前記中央領域の表面位置が低く、前記周辺領域の表面位置が高い凹面形状であり、前記第１主面の周辺領域から前記中央領域に向かう第２の部品移動経路を有する請求項１～３のいずれかに記載の格納プレート。
6. 前記第１主面に設けられた前記気体経路に気体を供給する気体供給器が接続されており、
   前記第１主面の前記中央領域における通気性と前記周辺領域における通気性とに差があり、前記気体供給器から通気性が高い領域に供給された空気の通気性が低い領域に向かう空気の流れに沿った、通気性差による部品移動経路を有する請求項１～５のいずれかに記載の格納プレート。
7. 前記第１主面において通気性が低い部分は、通気性が高い部分と比較して、前記気体経路の穴が小さい請求項６に記載の格納プレート。
8. 前記第１主面において通気性が低い部分は、通気性が高い部分と比較して、前記気体経路の穴の数が少ない請求項６又は７に記載の格納プレート。
9. 前記第１主面において通気性が低い部分は、複数ある前記気体経路の穴の一部が被覆されることにより前記気体経路の穴の数が少なくなっている請求項８に記載の格納プレート。
10. 格納プレートは、前記格納穴の側面を構成する貫通孔が形成される上板部と、前記格納穴の底面を構成する下板部を組み合わせた構造であり、前記上板部と前記下板部の間の一部の領域に、通気性を阻害するマスクパターンを有することにより、前記第１主面における通気性が低い部分が設けられる請求項６～９のいずれかに記載の格納プレート。
11. 前記中央領域から前記周辺領域にかけて通気性が段階的に変化する請求項６～１０のいずれかに記載の格納プレート。
12. 前記第１主面の法線方向において、前記第１主面の前記中央領域の表面位置と前記周辺領域の表面位置とに差があり、表面位置が高い領域から表面位置が低い領域に向かう、高低差による部品移動経路を有し、さらに、
    前記第１主面に設けられた前記気体経路に気体を供給する気体供給器が接続されており、
    前記第１主面の前記中央領域における通気性と前記周辺領域における通気性とに差があり、前記気体供給器から通気性の高い領域に供給された空気が通気性の低い領域へと向かう空気の流れに沿った、通気性差による部品移動経路を有し、
    前記高低差による部品移動経路と前記通気性差による部品移動経路のうちの一方が前記第１の部品移動経路であり、他方が前記第２の部品移動経路である、請求項１又は２に記載の格納プレート。
13. 前記第１主面に載せた部品が、前記第２の部品移動経路を有する請求項１～１１のいずれかに記載の格納プレートと、
    前記格納プレートの中央領域に位置する回転軸を中心にして前記格納プレートを回転させる回転駆動機構と、を備えることを特徴とする格納装置。

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