JP2021531641A - 半導体装置の特性決定のためのシステムおよび方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、35 USC §119(e)の優先権の利益に基づいて、2018年4月27日出願の米国仮特許出願第62/663942号「光第二高調波発生によるパターン化されたウエハを評価する方法」、2018年4月27日出願の米国仮出願第62/663925号「SHG測定による界面電気的特性のためのパラメトリックモデリング」、および2018年4月27日出願の米国仮出願第62/663924号「光第二高調波発生によるプロセス誘導充電の検出のためのテスト構造設計」を援用する。
半導体基板層内の電子が、和の周波数発生(SFG)のための異なる電力特性を有する各ポンプ光源およびプローブ光源によって種々に励起されるSHG計測ツールについて記載する(例えば、通常はSHG)。そのような手法について、積層半導体装置テンプレートにおける異種界面に電位差を誘導して「ポンプ」として動作する「追加の」集積光源(例えば、紫外線フラッシュランプまたはレーザ)を、「プローブ」光源として動作する短パルスまたは超短パルスレーザ(例えば、フェムト秒固体レーザ)とともに備える、計測特性評価ツールを提供する。効用は、単一のレーザSHG、もしくは二重または複数のレーザSFGシステムからはっきり区別されるように、異なる目的のための二つの異なる源を一斉にまたは互いに連動させて(後述する、様々な時間オフセットおよび/または可変ポンプエネルギー方法を介して)使用することから生じる。
現在まで、SHGベースの計測ツールの採用は限られてきた。この事実は、既存のシステムが検出された界面特性を区別できないことに起因すると考えられる。言い換えれば、既存のSHG技術では、界面の電気的に活性な異常の位置および存在を決定する手段は提供されるが、それらの方法は相対的な測定に依拠し、電気的に活性な異常の種類(例えば、結合欠損に対する銅などの吸着された汚染物質)を解析し、かつ/または検出された汚染物質を定量化することは実際には不可能である。
様々なバイアス場(例えば、磁場バイアス、DCバイアス、ならびに/または容量結合および/もしくは変化する磁場を伴う、AC場だけで誘導した電圧バイアス)のSHGに基づくシステムおよびそれらの使用方法について説明する。これらについて順番に扱う。それらは、独立して、および/または組み合わせたシステムで使用することができる。本明細書に記載した様々な実施形態は、上記の手法に関連した方法のそれぞれ、上記方法を実行するハードウェア、そのハードウェアおよび製品(プロダクト・バイ・プロセスを含む)を組み込む生産システムを含む。
静的または変化する磁場を試料に印加すると、物質の二次の光学感受率テンソルの変化を引き起こすであろう。したがって、磁場を使用して、試料からのSHG信号を最適値まで増加させることができる。さらに、以下でさらに説明するように、変化する磁場を使用してバイアスを誘導することができる。
積層半導体物質のSHG応答を特性評価するためのシステムおよび方法が記載について記載する。当該物質は、システム内の接触バイアスプローブを使用せずに、その界面全体にわたる別個の電場を受け、当該電場は、プローブレーザのパルスおよび/または検出器の開閉を、試料に印加する所定振幅の可変もしくはパルス状ACバイアスに同期させ、調査すべき表面に対応のまたは配位された誘導電圧場を生成できる。
積層(例えば、半導体)物質の層間の界面リーク電流および/またはキャリア注入エネルギーについて、SHGおよび上記のような積層半導体物質に印加する電圧変化(例えば、交流の、可変および/もしくはパルス状電圧または電流信号、あるいは試料の装置層内に電圧変化を誘導するように磁場を変化させる装置)を利用して特性評価するシステムおよび方法を説明する。
積層半導体物質における、誘電体への光誘導電荷キャリア注入のエネルギーしきい値を決定するため、波長可変レーザ励起の使用に代わる、試料の装置層での変動電場と関係するSHG測定について、そのシステムおよび方法を説明する。より具体的には、誘電体への光誘導電荷キャリア注入に必要なエネルギーしきい値を測定するために、前述の物質を実質的に単色の入射光子ビームに曝露してSHGを生成させ、次に曝露された積層半導体物質の界面両端の電圧を増分的に変化させ、SHG応答が大幅な屈曲もしくは不連続性を示すか、または以前の測定値からの勾配が突然変化するまで、各増分電圧変化でSHG信号数を測定することができる。この勾配の変化は、最大もしくは最小(例えば、極大もしくは極小)、または尖点、あるいは階段関数などの可能性がある。これらすべてのプロセスによる正味の電荷変化の伝達は、第三高調波注入電流、強電場による誘電体への「順方向」リーク電流、および「逆方向」放電リーク電流の寄与の積分として説明できる。方程式の形式では、以下となる。
(実施例1)
試料表面を光学的に調査するためのシステムであって、
可変エネルギーの放射を放出するように構成された光源と、
複数の領域を有するパターン化された構造を含む調査表面からの放射による第二高調波発生(SHG)光を検出するように構成された光学的検出器と、
さまざまな領域向けに、一組の調査条件を決定し、前述の組の調査条件に基づく第1のSHG光信号を受信し、前述の領域で検出した前述のSHG光の特性を決定し、前述の組の調査条件を更新し、前述の更新された組の調査条件に基づく第2のSHG光信号を受信するように構成された制御電子機器と、
を含む。
(実施例2)
実施例1のシステムであって、前述の組の調査条件は、入射光に関連する偏光状態を含む励起偏光状態を含む。
(実施例3)
実施例1または2のシステムであって、前述の組の調査条件は、出力信号に関連する偏光状態を含む出力偏光状態を含む。
(実施例4)
実施例1、2、または3のシステムであって、前述の組の調査条件は、入射面およびパターンの向き間の方位角を含む。
(実施例5)
上記実施例のいずれかのシステムであって、前述の組の調査条件は、
入射光に関連する偏光状態を含む励起偏光状態と、
出力信号に関連する偏光状態を含む出力偏光状態と、
入射面およびパターンの向き間の方位角と、
を含む。
(実施例6)
実施例4または5のシステムであって、前述の調査表面は、前述の方位角を選択するための回転ステージによって配置される。
(実施例7)
実施例4、5、または6のシステムであって、前述の制御電子機器は、前述の組の調査条件を決定するために、前述のパターンの構造に基づいて前述の方位角を選択するように構成される。
(実施例8)
実施例4〜7のいずれかのシステムであって、前述の制御電子機器は、前述の組の調査条件を決定するために、前述の出力信号が大きくなるように前述の方位角を選択するように構成される。
(実施例9)
実施例4〜8のいずれかのシステムであって、前述の制御電子機器は、前述の組の調査条件を更新するために、前述のパターンの構造による影の低減に関連する前述の方位角を選択するように構成される。
(実施例10)
実施例9のシステムであって、前述の構造は溝を含み、
前述の制御電子機器は、前述の組の調査条件を更新するために、前述の入射面が前述の溝の長さと同一直線上になるように前述の方位角を選択するように構成される。
(実施例11)
実施例2または4のシステムであって、前述の制御電子機器は、前述の組の調査条件を更新するために、前述の出力信号が大きくなるように、前述の励起偏光状態を更新するように構成される。
(実施例12)
実施例3または4のシステムであって、前述の制御電子機器は、前述の組の調査条件を更新するために、前述の出力信号が大きくなるように、前述の出力偏光状態を更新するように構成される。
(実施例13)
上記実施例のいずれかのシステムであって、前述の領域で検出された前述のSHG光の特性を決定することは、前述の第2のSHG光信号が前述の第1のSHG光信号よりも大きいかどうかを決定することを含む。
(実施例14)
上記実施例のいずれかのシステムであって、前述の領域で検出された前述のSHG光の特性を決定することは、前述の第2のSHG光信号の信号対ノイズ比が前述の第1のSHG光信号の信号対ノイズ比よりも大きいかどうかを決定することを含む。
(実施例15)
上記実施例のいずれかのシステムであって、前述の第2のSHG光信号の強度は、前述の第1のSHG光信号よりも大きい。
(実施例16)
試料の表面を光学的に調査する方法であって、
光源を使用して、調査表面に放射を供給し、
光学的検出器を使用して、放射によって生成された第二高調波発生(SHG)効果信号を検出し、
一組の調査条件を決定し、
前述の組の調査条件に基づく第1のSHG光信号を受信し、
前述表面の領域で検出した前述のSHG光の特性を決定し、
前述の組の調査条件を更新し、
前述の更新された組の調査条件に基づく第2のSHG光信号を受信する、
ことを含む。
(実施例17)
実施例16の方法であって、前述の組の調査条件は、入射光に関連する偏光状態を含む励起偏光状態を含む。
(実施例18)
実施例16または17の方法であって、前述の組の調査条件は、出力信号に関連する偏光状態を含む出力偏光状態を含む。
(実施例19)
実施例16、17、または18の方法であって、前述の組の調査条件は、入射面およびパターンの向き間の方位角を含む。
(実施例20)
実施例16の方法であって、前述の組の調査条件は、
入射光に関連する偏光状態を含む励起偏光状態と、
出力信号に関連する偏光状態を含む出力偏光状態と、
入射面およびパターンの向き間の方位角と、
を含む。
(実施例21)
実施例19または20の方法であって、前述の調査表面は、前述の方位角を選択するための回転ステージによって配置される。
(実施例22)
実施例19〜21のいずれかの方法であって、前述の組の調査条件を決定することは、前述調査表面のパターン構造に基づいて前述の方位角を選択することを含む。
(実施例23)
実施例19〜22のいずれかの方法であって、前述の組の調査条件を更新することは、前述調査表面のパターン構造による影の低減に関連する前述の方位角を選択することを含む。
(実施例24)
実施例23の方法であって、前述のパターン構造は溝を含み、
前述の組の調査条件を更新することは、前述の入射面が前述の溝の長さと同一直線上になるように前述の方位角を選択することを含む。
(実施例25)
実施例17または20の方法であって、前述の組の調査条件を更新することは、前述の出力信号が大きくなるように、前述の励起偏光状態を選択することを含む。
(実施例26)
実施例18または20の方法であって、前述の組の調査条件を更新することは、前述の出力信号が大きくなるように、前述の出力偏光状態を選択することを含む。
(実施例27)
実施例16〜26のいずれかの方法であって、前述の第2のSHG光信号の強度は、前述の第1のSHG光信号よりも大きい。
(実施例28)
実施例16〜27のいずれかの方法であって、前述表面の領域で検出された前述のSHG光の特性を決定することは、前述の第2のSHG光信号が前述の第1のSHG光信号よりも大きいかどうかを決定することを含む。
(実施例29)
実施例16〜28のいずれかの方法であって、前述表面の領域で検出された前述のSHG光の特性を決定することは、前述の第2のSHG光信号の信号対ノイズ比が前述の第1のSHG光信号の信号対ノイズ比よりも大きいかどうかを決定することを含む。
(実施例30)
実施例1〜15のいずれかのシステムであって、前述のシステムは、前述の試料が製造ラインまたは生産ラインにある間、前述の試料をインラインで調査するように構成される。
(実施例31)
実施例1〜15、または30のいずれかのシステムは、さらに、前述の試料にポンプ放射を提供するためのポンプ源を含む。
(実施例32)
実施例16〜29のいずれかのシステムは、前述の調査表面に放射を適用することが、ポンプ放射およびプローブ放射を適用することを含む。
(実施例33)
実施例16〜29、または32のいずれかのシステムは、前述の試料の調査を、前述の試料が製造または生産ラインにある間インラインで実行する。
(実施例1)
第二高調波発生を使用して試料を特性評価するためのシステムであって、
前述試料からの第二高調波発生光を生成する調査光ビームを前述試料に伝播させるように構成された光源と、
前述試料から前述第二高調波発生光を受信するように構成された検出器と、
一回目の前述第二高調波発生光の第1の強度レベルおよび前述一回目よりも後の二回目の前述第二高調波発生光の第2の強度レベル間の差に基づいて前述試料の特性を取得するように構成された電子機器と、
を含む。
(実施例2)
実施例1のシステムであって、前述電子機器は、前述一回目の前述第二高調波発生光の前述第1の強度レベルおよび前述一回目より後の前述二回目の前述第2の強度レベル間の差の、前述一回目の前述第二高調波発生光の前述第1の強度レベルに対する比に基づいて前述試料の特性を取得するように構成される。
(実施例3)
実施例1または2のシステムは、さらに、前述一回目および前述二回目間の時間に、前述第二高調波発生光の強度レベルを少なくとも一つ追加して取得することを含む。
(実施例4)
実施例1〜3のいずれかのシステムであって、前述試料について取得した前述特性は、前述試料の酸化物層の厚さ、酸化物層内のバルクトラップの量、表面特性の少なくとも一つを含む。
(実施例5)
実施例1〜4のいずれかのシステムであって、前述試料について取得した前述特性は、前記試料の酸化物層の厚さを含む。
(実施例6)
実施例1〜5のいずれかのシステムであって、前述試料について取得した前述特性は、酸化物層内のバルクトラップの量を含む。
(実施例7)
実施例1〜6のいずれかのシステムであって、前述試料について取得した前述特性は、前述試料の表面特性を含む。
(実施例8)
第二高調波発生を使用して界面領域を有する試料を特性評価する方法であって、
計測システムの光源からの放射を前述界面領域に向け、
前述計測システムの光学的検出システムを用いて、前述界面領域からの第二高調波発生光を検出し、
前述第二高調波発生光の強度レベルに基づいて前述試料の特性を決定する。
(実施例9)
実施例8の方法であって、前述界面領域は、半導体層および酸化物層間の接合、金属および酸化物間の接合、第1の半導体領域および第2の半導体領域間の接合を含む。
(実施例10)
実施例8または9の方法であって、前述第二高調波発生光の前述強度レベルに基づき前述試料について決定した前述特性は、前述試料の酸化物層の充電量、前述試料の界面領域の充電量、または前述試料の界面結合状態に関連する情報の少なくとも一つを含む。
(実施例11)
実施例8〜10のいずれかの方法であって、前述第二高調波発生光の前述強度レベルに基づき前述試料について決定した前述特性は、前述試料の酸化物層の充電量を含む。
(実施例12)
実施例8〜11のいずれかの方法であって、前述第二高調波発生光の前述強度レベルに基づき前述試料について決定した前述特性は、前述試料の界面領域の充電量を含む。
(実施例13)
実施例8〜12のいずれかの方法であって、前述第二高調波発生光の前述強度レベルに基づき前述試料について決定した前述特性は、前述試料の界面結合状態に関連する情報を含む。
(実施例14)
第二高調波発生を使用して界面領域を有する試料を特性評価する方法であって、
計測システムの光源からの放射を前述界面領域に向け、
前述計測システムの光学的検出システムを用いて、前述界面領域からの第二高調波発生光を検出し、
一回目の前述第二高調波発生光の第1の強度レベルおよび前述一回目より後の二回目の前述第二高調波発生光の第2の強度レベル間の差に基づいて、前述試料の特性を決定する。
(実施例15)
実施例14の方法であって、前述電子機器は、前述一回目の前述第二高調波発生光の前述第1の強度レベルおよび前述一回目より後の前述二回目の前述第2の強度レベル間の差の、前述一回目の前述第二高調波発生光の前述第1の強度レベルに対する比に基づいて前述試料の特性を取得するように構成される。
(実施例16)
実施例14または15の方法は、さらに、前述一回目および前述二回目間の時間に、前述第二高調波発生光の強度レベルを少なくとも一つ追加して取得することを含む。
(実施例17)
実施例14〜16のいずれかの方法は、前述試料について取得した前述特性は、前述試料の酸化物層の厚さ、酸化物層内のバルクトラップの量、表面特性の少なくとも一つを含む。
(実施例18)
実施例14〜17のいずれかの方法であって、前述試料について取得した前述特性は、前記試料の酸化物層の厚さを含む。
(実施例19)
実施例14〜18のいずれかの方法であって、前述試料について取得した前述特性は、酸化物層内のバルクトラップの量を含む。
(実施例20)
実施例14〜19のいずれかの方法であって、前述試料について取得した前述特性は、前述試料の表面特性を含む。
(実施例21)
実施例1〜8のいずれかのシステムであって、前述のシステムは、前述の試料が製造ラインまたは生産ラインにある間、前述の試料をインラインで調査するように構成される。
(実施例22)
実施例1〜8、または21のいずれかのシステムは、さらに、前述の試料にポンプ放射を提供するためのポンプ源を含む。
(実施例23)
実施例8〜13のいずれかの方法は、前述の界面領域に放射を向けることが、ポンプ放射およびプローブ放射を適用することを含む。
(実施例24)
実施例8〜13、または23のいずれかの方法は、前述の試料の特性評価を、前述の試料が製造または生産ラインにある間インラインで実行する。
(実施例25)
実施例14〜20のいずれかの方法は、前述の界面領域に放射を向けることが、ポンプ放射およびプローブ放射を適用することを含む。
(実施例26)
実施例14〜20、または25のいずれかの方法は、前述の試料の特性評価を、前述の試料が製造または生産ラインにある間インラインで実行する。
(実施例1)
半導体装置製造構造であって、
半導体基板と、
半導体と接触して界面領域を形成する酸化物層、および周囲環境に曝露された導電領域、ならびに前記周囲環境に曝露された前記導電領域および前記酸化物層間の電気経路を提供する相互接続を含む、前記半導体基板上に支持されたテスト構造と、を含み、
前記テスト構造は、前記界面領域において光学計測システムから光ビームを受信し、前記光学計測システムによって受信することができる第二高調波発生光を生成するように構成される。
(実施例2)
実施例1の半導体装置製造構造であって、前記界面領域は、前記酸化物層および前記半導体基板によって形成される。
(実施例3)
実施例1の半導体装置製造構造であって、前記界面領域は、前記酸化物層および前記半導体基板上の半導体の層によって形成される。
(実施例4)
実施例1〜3のいずれかの半導体装置製造構造であって、前記半導体基板上に支持された集積回路装置をさらに含む。
(実施例5)
実施例1〜4のいずれかの半導体装置製造構造であって、前記テスト構造は、二つの集積回路間の空間に含まれる。
(実施例6)
実施例1〜5のいずれかの半導体装置製造構造であって、前記テスト構造は、前記半導体装置製造構造が個別のダイを形成するために切断される空間に含まれる。
(実施例7)
実施例1〜6のいずれかの半導体装置製造構造であって、前記テスト構造は、機能するトランジスタとして構成されていない。
(実施例8)
実施例1〜7のいずれかの半導体装置製造構造であって、前記テスト構造は、集積回路に電気的に接続されていない。
(実施例9)
実施例1〜8のいずれかの半導体装置製造構造であって、前記相互接続は、酸化物層の側に配置され、それによって前記界面領域への光学的アクセスを提供する。
(実施例10)
実施例1〜9のいずれかの半導体装置製造構造であって、前記テスト構造は、前記酸化物層上に障壁層をさらに含む。
(実施例11)
実施例10に記載の半導体装置製造構造であって、前記障壁層は、TiNを含む。
(実施例12)
実施例10または11に記載の半導体装置製造構造であって、前記障壁層は、約1nm〜約5nmの厚さを有する。
(実施例13)
実施例1〜12のいずれかの半導体装置製造構造であって、前記半導体装置製造構造は、半導体と接触して第2の界面領域を形成する第2の酸化物層を含む、第2のテスト構造をさらに含み、
前記第2のテスト構造は、前記第2の界面領域において光学計測システムから光ビームを受信し、前記光学計測システムによって受信することができる第二高調波発生光を生成するように構成される。
(実施例14)
実施例13の半導体装置製造構造であって、前記第2のテスト構造は、前記周囲環境に曝露された電気接点パッドに電気的に接続されていない。
(実施例15)
実施例13または14の半導体装置製造構造であって、前記第2のテスト構造は、二つの集積回路間の空間に含まれる。
(実施例16)
実施例13〜15のいずれかの半導体装置製造構造であって、前記テスト構造は、前記半導体装置製造構造が個別のダイを形成するために切断される空間に含まれる。
(実施例17)
実施例13〜16のいずれかの半導体装置製造構造前記第2のテスト構造は、機能するトランジスタとして構成されていない。
(実施例18)
実施例13〜17のいずれかの半導体装置製造構造であって、前記第2のテスト構造は、集積回路に電気的に接続されていない。
(実施例19)
実施例13〜18のいずれかの半導体装置製造構造であって、前記第2のテスト構造は、前記酸化物層上に障壁層をさらに含む。
(実施例20)
実施例19の半導体装置製造構造であって、前記障壁層は、TiNを含む。
(実施例21)
実施例19または20の半導体装置製造構造であって、前記障壁層は、約1nm〜約5nmの厚さを有する。
(実施例22)
第二高調波発生を使用して試料を特性評価するためのシステムであって、
前記試料に光ビームを向けるように構成された光源と、
前記ビームが前記試料に入射する位置を変更するための位置決めシステムと、
前記試料からの第二高調波発生光を受信するように構成された光学的検出システムと、
前記試料に前記光ビームが入射する場所を前記位置決めシステムを使用して制御し、かつ前記第二高調波発生光に基づく前記光学的検出システムからの信号を受信するように構成された電子機器と、を含み、
前記電子機器は、前記光ビームを、半導体と接触して界面領域を形成する酸化物層、および周囲環境に曝露された導電領域、ならびに前記周囲環境に曝露された前記導電領域および前記酸化物層間の電気経路を提供する相互接続を含むテスト構造に向け、前記光ビームは、前記界面領域に入射し、生成される第二高調波発生光を前記光学的検出システムで受信するように構成される。
(実施例23)
実施例22のシステムであって、前記電子機器は、さらに、前記テスト構造からの前記第二高調波発生信号に基づいて、前記界面領域のプロセス誘導充電の効果を特性評価するように構成される。
(実施例24)
実施例22に記載のシステムであって、前記電子機器は、さらに、前記テスト構造からの前記第二高調波発生信号に基づいて、プロセス誘導充電の効果に起因する前記界面領域の電気的特性の変化を決定するように構成される。
(実施例25)
実施例22〜24のいずれかのシステムであって、前記電子機器は、前記光ビームを、半導体と接触して第2の界面領域を形成する第2の酸化物層を含む、第2のテスト構造に向け、前記光ビームは、前記第2の界面領域に入射し、生成される第二高調波発生光を前記光学的検出システムで受信するように構成される。
(実施例26)
実施例25のシステムであって、前記第2のテスト構造は、前記周囲環境に曝露された導電領域に電気的に接続されていない。
(実施例27)
実施例25または26のシステムであって、前記電子機器は、さらに、前記テスト構造からの前記第二高調波発生光および前記第2のテスト構造からの前記第二高調波発生光の比較に基づいて、前記界面領域のプロセス誘導充電の効果を特性評価するように構成される。
(実施例28)
実施例25または26のシステムであって、前記電子機器は、さらに、前記テスト構造からの前記第二高調波発生光および前記第2のテスト構造からの前記第二高調波発生光の比較に基づいて、プロセス誘導充電の効果に起因する前記界面領域の電気的特性の変化を決定するように構成される。
(実施例29)
実施例25または26のシステムであって、前記電子機器は、さらに、前記テスト構造からの前記第二高調波発生光および前記第2のテスト構造からの前記第二高調波発生光の差に基づいて、前記界面領域のプロセス誘導充電の効果を特性評価するように構成される。
(実施例30)
プロセス誘導充電の効果に起因する半導体装置の界面領域に関連する電気的特性の変化を決定する方法であって、
界面領域、前記界面領域上の誘電体物質、および周囲環境に曝露された前記誘電体物質上面の導電領域、ならびに前記界面領域および前記導電領域間の前記誘電体物質を介する電気的接続を提供する相互接続、を含むテスト構造を提供し、
前記界面境域上に計測システムの少なくとも一つの光源から放射を向け、
前記計測システムの光学的検出システムによって、前記界面領域からの第二高調波発生光を検出する。
(実施例31)
実施例30の方法であって、前記界面領域は、半導体層および酸化物層間の接合を含む。
(実施例32)
実施例30または31の方法であって、前記界面領域に関連する電気的特性の変化を決定することをさらに含む。
(実施例33)
実施例30〜32のいずれかの方法であって、
第2の界面領域を含む第2のテスト構造を提供し、
前記第2の界面境域上に少なくとも一つの光源から放射を向け、
前記計測システムの光学的検出システムにより、前記第2の界面領域からの第二高調波発生光を検出する、ことをさらに含む。
(実施例34)
実施例33の方法であって、前記第2の界面領域は、電気的に導電領域に接続されていない。
(実施例35)
実施例33または34の方法であって、前記界面領域からの前記第二高調波発生光および前記第2の界面領域からの前記第二高調波発生光に基づいて、前記テスト構造の前記界面領域に関連する電気的特性の変化を決定する、ことをさらに含む。
(実施例36)
実施例22〜29のいずれかのシステムであって、前記システムは、前記試料が製造または生産ラインにある間インラインで前記試料を特性評価するように構成される。
(実施例37)
実施例22〜29または36のいずれかのシステムであって、前記試料にポンプ放射を提供するためのポンプ源をさらに備える。
(実施例38)
実施例30〜35のいずれかの方法であって、前記界面領域に放射を向けることは、ポンプ放射およびプローブ放射を適用することを含む。
(実施例39)
実施例30〜35または38のいずれかの方法であって、前記試料の前記界面領域に関連する電気的特性の変化を決定することは、前記試料が製造または生産ラインにある間インラインで行われる。
図1は、対象の方法に関連して使用できるようなシステム100の図である。他の適切なシステムの変形例について、2014年4月17日出願の米国仮出願第61/980860号明細書「ウエハ計測技術」の第II節「電荷減衰測定のシステムおよび方法」に、例えば、中間の光学、光学遅延線を含めることおよび任意の電極機能などに関して提示がある。
図6Aは、対象の方法に関して使用し得る第1のシステム2100を示す。別のシステム2100’および2100’’を図6Bおよび6Cに示す。各システムには、真空チャック2030により保持された試料ウエハ2020に電磁放射の一次ビーム2012を向ける一次レーザ2010が含まれる。チャック2030は、xおよびyステージ、ならびに必要に応じて、レーザが向けられる場所に対してウエハ全体の試料位置2022を位置決めするための回転ステージをも含むか、またはそれらのステージ上に設定される。検出器2040に向け反射された放射ビーム2014は、SHG信号を含むであろう。検出器は、光電子増倍管、CCDカメラ、アバランシェ検出器、フォトダイオード検出器、ストリークカメラ、およびシリコン検出器のいずれであってもよい。試料位置2022は、一つまたは複数の層を含むことができる。試料位置2022は、少なくとも二つの層を含む複合基板を含むことができる。試料位置2022は、二つの異なる物質間(例えば、二つの異なる半導体物質間、不純物が異なる二つの半導体物質間、半導体および酸化物間、半導体および誘電体物質間、半導体および金属、または酸化物および金属間)の界面を含むことができる。
図15Aおよび15Bは、対象のシステムおよび方法で使用するために適したハードウェアを示す。これについては、2014年4月17日出願の米国仮出願第61/980860号明細書「ウエハ計測技術」の第I節「ポンプおよびプローブ型SHG計測」に詳述がある。他のシステムおよび方法の選択肢には、2014年4月17日出願の米国仮出願第61/980860号明細書「ウエハ計測技術」の第II節「電荷減衰測定のシステムおよび方法」に詳述があるように、例えば、中間光学系、光学遅延線および必要に応じた電極機能に関するものが含まれる。
パターン化されていないウエハ用に開発されたウエハ調査の最もよく知られた方法(BKM)は、多くのパターンウエハに適さない可能性がある。例えば、第二高調波発生(SHG)の多くの特性は、パターン化されていないウエハまたは空ウエハに対する応答が理解されており、多くの場合、一次元モデルとして扱うことができる。しかし、パターン化されたウエハに対して同様の調査方法を使用したSHG応答は、パターンの形状に強く依存し得る。したがって、この問題を説明するために、特定のパターン形状に対して様々な調査方法を使用する可能性がある。これらの調査方法は、パターン化されたウエハの領域全体で一連の調査条件を変化させ、SHG応答を測定することによって決定できる。例えば、ウエハは、異なるパターン形状を有する複数の領域を含む場合がある。異なるパターン形状を持つ異なる領域に使用する調査条件は異なる可能性がある。
例えば、半導体等の試料のSHG測定から得られた様々なパラメータを使用して、試料を特性評価できる。例えば、界面領域を含む試料のSHG測定から得られたパラメータを使用して、界面の電気的特性を決定できる。SHG測定のパラメトリックモデリング、および界面の電気的特性を含むがこれらに限定されない試料の様々な特性との定量的相関は、大量の半導体製造における試料の非破壊検査および迅速な検査に役立てることができる。
半導体装置の製造には、多くの処理工程が含まれる。いくつかの処理工程では、プラズマを使用し得る。プラズマプロセスは、半導体装置の様々な部分に電荷の蓄積を誘導し、かつ/または損傷の原因となる。例えば、図24に示すように、半導体物質層24101および酸化物物質層24103によって形成された積層の半導体−酸化物接合を含む、半導体装置24000(例えば、トランジスタまたはMOSFET)を考える。半導体装置24000には、さらに、酸化物物質層24103上に配置された金属ゲート24105が含まれる。半導体装置24000の他の様々な層を介するビアまたは相互接続24107を備えることにより、金属ゲート24105を集積回路表面上の電気的接点、もしくは電気的配線、または他の導電体表面に接触させることができる。金属ゲート24105は、金属(例えば、タングステン)を含むことができる。集積回路は、当該集積回路の他層のための電気的接触層として機能するように構成された追加の金属層24109および24113、および追加の金属層24109および24113を集積回路表面上の電気的接点に接触させるビアまたは相互接続24111を含むことができる。図24Aは、半導体装置24000の軸A−Aに沿った断面図を示す。半導体装置24000の様々な実装では、図24Aに示すように、金属ゲート24105および24103間に障壁層24115を含むことができる。障壁層24115は、金属ゲート24105から酸化物層24103への金属の拡散を予防または低減するように構成されることができる。様々な実装において、障壁層24115は、TiNを含み得る。障壁層24115は、約1nm〜約5nmの厚さを有し得る。さまざまな実装において、金属ゲート24105およびビアまたは相互接続24107を層間誘電体(ILD)によって囲み、金属ゲート24105およびビアまたは総合接続24107を半導体装置24000の他の導電層(例えば、金属線もしくは他の金属または導電性機能)から分離することができる。
本発明の実施形態について、特徴の選択に関する詳細とともに、以上に記載した。他の詳細に関しては、これらについて、上記で参照した特許および刊行物に関連して理解し得るだけでなく、一般に、当業者によって知られているか、または評価されている。本発明の方法に基づく態様に関しても、一般的または論理的に使用する追加の動作について、同じことが当てはまる可能性がある。製造および使用方法を含む、そのような方法に関して、これらについて、論理的に可能なイベントの任意の順序、ならびに列挙したイベントの任意の順序で実行できる。さらに、値の範囲を提供する場合、全ての介在値、つまり、その範囲の上限および下限間、ならびに当該記載範囲の他の任意の記載または介在値は、本発明に含まれることが理解されよう。また、記載する本発明の変形例の任意の選択可能な特徴について、本明細書に記載した一つもしくは複数の任意の特徴と独立に、または組み合わせて、明らかにし主張することを企図している。
Claims (39)
- 半導体装置製造構造であって、
半導体基板と、
半導体と接触して界面領域を形成する酸化物層、および周囲環境に曝露された導電領域、ならびに前記周囲環境に曝露された前記導電領域および前記酸化物層間の電気経路を提供する相互接続を含む、前記半導体基板上に支持されたテスト構造と、を含み、
前記テスト構造は、前記界面領域において光学計測システムから光ビームを受信し、前記光学計測システムによって受信することができる第二高調波発生光を生成するように構成される、半導体装置製造構造。 - 前記界面領域は、前記酸化物層および前記半導体基板によって形成される、請求項1に記載の半導体装置製造構造。
- 前記界面領域は、前記酸化物層および前記半導体基板上の半導体の層によって形成される、請求項1に記載の半導体装置製造構造。
- 前記半導体基板上に支持された集積回路装置をさらに含む、請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体装置製造構造。
- 前記テスト構造は、二つの集積回路間の空間に含まれる、請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体装置製造構造。
- 前記テスト構造は、前記半導体装置製造構造が個別のダイを形成するために切断される空間に含まれる、請求項1〜5のいずれか1項に記載の半導体装置製造構造。
- 前記テスト構造は、機能するトランジスタとして構成されていない、請求項1〜6のいずれか1項に記載の半導体装置製造構造。
- 前記テスト構造は、集積回路に電気的に接続されていない、請求項1〜7のいずれか1項に記載の半導体装置製造構造。
- 前記相互接続は、酸化物層の側に配置され、それによって前記界面領域への光学的アクセスを提供する、請求項1〜8のいずれか1項に記載の半導体装置製造構造。
- 前記テスト構造は、前記酸化物層上に障壁層をさらに含む、請求項1〜9のいずれか1項に記載の半導体装置製造構造。
- 前記障壁層は、TiNを含む、請求項10に記載の半導体装置製造構造。
- 前記障壁層は、約1nm〜約5nmの厚さを有する、請求項10または11に記載の半導体装置製造構造。
- 前記半導体装置製造構造は、半導体と接触して第2の界面領域を形成する第2の酸化物層を含む、第2のテスト構造をさらに含み、
前記第2のテスト構造は、前記第2の界面領域において光学計測システムから光ビームを受信し、前記光学計測システムによって受信することができる第二高調波発生光を生成するように構成される、請求項1〜12のいずれか1項に記載の半導体装置製造構造。 - 前記第2のテスト構造は、前記周囲環境に曝露された電気接点パッドに電気的に接続されていない、請求項13に記載の半導体装置製造構造。
- 前記第2のテスト構造は、二つの集積回路間の空間に含まれる、請求項13または14に記載の半導体装置製造構造。
- 前記テスト構造は、前記半導体装置製造構造が個別のダイを形成するために切断される空間に含まれる、請求項13〜15のいずれか1項に記載の半導体装置製造構造。
- 前記第2のテスト構造は、機能するトランジスタとして構成されていない、請求項13〜16のいずれか1項に記載の半導体装置製造構造。
- 前記第2のテスト構造は、集積回路に電気的に接続されていない、請求項13〜17のいずれか1項に記載の半導体装置製造構造。
- 前記第2のテスト構造は、前記酸化物層上に障壁層をさらに含む、請求項13〜18のいずれか1項に記載の半導体装置製造構造。
- 前記障壁層は、TiNを含む、請求項19に記載の半導体装置製造構造。
- 前記障壁層は、約1nm〜約5nmの厚さを有する、請求項19または20に記載の半導体装置製造構造。
- 第二高調波発生を使用して試料を特性評価するためのシステムであって、
前記試料に光ビームを向けるように構成された光源と、
前記ビームが前記試料に入射する場所を変更するための位置決めシステムと、
前記試料からの第二高調波発生光を受信するように構成された光学的検出システムと、
前記試料に前記光ビームが入射する場所を前記位置決めシステムを使用して制御し、かつ前記第二高調波発生光に基づく前記光学的検出システムからの信号を受信するように構成された電子機器と、を含み、
前記電子機器は、前記光ビームを、半導体と接触して界面領域を形成する酸化物層、および周囲環境に曝露された導電領域、ならびに前記周囲環境に曝露された前記導電領域および前記酸化物層間の電気経路を提供する相互接続を含むテスト構造に向け、前記光ビームは、前記界面領域に入射し、生成される第二高調波発生光を前記光学的検出システムで受信されるように構成される、システム。 - 前記電子機器は、さらに、前記テスト構造からの前記第二高調波発生信号に基づいて、前記界面領域のプロセス誘導充電の効果を特性評価するように構成される、請求項22に記載のシステム。
- 前記電子機器は、さらに、前記テスト構造からの前記第二高調波発生信号に基づいて、プロセス誘導充電の効果に起因する前記界面領域の電気的特性の変化を決定するように構成される、請求項22に記載のシステム。
- 前記電子機器は、前記光ビームを、半導体と接触して第2の界面領域を形成する第2の酸化物層を含む、第2のテスト構造に向け、前記光ビームは、前記第2の界面領域に入射し、生成される第二高調波発生光を前記光学的検出システムで受信されるように構成される、請求項22〜24のいずれか1項に記載のシステム。
- 前記第2のテスト構造は、前記周囲環境に曝露された導電領域に電気的に接続されていない、請求項25に記載のシステム。
- 前記電子機器は、さらに、前記テスト構造からの前記第二高調波発生光および前記第2のテスト構造からの前記第二高調波発生光の比較に基づいて、前記界面領域のプロセス誘導充電の効果を特性評価するように構成される、請求項25または26に記載のシステム。
- 前記電子機器は、さらに、前記テスト構造からの前記第二高調波発生光および前記第2のテスト構造からの前記第二高調波発生光の比較に基づいて、プロセス誘導充電の効果に起因する前記界面領域の電気的特性の変化を決定するように構成される、請求項25または26に記載のシステム。
- 前記電子機器は、さらに、前記テスト構造からの前記第二高調波発生光および前記第2のテスト構造からの前記第二高調波発生光の差に基づいて、前記界面領域のプロセス誘導充電の効果を特性評価するように構成される、請求項25または26に記載のシステム。
- プロセス誘導充電の効果に起因する半導体装置の界面領域に関連する電気的特性の変化を決定する方法であって、
界面領域、前記界面領域上の誘電体物質、および周囲環境に曝露された前記誘電体物質上面の導電領域、ならびに前記界面領域および前記導電領域間の前記誘電体物質を介する電気的接続を提供する相互接続、を含むテスト構造を提供し、
前記界面境域上に計測システムの少なくとも一つの光源から放射を向け、
前記計測システムの光学的検出システムによって、前記界面領域からの第二高調波発生光を検出する、方法。 - 前記界面領域は、半導体層および酸化物層間の接合を含む、請求項30に記載の方法。
- 前記界面領域に関連する電気的特性の変化を決定することをさらに含む、請求項30または31に記載の方法。
- 第2の界面領域を含む第2のテスト構造を提供し、
前記第2の界面境域上に少なくとも一つの光源から放射を向け、
前記計測システムの光学的検出システムにより、前記第2の界面領域からの第二高調波発生光を検出する、ことをさらに含む請求項30〜32のいずれか1項に記載の方法。 - 前記第2の界面領域は、電気的に導電領域に接続されていない、請求項33に記載の方法。
- 前記界面領域からの前記第二高調波発生光および前記第2の界面領域からの前記第二高調波発生光に基づいて、前記テスト構造の前記界面領域に関連する電気的特性の変化を決定する、ことをさらに含む請求項33または34に記載の方法。
- 前記システムは、前記試料が製造または生産ラインにある間インラインで前記試料を特性評価するように構成される、請求項22〜29のいずれか1項に記載のシステム。
- 前記試料にポンプ放射を提供するためのポンプ源をさらに備える、請求項22〜29または36のいずれか1項に記載のシステム。
- 前記界面領域に放射を向けることは、ポンプ放射およびプローブ放射を適用することを含む、請求項30〜35のいずれか1項に記載の方法。
- 前記試料の前記界面領域に関連する電気的特性の変化を決定することは、前記試料が製造または生産ラインにある間インラインで行われる、請求項30〜35または38のいずれか1項に記載の方法。
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