JP2021527808A - 液体サンプルを収集および分析する優先順位付けのためのシステム - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
液体サンプルセグメントの中断および適切な液体セグメントの決定
方法例
制御システム
例1−モニタリングシステム例
例2−再現性
例3−マニュアルサンプリングとの比較−半導体プロセス例
ダイナミックサンプル優先順位付け
ダイナミックなサンプル優先順位付けの例
結論
Claims (20)
- サンプル分析システムによるサンプルの優先順位付け処理の方法であって、
前記サンプル分析システムによる処理のため、第一のサンプルに関連した、複数の異なるサンプルタイプの最初のものから成る、第一のサンプル識別子を受信することと、
前記サンプル分析システムによる処理のため、第二のサンプルに関連した、前記複数の異なるサンプルタイプの2番目のものから成る、第二のサンプル識別子を受信することと、
前記複数の異なるサンプルタイプの前記最初のものから成る前記第一のサンプル識別子に基づいて、前記第一のサンプルに、第一のサンプル優先度値を割り当てることと、
前記複数の異なるサンプルタイプの前記二番目のものから成る前記第二のサンプル識別子に基づいて、前記第二のサンプルに、第二のサンプル優先度値を割り当てることと、
前記第一のサンプルに関連した前記第一のサンプル優先度値を、前記第二のサンプルに関連した前記第二のサンプル優先度値と、比較することと、
上記比較に基づいて、前記サンプル分析システムにより、前記第一および第二のサンプルを処理する順序を特定する、サンプル処理キューを更新することとを、備える、
方法。 - 前記第一のサンプル識別子を受信することは、前記第一のサンプルを取得するように構成された第一のリモートサンプリングシステムから、前記第一のサンプル識別子を受信することを、含み、
前記第二のサンプル識別子を受信することは、前記第二のサンプルを取得するように構成された第二のリモートサンプリングシステムから、前記第二のサンプル識別子を受信することを、含む、
請求項1に記載の方法。 - 前記複数の異なるサンプルタイプは、
標準校正サンプル、マトリック校正サンプル、質チェックサンプル、一般サンプル、および優先サンプルを、含む、
請求項1に記載の方法。 - 前記複数の異なるサンプルタイプは、
第一の基本校正カーブサンプルタイプ、第一のマトリック校正カーブサンプルタイプ、リモートサンプリングシステムからのアクティブ輸送中のサンプルタイプ、優先サンプルタイプ、第一の質チェックサンプルタイプ、失敗した分析サンプルタイプ、失敗した質チェック基本校正カーブ再実行サンプルタイプ、失敗した質チェック基本校正単一点再実行サンプルタイプ、失敗した質チェックマトリック校正カーブ再実行サンプルタイプ、失敗した質チェックマトリック校正単一点再実行サンプルタイプ、予定された校正カーブサンプルタイプ、予定された質チェックサンプルタイプ、緊急サンプルタイプ、より小さい優先サンプルタイプ、および予定されたサンプルタイプを、含む、
請求項1に記載の方法。 - 前記第一のサンプルに対して、リモートサンプリングシステムから前記サンプル分析システムへの搬送が予定されている、ことを示すしるしを受信すること、
前記第一のサンプルに対して搬送が予定されていることを示す前記しるしの受信に続いて、前記第二のサンプルに関連した前記第二のサンプル識別子を受信すること、
前記第二のサンプル優先度値が、前記第一のサンプル優先度値よりも高いかを、決定すること、および
上記決定に基づいて、前記リモートサンプリングシステムから前記サンプル分析システムへの前記第一のサンプルの前記搬送を可能にすること、および、前記リモートサンプリングシステムから前記サンプル分析システムへの前記第一のサンプルの前記搬送をキャンセルすることの、一つを行うことを、さらに備える、
請求項1に記載の方法。 - 処理のために、前記サンプル分析システムで前記第一のサンプルを受信した、ことを示すしるしを受信すること、
前記サンプル分析システムで前記第一のサンプルを受信したことを示す前記しるしの受信に続いて、前記第二のサンプルに関連した前記第二のサンプル識別子を受信すること、
前記第二のサンプル優先度値が、前記第一のサンプル優先度値よりも高いかを、決定すること、および
上記決定に基づいて、前記サンプル分析システムによる前記第一のサンプルの分析を可能にすること、および、前記サンプル分析システムによる前記第一のサンプルの前記分析を中止することの、一つを行うことを、さらに備える、
請求項1に記載の方法。 - 前記サンプル分析システムによる処理のため、第三のサンプルに関連した第三のサンプル識別子を、受信すること、
ユーザインタフェースを介して受信したユーザ入力に基づいて、前記第三のサンプルに、第三のサンプル優先度値を割り当てること、
前記第三のサンプルに関連した前記第三のサンプル優先度値を、前記第一のサンプルに関連した前記第一のサンプル優先度値、および前記第二のサンプルに関連した前記第二のサンプル優先度値と、比較すること、および
上記比較に基づいて、前記サンプル分析システムにより、前記第一、第二、および第三のサンプルを処理する順序を特定する、前記サンプル処理キューを更新することを、さらに備える、
請求項1に記載の方法。 - システムコントローラであって、
少なくとも一つのプロセッサと、
コンピュータプログラムコードを含む、少なくとも一つのメモリとを、
備え、
前記少なくとも一つのメモリおよび前記コンピュータプログラムコードは、前記少なくとも一つのプロセッサと共に、前記システムコントローラに、
サンプル分析システムによる処理のため、第一のサンプルに関連した、複数の異なるサンプルタイプの最初のものから成る、第一のサンプル識別子を受信させ、
前記サンプル分析システムによる処理のため、第二のサンプルに関連した、前記複数の異なるサンプルタイプの2番目のものから成る、第二のサンプル識別子を受信させ、
前記複数の異なるサンプルタイプの前記最初のものから成る前記第一のサンプル識別子に基づいて、前記第一のサンプルに、第一のサンプル優先度値を割り当てさせ、
前記複数の異なるサンプルタイプの前記二番目のものから成る前記第二のサンプル識別子に基づいて、前記第二のサンプルに、第二のサンプル優先度値を割り当てさせ、
前記第一のサンプルに関連した前記第一のサンプル優先度値を、前記第二のサンプルに関連した前記第二のサンプル優先度値と、比較させ、
上記比較に基づいて、前記サンプル分析システムにより、前記第一および第二のサンプルを処理する順序を特定する、サンプル処理キューを更新させる、
ように構成されている、
システムコントローラ。 - 前記少なくとも一つのプロセッサは、前記システムコントローラに、
前記第一のサンプルを取得するように構成された第一のリモートサンプリングシステムから、前記第一のサンプル識別子を受信させ、および
前記第二のサンプルを取得するように構成された第二のリモートサンプリングシステムから、前記第二のサンプル識別子を受信させる、
請求項8に記載のシステムコントローラ。 - 前記少なくとも一つのプロセッサは、前記システムコントローラに、
標準校正サンプル、マトリック校正サンプル、質チェックサンプル、一般サンプル、および優先サンプルを含む、前記複数の異なるサンプルタイプの、前記最初のものから成る前記第一のサンプル識別子を受信させ、
標準校正サンプル、マトリック校正サンプル、質チェックサンプル、一般サンプル、および優先サンプルを含む、前記複数の異なるサンプルタイプの、前記二番目のものから成る前記第二のサンプル識別子を受信させる、
請求項8に記載のシステムコントローラ。 - 前記少なくとも一つのプロセッサは、前記システムコントローラに、
第一の基本校正カーブサンプルタイプ、第一のマトリック校正カーブサンプルタイプ、リモートサンプリングシステムからのアクティブ輸送中のサンプルタイプ、優先サンプルタイプ、第一の質チェックサンプルタイプ、失敗した分析サンプルタイプ、失敗した質チェック基本校正カーブ再実行サンプルタイプ、失敗した質チェック基本校正単一点再実行サンプルタイプ、失敗した質チェックマトリック校正カーブ再実行サンプルタイプ、失敗した質チェックマトリック校正単一点再実行サンプルタイプ、予定された校正カーブサンプルタイプ、予定された質チェックサンプルタイプ、緊急サンプルタイプ、より小さい優先サンプルタイプ、および予定されたサンプルタイプを含む、前記複数の異なるサンプルタイプの、前記最初のものから成る前記第一のサンプル識別子を、受信させ、さらに
第一の基本校正カーブサンプルタイプ、第一のマトリック校正カーブサンプルタイプ、リモートサンプリングシステムからのアクティブ輸送中のサンプルタイプ、優先サンプルタイプ、第一の質チェックサンプルタイプ、失敗した分析サンプルタイプ、失敗した質チェック基本校正カーブ再実行サンプルタイプ、失敗した質チェック基本校正単一点再実行サンプルタイプ、失敗した質チェックマトリック校正カーブ再実行サンプルタイプ、失敗した質チェックマトリック校正単一点再実行サンプルタイプ、予定された校正カーブサンプルタイプ、予定された質チェックサンプルタイプ、緊急サンプルタイプ、より小さい優先サンプルタイプ、および予定されたサンプルタイプを含む、前記複数の異なるサンプルタイプの、前記二番目のものから成る前記第二のサンプル識別子を、受信させる、
請求項8に記載のシステムコントローラ。 - 前記少なくとも一つのプロセッサは、前記システムコントローラに、
前記第一のサンプルに対して、リモートサンプリングシステムから前記サンプル分析システムへの搬送が予定されている、ことを示すしるしを受信させ、
前記第一のサンプルに対して搬送が予定されていることを示す前記しるしの受信に続いて、前記第二のサンプルに関連した前記第二のサンプル識別子を受信させ、
前記第二のサンプル優先度値が、前記第一のサンプル優先度値よりも高いかを、決定させ、および
上記決定に基づいて、前記リモートサンプリングシステムから前記サンプル分析システムへの前記第一のサンプルの前記搬送を可能にする、および、前記リモートサンプリングシステムから前記サンプル分析システムへの前記第一のサンプルの前記搬送をキャンセルするの、一つを行わせる、
請求項8に記載のシステムコントローラ。 - 前記少なくとも一つのプロセッサは、前記システムコントローラに、
処理のために、前記サンプル分析システムで前記第一のサンプルを受信した、ことを示すしるしを受信させ、
前記サンプル分析システムで前記第一のサンプルを受信したことを示す前記しるしの受信に続いて、前記第二のサンプルに関連した前記第二のサンプル識別子を受信させ、
前記第二のサンプル優先度値が、前記第一のサンプル優先度値よりも高いかを、決定させ、および
上記決定に基づいて、前記サンプル分析システムによる前記第一のサンプルの分析を可能にする、および、前記サンプル分析システムによる前記第一のサンプルの前記分析を中止するの、一つを行わせる、
請求項8に記載のシステムコントローラ。 - 前記少なくとも一つのプロセッサは、前記システムコントローラに、
前記サンプル分析システムによる処理のため、第三のサンプルに関連した第三のサンプル識別子を、受信させ、
ユーザインタフェースを介して受信したユーザ入力に基づいて、前記第三のサンプルに、第三のサンプル優先度値を割り当てさせ、
前記第三のサンプルに関連した前記第三のサンプル優先度値を、前記第一のサンプルに関連した前記第一のサンプル優先度値、および前記第二のサンプルに関連した前記第二のサンプル優先度値と、比較させ、および
上記比較に基づいて、前記サンプル分析システムにより、前記第一、第二、および第三のサンプルを処理する順序を特定する、前記サンプル処理キューを更新させる、
請求項8に記載のシステムコントローラ。 - サンプルの処理のためのシステムであって、
第一および第二のサンプルを処理するように構成された、サンプル分析システムと、
前記第一のサンプルを取得するように構成された、第一のリモートシステムと、
前記第一のリモートシステムから前記サンプル分析システムへの前記第一のサンプルの搬送を可能にするように、前記リモートシステムを前記サンプル分析システムに流体的に接続するように構成された、第一の搬送ラインと、
前記第二のサンプルを取得するように構成された、第二のリモートシステムと、
前記第二のリモートシステムから前記サンプル分析システムへの前記第二のサンプルの搬送を可能にするように、前記リモートシステムを前記サンプル分析システムに流体的に接続するように構成された、第二の搬送ラインと、
システムコントローラとを、備え、
前記システムコントローラは、
前記サンプル分析システムによる処理のため、前記第一のサンプルに関連した、複数の異なるサンプルタイプの最初のものから成る、第一のサンプル識別子を受信し、
前記サンプル分析システムによる処理のため、前記第二のサンプルに関連した、前記複数の異なるサンプルタイプの2番目のものから成る、第二のサンプル識別子を受信し、
前記複数の異なるサンプルタイプの前記最初のものから成る前記第一のサンプル識別子に基づいて、前記第一のサンプルに、第一のサンプル優先度値を割り当て、
前記複数の異なるサンプルタイプの前記二番目のものから成る前記第二のサンプル識別子に基づいて、前記第二のサンプルに、第二のサンプル優先度値を割り当て、
前記第一のサンプルに関連した前記第一のサンプル優先度値を、前記第二のサンプルに関連した前記第二のサンプル優先度値と、比較し、
上記比較に基づいて、前記サンプル分析システムにより、前記第一および第二のサンプルを処理する順序を特定する、サンプル処理キューを更新する、
ように構成されている、
システム。 - 前記複数の異なるサンプルタイプは、
標準校正サンプル、マトリック校正サンプル、質チェックサンプル、一般サンプル、および優先サンプルを、含む、
請求項15に記載のシステム。 - 前記複数の異なるサンプルタイプは、
第一の基本校正カーブサンプルタイプ、第一のマトリック校正カーブサンプルタイプ、リモートサンプリングシステムからのアクティブ輸送中のサンプルタイプ、優先サンプルタイプ、第一の質チェックサンプルタイプ、失敗した分析サンプルタイプ、失敗した質チェック基本校正カーブ再実行サンプルタイプ、失敗した質チェック基本校正単一点再実行サンプルタイプ、失敗した質チェックマトリック校正カーブ再実行サンプルタイプ、失敗した質チェックマトリック校正単一点再実行サンプルタイプ、予定された校正カーブサンプルタイプ、予定された質チェックサンプルタイプ、緊急サンプルタイプ、より小さい優先サンプルタイプ、および予定されたサンプルタイプを、含む、
請求項15に記載のシステム。 - 前記システムコントローラは、さらに、
前記第一のサンプルに対して、前記第一のリモートサンプリングシステムから前記サンプル分析システムへの搬送が予定されている、ことを示すしるしを受信し、
前記第一のサンプルに対して搬送が予定されていることを示す前記しるしの受信に続いて、前記第二のサンプルに関連した前記第二のサンプル識別子を受信し、
前記第二のサンプル優先度値が、前記第一のサンプル優先度値よりも高いかを、決定し、および
上記決定に基づいて、前記第一のリモートサンプリングシステムから前記サンプル分析システムへの前記第一のサンプルの前記搬送を可能にすること、および、前記第一のリモートサンプリングシステムから前記サンプル分析システムへの前記第一のサンプルの前記搬送をキャンセルすることの、一つを行う、
ように構成されている、
請求項15に記載のシステム。 - 前記システムコントローラは、さらに、
処理のために、前記サンプル分析システムで前記第一のサンプルを受信した、ことを示すしるしを受信し、
前記サンプル分析システムで前記第一のサンプルを受信したことを示す前記しるしの受信に続いて、前記第二のサンプルに関連した前記第二のサンプル識別子を受信し、
前記第二のサンプル優先度値が、前記第一のサンプル優先度値よりも高いかを、決定し、および
上記決定に基づいて、前記サンプル分析システムによる前記第一のサンプルの分析を可能にすること、および、前記サンプル分析システムによる前記第一のサンプルの前記分析を中止することの、一つを行う、
ように構成されている、
請求項15に記載のシステム。 - 前記システムコントローラは、さらに、
前記サンプル分析システムによる処理のため、第三のサンプルに関連した第三のサンプル識別子を、受信し、
ユーザインタフェースを介して受信したユーザ入力に基づいて、前記第三のサンプルに、第三のサンプル優先度値を割り当て、
前記第三のサンプルに関連した前記第三のサンプル優先度値を、前記第一のサンプルに関連した前記第一のサンプル優先度値、および前記第二のサンプルに関連した前記第二のサンプル優先度値と、比較し、および
上記比較に基づいて、前記サンプル分析システムにより、前記第一、第二、および第三のサンプルを処理する順序を特定する、前記サンプル処理キューを更新する、
ように構成されている、
請求項15に記載のシステム。
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