JP2021524684A - マイクロ波連結/結合装置及びそれに関連したマイクロ波発生装置 - Google Patents
マイクロ波連結/結合装置及びそれに関連したマイクロ波発生装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021524684A JP2021524684A JP2020564341A JP2020564341A JP2021524684A JP 2021524684 A JP2021524684 A JP 2021524684A JP 2020564341 A JP2020564341 A JP 2020564341A JP 2020564341 A JP2020564341 A JP 2020564341A JP 2021524684 A JP2021524684 A JP 2021524684A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- microwave
- coupling
- horizontal bar
- coupling device
- coaxial connector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000008878 coupling Effects 0.000 title claims abstract description 153
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 title claims abstract description 153
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 title claims abstract description 153
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 claims description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010951 brass Substances 0.000 claims description 3
- 239000002826 coolant Substances 0.000 claims description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 abstract description 5
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 4
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 3
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 3
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 2
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000012080 ambient air Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32192—Microwave generated discharge
- H01J37/32211—Means for coupling power to the plasma
- H01J37/32229—Waveguides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
- H01P5/00—Coupling devices of the waveguide type
- H01P5/08—Coupling devices of the waveguide type for linking dissimilar lines or devices
- H01P5/10—Coupling devices of the waveguide type for linking dissimilar lines or devices for coupling balanced lines or devices with unbalanced lines or devices
- H01P5/103—Hollow-waveguide/coaxial-line transitions
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32192—Microwave generated discharge
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32192—Microwave generated discharge
- H01J37/32201—Generating means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32192—Microwave generated discharge
- H01J37/32211—Means for coupling power to the plasma
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32192—Microwave generated discharge
- H01J37/32311—Circuits specially adapted for controlling the microwave discharge
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
- H01P5/00—Coupling devices of the waveguide type
- H01P5/12—Coupling devices having more than two ports
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Variable-Direction Aerials And Aerial Arrays (AREA)
- Waveguide Aerials (AREA)
- Constitution Of High-Frequency Heating (AREA)
- Support Of Aerials (AREA)
Abstract
Description
主軸に沿って長手方向に延び、短絡要素が設けられた第1の端部と第2の開放端部とを含む2つの反対側の端部を有するスリーブと、
主軸に直交する横軸に沿って前記スリーブ内で延びる少なくとも1つの横棒とを備えた導波管を備え、
前記マイクロ波連結/結合装置は、マイクロ波源にそれぞれ接続されるように提供された少なくとも2つの同軸コネクタをさらに備え、
各同軸コネクタは、前記スリーブに外部から取り付けられ、前記導電性スリーブ内で延びて横棒に取り付けられた端部で終了する導電性アンテナに接続されて延びる導電性中心コアを有し、前記導電性中心コアと前記導電性アンテナとが一直線にされ、前記横軸及び前記主軸に直交する方向に延びている装置を提案する。
導電性アンテナが前記近位横棒に固定された2つの近位隣接同軸コネクタと、
導電性アンテナが前記遠位横棒に固定された2つの遠位隣接同軸コネクタとを含む。
導電性アンテナが前記上側横棒に固定された2つの上側隣接同軸コネクタと、
導電性アンテナが前記下側横棒に固定された2つの下側隣接同軸コネクタとを含む。
L=Lc+k.Lg/2であり、
この中で、kは0又は正の整数であり、
Lc=p.λg/4であり、
Lg=λg±10%であり、
λgは前記導波管内での前記マイクロ波の導かれる波長に相当し、それは前記導波管の寸法に依存し、
pは、1未満の補正係数である。
Lprox=Lc+kprox.Lg/2が成立し、ここで、kproxはゼロ又は正の整数であり、
Ldist=Lc+kdist.Lg/2が成立し、ここで、kdistはkproxよりも大きい正の整数であり、
そのため、前記近位横棒及び前記遠位横棒が、間隔ECによって、前記主軸に沿って互いにオフセットされ、
EC=Ldist-Lprox=(kdist-kprox).Lg/2=N.Lg/2が成立し、ここでNは正の整数であることが有利である。
kprox=0でかつkdist=1となるか、
又はkprox=1でかつkdist=2となるかのいずれかである。
前記同じ所定の周波数f0及び前記同じ所定の波長λ0でマイクロ波を放射する少なくとも2つのマイクロ波源と、
上述したマイクロ波連結/結合装置とを備え、
前記マイクロ波源がそれぞれ前記マイクロ波連結/結合装置の前記同軸コネクタに接続されているマイクロ波発生装置に関するものである。
前記近位同軸コネクタ及び前記遠位同軸コネクタは、
Nが偶数の場合のプラスマイナス10度の位相同期、又は
Nが奇数の場合のプラスマイナス10度の180度の位相シフトで動作するマイクロ波源に接続されている。
前記マイクロ波発生装置は、所定の波長の帯域内での前記波長の調整に応じて前記マイクロ波源の位相を個別に調整するために前記マイクロ波源の位相を制御するモジュールをさらに備えている。
2.450GHz±50.0MHzの周波数帯で構成され、例えば、前記周波数は、2.450GHz±50.0MHzの周波数帯で調整可能であるか、
5.800GHz±75.0MHzの周波数帯で構成され、例えば、前記周波数は、5.800GHz±75.0MHzの周波数帯で調整可能であるか、
433.92MHz±0.87の周波数帯で構成され、例えば、前記周波数は、433.92MHz±0.87の周波数帯で調整可能であるか、
896MHz±10MHzの周波数帯で構成され、例えば、前記周波数は、896MHz±10MHzの周波数帯で調整可能であるか、又は
915MHz±13MHzの周波数帯で構成され、例えば、前記周波数は、915MHz±13MHzの周波数帯で調整可能である。
例えば、第1の端部21を閉じる短絡板又は壁の形で短絡要素23が設けられた第1の端部21、及び
導波管2のスリーブ20を出力ガイド90(図12及び13で見える)に連結するために設けられた例えば環状連結フランジ24を有する第2の開放端部22を含む。
導電性アンテナ42が近位横棒3aに固定された2つの近位隣接同軸コネクタ4aと、
導電性アンテナ42が遠位横棒3bに固定された2つの遠位隣接同軸コネクタ4bとを備える。
スリーブ20の上面25に取り付けられ、導電性アンテナ42が上側横棒3cに固定された2つの上側隣接同軸コネクタ4cと、
スリーブ20の下面26に取り付けられ、導電性アンテナ42が下側横棒3dに固定された2つの下側隣接同軸コネクタ4dとを備える。
Lc+k.Lg/2であり、
この中で、kは0または正の整数であり、
Lc=p.λg/4であり、
Lg=λg±10%であり、
λgは導波管内でのマイクロ波の導かれる波長(ガイド波長)に相当し、それは導波管の寸法に依存し、
pは、1未満の補正係数である。
Lprox=Lc+kprox.Lg/2が成立し、ここで、kproxはゼロ又は正の整数であり、
Ldist=Lc+kdist.Lg/2が成立し、ここで、kdistはkproxよりも大きい正の整数である。
EC=Ldist−Lprox=(kdist−kprox).Lg/2=N.Lg/2が成立し、ここでNは正の整数である。
言い換えれば、Lprox=Lc、Ldist=Lc+Lg/2、かつEC=Lg/2となる。
L=Lcとなる。
導電性中心コア41が横棒3a,3b,3c,3dの直径よりも小さい直径を有する場合に、導電性アンテナ42が、横棒3a,3b,3c,3dの直径と15%以内で同等の直径に達するまで、導電性中心コア41から徐々に増加する直径を有する図8に示す第2のケースと、
導電性中心コア41が横棒3a,3b,3c,3dの直径よりも大きい直径を有する場合に、導電性アンテナ42が、横棒3a,3b,3c,3dの直径と15%以内で同等の直径に達するまで、導電性中心コア41から徐々に減少する直径を有する図示しない第3のケースとである。
マイクロ波連結/結合装置1と、
マイクロ波連結/結合装置1の同軸コネクタ4a,4b,4c,4dにそれぞれ接続された複数のソリッドステートマイクロ波源5と、
ソリッドステートマイクロ波源5の位相を個別に調整するために、ソリッドステートマイクロ波源5の位相を制御する制御モジュール7とを備えている。
Nが偶数の場合、近位ソースは遠位ソースとプラスマイナス10度の位相同期をとり、
Nが奇数の場合、近位ソースは遠位のソースに対し、プラスマイナス10度の180度の位相シフトとなる。
Claims (24)
- 少なくとも2つのマイクロ波源(5)を連結及び結合するためのマイクロ波連結/結合装置(1)であって、
主軸(X)に沿って長手方向に延び、短絡要素(23)が設けられた第1の端部(21)と第2の開放端部(22)とを含む2つの反対側の端部を有するスリーブ(20)と、
前記主軸(X)に直交する横軸(Y)に沿って前記スリーブ(20)内で延びる少なくとも1つの横棒(3a,3b,3c,3d)とを備えた導波管(2)を備え、
前記マイクロ波連結/結合装置(1)は、マイクロ波源(5)にそれぞれ接続されるように提供された少なくとも2つの同軸コネクタ(4a,4b,4c,4d)をさらに備え、
各同軸コネクタ(4a,4b,4c,4d)は、前記スリーブ(20)に外部から取り付けられ、前記スリーブ(20)内で延びて横棒(3a,3b,3c,3d)に取り付けられた端部で終了する導電性アンテナ(42)に接続されて延びる導電性中心コア(41)を有し、前記導電性中心コア(41)及び前記導電性アンテナ(42)は、一直線にされ、前記横軸(Y)及び前記主軸(X)に直交する方向に延びているマイクロ波連結/結合装置。 - 請求項1に記載のマイクロ波連結/結合装置(1)において、
前記少なくとも2つの同軸コネクタは、導電性アンテナ(42)が同じ横棒(3a,3b,3c,3d)に固定された2つの隣接する同軸コネクタ(4a,4b,4c,4d)を含み、前記隣接する同軸コネクタ(4a,4b,4c,4d)は、前記横棒(3a,3b,3c,3d)の前記横軸(Y)に平行な方向に並んで配置されているマイクロ波連結/結合装置。 - 請求項2に記載のマイクロ波連結/結合装置(1)において、
前記2つの隣接する同軸コネクタ(4a,4b,4c,4d)は、前記主軸(X)を含むスリーブ(20)の対称面の両側に対称に配置され、前記対称面はまた、前記主軸(X)と横棒(3a,3b,3c,3d)の前記横軸(Y)との両方に直交する二次軸(Z)を含むマイクロ波連結/結合装置。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載のマイクロ波連結/結合装置(1)において、
前記導波管(2)は、平行で前記主軸(X)に沿って互いにオフセットされた少なくとも1つの近位横棒(3a)と遠位横棒(3b)とを備え、前記少なくとも2つの同軸コネクタは、導電性アンテナ(42)が前記近位横棒(3a)に固定された少なくとも1つの近位同軸コネクタ(4a)と、導電性アンテナ(42)が前記遠位横棒(3b)に固定された少なくとも1つの遠位同軸コネクタ(4b)とを含むマイクロ波連結/結合装置。 - 請求項4に記載のマイクロ波連結/結合装置(1)において、
前記近位同軸コネクタ(4a)と前記遠位同軸コネクタ(4b)とは、前記主軸(X)に平行な方向に互いにオフセットされているマイクロ波連結/結合装置。 - 請求項2及び4に記載のマイクロ波連結/結合装置(1)において、
前記少なくとも2つの同軸コネクタは、
導電性アンテナ(42)が前記近位横棒(3a)に固定された2つの近位隣接同軸コネクタ(4a)と、
導電性アンテナ(42)が前記遠位横棒(3b)に固定された2つの遠位隣接同軸コネクタ(4b)とを含むマイクロ波連結/結合装置。 - 請求項1〜6のいずれか1項に記載のマイクロ波連結/結合装置(1)において、
前記導波管(2)は、平行であり、前記主軸(X)、及び前記横棒(3c,3d)の前記横軸(Y)の両方に直交する二次軸(Z)に沿って互いにオフセットされた少なくとも1つの上側横棒(3c)と1つの下側横棒(3d)とを備え、そのため、前記上側横棒(3c)と前記下側横棒(3d)とは、前記主軸(X)に直交する共通平面内で延び、前記少なくとも2つの同軸コネクタは、前記スリーブ(20)の上面(25)に取り付けられ、導電性アンテナ(42)が前記上側横棒(3c)に固定された少なくとも1つの上側同軸コネクタ(4c)と、前記スリーブ(20)の下面(26)に取り付けられ、導電性アンテナ(42)が前記下側横棒(3d)に固定された少なくとも1つの下側同軸コネクタ(4d)とを含み、前記下側同軸コネクタ(4d)と前記上側同軸コネクタ(4c)とは前記共通平面内で延びているマイクロ波連結/結合装置。 - 請求項7に記載のマイクロ波連結/結合装置(1)において、
前記下側同軸コネクタ(4d)の前記導電性アンテナ(42)と前記上側同軸コネクタ(4c)の前記導電性アンテナ(42)とが一直線にされているマイクロ波連結/結合装置。 - 請求項2及び6に記載のマイクロ波連結/結合装置(1)において、
前記少なくとも2つの同軸コネクタは、
導電性アンテナ(42)が前記上側横棒(3c)に固定された2つの上側隣接同軸コネクタ(4c)と、
導電性アンテナ(42)が前記下側横棒(3d)に固定された2つの下側隣接同軸コネクタ(4d)とを含むマイクロ波連結/結合装置。 - 請求項1〜9のいずれか1項に記載のマイクロ波連結/結合装置(1)において、
前記少なくとも1つの横棒(3a,3b,3c,3d)が、少なくとも100W/(m・K)の熱伝導率を有する材料で作られているマイクロ波連結/結合装置。 - 請求項10に記載のマイクロ波連結/結合装置(1)において、
前記少なくとも1つの横棒(3a,3b,3c,3d)が、銅、真鍮、アルミニウム、金及び銀のうちの少なくとも1つの金属に基づく材料で作られているマイクロ波連結/結合装置。 - 請求項1〜11のいずれか1項に記載のマイクロ波連結/結合装置(1)において、
前記少なくとも1つの横棒(3a,3b,3c,3d)が、中空であるマイクロ波連結/結合装置。 - 請求項12に記載のマイクロ波連結/結合装置(1)において、
前記少なくとも1つの中空の横棒(3a,3b,3c,3d)の内部で冷却液が循環するマイクロ波連結/結合装置。 - 請求項1〜13のいずれか1項に記載のマイクロ波連結/結合装置(1)において、
同じ周波数f0及び同じ所定の波長λ0でマイクロ波を放射するマイクロ波源(5)を考慮することで、前記少なくとも1つの横棒(3a,3b,3c,3d)は、前記主軸(X)に沿って、前記短絡要素(23)から所定の長さLに配置され、ここで、
L=Lc+k.Lg/2であり、
この中で、kは0又は正の整数であり、
Lc=p.λg/4であり、
Lg=λg±10%であり、
λgは前記導波管(2)内での前記マイクロ波の導かれる波長に相当し、それは前記導波管(2)の寸法に依存し、
pは、1未満の補正係数であるマイクロ波連結/結合装置。 - 請求項4及び14に記載のマイクロ波連結/結合装置(1)において、
前記近位横棒(3a)及び前記遠位横棒(3b)が、前記短絡要素(23)から所定のそれぞれの長さLprox及びLdistで、主軸(X)に沿って配置され、
Lprox=Lc+kprox.Lg/2が成立し、ここで、kproxはゼロ又は正の整数であり、
Ldist=Lc+kdist.Lg/2が成立し、ここで、kdistはkproxよりも大きい正の整数であり、
そのため、前記近位横棒及び前記遠位横棒が、間隔ECによって、前記主軸に沿って互いにオフセットされ、
EC=Ldist-Lprox=(kdist-kprox).Lg/2=N.Lg/2が成立し、ここでNは正の整数であるマイクロ波連結/結合装置。 - 請求項15に記載のマイクロ波連結/結合装置(1)において、
EC=Lg/2となり、ここで、
kprox=0でかつkdist=1となるか、
又はkprox=1でかつkdist=2となるかのいずれかであるマイクロ波連結/結合装置。 - 請求項1〜16のいずれか1項に記載のマイクロ波連結/結合装置(1)において、
各同軸コネクタ(4a,4b,4c,4d)について、前記導電性アンテナ(42)の端部は、それが固定されている横棒(3a,3b,3c,3d)の直径と15%以内で同等の直径を有するマイクロ波連結/結合装置。 - 請求項17に記載のマイクロ波連結/結合装置(1)において、
各同軸コネクタ(4a,4b,4c,4d)について、導電性中心コア(41)は、対応する前記横棒(3a,3b,3c,3d)の直径より小さいか、又は逆に大きい直径を有し、前記導電性アンテナ(42)は、前記横棒(3a,3b,3c,3d)の直径と15%以内で同等の直径に達するまで、前記導電性中心コア(41)から徐々に増加するか、又は逆に減少する直径を有するマイクロ波連結/結合装置。 - 同じ周波数f0及び同じ所定の波長λ0でマイクロ波を放射する少なくとも2つのマイクロ波源(5)と、
請求項1〜18のいずれか1項に記載のマイクロ波連結/結合装置(1)とを備え、
前記マイクロ波源(5)がそれぞれ前記マイクロ波連結/結合装置(1)の前記同軸コネクタ(4a,4b,4c,4d)に接続されているマイクロ波発生装置。 - 請求項19に記載のマイクロ波発生装置において、
前記マイクロ波連結/結合装置(1)は、導電性アンテナ(42)が同じ前記横棒(3a,3b,3c,3d)に固定された2つの隣接する同軸コネクタ(4a,4b,4c,4d)を備え、前記隣接する同軸コネクタ(4a,4b,4c,4d)は、前記横棒(3a,3b,3c,3d)の前記横軸(Y)に沿って並んで配置され、前記隣接する同軸コネクタ(4a,4b,4c,4d)は、位相同期で動作するマイクロ波源(5)に接続されたマイクロ波発生装置。 - 請求項19又は20にマイクロ波発生装置において、
前記マイクロ波連結/結合装置(1)は、平行であり、かつNが正の整数であるときの間隔EC=N.Lg/2によって前記主軸(X)に沿って互いにオフセットされた少なくとも1つの近位横棒(3a)及び1つの遠位横棒(3b)を備え、前記少なくとも2つの同軸コネクタ(4a,4b,4c,4d)は、導電性アンテナ(42)が前記近位横棒(3a)に固定された少なくとも1つの近位同軸コネクタ(4a)と、導電性アンテナ(42)が前記遠位横棒(3b)に固定された少なくとも1つの遠位同軸コネクタ(4b)とを含み、
前記近位同軸コネクタ(4a)及び前記遠位同軸コネクタ(4b)は、
Nが偶数の場合のプラスマイナス10度の位相同期、又は
Nが奇数の場合のプラスマイナス10度の180度の位相シフトで動作するマイクロ波源(5)に接続されているマイクロ波発生装置。 - 請求項20又は21に記載のマイクロ波発生装置において、
前記周波数f0の周りの所定の周波数帯域内で前記周波数は調節可能であるため、前記導波管内で導かれる波長は、前記波長λgの周りの所定の波長帯域内で調節可能であり、
前記マイクロ波発生装置は、前記所定の波長帯域内での前記波長の調整に応じて前記マイクロ波源(5)の位相を個別に調整するために前記マイクロ波源(5)の位相を制御するモジュールをさらに備えているマイクロ波発生装置。 - 請求項19〜22のいずれか1項に記載のマイクロ波発生装置において、
前記マイクロ波源(5)はソリッドステートマイクロ波源(5)であるマイクロ波発生装置。 - 請求項19〜23のいずれか1項に記載のマイクロ波発生装置において、
前記周波数は
2.450GHz±50.0MHzの周波数帯で構成され、例えば、前記周波数は、2.450GHz±50.0MHzの周波数帯で調整可能であるか、
5.800GHz±75.0MHzの周波数帯で構成され、例えば、前記周波数は、5.800GHz±75.0MHzの周波数帯で調整可能であるか、
433.92MHz±0.87の周波数帯で構成され、例えば、前記周波数は、433.92MHz±0.87の周波数帯で調整可能であるか、
896MHz±10MHzの周波数帯で構成され、例えば、前記周波数は、896MHz±10MHzの周波数帯で調整可能であるか、又は
915MHz±13MHzの周波数帯で構成され、例えば、前記周波数は、915MHz±13MHzの周波数帯で調整可能であるマイクロ波発生装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR1854315A FR3081617B1 (fr) | 2018-05-23 | 2018-05-23 | Dispositif coupleur/combineur micro-ondes et generateur micro-ondes associe |
FR18/54315 | 2018-05-23 | ||
PCT/FR2019/051167 WO2019224481A1 (fr) | 2018-05-23 | 2019-05-22 | Dispositif coupleur/combineur micro-ondes et générateur micro-ondes associé |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021524684A true JP2021524684A (ja) | 2021-09-13 |
JP7365366B2 JP7365366B2 (ja) | 2023-10-19 |
Family
ID=63896251
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020564341A Active JP7365366B2 (ja) | 2018-05-23 | 2019-05-22 | マイクロ波連結/結合装置及びそれに関連したマイクロ波発生装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11961713B2 (ja) |
EP (1) | EP3804025B1 (ja) |
JP (1) | JP7365366B2 (ja) |
KR (1) | KR20210011009A (ja) |
CN (1) | CN112154569B (ja) |
FR (1) | FR3081617B1 (ja) |
WO (1) | WO2019224481A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7304660B1 (ja) | 2022-11-01 | 2023-07-07 | 株式会社ニッシン | 電力分配合成器 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102022112314A1 (de) * | 2022-05-17 | 2023-11-23 | Muegge Gmbh | Einrichtung zum Kombinieren oder Aufteilen von Mikrowellen |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB781882A (en) * | 1954-11-10 | 1957-08-28 | Nat Res Dev | Waveguide/co-axial transmission line transformers |
FR2863781B1 (fr) * | 2003-12-16 | 2006-03-24 | Thales Sa | Dispositif de couplage d'amplificateurs radiofrequence a etat solide |
CN102569971B (zh) | 2012-01-10 | 2014-09-17 | 四川大学 | 多磁控管串联微波功率合成器 |
CN202749491U (zh) * | 2012-07-31 | 2013-02-20 | 北京北广科技股份有限公司 | 同轴转波导的功率合成器 |
CN202977681U (zh) * | 2012-12-28 | 2013-06-05 | 中国电子科技集团公司第五十四研究所 | 一种高效功率合成器 |
CN205406695U (zh) * | 2016-03-04 | 2016-07-27 | 江苏德佐电子科技有限公司 | 一种新型矩形波导功率合成器 |
CN109478705B (zh) * | 2016-07-22 | 2021-09-07 | 三菱电机株式会社 | 同轴线-波导管转换器 |
-
2018
- 2018-05-23 FR FR1854315A patent/FR3081617B1/fr active Active
-
2019
- 2019-05-22 EP EP19740619.2A patent/EP3804025B1/fr active Active
- 2019-05-22 JP JP2020564341A patent/JP7365366B2/ja active Active
- 2019-05-22 WO PCT/FR2019/051167 patent/WO2019224481A1/fr unknown
- 2019-05-22 US US17/055,680 patent/US11961713B2/en active Active
- 2019-05-22 KR KR1020207036334A patent/KR20210011009A/ko not_active Application Discontinuation
- 2019-05-22 CN CN201980034034.3A patent/CN112154569B/zh active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7304660B1 (ja) | 2022-11-01 | 2023-07-07 | 株式会社ニッシン | 電力分配合成器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN112154569B (zh) | 2022-08-05 |
KR20210011009A (ko) | 2021-01-29 |
CN112154569A (zh) | 2020-12-29 |
EP3804025B1 (fr) | 2023-07-05 |
EP3804025A1 (fr) | 2021-04-14 |
FR3081617A1 (fr) | 2019-11-29 |
US11961713B2 (en) | 2024-04-16 |
FR3081617B1 (fr) | 2020-05-08 |
EP3804025C0 (fr) | 2023-07-05 |
WO2019224481A1 (fr) | 2019-11-28 |
US20210202212A1 (en) | 2021-07-01 |
JP7365366B2 (ja) | 2023-10-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11303003B2 (en) | Waveguide microstrip line converter | |
TW508881B (en) | Mode translating waveguide adapter for a quasi-optic grid array | |
US8441405B2 (en) | Slot antenna device including a transmission line to waveguide transformer having differential feed pins | |
JP6470930B2 (ja) | 分配器及び平面アンテナ | |
JP2021524684A (ja) | マイクロ波連結/結合装置及びそれに関連したマイクロ波発生装置 | |
US20130265122A1 (en) | Heat insulating transmission line, vacuum insulating chamber, wireless communication system | |
KR20170113298A (ko) | 전자기파 신호를 전송하기 위한 마이크로스트립-도파관 트랜지션 | |
CN111063974A (zh) | 超大功率合成器 | |
KR101833241B1 (ko) | 폭이 다른 트랜지션 기판들을 구비하는 밀리미터파 대역 공간 전력 합성기 | |
JP2007295368A (ja) | 導波管電力分配器 | |
JPWO2017163310A1 (ja) | 導波管回路 | |
JP5789673B2 (ja) | ホモダインfmcw−レーダ・デバイス用ダイプレクサ | |
KR20160058776A (ko) | 무선-주파수(rf) 전력 커플링을 위한 어셈블리 및 그 어셈블리를 사용하는 방법 | |
CN110707438A (zh) | 一种Ka波段低耗紧凑型馈电网络 | |
KR101473647B1 (ko) | 동축도파관 공간결합기 | |
CN112310625A (zh) | 一种椭圆波导泄漏电缆天线 | |
JP2013106301A (ja) | 導波管スロットアレーアンテナ装置 | |
JP6556406B2 (ja) | アンテナ装置 | |
KR20170021152A (ko) | 동축 도파관 기반의 공간 전력 결합기 | |
JP2009017281A (ja) | 高周波信号用の給電回路 | |
JP7329736B2 (ja) | 高周波加熱装置 | |
US20240178541A1 (en) | Method and apparatus for a coaxial high power rf combiner | |
JP2005311978A (ja) | 同軸導波管変換器 | |
JP6091937B2 (ja) | 導波管及び無線装置 | |
RU2656300C1 (ru) | Антенна с частотным сканированием без эффекта нормали (варианты) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220512 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230524 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230530 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230828 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20231003 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20231006 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7365366 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |