JP2021521452A - 複数個の光学プローブを有するマルチスポット分析システム - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、「複数個の光学プローブを有するマルチスポット分析システム」(MULTI-SPOT ANALYSIS SYSTEM WITH MULTIPLE OPTICAL PROBES)と題しPrasanna Dighe、Dieter Mueller、Dong Chen、Dengpeng Chen、Steve Zamek、Daniel Kavaldjiev及びAlexander Buettnerを発明者とする2018年4月27日付米国仮特許出願第62/663436号に基づき米国特許法第119条(e)の規定による利益を主張するものであるので、参照によりその全容を本願に繰り入れることにする。
Claims (53)
- 標本を分析するシステムであって、
標本を支持するよう構成された1個又は複数個の支持部材と、
照明源と、
その照明源に光学結合された第1スイッチと、
その第1スイッチに結合された複数本の送光ファイバであり、その第1スイッチに対する構成設定を通じそれら複数本の送光ファイバのうち少なくとも1本の送光ファイバに前記照明源が光学結合される複数本の送光ファイバと、
検出器と、
その検出器に光学結合された第2スイッチと、
その第2スイッチに結合された複数本の受光ファイバであり、その第2スイッチに対する構成設定を通じそれら複数本の受光ファイバのうち少なくとも1本の受光ファイバに前記検出器が光学結合される複数本の受光ファイバと、
前記複数本の送光ファイバのうち対応するもの及び前記複数本の受光ファイバのうち対応するものに結合された複数個のプローブであり、標本表面のうち対応部分を照明するよう構成され且つ標本表面のうち当該対応部分にて反射、屈折又は輻射された照明を受光するよう構成された複数個のプローブと、
を備えるシステム。 - 請求項1に記載のシステムであって、前記少なくとも1本の送光ファイバ及び前記少なくとも1本の受光ファイバが、前記複数個のプローブのうち少なくとも1個のプローブに、二分岐ファイバ束、ファンアウトケーブル及びYケーブルのうち少なくとも一つによって結合されているシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記複数個のプローブのうち少なくとも1個のプローブが、前記少なくとも1本の送光ファイバの一部分と、前記少なくとも1本の受光ファイバの一部分と、を有するシステム。
- 請求項3に記載のシステムであって、前記少なくとも1個のプローブが更にハウジングを有し、それにより前記少なくとも1本の送光ファイバの前記一部分及び前記少なくとも1本の受光ファイバの前記一部分が少なくとも部分的に包囲されているシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、更に、
前記少なくとも1本の送光ファイバ及び前記少なくとも1本の受光ファイバのうち少なくとも一方に縦続する1個又は複数個の光学素子を備えるシステム。 - 請求項5に記載のシステムであって、前記1個又は複数個の光学素子に少なくとも1個の集束レンズが含まれるシステム。
- 請求項5に記載のシステムであって、前記1個又は複数個の光学素子に少なくとも1個の平行化レンズが含まれるシステム。
- 請求項5に記載のシステムであって、前記少なくとも1本の送光ファイバ及び前記少なくとも1本の受光ファイバに結合された少なくとも1個のプローブに、前記1個又は複数個の光学素子が縦続するシステム。
- 請求項8に記載のシステムであって、前記少なくとも1個のプローブが前記1個又は複数個の光学素子を有し又はそれに結合されているシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、更に、
前記複数個のプローブを支持するよう構成された光学系プレートを備え、その光学系プレートにより画定された複数個の開口内にそれら複数個のプローブが少なくとも部分的に配置されているシステム。 - 請求項1に記載のシステムであって、更に、
第1スイッチ及び第2スイッチに可通信結合された少なくとも1個のコントローラを備え、
第1スイッチにより、前記複数本の送光ファイバのうち少なくとも1本の送光ファイバに前記照明源を光学結合させること、並びに
第2スイッチにより、前記複数本の受光ファイバのうち少なくとも1本の受光ファイバに前記検出器を光学結合させること、
によって前記標本のうち少なくとも一部分を分析するよう、前記少なくとも1個のコントローラが構成されているシステム。 - 請求項11に記載のシステムであって、
第1スイッチにより、前記複数本の送光ファイバのうち少なくとも他の1本の送光ファイバに前記照明源を光学結合させること、並びに
第2スイッチにより、前記複数本の受光ファイバのうち少なくとも他の1本の受光ファイバに前記検出器を光学結合させること、
によって前記標本のうち少なくとも他の一部分を分析するよう、前記少なくとも1個のコントローラが構成されており、前記少なくとも他の1本の送光ファイバ及び前記少なくとも他の1本の受光ファイバが前記複数個のプローブのうち別のプローブに結合されているシステム。 - 請求項11に記載のシステムであって、
第1スイッチにより、前記複数本の送光ファイバのうち2本以上の送光ファイバに前記照明源を光学結合させること、並びに
第2スイッチにより、前記複数本の受光ファイバのうち2本以上の受光ファイバに前記検出器を光学結合させること、
によって前記標本のうち2個以上の部分を同時分析するよう、前記コントローラが構成されており、前記2本以上の送光ファイバ及び前記2本以上の受光ファイバが前記複数個のプローブのうち2個以上の対応するプローブに結合されているシステム。 - 請求項1に記載のシステムであって、前記1個又は複数個の支持部材が、前記標本を一方向又は複数方向に駆動するよう構成されているシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記1個又は複数個の支持部材が、前記標本を時計回り又は反時計回り回動させるよう構成されているシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記照明源が少なくとも1個の広帯域照明源を備えるシステム。
- 請求項16に記載のシステムであって、前記少なくとも1個の広帯域照明源が、放電プラズマ光源、レーザ駆動プラズマ光源及び超連続体光源のうち少なくとも一つを備えるシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記検出器がスペクトロメータを備えるシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記標本がウェハ、レティクル及びパネルのうち少なくとも一つを備えるシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、更に、
第2照明源と、
その第2照明源に光学結合された第3スイッチと、
その第3スイッチに結合された第2の複数本の送光ファイバであり、その第3スイッチに対する構成設定を通じそれら第2の複数本の送光ファイバのうちある送光ファイバに第2照明源が光学結合される第2の複数本の送光ファイバと、
第2検出器と、
その第2検出器に光学結合された第4スイッチと、
その第4スイッチに結合された第2の複数本の受光ファイバであり、その第4スイッチに対する構成設定を通じ第2の複数本の受光ファイバのうちある受光ファイバに第2検出器が光学結合される第2の複数本の受光ファイバと、
第2の複数本の送光ファイバのうち対応するもの及び第2の複数本の受光ファイバのうち対応するものに結合された第2の複数個のプローブであり、標本背面のうち対応部分を照明するよう構成され且つ標本背面のうち当該対応部分にて反射、屈折又は輻射された照明を受光するよう構成された第2の複数個のプローブと、
を備えるシステム。 - 請求項20に記載のシステムであって、前記1個又は複数個の支持部材が、前記標本の2本以上の縁と接触することでその標本を支持するよう構成されており、標本背面のうち少なくとも一部分が露出存置されるシステム。
- 請求項20に記載のシステムであって、前記1個又は複数個の支持部材が、標本背面のうち第1部分と接触することでその標本を支持するよう構成されており、標本背面のうち第2部分が露出存置されるシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記1個又は複数個の支持部材が、複数個の吸引ポートを有し吸引力で以て前記標本を自基板に当てて保持する基板を備え、その基板が、前記複数個のプローブを支持するよう構成されており、その基板により画定された複数個の開口内にそれら複数個のプローブが少なくとも部分的に配置されているシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、処理ツール及び多機能分析ツールのうち少なくとも一方に係るウェハハンドラ内に統合されるよう構成されているシステム。
- 標本を分析するシステムであって、
標本を支持するよう構成された1個又は複数個の支持部材と、
照明源と、
その照明源に光学結合された複数本の送光ファイバと、
検出器と、
その検出器に光学結合された複数本の受光ファイバと、
前記複数本の送光ファイバのうち対応するもの及び前記複数本の受光ファイバのうち対応するものに結合された複数個のプローブであり、標本表面のうち対応部分を照明するよう構成され且つ標本表面のうち当該対応部分にて反射、屈折又は輻射された照明を受光するよう構成された複数個のプローブと、
を備えるシステム。 - 請求項25に記載のシステムであって、更に、
前記照明源を前記複数本の送光ファイバに光学結合させるよう構成された第1スプリッタと、
前記検出器を前記複数本の受光ファイバに光学結合させるよう構成された第2スプリッタと、
を備えるシステム。 - 請求項25に記載のシステムであって、送光ファイバ及び受光ファイバが、前記複数個のプローブのうち対応するプローブに、二分岐ファイバ束、ファンアウトケーブル及びYケーブルのうち少なくとも一つにより結合されているシステム。
- 請求項25に記載のシステムであって、少なくとも1個のプローブが、送光ファイバの一部分と、受光ファイバの一部分と、を有するシステム。
- 請求項28に記載のシステムであって、前記少なくとも1個のプローブが更にハウジングを有し、それにより前記送光ファイバの前記一部分及び前記受光ファイバの前記一部分が少なくとも部分的に包囲されているシステム。
- 請求項25に記載のシステムであって、更に、
送光ファイバ及び受光ファイバのうち少なくとも一方に縦続する1個又は複数個の光学素子を備えるシステム。 - 請求項30に記載のシステムであって、前記1個又は複数個の光学素子に少なくとも1個の集束レンズが含まれるシステム。
- 請求項30に記載のシステムであって、前記1個又は複数個の光学素子に少なくとも1個の平行化レンズが含まれるシステム。
- 請求項30に記載のシステムであって、前記少なくとも1個のプローブが前記1個又は複数個の光学素子を有し又はそれに結合されているシステム。
- 請求項25に記載のシステムであって、更に、
前記複数個のプローブを支持するよう構成された光学系プレートを備え、その光学系プレートにより画定された複数個の開口内にそれら複数個のプローブが少なくとも部分的に配置されているシステム。 - 請求項25に記載のシステムであって、前記1個又は複数個の支持部材が、前記標本を一方向又は複数方向に駆動するよう構成されているシステム。
- 請求項25に記載のシステムであって、前記1個又は複数個の支持部材が、前記標本を時計回り又は反時計回り回動させるよう構成されているシステム。
- 請求項25に記載のシステムであって、前記照明源が少なくとも1個の広帯域照明源を備えるシステム。
- 請求項37に記載のシステムであって、前記少なくとも1個の広帯域照明源が、放電プラズマ光源、レーザ駆動プラズマ光源及び超連続体光源のうち少なくとも一つを備えるシステム。
- 請求項25に記載のシステムであって、前記検出器がスペクトロメータを備えるシステム。
- 請求項39に記載のシステムであって、前記スペクトロメータが撮像スペクトロメータを備えるシステム。
- 請求項25に記載のシステムであって、前記標本がウェハ、レティクル及びパネルのうち少なくとも一つを備えるシステム。
- 請求項25に記載のシステムであって、更に、
第2照明源と、
その第2照明源に光学結合された第2の複数本の送光ファイバと、
第2検出器と、
その第2検出器に光学結合された第2の複数本の受光ファイバと、
第2の複数本の送光ファイバのうち対応するもの及び第2の複数本の受光ファイバのうち対応するものに結合された第2の複数個のプローブであり、標本背面のうち対応部分を照明するよう構成され且つ標本背面のうち当該対応部分にて反射、屈折又は輻射された照明を受光するよう構成された第2の複数個のプローブと、
を備えるシステム。 - 請求項42に記載のシステムであって、前記1個又は複数個の支持部材が、前記標本の2本以上の縁と接触することでその標本を支持するよう構成されており、標本背面のうち少なくとも一部分が露出存置されるシステム。
- 請求項42に記載のシステムであって、前記1個又は複数個の支持部材が、標本背面のうち第1部分と接触することでその標本を支持するよう構成されており、標本背面のうち第2部分が露出存置されるシステム。
- 請求項25に記載のシステムであって、前記1個又は複数個の支持部材が、複数個の吸引ポートを有し吸引力で以て前記標本を自基板に当てて保持する基板を備え、その基板が、前記複数個のプローブを支持するよう構成されており、その基板により画定された複数個の開口内にそれら複数個のプローブが少なくとも部分的に配置されているシステム。
- 請求項25に記載のシステムであって、処理ツール及び多機能分析ツールのうち少なくとも一方に係るウェハハンドラ内に統合されるよう構成されているシステム。
- 標本を分析する方法であって、
複数本の送光ファイバのうち対応するもの及び複数本の受光ファイバのうち対応するものに結合された複数個のプローブの付近で、1個又は複数個の支持部材で以て標本を支持し、
第1スイッチで以て前記複数本の送光ファイバのうち少なくとも1本の送光ファイバに照明源を光学結合させることで、当該少なくとも1本の送光ファイバに結合された少なくとも1個のプローブであり前記複数本の受光ファイバのうち少なくとも1本の受光ファイバにも結合されている少なくとも1個のプローブで以て、標本表面のうち少なくとも一部分が照明されるようにし、且つ
第2スイッチで以て前記少なくとも1本の受光ファイバに検出器を光学結合させることで、標本表面のうち前記少なくとも一部分にて反射、屈折又は輻射された照明が前記少なくとも1個のプローブを介し受光されるようにする、
方法。 - 請求項47に記載の方法であって、更に、
第1スイッチで以て前記複数本の送光ファイバのうち他の少なくとも1本の送光ファイバに前記照明源を光学結合させることで、当該他の少なくとも1本の送光ファイバに結合された他の少なくとも1個のプローブであり前記複数本の受光ファイバのうち他の少なくとも1本の受光ファイバにも結合されている他の少なくとも1個のプローブで以て、前記標本の表面のうち他の少なくとも一部分が照明されるようにし、且つ
第2スイッチで以て前記他の少なくとも1本の受光ファイバに前記検出器を光学結合させることで、前記標本の表面のうち前記他の少なくとも一部分にて反射、屈折又は輻射された照明が前記他の少なくとも1個のプローブを介し受光されるようにする、
方法。 - 請求項47に記載の方法であって、更に、
前記標本を一方向又は複数方向に駆動する方法。 - 請求項47に記載の方法であって、更に、
前記標本を時計回り又は反時計回り回動させる方法。 - 請求項47に記載の方法であって、更に、
第2の複数本の送光ファイバのうち対応するもの及び第2の複数本の受光ファイバのうち対応するものに結合された第2の複数個のプローブの付近で、前記1個又は複数個の支持部材で以て前記標本を支持し、
第3スイッチで以て第2の複数本の送光ファイバのうち少なくとも1本の送光ファイバに第2照明源を光学結合させることで、第2の複数個のプローブのうち少なくとも1個のプローブであり、第2の複数本の送光ファイバのうち当該少なくとも1本の送光ファイバに結合されており第2の複数本の受光ファイバのうち少なくとも1本の受光ファイバにも結合されている少なくとも1個のプローブで以て、標本背面のうち少なくとも一部分が照明されるようにし、且つ
第4スイッチで以て第2の複数本の受光ファイバのうち前記少なくとも1本の受光ファイバに第2検出器を光学結合させることで、標本背面のうち前記少なくとも一部分にて反射、屈折又は輻射された照明が第2の複数個のプローブのうち前記少なくとも1個のプローブを介し受光されるようにする、
方法。 - 請求項51に記載の方法であって、前記1個又は複数個の支持部材を前記標本の2本以上の縁に接触させ、標本背面のうち少なくとも一部分を露出存置させる方法。
- 請求項51に記載の方法であって、前記1個又は複数個の支持部材を標本背面のうち第1部分に接触させ、標本背面のうち第2部分を露出存置させる方法。
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