JP2021520310A - 選択的付加製造装置のための磁気閉じ込め加熱デバイス - Google Patents

選択的付加製造装置のための磁気閉じ込め加熱デバイス Download PDF

Info

Publication number
JP2021520310A
JP2021520310A JP2021503214A JP2021503214A JP2021520310A JP 2021520310 A JP2021520310 A JP 2021520310A JP 2021503214 A JP2021503214 A JP 2021503214A JP 2021503214 A JP2021503214 A JP 2021503214A JP 2021520310 A JP2021520310 A JP 2021520310A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plasma
heating
generating device
plasma generating
powder
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
JP2021503214A
Other languages
English (en)
Inventor
ジル ヴァルラント
ジル ヴァルラント
ティベリウ ミネア
ティベリウ ミネア
シャルル バラッジ
シャルル バラッジ
ダニエル ランディン
ダニエル ランディン
トマ ペティ
トマ ペティ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Universite Paris Saclay
Original Assignee
Universite Paris Saclay
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Universite Paris Saclay filed Critical Universite Paris Saclay
Publication of JP2021520310A publication Critical patent/JP2021520310A/ja
Ceased legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05HPLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24Generating plasma
    • H05H1/48Generating plasma using an arc
    • H05H1/50Generating plasma using an arc and using applied magnetic fields, e.g. for focusing or rotating the arc
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F12/00Apparatus or devices specially adapted for additive manufacturing; Auxiliary means for additive manufacturing; Combinations of additive manufacturing apparatus or devices with other processing apparatus or devices
    • B22F12/10Auxiliary heating means
    • B22F12/17Auxiliary heating means to heat the build chamber or platform
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F12/00Apparatus or devices specially adapted for additive manufacturing; Auxiliary means for additive manufacturing; Combinations of additive manufacturing apparatus or devices with other processing apparatus or devices
    • B22F12/70Gas flow means
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K10/00Welding or cutting by means of a plasma
    • B23K10/02Plasma welding
    • B23K10/027Welding for purposes other than joining, e.g. build-up welding
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28BSHAPING CLAY OR OTHER CERAMIC COMPOSITIONS; SHAPING SLAG; SHAPING MIXTURES CONTAINING CEMENTITIOUS MATERIAL, e.g. PLASTER
    • B28B1/00Producing shaped prefabricated articles from the material
    • B28B1/001Rapid manufacturing of 3D objects by additive depositing, agglomerating or laminating of material
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C64/00Additive manufacturing, i.e. manufacturing of three-dimensional [3D] objects by additive deposition, additive agglomeration or additive layering, e.g. by 3D printing, stereolithography or selective laser sintering
    • B29C64/10Processes of additive manufacturing
    • B29C64/141Processes of additive manufacturing using only solid materials
    • B29C64/153Processes of additive manufacturing using only solid materials using layers of powder being selectively joined, e.g. by selective laser sintering or melting
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C64/00Additive manufacturing, i.e. manufacturing of three-dimensional [3D] objects by additive deposition, additive agglomeration or additive layering, e.g. by 3D printing, stereolithography or selective laser sintering
    • B29C64/20Apparatus for additive manufacturing; Details thereof or accessories therefor
    • B29C64/295Heating elements
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B33ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
    • B33YADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
    • B33Y10/00Processes of additive manufacturing
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B33ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
    • B33YADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
    • B33Y30/00Apparatus for additive manufacturing; Details thereof or accessories therefor
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B33ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
    • B33YADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
    • B33Y40/00Auxiliary operations or equipment, e.g. for material handling
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B33ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
    • B33YADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
    • B33Y50/00Data acquisition or data processing for additive manufacturing
    • B33Y50/02Data acquisition or data processing for additive manufacturing for controlling or regulating additive manufacturing processes
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/64Burning or sintering processes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05HPLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/02Arrangements for confining plasma by electric or magnetic fields; Arrangements for heating plasma
    • H05H1/10Arrangements for confining plasma by electric or magnetic fields; Arrangements for heating plasma using externally-applied magnetic fields only, e.g. Q-machines, Yin-Yang, base-ball
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05HPLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24Generating plasma
    • H05H1/2406Generating plasma using dielectric barrier discharges, i.e. with a dielectric interposed between the electrodes
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05HPLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24Generating plasma
    • H05H1/46Generating plasma using applied electromagnetic fields, e.g. high frequency or microwave energy
    • H05H1/4645Radiofrequency discharges
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F10/00Additive manufacturing of workpieces or articles from metallic powder
    • B22F10/20Direct sintering or melting
    • B22F10/28Powder bed fusion, e.g. selective laser melting [SLM] or electron beam melting [EBM]
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F2998/00Supplementary information concerning processes or compositions relating to powder metallurgy
    • B22F2998/10Processes characterised by the sequence of their steps
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F2999/00Aspects linked to processes or compositions used in powder metallurgy
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K2103/00Materials to be soldered, welded or cut
    • B23K2103/50Inorganic material, e.g. metals, not provided for in B23K2103/02 – B23K2103/26
    • B23K2103/52Ceramics
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/60Aspects relating to the preparation, properties or mechanical treatment of green bodies or pre-forms
    • C04B2235/602Making the green bodies or pre-forms by moulding
    • C04B2235/6026Computer aided shaping, e.g. rapid prototyping
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/66Specific sintering techniques, e.g. centrifugal sintering
    • C04B2235/666Applying a current during sintering, e.g. plasma sintering [SPS], electrical resistance heating or pulse electric current sintering [PECS]
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P10/00Technologies related to metal processing
    • Y02P10/25Process efficiency

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)
  • Discharge Heating (AREA)
  • Furnace Details (AREA)

Abstract

本発明は、付加製造装置内で粉末床を加熱するためのデバイスに関し、それが、プラズマをその上で発生させることを可能にする粉末床からの距離で粉末床の上方に配置されて移動されるように設計されたプラズマ発生デバイス(20)と、プラズマ発生デバイスに電力を供給するためのユニット(22)と、プラズマ発生デバイスへの電力の供給及びその移動を制御するための制御ユニット(9)とを含むこと、及びプラズマ発生デバイス(20)が、プラズマを磁気的に閉じ込めるためのアセンブリを含むことを特徴とする。【選択図】図3

Description

本発明は、選択的付加製造の一般分野に関する。
より具体的には、それは、選択的溶融の前に粉末床上に実施される加熱処理及び取り分け予熱、潜在的には加熱による原位置後処理に関する。
選択的付加製造は、粉末状材料(金属粉末、セラミック粉末など)の連続層上の選択されたゾーンの硬化を通して3次元の物体を生成することに関わるものである。硬化されたゾーンは、3次元物体の連続する断面に対応する。硬化は、例えば、電源(高電力レーザビーム、電子ビームなど)を用いて生じる全体的又は部分的な選択的溶融によって層毎に行われる。
従来から、電源からのビームの影響下で帯電した隣接粉末粒子の静電反発力に起因するスパッタを回避するために、粉末床は、予熱によって事前に硬化される。この予熱は、かなり高い可能性がある温度(チタン合金に関して約750℃)までの粉末床の温度の上昇を保証する。
しかし、それは、高いエネルギコストを有する。
それはまた、有意なサイクル時間の意味での損失を表す。
取り分け、電源と粉末床の間のエネルギ伝達を強化するように電源によって放出される信号と周囲の雰囲気の間のエネルギ伝達を低減するために、部分真空が生成される密封筐体内で動作することは、使用される電源の効率を最適化するための公知の慣例である。
本発明の一般的な目的は、これまでに提案された構造の欠点を軽減することである。
取り分け、本発明の1つの目的は、粉末が荷電されて持ち上げられることなく加熱を可能にするソリューションを提案することである。
別の目的は、粉末溶融デバイスの効率を最適化するために非常に低い圧力で作動する加熱ソリューション(選択的溶融段階の前又は後に実行される)を提案することである。
更に別の目的は、製造サイクル内で加熱することによって予熱又は後処理コスト及び時間を低減することを可能にするソリューションを提案することである。
本発明の別の目的は、構成するのが簡単なソリューションを提案することである。
別の目的は、低圧(<0.1mbar)に留まりながら広範囲の圧力にわたって有効である加熱ソリューションを同じく提案することである。
すなわち、第1の態様により、本発明は、付加製造装置内で粉末床を加熱するためのデバイスを提案し、それが、プラズマのその上での発生を可能にする粉末床からの距離で粉末床の上方に位置決めされ、かつ変位するようになったプラズマ発生デバイスと、プラズマ発生デバイスのための電力供給ユニットと、電力供給とプラズマ発生デバイスの変位とを制御するための制御ユニットとを含むこと、及びプラズマ発生デバイスが磁気プラズマ閉じ込めアセンブリを含むことを特徴とする。
このようにして、プラズマは、限られたゾーンに閉じ込められて局在化され、粉末床の予熱を最適化する。
加熱サイクルのエネルギ効率は、従って強化され、それによって予熱又は加熱サイクルの持続時間及びコストを低減する。
そのようなデバイスは、以下の特徴を単独で又は組み合わせて取り込むことによって有利に補完することができる:
−プラズマ閉じ込めアセンブリは、荷電粒子を閉じ込めるのに適するマグネトロンタイプのデバイスを含む;
−マグネトロンデバイスは、線形パターンに従って電子を閉じ込めるように構成された磁石の配置を含む;
−マグネトロンタイプのデバイスは、イオンのソースを形成するスリットを含み、スリットは、電極を通して形成され、粉末床に面して現れる;
−ガスが、スリットの中に注入される;
−プラズマ発生デバイスは、主変位構成要素を用いてそれが延びる方向に対して直角に変位されるようになっている;
−プラズマ発生デバイスのための電力供給ユニットは、直流及び/又は無線周波数及び/又はパルス高電圧のソースを含む。
第2の態様により、本発明は、筐体内に、付加製造粉末の連続層の堆積のための支持体と、支持体上に又は事前に硬化された層上に粉末の層を付加するのに適切な分配配置と、分配配置によって付加された粉末の層の選択的硬化に適する少なくとも1つの電源とを含む選択的付加製造によって3次元物体を製造するための装置を提案し、装置は、本発明による加熱デバイスを含み、加熱デバイスのプラズマ発生デバイスは、プラズマのその上での発生を可能にする粉末床からの距離で粉末床の上方に位置決めされ、かつ変位するようになっており、プラズマ発生デバイスは、磁気プラズマ閉じ込めアセンブリも含む。
この装置は、層化スクレーパー又はローラーを含む分配配置を含むことができ、プラズマ発生デバイスは、このスクレーパー又はローラーの近位に延びてそれと共に可動であり、又は例えばロボットアームのような独立可動デバイス上に置かれる。
第3の態様により、本発明は、選択的付加製造による3次元物体の製造を提案し、この方法は、支持体又は事前に固化された層上に粉末の層の堆積と、事前に予熱されたゾーンの電源を用いて実行される硬化との段階を含み、本方法はまた、本発明による加熱デバイスを用いて粉末の層の少なくとも1つの局在化されたゾーンを加熱する段階を含み、粉末床を加熱する段階は、閉じ込められたプラズマによって実行される。
そのような方法は、以下の特徴を単独で又は組み合わせて取り込むことによって有利に補完することができる:
−加熱する段階中に、プラズマ発生デバイスは、電極に給電する際の放電の形成を制御するために正確な場所に荷電粒子を閉じ込めて、プラズマと粉末床の間の熱伝達を最大にするために閉じ込められたプラズマを発生させる;
−加熱する段階中に、ガスが、プラズマ発生デバイスの中にそこでイオン化されるように注入され、磁場が、粉末に向けて配向された閉じ込められたプラズマジェットを発生させるためにイオン化ガスの噴霧を誘起する;
−少なくとも1つの加熱する段階は、硬化段階の前及び/又は後に実行される。
本発明の他の特徴及び利点は、純粋に例示的かつ非限定的であって添付の図面に照らして読むべきである以下の説明からより多く現れるであろう。
本発明の潜在的な実施形態による加熱デバイスを含む付加製造装置の概略図である。 本発明による粉末床を加熱するプラズマ発生デバイスの理論的概略図である。 本発明によるマグネトロンプラズマ発生デバイスの断面での概略図である。 本発明によるマグネトロンデバイスの磁石の配置の構造の概略図である。 本発明によるマグネトロンカソードデバイスの作動を強調する下から見た3D理論的概略図である。 回転(カソード)電極を有する変形として装備された本発明によるマグネトロンカソードデバイスの実施形態を表す断面での概略図である。 本発明によるイオンビームを発生させる磁気閉じ込めを有するプラズマ発生デバイス(逆マグネトロンとしても公知)の第2の実施形態の下から見た3D表現の図である。 本発明による加熱デバイスを用いて加熱された粉末床の概略図である。
概要
図1の選択的付加製造装置1は、3次元物体(図のモミの木の形態の物体2)を製造することを可能にする付加製造粉末(金属粉末、セラミック粉末など)の様々な層がその上に連続して堆積される水平板3のような支持体と、板3の上方に位置する粉末7のタンクと、例えば粉末の異なる連続層を広げる(双方向矢印Aによる変位)ための層化スクレーパー5又はローラーを含む板上に金属粉末を分配するための配置4と、広がった薄層の溶融(全体的又は部分的)のためのエネルギソースのセット8と、事前格納情報(メモリM)に従って装置1の異なる構成要素の駆動を保証する制御ユニット9と、層が堆積された時にデッキ3の支持体を下げること(双方向矢印Bによる変位)を可能にするための機構10とを含む。
図1を参照して説明する例では、セット8は、2つの硬化ソース:
−電子ビームガン11、及び
−レーザタイプのソース12
を含む。
変形として、セット8は、1つのソースのみ、例えば、真空で又は非常に低圧(<0.1mbar)で局在化されたエネルギソース;電子銃、レーザソースなどを含むことができる。
更に変形として、セット8はまた、例えば、いくつかの電子銃及び/又はレーザソース、又は1つのかつ同じソースからいくつかのビームを得ることを可能にする手段のような同じタイプのいくつかのソースを含むことができる。
図1を参照して説明した例では、少なくとも1つのガルバノメトリックミラー14が、制御ユニット9によって送られた情報に基づいて物体2に対してソース12からのレーザビームを向けるかつ変位させることを可能にする。
あらゆる他の偏向システムを勿論想定することができる。
図示していない別の例では、セット8は、レーザタイプのいくつかのソース12を含み、異なるレーザビームの変位は、溶融されることになる粉末の層の上方にレーザタイプの異なるソース12を変位させることによって得られる。偏向及び集束コイル15及び16は、焼結又は溶融されることになる層のゾーン上に電子ビームを偏向させて局所的に集束させることを可能にする。
熱シールドTは、セット8の1又は複数のソースの間に挟むことができる。
装置1の構成要素は、筐体17の内側に2次真空(典型的に約10-2/10-3mbar、更に10-4/10-6mbar)を維持する少なくとも1つの真空ポンプ18にリンクされた密封筐体17の内側に配置される。
装置はまた、粉末床の上方に位置決めされてそれに対して直線的に変位させることができる加熱デバイス19を含む。
加熱デバイス19は、1つのかつ同じ摺動キャリッジ上に層化スクレーパー5又はローラーの背後に位置決めすることができる。それは、独立キャリッジ上に又はロボットアーム上に装着することもできる。後者の場合に(図示せず)、マグネトロンカソードの磁気トラップによって説明されるパターンは、例えば局所加熱を可能にする線形以外のあらゆる形態のものとすることができる。
加熱デバイス19の変位、その給電、及び加熱又は予熱されることになる粉末床の前でのその滞留時間も、ユニット9によって制御される。
磁気的に閉じ込められた線形放電による加熱
図2に示す例では、加熱デバイス19は、金属粉末床(マイクロ又はナノ粉末から構成される固形又は粒状面21)の上方で変位されるプラズマ発生デバイス20を含む。
このプラズマ発生デバイス20は、制御ユニット9によって制御される電気的励振ソース22によって給電される。
ソース22は、プラズマ発生デバイス20と粉末床の面21の間の高圧(>0.2kV)の印加を可能にする。
ソース22によってそのように生成される電源は、低周波数での、無線周波数(RF)での、又はパルス駆動のDC電流とすることができる。
プラズマ発生デバイス20は、このソース22の効果の下でプラズマ発生デバイス20と面21の間に放電を発生させ、かつ面21の加熱を保証するプラズマを生成する。
プラズマ発生デバイス20は、面21と実質的に平行に延びる。それは、面21と平行にそれが延びる方向に対して直角に変位される。
そのような構成は、プラズマ発生デバイス20の長さ及びその変位距離に対応する粉末床の面上の均一な加熱を可能にする。
粉末床の面21は、例えば、接地にリンクしている。
加熱は、粉末スパッタを回避するために硬化段階の前に実行することができ、従って、予熱段階を構成する。
任意的に、加熱段階は、材料の焼成を実行する又は作業雰囲気による急冷効果を制限する又は更に特定の結晶構造を得るために冷却する際に温度の傾向を制御するために、硬化段階の後に実行することができ、従って、事後加熱段階を構成する。
線形マグネトロンデバイス
低圧プラズマ(<0.1mbar)を発生させるためにかつプラズマ発生デバイス20の効率を高めるために、このデバイスは、磁気プラズマ閉じ込めシステムを含む。
図3は、線形プラズマ発生マグネトロンデバイス23を含むプラズマ閉じ込めアセンブリを示している。
それは、好ましくは負に分極した(この場合、カソードとして作用することにより)電極24を含む。
電極24の第1の面に面して位置決めされた磁石の配置25は、電極24の他方の面に面する電子の閉じ込めを可能にする磁気トラップを発生する。
磁石は、永久又は電磁石、又は更にその2つの組合せとすることができる。
必要性に応じて、電極24は、直流(DC)を用いて、無線周波数(RF)で、又は高電力パルスモード(HiPIMS−高電力インパルスマグネトロンスパッタリング)で給電することができるが(ソース22)、一般的に負の電圧を受け入れている。
その電源モードに基づいて、電極24の構成材料は、電気導体、絶縁体、又は半導体とすることができる。
導電材料で作られた電極24の場合では、全ての電源モードが適している。
非導電材料で作られた電極24の場合では、RF又はパルスモードのみが適している。
冷却剤(例えば、水、グリコールなど)の循環26が電極24に設けられ、外部システムによって供給される。
冷却剤は、例えば、キャリッジ27の壁のうちの1つに形成されたオリフィスを通して注入することができ、かつ例えば磁石の配置25のうちの磁石の列の間を循環させることができ、流体も、従って、電極と接触して後者を冷却する。
冷却剤は、次に、キャリッジ27に形成された第2のオリフィスを通して抽出することができる。
そのようなマグネトロンデバイス23は、粉末床の上方に位置決めされてそれに対して直線的に変位させることができる(図の双方向矢印)キャリッジ27上で筐体17の内側に装着される。
このキャリッジ27は、例えば、層化ローラーのそれであり、マグネトロンデバイス23は、このローラーの背後に位置決めされる(その前進方向に対して)。
図4を参照すると、磁石の配置25の例は、線形トラック28を形成するように位置決めされた2列の磁石を含む。反転極性の磁石が、従って、トラック28のいずれの側にも位置決めされる。
図示の例では、磁気トラック28は閉じている。
図5を参照すると、磁石の配置25は、電極24によって覆われている。
磁石によって発生された磁場は、粉末床に面する電極24の側で磁力線の周りに電子を捕捉し、従って、図5に示すように、トラック28に沿って位置する線形パターン29に沿ってガスのイオン化を増大する。
この磁気構成は、パターン29に沿って電子を集中させてこのパターン29に沿うプラズマを形成する。
トラップの有効性を更に高めるために、交互配置(北が外側、南が中心、又はその逆)が一般的に生成され、図4に示すように、閉じた磁気トラック28を生成する。
マグネトロン放電デバイスの作動
磁石の配置25は、従って、決定されたゾーンに電子を集中させる磁場を発生させるように構成される。説明した例では、それは線形パターン29であるが、磁石は、円又は曲線のようないずれかの他の幾何学モデルを形成するように配置することができると考えられる。
電極24が給電されると、粉末床と電極24の間で放電が起こり、従って、プラズマが発生する。
決定されたゾーンでの電子の集中は、そのゾーン内のガスの局所イオン化を促進することを可能にし、磁気トラップの存在は、非常に低圧でさえもプラズマを正確なゾーンに閉じ込めることを可能にする。
そのようなデバイスは、典型的に約1Pa(10-2mbar)の低圧作動に適するが、マイクロバール(0.1Pa)からミリバール(100Pa)に及ぶ圧力の範囲にわたってより広範に適するものである。
この程度の圧力の大きさ(パスカルの範囲内)は、粉末の溶融を生成する電源の効率を高めることを可能にする。
より具体的には、電源12が電子ビーム発生器を含む特殊な場合に、低い作動圧力は、周囲雰囲気のより低い密度、及び従ってソース12によって放出される電子と周囲のガスの間のより少ない衝撃を意味する。
磁場の存在は、ゾーンに電子を集中させ、従って、周囲雰囲気の低い密度にも関わらずプラズマの形成を促進することを可能にする。
加熱ゾーンの幅は、従って低減され、これは加熱の精度を高める。
電源12がレーザを含む場合に、作動圧力の低下は、周囲の酸素レベルを制限し、これは、酸化物の及び煙霧の形成を制限する。
溶融材料は、従って、煙霧及び酸化物によって汚染されることがより少ない。
レーザ加熱中に粉末の溶融によって発生された金属蒸気フラックスによるこれらの粉末の吹き出しに起因する固化されたトラックを取り囲むゾーンでの金属粉末の枯渇に存する露出効果も、周囲圧力を下げることによって大幅に制限される。
粉末の溶融で生成される金属蒸気は、次に密度が低くなり、これらの蒸気を循環させる流れは、粉末を吹き出すことはない。
磁場Bは、イオンの挙動に影響することなく電子のみを捕捉するように構成される。
特に、電子とイオンの間の質量差に従って構成された磁場の値(典型的に数100ガウス=0.01テスラ)は、この挙動を得ることを可能にする。
実際に、電子とイオンの間の質量比は、それらのそれぞれの磁気旋回半径(磁気回転半径)の間に同様の比を発生させる。
このようにして生成されたプラズマは、電極24と粉末床の自由面21との間に閉じ込められる。
均質部分(プラズマ又はイオンビーム)を有するそのようなマグネトロンデバイス23を粉末床に向けて置くことにより、プラズマ種から粉末にエネルギを有効に伝達し、従って、その加熱を生成することが可能である。
エネルギは、プラズマに同時に共存する複数の方法で粉末に伝達される。これらは、荷電種、電子、及びイオンであるが、同じくエネルギ中性種、取り分け、電極(カソード)からスパッタリングされる中性原子、非放射性励起状態(準安定原子)、及び光子である。面(粉末)は、2つの荷電種を受け入れるので、帯電効果(クーロン反発)は減少し、更に除去される。
更に、全ての可視、赤外線、及び紫外線光子は、それらが吸収される時に材料を加熱する。
プラズマの密度が高いほど、面に伝達されるエネルギは大きい。
エネルギの量は、イオンの場合であるがより一般的にはあらゆるタイプのプラズマの場合に、イオン加速電圧又はそれぞれプラズマに注入される電力によって容易に調節することができる。より良い制御は、プラズマのパルス作動、交互する加熱相(プラズマON)及び熱膨張相(プラズマOFF)によって生成することができる。負荷サイクルとしても公知のON/OFF期間の変更は、温度を容易に調節することを可能にする。
回転電極デバイス
電極と粉末床の間のプラズマの形成は、長期に及ぶ活性化の場合に電極の有意な加熱を引き起こす。
一部の実施形態では、電極24は、図6に示すように磁石の配置25がその内側に位置決めされた中空円筒形ローラーである。
磁石の配置25は、マグネトロンデバイス23に対して固定的に装着され、電極24は、それがそれに沿って延びる軸線に沿って回転するように装着される。
すなわち、マグネトロンデバイス23に対する磁場の位置及び向きは作動中に変化せず、プラズマの形成のゾーンを制御することを可能にする。
マグネトロンデバイス23の作動中に、電極24は、回転して駆動される。このようにして、プラズマに露出される電極24の部分は、規則的に変化し、特定のゾーンの加熱を制限し、プラズマは、図6に示すように取り分け粉末床の面21に向けたマグネトロンデバイス23に対する固定した向きを有する磁石の配置25によって発生される磁気トラップに常に閉じ込められる。
線形イオンソースデバイス
変形マグネトロンカソードは、線形及び均質プラズマを得ることも可能にする。
図3の実施形態の場合では、電極24は平面電極である。
図7に示す変形では、マグネトロンデバイスは、スリット30が形成された電極24を含むことができる。
スリット30は、トラック28に面して形成され、トラック28は、磁石の配置25のうちの列の間を延びるキャビティによって形成される。
注入オリフィス31は、トラック28とスリット30とによって形成されたキャビティの底部でキャリッジ27の壁に形成される。
ガスは、注入オリフィス31を通してキャビティに注入される。カソード24の励起時に、ガスは、次に、磁石の配置25によって発生された磁場Bによって実質的に捕捉された電子によって強くイオン化される。
任意的に、注入オリフィス31を通して注入されたガスは、装置を簡素化することを可能にする作業環境を形成するガスである。
トラック28とスリット30とによって形成されたキャビティは、従って、イオンのソースを形成する。
磁石の配置25によって発生された磁気障壁は、プラズマの電気抵抗を増大し、従って、ホール効果によってプラズマに電位差を発生させる。
磁場Bによって発生された電荷の移動とカソード24の励起によって発生された電場の移動は、スリット30に面するトラック28に沿った電子の循環を引き起こし、プラズマの均質化をもたらす。
磁化されていないイオンは、スリット30を通して電場によって噴霧される。
より軽量の一部の電子は、イオンに追従する。すなわち、閉じ込められたプラズマフラックスが発生し、かつスリット30を通して噴霧される。スリット30は、加熱されることになる面21の上にプラズマジェットを噴霧するために、理想的には粉末床に面して位置する。
変形では、プラズマ発生デバイス20は、線形以外のあらゆる形態のものであり、それは、ロボットを用いて変位されるようになっている。
プラズマ発生デバイス20を粉末の面21の前に置くことにより、低い作業圧力にも関わらず、均質でデバイス20と粉末床の間に閉じ込められた高密度プラズマを維持することが可能である。
このプラズマ発生デバイス20を変位させることにより、粉末床の面21を走査することが可能である。プラズマをONに保つことにより、及び粉末床の面21の完全な走査を実行することにより、粉末床は、表面的に加熱される。
任意的に、時間通りのプラズマ(時間t1、t2、又はt3)と粉末床の上方のプラズマ発生デバイス20の位置とに応じて、図8に示すように、ある一定のゾーンのみを粉末床の幅の全てにわたって加熱することができる。
プラズマを時間通りに制限することにより、望ましい加熱を生成しながらエネルギ消費を最適化することが可能である。
エネルギは、こうして粉末に効率的に伝達され、これは、その加熱を生成することを可能にする。
17 筐体
20 プラズマ発生デバイス
21 粉末床の面
22 励振ソース
23 マグネトロンデバイス

Claims (13)

  1. 付加製造装置内で粉末床を加熱するためのデバイスであって、
    当該デバイスが、
    プラズマ発生デバイス(20)であって、当該デバイスが、その上でプラズマの発生を可能にする前記粉末床からの距離で、該粉末床の上方に位置決めされ、かつ変位されるようになったプラズマ発生デバイス(20)と、
    前記プラズマ発生デバイスのための電力供給ユニット(22)と、
    前記電力供給と前記プラズマ発生デバイスの前記変位とを制御するための制御ユニット(9)と、
    を含み、かつ
    前記プラズマ発生デバイス(20)が、磁気プラズマ閉じ込めアセンブリを含む、
    ことを特徴とするデバイス。
  2. 前記プラズマ閉じ込めアセンブリは、荷電粒子を閉じ込めるのに適するマグネトロンタイプのデバイス(23)を含むことを特徴とする請求項1に記載の加熱デバイス。
  3. 前記マグネトロンデバイス(23)は、線形パターン(29)に従って電子を閉じ込めるように構成された磁石の配置(25)を含むことを特徴とする請求項2に記載の加熱デバイス。
  4. 前記マグネトロンタイプのデバイス(23)は、イオンのソースを形成するスリット(30)を含み、該スリット(30)は、電極(24)を通して形成され、かつ前記粉末床に面して現れることを特徴とする請求項3に記載の加熱デバイス。
  5. ガスが、前記スリット(30)の中に注入されることを特徴とする請求項4に記載の加熱デバイス。
  6. 前記プラズマ発生デバイス(20)は、主変位構成要素を用いてそれが延びる方向に対して直角に変位されるようになっていることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の加熱デバイス。
  7. 前記プラズマ発生デバイス(20)のための前記電力供給ユニット(22)は、高い直流及び/又は無線周波数及び/又はパルス電圧のソースを含むことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の加熱デバイス。
  8. 選択的付加製造によって3次元物体を製造するための装置であって、
    筐体内に、
    付加製造粉末の連続層の堆積のための支持体(3)と、
    前記支持体(3)上の又は事前に硬化された層上に粉末の層を付加するのに適切な分配配置(4)と、
    前記分配配置(4)によって付加された粉末の層の選択的硬化に適切な少なくとも1つの電源(8)と、
    を含み、
    前記装置が、
    請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の加熱デバイス(19)、
    を含み、
    前記加熱デバイス(19)のプラズマ発生デバイス(20)が、粉末床の上方でプラズマのその上への発生を可能にする該粉末床からの距離に位置決めされて変位されるようになっており、
    前記プラズマ発生デバイス(20)は、磁気プラズマ閉じ込めアセンブリも含む、
    ことを特徴とする装置。
  9. 前記分配配置(4)は、層化スクレーパー(5)又はローラーを含み、前記プラズマ発生デバイス(20)は、該スクレーパー(5)又はローラーの近位に延び、かつそれと共に可動である又は独立に変位されることを特徴とする請求項8に記載の装置。
  10. 選択的付加製造による3次元物体を製造する方法であって、
    支持体(3)又は事前に固化された層上の粉末の層の堆積と、
    電源(8)により実行される前記事前に堆積された層の少なくとも1つのゾーンの硬化と、
    の段階を含み、
    前記方法が、
    請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の加熱デバイス(19)を用いて前記粉末の層の少なくとも1つの局在化されたゾーンを加熱する作動、
    も含み、
    前記粉末床の前記加熱は、閉じ込められたプラズマによって実行される、
    ことを特徴とする方法。
  11. 前記加熱する段階中に、前記プラズマ発生デバイス(20)は、電極(24)を給電する際の放電の形成を制御するために正確な場所内に荷電粒子を閉じ込め、前記プラズマと前記粉末床の間の熱伝達を最大にするように閉じ込められたプラズマを発生させることを特徴とする請求項10に記載の方法。
  12. 前記加熱する段階中に、ガスが、前記プラズマ発生デバイス(20)の中にそこでイオン化されるように注入され、磁場が、前記粉末に向けて配向された閉じ込められたプラズマジェットを発生させるために該イオン化されたガスの噴霧を誘起することを特徴とする請求項10及び請求項11のいずれか1項に記載の方法。
  13. 少なくとも加熱する段階が、前記硬化する段階の前及び/又は後に実行されることを特徴とする請求項10から請求項12のいずれか1項に記載の方法。
JP2021503214A 2018-04-06 2019-04-05 選択的付加製造装置のための磁気閉じ込め加熱デバイス Ceased JP2021520310A (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR1853031 2018-04-06
FR1853031A FR3079775B1 (fr) 2018-04-06 2018-04-06 Dispositif de chauffage a confinement magnetique pour appareil de fabrication additive selective
PCT/FR2019/050809 WO2019193299A1 (fr) 2018-04-06 2019-04-05 Dispositif de chauffage a confinement magnétique pour appareil de fabrication additive sélective

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2021520310A true JP2021520310A (ja) 2021-08-19

Family

ID=62684905

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021503214A Ceased JP2021520310A (ja) 2018-04-06 2019-04-05 選択的付加製造装置のための磁気閉じ込め加熱デバイス

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20210086286A1 (ja)
EP (1) EP3774132A1 (ja)
JP (1) JP2021520310A (ja)
KR (1) KR20210112236A (ja)
CN (1) CN112823071A (ja)
FR (1) FR3079775B1 (ja)
WO (1) WO2019193299A1 (ja)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111014677B (zh) * 2019-10-18 2021-10-22 南京钛陶智能系统有限责任公司 一种基于磁力搅拌的三维打印锻造方法
FR3105036A1 (fr) * 2019-12-19 2021-06-25 Addup Traitement IN SITU de poudres pour fabrication additive
FR3105037A1 (fr) * 2019-12-19 2021-06-25 Addup Traitement in situ de poudre pour fabrication additive en vue d’améliorer sa conductivité thermique et/OU électrique
CN112705729B (zh) * 2020-12-16 2022-05-17 宁波中久东方光电技术有限公司 一种激光增材设备的出粉方法
GB2602458B (en) * 2020-12-22 2023-01-18 Wayland Additive Ltd Additive manufacturing using powder bed fusion
CN117548693A (zh) * 2024-01-11 2024-02-13 西安空天机电智能制造有限公司 一种增材制造装置及其增材制造方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06220632A (ja) * 1992-09-10 1994-08-09 Leybold Ag 陰極スパッタリングとマイクロ波照射によるプラズマ発生装置
KR101674615B1 (ko) * 2015-05-14 2016-11-09 주식회사 아바코 증착장치
US20160368077A1 (en) * 2015-06-19 2016-12-22 Bharath Swaminathan Surface processing in additive manufacturing with laser and gas flow
WO2017180084A1 (en) * 2016-04-10 2017-10-19 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Dispensing powdered build material for additive manufacturing

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE511139C2 (sv) * 1997-11-20 1999-08-09 Hana Barankova Plasmabearbetningsapparat med vridbara magneter
US6664547B2 (en) * 2002-05-01 2003-12-16 Axcelis Technologies, Inc. Ion source providing ribbon beam with controllable density profile
ES2353102B1 (es) * 2009-08-14 2011-12-30 Consejo Superior De Investigaciones Científicas (Csic) Dispositivo magnetron y procedimiento de erosion uniforme de un blanco empleando dicho dispositivo
WO2016007672A1 (en) * 2014-07-09 2016-01-14 Applied Materials, Inc. Layerwise heating, linewise heating, plasma heating and multiple feed materials in additive manufacturing
JP2017526815A (ja) * 2014-07-18 2017-09-14 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated レーザ及びプラズマを用いた付加製造
US20160228991A1 (en) * 2015-02-05 2016-08-11 Siemens Energy, Inc. Acoustic manipulation and laser processing of particles for repair and manufacture of metallic components
WO2016205743A1 (en) * 2015-06-19 2016-12-22 Applied Materials, Inc. Selective depositing of powder in additive manufacturing
CN107848208A (zh) * 2015-06-19 2018-03-27 应用材料公司 利用静电压实的增材制造
WO2017004050A1 (en) * 2015-06-29 2017-01-05 Applied Materials, Inc. Temperature controlled substrate processing
CN206794756U (zh) * 2017-06-02 2017-12-26 清华大学天津高端装备研究院 可在线热处理的增材制造装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06220632A (ja) * 1992-09-10 1994-08-09 Leybold Ag 陰極スパッタリングとマイクロ波照射によるプラズマ発生装置
KR101674615B1 (ko) * 2015-05-14 2016-11-09 주식회사 아바코 증착장치
US20160368077A1 (en) * 2015-06-19 2016-12-22 Bharath Swaminathan Surface processing in additive manufacturing with laser and gas flow
WO2017180084A1 (en) * 2016-04-10 2017-10-19 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Dispensing powdered build material for additive manufacturing

Also Published As

Publication number Publication date
US20210086286A1 (en) 2021-03-25
KR20210112236A (ko) 2021-09-14
WO2019193299A1 (fr) 2019-10-10
CN112823071A (zh) 2021-05-18
FR3079775A1 (fr) 2019-10-11
FR3079775B1 (fr) 2021-11-26
EP3774132A1 (fr) 2021-02-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2021520310A (ja) 選択的付加製造装置のための磁気閉じ込め加熱デバイス
US9793098B2 (en) Low pressure arc plasma immersion coating vapor deposition and ion treatment
JP6408862B2 (ja) 低圧アーク・プラズマ浸漬被膜気相堆積及びイオン処理
JP6625793B2 (ja) 減圧アークプラズマ浸漬皮膜蒸着及びイオン処理
US10056237B2 (en) Low pressure arc plasma immersion coating vapor deposition and ion treatment
KR102046560B1 (ko) 전자 빔을 발생시키기 위한 방법 및 장치
CA1170315A (en) Vacuum-arc plasma apparatus for producing coatings
EP0725843A1 (de) Verfahren und einrichtung zum plasmaaktivierten elektronenstrahlverdampfen
EP3091560A1 (en) Remote arc discharge plasma assisted system
CN102575900A (zh) 用于熔化炉的离子等离子电子发射器
CN103911592B (zh) 一种磁控溅射装置及方法
EP2729955B1 (en) Apparatus and method for the pretreatment and/or for the coating of an article in a vacuum chamber with a hipims power source
JP2008280579A (ja) 電子ビームスパッタリング装置
KR20190021511A (ko) 자장을 이용한 아크 이온빔 분산 및 방향 제어 장치와 이를 활용한 플라즈마 표면 처리 시스템
RU2607398C2 (ru) Способ нанесения покрытий путем плазменного напыления и устройство для его осуществления
JP4339562B2 (ja) イオンプレーティング方法およびその装置
Bluhm et al. Industrial applications of high voltage pulsed power techniques: developments at Forschungszentrum Karlsruhe (FZK)
US11217426B2 (en) Ion source and method
JP2005290510A (ja) 電子ビーム蒸着方法及びその装置
Ryabchikov et al. Quasiribbon Vacuum Arc Ion Source “Raduga-6”
JP2020002400A (ja) イオン照射装置、イオン照射方法、成膜装置、及び成膜方法
Rutkowski et al. Ion sources for induction linac driven heavy ion fusiona
JP2020002401A (ja) 成膜・イオン照射システム、及び成膜・イオン照射方法
Goncharov et al. Development of novel plasma devices based on the plasma lens configuration

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20220404

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20230125

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20230130

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230414

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20230509

A045 Written measure of dismissal of application [lapsed due to lack of payment]

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A045

Effective date: 20230925