JP2021518667A - 深紫外(duv)光学撮像システム向け任意波面補償器 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、「深紫外(DUV)光学撮像システム向け任意波面補償器」(Arbitrary Wavefront Compensator for Deep Ultraviolet (DUV) Optical Imaging System)と題しQiang Zhang et al.により2018年3月20日付で提出された米国仮特許出願第62/645394号に基づく優先権を主張するものであるので、参照によりその出願の全容をその目的を問わず本願に繰り入れることにする。
波面計量及び制御は、一般に、回折限界付近で動作する高分解能光学撮像システム全てにとり、重要なトピックスである。望ましくない量の光学収差がそうした光学撮像システム内に存していると、画像歪及び非対称性、更には画像コントラスト低下及びシュトレール損失が生じかねない。このように、光学収差は、システム性能及び品質に、密接にリンクしている。
本発明のある種の実施形態では、光学検査システムのシステム収差を顕著に改善しうる波面補償器としてカスタマイズされた空間光学フィルタを設計、製造及び使用する、単純でコスト効果的な技術及びシステムが提供される。本願では、語「空間フィルタ」、「フィルタ」、「空間フィルタプレート」及び「フィルタプレート」が、システム収差補正用の静的(構成設定不可)な補償器(又は補償器群)を指すべく用いられている。ある実施形態では、その空間フィルタが、既存撮像システムの撮像瞳位置に単純挿入される。図1Aは、本発明の一実施形態に従いDUV撮像システム100の波面収差を補償する空間フィルタ114の使用の表現図である。図示の通り、物体102を、その物体102からの透過又は反射電磁波形又は光(例.DUV光)、即ち複数個の波面108により表されているそれにより、撮像することができる。その光は、任意の好適個数及び種類の撮像光学系104に通され、それにより付随する収差が付与されることとなる。空間フィルタ114はそうした収差を補償するよう設計されるので、それによりもたらされる補償波形110を用い、その物体102の像106を、例えば検出器(図示せず)の働きで形成すればよい。
に、基づくものとなる。とはいえ、代替的諸実施形態では、その標本からの透過光及び/又は反射光向けの補償器が、非EUVマスクを検査する際に想定される。
Claims (23)
- 半導体標本における欠陥を検出する検査システムであって、
照明ビームを生成する光源と、
その照明ビームを標本の方へと差し向ける照明レンズシステムと、
その照明ビームに応じたその標本からの出射光を検出器の方へと差し向ける集光レンズシステムであり、複数個の個別可選択フィルタを有する補償器プレートを有しており、それら個別可選択フィルタが、別々の動作条件下にて本システムのシステム収差を補正する別々の構成を有しており、各フィルタが固定的な設計を有する集光レンズシステムと、
前記標本からの出射光を受光する前記検出器と、
コントローラと、
を備え、そのコントローラが前記光源、照明レンズシステム、集光レンズシステム及び検出器と協働して以下の動作、即ち
前記照明ビームを生成し前記標本の方へと差し向ける動作、
選択された動作条件集合下で前記システム収差が補正されるよう、前記別々の動作条件の集合1個と、前記フィルタのうち選りすぐりの1個とを選択する動作、
前記照明ビームに応じた前記標本からの出射光に基づき画像を生成する動作、並びに
その画像に基づき前記標本の検査合否を判別し又はその標本を特性解明する動作、
を実行するシステム。 - 請求項1に記載のシステムであって、前記複数個のフィルタがグリッドパターンをなし前記補償器プレート上に配列されており、それらフィルタのうち個別のものを、その補償器プレートを前記照明ビームに対し垂直なX方向及びY方向に沿い動かすことで選択可能なシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記複数個のフィルタが円形パターンをなし前記補償器プレート上に配列されており、それらフィルタのうち個別のものを、その補償器プレートを前記照明ビーム下で回動させることで選択可能なシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記別々の動作条件に別々の偏向が含まれるシステム。
- 請求項4に記載のシステムであって、前記別々の偏向に円偏向及び直線偏向が含まれるシステム。
- 請求項4に記載のシステムであって、前記別々の動作条件に別々のズーム設定、別々の数値開口及び別々の波長域が含まれ、それに深紫外域が含まれるシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、各フィルタが、厚み変化を伴う誘電薄膜で以て被覆された透明基板を有し、その厚み変化により前記別々の動作条件下にてシステム収差を補正するシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、各フィルタが高さ変化を伴う透明基板を有し、その高さ変化により前記別々の動作条件下にてシステム収差を補正するシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、各フィルタが、厚み変化を伴う誘電薄膜で以て被覆された反射基板を有し、その厚み変化により前記別々の動作条件下にてシステム収差を補正するシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、各フィルタが、高さ変化を伴う基板の頂部上に共形被覆された反射性多層薄膜を有し、その高さ変化により前記別々の動作条件下にてシステム収差を補正するシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記補償器プレートに備わる複数個のフィルタから選択されたフィルタが本システムの像瞳のところに挿入されるよう、その補償器プレートが位置決めされるシステム。
- 半導体標本における欠陥を検出する検査システム内の補償器を設計及び使用する方法であって、
別々な複数個の動作条件集合に関し前記検査システムのシステム収差を求め、
前記別々の動作条件集合に係る複数個のフィルタを有する、前記求まったシステム収差を補正するためのフィルタプレートであり、各フィルタが固定的な設計を有するものを、作成し、
各フィルタを個別選択して前記検査システムの像瞳のところに位置決めすることができるよう前記フィルタプレートを前記検査システム内に挿入し、
前記検査システム側で、前記別々の動作条件集合のうち一組を選択し、その選択された動作条件集合に関し求まったシステム収差を補正しうるよう構成されているものを前記フィルタから選択し、且つ
その選択されたフィルタを介し且つ選択された動作条件集合下で前記標本を撮像することで、その標本の画像であり前記システム収差の除去を経たものを形成する方法。 - 請求項12に記載の方法であって、イオンビーム堆積を用い1個又は複数個のピンホール又はシャドウマスクで以て前記複数個のフィルタを作成することで、システム収差を補正しうる高さ変化を有する薄膜を形成する方法。
- 請求項12に記載の方法であって、イオンビームフィギュアリングプロセスを用い前記複数個のフィルタを作成することで、システム収差を補正しうる高さ変化を呈するよう基板をエッチングする方法。
- 請求項12に記載の方法であって、前記別々の動作条件集合に別々の偏向が含まれる方法。
- 請求項15に記載の方法であって、前記別々の偏向に円偏向及び直線偏向が含まれる方法。
- 請求項15に記載の方法であって、前記別々の動作条件集合に別々のズーム設定、別々の数値開口及び別々の波長域が含まれ、それに深紫外域が含まれる方法。
- 請求項12に記載の方法であって、各フィルタが、厚み変化を伴う誘電薄膜で以て被覆された透明基板を有し、その厚み変化により前記別々の動作条件集合下にて前記求まったシステム収差を補正する方法。
- 請求項12に記載の方法であって、各フィルタが高さ変化を伴う透明基板を有し、その高さ変化により前記別々の動作条件集合下にて前記求まったシステム収差を補正する方法。
- 請求項12に記載の方法であって、各フィルタが、厚み変化を伴う誘電薄膜で以て被覆された反射基板を有し、その厚み変化により前記別々の動作条件集合下にて前記システム収差を補正する方法。
- 請求項12に記載の方法であって、各フィルタが、高さ変化を伴う基板の頂部上に共形被覆された反射性多層薄膜を有し、その高さ変化により前記別々の動作条件集合下にて前記システム収差を補正する方法。
- 請求項12に記載の方法であって、前記フィルタプレートに備わる複数個のフィルタから選択されたフィルタが前記システムの像瞳のところに挿入されるよう、そのフィルタプレートが位置決めされる方法。
- 半導体標本における欠陥を検出する検査システムであって、
照明ビームを生成する光源と、
その照明ビームを標本の方へと差し向ける照明レンズシステムと、
その照明ビームに応じたその標本からの出射光を検出器の方へと差し向ける集光レンズシステムであり、ある特定の動作条件集合下で本システムのシステム収差を補正する補償器を有しており、各フィルタが固定的な設計を有する集光レンズシステムと、
前記標本からの出射光を受光する前記検出器と、
コントローラと、
を備え、そのコントローラが前記光源、照明レンズシステム、集光レンズシステム及び検出器と協働して以下の動作、即ち
前記照明ビームを生成し前記標本の方へと差し向ける動作、
前記特定の動作条件集合を選択する動作、
前記照明ビームに応じた前記標本からの出射光に基づき画像を生成する動作、並びに
その画像に基づき前記標本の検査合否を判別し又はその標本を特性解明する動作、
を実行するシステム。
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