JP2021515106A - 粉末冶金スパッタリングターゲット及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
冷間静水圧プレス
熱間静水圧プレス
押出
粉末鍛造(例えば、熱間鍛造)
金属射出成形
通電活性化焼結(ECAS)技術(例えば、熱間プレス、スパークプラズマ焼結、電気焼結鍛造)
真空熱プレス。
1.冷間静水圧プレス、焼結、封入、熱間静水圧プレス、及び熱機械処理;
2.冷間静水圧プレス、焼結、熱間静水圧プレス、及び熱機械処理;
3.冷間静水圧プレス、封入、熱間静水圧プレス、及び熱機械処理;
4.冷間静水圧プレス、封入、及び熱間静水圧プレス;
5.封入及び熱間静水圧プレス;
6.冷間静水圧プレス、焼結、封入、押出、及び熱機械処理;
7.冷間静水圧プレス、焼結、押出、及び熱機械処理;
8.冷間静水圧プレス、焼結、及び押出;
9.冷間静水圧プレス、封入、押出、及び熱機械処理;
10.冷間静水圧プレス、封入、及び押出;
11.封入及び押出;
12.機械プレス、焼結、及び押出;
13.冷間静水圧プレス、焼結、封入、鍛造、及び熱機械処理;
14.冷間静水圧プレス、封入、鍛造、及び熱機械処理;
15.冷間静水圧プレス、封入、及び鍛造;
16.冷間静水圧プレス、焼結、及び鍛造;
17.冷間静水圧プレス、焼結、及び圧延;
18.封入及び鍛造;
19.封入及び圧延;
20.冷間静水圧プレス、焼結、及び熱機械処理;
21.噴霧析出;
22.機械プレス及び焼結;及び、
23.機械プレス、焼結、再プレス、及び再焼結。
約5ミクロン〜約25ミクロンのD10径;及び/又は、
約20ミクロン〜約80ミクロンのD90径。
a)約4 g/cc〜約19.3 g/ccの見掛け密度、
b)約5ミクロン〜約25ミクロンのD10粒径、
c)約20ミクロン〜約50ミクロンのD50粒径、
d)約30ミクロン〜約100ミクロンのD90粒径、及び/又は、
e)約0.05 m2/g〜約20 m2/gのBET表面積。
a)約9 g/cc〜19.3 g/cc又は約9 g/cc〜約16.6 g/ccの見掛け密度、
b)約12ミクロン〜約25ミクロンのD10粒径、
c)約20ミクロン〜約40ミクロンのD50粒径、
d)約30ミクロン〜約70ミクロンのD90粒径、及び/又は、
e)約0.1 m2/g〜約15 m2/gのBET表面積。
純度レベル:
酸素含量は、約100 ppm〜約60000 ppm、例えば、約250 ppm〜約50000 ppm、又は約500 ppm〜約30000 ppm、又は約1000 ppm〜約20000 ppmである。BET(m2/g)に対する酸素(ppm)の割合は、約2000〜約4000、例えば、約2200〜約3800、約2400〜約3600、約2600〜約3400、又は約2800〜約3200等とすることができる。
炭素含量は、約1 ppm〜約100 ppmであり、より好ましくは約10 ppm〜約50 ppm、又は約20ppm〜約30 ppmである。
窒素含量は、約100 ppm〜約20000 ppm以上であり、より好ましくは約1000 ppm〜約5000 ppm、又は約3000 ppm〜約4000 ppm、又は約3000 ppm〜約3500 ppmである。
水素含量は、約10 ppm〜約1000 ppmであり、より好ましくは約300 ppm〜約750 ppm、又は約400ppm〜約600 ppmである。
鉄含量は、約1 ppm〜約50 ppmであり、より好ましくは約5 ppm〜約20 ppmである。
ニッケル含量は、約1 ppm〜約150 ppmであり、より好ましくは約5 ppm〜約100 ppm、又は約25ppm〜約75 ppmである。
クロム含量は、約1 ppm〜約100 ppmであり、より好ましくは約5 ppm〜約50 ppm、又は約5ppm〜約20 ppmである。
ナトリウム含量は、約0.1 ppm〜約50 ppmであり、より好ましくは約0.5 ppm〜約5 ppmである。
カリウム含量は、約0.1 ppm〜約100 ppmであり、より好ましくは約5 ppm〜約50 ppm、又は約30ppm〜約50 ppmである。
マグネシウム含量は、約1 ppm〜約50 ppmであり、より好ましくは約5 ppm〜約25 ppmである。
リン(P)含量は、約5 ppm〜約500ppmであり、より好ましくは約100 ppm〜約300 ppmである。
フッ化物(F)含量は、約1 ppm〜約500ppmであり、より好ましくは約25 ppm〜約300 ppm、又は約50 ppm〜約300 ppm、又は約100ppm〜約300 ppmである。
+60#が、約0.0%〜約1%、好ましくは約0.0%〜約0.5%、より好ましくは0.0%又は約0.0%である。
60/170が、約45%〜約70%、好ましくは約55%〜約65%、又は約60%〜約65%である。
170/325が、約20%〜約50%、好ましくは約25%〜約40%、又は約30%〜約35%である。
325/400が、約1.0%〜約10%、好ましくは約2.5%〜約7.5%、例えば、約4%〜約6%である。
-400が、約0.1%〜約2.0%、好ましくは約0.5%〜約1.5%である。
市販のKTa2F7(KTAF)とナトリウムとを使用して、標準工業プロセスを利用するKTAFのナトリウム還元を用いて、タンタル粉末を得た。副生成塩は、洗浄工程、及び酸浸出工程、及び乾燥工程によって除去した。得られたタンタル粉末は、約0.1 m2/gのBET表面積を有していた。このタンタルは、基本ロットタンタル粉末とした。図1Aに、この出発タンタル粉末のSEM画像を示す。出発タンタル粉末を、3つの粉末ロット、すなわち、ロットA、ロットB、及びロットCに分割し、以下の通り、各々別々に、プラズマ処理した。
この例では、実施例1と同様の基本ロットタンタル粉末(ナトリウム還元粉末)を使用した。この基本ロットタンタル粉末は、0.1 m2/gのBET表面積を有していた。基本ロットタンタル粉末をプレスし、約1000℃の焼結温度で、1時間、圧粉体ログへと焼結した。圧粉体ログを、電子ビーム炉へと供給し、そこで、坩堝を用いて金属を溶融した。金型を通して溶融物を延伸し、これにより、タンタルが凝固し、インゴットを形成した。水素雰囲気を有する高温炉を用いて、タンタルインゴットを水素化し、水素化後は室温まで冷却した。次いで、水素化したインゴットを(ジョークラッシャー、次いで、ロールクラッシャーを用いて)破砕し、-20 #の篩サイズ(正:size)にスクリーニングした。破砕後のインゴットを、望ましいサイズカット、すなわち、ロットAでは10ミクロン〜25ミクロン(又は、ロットBでは35ミクロン〜75ミクロン)にスクリーニングした。次いで、スクリーニング後の各ロット用の粉末を酸浸出した。次いで、粉末を、マグネシウムを用いて脱酸素化し、酸素レベルを500 ppm未満に低減した。この出発タンタル粉末のSEM画像を図2Aに示す。次いで、ロットA及びロットBを、各々別々に、実施例1と同様の方法で、プラズマ処理した。
1. 球状金属粉末を含む金属粉末を、粉末冶金技術によって圧密体へと圧密して、冶金物品を形成することと、
前記圧密体を任意で熱処理することと、
を含む、粉末冶金物品を形成する方法であって、
前記球状金属粉末が、
a.1.0〜1.4の平均アスペクト比を有する球状形状を有し、
b.ガス不純物を除く該金属粉末の全重量に対して、少なくとも99重量%の金属純度を有し、
c.約0.5ミクロン〜約250ミクロンの平均粒径を有し、
d.約4 g/cc〜約19.3 g/ccの見掛け密度を有し、
e.金属の±3%以内の真密度を有し、かつ、
f.40秒以下のホールフローレートを有する、方法。
2. 前記熱処理を利用する、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の方法。
3. 前記熱処理は、1以上の焼結工程又は1以上の徐冷工程である、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の方法。
4. 前記圧密製品がスパッタリングターゲットである、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の方法。
5. 前記圧密製品を機械加工することを更に含む、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の方法。
6. 前記圧密製品に対して、1以上の機械処理工程又は熱機械処理工程を行うことを更に含む、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の方法。
7. いかなる機械処理工程又は熱機械処理工程も行わずに、前記方法を行う、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の方法。
8. 前記金属粉末が、350 ppm未満の酸素レベルを有する、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の方法。
9. 前記金属粉末が、200 ppm未満の酸素レベルを有する、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の方法。
10. 前記平均アスペクト比が1.0〜1.25である、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の方法。
11. 前記平均アスペクト比が1.0〜1.1である、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の方法。
12. 前記純度が少なくとも99.995重量%である、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の方法。
13. 前記平均粒径が約0.5ミクロン〜約10ミクロンである、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の方法。
14. 前記平均粒径が約5ミクロン〜約25ミクロンである、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の方法。
15. 前記平均粒径が約15ミクロン〜約45ミクロンである、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の方法。
16. 前記平均粒径が約35ミクロン〜約75ミクロンである、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の方法。
17. 前記平均粒径が約55ミクロン〜約150ミクロンである、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の方法。
18. 前記平均粒径が約105ミクロン〜約250ミクロンである、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の方法。
19. 前記金属粉末が、以下の性質のうち少なくとも1つを有する、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の方法:
a.約5ミクロン〜25ミクロンのD10径、又は、
b.約20ミクロン〜80ミクロンのD90径。
20. 前記金属粉末が、タンタル、ニオブ、アルミニウム、銅、チタン、マグネシウム、タングステン、金、銀、コバルト、ジルコニウム、シリコン、レニウム、モリブデン、又はこれらの合金、又はこれらの任意の組み合わせから選ばれる、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の方法。
21. 前記金属粉末がBBC金属を含むか、又はBBC金属から選ばれる、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の方法。
22. 前記金属粉末が、非球状金属粉末を更に含む、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の方法。
23. 前記非球状金属粉末が、角状金属粉末、フレーク状金属粉末、又は団塊状金属粉末を含む、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の方法。
24. 前記金属粉末が、1重量%〜99重量%の前記球状金属粉末と、1重量%〜99重量%の前記非球状金属粉末とを含む、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の方法。
25. 前記金属粉末が、25重量%〜75重量%の前記球状金属粉末と、25重量%〜75重量%の前記非球状金属粉末とを含む、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の方法。
26. 前記金属粉末が、50重量%〜99重量%の前記球状金属粉末と、1重量%〜50重量%の前記非球状金属粉末とを含む、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の方法。
27. 前記金属粉末が、75重量%〜99重量%の前記球状金属粉末と、1重量%〜25重量%の前記非球状金属粉末とを含む、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の方法。
28. 前記球状金属粉末が、平均粒径に対して、少なくとも2つの異なるサイズ分画を有する、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の方法。
29. 前記球状金属粉末が、約10ミクロン〜約25ミクロンの平均粒径を有する第1のサイズ分画と、約26ミクロン〜約45ミクロンの平均粒径を有する第2のサイズ分画とを含む、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の方法。
30. 前記圧密製品がビレット形状を有しており、前記方法が、前記ビレットをスパッタリングターゲットの形状をそれぞれが有する複数のディスクに分割することを更に含む、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の方法。
31. 前記方法が、
a.不活性雰囲気中で、出発金属粉末をプラズマ熱処理して、該出発金属粉末の少なくとも外表面を少なくとも部分的に溶融して、熱処理済金属粉末を得ることと、
b.不活性雰囲気中で、前記熱処理済金属粉末を冷却して、前記金属粉末を得ることと、
を更に含む、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の方法。
32. 前記出発金属粉末がタンタル粉末である、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の方法。
33. 前記金属粉末が、500 ppm以下の酸素含量と、少なくとも約40 ppmの窒素含量とを有する、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の方法。
34. 前記圧密を、前記金属粉末の0.7 THを超えない温度で行う、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の方法。
35. 前記圧密が、前記金属粉末を、約30000 psi〜約90000 psiの圧縮力で、理論密度の約80%〜約100%まで圧縮することを含む、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の方法。
36. 前記粉末冶金技術が、熱間静水圧プレス、又は冷間静水圧プレス、又は真空熱プレスを含む、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の方法。
37. 前記粉末冶金技術が押出を含む、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の方法。
38. 理論密度の少なくとも75%の密度を有する圧密体へと圧密された金属粉末を含む粉末冶金物品であって、
前記金属粉末が球状金属粉末を含み、該球状金属粉末が、
a.1.0〜1.4の平均アスペクト比を有する球状形状を有し、
b.ガス不純物を除く該金属粉末の全重量に対して、少なくとも99重量%の金属純度を有し、
c.約0.5ミクロン〜約250ミクロンの平均粒径を有し、
d.約4 g/cc〜約19.3 g/ccの見掛け密度を有し、
e.金属の±3%以内の真密度を有し、かつ、
f.40秒以下のホールフローレートを有する、粉末冶金物品。
39. 前記球状金属粉末がプラズマ熱処理されている、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の粉末冶金物品。
40. 350 ppm未満の酸素レベルを有する、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の粉末冶金物品。
41. 200 ppm未満の酸素レベルを有する、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の粉末冶金物品。
42. 前記平均アスペクト比が1.0〜1.25である、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の粉末冶金物品。
43. 前記平均アスペクト比が1.0〜1.1である、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の粉末冶金物品。
44. 前記純度が少なくとも99.995重量%である、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の粉末冶金物品。
45. 前記平均粒径が約0.5ミクロン〜約10ミクロンである、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の粉末冶金物品。
46. 前記平均粒径が約5ミクロン〜約25ミクロンである、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の粉末冶金物品。
47. 前記平均粒径が約15ミクロン〜約45ミクロンである、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の粉末冶金物品。
48. 前記平均粒径が約35ミクロン〜約75ミクロンである、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の粉末冶金物品。
49. 前記平均粒径が約55ミクロン〜約150ミクロンである、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の粉末冶金物品。
50. 前記平均粒径が約105ミクロン〜約250ミクロンである、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の粉末冶金物品。
51. 前記金属粉末が、以下の性質のうち少なくとも1つを有する、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の粉末冶金物品:
a.約5ミクロン〜25ミクロンのD10径、又は、
b.約20ミクロン〜80ミクロンのD90径。
52. ニオブ、タンタル、又はその組み合わせを含む、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の粉末冶金物品。
53. BBC金属を含む、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の粉末冶金物品。
54. 前記金属粉末が、非球状金属粉末を更に含む、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の粉末冶金物品。
55. 前記非球状金属粉末が、角状金属粉末、フレーク状金属粉末、又は団塊状金属粉末を含む、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の粉末冶金物品。
56. 前記金属粉末が、1重量%〜99重量%の前記球状金属粉末と、1重量%〜99重量%の前記非球状金属粉末とを含む、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の粉末冶金物品。
57. 前記金属粉末が、25重量%〜75重量%の前記球状金属粉末と、25重量%〜75重量%の前記非球状金属粉末とを含む、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の粉末冶金物品。
58. 前記金属粉末が、50重量%〜99重量%の前記球状金属粉末と、1重量%〜50重量%の前記非球状金属粉末とを含む、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の粉末冶金物品。
59. 前記金属粉末が、75重量%〜99重量%の前記球状金属粉末と、1重量%〜25重量%の前記非球状金属粉末とを含む、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の粉末冶金物品。
60. 前記球状金属粉末が、平均粒径に対して、少なくとも2つの異なるサイズ分画を有する、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の粉末冶金物品。
61. 前記球状金属粉末が、約10ミクロン〜約25ミクロンの平均粒径を有する第1のサイズ分画と、約26ミクロン〜約45ミクロンの平均粒径を有する第2のサイズ分画とを含む、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の粉末冶金物品。
62. スパッタターゲットとしての任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様の粉末冶金物品と、バッキングプレートとを含むスパッタリングターゲット組立体。
63. 前記スパッタターゲットが、約18000 psi〜約40000 psiの降伏強度と、約20%以上の破断伸びとを有する、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様のスパッタリングターゲット組立体。
64. 前記スパッタターゲットが、約99.5%以上の純度を有する、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様のスパッタリングターゲット組立体。
65. 前記スパッタターゲットが、約300ミクロン以下の平均粒径を有する、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様のスパッタリングターゲット組立体。
66. 前記スパッタターゲットが、100ミクロン以下の平均粒径を有する、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様のスパッタリングターゲット組立体。
67. 前記スパッタターゲットが、約50ミクロン以下の平均粒径を有する、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様のスパッタリングターゲット組立体。
68. 前記スパッタターゲットが、約10ミクロン以下の平均粒径を有する、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様のスパッタリングターゲット組立体。
69. 前記スパッタターゲットが、前記金属の表面において、又は前記金属の厚さ全体にわたって、ランダム組織を有する、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様のスパッタリングターゲット組立体。
70. 前記スパッタターゲットが、前記金属の表面において、又は前記金属の厚さ全体にわたって、均一な一次組織を有する、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様のスパッタリングターゲット組立体。
71. 前記スパッタターゲットが、前記金属の表面において、又は前記金属の厚さ全体にわたって、(111)の均一な一次組織を有する、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様のスパッタリングターゲット組立体。
72. 前記スパッタターゲットが、前記金属の表面において、又は前記金属の厚さ全体にわたって、ランダム組織を有する、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様のスパッタリングターゲット組立体。
73. 前記スパッタターゲットが、前記金属の表面において、又は前記金属の厚さ全体にわたって、(110)の均一な一次組織を有する、任意の上記又は下記の実施形態/特徴/態様のスパッタリングターゲット組立体。
図1B
Spherical TantalumPowder 球状タンタル粉末
図2A
T-Powder T粉末
図2B
Spherical TantalumPowder 球状タンタル粉末
Claims (73)
- 球状金属粉末を含む金属粉末を、粉末冶金技術によって圧密体へと圧密して、冶金物品を形成することと、
前記圧密体を任意で熱処理することと、
を含む、粉末冶金物品を形成する方法であって、
前記球状金属粉末が、
a.1.0〜1.4の平均アスペクト比を有する球状形状を有し、
b.ガス不純物を除く該金属粉末の全重量に対して、少なくとも99重量%の金属純度を有し、
c.約0.5ミクロン〜約250ミクロンの平均粒径を有し、
d.約4 g/cc〜約19.3 g/ccの見掛け密度を有し、
e.金属の±3%以内の真密度を有し、かつ、
f.40秒以下のホールフローレートを有する、方法。 - 前記熱処理を利用する、請求項1に記載の方法。
- 前記熱処理は、1以上の焼結工程又は1以上の徐冷工程である、請求項2に記載の方法。
- 前記圧密製品がスパッタリングターゲットである、請求項1に記載の方法。
- 前記圧密製品を機械加工することを更に含む、請求項1に記載の方法。
- 前記圧密製品に対して、1以上の機械処理工程又は熱機械処理工程を行うことを更に含む、請求項1に記載の方法。
- いかなる機械処理工程又は熱機械処理工程も行わずに、前記方法を行う、請求項1に記載の方法。
- 前記金属粉末が、350 ppm未満の酸素レベルを有する、請求項1に記載の方法。
- 前記金属粉末が、200 ppm未満の酸素レベルを有する、請求項1に記載の方法。
- 前記平均アスペクト比が1.0〜1.25である、請求項1に記載の方法。
- 前記平均アスペクト比が1.0〜1.1である、請求項1に記載の方法。
- 前記純度が少なくとも99.995重量%である、請求項1に記載の方法。
- 前記平均粒径が約0.5ミクロン〜約10ミクロンである、請求項1に記載の方法。
- 前記平均粒径が約5ミクロン〜約25ミクロンである、請求項1に記載の方法。
- 前記平均粒径が約15ミクロン〜約45ミクロンである、請求項1に記載の方法。
- 前記平均粒径が約35ミクロン〜約75ミクロンである、請求項1に記載の方法。
- 前記平均粒径が約55ミクロン〜約150ミクロンである、請求項1に記載の方法。
- 前記平均粒径が約105ミクロン〜約250ミクロンである、請求項1に記載の方法。
- 前記金属粉末が、以下の性質のうち少なくとも1つを有する、請求項1に記載の方法:
a.約5ミクロン〜25ミクロンのD10径、又は、
b.約20ミクロン〜80ミクロンのD90径。 - 前記金属粉末が、タンタル、ニオブ、アルミニウム、銅、チタン、マグネシウム、タングステン、金、銀、コバルト、ジルコニウム、シリコン、レニウム、モリブデン、又はこれらの合金、又はこれらの任意の組み合わせから選ばれる、請求項1に記載の方法。
- 前記金属粉末がBBC金属を含むか、又はBBC金属から選ばれる、請求項1に記載の方法。
- 前記金属粉末が、非球状金属粉末を更に含む、請求項1に記載の方法。
- 前記非球状金属粉末が、角状金属粉末、フレーク状金属粉末、又は団塊状金属粉末を含む、請求項22に記載の方法。
- 前記金属粉末が、1重量%〜99重量%の前記球状金属粉末と、1重量%〜99重量%の前記非球状金属粉末とを含む、請求項22に記載の方法。
- 前記金属粉末が、25重量%〜75重量%の前記球状金属粉末と、25重量%〜75重量%の前記非球状金属粉末とを含む、請求項22に記載の方法。
- 前記金属粉末が、50重量%〜99重量%の前記球状金属粉末と、1重量%〜50重量%の前記非球状金属粉末とを含む、請求項22に記載の方法。
- 前記金属粉末が、75重量%〜99重量%の前記球状金属粉末と、1重量%〜25重量%の前記非球状金属粉末とを含む、請求項22に記載の方法。
- 前記球状金属粉末が、平均粒径に対して、少なくとも2つの異なるサイズ分画を有する、請求項1に記載の方法。
- 前記球状金属粉末が、約10ミクロン〜約25ミクロンの平均粒径を有する第1のサイズ分画と、約26ミクロン〜約45ミクロンの平均粒径を有する第2のサイズ分画とを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記圧密製品がビレット形状を有しており、前記方法が、前記ビレットをスパッタリングターゲットの形状をそれぞれが有する複数のディスクに分割することを更に含む、請求項1に記載の方法。
- 前記方法が、
a.不活性雰囲気中で、出発金属粉末をプラズマ熱処理して、該出発金属粉末の少なくとも外表面を少なくとも部分的に溶融して、熱処理済金属粉末を得ることと、
b.不活性雰囲気中で、前記熱処理済金属粉末を冷却して、前記金属粉末を得ることと、
を更に含む、請求項1に記載の方法。 - 前記出発金属粉末がタンタル粉末である、請求項31に記載の方法。
- 前記金属粉末が、500 ppm以下の酸素含量と、少なくとも約40 ppmの窒素含量とを有する、請求項1に記載の方法。
- 前記圧密を、前記金属粉末の0.7 THを超えない温度で行う、請求項1に記載の方法。
- 前記圧密が、前記金属粉末を、約30000 psi〜約90000 psiの圧縮力で、理論密度の約80%〜約100%まで圧縮することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記粉末冶金技術が、熱間静水圧プレス、又は冷間静水圧プレス、又は真空熱プレスを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記粉末冶金技術が押出を含む、請求項1に記載の方法。
- 理論密度の少なくとも75%の密度を有する圧密体へと圧密された金属粉末を含む粉末冶金物品であって、
前記金属粉末が球状金属粉末を含み、該球状金属粉末が、
a.1.0〜1.4の平均アスペクト比を有する球状形状を有し、
b.ガス不純物を除く該金属粉末の全重量に対して、少なくとも99重量%の金属純度を有し、
c.約0.5ミクロン〜約250ミクロンの平均粒径を有し、
d.約4 g/cc〜約19.3 g/ccの見掛け密度を有し、
e.金属の±3%以内の真密度を有し、かつ、
f.40秒以下のホールフローレートを有する、粉末冶金物品。 - 前記球状金属粉末がプラズマ熱処理されている、請求項38に記載の粉末冶金物品。
- 350 ppm未満の酸素レベルを有する、請求項38に記載の粉末冶金物品。
- 200 ppm未満の酸素レベルを有する、請求項38に記載の粉末冶金物品。
- 前記平均アスペクト比が1.0〜1.25である、請求項38に記載の粉末冶金物品。
- 前記平均アスペクト比が1.0〜1.1である、請求項38に記載の粉末冶金物品。
- 純度が少なくとも99.995重量%である、請求項38に記載の粉末冶金物品。
- 前記平均粒径が約0.5ミクロン〜約10ミクロンである、請求項38に記載の粉末冶金物品。
- 前記平均粒径が約5ミクロン〜約25ミクロンである、請求項38に記載の粉末冶金物品。
- 前記平均粒径が約15ミクロン〜約45ミクロンである、請求項38に記載の粉末冶金物品。
- 前記平均粒径が約35ミクロン〜約75ミクロンである、請求項38に記載の粉末冶金物品。
- 前記平均粒径が約55ミクロン〜約150ミクロンである、請求項38に記載の粉末冶金物品。
- 前記平均粒径が約105ミクロン〜約250ミクロンである、請求項38に記載の粉末冶金物品。
- 前記金属粉末が、以下の性質のうち少なくとも1つを有する、請求項38に記載の粉末冶金物品:
a.約5ミクロン〜25ミクロンのD10径、又は、
b.約20ミクロン〜80ミクロンのD90径。 - ニオブ、タンタル、又はその組み合わせを含む、請求項38に記載の粉末冶金物品。
- BBC金属を含む、請求項38に記載の粉末冶金物品。
- 前記金属粉末が、非球状金属粉末を更に含む、請求項38に記載の粉末冶金物品。
- 前記非球状金属粉末が、角状金属粉末、フレーク状金属粉末、又は団塊状金属粉末を含む、請求項54に記載の粉末冶金物品。
- 前記金属粉末が、1重量%〜99重量%の前記球状金属粉末と、1重量%〜99重量%の前記非球状金属粉末とを含む、請求項54に記載の粉末冶金物品。
- 前記金属粉末が、25重量%〜75重量%の前記球状金属粉末と、25重量%〜75重量%の前記非球状金属粉末とを含む、請求項54に記載の粉末冶金物品。
- 前記金属粉末が、50重量%〜99重量%の前記球状金属粉末と、1重量%〜50重量%の前記非球状金属粉末とを含む、請求項54に記載の粉末冶金物品。
- 前記金属粉末が、75重量%〜99重量%の前記球状金属粉末と、1重量%〜25重量%の前記非球状金属粉末とを含む、請求項54に記載の粉末冶金物品。
- 前記球状金属粉末が、平均粒径に対して、少なくとも2つの異なるサイズ分画を有する、請求項38に記載の粉末冶金物品。
- 前記球状金属粉末が、約10ミクロン〜約25ミクロンの平均粒径を有する第1のサイズ分画と、約26ミクロン〜約45ミクロンの平均粒径を有する第2のサイズ分画とを含む、請求項38に記載の粉末冶金物品。
- スパッタターゲットとしての請求項38に記載の粉末冶金物品と、バッキングプレートとを含むスパッタリングターゲット組立体。
- 前記スパッタターゲットが、約18000 psi〜約40000 psiの降伏強度と、約20%以上の破断伸びとを有する、請求項62に記載のスパッタリングターゲット組立体。
- 前記スパッタターゲットが、約99.5%以上の純度を有する、請求項62に記載のスパッタリングターゲット組立体。
- 前記スパッタターゲットが、約300ミクロン以下の平均粒径を有する、請求項62に記載のスパッタリングターゲット組立体。
- 前記スパッタターゲットが、100ミクロン以下の平均粒径を有する、請求項62に記載のスパッタリングターゲット組立体。
- 前記スパッタターゲットが、約50ミクロン以下の平均粒径を有する、請求項62に記載のスパッタリングターゲット組立体。
- 前記スパッタターゲットが、約10ミクロン以下の平均粒径を有する、請求項62に記載のスパッタリングターゲット組立体。
- 前記スパッタターゲットが、前記金属の表面において、又は前記金属の厚さ全体にわたって、ランダム組織を有する、請求項62に記載のスパッタリングターゲット組立体。
- 前記スパッタターゲットが、前記金属の表面において、又は前記金属の厚さ全体にわたって、均一な一次組織を有する、請求項62に記載のスパッタリングターゲット組立体。
- 前記スパッタターゲットが、前記金属の表面において、又は前記金属の厚さ全体にわたって、(111)の均一な一次組織を有する、請求項62に記載のスパッタリングターゲット組立体。
- 前記スパッタターゲットが、前記金属の表面において、又は前記金属の厚さ全体にわたって、ランダム組織を有する、請求項62に記載のスパッタリングターゲット組立体。
- 前記スパッタターゲットが、前記金属の表面において、又は前記金属の厚さ全体にわたって、(110)の均一な一次組織を有する、請求項62に記載のスパッタリングターゲット組立体。
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