JP2021511219A - 微細機械加工素子のアレイを含むデバイスを設計及び製造するためのプロセス、そのようなプロセスの最後に得られるデバイス - Google Patents
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Abstract
Description
トポロジーを規定するステップでは、汎用基板は、汎用基板のグループから選択され、これらの基板は、基板を互いに区別する事前に確立された特性を有し、
規定するステップは、汎用基板を汎用基板のグループから選択するステップを含み、それにより、決定されたトポロジーが所望のトポロジーに可能な限り類似するように規定され、
設計プロセスには、膜の厚さを規定することも含まれ、
決定されたトポロジーを規定するステップは、
素子の膜の寸法及び形状を選択して、前記寸法及び形状が汎用基板の複数のキャビティの形状に対応するようにするステップと、
デバイスがこの基板と位置合わせされているときに、微細機械加工素子の膜がすべて汎用基板の複数のキャビティに対して垂直になるように、平面内の微細機械加工素子の膜の配置を選択するステップと、にあり、
汎用基板の複数のキャビティの配置は規則的で、基板のすべての範囲をカバーし、
微細機械加工素子は、マイクロミラー又は微細機械加工音響トランスデューサ若しくは超音波トランスデューサであり、
汎用基板は、サイズ及び/又は形状がすべて同じではない複数のキャビティを有する。
キャリア上に配置された表面層を含む汎用基板を用意するステップであり、キャリアの主面が表面に現れた複数のキャビティを有し、表面層の部分が複数のキャビティに張り出して複数のキャビティに関連付けられた複数の可撓性膜を形成する、ステップと、
1つのキャビティ及び1つの膜から形成された複数のペアのうちのある特定のペアのみを処理して、少なくとも1つの機能的な微細機械加工素子と、その膜の動きを電気信号に、又はその逆に変換することができない少なくとも1つの残りのペアと、を形成する少なくとも1つのステップと、
を含む。
処理ステップは、膜及び/又はキャビティを除去するステップも含み、
処理ステップは、膜及び/又はキャビティを無力化するステップも含み、
少なくとも1つの処理ステップは、キャビティと膜の複数のペアのうちの一部のペアのみを接続するように構成された導電性要素のアレイを生成するステップを含み、
導電性要素のアレイの生成は、複数のキャビティの一部のキャビティのみに対して垂直に電極を形成するステップを含み、
本プロセスは、複数の可撓性膜の厚さを調整するステップを含み、
汎用基板は、キャリアの主面と表面層との間に中間層を含み、
本プロセスは、表面層に少なくとも1つの第1の電極を堆積させるステップを含み、
本プロセスは、少なくとも第1の電極に圧電層を堆積させるステップを含み、
本プロセスは、圧電層に第2の電極を堆積させるステップを含む。
本デバイスは、キャビティと膜の複数のペアのうちの一部のペアのみを接続するように構成された導電性要素のアレイを備え、
微細機械加工素子は、マイクロミラー又は微細機械加工音響トランスデューサ若しくは超音波トランスデューサである。
したがって、一態様によると、本発明は、複数のキャビティを含む汎用基板20を規定することを提案する。一例が図2aに断面で概略的に示され、図2bで上方から見られるような、そのような汎用基板20は、キャリア21及びキャリア上に配置された表面層23を含むことができる。この汎用基板は、キャリアの主面と表面層との間に中間層22を含むこともできる。キャリア21は、その主面に開口する表面に現れた複数のキャビティ24を含む。キャリア21の複数のキャビティ24に張り出した表面層23の部分は、可撓性膜を形成する。
別の態様によると、本発明は、微細機械加工素子を含むデバイスを設計するための設計プロセスを提案する。以下に記載される例では、機能的な微細機械加工素子は、微細機械加工超音波トランスデューサであり、デバイスは、音響デバイスである。このプロセスは、デバイスのモデルを確立して、それに続いて汎用基板にデバイスを製造できるようにすることを目的とする。補足的に、本プロセスは、汎用基板から音響デバイスを製造するために実施されなければならない様々なステップを確立することもできる。もちろん、設計プロセスは、トランスデューサの選択された容量性又は圧電性の性質を考慮に入れる。
別の態様によると、本発明は、音響デバイスを製造するための製造プロセス、及びこのプロセスを使用して製造されたデバイスにも関する。上述したように、本製造プロセスの少なくともある特定のステップは、少なくともそれらの主要なパラメータに関して、設計プロセス自体の間に規定されていてもよい。
Claims (13)
- 複数の微細機械加工素子を備えるデバイスを製造するための製造プロセスであって、
キャリア上に配置された表面層(23)を含む汎用基板(20)を用意するステップであって、前記キャリア(21)の主面が表面に現れた複数のキャビティ(24)を有し、前記表面層の部分が前記複数のキャビティに張り出して前記複数のキャビティ(24)に関連付けられた複数の可撓性膜を形成する、ステップと、
1つの膜と1つのキャビティから形成された複数のペアのうちのある特定のペアのみを処理して、少なくとも1つの機能的な微細機械加工素子と、その膜の動きを電気信号に、又はその逆に変換することができない少なくとも1つの残りのペアと、を形成する少なくとも1つのステップと、
を含む、製造プロセス。 - 前記処理ステップが膜及び/又はキャビティを除去するステップを含む、請求項1に記載の製造プロセス。
- 前記処理ステップが、膜及び/又はキャビティを無力化するステップを含む、請求項1又は2に記載の製造プロセス。
- 少なくとも1つの処理ステップが、前記キャビティと膜の複数のペアのうちの一部のペアのみを接続するように構成された導電性要素のアレイを生成するステップを含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の製造プロセス。
- 前記導電性要素のアレイの前記生成が、前記複数のキャビティの一部のキャビティのみに対して電極を垂直に形成するステップを含む、請求項4に記載の製造プロセス。
- 前記複数の可撓性膜の厚さを調整するステップを含む、請求項1〜5のいずれか一項に記載の製造プロセス。
- 前記汎用基板(20)が、前記キャリア(21)の前記主面と前記表面層(23)との間に中間層(22)も含む、請求項1〜6のいずれか一項に記載の製造プロセス。
- 前記表面層(23)に少なくとも1つの第1の電極を堆積させるステップを含む、請求項1〜7のいずれか一項に記載の製造プロセス。
- 前記第1の電極に少なくとも圧電層を堆積させるステップを含む、請求項8に記載の製造プロセス。
- 前記圧電層に第2の電極を堆積させるステップを含む、請求項9に記載の製造プロセス。
- キャリア(21)及び前記キャリア上に配置された表面層(23)を含むデバイスであって、前記キャリア(21)の主面が表面に現れた複数のキャビティ(24)を有し、前記表面層の部分が前記複数のキャビティに張り出して前記複数のキャビティ(24)に関連付けられた複数の可撓性膜を形成し、1つのキャビティ(24)と1つの可撓性膜から形成された複数のペアのうちのある特定のペアのみが機能的な微細機械加工素子のセットを形成するように構成され、少なくとも1つの残りのペアがその膜の動きを電気信号に、又はその逆に変換することができない、デバイス。
- 前記キャビティと膜の複数のペアのうちの一部のペアのみを接続するように構成された導電性要素のアレイを含む、請求項11に記載のデバイス。
- 前記微細機械加工素子が、マイクロミラー、又は微細機械加工音響トランスデューサ若しくは超音波トランスデューサである、請求項11又は12に記載のデバイス。
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