JP2021508058A - 流動下のナノ懸濁液のインプロセス粒径測定のための方法および装置 - Google Patents
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Abstract
Description
の少なくとも一方から試料中のコロイド粒子の粒径および粒径分布の少なくとも一方を示す情報を導出する工程と、を含む、ステップを含む、流動懸濁液中のコロイド粒子の特性を監視するための方法を提供することによって対処される。
から取得され得る。自己相関関数またはパワースペクトルは、懸濁した粒子の流動とブラウン運動によって同時に引き起こされたI(t,z)の時間変動を特性化する。本発明の一目的は、ブラウン運動と関連付けられた信号変動を分離および特性化し、それによって流動懸濁液の粒径特性を抽出する方法を提供することである。
を取得し、この情報から、懸濁液における関連光路長のデータの分析からのプロセス関連の時間スケールでの平均粒径分布、流動および散乱特性を取得し得る。z分解データから、その単一散乱特性が当てはまる懸濁液における最大光路長が自動的に分析され、それによって、単一散乱分析に適した光路長の範囲が拡張され、それに応じて信号レベルが改善され得る。よって、低濃度から高濃度までの正確な粒径特性化が数秒以内に達成され得る。後方散乱光を測定するさらなる利点は、他の角度では信号を支配し、PSD分解を制限し得る、大きな粒子からの相対的な散乱強度を低減させること、であり得る。インラインPSD分析に関して、本開示は、動的なプロセス条件でさえも測定または試料採取のために流動を停止することなくPSD分析を実現する、z依存散乱信号変動に対する流動の影響を測定および説明するための装置および分析方法を提供する。
の評価と、G(τ,z)または
へのz依存の流動誘起寄与を定量化し、それによって懸濁液流動プロファイルを定量化するための反復データ適合と、G(τ,z)または
に対する流動補正の実行と、ブラウン運動を表す自己相関gB(τ,z)または周波数パワースペクトル
の抽出と、gB(τ,z)の適切な光路長平均値<gB(τ)>、または
の
に基づく粒径分布の分析とを含み得る。1次処理ステップと2次処理ステップはどちらも、より短い時間スケールで(実装およびハードウェアに応じて、例えば、約5〜60秒の範囲内で)測定された特性を提供するためにCPU、GPUまたはFPGAベースの計算を使用して行われ得る。これらの時間スケールをさらに短縮するために並列計算および/またはマルチスレッドが使用されてもよい。
および
式(1)は、低開口数の光学系(レンズ13など)およびコヒーレンス体積における多くの非相互作用NPを仮定している。振幅因子γ(z)は、光学系の検出器特性および試料散乱特性によって設定され、gB(τ,z)は、ブラウン運動を反映し、ストークス・アインシュタイン関係と式(1)の右辺とによって局所粒径分布を特性化する。式(1)の右辺において、ΓB=Dr(4πn/λc)2は、流体力学半径rでNPから散乱されたLCI信号の非相関率である(Drは拡散係数、nは溶媒屈折率、λcは真空中の光源中心波長である)。さらに、Fz(ΓB)は、ΓBが範囲[ΓB,ΓB+dΓB]内にあり、よってPSDを表す半径でNPから散乱された信号I(z)の割合である。K(ΓBτ,ξ)の形は、単一粒径の自己相関の減衰を記述する。式(2の)パラメータαξ、Lp,ξ(pは整数)は、コヒーレンス長ξに依存し、[Popov]の結果から導出することができる。ξ>〜4μmでは、αξ、L±1,ξは、K(ΓBτ,ξ)=exp(−ΓBτ)になるように無視できるほどになり、式(1)の右辺は、Fz(ΓB)の標準ラプラス変換になる。
および
式中、gB(τ,z)は、式(1)に記載されるように、ブラウン運動およびPSDを表す項である。項gF,x(τ,vx(z))は、減衰率Γx(z)=vx(z)/wのガウシアンによって特性化される横断流から生じ、vx(z)は局所横方向速度、wは(光学系固有の)焦点における実効ビームウエストである。最後の項gF,z(τ,z)は、光軸に沿った流動の影響を表す。z分解FDLCI−PCSデータを式(3)と組み合わせることにより、インライン測定中に散乱光が取得される深さにわたって典型的に発生する局所的な流動および速度変動を特性化することが可能になる。流動およびブラウン運動の影響が混合され平均化される標準PCSと対照的に、粒径測定に必要とされる寄与gB(τ,z)はよって、流動を考慮することによりG(τ,z)から抽出され得る。
によるgB(τ,z)の平均化を使用してG(τ,z)から平均ブラウン寄与<gB(τ)>を抽出する、データ分析方式を提供する。
が計算される。
を含み得る、結果として得られるデータは、監視中の統計的プロセス制御のために格納され得る。
が取得され得る光路長分解周波数パワースペクトル
を使用した分析も行われ得る。流動寄与の分析は、流動境界の近くの光路長の初期ブラウンパワースペクトル
から開始し、
からの
の逆畳み込みに続いて、
の対応するガウス形式を使用してΓxを適合し、Γx(z)への低次多項式適合からvx(z)を決定し、
を再分析し、(時間領域分析の場合と同様に取得されたZssを平均して
を得て、そこから標準的な方法を使用してPSDを取得することを含み得る。
からの粒径およびPSDの直接測定であるが、G(τ,z)または
の他の特性、例えば、経験的適合によって取得されたそれらの時間(周波数)および光路長依存性を記述するパラメータも、プロセス監視または制御のための流動懸濁液の特性化に使用され得る。
流動コロイド懸濁液を含む試料を準備するステップと、
フーリエドメイン、FD、低コヒーレンス干渉法、LCIを使用して流動コロイド懸濁液のコロイド粒子の粒径および粒径分布の少なくとも一方を非侵襲的に監視するステップであって、監視するステップが、時間、t、および光路長、z、分解LCI光散乱信号I(t,z)を干渉のt分解LCI波長スペクトルから導出する工程と、τが遅延時間を表す、I(t,z)のz分解時間的自己相関関数G(τ,z)およびωが周波数を表す、I(t,z)のz分解周波数パワースペクトル
の少なくとも一方からコロイド粒子の粒径および粒径分布の少なくとも一方を示す情報を導出する工程とを含む、ステップと
を含む方法。
G(τ,z)から、コロイド粒子のブラウン運動を表す、zおよびτ依存の自己相関gB(τ,z)を決定するステップと
をさらに含む、項目1に記載の方法。
をさらに含む、項目2に記載の方法。
から、流動誘起LCI信号変動に関連した、z分解パワースペクトル
およびブラウン運動誘起変動を表す、関連付けられたz分解パワースペクトル
を導出するステップと、
から、z平均パワースペクトル
を導出するステップと、を含む、項目1に記載の方法。
から、粒径および粒径分布の少なくとも一方に関連した情報を導出するステップをさらに含む、項目5に記載の方法。
参照光路と流動コロイド懸濁液を含む試料とを同時に照明するように構成された低コヒーレンス光源と、
参照光路から反射された光と流動懸濁液から散乱された光を混合して干渉信号を取得する手段と、
参照光路から反射された光と流動懸濁液を含む試料から散乱された光との間の干渉の時間分解LCI波長スペクトルを検出するように構成された検出器と、
取得された干渉のLSI波長スペクトルから、時間、t、および光路長、z、分解LCI光散乱信号、I(t,z)、を導出し、τが遅延時間である、I(t,z)のz分解時間的自己相関関数G(τ,z)から、またはωが周波数である、I(t,z)の周波数パワースペクトル
からコロイド粒子の粒径および粒径分布の少なくとも一方を示す情報を導出するように構成されたデータ取得および処理ユニットと
を備え、低コヒーレンス光源が広帯域光源または掃引光源であり、掃引光源が波長掃引光源である、FDLCI装置。
Claims (14)
- 流動ナノ懸濁液中のナノ粒子の特性を決定するための方法であって、
流動ナノ懸濁液を含む試料を準備するステップと、
フーリエドメイン、FD、低コヒーレンス干渉法、LCIを使用して前記流動ナノ懸濁液のナノ粒子の粒径および粒径分布の少なくとも一方を非侵襲的に決定するステップであって、前記監視するステップが、時間、t、および光路長、z、分解LCI光散乱信号I(t,z)を干渉のt分解LCI波長スペクトルから導出する工程と、τが遅延時間を表す、I(t,z)のz分解時間的自己相関関数G(τ,z)から前記ナノ粒子の前記粒径および前記粒径分布の前記少なくとも一方を示す情報を導出する工程とを含む、ステップと、
G(τ,z)から、前記ナノ懸濁液の前記流動に関連したzおよびτ依存の非相関因子gF(τ,z)を決定するステップと、
G(τ,z)から、前記ナノ粒子のブラウン運動を表すzおよびτ依存の自己相関、gB(τ,z)を決定するステップと、
G(τ,z)から、前記ナノ懸濁液におけるz<ZssのgB(τ,z)が測定雑音内のzと無関係である、前記流動ナノ懸濁液における光子平均自由行程を表す、特性的光路長、Zss、を決定するステップと、
前記流動ナノ懸濁液におけるz<ZssのgB(τ,z)に基づき、単一散乱光を表す平均自己相関関数、<gB(τ)>、を決定し、<gB(τ)>を使用して、前記ナノ粒子の前記粒径および前記粒径分布の前記少なくとも一方に関する前記情報を抽出する光子相関分光法、PCS、分析を行うステップと、
を含む、方法。 - 流動ナノ懸濁液中のナノ粒子の特性を決定するための方法であって、
流動ナノ懸濁液を含む試料を準備するステップと、
フーリエドメイン、FD、低コヒーレンス干渉法、LCIを使用して前記流動ナノ懸濁液のナノ粒子の粒径および粒径分布の少なくとも一方を非侵襲的に決定するステップであって、前記監視するステップが、時間、t、および光路長、z、分解LCI光散乱信号I(t,z)を干渉のt分解LCI波長スペクトルから導出する工程と、ωが周波数を表す、I(t,z)のz分解時間的周波数パワースペクトル、
から前記ナノ粒子の前記粒径および前記粒径分布の前記少なくとも一方を示す情報を導出する工程とを含む、ステップと、
から、前記ナノ懸濁液の前記流動に関連したz分解パワースペクトル、
を決定するステップと、
から、前記ナノ粒子のブラウン運動を表すz分解パワースペクトル、
を決定するステップと、
から、前記ナノ懸濁液におけるz<Zssの
が測定雑音内のzと無関係である、前記流動ナノ懸濁液における光子平均自由行程を表す、特性的光路長、Zss、を決定するステップと、
前記流動ナノ懸濁液におけるz<Zssの
に基づき、単一散乱光を表す平均パワースペクトル、
を決定し、
から、前記ナノ粒子の前記粒径および前記粒径分布の前記少なくとも一方に関連した情報を導出するステップと、
を含む、方法。 - 約300nm〜3000nmの中心波長を有する低コヒーレンス光を使用し、掃引光源法またはスペクトル領域法を使用して前記FDLCIを行うステップであって、前記掃引光源法が波長掃引光源を用いる、ステップをさらに含む、請求項1または2に記載の方法。
- 前記ナノ懸濁液を、測定窓から約3mmの光路長以内で最大で約40mm/sの速度で、または前記測定窓から約1mm以内で最大で約80s−1のせん断速度で流すステップをさらに含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記ナノ粒子の前記粒径または最大寸法が約10nm〜3μm、好ましくは約15nm〜1000nmであり、前記方法が、この粒径範囲内の前記粒径および前記粒径分布の少なくとも一方を決定するステップを含む、請求項1〜4のいずれか一項に記載の方法。
- 前記ナノ懸濁液が、約10nm〜3μm、好ましくは約15nm〜1000nmの範囲内の少なくとも2つの粒径のナノ粒子を含む多分散懸濁液である、請求項1〜5のいずれか一項に記載の方法。
- I(t,z)を導出する前記ステップ、およびI(t,z)に基づいて前記ナノ粒子の前記粒径および前記粒径分布の前記少なくとも一方を示す前記情報を取得する前記ステップが、周期的または連続的に繰り返される、請求項1〜6のいずれか一項に記載の方法。
- 前記ナノ粒子の前記粒径および前記粒径分布の前記少なくとも一方を示す前記情報を導出する前記工程が、前記懸濁液中の前記ナノ粒子の濃度と無関係に行われる、請求項1〜7のいずれか一項に記載の方法。
- 前記ナノ粒子の前記粒径および前記粒径分布の前記少なくとも一方を示す前記決定された情報に基づいてプロセスを制御するステップをさらに含む、請求項1〜8のいずれか一項に記載の方法。
- 前記ナノ粒子の前記粒径および前記粒径分布の前記少なくとも一方に関する前記情報に基づいて懸濁液を分類するステップと、前記ナノ粒子の前記粒径および前記粒径分布の前記少なくとも一方を示す前記情報に基づいてFDLCI機器および前記監視するステップを制御するステップとをさらに含む、請求項1〜9のいずれか一項に記載の方法。
- プロセスにおいて流動ナノ懸濁液中のナノ粒子の特性を決定するためのフーリエドメイン、FD、低コヒーレンス干渉法、LCI装置であって、
参照光路と前記流動ナノ懸濁液を含む試料とを同時に照明するように構成された低コヒーレンス光源と、
前記参照光路から反射された光と前記流動懸濁液から散乱された光を混合して干渉信号を取得する手段と、
前記参照光路から反射された前記光と前記流動懸濁液を含む前記試料から散乱された前記光との間の干渉の時間分解LCI波長スペクトルを検出するように構成された検出器と、
前記取得された干渉のLCI波長スペクトルから、時間、t、および光路長、z、分解LCI光散乱信号、I(t,z)、を導出し、τが遅延時間である、I(t,z)のz分解時間的自己相関関数、G(τ,z)、から前記ナノ粒子の粒径および粒径分布の少なくとも一方を示す情報を導出し、G(τ,z)から、前記ナノ懸濁液の前記流動に関連したzおよびτ依存の非相関因子gF(τ,z)を決定し、G(τ,z)から、前記ナノ粒子のブラウン運動を表すzおよびτ依存の自己相関、gB(τ,z)を決定し、G(τ,z)から、前記ナノ懸濁液におけるz<ZssのgB(τ,z)が測定雑音内のzと無関係である、前記流動ナノ懸濁液における光子平均自由行程を表す、特性的光路長、Zss、を決定し、前記流動ナノ懸濁液におけるz<ZssのgB(τ,z)に基づき、単一散乱光を表す平均自己相関関数、<gB(τ)>、を決定し、<gB(τ)>を使用して、前記ナノ粒子の前記粒径および前記粒径分布の前記少なくとも一方に関する前記情報を抽出する光子相関分光法、PCS、分析を行うように構成されたデータ取得および処理ユニットと、
を備え、前記低コヒーレンス光源が広帯域光源または掃引光源であり、前記掃引光源が波長掃引光源である、FDLCI装置。 - プロセスにおいて流動ナノ懸濁液中のナノ粒子の特性を決定するためのフーリエドメイン、FD、低コヒーレンス干渉法、LCI装置であって、
参照光路と前記流動ナノ懸濁液を含む試料とを同時に照明するように構成された低コヒーレンス光源と、
前記参照光路から反射された光と前記流動懸濁液から散乱された光を混合して干渉信号を取得する手段と、
前記参照光路から反射された前記光と前記流動懸濁液を含む前記試料から散乱された前記光との間の干渉の時間分解LCI波長スペクトルを検出するように構成された検出器と、
前記取得された干渉のLCI波長スペクトルから、時間、t、および光路長、z、分解LCI光散乱信号、I(t,z)、を導出し、ωが周波数を表す、I(t,z)のz分解時間的周波数パワースペクトル、
から前記ナノ粒子の粒径および粒径分布の少なくとも一方を示す情報を導出し、
から、前記ナノ懸濁液の前記流動に関連したz分解パワースペクトル
を決定し、
から、前記ナノ粒子のブラウン運動を表すz分解パワースペクトル、
B(ω,z)
を決定し、
から、前記ナノ懸濁液におけるz<Zssの
が測定雑音内のzと無関係である、前記流動ナノ懸濁液における光子平均自由行程を表す、特性的光路長、Zss、を決定し、前記流動ナノ懸濁液におけるz<Zssの
に基づき、単一散乱光を表す平均パワースペクトル、
を決定し、
から、前記ナノ粒子の前記粒径および前記粒径分布の前記少なくとも一方に関連した情報を導出するように構成されたデータ取得および処理ユニットと、
を備え、前記低コヒーレンス光源が広帯域光源または掃引光源であり、前記掃引光源が波長掃引光源である、FDLCI装置。 - 前記流動ナノ懸濁液中の前記ナノ粒子の前記粒径および前記粒径分布の前記少なくとも一方を非侵襲的に監視するように構成された制御ユニットであって、前記データ取得および処理ユニットならびに少なくとも1つのプロセスパラメータのうちの少なくとも1つを制御するようにさらに構成される、制御ユニットをさらに備える、請求項11または12に記載のFDLCI装置。
- コンピュータによって実行されると、前記コンピュータに請求項1〜10のいずれか一項に記載の方法を実行させる命令を含むコンピュータ可読媒体。
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