JP2021506097A - X線源のための回転式アノード - Google Patents
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Abstract
Description
− 基材と、
− 基材に形成された対象領域と、
を備える、回転アノードX線源のための回転可能アノードが提供される。
− 排気されたエンベロープと、
− 排気されたエンベロープ内に収容された回転式ベアリングにおいて支持された、第1の態様又は第1の態様の任意選択的な実施形態による回転可能アノードと、
− 動作中にX線の出射をもたらすように回転可能アノードに向けて電子を加速するように配向された、排気されたエンベロープ内に収容されたカソードと、
を備える。
a)回転可能アノード基材を提供することと、
b)基材の表面上に第1の材料の第1の層を堆積させることと、
c)第1の層の表面に第2の材料の第2の層を堆積させることと、
を有し、
対象領域における第1の層と第2の層との間の厚さ比が、0.5から2.0の範囲内である、
回転可能アノードを製造する方法が提供される。第1の材料は、第2の材料に比べて、より大きい機械的弾性をもち、第2の材料は、第1の材料に比べて、より高い熱伝導性をもつ。
d)1500℃から3200℃の範囲内の温度まで回転可能アノード基材を加熱することにより、第1の層及び第2の層とともに回転可能アノード基材を焼結すること
をさらに有する。
− 基材42と、
− 基材42に形成された対象領域44と、
を備える、回転アノードX線源のための回転可能アノード40が提供される。
− 排気されたエンベロープと、
− 排気されたエンベロープ内に収容された回転式ベアリングにおいて支持された第1の態様又は第1の態様の実施形態による回転可能アノードと、
− 動作中にX線の出射をもたらすように回転可能アノードに向けて電子を加速するように配向された排気されたエンベロープ内に収容されたカソードと、
を備える、回転式アノードX線管が提供される。
b)基材の表面上に第1の材料の第1の層を堆積させることと(62)、
c)第1の層の表面に第2の材料の第2の層を堆積させることと(64)、
を有する、回転可能アノードを製造する方法である。
対象領域における第1の層と第2の層との間の厚さ比は、0.5から2.0の範囲内である。
Claims (14)
- 基材と、
前記基材に形成された対象領域と、
を備え、
前記対象領域が、前記基材の表面に堆積させられた第1の材料の第1の層と、前記第1の層の表面に堆積させられた第2の材料の第2の層とを備える多層コーティングを備え、前記対象領域における前記多層コーティングの前記第1の層と前記第2の層との間の厚さ比が、0.5から2.0の範囲内であり、
前記第1の材料が、前記第2の材料に比べて、より大きい機械的弾性をもち、前記第2の材料が、前記第1の材料に比べて、より高い熱伝導性をもつ、
回転アノードX線源のための回転可能アノード。 - 前記対象領域における前記第1の層と前記第2の層との間の前記厚さ比が、0.95から1.05の範囲内である、
請求項1に記載の回転可能アノード。 - 前記第1の層と前記第2の層との合計の厚さが、5μmから60μmの範囲内である、
請求項1又は2に記載の回転可能アノード。 - 前記第1の材料が、レニウム、タンタル、炭化タンタル、又は炭化タングステンである、
請求書1から3のいずれか一項に記載の回転可能アノード。 - 前記第2の材料が、タングステン、イリジウム、又はタングステンレニウム合金である、
請求項1から4のいずれか一項に記載の回転可能アノード。 - 前記第2の材料が、純タングステンであり、前記第2の層が、5μmから60μmの範囲内の厚さをもつ、
請求項5に記載の回転可能アノード。 - 前記対象領域における前記第2の材料の表面が、1500℃より高い温度における熱的な焼結工程により平滑化された、
請求項1から6のいずれか一項に記載の回転可能アノード。 - 前記対象領域における前記第2の材料の前記表面が、5μmより低い表面粗さをもつ、
請求項7に記載の回転可能アノード。 - 前記対象領域が、前記回転可能アノードの第1のエリアとして提供され、非対象領域が、前記回転可能アノードの第2のエリアを含み、前記第1の材料の前記第1の層が、前記基材の前記第2のエリアの表面に追加的に堆積させられた、
請求項1から8のいずれか一項に記載の回転可能アノード。 - 前記基材が、炭素複合材料又はグラファイトから形成された、
請求項1から9のいずれか一項に記載の回転可能アノード。 - 排気されたエンベロープと、
前記排気されたエンベロープ内に収容された回転式ベアリングにおいて支持された請求項1から10のいずれか一項に記載の回転可能アノードと、
動作中にX線の出射をもたらすように前記回転可能アノードに向けて電子を加速するように配向された前記排気されたエンベロープ内に収容されたカソードと、
を備える、回転式アノードX線管。 - 前記回転式ベアリングが、液体金属潤滑剤を備える流体力学的ベアリング、又は、滑り軸受である、
請求項11に記載の回転式アノードX線管。 - a)回転可能アノード基材を提供するステップと、
b)前記回転可能アノード基材の表面上に第1の材料の第1の層を堆積させるステップと、
c)前記第1の層の表面に第2の材料の第2の層を堆積させるステップと、
を有し、
対象領域における前記第1の層と前記第2の層との間の厚さ比が、0.5から2.0の範囲内であり、
前記第1の材料が、前記第2の材料に比べて、より大きい機械的弾性をもち、前記第2の材料が、前記第1の材料に比べて、より高い熱伝導性をもつ、
回転可能アノードを製造する方法。 - d)1500℃から3200℃の範囲内の温度まで前記回転可能アノード基材を加熱することにより前記第1の層及び前記第2の層とともに前記回転可能アノード基材を焼結するステップをさらに有する、
請求項13に記載の回転可能アノードを製造する方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP17206337.2 | 2017-12-11 | ||
EP17206337.2A EP3496128A1 (en) | 2017-12-11 | 2017-12-11 | A rotary anode for an x-ray source |
PCT/EP2018/084350 WO2019115519A1 (en) | 2017-12-11 | 2018-12-11 | A rotary anode for an x-ray source |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021506097A true JP2021506097A (ja) | 2021-02-18 |
JPWO2019115519A5 JPWO2019115519A5 (ja) | 2023-05-29 |
JP7309745B2 JP7309745B2 (ja) | 2023-07-18 |
Family
ID=60661807
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020550915A Active JP7309745B2 (ja) | 2017-12-11 | 2018-12-11 | X線源のための回転式アノード |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11469071B2 (ja) |
EP (2) | EP3496128A1 (ja) |
JP (1) | JP7309745B2 (ja) |
CN (1) | CN111466008A (ja) |
WO (1) | WO2019115519A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US10989822B2 (en) | 2018-06-04 | 2021-04-27 | Sigray, Inc. | Wavelength dispersive x-ray spectrometer |
GB2591630B (en) | 2018-07-26 | 2023-05-24 | Sigray Inc | High brightness x-ray reflection source |
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2017
- 2017-12-11 EP EP17206337.2A patent/EP3496128A1/en not_active Withdrawn
-
2018
- 2018-12-11 JP JP2020550915A patent/JP7309745B2/ja active Active
- 2018-12-11 EP EP18812208.9A patent/EP3724911A1/en active Pending
- 2018-12-11 CN CN201880080069.6A patent/CN111466008A/zh active Pending
- 2018-12-11 WO PCT/EP2018/084350 patent/WO2019115519A1/en unknown
- 2018-12-11 US US16/770,979 patent/US11469071B2/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20200388461A1 (en) | 2020-12-10 |
WO2019115519A1 (en) | 2019-06-20 |
EP3496128A1 (en) | 2019-06-12 |
JP7309745B2 (ja) | 2023-07-18 |
US11469071B2 (en) | 2022-10-11 |
EP3724911A1 (en) | 2020-10-21 |
CN111466008A (zh) | 2020-07-28 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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