JP2021501899A - スピン共鳴分光法のためのループギャップ共振器 - Google Patents

Abstract

電子スピン共鳴分光法及び量子計算に適用可能な改良されたループギャップ共振器は、互いに入り組んだコンデンサ構造を採用して、ループサイズの対応する縮小と共に、共振器のキャパシタンスを劇的に増加させて、少量の試料または個々の量子ビット（キュービット）の測定を可能にする。互いに入り組んだコンデンサ構造は、寄生インダクタンスを最小にするように設計される。【選択図】図３

Description

〔連邦政府が資金提供をした研究に関する記載〕
本発明は、全米科学財団認可番号ＤＭＲ−１３１０１３５及びＤＭＲ−１７０８６９２の下に政府支援を受けて行われた。政府は、発明に一定の権利を有する。

電子常磁性共鳴分光法（ＥＰＲ）とも呼ばれる電子スピン共鳴分光法（ＥＳＲ）は、化学反応中、または、他の動的プロセス中の過渡的な場合でも、金属原子を持つ有機体及び生体分子を含む化学種と、ラジカルまたは不対電子が存在し得る任意の化学種とに存在する不対電子の周囲の局所的な原子及び分子環境の検査に使用できる分析法である。大抵のＥＳＲ分光器においては、分析する材料の試料に大きい磁界が印加されることによって、磁界が印加されなければ、互いに同じエネルギーを持ち得る（縮退状態）の電子スピン状態のスペクトル分離（分割）を誘導する。マイクロ波スペクトル領域にあるのが一般的であるが、それに限らない電磁放射線が、典型的には磁界の変調と共に、磁界にある試料に照射されて、試料の分光測定を行う、すなわち、試料の量子状態を読み取る。あるＥＳＲ測定は、例えば、準位間の分割が、スピン軌道結合等、他の影響によって誘導される場合、外部から印加された磁界の存在無しで、行うことができる。ＥＳＲは、ごく少量の物質の検査に使用できる高感度な分光技術である。

ループギャップ共振器は、照射された電磁放射線からの振動する磁界を検査中の試料に集中させることによってＥＳＲ測定の感度を向上させる電子スピン共鳴分光器で使用される構成要素である。ループギャップ共振器は、「集中素子」共振器と呼ばれる素子のクラスにあり、単一の一体化構造に電気インダクタンス及びキャパシタンスの両方を含む。一体化構造は、一般的に環状導体として構築され、その円周に沿って中断部を有する。

共振器の集中素子設計を用いて、放射線の波長より小さい長さスケールで、すなわち、レイリー限界を超えて、放射線を閉じ込めることができ、ＥＳＲ分光器で従来、より多く使用されていた空洞共振器を用いて生成できるよりずっと高い放射野の生成を可能にする。ループは、一般的に分析する試料を取り囲み、電気インダクタンスを提供し、ループの中断部によって形成されたギャップは、電気キャパシタンスに寄与する、インダクタンスとキャパシタンスは一緒になって共振器の共振周波数を決める。検査する試料の寸法に応じて、試料の周りのループは、軸の長さに沿って円筒の壁にギャップを有する細長い円筒として製造されてよい、または、平面にループの中断部を有するほぼ平面状のループとして形成されてよい。このような相対的に平面状のループは、フォトリソグラフィ、エッチング、機械加工、または、光析出等、任意の加算的または減算的な製造方法を使用して、選択された製造技術が利用可能な任意のサイズスケールで、製造されてよい。

非常に小さい試料を検査する分野の１つは、量子計算であり、ここでは、状態の重ね合わせ及び量子エンタングルメント等の量子特性を活用して、あるクラスの計算問題を取り扱う能力を劇的に向上させる。量子計算は、現在、非常に技術開発の活発な分野であり、分子スケールの試料に使用できる新しい素子の大きな需要が明らかになっている。

ループギャップ共振器は、現在、マイクロリットルスケールの試料ボリュームを検査する一部のＥＳＲ分光器で使用されているが、生化学、ナノテクノロジー、及び、量子計算を含む分野における継続的な進歩によって、より小さい試料のＥＳＲ分析を支援できるループギャップ共振器の開発の必要性が生まれた。

本発明の一態様は、電磁放射を試料に結合する共振器である。共振器は、導電性部材を含む。導電性部材を通る開口部は、共振器の誘導性ループを画定し、試料の少なくとも一部分は、開口部内に位置してよい。導電性部材を通る屈曲した経路に従う細長い連続したギャップが、開口部と導電性部材の外側境界との間に延びる。細長いギャップは、電気キャパシタンスを共振器に提供する。キャパシタンスは、屈曲した経路の長さに比例してよく、ギャップの幅に反比例してよい。共振器のキャパシタンスとインダクタンスは一緒になって、共振器の共振周波数を規定する。

共振器は、様々な技術によって製造されてよい。例えば、導電性部材は、非導電性または誘電体の基板を覆う金属または他の導電層であってよい。さらに、誘電材料が、導電性部材の一部分または全てを覆ってよい、または、塗布されてよい、且つ、屈曲した経路に沿ったギャップの全てまたは一部を埋めるように製造されてよい。この覆っている誘電体層は、共振器のキャパシタンスを変更（増加）するように塗布されてよい。共振器は、例えば、マイクロエレクトロニクス技術または薄膜製造技術を用いて製造されるように、ほぼ平面状であってよい。あるいは、共振器の表面は、非平面状であってよい、または、共振器は、物理的に柔軟であってよい。共振器は、例えば、機械技術、化学技術、電気技術、または、光加工技術を用いて製造されるように、バルク材料から製造されてもよい。

連続した屈曲経路は、幾つかの形態のいずれかを有してよい。例えば、屈曲した経路は、任意の数の直線または曲線の長さセグメントを含んでよく、セグメント間で方向が変わる。方向の変化は、長さセグメント間の方向の反転であってよく、ギャップの両側の導電性材料が互いに入り込んでいると説明できる、すなわち、人間の手の交差させた指の外観に似ているジグザグ経路を形成する。別の実施形態（図示せず）においては、コンデンサは、三次元であり、屈曲した経路を画定し、誘電体層によって分けられた導電性材料の２つ以上の層を含むことによって、一層の導電体を用いて達成できるより大きいキャパシタンスを有する共振器の構築を容易にする。例えば、第１の導電層を覆い、第１の導電層から絶縁された第２の導電層を有する本発明の共振器のキャパシタンスは、１つの導電層のみを有する類似の大きさの共振器のキャパシタンスの２倍以上を有するように設計できる。脚部間の方向の変化は急であるとして図２に示すが、これらの移行部は、本発明の範囲内でなめらかであってもよく、曲線状であってもよい。様々な実施形態において、方向の変化または反転の数は、８以下、３８以下、または、個々の適用例に合わせた工学的要件及び共振器の性能要件を満たす任意の数であってよい。発明の共振器は、例えば、１０ナノメートルより小さいギャップ幅を含む、物理的に小さい寸法を有してよい。共振器と共に使用する試料は、１つの磁性分子と同じくらい小さくてよい。

本発明のシステムは、量子コンピュータで使用できる等、キュービット（量子ビット）の量子状態の測定及び変更の１つまたは両方に適用できる。システムは、本発明の共振器と、共振器の開口部内に少なくとも部分的に位置する試料と、試料に共振を誘導するために、共振器の共振周波数で磁界と電磁放射とを同時に印加する外部手段とを含む。

本発明の別の態様は、試料の量子状態を測定及び変更する方法である。方法は、共振器の開口部と外縁との間に延びる屈曲したギャップによって画定される、キャパシタンスを有するループギャップ共振器の開口部内に試料の少なくとも一部分を配置することと、磁界及び電磁放射に試料を同時にさらすことと、試料からの共振信号を検出することとを含む。開口部と、開口部に位置する試料の部分とは、１０ナノメートル、または、それより小さい物理的寸法を有し得る。

本発明の様々な態様及び実施形態の他の特徴及び利点は、以下の記載と請求項とから明らかとなろう。

本発明は、添付の請求項に詳細に記載される。発明の上記態様及びさらなる態様は、以下の記載を添付の図面と共に参照することで、よりよく理解され得る。図面中、類似の番号は、様々な図面において、類似の構造的要素及び特徴を示す。図面は、必ずしも縮尺どおりではなく、発明の原理を示すことに重点をおいている。

ＥＳＲ分光器で使用し得る先行技術のループギャップ共振器を概略的に示す図である。 ２つの方向反転を有するジグザグのギャップ経路を有する本発明によるループギャップ共振器を概略的に示す図である。 共振器の外側境界に向かって長さが減少する脚部を含むジグザグのギャップ経路を有し、ギャップの断面と等しい断面を有するループを画定する本発明のループギャップ共振器を概略的に示す図である。 経路が共振器の利用可能な表面エリアのほとんどを占めるように、長さが増加し、その後、長さが減少する脚部を含むジグザグのギャップ経路を有する本発明のループギャップ共振器を概略的に示す図である。 従来の機械加工法を用いて製造された、本発明によるループギャップ共振器の例示の実施形態を示す図である。 本発明によるループギャップ共振器の量子計算への適用を概略的に示す図である。

ＥＳＲ測定と量子計算とに使用されるループギャップ共振器への改良を本明細書に開示する。これらの適用において、ループギャップ共振器は、量子状態の測定または読取の感度を有利に向上させ、分析のために試料を置く位置に、大きく、かなり均一な振動磁界を提供する。

図１は、ＥＳＲ分光器で使用可能な先行技術のループギャップ共振器１００を概略的に示す。共振器１００は、ほぼ円形の導電性ディスク１０２を含み、導電性ディスク１０２は、外側の実質的に外周である境界１０４と、ディスク１０２を通る開口部１０６とを有し、開口部１０６は、境界１０４内全体に位置し、その中に試料を受けるための適切なエリアを有するのが分かる。共振器１００は、ほぼ平面状で、平面の上から見た図が示されているが、原則として、平面に垂直な軸に沿って任意の厚さを有し得る。ＥＳＲ測定で使用するためには、検査される試料は、実質的に開口部１０６に置かれる。開口部１０６の周囲の導電性経路は、ループギャップ共振器１００のループを含み、ループにインダクタンスを与える。共振器１００は、開口部１０６の周囲のループを中断し、開口部１０６から境界１０４に延びる物理的ギャップ１０８を含むことも分かり、ギャップ１０８は、キャパシタンスを含む。従って、ループギャップ共振器１００は、実質的に、ｌ／ｓｑｒｔ（ＬＣ）に比例する共振周波数を有するＬＣ共振器であり、ここで、Ｌは、インダクタンスを表し、Ｃは、キャパシタンスを表す。

ＥＳＲの電子スピン状態の検出可能な分割に対応するエネルギーは、電磁スペクトルのマイクロ波放射線領域に幅広くあり、印加された磁界の強さに依存する。商用のＥＳＲ分光器の大半は、一般的にＸ−バンドと呼ばれるもので、約８〜１２ＧＨｚ（ギガヘルツ）の周波数範囲で動作するが、これは限定ではなく、ＥＳＲ測定は、原則として、マイクロ波と、例えば、無線周波数（ＲＦ）、ミリ波、テラヘルツもしくは光周波数範囲まで延びる、隣接するスペクトル領域の任意の部分で行われてよい。

マイクロ波放射線は、ＥＳＲ測定を行うために、典型的に導波路または同軸ケーブルによって共振器に導かれる。さらに、導波路及び共振器の寸法は、測定が行われている電磁放射周波数に固有である。ＥＳＲ測定装置の動作パラメータは、マイクロ波電力（振幅）、磁界の強さ及び方向、試料の向き（結晶試料の場合）、ならびに、共振器の設計を含んでよい。最適のＥＳＲ信号を取得するために、試料を置く共振器の物理的寸法は、試料の物理的寸法とよく適合することが好ましい。

本発明の態様は、珍しい、または、合成が難しい生化学種の試料等、非常に小さい試料を検査するためのループギャップ共振器と、量子情報技術の開発に使用される素子等のナノスケール素子の提供であり、ここで、目的は、数個または１つの原子もしくは分子スケールの種、または、量子ドットもしくは化学的に合成された磁性分子等、１つまたは複数のナノメートルスケールの人工的に製造された素子の量子状態のＥＳＲ測定を行うことである。ループギャップ共振器に非常に小さい断面のループを備えることは、このような試料の検査に望ましい。任意の選択されたマイクロ波周波数において、ループ寸法の縮小は、ループのインダクタンスを減少させ、それに応じて、共振器の標的共振周波数の維持により大きいキャパシタンスが必要とされる。

本発明によるループギャップ共振器２００を図２に概略的に示す。共振器２００は、図１に示す対応する要素１０２、１０４及び１０６と類似した、外側境界２０４及び貫通開口部２０６を有する導電性ディスク２０２を含むことが分かる。断面をほぼディスク形状として図２に示すが、本発明によるループギャップ共振器は、ループギャップ共振器の個々の設計に対する工学的需要を満たす任意の断面形状を有してよい。開口部２０６は、ループギャップ共振器２００のループを含む。発明の共振器２００、及び、本明細書に開示の他の共振器は、説明的な目的のために、ほぼ平面状（例えば、平面状基板の上に製造された薄膜素子）として図に示され、平面の上から見ているが、発明の共振器は、原則として、図示の表面に垂直な方向に任意の厚みを有することができる。さらに、本発明による共振器は、例えば、曲面の基板表面上に製造されることによって、曲面を有してよい、または、共振器としての機能を維持しながら、製品素子が柔軟または曲がるように、柔軟材料から製造されてよい。本明細書に開示の共振器の全ての実施形態は、曲面上及び平面状の表面を含むことを意図していることを理解されたい。

図１に示す線形のギャップ１０８とは異なって、図２のループギャップ共振器２００は、開口部２０６と境界２０４との間に屈曲した経路を備えたギャップ２０８を含む。屈曲した経路は、互いに反対方向に交互に延びる複数の脚部２１０を含むことによって、開口部２０６と境界２０４との間の架空の直線的な経路から逸脱しているのが分かる。脚部２１０は、連続した経路の方向を反転すると図に示すように、各端部で曲がり角２１２によって相互に接続されているのが示されている。本明細書では、このパターンをジグザグ経路と称し、図２に示す容量性構造を、互いに入り組んでいる（すなわち、交差させた手の指に一見似ている）として、電気的接触無しに、開口部２０６と境界２０４との間の架空の直線経路にわたって延びるギャップ２０８の両側の部分を述べている。

図２に示す互いに入り組んだ構造は、図１に示す共振器の経路に比べた経路の長さの増加にほぼ比例してキャパシタンスを増加させ、それに応じて、所与の共振周波数に対して、開口部２０６を小さくすることができる。開口部（ループ）が小さくなると、試料が配置されるループ内の放射磁界が強くなる。この設計は、より小さい試料を検査するための、より高い感度と対応する能力とを約束する。

互いに入り組んだコンデンサ構造のさらなる特徴は、電流は、経路の交互になった脚部に沿って反対方向に流れ、対応する磁界が、第１のオーダーまで打ち消し合うことである。この結果、コンデンサのインダクタンスは非常に低くなる。まとめると、発明の設計は、ループギャップ共振器２００のキャパシタンスを、大きい寄生インダクタンスを取り込むことなく、劇的に増加させることができる。さらに、本発明のループギャップ共振器のキャパシタンスは、ギャップ上またはギャップ内への誘電材料の載置または配置を制御することによって、所望の値に調整できる。このように使用できる誘電材料の制限的ではない１つの実施例は、サファイヤ（アルミナ）である。ある実施形態においては、共振周波数は、上を覆う誘電材料の追加によって低くなる。ある実施形態においては、ギャップ２０８の経路に沿った方向の曲がり角２１２の数は、偶数である。さらなる実施形態においては、方向の偶数の反転は、隣り合う脚部２１０に沿った磁界の相殺を支援する。

より一般的に言うと、屈曲した経路は、本発明のループギャップ共振器の開口部と境界との間の経路の有効な長さの増加を容易にする任意の数の脚部と脚部間の任意の数の方向の変化とを含み得る。例えば、連続した脚部２１０は、図２では、互いにほぼ平行に向いているとして示されているが、他の実施形態においては、連続した脚部は、互いにゼロ以外の角度をなして向いてよい。さらに別の実施形態においては、脚部は、それ自体、曲がっている。

図３は、本発明によるループギャップ共振器３００の別の実施形態を概略的に示す。ここで、互いに入り組んだコンデンサ構造３０２は、複数の脚部３０６と対応する方向の変化３０８とを有するギャップ３０４に沿って、ジグザグ経路として示される屈曲した経路を画定して、図２に示すループギャップ共振器２００に比べて、ギャップ３０４の長さをさらに増加させ、対応するキャパシタンスを増加させる。図示の実施形態においては、ギャップ３０４のジグザグ経路は、方向の８つの反転を含む。様々な実施形態においては、ジグザグ経路内に設計される方向の変化の数は、共振器の個々の適用例、共振器の利用可能な物理的空間の量、及び、キャパシタンスとほぼ反比例するギャップの幅に合わせて、望ましいキャパシタンスの量の１つまたは複数によって決定される。実施形態の非制限的な例は、（以下の図４に示すように）方向の２から３８の任意の数の変化と、共振器に所望のキャパシタンスを達成するために必要な場合の任意のより多い数の方向の変化を含む。

別の実施形態においては、経路に沿った連続的な脚部３０６の長さは、共振器３００の境界３１０から共振器３００を通って開口部３１２への経路に沿って増加する。さらに別の実施形態においては、開口部３１２の直径は、ギャップ３０４の幅以下である。さらなる実施形態においては、開口部３１２は、ギャップ３０４の終端を含む。さらに別の実施形態においては、開口部３１２は、ギャップ３０４の半円の端部を含む。さらに、境界３１０に沿った開口部の周囲から余分な材料が取り除かれたことが図３から分かる。これは、共振器のインダクタンスをさらに低下させ得る。

図４は、本発明によるループギャップ共振器４００のさらに別の実施形態を概略的に示す。ここで、互いに入り組んだコンデンサ構造４０２とギャップ４０４に沿った対応するジグザグ経路とは、共振器４００の開口部４０６と境界４０８との間の共振器４００のエリアの大半を埋めるように構成され、所与のギャップ幅に対する共振器のキャパシタンスを最大にする例示の実施形態を示す。この実施形態においては、脚部の長さは、最初に、増加し、その後、開口部４０６からの距離に応じて、減少して、共振器４００の利用可能な表面のエリアとキャパシタンスとの使用を最大にする。ある実施形態においては、経路は、共振器４００を別の構造（図示せず）に取り付けるための取り付け手段４１０等、共振器４００の設計に関連付けられた物理的制約に従う。図に示すように、共振器４００は、ジグザグ経路で３８の方向の反転を含むことが示される。ペンシルバニア州カノンズバーグにあるＡＮＳＹＳ Ｉｎｃ．，Ｃａｎｏｎｓｂｕｒｇ，ＰＡの高周波電磁界システムソフトウェアを用いた図４の実施形態のモデル化は、図１に示す先行技術のループギャップ共振器の設計と比べて、約２１倍、開口部の放射磁界が強化されることを予測した。

図５は、先細の、互いに入り組んだコンデンサ構造５０２を含む、本発明によるループギャップ共振器５００の例示の実施形態を概略的に示す。共振器５００は、直径約１ｃｍで、従来の機械加工法を用いて、無酸素銅から製造された。実験室で作られたＥＳＲ分光器を用いた最初のテストにおいて、共振器は、１．５ＧＨｚの設計周波数で動作し、Ｑ（品質）係数６００を有した。先行技術の設計の直線経路を有する同様の共振器は、４．５ＧＨｚの周波数と、Ｑ約１５００を有することが分かった。

本発明によるループギャップ共振器は、その中の試料と相互作用するのに使用される放射線の波長より小さいサイズの高い放射野を共振器に提供することができ、共振器を、パルス放射線技術を用いて、量子計算の基本的なビルディングブロックである、キュービットの量子状態の制御及び測定のための優れた素子にする。図６は、量子計算に適用するための、本発明によるナノスケールのループギャップ共振器６００を概略的に示す。一実施形態においては、ループギャップ共振器６００の寸法は、キュービットとして振舞い得る１つの分子磁石への結合を提供するようにスケーリングされる。本発明による共振器を使うと、キュービットの量子状態の操作、制御、及び、読み出しを可能にする。ある実施形態においては、キュービットの量子状態の操作、制御、及び、読み出しは、電磁放射のパルスの共振器への印加を含む。

共振器６００は、図４の共振器４００の開口部４０６と機能的に同等である開口部６０２を含むことが示されている。図６にも示されているのは、図４に示すギャップ４０４と機能的に同等であるギャップ６０４の一部分である。ギャップ６０４の残りは、図６には示していないが、図４の互いに入り組んだジグザグパターンに機能的に類似した経路に従う。非制限的な実施例においては、開口部６０２は、ＥＳＲまたはＮＭＲ（核磁気共鳴）分光法等、スピン共鳴技術を用いて、操作、制御、及び、測定できる（矢印として表される）量子状態６０８を有する１つの磁性分子を含む（図６に円形として示されている）試料６０６を含む。様々な実施形態において、試料６０６は、スピン共鳴分光技術を用いた測定に適した任意の化学もしくは分子種、または、キュービットを実現する任意の量子物体であってよく、その非制限的な実施例は、１つの磁性分子、量子ドット、及び、ダイヤモンドの窒素空孔色中心を含む。適切な磁性種の実施例は、Ｃｒ_７Ｍ分子環を含んでよく、ここで、Ｍは、Ｎｉ、Ｃｏ、または、Ｍｎ等の遷移金属イオンであってよい。ある実施形態においては、量子物体は、超電導（Ｊｏｓｅｐｈｓｏｎ）素子である。非制限的な実施形態においては、開口部６０２は、１から１０ナノメートルの範囲の断面寸法を有する。様々な実施形態において、量子状態６０８は、電子スピン状態、または、核スピン状態のうちの１つである。ある実施形態においては、ループギャップ共振器６００は、量子コンピュータの１つまたは複数のキュービットの読み取り及び制御回路を含む。

本発明による例示のシステムは、本発明のループギャップ共振器と、共振器の開口部内に少なくとも部分的に位置する試料と、共振器に印加できる磁界源と、ループギャップ共振器の共振と一致するように選択された周波数を有する電磁放射源とを含む。

発明を特定の実施形態に関して記載したが、前述の実施形態は、例示的な実施例としてのみ記載したもので、発明の範囲を制限または規定するものではないことは理解されたい。以下のものを含むが、それに限定されない様々な他の実施形態も、請求項の範囲内にある。例えば、本明細書に記載の要素及び構成要素は、追加の構成要素にさらに分けられてよい、または、まとめられて、同じ機能を行う構成要素の数を少なくしてよい。さらに、本発明による共振器は、複数の開口部を含んでよく、経路は、境界で終了せずに、１つの開口部を別の開口部に接続してよい。

さらに、本明細書に開示の共振器は、円筒形、または、円形でほぼ平面状の形状であるとして示されているが、共振器の性能を最適にするように選択された他の幾何学的形状またはより複雑な形状を含む、多くの他の形状も可能である。さらに、本発明によるループギャップ共振器は、曲面のまたは柔軟な素子として製造されてよい。ＥＳＲ及び量子計算への適用に加えて、本発明の共振器は、核磁気共鳴（ＮＭＲ）、及び、高周波共振器を採用する他の技術にも適用される。

Claims (20)

1. 電磁放射を試料に結合する共振器であって、
   導電性部材と、
   前記部材に誘導性ループを画定する前記部材を通る開口部であって、前記試料を前記開口部内に少なくとも部分的に受け入れ可能な前記開口部と、
   前記部材の境界と前記開口部との間に、ある長さを有する屈曲した経路を画定する前記部材の細長いギャップと、を含むことを特徴とする共振器。
2. 前記導電性部材は、誘電体基板を覆う金属層を含むことを特徴とする請求項１に記載の共振器。
3. 前記導電性部材は、ほぼ平面状であることを特徴とする請求項１に記載の共振器。
4. 誘電材料であって、前記導電性部材の少なくとも一部を覆う、及び、前記ギャップの少なくとも一部を埋めるのうちの１つまたは両方である、前記誘電材料をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の共振器。
5. 前記屈曲した経路の前記長さは、前記共振器のキャパシタンスに実質的に比例し、前記ギャップの幅は、前記共振器のキャパシタンスに実質的に反比例することを特徴とする請求項１に記載の共振器。
6. 前記屈曲した経路は、複数の経路セグメントと、前記経路セグメント間の方向の変化を含むことを特徴とする請求項１に記載の共振器。
7. 方向の前記変化の１つまたは複数は、方向の反転を含むことを特徴とする請求項６に記載の共振器。
8. 複数の隣り合う経路セグメントと反転は、前記導電性部材に互いに入り組んだ構造を画定することを特徴とする請求項７に記載の共振器。
9. 前記経路は、少なくとも８つの方向の変化を含むことを特徴とする請求項６に記載の共振器。
10. 前記細長いギャップの前記長さの少なくとも一部は、１０ナノメートル未満のギャップ幅を有することを特徴とする請求項１に記載の共振器。
11. 前記開口部の最大の横方向寸法は、前記ギャップの最小幅以下であることを特徴とする請求項１に記載の共振器。
12. 前記試料は、キュービットを含むことを特徴とする請求項１に記載の共振器。
13. １つまたは複数のキュービットの量子状態の測定及び変更の少なくとも１つのためのシステムであって、
    請求項１に記載の共振器と、
    前記開口部内に少なくとも部分的に位置する試料と、
    前記共振器に適用可能な外部の磁界源と、前記共振器に適用可能で、前記試料に共振を誘導するように選択された周波数を有する電磁放射源と、を含むことを特徴とする前記システム。
14. 試料の量子状態の測定及び変更の少なくとも１つのための方法であって、
    前記共振器の前記開口部と外縁との間に延びる屈曲したギャップによって画定される、キャパシタンスを有するループギャップ共振器の開口部内に、前記試料の少なくとも一部を配置することと、
    磁界と電磁放射とに前記試料を同時にさらすことと、
    前記試料から共振信号を検出することと、を含むことを特徴とする方法。
15. 前記開口部は、１０ナノメートル未満の断面寸法を有することを特徴とする請求項１４に記載の方法。
16. 前記試料は、キュービットを含むことを特徴とする請求項１４に記載の方法。
17. 電磁放射を試料に結合する共振器であって、
    表面を画定する導電性部材であって、前記表面上のエリアと、前記エリアの周囲の外側境界とを有し、前記表面にほぼ垂直な厚さを有する前記導電性部材と、
    前記試料を受け入れる開口部であって、前記厚さ全体を通して延びる前記開口部と、
    前記厚さ全体を通して、且つ、前記開口部を前記境界につなぐ屈曲した経路に沿って延びる連続した細長いギャップであって、前記経路は、複数の隣り合う長さセグメントと前記長さセグメント間の方向の変化とを含む、前記ギャップと、を含み、
    前記ギャップの幅と前記経路の長さとが、前記共振器のキャパシタンスを規定することを特徴とする共振器。
18. 前記表面は、平面状であることを特徴とする請求項１７に記載の共振器。
19. 方向の前記変化の１つまたは複数は、隣り合うセグメント間での方向の反転を含むことを特徴とする請求項１７に記載の共振器。
20. 前記経路は、互いに入り組んだ構造を含むことを特徴とする請求項１７に記載の共振器。

Images