JP2021195474A - Modified siloxane diacid anhydride and polyimide resin - Google Patents

Modified siloxane diacid anhydride and polyimide resin Download PDF

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Abstract

To provide an organically modified siloxane diacid anhydride, and a polyimide resin obtained using the same which is excellent in adhesion.SOLUTION: A modified siloxane diacid anhydride has an acid anhydride group at a terminal and is represented by the following structure. In the chemical formula, G is represented by an organic group that has a main chain having 1 to 50 carbon atoms and contains one or two or more atoms of H atom, O atom, N atom, a halogen atom and S atom; X represents an organic group having an acid anhydride group in the structure; R represents an organic group having 1 to 20 carbon atoms; n is an integer of 0 to 50; and m is an integer of 1 to 50.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、変性シロキサン二酸無水物およびポリイミド樹脂に関する発明である。 The present invention relates to a modified siloxane diic anhydride and a polyimide resin.

ポリイミド樹脂はエレクトロニクス分野において広く利用されている材料であり、樹脂へ柔軟性付与させる目的で、特許文献1に記載されているように、分子中にシロキサン構造を有するポリイミド樹脂も多く提案されている。しかし、合成時に用いるシロキサンジアミン化合物は純度が低く、高温時に低分子シロキサンが揮発することで電気配線での接合不良を起こす問題や、各種基材との密着性に欠けるなどの問題を有している。 Polyimide resin is a material widely used in the field of electronics, and as described in Patent Document 1, many polyimide resins having a siloxane structure in the molecule have been proposed for the purpose of imparting flexibility to the resin. .. However, the siloxane diamine compound used during synthesis has low purity and has problems such as poor bonding in electrical wiring due to volatilization of small molecule siloxane at high temperature and lack of adhesion to various substrates. There is.

一方、特許文献2にはシロキサン構造を有する二酸無水物を用いてポリイミド樹脂を得る技術も提案されている。ただし上記と同様、密着性に欠けるポリイミド樹脂となる課題を有している。 On the other hand, Patent Document 2 also proposes a technique for obtaining a polyimide resin using a diacid anhydride having a siloxane structure. However, as described above, there is a problem that the polyimide resin lacks adhesion.

特開2005−056921号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2005-056921 特許第5873529号Patent No. 5873529

本発明は、有機変性したシロキサン二酸無水物およびそれを用いて得られる密着性に優れるポリイミド樹脂を提供する事を目的とする。 An object of the present invention is to provide an organically modified siloxane diic anhydride and a polyimide resin obtained by using the same and having excellent adhesion.

上記課題を達成の為に検討を重ねた結果、有機変性したシロキサン二酸無水物およびそれを用いて得られるポリイミド樹脂が、柔軟性を有し、かつ、優れた密着性を有する事を見出すに至った。本発明は、以下からなるものである。 As a result of repeated studies to achieve the above problems, it was found that the organically modified siloxane diic anhydride and the polyimide resin obtained by using the organically modified siloxane diic anhydride have flexibility and excellent adhesion. I arrived. The present invention comprises the following.

〔1〕.末端に酸無水物基を有する以下構造で表される変性シロキサン二酸無水物。 [1]. A modified siloxane diacid anhydride having an acid anhydride group at the terminal and represented by the following structure.

Figure 2021195474
Figure 2021195474

(上記化学式において、Gは主鎖の炭素数が1から50であって、H原子、O原子、N原子、ハロゲン原子、S原子のいずれかの原子を一種、又は、2種以上含む有機基で表され、Xは酸無水物基を構造中に有する有機基、Rは炭素数1から20で表される有機基を示し、nは0〜50、mは1〜50の整数である) (In the above chemical formula, G is an organic group having 1 to 50 carbon atoms in the main chain and containing one or more of H atom, O atom, N atom, halogen atom and S atom. , X is an organic group having an acid anhydride group in the structure, R is an organic group represented by 1 to 20 carbon atoms, n is an integer of 0 to 50, and m is an integer of 1 to 50).

〔2〕.(A)1分子中に炭素−炭素二重結合を2個有する化合物、(B)1分子中にSiH基を2個有するケイ素化合物、(C)1分子中に炭素−炭素二重結合および酸無水物基を1個ずつ有する化合物、を反応させることで得られる〔1〕に記載の変性シロキサン二酸無水物。 [2]. (A) A compound having two carbon-carbon double bonds in one molecule, (B) a silicon compound having two SiH groups in one molecule, (C) a carbon-carbon double bond and an acid in one molecule. The modified siloxane diic acid anhydride according to [1], which is obtained by reacting a compound having one anhydride group at a time.

〔3〕.成分(C)が以下に記載される化合物より選ばれる事を特徴とする〔2〕に記載の変性シロキサン二酸無水物。 [3]. The modified siloxane diic acid anhydride according to [2], wherein the component (C) is selected from the compounds described below.

Figure 2021195474
Figure 2021195474

〔4〕.成分(A)がN原子又はS原子を有することを特徴とする〔2〕又は〔3〕に記載の変性シロキサン二酸無水物。 [4]. The modified siloxane diacid anhydride according to [2] or [3], wherein the component (A) has an N atom or an S atom.

〔5〕.成分(A)が以下一般式(c)で表される化合物である事を特徴とする〔4〕に記載の変性シロキサン二酸無水物。 [5]. The modified siloxane diic acid anhydride according to [4], wherein the component (A) is a compound represented by the following general formula (c).

Figure 2021195474
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(式中Rは水素原子又は炭素数1〜50の一価の有機基を示す)
〔6〕.〔1〕〜〔5〕に記載の変性シロキサン二酸無水物とジアミン化合物又はジイソシアネート化合物とを反応させる事により得られるポリイミド樹脂。
(R in the formula indicates a hydrogen atom or a monovalent organic group having 1 to 50 carbon atoms)
[6]. A polyimide resin obtained by reacting the modified siloxane diic anhydride according to [1] to [5] with a diamine compound or a diisocyanate compound.

本発明によれば有機変性したシロキサン二酸無水物およびそれを用いて得られる密着性に優れるポリイミド樹脂を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide an organically modified siloxane diic anhydride and a polyimide resin having excellent adhesion obtained by using the same.

(変性シロキサン二酸無水物)
上記、変性シロキサン二酸無水物は、末端に酸無水物基を有する以下構造で表される変性シロキサン二酸無水物。
(Modified siloxane diic acid anhydride)
The above-mentioned modified siloxane diichydride is a modified siloxane dianohydride having an acid anhydride group at the terminal and represented by the following structure.

Figure 2021195474
Figure 2021195474

(上記化学式において、Gは主鎖の炭素数が1から50であって、H原子、O原子、N原子、ハロゲン原子、S原子のいずれかの原子を一種、又は、2種以上含む有機基で表され、Xは酸無水物基を構造中に有する有機基、Rは炭素数1から20で表される有機基を示し、nは0〜50、mは1〜50の整数である) (In the above chemical formula, G is an organic group having 1 to 50 carbon atoms in the main chain and containing one or more of H atom, O atom, N atom, halogen atom and S atom. , X is an organic group having an acid anhydride group in the structure, R is an organic group represented by 1 to 20 carbon atoms, n is an integer of 0 to 50, and m is an integer of 1 to 50).

ここで言う構造Gとは、主鎖の炭素数が1から50であって、H原子、O原子、N原子、ハロゲン原子、S原子のいずれかの原子を一種、又は、2種以上含む有機基で表され、特に限定されるものではない。当発明で得られるポリイミド樹脂では、構造Gを有さないシロキサン分子を有する樹脂と比較して基材との密着性・樹脂強度を向上させるために有効であり、かつ、ポリイミド樹脂の特長である耐熱性を損なう事無く導入する観点から、下記に示すヒドロシリル化反応を用いて導入する方法が好ましい。 The structure G referred to here is an organic having 1 to 50 carbon atoms in the main chain and containing one or more of H atom, O atom, N atom, halogen atom and S atom. It is expressed as a group and is not particularly limited. The polyimide resin obtained by the present invention is effective for improving the adhesion to the substrate and the resin strength as compared with the resin having a siloxane molecule having no structure G, and is a feature of the polyimide resin. From the viewpoint of introduction without impairing the heat resistance, the method of introduction using the hydrosilylation reaction shown below is preferable.

以下、ヒドロシリル化反応を用いて変性シロキサン二酸無水物を得るための各必須成分について説明する。 Hereinafter, each essential component for obtaining a modified siloxane diic acid anhydride using a hydrosilylation reaction will be described.

(成分(A):1分子中に炭素−炭素二重結合を2個有する化合物)
上記、変性シロキサン二酸無水物は、成分(A)の1分子中に炭素−炭素二重結合を2個有する化合物と、後述の成分(B)および(C)と反応させることによって得ることが出来る。本件発明中の(A)成分である1分子中に炭素−炭素二重結合を2個含有する化合物であれば特に限定されない。
(Component (A): A compound having two carbon-carbon double bonds in one molecule)
The above-mentioned modified siloxane anhydride can be obtained by reacting a compound having two carbon-carbon double bonds in one molecule of the component (A) with the components (B) and (C) described later. I can. The compound is not particularly limited as long as it is a compound containing two carbon-carbon double bonds in one molecule which is the component (A) in the present invention.

成分(A)の炭素−炭素二重結合としては特に限定されないが、下記一般式(a) The carbon-carbon double bond of the component (A) is not particularly limited, but the following general formula (a)

Figure 2021195474
Figure 2021195474

(式中R4は水素原子あるいはメチル基を表す。)で示される基が反応性の点から好適である。また、原料の入手の容易さからは、 The group represented by (R 4 in the formula represents a hydrogen atom or a methyl group) is suitable from the viewpoint of reactivity. Also, due to the availability of raw materials,

Figure 2021195474
Figure 2021195474

で示される基が特に好ましい。 The groups indicated by are particularly preferred.

成分(A)の炭素−炭素二重結合としては、下記一般式(b)で表される部分構造を環内に有する脂環式の基が硬化物の耐熱性が高いという点から好適である。 As the carbon-carbon double bond of the component (A), an alicyclic group having a partial structure represented by the following general formula (b) in the ring is suitable from the viewpoint of high heat resistance of the cured product. ..

Figure 2021195474
Figure 2021195474

(式中R5は水素原子あるいはメチル基を表す。)また、原料の入手の容易さからは、下記式で表される部分構造を環内に有する脂環式の基が好適である。 (R 5 in the formula represents a hydrogen atom or a methyl group.) Further, from the viewpoint of easy availability of raw materials, an alicyclic group having a partial structure represented by the following formula in the ring is preferable.

Figure 2021195474
Figure 2021195474

炭素−炭素二重結合は成分(A)の骨格部分に直接結合していてもよく、2価以上の置換基を介して共有結合していても良い。2価以上の置換基としては炭素数0〜10の置換基であれば特に限定されないが、構成元素としてC、H、N、O、S、およびハロゲンのみを含むものが好ましい。これらの置換基の例としては、 The carbon-carbon double bond may be directly bonded to the skeleton portion of the component (A), or may be covalently bonded via a divalent or higher substituent. The divalent or higher substituent is not particularly limited as long as it is a substituent having 0 to 10 carbon atoms, but those containing only C, H, N, O, S and halogen as constituent elements are preferable. Examples of these substituents are

Figure 2021195474
Figure 2021195474

Figure 2021195474
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で表される基等が挙げられる。また、これらの2価以上の置換基の2つ以上が共有結合によりつながって1つの2価以上の置換基を構成していてもよい。 Examples include the group represented by. Further, two or more of these divalent or higher substituents may be connected by a covalent bond to form one divalent or higher substituent.

以上のような骨格部分に共有結合する基の例としては、ビニル基、アリル基、メタリル基、アクリル基、メタクリル基、2−ヒドロキシ−3−(アリルオキシ)プロピル基、2−アリルフェニル基、3−アリルフェニル基、4−アリルフェニル基、2−(アリルオキシ)フェニル基、3−(アリルオキシ)フェニル基、4−(アリルオキシ)フェニル基、2−(アリルオキシ)エチル基、2、2−ビス(アリルオキシメチル)ブチル基、3−アリルオキシ−2、2−ビス(アリルオキシメチル)プロピル基、ビニルエーテル基、等が挙げられる。 Examples of the group covalently bonded to the skeleton portion as described above include a vinyl group, an allyl group, a metallicyl group, an acrylic group, a methacryl group, a 2-hydroxy-3- (allyloxy) propyl group, and a 2-allylphenyl group, 3. -Allylphenyl group, 4-allylphenyl group, 2- (allyloxy) phenyl group, 3- (allyloxy) phenyl group, 4- (allyloxy) phenyl group, 2- (allyloxy) ethyl group, 2,2-bis (allyl) Examples thereof include an oxymethyl) butyl group, a 3-allyloxy-2, a 2-bis (allyloxymethyl) propyl group, a vinyl ether group, and the like.

成分(A)の具体的な例としては、ジアリルフタレート、ジエチレングリコールビスアリルカーボネート、トリメチロールプロパンジアリルエーテル、ジアリリデンペンタエリスリット、ジアリルモノメチルイソシアヌレート。ジアリルモノプロピルイソシアヌレート、ジアリルモノグリシジルイソシアヌレート、ジアリルモノベンジルイソシアヌレート、ジアリルジメチルグリコールウリル、1,4−ブタンジオールジビニルエーテル、ノナンジオールジビニルエーテル、1,4−シクロへキサンジメタノールジビニルエーテル、トリエチレングリコールジビニルエーテル、ビスフェノールSのジアリルエーテル、ジビニルベンゼン、ジビニルビフェニル、1,3−ジイソプロペニルベンゼン、1,4−ジイソプロペニルベンゼン、1,3−ビス(アリルオキシ)アダマンタン、1,3−ビス(ビニルオキシ)アダマンタン、ジシクロペンタジエン、ビニルシクロへキセン、1,5−ヘキサジエン、1,9−デカジエン、ジアリルエーテル、ビスフェノールAジアリルエーテル、テトラアリルビスフェノールA、2,5−ジアリルフェノールアリルエーテル Specific examples of the component (A) include diallyl phthalate, diethylene glycol bisallyl carbonate, trimethylolpropane diallyl ether, diallylidene pentaerythritol, and diallyl monomethylisocyanurate. Dialyl monopropyl isocyanurate, diallyl monoglycidyl isocyanurate, diallyl monobenzyl isocyanurate, diallyl dimethyl glycol uryl, 1,4-butanediol divinyl ether, nonanediol divinyl ether, 1,4-cyclohexanedimethanol divinyl ether, tri Ethylene glycol divinyl ether, bisphenol S diallyl ether, divinylbenzene, divinylbiphenyl, 1,3-diisopropenylbenzene, 1,4-diisopropenylbenzene, 1,3-bis (allyloxy) adamantan, 1,3-bis (Vinyloxy) adamantan, dicyclopentadiene, vinylcyclohexene, 1,5-hexadiene, 1,9-decadien, diallyl ether, bisphenol A diallyl ether, tetraallyl bisphenol A, 2,5-diallylphenol allyl ether

Figure 2021195474
Figure 2021195474

Figure 2021195474
Figure 2021195474

等が挙げられる。 And so on.

成分(A)としては、基材との接着性に優れるという観点からは、成分(A)が極性の高いN原子又はS原子を有することが好ましい。具体的な例としては、ジアリルモノメチルイソシアヌレート。ジアリルモノプロピルイソシアヌレート、ジアリルモノグリシジルイソシアヌレート、ジアリルモノベンジルイソシアヌレート、ジアリルジメチルグリコールウリル、ビスフェノールSのジアリルエーテル、などが挙げられる。 As the component (A), it is preferable that the component (A) has a highly polar N atom or an S atom from the viewpoint of excellent adhesiveness to the base material. As a specific example, diallyl monomethyl isocyanurate. Examples thereof include diallyl monopropyl isocyanurate, diallyl monoglycidyl isocyanurate, diallyl monobenzyl isocyanurate, diallyl dimethyl glycol uryl, and bisphenol S diallyl ether.

その中でも特に、耐熱性、耐光性が高いという観点から下記一般式(c)で表されるジアリルモノメチルイソシアヌレート。ジアリルモノプロピルイソシアヌレート、及びその誘導体が特に好ましい。 Among them, diallyl monomethylisocyanurate represented by the following general formula (c) from the viewpoint of high heat resistance and light resistance. Dialyl monopropyl isocyanurate and its derivatives are particularly preferred.

Figure 2021195474
Figure 2021195474

(式中Rは水素原子又は炭素数1〜50の一価の有機基を示す)
で表される化合物が好ましい。
(R in the formula indicates a hydrogen atom or a monovalent organic group having 1 to 50 carbon atoms)
The compound represented by is preferable.

また、炭素−炭素二重結合を2個有するケイ素系化合物も用いる事も出来る。最も一般的に入手し易いものとして、ビニル基末端直鎖状ポリシロキサンが挙げられるが、ジメチルシロキサン単位、ジフェニルシロキサン単位、メチルフェニルシロキサン単位の単一重合体、および、それぞれのシロキサン単位の共重合体についてジメチルビニルシリル基で末端が封鎖されたポリオルガノシロキサン重合体であれば特に限定されない。具体的には、例えば、1,1,3,3−テトラメチルジビニルジシロキサン、1,1,3,3,5,5,―ヘキサメチルジビニルトリシロキサン、1,1,5,5−テトラメチルジビニル−3,3−ジフェニルトリシロキサンなどが、好ましい例として例示される。また、ビニル基末端のポリシロキサン化合物以外のケイ素系化合物も用いる事ができ、例えば、1,4−ビス(ジメチルビニルシリル)ベンゼン、1,4−ビス(ジフェニルビニルシリル)ベンゼン、1,4−ビス(メチルフェニルビニルシリル)ベンゼン、ジビニルジメチルシラン、ジビニルシクロヘキシルメチルシラン、ジビニルフェニルメチルシラン、ジビニルジシクロヘキシルシラン、ジビニルジフェニルシラン、ビス(ビニルジメチルシリル)メタン、ビス(ビニルフェニルメチルシリル)メタン、ビス(ビニルシクロヘキシルメチルシリル)メタン、ビス(ビニルジフェニルシリル)メタン、(ビニルジメチルシリル)(ジビニルメチルシリル)メタン、(ビニルフェニルメチルシリル)(ジビニルメチルシリル)メタン、1,2−ビス(ビニルジメチルシリル)エタン、1,2−ビス(ビニルジフェニルシリル)エタン、1,2−ビス(ジビニルメチルシリル)エタン、1,2−ビス(ジビニルフェニルシリル)エタン、1,3−ビス(ビニルジメチルシリル)プロパン、1,3−ビス(ビニルジフェニルシリル)プロパン、1,4−ビス(ビニルジメチルシリル)ブタン、1,4−ビス(ビニルジフェニルシリル)ブタン、1,5−ビス(ビニルジメチルシリル)ペンタン、1,5−ビス(ビニルジフェニルシリル)ペンタン、1,4−ビス(ビニルジメチルシリル)シクロヘキサン、1,4−ビス(ビニルフェニルメチルシリル)シクロヘキサン、1,4−ビス(ビニルシクロヘキシルメチルシリル)シクロヘキサン、1,4−ビス(ビニルジフェニルシリル)シクロヘキサン、1,3−ビス(ビニルフェニルメチルシリル)シクロヘキサン、1,3−ビス(ビニルシクロヘキシルメチルシリル)シクロヘキサン、1,3−ビス(ビニルジフェニルシリル)シクロヘキサン、1,4−ビス(ビニルジメチルシリル)ベンゼン、1,4−ビス(ビニルフェニルメチルシリル)ベンゼン、1,4−ビス(ビニルシクロヘキシルメチルシリル)ベンゼン、1,4−ビス(ビニルジフェニルシリル)ベンゼン、1,4−ビス(ジビニルメチルシリル)ベンゼン、1,3−ビス(ビニルジメチルシリル)ベンゼン、1,3−ビス(ビニルフェニルメチルシリル)ベンゼン、1,3−ビス(ビニルシクロヘキシルメチルシリル)ベンゼン、1,3−ビス(ビニルジフェニルシリル)ベンゼン、2,6−ビス(ビニルジメチルシリル)ナフタレン、2,6−ビス(ビニルフェニルメチルシリル)ナフタレン、2,6−ビス(ビニルシクロヘキシルメチルシリル)ナフタレン、2,6−ビス(ビニルジフェニルシリル)ナフタレン、2,7−ビス(ビニルジメチルシリル)ナフタレン、2,7−ビス(ビニルフェニルメチルシリル)ナフタレン、2,7−ビス(ビニルシクロヘキシルメチルシリル)ナフタレン、2,7−ビス(ビニルジフェニルシリル)ナフタレン、2,7−ビス(ビニルジメチルシリル)アントラセン、2,7−ビス(ビニルフェニルメチルシリル)アントラセン、2,7−ビス(ビニルシクロヘキシルメチルシリル)アントラセン、2,7−ビス(ビニルジフェニルシリル)アントラセン、2,8−ビス(ビニルジメチルシリル)アントラセン、2,8−ビス(ビニルフェニルメチルシリル)アントラセン、2,8−ビス(ビニルシクロヘキシルメチルシリル)アントラセン、2,8−ビス(ビニルジフェニルシリル)アントラセン、等が挙げられる。 Further, a silicon-based compound having two carbon-carbon double bonds can also be used. The most commonly available one is a vinyl group-terminated linear polysiloxane, which is a monopolymer of dimethylsiloxane unit, diphenylsiloxane unit, methylphenylsiloxane unit, and a copolymer of each siloxane unit. The above is not particularly limited as long as it is a polyorganosiloxane polymer whose end is closed with a dimethylvinylsilyl group. Specifically, for example, 1,1,3,3-tetramethyldivinyldisiloxane, 1,1,3,3,5,5,-hexamethyldivinyltrisiloxane, 1,1,5,5-tetramethyl Divinyl-3,3-diphenyltrisiloxane and the like are exemplified as preferable examples. Further, silicon-based compounds other than the polysiloxane compound at the terminal of the vinyl group can also be used, for example, 1,4-bis (dimethylvinylsilyl) benzene, 1,4-bis (diphenylvinylsilyl) benzene, 1,4-. Bis (methylphenylvinylsilyl) benzene, divinyldimethylsilane, divinylcyclohexylmethylsilane, divinylphenylmethylsilane, divinyldicyclohexylsilane, divinyldiphenylsilane, bis (vinyldimethylsilyl) methane, bis (vinylphenylmethylsilyl) methane, bis ( Vinyl Cyclohexylmethylsilyl) methane, bis (vinyldiphenylsilyl) methane, (vinyldimethylsilyl) (divinylmethylsilyl) methane, (vinylphenylmethylsilyl) (divinylmethylsilyl) methane, 1,2-bis (vinyldimethylsilyl) Etan, 1,2-bis (vinyldiphenylsilyl) ethane, 1,2-bis (divinylmethylsilyl) ethane, 1,2-bis (divinylphenylsilyl) ethane, 1,3-bis (vinyldimethylsilyl) propane, 1,3-Bis (vinyldiphenylsilyl) propane, 1,4-bis (vinyldimethylsilyl) butane, 1,4-bis (vinyldiphenylsilyl) butane, 1,5-bis (vinyldimethylsilyl) pentane, 1, 5-bis (vinyldiphenylsilyl) pentane, 1,4-bis (vinyldimethylsilyl) cyclohexane, 1,4-bis (vinylphenylmethylsilyl) cyclohexane, 1,4-bis (vinylcyclohexylmethylsilyl) cyclohexane, 1, 4-Bis (vinyldiphenylsilyl) cyclohexane, 1,3-bis (vinylphenylmethylsilyl) cyclohexane, 1,3-bis (vinylcyclohexylmethylsilyl) cyclohexane, 1,3-bis (vinyldiphenylsilyl) cyclohexane, 1, 4-Bis (vinyldimethylsilyl) benzene, 1,4-bis (vinylphenylmethylsilyl) benzene, 1,4-bis (vinylcyclohexylmethylsilyl) benzene, 1,4-bis (vinyldiphenylsilyl) benzene, 1, 4-Bis (divinylmethylsilyl) benzene, 1,3-bis (vinyldimethylsilyl) benzene, 1,3-bis (vinylphenylmethylsilyl) benzene, 1,3-bis (vinylcyclohexylmethylsilyl) benzene, 1, 3-Bis (vinyl diphenylsilyl) benzene, 2,6-bis (vinyl di) Methylsilyl) naphthalene, 2,6-bis (vinylphenylmethylsilyl) naphthalene, 2,6-bis (vinylcyclohexylmethylsilyl) naphthalene, 2,6-bis (vinyldiphenylsilyl) naphthalene, 2,7-bis (vinyldimethyl) Cyril) naphthalene, 2,7-bis (vinylphenylmethylsilyl) naphthalene, 2,7-bis (vinylcyclohexylmethylsilyl) naphthalene, 2,7-bis (vinyldiphenylsilyl) naphthalene, 2,7-bis (vinyldimethyl) Cyril) Naphthalene, 2,7-bis (vinylphenylmethylsilyl) anthracene, 2,7-bis (vinylcyclohexylmethylsilyl) anthracene, 2,7-bis (vinyldiphenylsilyl) anthracene, 2,8-bis (vinyldimethyl) Examples thereof include silyl) anthracene, 2,8-bis (vinylphenylmethylsilyl) anthracene, 2,8-bis (vinylcyclohexylmethylsilyl) anthracene, and 2,8-bis (vinyldiphenylsilyl) anthracene.

(成分(B):1分子中にSiH基を2個有するケイ素化合物)
成分(B)としては、SiH基を2個有するケイ素化合物、つまり、Si原子を分子中に有するSiH基を2個有する化合物であれば特に限定せず使用できる。最も一般的に入手し易いものとして、SiH基末端直鎖状ポリシロキサンが挙げられるが、ジメチルシロキサン単位、ジフェニルシロキサン単位、メチルフェニルシロキサン単位の単一重合体、および、それぞれのシロキサン単位の共重合体についてジメチルハイドロジェンシリル基で末端が封鎖されたポリオルガノシロキサン重合体であれば特に限定されない。具体的には、例えば、1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン、1,1,3,3,5,5,―ヘキサメチルトリシロキサン、1,1,5,5−テトラメチル−3,3−ジフェニルトリシロキサンなどが、好ましい例として例示される。また、SiH基末端のポリシロキサン化合物以外のケイ素系化合物も用いる事ができ、例えば、1,4−ビス(ジメチルシリル)ベンゼン、1,4−ビス(ジフェニルシリル)ベンゼン、1,4−ビス(メチルフェニルシリル)ベンゼン、などが具体的に挙げられる。
(Component (B): Silicon compound having two SiH groups in one molecule)
The component (B) can be used without particular limitation as long as it is a silicon compound having two SiH groups, that is, a compound having two SiH groups in the molecule. The most commonly available one is a SiH group-terminated linear polysiloxane, which is a single polymer of dimethylsiloxane unit, diphenylsiloxane unit, methylphenylsiloxane unit, and a copolymer of each siloxane unit. The above is not particularly limited as long as it is a polyorganosiloxane polymer whose end is closed with a dimethylhydrogensilyl group. Specifically, for example, 1,1,3,3-tetramethyldisiloxane, 1,1,3,3,5,5,-hexamethyltrisiloxane, 1,1,5,5-tetramethyl-3. , 3-Diphenyltrisiloxane and the like are exemplified as preferable examples. Further, silicon-based compounds other than the polysiloxane compound at the end of the SiH group can also be used, and for example, 1,4-bis (dimethylsilyl) benzene, 1,4-bis (diphenylsilyl) benzene, and 1,4-bis ( Methylphenylsilyl) benzene, etc. are specifically mentioned.

(成分(C):1分子中に炭素−炭素二重結合および酸無水物基を1個ずつ有する化合物)
成分(C)としては、1分子中に炭素−炭素二重結合および酸無水物基を1個ずつ有する化合物であれば特に限定せず使用する事ができる。具体的な例としては、無水マレイン酸、シトラコン酸無水物、イタコン酸無水物、アリルコハク酸無水物、ナジック酸無水物、メチルナジック酸無水物、テトラヒドロ無水フタル酸、テトラヒドロメチル無水フタル酸、テトラメチルフェニル無水フタル酸が挙げられる。反応性の観点より、ナジック酸無水物、メチルナジック酸無水物、アリルコハク酸無水物が好ましい。
(Component (C): A compound having one carbon-carbon double bond and one acid anhydride group in one molecule)
As the component (C), any compound having one carbon-carbon double bond and one acid anhydride group in one molecule can be used without particular limitation. Specific examples include maleic anhydride, citraconic anhydride, itaconic acid anhydride, allylsuccinic anhydride, nadic acid anhydride, methylnagic acid anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, tetrahydromethylphthalic anhydride, and tetramethyl. Phthalic anhydride is mentioned. From the viewpoint of reactivity, nadic acid anhydride, methyl nagic acid anhydride, and allyl succinic acid anhydride are preferable.

(成分(A)、(B)、(C)の反応)
成分(A)、(B)、(C)を反応させ変性シロキサン二酸無水物を得る方法としては、ヒドロシリル化反応を用いる。この場合、スムーズに反応を進行させる目的で触媒を用いても良い。
(Reaction of components (A), (B), (C))
A hydrosilylation reaction is used as a method for obtaining a modified siloxane diic acid anhydride by reacting the components (A), (B) and (C). In this case, a catalyst may be used for the purpose of allowing the reaction to proceed smoothly.

ヒドロシリル化反応の触媒としては、例えば次のようなものを用いることができる。白金の単体、アルミナ、シリカ、カーボンブラック等の担体に固体白金を担持させたもの、塩化白金酸、塩化白金酸とアルコール、アルデヒド、ケトン等との錯体、白金−オレフィン錯体(例えば、Pt(CH2=CH22(PPh32、Pt(CH2=CH22Cl2)、白金−ビニルシロキサン錯体(例えば、Pt(ViMe2SiOSiMe2Vi)n、Pt[(MeViSiO)4m)、白金−ホスフィン錯体(例えば、Pt(PPh34、Pt(PBu34)、白金−ホスファイト錯体(例えば、Pt[P(OPh)34、Pt[P(OBu)34)(式中、Meはメチル基、Buはブチル基、Viはビニル基、Phはフェニル基を表し、n、mは、整数を示す。)、ジカルボニルジクロロ白金、カールシュテト(Karstedt)触媒、また、アシュビー(Ashby)の米国特許第3159601号及び3159662号明細書中に記載された白金−炭化水素複合体、ならびにラモロー(Lamoreaux)の米国特許第3220972号明細書中に記載された白金アルコラート触媒が挙げられる。更に、モディック(Modic)の米国特許第3516946号明細書中に記載された塩化白金−オレフィン複合体も本発明において有用である。 As the catalyst for the hydrosilylation reaction, for example, the following can be used. Platinum alone, a carrier such as alumina, silica, carbon black, etc. on which solid platinum is supported, platinum chloride acid, a complex of platinum chloride acid with alcohol, aldehyde, ketone, etc., a platinum-olefin complex (for example, Pt (CH) 2 = CH 2 ) 2 (PPh 3 ) 2 , Pt (CH 2 = CH 2 ) 2 Cl 2 ), Platinum-vinylsiloxane complex (for example, Pt (ViMe 2 SiOSiMe 2 Vi) n , Pt [(MeViSiO) 4 ] m ), platinum-phosphine complex (eg Pt (PPh 3 ) 4 , Pt (PBu 3 ) 4 ), platinum-phosphite complex (eg Pt [P (OPh) 3 ] 4 , Pt [P (OBu) 3). 4 ) (In the formula, Me is a methyl group, Bu is a butyl group, Vi is a vinyl group, Ph is a phenyl group, and n and m are integers.), Dicarbonyldichloroplatinum, Karstedt catalyst. Also, the platinum-hydrogen complex described in Ashby's US Pat. Nos. 3,159,601 and 3159662, and the platinum alcoholate described in Lamoreoux's US Pat. No. 3220972. Examples include catalysts. Further, the platinum chloride-olefin complex described in Modic's US Pat. No. 3,516,946 is also useful in the present invention.

また、白金化合物以外の触媒の例としては、RhCl(PPh)3、RhCl3、RhAl23、RuCl3、IrCl3、FeCl3、AlCl3、PdCl2・2H2O、NiCl2、TiCl4、等が挙げられる。 Further, examples of catalysts other than platinum compounds, RhCl (PPh) 3, RhCl 3, RhAl 2 O 3, RuCl 3, IrCl 3, FeCl 3, AlCl 3, PdCl 2 · 2H 2 O, NiCl 2, TiCl 4 , Etc. can be mentioned.

これらの中では、触媒活性の点から塩化白金酸、白金−オレフィン錯体、白金−ビニルシロキサン錯体等が好ましい。また、これらの触媒は単独で使用してもよく、2種以上併用してもよい。 Among these, platinum chloride acid, platinum-olefin complex, platinum-vinylsiloxane complex and the like are preferable from the viewpoint of catalytic activity. Further, these catalysts may be used alone or in combination of two or more.

成分(A)、(B)、(C)の反応させる順序については、まず成分(A)と(B)とをSiH基量を多くした条件でヒドロシリル化により反応させ、次に成分(C)を逐次で反応させ、末端に酸無水物基を導入する事によって、変性シロキサン二酸無水物を得る事ができる。 Regarding the reaction order of the components (A), (B), and (C), first, the components (A) and (B) are reacted by hydrosilylation under the condition that the amount of SiH group is increased, and then the component (C) is reacted. A modified siloxane diichydride can be obtained by sequentially reacting with and introducing an acid anhydride group at the terminal.

(ポリイミド樹脂について)
本発明の変性シロキサン二酸無水物を用いて得られるポリイミド樹脂は、一般にジアミン化合物又はジイソシアネート化合物との反応により得られ、特に限定されるものではない。
(About polyimide resin)
The polyimide resin obtained by using the modified siloxane diacid anhydride of the present invention is generally obtained by reaction with a diamine compound or a diisocyanate compound, and is not particularly limited.

本発明のポリイミド合成のために用いるジアミンとしては、例えば、[ビス(4−アミノ−3−カルボキシ)フェニル]メタン、p−フェニレンジアミン、m−フェニレンジアミン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノフェニルエタン、4,4’−ジアミノフェニルエーテル、4,4’−ジジアミノフェニルスルフィド、4,4’−ジジアミノフェニルスルホン、1,5−ジアミノナフタレン、3,3−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、5−アミノ−1−(4’−アミノフェニル)−1,3,3−トリメチルインダン、6−アミノ−1−(4’−アミノフェニル)−1,3,3−トリメチルインダン、4,4’−ジアミノベンズアニリド、3,5−ジアミノ−3’−トリフルオロメチルベンズアニリド、3,5−ジアミノ−4’−トリフルオロメチルベンズアニリド、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、2,7−ジアミノフルオレン、2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン、4,4’−メチレン−ビス(2−クロロアニリン)、2,2’,5,5’−テトラクロロ−4,4’−ジアミノビフェニル、2,2’−ジクロロ−4,4’−ジアミノ−5,5’−ジメトキシビフェニル、3,3’−ジメトキシ−4,4’−ジアミノビフェニル、4,4’−ジアミノ−2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ビフェニル、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)−ビフェニル、1,3’−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3’−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、9,9−ビス(4−アミノフェニル)フルオレン、4,4’−(p−フェニレンイソプロピリデン)ビスアニリン、4,4’−(m−フェニレンイソプロピリデン)ビスアニリン、2,2’−ビス[4−(4−アミノ−2−トリフルオロメチルフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、4,4’−ビス[4−(4−アミノ−2−トリフルオロメチル)フェノキシ]−オクタフルオロビフェニル等の芳香族ジアミン;ジアミノテトラフェニルチオフェン等の芳香環に結合された2個のアミノ基と当該アミノ基の窒素原子以外のヘテロ原子を有する芳香族ジアミン;1,1−メタキシリレンジアミン、1,3−プロパンジアミン、テトラメチレンジアミン、ペンタメチレンジアミン、オクタメチレンジアミン、ノナメチレンジアミン、4,4−ジアミノヘプタメチレンジアミン、1,4−ジアミノシクロヘキサン、イソフォロンジアミン、テトラヒドロジシクロペンタジエニレンジアミン、ヘキサヒドロ−4,7−メタノインダニレンジメチレンジアミン、トリシクロ[6,2,1,02.7]−ウンデシレンジメチルジアミン、4,4’−メチレンビス(シクロヘキシルアミン)等の脂肪族ジアミンおよび脂環式ジアミン等及びそれらの誘導体などが挙げられ、これらを単独で、又は任意の割合で混合した混合物を好ましく用いることができる。 Examples of the diamine used for the polyimide synthesis of the present invention include [bis (4-amino-3-carboxy) phenyl] methane, p-phenylenediamine, m-phenylenediamine, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 4, 4'-Diaminophenyl ethane, 4,4'-diaminophenyl ether, 4,4'-didiaminophenyl sulfide, 4,4'-didiaminophenyl sulfone, 1,5-diaminonaphthalene, 3,3-dimethyl-4 , 4'-Diaminobiphenyl, 5-amino-1- (4'-aminophenyl) -1,3,3-trimethylindan, 6-amino-1- (4'-aminophenyl) -1,3,3- Trimethylindan, 4,4'-diaminobenzanilide, 3,5-diamino-3'-trifluoromethylbenzanilide, 3,5-diamino-4'-trifluoromethylbenzanilide, 3,4'-diaminodiphenyl ether, 2,7-Diaminofluorene, 2,2-bis (4-aminophenyl) hexafluoropropane, 4,4'-methylene-bis (2-chloroaniline), 2,2', 5,5'-tetrachloro- 4,4'-Diaminobiphenyl, 2,2'-dichloro-4,4'-diamino-5,5'-dimethoxybiphenyl, 3,3'-dimethoxy-4,4'-diaminobiphenyl, 4,4'- Diamino-2,2'-bis (trifluoromethyl) biphenyl, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] propane , 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ) Phenyl] Hexafluoropropane, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (3-aminophenoxy) benzene, 4,4'-bis (4-aminophenoxy) -biphenyl, 1, 3'-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3'-bis (3-aminophenoxy) benzene, 9,9-bis (4-aminophenyl) fluorene, 4,4'-(p-phenylene isopropylidene) ) Bisaniline, 4,4'-(m-phenyleneisopropylidene) bisaniline, 2,2'-bis [4- (4-amino-2-trifluoromethylphenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 4,4'-bis [4-( 4-Amino-2-trifluoromethyl) phenoxy] -aromatic diamines such as octafluorobiphenyl; two amino groups bonded to an aromatic ring such as diaminotetraphenylthiophene and heteroatoms other than the nitrogen atom of the amino groups. Aromatic diamines with; 1,1-methoxylylene diamine, 1,3-propanediamine, tetramethylenediamine, pentamethylenediamine, octamethylenediamine, nonamethylenediamine, 4,4-diaminoheptamethylenediamine, 1,4 -Diaminocyclohexane, Isophorondiamine, Tetrahydrodicyclopentadiene diamine, Hexahydro-4,7-Metanoindanylenedimethylenediamine, Tricyclo [6,2,1,02.7] -Undecylendimethyldiamine, 4,4 Examples thereof include aliphatic diamines such as'-methylenebis (cyclohexylamine), alicyclic diamines and derivatives thereof, and a mixture thereof alone or in any ratio can be preferably used.

さらに、樹脂の溶剤への溶解性を向上させ塗布性を確保する目的で、上記、ポリイミド樹脂のポリマー分子中に脂環式構造又はスルホン基を有している事が好ましい。脂環式構造のポリマー分子への導入方法は限定されないが、原料のジアミン、又は、テトラカルボン酸化合物にこれら構造を有しているものを用いる事で簡便に導入する事ができる。ジアミン化合物について記載したが、ジアミン化合物のアミノ基をイソシアネート基に置き換えたジイソシアネート化合物も、ジアミン化合物と同様に用いることができる。 Further, for the purpose of improving the solubility of the resin in the solvent and ensuring the coatability, it is preferable that the above-mentioned polyimide resin has an alicyclic structure or a sulfone group in the polymer molecule. The method for introducing the alicyclic structure into the polymer molecule is not limited, but it can be easily introduced by using a diamine as a raw material or a tetracarboxylic dian compound having these structures. Although the diamine compound has been described, a diisocyanate compound in which the amino group of the diamine compound is replaced with an isocyanate group can also be used in the same manner as the diamine compound.

以下、実施例に基づいて本発明をより詳細に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail based on examples, but the present invention is not limited to the following examples.

(密着性評価)
実施例および比較例で得られたポリイミド樹脂溶液をCu製膜ウェハ基板上に膜厚5μmでスピンコーティングした後250℃1時間ホットプレートで加熱する事で、ポリイミド樹脂膜を形成した。次にJIS K5600−V−VI(ISO2409)に準じてクロ
スカット試験を行い、Cu薄膜への密着性評価を行った。
(Adhesion evaluation)
The polyimide resin solutions obtained in Examples and Comparative Examples were spin-coated on a Cu film-forming wafer substrate with a film thickness of 5 μm and then heated on a hot plate at 250 ° C. for 1 hour to form a polyimide resin film. Next, a cross-cut test was performed according to JIS K5600-V-VI (ISO2409) to evaluate the adhesion to the Cu thin film.

●評価指標
0:剥離無し 1:1〜10%剥離 2:20〜30%剥離
3:50%剥離 4:70〜80%剥離 5:90%以上剥離
● Evaluation index 0: No peeling 1: 1-10% peeling 2: 20-30% peeling 3: 50% peeling 4: 70-80% peeling 5: 90% or more peeling

(耐熱性評価)
熱重量測定装置(TGA、島津製作所製)を用いて、室温から500℃まで10℃/分で昇温させ、1%重量減少温度を指標として評価を行った。
(Heat resistance evaluation)
Using a thermogravimetric measuring device (TGA, manufactured by Shimadzu Corporation), the temperature was raised from room temperature to 500 ° C. at 10 ° C./min, and evaluation was performed using the 1% weight loss temperature as an index.

(実施例1)
500mL四つ口フラスコにトルエン100g、1,1,5,5−テトラメチル−3,3−ジフェニルトリシロキサン15gを入れ、気相部を窒素置換した後、内温105℃で加熱、攪拌した。ジアリルモノメチルイソシアヌレート9g、トルエン10g、白金ビニルシロキサン錯体のキシレン溶液(白金として3wt%含有)0.0163gの混合液を30分かけて滴下した。滴下終了から3時間後に1H−NMRでアリル基の反応率が100%であることを確認し、60℃冷却した。その後、アリルコハク酸無水物1.5gとトルエン3gの混合溶液を滴下した。滴下終了から5時間後に1H−NMRでアリルコハク酸無水物の二重結合の反応率が100%であることを確認し、冷却した反応を終了した。トルエンを減圧留去し、酸無水物基を末端に有する変性シロキサン化合物Aを得た。
(Example 1)
Toluene (100 g) and 1,1,5,5-tetramethyl-3,3-diphenyltrisiloxane (15 g) were placed in a 500 mL four-necked flask, the gas phase portion was replaced with nitrogen, and the mixture was heated and stirred at an internal temperature of 105 ° C. A mixed solution of 9 g of diallyl monomethylisocyanurate, 10 g of toluene, and 0.0163 g of a xylene solution of a platinum vinylsiloxane complex (containing 3 wt% as platinum) was added dropwise over 30 minutes. Three hours after the completion of the dropping , it was confirmed by 1 H-NMR that the reaction rate of the allyl group was 100%, and the mixture was cooled at 60 ° C. Then, a mixed solution of 1.5 g of allyl succinic anhydride and 3 g of toluene was added dropwise. Five hours after the completion of the dropping, 1 H-NMR confirmed that the reaction rate of the double bond of the allyl succinic anhydride was 100%, and the cooling reaction was completed. Toluene was distilled off under reduced pressure to obtain a modified siloxane compound A having an acid anhydride group at the end.

次に、200mLのフラスコ中に、溶剤としてN,N−ジメチルホルムアミド20g、上記で得た変性シロキサン化合物Aを2.5g、2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン1.5gを投入し、室温、窒素雰囲気下で30分間撹拌した。さらにN,N−ジメチルホルムアミド5g、ピリジン0.8g、無水酢酸1.5gを順次フラスコに投入し、90℃に加熱しながら3時間撹拌した。常温に戻ってから、フラスコに500mLのイソプロピルアルコールを投入し、析出物を回収した。更に500mLのイソプロピルアルコールで洗浄を3回行い、得られた析出物を80℃で6時間減圧乾燥し、その後、N,N−ジメチルホルムアミドで50%に希釈してポリイミド樹脂溶液Aを得た。 Next, in a 200 mL flask, 20 g of N, N-dimethylformamide, 2.5 g of the modified siloxane compound A obtained above, and 1.5 g of 2,2-bis (4-aminophenyl) hexafluoropropane were added as a solvent. The mixture was charged and stirred at room temperature and a nitrogen atmosphere for 30 minutes. Further, 5 g of N, N-dimethylformamide, 0.8 g of pyridine and 1.5 g of acetic anhydride were sequentially put into a flask, and the mixture was stirred for 3 hours while heating at 90 ° C. After returning to room temperature, 500 mL of isopropyl alcohol was put into the flask, and the precipitate was collected. Further, washing with 500 mL of isopropyl alcohol was performed three times, and the obtained precipitate was dried under reduced pressure at 80 ° C. for 6 hours, and then diluted to 50% with N, N-dimethylformamide to obtain a polyimide resin solution A.

(実施例2)
500mL四つ口フラスコにトルエン100g、1,1,5,5−テトラメチル−3,3−ジフェニルトリシロキサン15gを入れ、気相部を窒素置換した後、内温105℃で加熱、攪拌した。ジアリルモノプロピルイソシアヌレート8g、トルエン10g、白金ビニルシロキサン錯体のキシレン溶液(白金として3wt%含有)0.0163gの混合液を30分かけて滴下した。滴下終了から3時間後に1H−NMRでアリル基の反応率が100%であることを確認し、60℃冷却した。その後、アリルコハク酸無水物1.5gとトルエン3gの混合溶液を滴下した。滴下終了から5時間後に1H−NMRでアリルコハク酸無水物の二重結合の反応率が100%であることを確認し、冷却した反応を終了した。トルエンを減圧留去し、酸無水物基を末端に有する変性シロキサン化合物Bを得た。
(Example 2)
Toluene (100 g) and 1,1,5,5-tetramethyl-3,3-diphenyltrisiloxane (15 g) were placed in a 500 mL four-necked flask, the gas phase portion was replaced with nitrogen, and the mixture was heated and stirred at an internal temperature of 105 ° C. A mixed solution of 8 g of diallyl monopropyl isocyanurate, 10 g of toluene, and 0.0163 g of a xylene solution of a platinum vinyl siloxane complex (containing 3 wt% as platinum) was added dropwise over 30 minutes. Three hours after the completion of the dropping , it was confirmed by 1 H-NMR that the reaction rate of the allyl group was 100%, and the mixture was cooled at 60 ° C. Then, a mixed solution of 1.5 g of allyl succinic anhydride and 3 g of toluene was added dropwise. Five hours after the completion of the dropping, 1 H-NMR confirmed that the reaction rate of the double bond of the allyl succinic anhydride was 100%, and the cooling reaction was completed. Toluene was distilled off under reduced pressure to obtain a modified siloxane compound B having an acid anhydride group at the end.

次に、200mLのフラスコ中に、溶剤としてN,N−ジメチルホルムアミド20g、上記で得た変性シロキサン化合物Bを2.5g、2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン1.5gを投入し、室温、窒素雰囲気下で30分間撹拌した。さらにN,N−ジメチルホルムアミド5g、ピリジン0.8g、無水酢酸1.5gを順次フラスコに投入し、90℃に加熱しながら3時間撹拌した。常温に戻ってから、フラスコに500mLのイソプロピルアルコールを投入し、析出物を回収した。更に500mLのイソプロピルアルコールで洗浄を3回行い、得られた析出物を80℃で6時間減圧乾燥し、その後、N,N−ジメチルホルムアミドで50%に希釈してポリイミド樹脂溶液Bを得た。 Next, in a 200 mL flask, 20 g of N, N-dimethylformamide, 2.5 g of the modified siloxane compound B obtained above, and 1.5 g of 2,2-bis (4-aminophenyl) hexafluoropropane were added as a solvent. The mixture was charged and stirred at room temperature and a nitrogen atmosphere for 30 minutes. Further, 5 g of N, N-dimethylformamide, 0.8 g of pyridine and 1.5 g of acetic anhydride were sequentially put into a flask, and the mixture was stirred for 3 hours while heating at 90 ° C. After returning to room temperature, 500 mL of isopropyl alcohol was put into the flask, and the precipitate was collected. Further, washing with 500 mL of isopropyl alcohol was carried out three times, and the obtained precipitate was dried under reduced pressure at 80 ° C. for 6 hours, and then diluted to 50% with N, N-dimethylformamide to obtain a polyimide resin solution B.

(実施例3)
500mL四つ口フラスコにトルエン100g、1,1,5,5−テトラメチル−3,3−ジフェニルトリシロキサン15gを入れ、気相部を窒素置換した後、内温105℃で加熱、攪拌した。ビス(p−アリルオキシフェニル)スルホン12g、トルエン10g、白金ビニルシロキサン錯体のキシレン溶液(白金として3wt%含有)0.0163gの混合液を30分かけて滴下した。滴下終了から3時間後に1H−NMRでアリル基の反応率が100%であることを確認し、60℃冷却した。その後、アリルコハク酸無水物1.5gとトルエン3gの混合溶液を滴下した。滴下終了から5時間後に1H−NMRでアリルコハク酸無水物の二重結合の反応率が100%であることを確認し、冷却した反応を終了した。トルエンを減圧留去し、酸無水物基を末端に有する変性シロキサン化合物Cを得た。
(Example 3)
Toluene (100 g) and 1,1,5,5-tetramethyl-3,3-diphenyltrisiloxane (15 g) were placed in a 500 mL four-necked flask, the gas phase portion was replaced with nitrogen, and the mixture was heated and stirred at an internal temperature of 105 ° C. A mixed solution of 12 g of bis (p-allyloxyphenyl) sulfone, 10 g of toluene, and 0.0163 g of a xylene solution of a platinum vinyl siloxane complex (containing 3 wt% as platinum) was added dropwise over 30 minutes. Three hours after the completion of the dropping , it was confirmed by 1 H-NMR that the reaction rate of the allyl group was 100%, and the mixture was cooled at 60 ° C. Then, a mixed solution of 1.5 g of allyl succinic anhydride and 3 g of toluene was added dropwise. Five hours after the completion of the dropping, 1 H-NMR confirmed that the reaction rate of the double bond of the allyl succinic anhydride was 100%, and the cooling reaction was completed. Toluene was distilled off under reduced pressure to obtain a modified siloxane compound C having an acid anhydride group at the end.

次に、200mLのフラスコ中に、溶剤としてN,N−ジメチルホルムアミド20g、上記で得た変性シロキサン化合物Cを2.5g、2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン1.5gを投入し、室温、窒素雰囲気下で30分間撹拌した。さらにN,N−ジメチルホルムアミド5g、ピリジン0.8g、無水酢酸1.5gを順次フラスコに投入し、90℃に加熱しながら3時間撹拌した。常温に戻ってから、フラスコに500mLのイソプロピルアルコールを投入し、析出物を回収した。更に500mLのイソプロピルアルコールで洗浄を3回行い、得られた析出物を80℃で6時間減圧乾燥し、その後、N,N−ジメチルホルムアミドで50%に希釈してポリイミド樹脂溶液Cを得た。 Next, in a 200 mL flask, 20 g of N, N-dimethylformamide, 2.5 g of the modified siloxane compound C obtained above, and 1.5 g of 2,2-bis (4-aminophenyl) hexafluoropropane were placed as a solvent. The mixture was charged and stirred at room temperature and a nitrogen atmosphere for 30 minutes. Further, 5 g of N, N-dimethylformamide, 0.8 g of pyridine and 1.5 g of acetic anhydride were sequentially put into a flask, and the mixture was stirred for 3 hours while heating at 90 ° C. After returning to room temperature, 500 mL of isopropyl alcohol was put into the flask, and the precipitate was collected. Further, washing with 500 mL of isopropyl alcohol was performed three times, and the obtained precipitate was dried under reduced pressure at 80 ° C. for 6 hours, and then diluted to 50% with N, N-dimethylformamide to obtain a polyimide resin solution C.

(実施例4)
500mL四つ口フラスコにトルエン100g、1,1,5,5−テトラメチル−3,3−ジフェニルトリシロキサン15gを入れ、気相部を窒素置換した後、内温105℃で加熱、攪拌した。ジビニルベンゼン4g、トルエン10g、白金ビニルシロキサン錯体のキシレン溶液(白金として3wt%含有)0.0163gの混合液を30分かけて滴下した。滴下終了から3時間後に1H−NMRでアリル基の反応率が100%であることを確認し、60℃冷却した。その後、アリルコハク酸無水物1.5gとトルエン3gの混合溶液を滴下した。滴下終了から5時間後に1H−NMRでアリルコハク酸無水物の二重結合の反応率が100%であることを確認し、冷却した反応を終了した。トルエンを減圧留去し、酸無水物基を末端に有する変性シロキサン化合物Dを得た。
(Example 4)
Toluene (100 g) and 1,1,5,5-tetramethyl-3,3-diphenyltrisiloxane (15 g) were placed in a 500 mL four-necked flask, the gas phase portion was replaced with nitrogen, and the mixture was heated and stirred at an internal temperature of 105 ° C. A mixed solution of 4 g of divinylbenzene, 10 g of toluene, and 0.0163 g of a xylene solution of a platinum vinylsiloxane complex (containing 3 wt% as platinum) was added dropwise over 30 minutes. Three hours after the completion of the dropping , it was confirmed by 1 H-NMR that the reaction rate of the allyl group was 100%, and the mixture was cooled at 60 ° C. Then, a mixed solution of 1.5 g of allyl succinic anhydride and 3 g of toluene was added dropwise. Five hours after the completion of the dropping, 1 H-NMR confirmed that the reaction rate of the double bond of the allyl succinic anhydride was 100%, and the cooling reaction was completed. Toluene was distilled off under reduced pressure to obtain a modified siloxane compound D having an acid anhydride group at the end.

次に、200mLのフラスコ中に、溶剤としてN,N−ジメチルホルムアミド20g、上記で得た変性シロキサン化合物Dを2.5g、2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン1.5gを投入し、室温、窒素雰囲気下で30分間撹拌した。さらにN,N−ジメチルホルムアミド5g、ピリジン0.8g、無水酢酸1.5gを順次フラスコに投入し、90℃に加熱しながら3時間撹拌した。常温に戻ってから、フラスコに500mLのイソプロピルアルコールを投入し、析出物を回収した。更に500mLリットルのイソプロピルアルコールで洗浄を3回行い、得られた析出物を80℃で6時間減圧乾燥し、その後、N,N−ジメチルホルムアミドで50%に希釈してポリイミド樹脂溶液Dを得た。 Next, in a 200 mL flask, 20 g of N, N-dimethylformamide, 2.5 g of the modified siloxane compound D obtained above, and 1.5 g of 2,2-bis (4-aminophenyl) hexafluoropropane were placed as a solvent. The mixture was charged and stirred at room temperature and a nitrogen atmosphere for 30 minutes. Further, 5 g of N, N-dimethylformamide, 0.8 g of pyridine and 1.5 g of acetic anhydride were sequentially put into a flask, and the mixture was stirred for 3 hours while heating at 90 ° C. After returning to room temperature, 500 mL of isopropyl alcohol was put into the flask, and the precipitate was collected. Further washing with 500 mL liter of isopropyl alcohol was performed three times, and the obtained precipitate was dried under reduced pressure at 80 ° C. for 6 hours, and then diluted to 50% with N, N-dimethylformamide to obtain a polyimide resin solution D. ..

(実施例5)
500mL四つ口フラスコにトルエン100g、1,1,5,5−テトラメチル−3,3−ジフェニルトリシロキサン15gを入れ、気相部を窒素置換した後、内温105℃で加熱、攪拌した。ビニルノルボルネン12.5g、トルエン10g、白金ビニルシロキサン錯体のキシレン溶液(白金として3wt%含有)0.0163gの混合液を30分かけて滴下した。滴下終了から3時間後に1H−NMRでアリル基の反応率が100%であることを確認し、60℃冷却した。その後、アリルコハク酸無水物1.5gとトルエン3gの混合溶液を滴下した。滴下終了から5時間後に1H−NMRでアリルコハク酸無水物の二重結合の反応率が100%であることを確認し、冷却した反応を終了した。トルエンを減圧留去し、酸無水物基を末端に有する変性シロキサン化合物Eを得た。
(Example 5)
Toluene (100 g) and 1,1,5,5-tetramethyl-3,3-diphenyltrisiloxane (15 g) were placed in a 500 mL four-necked flask, the gas phase portion was replaced with nitrogen, and the mixture was heated and stirred at an internal temperature of 105 ° C. A mixed solution of 12.5 g of vinyl norbornene, 10 g of toluene, and 0.0163 g of a xylene solution of a platinum vinylsiloxane complex (containing 3 wt% as platinum) was added dropwise over 30 minutes. Three hours after the completion of the dropping , it was confirmed by 1 H-NMR that the reaction rate of the allyl group was 100%, and the mixture was cooled at 60 ° C. Then, a mixed solution of 1.5 g of allyl succinic anhydride and 3 g of toluene was added dropwise. Five hours after the completion of the dropping, 1 H-NMR confirmed that the reaction rate of the double bond of the allyl succinic anhydride was 100%, and the cooling reaction was completed. Toluene was distilled off under reduced pressure to obtain a modified siloxane compound E having an acid anhydride group at the end.

次に、200mLのフラスコ中に、溶剤としてN,N−ジメチルホルムアミド20g、上記で得た変性シロキサン化合物Eを2.5g、2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン1.5gを投入し、室温、窒素雰囲気下で30分間撹拌した。さらにN,N−ジメチルホルムアミド5g、ピリジン0.8g、無水酢酸1.5gを順次フラスコに投入し、90℃に加熱しながら3時間撹拌した。常温に戻ってから、フラスコに500mLのイソプロピルアルコールを投入し、析出物を回収した。更に500mLリットルのイソプロピルアルコールで洗浄を3回行い、得られた析出物を80℃で6時間減圧乾燥し、その後、N,N−ジメチルホルムアミドで50%に希釈してポリイミド樹脂溶液Eを得た。 Next, in a 200 mL flask, 20 g of N, N-dimethylformamide, 2.5 g of the modified siloxane compound E obtained above, and 1.5 g of 2,2-bis (4-aminophenyl) hexafluoropropane were placed as a solvent. The mixture was charged and stirred at room temperature and a nitrogen atmosphere for 30 minutes. Further, 5 g of N, N-dimethylformamide, 0.8 g of pyridine and 1.5 g of acetic anhydride were sequentially put into a flask, and the mixture was stirred for 3 hours while heating at 90 ° C. After returning to room temperature, 500 mL of isopropyl alcohol was put into the flask, and the precipitate was collected. Further, washing with 500 mL liter of isopropyl alcohol was performed three times, and the obtained precipitate was dried under reduced pressure at 80 ° C. for 6 hours, and then diluted to 50% with N, N-dimethylformamide to obtain a polyimide resin solution E. ..

(実施例6)
500mL四つ口フラスコにトルエン100g、1,1,5,5−テトラメチル−3,3−ジフェニルトリシロキサン15gを入れ、気相部を窒素置換した後、内温105℃で加熱、攪拌した。2,2−ビス(3−アリル−4−ヒドロキシフェニル)プロパン11g、トルエン10g、白金ビニルシロキサン錯体のキシレン溶液(白金として3wt%含有)0.0163gの混合液を30分かけて滴下した。滴下終了から3時間後に1H−NMRでアリル基の反応率が100%であることを確認し、60℃冷却した。その後、アリルコハク酸無水物1.5gとトルエン3gの混合溶液を滴下した。滴下終了から5時間後に1H−NMRでアリルコハク酸無水物の二重結合の反応率が100%であることを確認し、冷却した反応を終了した。トルエンを減圧留去し、酸無水物基を末端に有する変性シロキサン化合物Fを得た。
(Example 6)
Toluene (100 g) and 1,1,5,5-tetramethyl-3,3-diphenyltrisiloxane (15 g) were placed in a 500 mL four-necked flask, the gas phase portion was replaced with nitrogen, and the mixture was heated and stirred at an internal temperature of 105 ° C. A mixed solution of 11 g of 2,2-bis (3-allyl-4-hydroxyphenyl) propane, 10 g of toluene, and 0.0163 g of a xylene solution of a platinum vinyl siloxane complex (containing 3 wt% as platinum) was added dropwise over 30 minutes. Three hours after the completion of the dropping , it was confirmed by 1 H-NMR that the reaction rate of the allyl group was 100%, and the mixture was cooled at 60 ° C. Then, a mixed solution of 1.5 g of allyl succinic anhydride and 3 g of toluene was added dropwise. Five hours after the completion of the dropping, 1 H-NMR confirmed that the reaction rate of the double bond of the allyl succinic anhydride was 100%, and the cooling reaction was completed. Toluene was distilled off under reduced pressure to obtain a modified siloxane compound F having an acid anhydride group at the end.

次に、200mLのフラスコ中に、溶剤としてN,N−ジメチルホルムアミド20g、上記で得た変性シロキサン化合物Fを2.5g、2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン1.5gを投入し、室温、窒素雰囲気下で30分間撹拌した。さらにN,N−ジメチルホルムアミド5g、ピリジン0.8g、無水酢酸1.5gを順次フラスコに投入し、90℃に加熱しながら3時間撹拌した。常温に戻ってから、フラスコに500mLのイソプロピルアルコールを投入し、析出物を回収した。更に500mLリットルのイソプロピルアルコールで洗浄を3回行い、得られた析出物を80℃で6時間減圧乾燥し、その後、N,N−ジメチルホルムアミドで50%に希釈してポリイミド樹脂溶液Fを得た。 Next, in a 200 mL flask, 20 g of N, N-dimethylformamide, 2.5 g of the modified siloxane compound F obtained above, and 1.5 g of 2,2-bis (4-aminophenyl) hexafluoropropane were placed as a solvent. The mixture was charged and stirred at room temperature and a nitrogen atmosphere for 30 minutes. Further, 5 g of N, N-dimethylformamide, 0.8 g of pyridine and 1.5 g of acetic anhydride were sequentially put into a flask, and the mixture was stirred for 3 hours while heating at 90 ° C. After returning to room temperature, 500 mL of isopropyl alcohol was put into the flask, and the precipitate was collected. Further washing with 500 mL liter of isopropyl alcohol was performed three times, and the obtained precipitate was dried under reduced pressure at 80 ° C. for 6 hours, and then diluted to 50% with N, N-dimethylformamide to obtain a polyimide resin solution F. ..

(実施例7)
500mL四つ口フラスコにトルエン100g、1,1,5,5−テトラメチル−3,3−ジフェニルトリシロキサン15gを入れ、気相部を窒素置換した後、内温105℃で加熱、攪拌した。1,1,5,5−テトラメチルジビニル−3,3−ジフェニルトリシロキサン12g、トルエン10g、白金ビニルシロキサン錯体のキシレン溶液(白金として3wt%含有)0.0163gの混合液を30分かけて滴下した。滴下終了から3時間後に1H−NMRでアリル基の反応率が100%であることを確認し、60℃冷却した。その後、アリルコハク酸無水物1.5gとトルエン3gの混合溶液を滴下した。滴下終了から5時間後に1H−NMRでアリルコハク酸無水物の二重結合の反応率が100%であることを確認し、冷却した反応を終了した。トルエンを減圧留去し、酸無水物基を末端に有する変性シロキサン化合物Gを得た。
(Example 7)
Toluene (100 g) and 1,1,5,5-tetramethyl-3,3-diphenyltrisiloxane (15 g) were placed in a 500 mL four-necked flask, the gas phase portion was replaced with nitrogen, and the mixture was heated and stirred at an internal temperature of 105 ° C. A mixed solution of 1,1,5,5-tetramethyldivinyl-3,3-diphenyltrisiloxane 12g, toluene 10g, and a xylene solution of a platinum vinylsiloxane complex (containing 3 wt% as platinum) 0.0163g was added dropwise over 30 minutes. did. Three hours after the completion of the dropping , it was confirmed by 1 H-NMR that the reaction rate of the allyl group was 100%, and the mixture was cooled at 60 ° C. Then, a mixed solution of 1.5 g of allyl succinic anhydride and 3 g of toluene was added dropwise. Five hours after the completion of the dropping, 1 H-NMR confirmed that the reaction rate of the double bond of the allyl succinic anhydride was 100%, and the cooling reaction was completed. Toluene was distilled off under reduced pressure to obtain a modified siloxane compound G having an acid anhydride group at the end.

次に、200mLのフラスコ中に、溶剤としてN,N−ジメチルホルムアミド20g、上記で得た変性シロキサン化合物Gを2.5g、2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン1.5gを投入し、室温、窒素雰囲気下で30分間撹拌した。さらにN,N−ジメチルホルムアミド5g、ピリジン0.8g、無水酢酸1.5gを順次フラスコに投入し、90℃に加熱しながら3時間撹拌した。常温に戻ってから、フラスコに500mLのイソプロピルアルコールを投入し、析出物を回収した。更に500mLリットルのイソプロピルアルコールで洗浄を3回行い、得られた析出物を80℃で6時間減圧乾燥し、その後、N,N−ジメチルホルムアミドで50%に希釈してポリイミド樹脂溶液Hを得た。 Next, in a 200 mL flask, 20 g of N, N-dimethylformamide, 2.5 g of the modified siloxane compound G obtained above, and 1.5 g of 2,2-bis (4-aminophenyl) hexafluoropropane were added as a solvent. The mixture was charged and stirred at room temperature and a nitrogen atmosphere for 30 minutes. Further, 5 g of N, N-dimethylformamide, 0.8 g of pyridine and 1.5 g of acetic anhydride were sequentially put into a flask, and the mixture was stirred for 3 hours while heating at 90 ° C. After returning to room temperature, 500 mL of isopropyl alcohol was put into the flask, and the precipitate was collected. Further, washing with 500 mL liter of isopropyl alcohol was performed three times, and the obtained precipitate was dried under reduced pressure at 80 ° C. for 6 hours, and then diluted to 50% with N, N-dimethylformamide to obtain a polyimide resin solution H. ..

(実施例8)
500mL四つ口フラスコにトルエン100g、1,1,5,5−テトラメチル−3,3−ジフェニルトリシロキサン15gを入れ、気相部を窒素置換した後、内温105℃で加熱、攪拌した。ジアリルモノメチルイソシアヌレート9g、トルエン10g、白金ビニルシロキサン錯体のキシレン溶液(白金として3wt%含有)0.0163gの混合液を30分かけて滴下した。滴下終了から3時間後に1H−NMRでアリル基の反応率が100%であることを確認し、60℃冷却した。その後、イタコン酸無水物1.3gとトルエン3gの混合溶液を滴下した。滴下終了から5時間後に1H−NMRでイタコン酸無水物の二重結合の反応率が100%であることを確認し、冷却した反応を終了した。トルエンを減圧留去し、酸無水物基を末端に有する変性シロキサン化合物Hを得た。
(Example 8)
Toluene (100 g) and 1,1,5,5-tetramethyl-3,3-diphenyltrisiloxane (15 g) were placed in a 500 mL four-necked flask, the gas phase portion was replaced with nitrogen, and the mixture was heated and stirred at an internal temperature of 105 ° C. A mixed solution of 9 g of diallyl monomethylisocyanurate, 10 g of toluene, and 0.0163 g of a xylene solution of a platinum vinylsiloxane complex (containing 3 wt% as platinum) was added dropwise over 30 minutes. Three hours after the completion of the dropping , it was confirmed by 1 H-NMR that the reaction rate of the allyl group was 100%, and the mixture was cooled at 60 ° C. Then, a mixed solution of 1.3 g of itaconic acid anhydride and 3 g of toluene was added dropwise. Five hours after the completion of the dropping , it was confirmed by 1 H-NMR that the reaction rate of the double bond of the itaconic acid anhydride was 100%, and the cooling reaction was completed. Toluene was distilled off under reduced pressure to obtain a modified siloxane compound H having an acid anhydride group at the end.

次に、200mLのフラスコ中に、溶剤としてN,N−ジメチルホルムアミド20g、上記で得た変性シロキサン化合物Hを2.5g、2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン1.5gを投入し、室温、窒素雰囲気下で30分間撹拌した。さらにN,N−ジメチルホルムアミド5g、ピリジン0.8g、無水酢酸1.5gを順次フラスコに投入し、90℃に加熱しながら3時間撹拌した。常温に戻ってから、フラスコに500mLのイソプロピルアルコールを投入し、析出物を回収した。更に500mLリットルのイソプロピルアルコールで洗浄を3回行い、得られた析出物を80℃で6時間減圧乾燥し、その後、N,N−ジメチルホルムアミドで50%に希釈してポリイミド樹脂溶液Iを得た。 Next, in a 200 mL flask, 20 g of N, N-dimethylformamide, 2.5 g of the modified siloxane compound H obtained above, and 1.5 g of 2,2-bis (4-aminophenyl) hexafluoropropane were placed as a solvent. The mixture was charged and stirred at room temperature and a nitrogen atmosphere for 30 minutes. Further, 5 g of N, N-dimethylformamide, 0.8 g of pyridine and 1.5 g of acetic anhydride were sequentially put into a flask, and the mixture was stirred for 3 hours while heating at 90 ° C. After returning to room temperature, 500 mL of isopropyl alcohol was put into the flask, and the precipitate was collected. Further washing with 500 mL liter of isopropyl alcohol was performed three times, and the obtained precipitate was dried under reduced pressure at 80 ° C. for 6 hours, and then diluted to 50% with N, N-dimethylformamide to obtain a polyimide resin solution I. ..

(実施例9)
500mL四つ口フラスコにトルエン100g、1,1,5,5−テトラメチル−3,3−ジフェニルトリシロキサン15gを入れ、気相部を窒素置換した後、内温105℃で加熱、攪拌した。ジアリルモノメチルイソシアヌレート9g、トルエン10g、白金ビニルシロキサン錯体のキシレン溶液(白金として3wt%含有)0.0163gの混合液を30分かけて滴下した。滴下終了から3時間後に1H−NMRでアリル基の反応率が100%であることを確認し、60℃冷却した。その後、マレイン酸無水物1.0gとトルエン3gの混合溶液を滴下した。滴下終了から5時間後に1H−NMRでマレイン酸無水物の二重結合の反応率が100%であることを確認し、冷却した反応を終了した。トルエンを減圧留去し、酸無水物基を末端に有する変性シロキサン化合物Iを得た。
(Example 9)
Toluene (100 g) and 1,1,5,5-tetramethyl-3,3-diphenyltrisiloxane (15 g) were placed in a 500 mL four-necked flask, the gas phase portion was replaced with nitrogen, and the mixture was heated and stirred at an internal temperature of 105 ° C. A mixed solution of 9 g of diallyl monomethylisocyanurate, 10 g of toluene, and 0.0163 g of a xylene solution of a platinum vinylsiloxane complex (containing 3 wt% as platinum) was added dropwise over 30 minutes. Three hours after the completion of the dropping , it was confirmed by 1 H-NMR that the reaction rate of the allyl group was 100%, and the mixture was cooled at 60 ° C. Then, a mixed solution of 1.0 g of maleic anhydride and 3 g of toluene was added dropwise. Five hours after the completion of the dropping, 1 H-NMR confirmed that the reaction rate of the double bond of maleic anhydride was 100%, and the cooling reaction was completed. Toluene was distilled off under reduced pressure to obtain a modified siloxane compound I having an acid anhydride group at the end.

次に、200mLのフラスコ中に、溶剤としてN,N−ジメチルホルムアミド20g、上記で得た変性シロキサン化合物Iを2.5g、2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン1.5gを投入し、室温、窒素雰囲気下で30分間撹拌した。さらにN,N−ジメチルホルムアミド5g、ピリジン0.8g、無水酢酸1.5gを順次フラスコに投入し、90℃に加熱しながら3時間撹拌した。常温に戻ってから、フラスコに500mLのイソプロピルアルコールを投入し、析出物を回収した。更に500mLリットルのイソプロピルアルコールで洗浄を3回行い、得られた析出物を80℃で6時間減圧乾燥し、その後、N,N−ジメチルホルムアミドで50%に希釈してポリイミド樹脂溶液Jを得た。 Next, in a 200 mL flask, 20 g of N, N-dimethylformamide, 2.5 g of the modified siloxane compound I obtained above, and 1.5 g of 2,2-bis (4-aminophenyl) hexafluoropropane were added as a solvent. The mixture was charged and stirred at room temperature and a nitrogen atmosphere for 30 minutes. Further, 5 g of N, N-dimethylformamide, 0.8 g of pyridine and 1.5 g of acetic anhydride were sequentially put into a flask, and the mixture was stirred for 3 hours while heating at 90 ° C. After returning to room temperature, 500 mL of isopropyl alcohol was put into the flask, and the precipitate was collected. Further, washing with 500 mL liter of isopropyl alcohol was performed three times, and the obtained precipitate was dried under reduced pressure at 80 ° C. for 6 hours, and then diluted to 50% with N, N-dimethylformamide to obtain a polyimide resin solution J. ..

(比較例1)
200mLのフラスコ中に、溶剤としてN,N−ジメチルホルムアミド20g、シロキサンジアミン(商品名:KF−8010、信越化学工業株式会社製)を1.5g、2,2’−ヘキサフルオロプロピリデンジフタル酸二無水物2.5gを投入し、室温、窒素雰囲気下で30分間撹拌した。さらにN,N−ジメチルホルムアミド5g、ピリジン0.8g、無水酢酸1.5gを順次フラスコに投入し、90℃に加熱しながら3時間撹拌した。常温に戻ってから、フラスコに500mLのイソプロピルアルコールを投入し、析出物を回収した。更に500mLリットルのイソプロピルアルコールで洗浄を3回行い、得られた析出物を80℃で6時間減圧乾燥し、その後、N,N−ジメチルホルムアミドで50%に希釈してポリイミド樹脂溶液Jを得た。
(Comparative Example 1)
In a 200 mL flask, 20 g of N, N-dimethylformamide and 1.5 g of siloxane diamine (trade name: KF-8010, manufactured by Shin-Etsu Chemical Industry Co., Ltd.) as a solvent, 2,2'-hexafluoropropyridene diphthalic acid. 2.5 g of dianhydride was added, and the mixture was stirred at room temperature and a nitrogen atmosphere for 30 minutes. Further, 5 g of N, N-dimethylformamide, 0.8 g of pyridine and 1.5 g of acetic anhydride were sequentially put into a flask, and the mixture was stirred for 3 hours while heating at 90 ° C. After returning to room temperature, 500 mL of isopropyl alcohol was put into the flask, and the precipitate was collected. Further, washing with 500 mL liter of isopropyl alcohol was performed three times, and the obtained precipitate was dried under reduced pressure at 80 ° C. for 6 hours, and then diluted to 50% with N, N-dimethylformamide to obtain a polyimide resin solution J. ..

(比較例2)
200mLのフラスコ中に、溶剤としてN,N−ジメチルホルムアミド20g、2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン1.5g、2,2’−ヘキサフルオロプロピリデンジフタル酸二無水物2.5gを投入し、室温、窒素雰囲気下で30分間撹拌した。さらにN,N−ジメチルホルムアミド5g、ピリジン0.8g、無水酢酸1.5gを順次フラスコに投入し、90℃に加熱しながら3時間撹拌した。常温に戻ってから、フラスコに500mLのイソプロピルアルコールを投入し、析出物を回収した。更に500mLリットルのイソプロピルアルコールで洗浄を3回行い、得られた析出物を80℃で6時間減圧乾燥し、その後、N,N−ジメチルホルムアミドで50%に希釈してポリイミド樹脂溶液Kを得た。
(Comparative Example 2)
In a 200 mL flask, 20 g of N, N-dimethylformamide, 1.5 g of 2,2-bis (4-aminophenyl) hexafluoropropane as a solvent, 2,2'-hexafluoropropyridene diphthalic acid dianhydride 2 .5 g was added, and the mixture was stirred at room temperature and a nitrogen atmosphere for 30 minutes. Further, 5 g of N, N-dimethylformamide, 0.8 g of pyridine and 1.5 g of acetic anhydride were sequentially put into a flask, and the mixture was stirred for 3 hours while heating at 90 ° C. After returning to room temperature, 500 mL of isopropyl alcohol was put into the flask, and the precipitate was collected. Further washing with 500 mL liter of isopropyl alcohol was performed three times, and the obtained precipitate was dried under reduced pressure at 80 ° C. for 6 hours, and then diluted to 50% with N, N-dimethylformamide to obtain a polyimide resin solution K. ..

(結果)
実施例1〜9および比較例1、2で得られたポリイミド樹脂溶液に対し、前述の評価を行った。その結果を表1に示す。
(result)
The polyimide resin solutions obtained in Examples 1 to 9 and Comparative Examples 1 and 2 were evaluated as described above. The results are shown in Table 1.

Figure 2021195474
Figure 2021195474

本発明は、半導体やディスプレイ等のエレクトロニクスデバイス用の絶縁層間膜、接着剤、コーティング剤および封止剤等の様々な分野で利用することができる。 The present invention can be used in various fields such as insulating interlayer films for electronic devices such as semiconductors and displays, adhesives, coating agents and encapsulants.

Claims (6)

末端に酸無水物基を有する以下構造で表される変性シロキサン二酸無水物。
Figure 2021195474
(上記化学式において、Gは主鎖の炭素数が1から50であって、H原子、O原子、N原子、ハロゲン原子、S原子のいずれかの原子を一種、又は、2種以上含む有機基で表され、Xは酸無水物基を構造中に有する有機基、Rは炭素数1から20で表される有機基を示し、nは0〜50、mは1〜50の整数である)
A modified siloxane diacid anhydride having an acid anhydride group at the terminal and represented by the following structure.
Figure 2021195474
(In the above chemical formula, G is an organic group having 1 to 50 carbon atoms in the main chain and containing one or more of H atom, O atom, N atom, halogen atom and S atom. , X is an organic group having an acid anhydride group in the structure, R is an organic group represented by 1 to 20 carbon atoms, n is an integer of 0 to 50, and m is an integer of 1 to 50).
(A)1分子中に炭素−炭素二重結合を2個有する化合物、(B)1分子中にSiH基を2個有するケイ素化合物、(C)1分子中に炭素−炭素二重結合および酸無水物基を1個ずつ有する化合物、を反応させることで得られる請求項1に記載の変性シロキサン二酸無水物。 (A) A compound having two carbon-carbon double bonds in one molecule, (B) a silicon compound having two SiH groups in one molecule, (C) a carbon-carbon double bond and an acid in one molecule. The modified siloxane diic acid anhydride according to claim 1, which is obtained by reacting a compound having one anhydride group at a time. 前記成分(C)が以下に記載される化合物より選ばれる事を特徴とする請求項2に記載の変性シロキサン二酸無水物。
Figure 2021195474
The modified siloxane diic acid anhydride according to claim 2, wherein the component (C) is selected from the compounds described below.
Figure 2021195474
前記成分(A)が少なくともN原子又はS原子を有する化合物であることを特徴とする請求項2又は3に記載の変性シロキサン二酸無水物。 The modified siloxane diic acid anhydride according to claim 2 or 3, wherein the component (A) is a compound having at least an N atom or an S atom. 前記成分(A)が以下一般式(c)で表される化合物である事を特徴とする請求項4記載の変性シロキサン二酸無水物。
Figure 2021195474
(式中Rは水素原子又は炭素数1〜50の一価の有機基を示す)
The modified siloxane diic acid anhydride according to claim 4, wherein the component (A) is a compound represented by the following general formula (c).
Figure 2021195474
(R in the formula indicates a hydrogen atom or a monovalent organic group having 1 to 50 carbon atoms)
請求項1〜5のいずれか1項に記載の変性シロキサン二酸無水物と、ジアミン化合物又はジイソシアネート化合物との反応物であるポリイミド樹脂。 A polyimide resin which is a reaction product of the modified siloxane diic anhydride according to any one of claims 1 to 5 and a diamine compound or a diisocyanate compound.
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