JP3459985B2 - Method for producing thin film of borazine-containing silicon polymer and borazine-containing silicon polymer - Google Patents

Method for producing thin film of borazine-containing silicon polymer and borazine-containing silicon polymer

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JP3459985B2
JP3459985B2 JP2001068771A JP2001068771A JP3459985B2 JP 3459985 B2 JP3459985 B2 JP 3459985B2 JP 2001068771 A JP2001068771 A JP 2001068771A JP 2001068771 A JP2001068771 A JP 2001068771A JP 3459985 B2 JP3459985 B2 JP 3459985B2
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borazine
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術用分野】本発明は耐燃焼性、耐熱性
等のコーティング膜として有用な、ボラジン含有ケイ素
系ポリマーの薄膜の製造方法および新規なボラジン含有
ケイ素系ポリマーに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a thin film of a borazine-containing silicon-based polymer, which is useful as a coating film having flame resistance and heat resistance, and a novel borazine-containing silicon-based polymer.

【0002】[0002]

【従来の技術】ボラジン含有ケイ素系ポリマーは、空気
中でも優れた熱安定性を示し、耐燃焼性、耐熱性コーテ
ィング材料等への応用が期待されているが、薄膜の簡便
な製造例はまだ知られていなかった。また、工業的に利
用可能な直鎖状または環状のポリシロキサン構造を有す
るボラジン含有ケイ素系ポリマーは製造されていなかっ
た。
BACKGROUND OF THE INVENTION Borazine-containing silicon-based polymers show excellent thermal stability even in air and are expected to be applied to flammability-resistant and heat-resistant coating materials, etc., but simple examples of thin film production are still unknown. It wasn't done. In addition, a borazine-containing silicon-based polymer having a linear or cyclic polysiloxane structure industrially usable has not been produced.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、ボラジン含
有ケイ素系ポリマーの耐燃焼性、耐熱性に優れた薄膜の
効率的な製造法と、新規な直鎖状または環状のポリシロ
キサン構造を有するボラジン含有ケイ素系ポリマーを提
供することを目的とする。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention has an efficient method for producing a thin film of a borazine-containing silicon polymer having excellent combustion resistance and heat resistance, and a novel linear or cyclic polysiloxane structure. An object is to provide a borazine-containing silicon-based polymer.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明者らは前記課題を
解決すべく鋭意研究を重ねた結果、B,B’,B”−ト
リアルキニルボラジン類と、2個以上のヒドロシリル基
を有するケイ素化合物とを白金含有触媒の存在下に混合
し、その溶液を塗布することによって、アルキニル基へ
のヒドロシリル基の付加反応により生成するボラジン含
有ケイ素系ポリマーの薄膜が容易に得られるという新規
な事実を見い出すとともに、直鎖状または環状のポリシ
ロキサン構造を有する新規なボラジン含有ケイ素系ポリ
マーを見い出し、それらの知見に基づいて本発明を完成
させるにいたった。
As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have found that B, B ', B "-trialquinylborazines and silicon having two or more hydrosilyl groups. The novel fact that a thin film of a borazine-containing silicon-based polymer formed by the addition reaction of a hydrosilyl group to an alkynyl group can be easily obtained by mixing a compound with a platinum-containing catalyst and coating the solution. In addition to the discovery, a new borazine-containing silicon-based polymer having a linear or cyclic polysiloxane structure was discovered, and the present invention was completed based on these findings.

【0005】すなわち本発明は、次のような構成を採る
ものである。 1.一般式(1)
That is, the present invention has the following configuration. 1. General formula (1)

【0006】[0006]

【化8】 [Chemical 8]

【0007】(式中、Rはアルキル基、アリール基、
アラルキル基または水素原子を示し、Rはアルキル
基、アリール基、アラルキル基または水素原子を示す)
で表されるB,B’,B”−トリアルキニルボラジン化
合物と、少なくとも2個以上のヒドロシリル基を有する
ケイ素化合物とを、白金触媒存在下で混合し、その溶液
を塗布することを特徴とするボラジン含有ケイ素系ポリ
マーの薄膜の製造方法。 2.2個以上のヒドロシリル基を有するケイ素化合物
が、一般式(2)
(Wherein R 1 is an alkyl group, an aryl group,
An aralkyl group or a hydrogen atom, and R 2 represents an alkyl group, an aryl group, an aralkyl group or a hydrogen atom)
The B, B ′, B ″ -trialquinylborazine compound represented by the formula (1) and a silicon compound having at least two hydrosilyl groups are mixed in the presence of a platinum catalyst, and the solution is applied. Method for producing thin film of borazine-containing silicon-based polymer 2. Silicon compound having at least two hydrosilyl groups is represented by the general formula (2):

【0008】[0008]

【化9】 [Chemical 9]

【0009】(式中、RおよびRはアルキル基、ア
リール基、アラルキル基または水素原子の中から選ばれ
る同一あるいは相異なる1価の基を示し、Rは置換基
を有していても良い芳香族の2価の基、酸素原子、また
は、オキシポリ(ジメチルシロキシ)基を示す)で表さ
れるビス(ヒドロシラン)化合物であることを特徴とす
る1に記載の製造方法。 3.2個以上のヒドロシリル基を有するケイ素化合物
が、一般式(3)
(In the formula, R 3 and R 4 represent the same or different monovalent groups selected from an alkyl group, an aryl group, an aralkyl group or a hydrogen atom, and R 5 has a substituent. Is a bis (hydrosilane) compound represented by an aromatic divalent group, an oxygen atom, or an oxypoly (dimethylsiloxy) group. 3.2 A silicon compound having two or more hydrosilyl groups has the general formula (3)

【0010】[0010]

【化10】 [Chemical 10]

【0011】(式中、Rはアルキル基、アリール基、
またはアラルキル基を示し、nは3以上の整数を示す)
で表されるポリ(ヒドロシラン)化合物であることを特
徴とする1に記載の製造方法。 4.一般式(1)
(In the formula, R 6 is an alkyl group, an aryl group,
Or represents an aralkyl group, and n represents an integer of 3 or more)
2. The production method according to 1, which is a poly (hydrosilane) compound represented by: 4. General formula (1)

【化11】 [Chemical 11]

【0012】(式中、Rはアルキル基、アリール基、
アラルキル基または水素原子を示し、Rはアルキル
基、アリール基、アラルキル基または水素原子を示す)
で表されるB,B’,B”−トリアルキニルボラジン化
合物と、一般式(3)
(Wherein R 1 is an alkyl group, an aryl group,
An aralkyl group or a hydrogen atom, and R 2 represents an alkyl group, an aryl group, an aralkyl group or a hydrogen atom)
A B, B ′, B ″ -trialquinylborazine compound represented by the following general formula (3)

【0013】[0013]

【化12】 [Chemical 12]

【0014】(式中、Rはアルキル基、アリール基、
またはアラルキル基を示し、nは3以上の整数を示す)
又は一般式(4)
(Wherein R 6 is an alkyl group, an aryl group,
Or represents an aralkyl group, and n represents an integer of 3 or more)
Or general formula (4)

【0015】[0015]

【化13】 [Chemical 13]

【0016】(式中、RおよびR10はアルキル基、
アリール基、アラルキル基または水素原子の中から選ば
れる同一あるいは相異なる1価の基を示し、R11はオ
キシポリ(ジメチルシロキシ)基を示す)で表される少
なくとも2個以上のヒドロシリル基を有するケイ素化合
物とを反応させて得られるボラジン含有ケイ素系ポリマ
ー。5.一般式(5)
(Wherein R 9 and R 10 are alkyl groups,
Silicon having at least two or more hydrosilyl groups represented by aryl groups, aralkyl groups or monovalent groups selected from hydrogen atoms, which are the same or different, and R 11 represents an oxypoly (dimethylsiloxy) group. A borazine-containing silicon-based polymer obtained by reacting with a compound. 5. General formula (5)

【0017】[0017]

【化14】 [Chemical 14]

【0018】(式中、R、R、R、R10、R
11およびRは、前記一般式(1)、(3)および
(4)中のものと同じであり、aおよびbは0以上の整
数でa+b≧1である)で表される構造を有することを
特徴とする4に記載のボラジン含有ケイ素系ポリマー。
6.空気中での5%重量減温度が200℃以上であるこ
とを特徴とする4又は5に記載のボラジン含有ケイ素系
ポリマー。
(Wherein R 1 , R 2 , R 9 , R 10 and R
11 and R 6 are the same as those in the general formulas (1), (3) and (4), and a and b are integers of 0 or more and a + b ≧ 1). 4. The borazine-containing silicon-based polymer described in 4 above.
6. The borazine-containing silicon-based polymer as described in 4 or 5, wherein the 5% weight loss temperature in air is 200 ° C. or higher.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】前記一般式(1)において、R
はアルキル基、アリール基、アラルキル基または水素原
子を示す。アルキル基の炭素数は1〜24、好ましくは
1〜12である。アリール基の炭素数は6〜20、好ま
しくは6〜10である。アラルキル基の炭素数は7〜2
4、好ましくは7〜12である。前記Rを例示する
と、メチル基、エチル基、イソプロピル基、t−ブチル
基、オクチル基等のアルキル基、フェニル基、ナフチル
基、ビフェニル基等のアリール基、ベンジル基、フェネ
チル基等のアラルキル基、水素原子等が挙げられる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION In the general formula (1), R 2
Represents an alkyl group, an aryl group, an aralkyl group or a hydrogen atom. The alkyl group has 1 to 24 carbon atoms, preferably 1 to 12 carbon atoms. The aryl group has 6 to 20, preferably 6 to 10 carbon atoms. Aralkyl group has 7 to 2 carbon atoms
4, preferably 7-12. Examples of R 2 include alkyl groups such as methyl group, ethyl group, isopropyl group, t-butyl group and octyl group, aryl groups such as phenyl group, naphthyl group and biphenyl group, aralkyl groups such as benzyl group and phenethyl group. , Hydrogen atom and the like.

【0020】これらの置換基を有し、一般式(1)で表
されるB,B’,B”−トリアルキニルボラジン化合物
の具体例としては、B,B’,B”−トリエチニルボラ
ジン、B,B’,B”−トリエチニル−N,N’,N”
−トリメチルボラジン、B,B’,B”−トリ(1−プ
ロピニル)ボラジン、B,B’,B”−トリ(フェニル
エチニル)ボラジン、B,B’,B”−トリ(フェニル
エチニル)−N,N’,N”−トリメチルボラジン、
B,B’,B”−トリエチニル−N,N’,N”−トリ
フェニルボラジン、B,B’,B”−トリ(フェニルエ
チニル)−N,N’,N”−トリフェニルボラジン、
B,B’,B”−エチニル−N,N’,N”−トリベン
ジルボラジン等が挙げられるが、これに限定されるもの
ではない。また、1種類のB,B’,B”−トリアルキ
ニルボラジン化合物を単独で用いることもできるが、2
種類以上のB,B’,B”−トリアルキニルボラジン化
合物を合わせて用いることも、本発明の有利な態様に含
まれる。
Specific examples of the B, B ', B "-trialquinylborazine compound having these substituents and represented by the general formula (1) include B, B', B" -triethynylborazine, B, B ', B "-triethynyl-N, N', N"
-Trimethylborazine, B, B ', B "-tri (1-propynyl) borazine, B, B', B" -tri (phenylethynyl) borazine, B, B ', B "-tri (phenylethynyl) -N , N ', N "-trimethylborazine,
B, B ', B "-triethynyl-N, N', N" -triphenylborazine, B, B ', B "-tri (phenylethynyl) -N, N', N" -triphenylborazine,
Examples thereof include, but are not limited to, B, B ', B "-ethynyl-N, N', N" -tribenzylborazine and the like. Further, one kind of B, B ′, B ″ -trialquinylborazine compound can be used alone, but 2
The combined use of more than one type of B, B ′, B ″ -trialquinylborazine compound is also included in an advantageous aspect of the present invention.

【0021】本発明で用いる2個以上のヒドロシリル基
を有するケイ素化合物の中のビス(ヒドロシラン)化合
物は、例えば一般式(2)で表されるものが挙げられ
る。
Examples of the bis (hydrosilane) compound among the silicon compounds having two or more hydrosilyl groups used in the present invention include those represented by the general formula (2).

【0022】[0022]

【化15】 [Chemical 15]

【0023】式中、RおよびRはアルキル基、アリ
ール基、アラルキル基または水素原子の中から選ばれる
同一あるいは相異なる1価の基を示す。アルキル基の炭
素数は1〜24、好ましくは1〜12である。アリール
基の炭素数は6〜20、好ましくは6〜10である。ア
ラルキル基の炭素数は7〜24、好ましくは7〜12で
ある。前記RおよびRを例示すると、メチル基、エ
チル基、イソプロピル基、t−ブチル基、オクチル基等
のアルキル基、フェニル基、ナフチル基、ビフェニル基
等のアリール基、ベンジル基、フェネチル基等のアラル
キル基、水素原子等が挙げられる。
In the formula, R 3 and R 4 represent the same or different monovalent groups selected from an alkyl group, an aryl group, an aralkyl group and a hydrogen atom. The alkyl group has 1 to 24 carbon atoms, preferably 1 to 12 carbon atoms. The aryl group has 6 to 20, preferably 6 to 10 carbon atoms. The carbon number of the aralkyl group is 7 to 24, preferably 7 to 12. Examples of R 3 and R 4 include alkyl groups such as methyl group, ethyl group, isopropyl group, t-butyl group and octyl group, aryl groups such as phenyl group, naphthyl group and biphenyl group, benzyl group, phenethyl group and the like. Aralkyl group, hydrogen atom and the like.

【0024】また、前記一般式(2)において、R
置換基を有していても良い芳香族の2価の基、酸素原
子、または、オキシポリ(ジメチルシロキシ)基を示
す。芳香族の2価の基の炭素数は6〜24、好ましくは
6〜12である。芳香族の2価の基としては、2価芳香
族炭化水素基(アリーレン基等)の他、酸素等のヘテロ
原子を連結基として含むアリーレン基等が含まれる。ま
た前記芳香族の2価の基に結合していても良い置換基と
しては、アルキル基、アリール基、アラルキル基等が含
まれる。Rが芳香族の2価の基の場合を例示すると、
フェニレン基、ナフチレン基、ビフェニレン基等のアリ
ーレン基、ジフェニルエーテル基等の置換アリーレン基
等が挙げられる。
In the general formula (2), R 5 represents an aromatic divalent group which may have a substituent, an oxygen atom or an oxypoly (dimethylsiloxy) group. The aromatic divalent group has 6 to 24 carbon atoms, preferably 6 to 12 carbon atoms. Examples of the aromatic divalent group include a divalent aromatic hydrocarbon group (arylene group and the like) as well as an arylene group containing a hetero atom such as oxygen as a linking group. Further, examples of the substituent that may be bonded to the aromatic divalent group include an alkyl group, an aryl group, an aralkyl group and the like. Exemplifying the case where R 5 is an aromatic divalent group,
Examples thereof include an arylene group such as a phenylene group, a naphthylene group and a biphenylene group, and a substituted arylene group such as a diphenyl ether group.

【0025】これらの置換基を有し、一般式(2)で表
されるビス(ヒドロシラン)化合物にはビス(モノヒド
ロシラン)類、ビス(ジヒドロシラン)類、ビス(トリ
ヒドロシラン)類が含まれる。これらビス(ヒドロシラ
ン)化合物の具体例としては、m−ビス(ジメチルシリ
ル)ベンゼン、p−ビス(ジメチルシリル)ベンゼン、
1,4−ビス(ジメチルシリル)ナフタレン、1,5−
ビス(ジメチルシリル)ナフタレン、m−ビス(メチル
エチルシリル)ベンゼン、m−ビス(メチルフェニルシ
リル)ベンゼン、p−ビス(メチルオクチルシリル)ベ
ンゼン、4,4’−ビス(メチルベンジルシリル)ビフ
ェニル、4,4’−ビス(メチルフェネチルシリル)ジ
フェニルエーテル、m−ビス(メチルシリル)ベンゼ
ン、m−ジシリルベンゼン、1,1,3,3−テトラメ
チル1,3−ジシロキサン、ヒドロジメチルシロキシポ
リ(ジメチルシロキシ)ジメチルシラン等が挙げられる
が、これらに限定されるものではない。
Bis (hydrosilane) compounds having these substituents and represented by the general formula (2) include bis (monohydrosilane) s, bis (dihydrosilane) s and bis (trihydrosilane) s. . Specific examples of these bis (hydrosilane) compounds include m-bis (dimethylsilyl) benzene, p-bis (dimethylsilyl) benzene,
1,4-bis (dimethylsilyl) naphthalene, 1,5-
Bis (dimethylsilyl) naphthalene, m-bis (methylethylsilyl) benzene, m-bis (methylphenylsilyl) benzene, p-bis (methyloctylsilyl) benzene, 4,4′-bis (methylbenzylsilyl) biphenyl, 4,4′-bis (methylphenethylsilyl) diphenyl ether, m-bis (methylsilyl) benzene, m-disilylbenzene, 1,1,3,3-tetramethyl-1,3-disiloxane, hydrodimethylsiloxypoly (dimethyl) Examples thereof include siloxy) dimethylsilane, but are not limited thereto.

【0026】また、2個以上のヒドロシリル基を有する
ケイ素化合物の中のポリ(ヒドロシラン)化合物として
は、例えば、下記一般式(3)で表されるものが挙げら
れる。
The poly (hydrosilane) compound among the silicon compounds having two or more hydrosilyl groups includes, for example, those represented by the following general formula (3).

【0027】[0027]

【化16】 [Chemical 16]

【0028】式中、Rはアルキル基、アリール基、ま
たはアラルキル基を示し、nは3以上の整数を示す。ア
ルキル基の炭素数は1〜24、好ましくは1〜12であ
る。アリール基の炭素数は6〜20、好ましくは6〜1
0である。アラルキル基の炭素数は7〜24、好ましく
は7〜12である。前記Rを例示すると、メチル基、
エチル基、イソプロピル基、t−ブチル基、オクチル基
等のアルキル基、フェニル基、ナフチル基、ビフェニル
基等のアリール基、ベンジル基、フェネチル基等のアラ
ルキル基等が挙げられる。また、nは3以上の整数で、
好ましくは3〜10、より好ましくは3〜6である。
In the formula, R 6 represents an alkyl group, an aryl group or an aralkyl group, and n represents an integer of 3 or more. The alkyl group has 1 to 24 carbon atoms, preferably 1 to 12 carbon atoms. The aryl group has 6 to 20 carbon atoms, preferably 6 to 1 carbon atoms.
It is 0. The carbon number of the aralkyl group is 7 to 24, preferably 7 to 12. Examples of R 6 include a methyl group,
Examples thereof include an alkyl group such as an ethyl group, an isopropyl group, a t-butyl group and an octyl group, an aryl group such as a phenyl group, a naphthyl group and a biphenyl group, and an aralkyl group such as a benzyl group and a phenethyl group. In addition, n is an integer of 3 or more,
It is preferably 3 to 10, more preferably 3 to 6.

【0029】これらポリ(ヒドロシラン)化合物を例示
すると、1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシ
ロキサン、1,3,5,7,9−ペンタメチルシクロペ
ンタシロキサン、1,3,5,7−テトラエチルシクロ
テトラシロキサン、1,3,5−トリフェニルシクロト
リシロキサン、1,3,5,7−テトラフェニルシクロ
テトラシロキサン、1,3,5,7−テトラベンジルシ
クロテトラシロキサン等が挙げられるが、これらに限定
されるものではない。また、2個以上のヒドロシリル基
を有するケイ素化合物は、1種類を単独で用いることも
できるが、2種類以上を併用することも、本発明の有利
な態様に含まれる。
Examples of these poly (hydrosilane) compounds are 1,3,5,7-tetramethylcyclotetrasiloxane, 1,3,5,7,9-pentamethylcyclopentasiloxane, 1,3,5,7. -Tetraethylcyclotetrasiloxane, 1,3,5-triphenylcyclotrisiloxane, 1,3,5,7-tetraphenylcyclotetrasiloxane, 1,3,5,7-tetrabenzylcyclotetrasiloxane and the like. However, the present invention is not limited to these. Further, the silicon compound having two or more hydrosilyl groups can be used alone or in combination of two or more, which is also included in an advantageous aspect of the present invention.

【0030】本発明の一般式(1)で表される化合物と
少なくとも2個以上のヒドロシリル基を有するケイ素化
合物との反応は、例えば、次のスキーム1及び2で示さ
れる。
The reaction of the compound represented by the general formula (1) of the present invention with a silicon compound having at least two or more hydrosilyl groups is shown, for example, in the following schemes 1 and 2.

【0031】[0031]

【化17】 [Chemical 17]

【0032】本発明の反応における原料化合物の量関係
は、B,B’,B”−トリアルキニルボラジン化合物に
対する少なくとも2個のヒドロシリル基を有するケイ素
化合物のモル比が0.1〜10の範囲で実施され、好ま
しくは0.2〜5の範囲である。
The amount relationship of the starting compounds in the reaction of the present invention is such that the molar ratio of the silicon compound having at least two hydrosilyl groups to the B, B ', B "-trialquinylborazine compound is in the range of 0.1 to 10. Carried out, preferably in the range of 0.2-5.

【0033】本発明で用いる白金含有触媒は、従来ヒド
ロシリル化に使用されているものを用いることができ
る。これを例示すると、白金ジビニルテトラメチルジシ
ロキサン、白金環状ジビニルメチルシロキサン、塩化白
金酸、ジクロロ白金、白金カーボン、トリス(ジベンジ
リデンアセトン)二白金、ビス(エチレン)テトラクロ
ロ二白金、シクロオクタジエンジクロロ白金、ビス(シ
クロオクタジエン)白金、シクロオクタジエンジメチル
白金、ビス(トリフェニルホスフィン)ジクロロ白金、
テトラキス(トリフェニルホスフィン)白金等が挙げら
れるが、これに限定されるものではない。
As the platinum-containing catalyst used in the present invention, those conventionally used for hydrosilylation can be used. Examples of this are platinum divinyltetramethyldisiloxane, platinum cyclic divinylmethylsiloxane, chloroplatinic acid, dichloroplatinum, platinum carbon, tris (dibenzylideneacetone) diplatinum, bis (ethylene) tetrachlorodiplatinum, cyclooctadienedichloro. Platinum, bis (cyclooctadiene) platinum, cyclooctadiene dimethyl platinum, bis (triphenylphosphine) dichloroplatinum,
Examples thereof include, but are not limited to, tetrakis (triphenylphosphine) platinum.

【0034】これら白金含有触媒は、B,B’,B”−
トリアルキニルボラジン化合物またはビス(ヒドロシラ
ン)化合物のうちモル量の少ない原料に対する金属原子
のモル比で0.000001〜0.5の範囲で使用され
る。
These platinum-containing catalysts are B, B ', B "-
The triquinylborazine compound or the bis (hydrosilane) compound is used in a range of 0.000001 to 0.5 in terms of the molar ratio of metal atom to the raw material having a small molar amount.

【0035】本発明は、溶媒の有無にかかわらず実施で
きるが、溶媒を用いる場合には、原料と反応するものを
除いた種々の溶媒を用いることができる。それら溶媒と
しては、芳香族炭化水素系、飽和炭化水素系、脂肪族エ
ーテル系、芳香族エーテル系等の溶媒が挙げられ、より
具体的には、トルエン、ベンゼン、キシレン、ヘキサ
ン、テトラヒドロフラン、ジフェニルエーテル等が挙げ
られる。
The present invention can be carried out with or without a solvent. When a solvent is used, various solvents other than those which react with the raw materials can be used. Examples of these solvents include aromatic hydrocarbon-based, saturated hydrocarbon-based, aliphatic ether-based, aromatic ether-based solvents, and more specifically, toluene, benzene, xylene, hexane, tetrahydrofuran, diphenyl ether, etc. Is mentioned.

【0036】また本発明のボラジン含有ケイ素ポリマー
の薄膜を形成する際、基材上への溶液の塗布方法は特に
制限はなく、刷毛による塗布、スプレー塗布、スピンコ
ート法による塗布などいずれの方法をとることもでき
る。本発明で塗布する溶液を調製する温度としては、一
般的には室温でよいが、原料物質の構造により、好まし
い速度を達するために−20℃から200℃の範囲で冷
却または加熱することもできる。好ましい温度としては
0℃から150℃、より好ましくは0℃から100℃の
範囲で実施される。
When forming the thin film of the borazine-containing silicon polymer of the present invention, the method of applying the solution onto the substrate is not particularly limited, and any method such as brush application, spray application or spin coating method may be used. It can also be taken. The temperature for preparing the solution to be applied in the present invention may be generally room temperature, but depending on the structure of the raw material, it may be cooled or heated in the range of −20 ° C. to 200 ° C. in order to reach a preferable rate. . The preferred temperature is 0 ° C to 150 ° C, more preferably 0 ° C to 100 ° C.

【0037】溶液を塗布した後は、空気中、不活性雰囲
気下、または真空中で乾燥させることにより、ボラジン
含有ケイ素系ポリマーの薄膜を得ることができる。本発
明においてボラジン含有ケイ素系ポリマーの薄膜とは、
その厚さを特に制限する意味ではなく、塊状などの樹脂
ではなく、膜状に形成したものを意味する。特に本発明
方法によればμm単位の薄い膜から比較的厚いmmオー
ダーの膜までの範囲で膜を形成することができることが
特徴であり、膜の厚さの上限は特にない。
After applying the solution, a thin film of the borazine-containing silicon-based polymer can be obtained by drying in air, in an inert atmosphere, or in vacuum. In the present invention, the thin film of the borazine-containing silicon-based polymer,
It does not mean that the thickness is particularly limited, but means not a resin such as a lump but a film formed. In particular, the method of the present invention is characterized in that a film can be formed in a range from a thin film of μm unit to a film of relatively thick mm order, and there is no particular upper limit of the film thickness.

【0038】また、本発明によれば、一般式(1)According to the present invention, the general formula (1)

【化18】 [Chemical 18]

【0039】(式中、Rはアルキル基、アリール基、
アラルキル基または水素原子を示し、Rはアルキル
基、アリール基、アラルキル基または水素原子を示す)
で表されるB,B’,B”−トリアルキニルボラジン化
合物と、一般式(3)
(In the formula, R 1 is an alkyl group, an aryl group,
An aralkyl group or a hydrogen atom, and R 2 represents an alkyl group, an aryl group, an aralkyl group or a hydrogen atom)
A B, B ′, B ″ -trialquinylborazine compound represented by the following general formula (3)

【0040】[0040]

【化19】 [Chemical 19]

【0041】(式中、Rはアルキル基、アリール基、
またはアラルキル基を示し、nは3以上の整数を示す)
又は一般式(4)
(In the formula, R 6 is an alkyl group, an aryl group,
Or represents an aralkyl group, and n represents an integer of 3 or more)
Or general formula (4)

【0042】[0042]

【化20】 [Chemical 20]

【0043】(式中、RおよびR10はアルキル基、
アリール基、アラルキル基または水素原子の中から選ば
れる同一あるいは相異なる1価の基を示し、R11はオ
キシポリ(ジメチルシロキシ)基を示す)で表される少
なくとも2個以上のヒドロシリル基を有するケイ素化合
物とを反応させることによって、一般式(5)
(Wherein R 9 and R 10 are alkyl groups,
Silicon having at least two or more hydrosilyl groups represented by aryl groups, aralkyl groups or monovalent groups selected from hydrogen atoms, which are the same or different, and R 11 represents an oxypoly (dimethylsiloxy) group. By reacting the compound with a compound of the general formula (5)

【0044】[0044]

【化21】 [Chemical 21]

【0045】(式中、R、R、R、R10、R
11およびRは、前記一般式(1)、(3)および
(4)中のものと同じであり、aおよびbは0以上の整
数でa+b≧1である)で表される構造を有する新規な
ボラジン含有ケイ素系ポリマーが提供される。
(Wherein R 1 , R 2 , R 9 , R 10 and R
11 and R 6 are the same as those in the general formulas (1), (3) and (4), and a and b are integers of 0 or more and a + b ≧ 1). A novel borazine-containing silicon-based polymer is provided.

【0046】これら式中、R、RおよびRの具体
例としては、先の説明で示したものを挙げることができ
る。また、RおよびR10の具体例としては、先のR
およびRの説明で示したものが挙げられる。R11
はオキシポリ(ジメチルシロキシ)基である。一方、a
およびbは0以上の整数で、a+bは1以上であり、好
ましくは1〜50000、より好ましくは1〜2000
0の整数である。また、Zは原料化合物に由来する1価
の有機基であり、例えば置換基を有していてもよいビニ
ル基や水素原子等である。これらポリマーにおける末端
部の基は、ヒドロシリル基またはエチニル基等である。
In these formulas, specific examples of R 1 , R 2 and R 5 include those shown in the above description. Further, specific examples of R 9 and R 10 include the above R
3 and R 4 may be mentioned. R 11
Is an oxypoly (dimethylsiloxy) group. On the other hand, a
And b are integers of 0 or more, and a + b is 1 or more, preferably 1 to 50000, and more preferably 1 to 2000.
It is an integer of 0. Z is a monovalent organic group derived from the raw material compound, and is, for example, a vinyl group which may have a substituent or a hydrogen atom. The terminal group in these polymers is, for example, a hydrosilyl group or an ethynyl group.

【0047】また、前記一般式(5)における下記の式
(6)で表される部分は、下記の式(7)に示す4通り
の結合状態を含むことを意味する。
Further, the portion represented by the following formula (6) in the general formula (5) is meant to include four kinds of bonding states shown in the following formula (7).

【0048】[0048]

【化22】 [Chemical formula 22]

【0049】[0049]

【化23】 [Chemical formula 23]

【0050】本発明のポリマーの製造において、反応は
ほぼ定量的に進行するため、減圧下または常圧下で溶媒
を除去する等の方法で容易に目的ポリマーが得られる。
また、再沈殿、ゲル浸透クロマトグラフィー等の方法で
分取することもできる。
In the production of the polymer of the present invention, since the reaction proceeds almost quantitatively, the target polymer can be easily obtained by a method such as removing the solvent under reduced pressure or normal pressure.
It can also be separated by a method such as reprecipitation or gel permeation chromatography.

【0051】[0051]

【実施例】次に本発明を実施例により更に詳細に説明す
るが、本発明はこれら実施例に限定されるものではな
い。
The present invention will now be described in more detail with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

【0052】(実施例1) B,B’,B”−トリエチニル−N,N’,N”−トリ
メチルボラジン(0.25mmol)、p−ビス(ジメ
チルシリル)ベンゼン(0.25mmol)を、トルエ
ン(5ml)に溶解し、白金ジビニルテトラメチルジシ
ロキサンの白金2%キシレン溶液(0.00025mm
ol白金)を加え、窒素下、室温で4日間撹拌した。こ
の溶液の0.1mlをガラス基板上に塗布し、空気中で
乾燥させることにより、無色透明の薄膜を得た。タリス
テップを用いて測定した薄膜の膜厚は2μmであった。
この薄膜は耐熱性であり、この膜のポリマーの熱安定性
を熱重量分析で測定した結果、5%重量減温度は、49
0℃(窒素下)および430℃(空気中)であった。1 H-NMR (C6D6, δ, ppm) 7.9-7.4 (m, 4H), 7.2-6.9
(m, 0.5H), 6.9-6.7 (m, 0.5H), 6.6-6.4 (m, 0.5H),
6.2-5.6 (m, 2.5H), 3.5-2.5 (m, ,10H) , 0.6-0.2(br
s, 12H). IR (KBr disk, cm-1) 2072, 1580 (w), 1500-1350 (pea
k top, 1448, 1396), 1247, 1133, 1085 (w), 1004
(w), 951, 841, 772 (w), 648 (w). 元素分析 C19H30N3B3Si2: 理論値C, 58.66; H, 7.77;
N, 10.80. 実測値 C, 57.50; H, 7.82; N, 9.83.
Example 1 B, B ′, B ″ -triethynyl-N, N ′, N ″ -trimethylborazine (0.25 mmol), p-bis (dimethylsilyl) benzene (0.25 mmol) and toluene were added. (5 ml), platinum 2% xylene solution of platinum divinyl tetramethyl disiloxane (0.00025mm
ol platinum) was added, and the mixture was stirred under nitrogen at room temperature for 4 days. 0.1 ml of this solution was applied onto a glass substrate and dried in air to obtain a colorless transparent thin film. The film thickness of the thin film measured using the Taristep was 2 μm.
This thin film is heat resistant, and the thermal stability of the polymer of this film was measured by thermogravimetric analysis to find that the 5% weight loss temperature was 49%.
0 ° C (under nitrogen) and 430 ° C (in air). 1 H-NMR (C 6 D 6 , δ, ppm) 7.9-7.4 (m, 4H), 7.2-6.9
(m, 0.5H), 6.9-6.7 (m, 0.5H), 6.6-6.4 (m, 0.5H),
6.2-5.6 (m, 2.5H), 3.5-2.5 (m,, 10H), 0.6-0.2 (br
s, 12H) .IR (KBr disk, cm -1 ) 2072, 1580 (w), 1500-1350 (pea
k top, 1448, 1396), 1247, 1133, 1085 (w), 1004
(w), 951, 841, 772 (w), 648 (w). Elemental analysis C 19 H 30 N 3 B 3 Si 2 : Theoretical value C, 58.66; H, 7.77;
N, 10.80. Found C, 57.50; H, 7.82; N, 9.83.

【0053】(実施例2) B,B’,B”−トリエチニル−N,N’,N”−トリ
メチルボラジン(0.25mmol)、1,3,5,7
−テトラメチルシクロテトラシロキサン(0.25mm
ol)をトルエン(5ml)に溶解し、白金ジビニルテ
トラメチルジシロキサンの白金2%キシレン溶液(0.
00025mmol白金)を加え、窒素下室温で2日間
撹拌した。この溶液の0.1mlをガラス基板上に塗布
し、空気中で乾燥させることにより、無色透明の薄膜を
得た。タリステップを用いて測定した薄膜の膜厚は4μ
mであった。この薄膜は実施例1と同様に優れた耐熱性
を示した。IR (KBr disk, cm-1) 2164, 1230, 1021, 90
9, 731.
(Example 2) B, B ', B "-triethynyl-N, N', N" -trimethylborazine (0.25 mmol), 1,3,5,7
-Tetramethylcyclotetrasiloxane (0.25 mm
is dissolved in toluene (5 ml), and a platinum 2% xylene solution of platinum divinyltetramethyldisiloxane (0.
(000225 mmol platinum) was added, and the mixture was stirred under nitrogen at room temperature for 2 days. 0.1 ml of this solution was applied onto a glass substrate and dried in air to obtain a colorless transparent thin film. The thickness of the thin film measured using the Taristep is 4μ.
It was m. This thin film showed excellent heat resistance as in Example 1. IR (KBr disk, cm -1 ) 2164, 1230, 1021, 90
9, 731.

【0054】(実施例3) B,B’,B”−トリエチニル−N,N’,N”−トリ
メチルボラジン(0.25mmol)、ヒドロジメチル
シロキシポリ(ジメチルシロキシ)ジメチルシラン(H
MeSiO(SiMeO)SiMeH、Mn=
6000;0.25mmol)を、トルエン(0.5m
l)に溶解し、白金ジビニルテトラメチルジシロキサン
の白金2%キシレン溶液(0.00025mmol白
金)を加え、窒素下、室温で1時間撹拌した結果、ゲル
状溶液が得られた。反応溶液を減圧下、加熱濃縮し、粉
末状のボラジン含有ケイ素系ポリマー(5a)をほぼ定
量的な収率で得た。
Example 3 B, B ', B "-triethynyl-N, N', N" -trimethylborazine (0.25 mmol), hydrodimethylsiloxypoly (dimethylsiloxy) dimethylsilane (H
Me 2 SiO (SiMe 2 O) r SiMe 2 H, Mn =
6000; 0.25 mmol) and toluene (0.5 m
1), a 2% platinum xylene solution of platinum divinyltetramethyldisiloxane (0.00025 mmol platinum) was added, and the mixture was stirred at room temperature under nitrogen for 1 hour. As a result, a gel solution was obtained. The reaction solution was heated and concentrated under reduced pressure to obtain a powdery borazine-containing silicon-based polymer (5a) in a substantially quantitative yield.

【0055】IR (KBr disk, cm-1) 2056, 1945, 1593,
1470-1350, 1320-1220, 1200-900. 元素分析 C201H486N3O81B3Si81: 理論値C, 33.12; H,
8.09. 実測値 C, 32.91;H, 8.24. 熱重量分析(窒素中) Td(5%重量減温度) 329℃ 26%残(985℃) 熱重量分析(空気中) Td(5%重量減温度) 333℃ 36%残(985℃)
IR (KBr disk, cm -1 ) 2056, 1945, 1593,
1470-1350, 1320-1220, 1200-900. Elemental analysis C 201 H 486 N 3 O 81 B 3 Si 81 : Theoretical value C, 33.12; H,
8.09. Measured value C, 32.91; H, 8.24. Thermogravimetric analysis (in nitrogen) Td 5 (5% weight loss temperature) 329 ° C 26% remaining (985 ° C) Thermogravimetric analysis (in air) Td 5 (5% weight) Decreased temperature) 333 ℃ 36% remaining (985 ℃)

【0056】(実施例4) B,B’,B”−トリエチニル−N,N’,N”−トリ
メチルボラジン(0.25mmol)、1,3,5,7
−テトラメチルシクロテトラシロキサン(0.25mm
ol)を、トルエン(0.5ml)に溶解し、白金ジビ
ニルテトラメチルジシロキサンの白金2%キシレン溶液
(0.00025mmol白金)を加え、窒素下、室温
で2時間撹拌した結果、ゲル状溶液が得られた。反応溶
液を減圧下、加熱濃縮し、粉末状のボラジン含有ケイ素
系ポリマー(5b)をほぼ定量的な収率で得た。このポ
リマーは、実施例2のポリマーと同じ構造を有する。
Example 4 B, B ′, B ″ -triethynyl-N, N ′, N ″ -trimethylborazine (0.25 mmol), 1,3,5,7
-Tetramethylcyclotetrasiloxane (0.25 mm
ol) was dissolved in toluene (0.5 ml), platinum 2% platinum divinyltetramethyldisiloxane in xylene solution (0.00025 mmol platinum) was added, and the mixture was stirred at room temperature for 2 hours under nitrogen. Was obtained. The reaction solution was heated and concentrated under reduced pressure to obtain a powdery borazine-containing silicon-based polymer (5b) in a substantially quantitative yield. This polymer has the same structure as the polymer of Example 2.

【0057】熱重量分析(窒素中) Td(5%重量減温度) 204℃ 81%残(985℃) 熱重量分析(空気中) Td(5%重量減温度) 200℃ 83%残(985℃)Thermogravimetric analysis (in nitrogen) Td 5 (5% weight loss temperature) 204 ° C. 81% residue (985 ° C.) Thermogravimetric analysis (in air) Td 5 (5% weight loss temperature) 200 ° C. 83% residue ( (985 ° C)

【0058】[0058]

【発明の効果】本発明によれば、B,B’,B”−トリ
アルキニルボラジン化合物と少なくとも2個のヒドロシ
リル基を有するケイ素化合物から、耐燃焼性、耐熱性コ
ーティング膜等として機能するボラジン含有ケイ素系ポ
リマーの薄膜を、簡便かつ安全に製造することができ
る。また、工業的に利用可能な新規なボラジン含有ケイ
素系ポリマーをも得ることができるので、本発明の産業
的意義は多大である。
INDUSTRIAL APPLICABILITY According to the present invention, a B, B ', B "-trialquinylborazine compound and a silicon compound having at least two hydrosilyl groups are used to contain a borazine which functions as a flame-resistant and heat-resistant coating film. A thin film of a silicon-based polymer can be simply and safely produced, and a novel industrially applicable borazine-containing silicon-based polymer can be obtained, so that the industrial significance of the present invention is great. .

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平5−331293(JP,A) 特開 平7−196374(JP,A) 特開2000−256466(JP,A) 特開2002−155144(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C08G 77/00 - 77/62 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (56) References JP-A-5-331293 (JP, A) JP-A-7-196374 (JP, A) JP-A-2000-256466 (JP, A) JP-A-2002-155144 ( (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) C08G 77/00-77/62

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 一般式(1) 【化1】 (式中、Rはアルキル基、アリール基、アラルキル基
または水素原子を示し、Rはアルキル基、アリール
基、アラルキル基または水素原子を示す)で表される
B,B’,B”−トリアルキニルボラジン化合物と少な
くとも2個以上のヒドロシリル基を有するケイ素化合物
とを、白金触媒存在下で混合し、その溶液を塗布するこ
とを特徴とするボラジン含有ケイ素系ポリマーの薄膜の
製造方法。
1. A compound represented by the general formula (1): (In the formula, R 1 represents an alkyl group, an aryl group, an aralkyl group or a hydrogen atom, and R 2 represents an alkyl group, an aryl group, an aralkyl group or a hydrogen atom), B, B ′, B ″ — A method for producing a thin film of a borazine-containing silicon-based polymer, which comprises mixing a trialkynylborazine compound and a silicon compound having at least two hydrosilyl groups in the presence of a platinum catalyst and applying the solution.
【請求項2】 2個以上のヒドロシリル基を有するケイ
素化合物が、一般式(2) 【化2】 (式中、RおよびRはアルキル基、アリール基、ア
ラルキル基または水素原子の中から選ばれる同一あるい
は相異なる1価の基を示し、Rは置換基を有していて
も良い芳香族の2価の基、酸素原子、または、オキシポ
リ(ジメチルシロキシ)基を示す)で表されるビス(ヒ
ドロシラン)化合物であることを特徴とする請求項1に
記載の薄膜の製造方法。
2. A silicon compound having two or more hydrosilyl groups has the general formula (2): (In the formula, R 3 and R 4 represent the same or different monovalent groups selected from an alkyl group, an aryl group, an aralkyl group or a hydrogen atom, and R 5 represents an aromatic group which may have a substituent. 2. A method for producing a thin film according to claim 1, which is a bis (hydrosilane) compound represented by a divalent group of the group, an oxygen atom, or an oxypoly (dimethylsiloxy) group.
【請求項3】 2個以上のヒドロシリル基を有するケイ
素化合物が、一般式(3) 【化3】 (式中、Rはアルキル基、アリール基、またはアラル
キル基を示し、nは3以上の整数を示す)で表されるポ
リ(ヒドロシラン)化合物であることを特徴とする請求
項1に記載の薄膜の製造方法。
3. A silicon compound having two or more hydrosilyl groups has the general formula (3): (In the formula, R 6 represents an alkyl group, an aryl group, or an aralkyl group, and n represents an integer of 3 or more), which is a poly (hydrosilane) compound. Thin film manufacturing method.
【請求項4】 一般式(1) 【化4】 (式中、Rはアルキル基、アリール基、アラルキル基
または水素原子を示し、Rはアルキル基、アリール
基、アラルキル基または水素原子を示す)で表される
B,B’,B”−トリアルキニルボラジン化合物と、一
般式(3) 【化5】 (式中、Rはアルキル基、アリール基、またはアラル
キル基を示し、nは3以上の整数を示す)又は一般式
(4) 【化6】 (式中、RおよびR10はアルキル基、アリール基、
アラルキル基または水素原子の中から選ばれる同一ある
いは相異なる1価の基を示し、R11はオキシポリ(ジ
メチルシロキシ)基を示す)で表される少なくとも2個
以上のヒドロシリル基を有するケイ素化合物とを反応さ
せて得られるボラジン含有ケイ素系ポリマー。
4. A compound represented by the general formula (1): (In the formula, R 1 represents an alkyl group, an aryl group, an aralkyl group or a hydrogen atom, and R 2 represents an alkyl group, an aryl group, an aralkyl group or a hydrogen atom), B, B ′, B ″ — A trialquinylborazine compound and a compound represented by the general formula (3): (In the formula, R 6 represents an alkyl group, an aryl group, or an aralkyl group, and n represents an integer of 3 or more) or the general formula (4): (In the formula, R 9 and R 10 are an alkyl group, an aryl group,
An aralkyl group or a hydrogen atom, the same or different monovalent groups, and R 11 represents an oxypoly (dimethylsiloxy) group) and a silicon compound having at least two hydrosilyl groups. A borazine-containing silicon-based polymer obtained by the reaction.
【請求項5】 一般式(5) 【化7】 (式中、R、R、R、R10、R11およびR
は、前記一般式(1)、(3)および(4)中のものと
同じであり、aおよびbは0以上の整数でa+b≧1で
ある)で表される構造を有することを特徴とする請求項
4に記載のボラジン含有ケイ素系ポリマー。
5. A compound represented by the general formula (5): (Wherein, R 1 , R 2 , R 9 , R 10 , R 11 and R 6
Are the same as those in the general formulas (1), (3) and (4), and a and b are integers of 0 or more and a + b ≧ 1). The borazine-containing silicon-based polymer according to claim 4.
【請求項6】 空気中での5%重量減温度が、200℃
以上であることを特徴とする請求項4又は5に記載のボ
ラジン含有ケイ素系ポリマー。
6. The 5% weight loss temperature in air is 200 ° C.
The above is the borazine-containing silicon-based polymer according to claim 4 or 5.
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JP4730723B2 (en) * 2002-09-26 2011-07-20 日立化成工業株式会社 Method for producing borazine resin
JP4730724B2 (en) * 2002-09-26 2011-07-20 日立化成工業株式会社 Method for producing borazine resin
JP5550118B2 (en) * 2002-09-26 2014-07-16 日立化成株式会社 Borazine resin composition, insulating coating and method for forming the same
WO2004030070A1 (en) 2002-09-26 2004-04-08 Hitachi Chemical Co., Ltd. Borazine based resin and method for production thereof, borazine based resin composition, insulating coating and method for formation thereof, and electronic parts having the insulating coating
JP5540416B2 (en) * 2002-09-26 2014-07-02 日立化成株式会社 Borazine resin composition and method for producing the same, insulating coating film and method for forming the same, and electronic component
JP4461215B2 (en) * 2003-09-08 2010-05-12 独立行政法人産業技術総合研究所 Low dielectric constant insulating material and semiconductor device using the same
JP4502310B2 (en) * 2003-09-08 2010-07-14 日立化成工業株式会社 Coating agent, thin film forming method and heat-resistant resin thin film

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