JP4730723B2 - Method for producing borazine resin - Google Patents
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Description
本発明は、ボラジン系樹脂組成物及びその製造方法、絶縁被膜及びその形成方法、並びに電子部品に関する。 The present invention relates to a borazine-based resin composition and a method for producing the same, an insulating coating and a method for forming the same, and an electronic component.
昨今の通信機器の小型化、高出力化、及び信号の高速化に伴い、ＣＭＰによる膜平坦化の実現とも相俟って、電子部品の絶縁被膜（ＩＭＤ：メタル層間絶縁膜、ＩＬＤ：メタル下層間絶縁膜、ＰＭＤ：前メタル絶縁膜等）には、耐熱性、機械特性、吸湿性、接着性、成形性、高エッチ選択比、等の他、特に低比誘電率が求められている。 With recent miniaturization, higher output, and higher signal speed of communication equipment, along with the realization of film flattening by CMP, insulating coatings for electronic components (IMD: metal interlayer insulating film, ILD: metal lower layer) In addition to heat resistance, mechanical properties, hygroscopicity, adhesiveness, moldability, high etch selectivity, etc., a low dielectric constant is particularly required for the inter-layer insulating film, PMD (premetal insulating film, etc.).
これは一般に、配線の信号の伝搬速度（ｖ）と、配線材料が接する絶縁材料の比誘電率（ε）とは、ｖ＝ｋ／√ε（ｋは定数）で表される関係を有しており、信号の伝搬速度を高速化して配線遅延を低減するためには、使用する周波数領域を高くし、或いは、絶縁材料の比誘電率を極力低くする必要があるからである。 In general, the signal propagation speed (v) of the wiring and the relative dielectric constant (ε) of the insulating material in contact with the wiring material have a relationship represented by v = k / √ε (k is a constant). In order to increase the signal propagation speed and reduce the wiring delay, it is necessary to increase the frequency region to be used or to reduce the relative dielectric constant of the insulating material as much as possible.
このような絶縁被膜材料として量産ベースで現在実用化されている低誘電率材料としては、比誘電率が３．５程度のＳｉＯＦ膜（ＣＶＤ法）が挙げられ、その他に、比誘電率が２．５〜３．０の有機ＳＯＧ（Ｓｐｉｎ Ｏｎ Ｇｌａｓｓ）、有機ポリマー等の検討が進行中である。 As such an insulating coating material, a low dielectric constant material which is currently put into practical use on a mass production basis includes a SiOF film (CVD method) having a relative dielectric constant of about 3.5, and in addition, a relative dielectric constant of 2 Studies of organic SOG (Spin On Glass), organic polymers, etc. of 5 to 3.0 are in progress.
また、他の低誘電率材料としては、ベンゼンの炭素原子が窒素原子及びホウ素原子で置換された分子構造を有するボラジンは、ベンゼンに比して誘電率の計算値が低いことが知られている（例えば、特許文献１参照）。また、Ｂ，Ｂ'，Ｂ"−トリアルキニルボラジン類と少なくとも２個以上のヒドロシリル基を有するケイ素化合物とを、白金触媒存在下で混合し、その溶液を塗布することによって得られる耐熱性のボラジン含有ケイ素ポリマー薄膜も知られている（例えば、特許文献２参照）。
ところで、前述した有機ＳＯＧは低誘電率材料として有望であるものの、メモリ素子や論理素子といった半導体装置から成る電子部品の更なる微細化及び多層化に対応するには、更なる低誘電率化が熱望されている。これに対し、上記特開２００２−１５５１４３号公報のボラジン含有ケイ素ポリマー薄膜は、その高耐熱性及び低誘電率を発現することから、次世代の絶縁被膜として期待される。 By the way, although the organic SOG described above is promising as a low dielectric constant material, in order to cope with further miniaturization and multilayering of electronic components composed of semiconductor devices such as memory elements and logic elements, further reduction of the dielectric constant is required. It is eager. On the other hand, the borazine-containing silicon polymer thin film disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-155143 is expected as a next-generation insulating film because of its high heat resistance and low dielectric constant.
しかし、かかるボラジン含有ケイ素ポリマー薄膜は、上述したようにＢ，Ｂ'，Ｂ"−トリアルキニルボラジン類とヒドロシリル基を有するケイ素化合物とを、白金触媒存在下で混合した溶液をそのまま塗布することにより製造されるため、薄膜中に白金触媒が不可避的に不純物として残留してしまう。例えば、層間絶縁膜中に金属性不純物が存在すると、リーク電流が発生し、絶縁膜としての性能が低下又は劣化する要因となり得る。よって、特開２００２−１５５１４３号公報の薄膜を層間絶縁膜に用いると、白金触媒が金属性不純物となってリーク電流が発生することが容易に想像される。 However, such a borazine-containing silicon polymer thin film is obtained by directly applying a solution obtained by mixing B, B ′, B ″ -trialkynylborazines and a silicon compound having a hydrosilyl group in the presence of a platinum catalyst as described above. As a result, the platinum catalyst inevitably remains as an impurity in the thin film, for example, if a metallic impurity is present in the interlayer insulating film, a leakage current is generated and the performance as the insulating film is reduced or deteriorated. Therefore, when the thin film disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 2002-155143 is used for the interlayer insulating film, it is easily imagined that the platinum catalyst becomes a metallic impurity and a leakage current is generated.
そこで、本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、金属性不純物が少なくリーク電流の発生を十分に抑制できる絶縁被膜及びその製造方法、並びに、その絶縁被膜を有効に形成できるボラジン系樹脂組成物及びその製造方法を提供することを目的とする。また、本発明は、リーク電流の発生を十分に抑制して特性の低下及び劣化を十分に防止できる電子部品を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention has been made in view of such circumstances, an insulating coating that can reduce the occurrence of leakage current with little metallic impurities, a method for manufacturing the same, and a borazine resin that can effectively form the insulating coating. It aims at providing a composition and its manufacturing method. Another object of the present invention is to provide an electronic component that can sufficiently suppress the occurrence of leakage current and sufficiently prevent deterioration and deterioration of characteristics.
上記課題を解決するために、本発明者らは鋭意研究を重ねた結果、所定のボラジン化合物と所定のケイ素化合物を金属触媒の存在下に重合させた後に、かかる金属触媒を一定の方法で有効に除去することができ、これにより触媒由来の金属性不純物を格段に低減できることを見出し、本発明を完成するに至った。 In order to solve the above-mentioned problems, the present inventors have conducted extensive research, and as a result, after polymerizing a predetermined borazine compound and a predetermined silicon compound in the presence of the metal catalyst, the metal catalyst is effectively used in a certain method. Thus, the present inventors have found that the metallic impurities derived from the catalyst can be remarkably reduced, and the present invention has been completed.
すなわち、本発明によるボラジン系樹脂の製造方法は、主鎖又は側鎖にボラジン骨格を有する重合体を製造する方法であって、Ｂ，Ｂ'，Ｂ"−トリアルキニルボラジン類とヒドロシラン類とを、重合溶媒中で金属触媒の存在下に重合させる第１の工程と、第１の工程における重合系（重合液）に不溶であり、且つ、金属触媒由来の金属成分を吸着する粒子状のスカベンジャーを第１の工程を実施した後の重合系（重合液）に添加する第２の工程と、第２の工程を実施した後に、金属成分を吸着したスカベンジャーを濾別する第３の工程とを備えることを特徴とする。 That is, the method for producing a borazine-based resin according to the present invention is a method for producing a polymer having a borazine skeleton in the main chain or side chain, wherein B, B ′, B ″ -trialkynylborazines and hydrosilanes are combined. A first step of polymerizing in the presence of a metal catalyst in a polymerization solvent, and a particulate scavenger that is insoluble in the polymerization system (polymerization solution) in the first step and adsorbs a metal component derived from the metal catalyst Are added to the polymerization system (polymerization solution) after the first step, and after the second step, the third step is performed to filter out the scavenger adsorbing the metal component. It is characterized by providing.
このような構成のボラジン系樹脂の製造方法では、第１の工程において、Ｂ，Ｂ'，Ｂ"−トリアルキニルボラジン類とヒドロシラン類とが重合され、有機ケイ素ボラジン系ポリマーが形成される。この時点で、重合系（重合液）には、金属触媒に由来する金属成分が残留しているが、第２の工程で添加された粒子状のスカベンジャーによって重合液から分離・除去される。こうして金属成分を吸着したスカベンジャーは、重合液に溶解せずしかも粒子状であるので、第３の工程において容易に濾別される。その結果、金属成分が十分に除去された有機ケイ素ボラジン系ポリマーが得られる。 In the method for producing a borazine-based resin having such a configuration, in the first step, B, B ′, B ″ -trialkynylborazines and hydrosilanes are polymerized to form an organosilicon borazine-based polymer. At this point, the metal component derived from the metal catalyst remains in the polymerization system (polymerization solution), but is separated and removed from the polymerization solution by the particulate scavenger added in the second step. Since the scavenger adsorbing the components does not dissolve in the polymerization solution and is in the form of particles, it is easily filtered off in the third step, resulting in an organosilicon borazine-based polymer from which the metal components have been sufficiently removed. It is done.
また、このようなスカベンジャーを用いることにより、金属触媒として均一系触媒を用いた場合にも触媒を有効に回収できる。よって、反応活性の高い均一系触媒を少量用いて効率的に反応を進め、さらにこれを回収して触媒を再利用することが簡易となり、経済性の向上及び資源の有効利用を促進できる。 Further, by using such a scavenger, the catalyst can be effectively recovered even when a homogeneous catalyst is used as the metal catalyst. Therefore, it is easy to efficiently carry out the reaction using a small amount of a homogeneous catalyst having a high reaction activity, and further to recover the catalyst and to reuse the catalyst, thereby improving economic efficiency and promoting effective use of resources.
具体的には、Ｂ，Ｂ'，Ｂ"−トリアルキニルボラジン類が、下記式（１）；
より具体的には、ヒドロシラン類が、下記式（２）；
また、本発明によるボラジン系樹脂組成物は、主鎖又は側鎖にボラジン骨格を有する重合体と、その重合体を溶解可能な溶剤とを含んでおり、固形分濃度が０．５質量％以上（上限は好ましくは８０質量％）であり、且つ、金属不純物含有量が３０ｐｐｍ以下であることを特徴とする。そして、その重合体は、本発明によるボラジン系樹脂の製造方法により製造されて成るボラジン系樹脂であって、低比誘電率を発現するものであり、溶剤に溶解された状態で半導体基板等の基体上に簡便に塗布できる。 The borazine-based resin composition according to the present invention includes a polymer having a borazine skeleton in the main chain or side chain, and a solvent capable of dissolving the polymer, and has a solid content concentration of 0.5% by mass or more. (The upper limit is preferably 80% by mass), and the metal impurity content is 30 ppm or less. The polymer is a borazine resin produced by the method of producing a borazine resin according to the present invention and exhibits a low relative dielectric constant, and is dissolved in a solvent such as a semiconductor substrate. It can be easily applied on a substrate.
このボラジン系樹脂組成物中の固形分濃度が０．５質量％未満となると、基体上に塗布する場合に、１回の塗布で得られる塗膜の厚さが薄くなり、当該膜の強度や耐熱性、及び乾燥させて絶縁被膜としたときの絶縁特性の信頼性が低下するといった不都合がある。また、金属不純物含有量が３０ｐｐｍを超えると、このボラジン系樹脂組成物を例えば極微細構造を成す多層配線の層間絶縁膜として用いたときに要求される低比誘電率を達成できないことがあり、或いはリーク電流の発生が顕著となってしまい、素子等のデバイス特性の悪化を生じるおそれがある。なお、「固形分濃度」とは、ボラジン系樹脂組成物において溶剤等の揮発成分を乾燥させた後に残留する成分の当該ボラジン系樹脂組成物に対する濃度を示す。 When the solid content concentration in the borazine-based resin composition is less than 0.5% by mass, the thickness of the coating film obtained by one application is reduced when applied on the substrate, the strength of the film and There are disadvantages in that the heat resistance and the reliability of the insulating properties when dried to form an insulating coating are reduced. Further, if the metal impurity content exceeds 30 ppm, the low relative dielectric constant required when this borazine-based resin composition is used, for example, as an interlayer insulating film of a multilayer wiring having an ultrafine structure may not be achieved. Or generation | occurrence | production of leak current will become remarkable and there exists a possibility of producing the deterioration of device characteristics, such as an element. In addition, "solid content concentration" shows the density | concentration with respect to the said borazine resin composition of the component which remains after drying volatile components, such as a solvent, in a borazine resin composition.
さらに、重合体が下記式（４）；
ここで、式中、Ｒ1はアルキル基、アリール基、アラルキル基又は水素原子を示し、Ｒ2はアルキル基、アリール基、アラルキル基又は水素原子を示し、Ｒ3及びＲ4はアルキル基、アリール基、アラルキル基及び水素原子の中から選ばれる同一又は異なる１価の基を示し、Ｒ5は置換若しくは未置換の芳香族の２価の基、オキシポリ（ジメチルシロキシ）基、又は酸素原子を示し、Ｒ6はアルキル基、アリール基、アラルキル基又は水素原子を示し、ａは正の整数を示し、ｂは０又は正の整数を示し、ｐは０又は正の整数を示し、ｑは０又は正の整数を示す。 Here, in the formula, R 1 represents an alkyl group, an aryl group, an aralkyl group or a hydrogen atom, R 2 represents an alkyl group, an aryl group, an aralkyl group or a hydrogen atom, R 3 and R 4 represent an alkyl group, an aryl group R 5 represents a substituted or unsubstituted aromatic divalent group, an oxypoly (dimethylsiloxy) group, or an oxygen atom, and represents the same or different monovalent group selected from a group, an aralkyl group and a hydrogen atom. , R 6 represents an alkyl group, an aryl group, an aralkyl group or a hydrogen atom, a represents a positive integer, b represents 0 or a positive integer, p represents 0 or a positive integer, and q represents 0 or Indicates a positive integer.
また、本発明による絶縁被膜の形成方法は、基体上に絶縁被膜を形成する方法であって、本発明によるボラジン系樹脂組成物を基体上に塗布して塗布膜を形成し、該塗布膜を乾燥せしめることを特徴とする。 The method for forming an insulating coating according to the present invention is a method for forming an insulating coating on a substrate. The borazine-based resin composition according to the present invention is coated on a substrate to form a coating film, and the coating film is formed. It is characterized by drying.
また、本発明による絶縁被膜は、基体上に設けられており、本発明による絶縁被膜の形成方法により形成されて成り、特に、基体上に設けられた複数の導電性層のうち互いに隣設された導電性層の間に形成されたもの、すなわち、リーク電流を十分に低減する必要がある層間絶縁膜として有用である。 In addition, the insulating coating according to the present invention is provided on the substrate and is formed by the method for forming an insulating coating according to the present invention, and in particular, adjacent to each other among the plurality of conductive layers provided on the substrate. It is useful as an interlayer insulating film that is formed between the conductive layers, that is, it is necessary to sufficiently reduce the leakage current.
そして、本発明による電子部品は、本発明による絶縁被膜が形成されて成る電子部品、半導体装置や液晶装置といった電子デバイスを構成するものである。 And the electronic component by this invention comprises electronic devices, such as an electronic component by which the insulating film by this invention is formed, a semiconductor device, and a liquid crystal device.
本発明のボラジン系樹脂及びその製造方法並びにボラジン系樹脂組成物によれば、金属性不純物が少なくリーク電流の発生を十分に抑制できる絶縁被膜を形成できる。また、本発明の絶縁被膜及びその製造方法によれば、リーク電流の発生を十分に抑制できると共に、耐熱性等の諸特性を向上できる。さらに、本発明の電子部品によれば、リーク電流の発生を十分に抑制して特性の低下及び劣化を十分に防止できる。 According to the borazine-based resin, the production method thereof, and the borazine-based resin composition of the present invention, it is possible to form an insulating film that has few metallic impurities and can sufficiently suppress the occurrence of leakage current. Further, according to the insulating coating and the manufacturing method thereof of the present invention, it is possible to sufficiently suppress the occurrence of leakage current and improve various characteristics such as heat resistance. Furthermore, according to the electronic component of the present invention, it is possible to sufficiently suppress the occurrence of leakage current and sufficiently prevent deterioration and deterioration of characteristics.
本発明によるボラジン系樹脂組成物は、主鎖又は側鎖にボラジン骨格を有する重合体と、この重合体を溶解可能な溶剤とを含んでおり、固形分濃度が０．５質量％以上であり、且つ、金属不純物含有量が３０ｐｐｍ以下である。以下、本発明のボラジン系樹脂組成物、その製造方法、そのボラジン系樹脂組成物を用いた絶縁被膜及びその形成方法、並びに、その絶縁被膜を用いた電子部品の好適な実施形態について説明する。 The borazine-based resin composition according to the present invention includes a polymer having a borazine skeleton in the main chain or side chain, and a solvent capable of dissolving the polymer, and has a solid content concentration of 0.5% by mass or more. In addition, the metal impurity content is 30 ppm or less. Hereinafter, preferred embodiments of the borazine-based resin composition of the present invention, a method for producing the same, an insulating coating using the borazine-based resin composition, a method for forming the insulating coating, and an electronic component using the insulating coating will be described.
〈重合体（Ａ成分；以下単に「Ａ」と記す。）〉
本発明のボラジン系樹脂組成物に含まれる主鎖又は側鎖にボラジン骨格を有する重合体（Ａ）は、主鎖又は側鎖に置換又は無置換のボラジン骨格を有する重合体であればよく、例えば、Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｒｅｖｉｅｗ 誌、ｖｏｌ ９０、ｐｐ．７３〜９１（１９９０）．やＣＨＥＭＴＥＣＨ 誌、１９９４年７月、ｐｐ．２９〜３７．記載の重合体等を挙げることができる。具体的には以下に示す重合体が好適である。
The polymer (A) having a borazine skeleton in the main chain or side chain contained in the borazine-based resin composition of the present invention may be a polymer having a substituted or unsubstituted borazine skeleton in the main chain or side chain, For example, Chemical Review magazine, vol 90, pp. 73-91 (1990). And CHEMTECH, July 1994, pp. 29-37. The polymers described can be mentioned. Specifically, the following polymers are suitable.
重合体（Ａ）の分子量（Ｍｎ；ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）により測定し、標準ポリスチレンの検量線を使用して換算した値の数平均分子量）は、好ましくは５００〜５００００００、より好ましくは１０００〜１００００００である。この分子量（Ｍｎ）が過度に低く、例えば５００未満の場合、耐熱性、及び後述する絶縁被膜の機械特性が劣る傾向にあり、例えば、かかる絶縁被膜を層間絶縁膜として用いるときにプリベークが困難となったり、成膜後の平坦化をＣＭＰで行うときに剥離等を生じ易くなるおそれがある。これに対し、この分子量（Ｍｎ）が過度に高く、例えば５００００００を超えると、絶縁被膜の加工性が悪化し、例えば、かかる絶縁被膜にＷ等の金属プラグ形成用のヴィアホール等を所望の形状に制御し難くなるおそれがある。 The molecular weight of the polymer (A) (Mn; number average molecular weight measured by gel permeation chromatography (GPC) and converted using a standard polystyrene calibration curve) is preferably 500 to 5000000, more preferably 1,000 to 1,000,000. When this molecular weight (Mn) is excessively low, for example less than 500, the heat resistance and the mechanical properties of the insulating coating described later tend to be inferior. For example, pre-baking is difficult when using such an insulating coating as an interlayer insulating film. There is a risk that peeling or the like is likely to occur when planarization after film formation is performed by CMP. On the other hand, if the molecular weight (Mn) is excessively high, for example, exceeds 5000000, the workability of the insulating coating deteriorates. For example, a via hole for forming a metal plug such as W is formed in the insulating coating in a desired shape. May be difficult to control.
また、重合体（Ａ）としては、前述したものの他に、下記式（４）又は式（５）；
なお、式（４）及び（５）において、
そして、
また、式（４）における破線は、ボラジン残基におけるアルキニル基由来の炭素に結合が生じていることを意味し、式（５）における破線は、ボラジン残基におけるアルケニル基由来の炭素に結合が生じていることを意味する。 Moreover, the broken line in Formula (4) means that the bond has arisen in the carbon derived from the alkynyl group in a borazine residue, and the broken line in Formula (5) has a bond in the carbon derived from the alkenyl group in the borazine residue. It means that it has occurred.
また、式（４）及び（５）において、Ｒ1はアルキル基、アリール基、アラルキル基又は水素原子を示す。この場合、アルキル基の炭素数は１〜２４、好ましくは１〜１２である。また、アリール基の炭素数は６〜２０、好ましくは６〜１０である。さらに、アラルキル基の炭素数は７〜２４、好ましくは７〜１２である。より具体的には、基Ｒ1として、メチル基、エチル基、イソプロピル基、ｔ−ブチル基、オクチル基等のアルキル基、フェニル基、ナフチル基、ビフェニル基等のアリール基、ベンジル基、フェネチル基等のアラルキル基、水素原子等が挙げられ、これらの中では、メチル基、エチル基、フェニル基又は水素原子がより好ましい。 In the formulas (4) and (5), R 1 represents an alkyl group, an aryl group, an aralkyl group or a hydrogen atom. In this case, the alkyl group has 1 to 24 carbon atoms, preferably 1 to 12 carbon atoms. Moreover, carbon number of an aryl group is 6-20, Preferably it is 6-10. Furthermore, the carbon number of the aralkyl group is 7 to 24, preferably 7 to 12. More specifically, as the group R 1 , an alkyl group such as a methyl group, an ethyl group, an isopropyl group, a t-butyl group, and an octyl group, an aryl group such as a phenyl group, a naphthyl group, and a biphenyl group, a benzyl group, and a phenethyl group And an aralkyl group such as a hydrogen atom, and the like. Among these, a methyl group, an ethyl group, a phenyl group, or a hydrogen atom is more preferable.
また、式（４）及び（５）において、Ｒ2はアルキル基、アリール基、アラルキル基又は水素原子を示し、アルキル基の炭素数は１〜２４、好ましくは１〜１２である。この場合、アリール基の炭素数は６〜２０、好ましくは６〜１０である。また、アラルキル基の炭素数は７〜２４、好ましくは７〜１２である。より具体的には、基Ｒ2として、メチル基、エチル基、イソプロピル基、ｔ−ブチル基、オクチル基等のアルキル基、フェニル基、ナフチル基、ビフェニル基、アントラセニル基等のアリール基、ベンジル基、フェネチル基、フルオレニル基等のアラルキル基、水素原子等が挙げられ、これらの中では、メチル基、フェニル基又は水素原子がより好ましい。 Further, in the equation (4) and (5), R 2 is an alkyl group, an aryl group, an aralkyl group or a hydrogen atom, the number of carbon atoms in the alkyl group is 1 to 24, preferably from 1 to 12. In this case, the aryl group has 6 to 20 carbon atoms, preferably 6 to 10 carbon atoms. The aralkyl group has 7 to 24 carbon atoms, preferably 7 to 12 carbon atoms. More specifically, the group R 2 includes an alkyl group such as a methyl group, an ethyl group, an isopropyl group, a t-butyl group, and an octyl group, an aryl group such as a phenyl group, a naphthyl group, a biphenyl group, and an anthracenyl group, and a benzyl group. , An aralkyl group such as a phenethyl group and a fluorenyl group, a hydrogen atom, and the like. Among these, a methyl group, a phenyl group, or a hydrogen atom is more preferable.
さらに、式（４）及び（５）において、Ｒ3及びＲ4はアルキル基、アリール基、アラルキル基又は水素原子の中から選ばれる同一又は異なる１価の基を示し、これらの中では、アルキル基、アリール基又は水素原子がより好ましい。この場合、アルキル基の炭素数は１〜２４、好ましくは１〜１２である。また、アリール基の炭素数は６〜２０、好ましくは６〜１０である。さらに、アラルキル基の炭素数は７〜２４、好ましくは７〜１２である。より具体的には、基Ｒ3及びＲ4として、メチル基、エチル基、イソプロピル基、ｔ−ブチル基、オクチル基等のアルキル基、フェニル基、ナフチル基、ビフェニル基等のアリール基、ベンジル基、フェネチル基等のアラルキル基、水素原子等が挙げられ、これらの中ではメチル基、フェニル基又は水素原子がより好ましい。 Further, in the formulas (4) and (5), R 3 and R 4 represent the same or different monovalent groups selected from an alkyl group, an aryl group, an aralkyl group or a hydrogen atom. A group, an aryl group or a hydrogen atom is more preferable. In this case, the alkyl group has 1 to 24 carbon atoms, preferably 1 to 12 carbon atoms. Moreover, carbon number of an aryl group is 6-20, Preferably it is 6-10. Furthermore, the carbon number of the aralkyl group is 7 to 24, preferably 7 to 12. More specifically, as the groups R 3 and R 4 , alkyl groups such as methyl group, ethyl group, isopropyl group, t-butyl group and octyl group, aryl groups such as phenyl group, naphthyl group and biphenyl group, benzyl group , An aralkyl group such as a phenethyl group, a hydrogen atom, and the like. Among these, a methyl group, a phenyl group, or a hydrogen atom is more preferable.
またさらに、式（４）及び（５）において、Ｒ5は置換若しくは未置換の芳香族の２価の基、オキシポリ（ジメチルシロキシ）基、又は酸素原子を示す。この場合、芳香族の２価の基の炭素数は６〜２４、好ましくは６〜１２である。この芳香族の２価の基には、２価芳香族炭化水素基（アリーレン基等）の他、酸素等のヘテロ原子を連結基として含むアリーレン基等が含まれる。また、この芳香族の２価の基に結合していてもよい置換基としては、アルキル基、アリール基、アラルキル基等が挙げられる。より具体的には、基Ｒ5として、フェニレン基、ナフチレン基、ビフェニレン基等のアリーレン基、ジフェニルエーテル基等の置換アリーレン基、酸素原子等が挙げられ、これらの中ではフェニレン基、ジフェニルエーテル基又は酸素原子がより好ましい。 Furthermore, in the formulas (4) and (5), R 5 represents a substituted or unsubstituted aromatic divalent group, an oxypoly (dimethylsiloxy) group, or an oxygen atom. In this case, the aromatic divalent group has 6 to 24 carbon atoms, preferably 6 to 12 carbon atoms. This aromatic divalent group includes an arylene group containing a heteroatom such as oxygen as a linking group in addition to a divalent aromatic hydrocarbon group (arylene group or the like). In addition, examples of the substituent that may be bonded to the aromatic divalent group include an alkyl group, an aryl group, and an aralkyl group. More specifically, examples of the group R 5 include arylene groups such as a phenylene group, naphthylene group, and biphenylene group, substituted arylene groups such as a diphenyl ether group, oxygen atoms, and the like. Among these, a phenylene group, a diphenyl ether group, or an oxygen atom Atoms are more preferred.
さらにまた、式（４）及び（５）において、Ｒ6はアルキル基、アリール基又はアラルキル基を示す。この場合、アルキル基の炭素数は１〜２４、好ましくは１〜１２である。また、アリール基の炭素数は６〜２０、好ましくは６〜１０である。さらに、アラルキル基の炭素数は７〜２４、好ましくは７〜１２である。より具体的には、基Ｒ6として、メチル基、エチル基、イソプロピル基、ｔ−ブチル基、オクチル基等のアルキル基、フェニル基、ナフチル基、ビフェニル基等のアリール基、ベンジル基、フェネチル基等のアラルキル基等が挙げられる。 Furthermore, in the formulas (4) and (5), R 6 represents an alkyl group, an aryl group or an aralkyl group. In this case, the alkyl group has 1 to 24 carbon atoms, preferably 1 to 12 carbon atoms. Moreover, carbon number of an aryl group is 6-20, Preferably it is 6-10. Furthermore, the carbon number of the aralkyl group is 7 to 24, preferably 7 to 12. More specifically, the group R 6 includes an alkyl group such as a methyl group, an ethyl group, an isopropyl group, a t-butyl group, and an octyl group, an aryl group such as a phenyl group, a naphthyl group, and a biphenyl group, a benzyl group, and a phenethyl group. And aralkyl groups such as
また、式（４）及び（５）において、ａ及びｂは、それぞれ繰り返し単位数を表し、ａは正の整数であって、好ましくは１〜２００００、より好ましくは３〜１００００であり、特に好ましくは５〜１００００である。また、ｂは０又は正の整数であって、好ましくは０〜１０００、より好ましくは０〜１００である。ただし、ａ及びｂはそれらの構成比率を示すものであって、結合状態（ブロック共重合、ランダム共重合等）のいずれかの形態に限定されるものではない。 Moreover, in Formula (4) and (5), a and b represent the number of repeating units, respectively, a is a positive integer, Preferably it is 1-20000, More preferably, it is 3-10000, Especially preferably Is 5 to 10,000. B is 0 or a positive integer, preferably 0 to 1000, more preferably 0 to 100. However, a and b show those constituent ratios, and are not limited to any form of bonding state (block copolymerization, random copolymerization, etc.).
このような共重合体において、ａとｂとのそれぞれの個数の比（ａ：ｂ）は特に制限されず、ａ／ｂ比がより大きい、つまり高分子主鎖中の鎖状構造の割合が比較的多い場合、溶媒に対する共重合体の溶解度が高められ且つ融点が低くなることにより、共重合体の加工性が向上すると予想される。一方、ａ／ｂ比がより小さい、つまり高分子主鎖中の架橋構造の割合が比較的多い場合、共重合体の耐熱性、耐燃焼性が向上すると予想される。したがって、用途等に応じて、或いは、共重合体の各モノマーユニットの構造及びその組み合わせに応じて、良好な加工性及び耐熱性、耐燃焼性を与える共重合体の最適なａ／ｂ比の範囲を適宜設定することができる。 In such a copolymer, the ratio (a: b) of the number of each of a and b is not particularly limited, and the a / b ratio is larger, that is, the ratio of the chain structure in the polymer main chain is larger. When the amount is relatively large, it is expected that the processability of the copolymer is improved by increasing the solubility of the copolymer in the solvent and decreasing the melting point. On the other hand, when the a / b ratio is small, that is, when the ratio of the crosslinked structure in the polymer main chain is relatively large, the heat resistance and combustion resistance of the copolymer are expected to be improved. Therefore, the optimum a / b ratio of the copolymer that gives good processability, heat resistance, and combustion resistance depending on the use etc., or on the structure of each monomer unit of the copolymer and the combination thereof. The range can be set as appropriate.
さらに、式（４）及び（５）において、ｐは０又は正の整数、ｑは０又は正の整数を示し、後述するｎとは、ｐ＋ｑ＋２＝ｎの関係を有する。ｐの好ましい範囲は０〜１０であり、より好ましくは１〜８である。また、ｑの好ましい範囲は０〜１０であり、より好ましくは１〜８である。 Further, in the formulas (4) and (5), p represents 0 or a positive integer, q represents 0 or a positive integer, and n described later has a relationship of p + q + 2 = n. The preferable range of p is 0 to 10, more preferably 1 to 8. Moreover, the preferable range of q is 0-10, More preferably, it is 1-8.
またさらに、式（４）及び（５）において、Ｚ1は下記式（６）；
そして、本発明によるボラジン系樹脂の製造方法においては、前記式（４）で表される繰り返し単位を有する有機ケイ素ボラジン系ポリマーは、Ｂ，Ｂ'，Ｂ"−トリアルキニルボラジン類（ｘ成分；以下単に「ｘ」と記す。）とヒドロシラン類（ｙ成分；以下単に「ｙ」と記す。）とを重合溶媒（ｓ成分；以下単に「ｓ」と記す。）中、金属触媒（ｚ成分；以下単に「ｚ」と記す。）の存在下に重合させ（第１の工程）、重合後、この重合系に不溶で金属触媒由来の金属成分を吸着することができる粒子（メタルスカベンジャー）（ｗ成分；以下単に「ｗ」と記す。）を添加し（第２の工程）、その後更に金属成分を吸着したメタルスカベンジャーを濾別する（第３の工程）ことによって製造される。
〈Ｂ，Ｂ'，Ｂ"−トリアルキニルボラジン類（ｘ）〉
And in the manufacturing method of the borazine type resin by this invention, the organosilicon borazine type polymer which has a repeating unit represented by said Formula (4) is B, B ', B "-trialkynyl borazines (x component; In the following, a metal catalyst (z component; z); and a hydrosilane (y component; hereinafter simply referred to as “y”) in a polymerization solvent (s component; hereinafter simply referred to as “s”). (Hereinafter referred to simply as “z”) (first step), and after polymerization, particles (metal scavenger) (w that are insoluble in the polymerization system and can adsorb metal components derived from the metal catalyst) Component (hereinafter simply referred to as “w”) is added (second step), and then the metal scavenger adsorbing the metal component is filtered off (third step).
<B, B ′, B ″ -Trialkynylborazines (x)>
Ｂ，Ｂ'，Ｂ"−トリアルキニルボラジン類（ｘ）は、下記式（１）；
上記式（１）において、Ｒ1はアルキル基、アリール基、アラルキル基又は水素原子を示す。この場合、アルキル基の炭素数は１〜２４、好ましくは１〜１２である。また、アリール基の炭素数は６〜２０、好ましくは６〜１０である。さらに、アラルキル基の炭素数は７〜２４、好ましくは７〜１２である。より具体的には、基Ｒ1として、メチル基、エチル基、イソプロピル基、ｔ−ブチル基、オクチル基等のアルキル基、フェニル基、ナフチル基、ビフェニル基等のアリール基、ベンジル基、フェネチル基等のアラルキル基、水素原子等が挙げられ、これらの中ではメチル基、エチル基、フェニル基又は水素原子がより好ましい。 In the above formula (1), R 1 represents an alkyl group, an aryl group, an aralkyl group or a hydrogen atom. In this case, the alkyl group has 1 to 24 carbon atoms, preferably 1 to 12 carbon atoms. Moreover, carbon number of an aryl group is 6-20, Preferably it is 6-10. Furthermore, the carbon number of the aralkyl group is 7 to 24, preferably 7 to 12. More specifically, as the group R 1 , an alkyl group such as a methyl group, an ethyl group, an isopropyl group, a t-butyl group, and an octyl group, an aryl group such as a phenyl group, a naphthyl group, and a biphenyl group, a benzyl group, and a phenethyl group An aralkyl group such as a hydrogen atom and the like, and among them, a methyl group, an ethyl group, a phenyl group or a hydrogen atom is more preferable.
また、式（１）において、Ｒ2はアルキル基、アリール基、アラルキル基又は水素原子を示す。この場合、アルキル基の炭素数は１〜２４、好ましくは１〜１２である。また、アリール基の炭素数は６〜２０、好ましくは６〜１０である。さらに、アラルキル基の炭素数は７〜２４、好ましくは７〜１２である。より具体的には、基Ｒ2として、メチル基、エチル基、イソプロピル基、ｔ−ブチル基、オクチル基等のアルキル基、フェニル基、ナフチル基、ビフェニル基、アントラセニル基等のアリール基、ベンジル基、フェネチル基、フルオレニル基等のアラルキル基、水素原子等が挙げられ、これらの中ではメチル基、フェニル基又は水素原子がより好ましい。 In the formula (1), R 2 represents an alkyl group, an aryl group, an aralkyl group or a hydrogen atom. In this case, the alkyl group has 1 to 24 carbon atoms, preferably 1 to 12 carbon atoms. Moreover, carbon number of an aryl group is 6-20, Preferably it is 6-10. Furthermore, the carbon number of the aralkyl group is 7 to 24, preferably 7 to 12. More specifically, the group R 2 includes an alkyl group such as a methyl group, an ethyl group, an isopropyl group, a t-butyl group, and an octyl group, an aryl group such as a phenyl group, a naphthyl group, a biphenyl group, and an anthracenyl group, and a benzyl group. , An aralkyl group such as a phenethyl group and a fluorenyl group, a hydrogen atom, and the like. Among these, a methyl group, a phenyl group, or a hydrogen atom is more preferable.
式（１）で表されるＢ，Ｂ'，Ｂ"−トリアルキニルボラジン類（ｘ）を更に具体的に例示すると、Ｂ，Ｂ'，Ｂ"−トリエチニルボラジン、Ｂ，Ｂ'，Ｂ"−トリエチニル−Ｎ，Ｎ'，Ｎ"−トリメチルボラジン、Ｂ，Ｂ'，Ｂ"−トリ（１−プロピニル）ボラジン、Ｂ，Ｂ'，Ｂ"−トリフェニルエチニルボラジン、Ｂ，Ｂ'，Ｂ"−トリフェニルエチニル−Ｎ，Ｎ'，Ｎ"−トリメチルボラジン、Ｂ，Ｂ'，Ｂ"−トリエチニル−Ｎ，Ｎ'，Ｎ"−トリフェニルボラジン、Ｂ，Ｂ'，Ｂ"−トリフェニルエチニル−Ｎ，Ｎ'，Ｎ"−トリフェニルボラジン、Ｂ，Ｂ'，Ｂ"−エチニル−Ｎ，Ｎ'，Ｎ"−トリベンジルボラジン、Ｂ，Ｂ'，Ｂ"−トリス（１−プロピニル）−Ｎ，Ｎ'，Ｎ"−トリメチルボラジン等が挙げられる。ただし、これらに限定されるものではない。また、１種のＢ，Ｂ'，Ｂ"−トリアルキニルボラジン類を単独で用いることもできるが、２種以上のＢ，Ｂ'，Ｂ"−トリアルキニルボラジン類を組み合わせて用いてもよい。 More specifically, the B, B ′, B ″ -trialkynylborazines (x) represented by the formula (1) are specifically exemplified as B, B ′, B ″ -triethynylborazine, B, B ′, B ″. -Triethynyl-N, N ', N "-trimethylborazine, B, B', B" -tri (1-propynyl) borazine, B, B ', B "-triphenylethynylborazine, B, B', B" -Triphenylethynyl-N, N ', N "-trimethylborazine, B, B', B" -triethynyl-N, N ', N "-triphenylborazine, B, B', B" -triphenylethynyl- N, N ', N "-triphenylborazine, B, B', B" -ethynyl-N, N ', N "-tribenzylborazine, B, B', B" -tris (1-propynyl) -N , N ′, N ″ -trimethylborazine and the like. However, it is not limited to these. Further, one kind of B, B ′, B ″ -trialkynylborazines can be used alone, but two or more kinds of B, B ′, B ″ -trialkynylborazines may be used in combination.
〈ヒドロシラン類（ｙ）〉
ヒドロシラン類（ｙ）は、下記式（２）；
Hydrosilanes (y) are represented by the following formula (2);
式（２）において、Ｒ3及びＲ4はアルキル基、アリール基、アラルキル基又は水素原子の中から選ばれる同一又は異なる１価の基を示し、これらの中では、アルキル基、アリール基又は水素原子がより好ましい。この場合、アルキル基の炭素数は１〜２４、好ましくは１〜１２である。また、アリール基の炭素数は６〜２０、好ましくは６〜１０である。さらに、アラルキル基の炭素数は７〜２４、好ましくは７〜１２である。より具体的には、基Ｒ3及びＲ4として、メチル基、エチル基、イソプロピル基、ｔ−ブチル基、オクチル基等のアルキル基、フェニル基、ナフチル基、ビフェニル基等のアリール基、ベンジル基、フェネチル基等のアラルキル基、水素原子等が挙げられ、これらの中ではメチル基、フェニル基又は水素原子がより好ましい。 In the formula (2), R 3 and R 4 represent the same or different monovalent group selected from an alkyl group, an aryl group, an aralkyl group or a hydrogen atom, and among these, an alkyl group, an aryl group or a hydrogen atom Atoms are more preferred. In this case, the alkyl group has 1 to 24 carbon atoms, preferably 1 to 12 carbon atoms. Moreover, carbon number of an aryl group is 6-20, Preferably it is 6-10. Furthermore, the carbon number of the aralkyl group is 7 to 24, preferably 7 to 12. More specifically, as the groups R3 and R4, alkyl groups such as methyl group, ethyl group, isopropyl group, t-butyl group and octyl group, aryl groups such as phenyl group, naphthyl group and biphenyl group, benzyl group and phenethyl group Examples thereof include an aralkyl group such as a group, a hydrogen atom and the like, and among these, a methyl group, a phenyl group or a hydrogen atom is more preferable.
また、式（２）において、Ｒ5は置換若しくは未置換の芳香族の２価の基、オキシポリ（ジメチルシロキシ）基、又は酸素原子を示す。この場合、芳香族の２価の基の炭素数は６〜２４、好ましくは６〜１２である。この芳香族の２価の基には、２価芳香族炭化水素基（アリーレン基等）の他、酸素等のヘテロ原子を連結基として含むアリーレン基等が含まれる。また、この芳香族の２価の基に結合していてもよい置換基としては、アルキル基、アリール基、アラルキル基等が挙げられる。より具体的には、基Ｒ5として、フェニレン基、ナフチレン基、ビフェニレン基等のアリーレン基、ジフェニルエーテル基等の置換アリーレン基、酸素原子等が挙げられ、これらの中ではフェニレン基、ジフェニルエーテル基又は酸素原子がより好ましい。 In the formula (2), R 5 represents a substituted or unsubstituted aromatic divalent group, an oxypoly (dimethylsiloxy) group, or an oxygen atom. In this case, the aromatic divalent group has 6 to 24 carbon atoms, preferably 6 to 12 carbon atoms. This aromatic divalent group includes an arylene group containing a heteroatom such as oxygen as a linking group in addition to a divalent aromatic hydrocarbon group (arylene group or the like). In addition, examples of the substituent that may be bonded to the aromatic divalent group include an alkyl group, an aryl group, and an aralkyl group. More specifically, examples of the group R 5 include arylene groups such as a phenylene group, naphthylene group, and biphenylene group, substituted arylene groups such as a diphenyl ether group, oxygen atoms, and the like. Among these, a phenylene group, a diphenyl ether group, or an oxygen atom Atoms are more preferred.
さらに、式（３）において、Ｒ6はアルキル基、アリール基又はアラルキル基を示す。この場合、アルキル基の炭素数は１〜２４、好ましくは１〜１２である。また、アリール基の炭素数は６〜２０、好ましくは６〜１０である。さらに、アラルキル基の炭素数は７〜２４、好ましくは７〜１２である。より具体的には、基Ｒ6として、メチル基、エチル基、イソプロピル基、ｔ−ブチル基、オクチル基等のアルキル基、フェニル基、ナフチル基、ビフェニル基等のアリール基、ベンジル基、フェネチル基等のアラルキル基等が挙げられる。 Further, in the formula (3), R 6 represents an alkyl group, an aryl group or an aralkyl group. In this case, the alkyl group has 1 to 24 carbon atoms, preferably 1 to 12 carbon atoms. Moreover, carbon number of an aryl group is 6-20, Preferably it is 6-10. Furthermore, the carbon number of the aralkyl group is 7 to 24, preferably 7 to 12. More specifically, the group R 6 includes an alkyl group such as a methyl group, an ethyl group, an isopropyl group, a t-butyl group, and an octyl group, an aryl group such as a phenyl group, a naphthyl group, and a biphenyl group, a benzyl group, and a phenethyl group. And aralkyl groups such as
またさらに、式（３）において、ｎは２以上の正の整数を示す。前出の式（４）におけるｐ及びｑとは、ｐ＋ｑ＋２＝ｎの関係を有する。ｎの好ましい範囲は２〜１０であり、より好ましくは３〜８である。ｎが過度に大きく（換言すれば、環が大きく）、例えば１０を超えると、耐熱性、後述する絶縁被膜の機械特性が不都合な程に低下する傾向にある。 Furthermore, in the formula (3), n represents a positive integer of 2 or more. P and q in the above formula (4) have a relationship of p + q + 2 = n. The preferable range of n is 2 to 10, more preferably 3 to 8. When n is excessively large (in other words, the ring is large) and exceeds 10, for example, the heat resistance and the mechanical properties of the insulating film described later tend to be disadvantageously lowered.
式（２）又は（３）で表されるヒドロシラン類（ｙ）には、ビス（モノヒドロシラン）類、ビス（ジヒドロシラン）類、ビス（トリヒドロシラン）類、ポリ（ヒドロシラン）類が含まれる。具体例としては、ｍ−ビス（ジメチルシリル）ベンゼン、ｐ−ビス（ジメチルシリル）ベンゼン、１，４−ビス（ジメチルシリル）ナフタレン、１，５−ビス（ジメチルシリル）ナフタレン、ｍ−ビス（メチルエチルシリル）ベンゼン、ｍ−ビス（メチルフェニルシリル）ベンゼン、ｐ−ビス（メチルオクチルシリル）ベンゼン、４，４'−ビス（メチルベンジルシリル）ビフェニル、４，４'−ビス（メチルフェネチルシリル）ジフェニルエーテル、ｍ−ビス（メチルシリル）ベンゼン、ｍ−ジシリルベンゼン、１，１，３，３−テトラメチル−１，３−ジシロキサン、１，３，５，７−テトラメチルシクロテトラシロキサン、１，３，５，７，９−ペンタメチルシクロペンタシロキサン、１，３，５，７−テトラエチルシクロテトラシロキサン、１，３，５−トリフェニルシクロトリシロキサン、１，３，５，７−テトラフェニルシクロテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラベンジルシクロテトラシロキサン等が挙げられる。ただし、これらに限定されるものではない。 Hydrosilanes (y) represented by formula (2) or (3) include bis (monohydrosilane) s, bis (dihydrosilanes), bis (trihydrosilanes), and poly (hydrosilanes). Specific examples include m-bis (dimethylsilyl) benzene, p-bis (dimethylsilyl) benzene, 1,4-bis (dimethylsilyl) naphthalene, 1,5-bis (dimethylsilyl) naphthalene, m-bis (methyl Ethylsilyl) benzene, m-bis (methylphenylsilyl) benzene, p-bis (methyloctylsilyl) benzene, 4,4′-bis (methylbenzylsilyl) biphenyl, 4,4′-bis (methylphenethylsilyl) diphenyl ether M-bis (methylsilyl) benzene, m-disilylbenzene, 1,1,3,3-tetramethyl-1,3-disiloxane, 1,3,5,7-tetramethylcyclotetrasiloxane, 1,3 , 5,7,9-pentamethylcyclopentasiloxane, 1,3,5,7-tetraethylcyclotetrasiloxane Emissions, 1,3,5 triphenyl cyclotrisiloxane, 1,3,5,7-tetraphenyl cyclotetrasiloxane, 1,3,5,7-tetra benzyl cyclotetrasiloxane and the like. However, it is not limited to these.
これらの中では、ｍ−ビス（ジメチルシリル）ベンゼン、ｐ−ビス（ジメチルシリル）ベンゼン又は１，１，３，３−テトラメチル−１，３−ジシロキサン、１，３，５，７−テトラメチルシクロテトラシロキサンがより好ましい。また、１種のヒドロシラン類（ｙ）を単独で用いることもできるが、２種以上のヒドロシラン類（ｙ）を組み合わせて用いてもよい。 Among these, m-bis (dimethylsilyl) benzene, p-bis (dimethylsilyl) benzene or 1,1,3,3-tetramethyl-1,3-disiloxane, 1,3,5,7-tetra More preferred is methylcyclotetrasiloxane. One hydrosilane (y) can be used alone, but two or more hydrosilanes (y) may be used in combination.
〈金属触媒（ｚ）〉
式（４）で表される有機ケイ素ボラジン系ポリマーを製造する際に使用する金属触媒（ｚ）は、一般にアセチレン類やオレフィン類のヒドロシリル化に使用されるものを用いることができる。このような金属触媒（ｚ）としては、白金ジビニルテトラメチルジシロキサン、白金環状ジビニルメチルシロキサン、塩化白金酸、ジクロロ白金、トリス（ジベンジリデンアセトン）二白金、ビス（エチレン）テトラクロロ二白金、シクロオクタジエンジクロロ白金、ビス（シクロオクタジエン）白金、シクロオクタジエンジメチル白金、ビス（トリフェニルホスフィン）ジクロロ白金、テトラキス（トリフェニルホスフィン）白金等、又は、Ｂ．Ｍａｒｃｉｎｉｅｃ編、Ｃｏｍｐｒｅｈｅｎｓｉｖｅ Ｈａｎｄｂｏｏｋ ｏｎ Ｈｙｄｒｏｓｉｌｙｌａｔｉｏｎ、Ｐｅｒｇａｍｏｎ Ｐｒｅｓｓ（１９９２）に記載された化合物等が挙げられる。
<Metal catalyst (z)>
As the metal catalyst (z) used for producing the organosilicon borazine-based polymer represented by the formula (4), those generally used for hydrosilylation of acetylenes and olefins can be used. Examples of such metal catalyst (z) include platinum divinyltetramethyldisiloxane, platinum cyclic divinylmethylsiloxane, chloroplatinic acid, dichloroplatinum, tris (dibenzylideneacetone) diplatinum, bis (ethylene) tetrachlorodiplatinum, cyclo Octadiene dichloroplatinum, bis (cyclooctadiene) platinum, cyclooctadiene dimethylplatinum, bis (triphenylphosphine) dichloroplatinum, tetrakis (triphenylphosphine) platinum, or the like. Examples include compounds described in the edition of Marciniec, Comprehensive Handbook on Hydrosilation, and Pergamon Press (1992).
また、金属触媒（ｚ）の他の具体例として、白金粉末、パラジウム粉末、ニッケル粉末等の金属単体粉末、白金炭素、白金アルミナ、白金シリカ、パラジウム炭素、パラジウムアルミナ、パラジウムシリカ、ロジウム炭素、ロジウムアルミナ、ロジウムシリカ等の坦持金属単体、ラネーニッケル、又は、Ｂ．Ｍａｒｃｉｎｉｅｃ編、Ｃｏｍｐｒｅｈｅｎｓｉｖｅ Ｈａｎｄｂｏｏｋ ｏｎ Ｈｙｄｒｏｓｉｌｙｌａｔｉｏｎ、Ｐｅｒｇａｍｏｎ Ｐｒｅｓｓ（１９９２）やＰｏｌｙｍｅｒ Ｊｏｕｒｎａｌ、３４、９７−１０２（２００２）に記載のポリマー坦持ロジウム触媒（ｐｏｌｙｍ−ＰＰｈ2・ＲｈＣｌ（ＰＰｈ3）3、ｐｏｌｙｍ−ＰＰｈ2・ＲｈＣｌ3、ｐｏｌｙｍ−ＣＨ2Ｃｌ2・ＲｈＣｌ（ＣＯ）（ＰＰｈ3）2など）やポリマー坦持白金触媒（Ｐｏｌｙｍ−ＣＨ2ＳＨ／Ｈ2ＰｔＣｌ6）（ここで、ｐｏｌｙはポリ（スチレン−ｃｏ−ジビニルベンゼン）等の主鎖骨格を意味する。）、表面官能基化シリカゲル坦持白金触媒（Ｓｉｌｉｃａ−（ＣＨ2）3−ＳＨ／Ｈ2ＰｔＣｌ6）等も挙げられる。 Other specific examples of the metal catalyst (z) include simple metal powders such as platinum powder, palladium powder and nickel powder, platinum carbon, platinum alumina, platinum silica, palladium carbon, palladium alumina, palladium silica, rhodium carbon and rhodium. A carrier metal such as alumina or rhodium silica, Raney nickel, or B.I. Marciniec ed., Comprehensive Handbook on Hydrosilylation, Pergamon Press (1992) and Polymer Journal, polymer-supported rhodium catalyst according to 34,97-102 (2002) (polym-PPh 2 · RhCl (PPh 3) 3, polym-PPh 2 RhCl 3 , polym-CH 2 Cl 2 , RhCl (CO) (PPh 3 ) 2 ) and polymer-supported platinum catalyst (Polym-CH 2 SH / H 2 PtCl 6 ) (where poly is poly (styrene- a main chain skeleton such as co-divinylbenzene)), and surface-functionalized silica gel supported platinum catalyst (Silica- (CH 2 ) 3 —SH / H 2 PtCl 6 ).
これらの金属触媒（ｚ）は単独で用いてもよく、或いは、複数を組み合わせて使用してもよい。 These metal catalysts (z) may be used alone or in combination of two or more.
〈重合溶媒（ｓ）〉
式（４）で表される有機ケイ素ボラジン系ポリマーを製造する際、系の流動性を保つこと、及び、重合後、金属触媒（ｚ）由来の金属成分が付着したメタルスカベンジャー（ｗ）の除去を容易にすべく、重合溶媒（ｓ）が用いられる。重合溶媒（ｓ）としては、原料と反応するものを除いた種々の溶媒を用いることができる。具体的には、芳香族炭化水素系、飽和炭化水素系、脂肪族エーテル系、芳香族エーテル系等の溶媒が挙げられ、より具体的には、トルエン、ベンゼン、キシレン、エチルベンゼン、プロピルベンゼン、ヘキシルベンゼン、ヘキサン、テトラヒドロフラン、エチレングリコールジメチルエーテル、ジフェニルエーテル等が挙げられる。これらの重合溶媒は単独で用いてもよく、また、複数を組み合わせて使用してもよい。
<Polymerization solvent (s)>
When producing the organosilicon borazine-based polymer represented by the formula (4), the fluidity of the system is maintained, and after the polymerization, the metal scavenger (w) to which the metal component derived from the metal catalyst (z) is attached is removed. In order to facilitate the process, a polymerization solvent (s) is used. As the polymerization solvent (s), various solvents other than those that react with the raw material can be used. Specific examples include aromatic hydrocarbon-based, saturated hydrocarbon-based, aliphatic ether-based, aromatic ether-based solvents, and more specifically, toluene, benzene, xylene, ethylbenzene, propylbenzene, hexyl. Examples include benzene, hexane, tetrahydrofuran, ethylene glycol dimethyl ether, and diphenyl ether. These polymerization solvents may be used alone or in combination of two or more.
ここで、式（４）で表される有機ケイ素ボラジン系ポリマーを製造する際のＢ，Ｂ'，Ｂ"−トリアルキニルボラジン類（ｘ）とヒドロシラン類（ｙ）の仕込みモル比は、Ｂ，Ｂ'，Ｂ"−トリアルキニルボラジン類１モルに対して、ヒドロシラン類が０．１〜１０モルの範囲であると好適であり、より好ましくは、Ｂ，Ｂ'，Ｂ"−トリアルキニルボラジン類１モルに対して、ヒドロシラン類が０．２〜５モルの範囲である。 Here, the charge molar ratio of B, B ′, B ″ -trialkynylborazines (x) and hydrosilanes (y) when producing the organosilicon borazine-based polymer represented by the formula (4) is B, It is preferred that the hydrosilane is in the range of 0.1 to 10 moles, more preferably B, B ′, B ″ -trialkynylborazines relative to 1 mole of B ′, B ″ -trialkynylborazines. Hydrosilanes are in the range of 0.2 to 5 moles per mole.
また、式（４）で表される有機ケイ素ボラジン系ポリマーを製造する際の金属触媒（ｚ）の使用量は、Ｂ，Ｂ'，Ｂ"−トリアルキニルボラジン類又はヒドロシラン類のうちモル量の少ない方の原料化合物に対する金属原子のモル比が０．０００００１〜５の範囲であると好適である。 The amount of the metal catalyst (z) used in producing the organosilicon borazine-based polymer represented by the formula (4) is a molar amount of B, B ′, B ″ -trialkynylborazines or hydrosilanes. It is preferable that the molar ratio of the metal atom to the smaller raw material compound is in the range of 0.000001 to 5.
さらに、式（４）で表される有機ケイ素ボラジン系ポリマーを製造する際の重合溶媒（ｓ）の使用量は、Ｂ，Ｂ'，Ｂ"−トリアルキニルボラジン類及びヒドロシラン類の総量１００重量部に対して重合溶媒（ｓ）を５０〜１０００００重量部使用することが望ましい。 Furthermore, the amount of the polymerization solvent (s) used in producing the organosilicon borazine-based polymer represented by the formula (4) is 100 parts by weight of the total amount of B, B ′, B ″ -trialkynylborazines and hydrosilanes. The polymerization solvent (s) is preferably used in an amount of 50 to 100,000 parts by weight.
またさらに、式（４）で表される有機ケイ素ボラジン系ポリマーを製造する際の反応温度及び反応時間は、Ｂ，Ｂ'，Ｂ"−トリアルキニルボラジン類とヒドロシラン類とが重合し、所望の分子量を有する有機ケイ素ボラジン系ポリマーが得られる条件であれば特に制限されない。具体的には、原料の反応性や触媒の活性によって異なるが、反応温度は−２０℃〜２００℃の範囲で冷却又は加熱することができる。より好ましい反応温度としては０℃〜１５０℃、更に好ましくは０℃〜１００℃の範囲とされる。一方、反応時間は好ましくは１分〜１０日であり、より好ましくは１時間〜１０日、特に好ましくは２時間〜７日の範囲とされる。 Furthermore, the reaction temperature and reaction time for producing the organosilicon borazine-based polymer represented by the formula (4) are such that B, B ′, B ″ -trialkynylborazines and hydrosilanes are polymerized to obtain a desired temperature. There are no particular limitations as long as the conditions allow an organosilicon borazine-based polymer having a molecular weight to be obtained, specifically, depending on the reactivity of the raw materials and the activity of the catalyst, the reaction temperature is cooled in the range of −20 ° C. to 200 ° C. More preferable reaction temperature is 0 ° C. to 150 ° C., more preferably 0 ° C. to 100 ° C. On the other hand, the reaction time is preferably 1 minute to 10 days, more preferably. It is in the range of 1 hour to 10 days, particularly preferably 2 hours to 7 days.
なお、重合反応は乾燥窒素やアルゴン等の不活性雰囲気下で行うことが望ましく、装置構成を簡略化する観点から、大気下でも行うことが可能である。 The polymerization reaction is desirably performed in an inert atmosphere such as dry nitrogen or argon, and can be performed in the air from the viewpoint of simplifying the apparatus configuration.
〈メタルスカベンジャー（ｗ）〉
有機ケイ素ボラジン系ポリマーの合成後、重合系に不溶で金属触媒由来の金属成分を吸着することができる粒子（メタルスカベンジャー（ｗ））を重合系（重合液）に添加し、その後、重合液中に残留する金属成分が吸着したメタルスカベンジャーを濾別することによって、金属触媒（ｓ）に由来する金属成分を除去することができる。
<Metal Scavenger (w)>
After the synthesis of the organosilicon borazine polymer, particles (metal scavenger (w)) that are insoluble in the polymerization system and can adsorb metal components derived from the metal catalyst are added to the polymerization system (polymerization solution), and then in the polymerization solution The metal component derived from the metal catalyst (s) can be removed by filtering the metal scavenger on which the metal component remaining on the metal adsorbs.
メタルスカベンジャー（ｗ）としては、重合系中の金属成分を吸着（配位）して重合系から分別することが可能な粒子である。具体的には、「組み合わせ化学（コンビナトリアルケミストリー）」で用いられる以下に示すような表面修飾粒子が挙げられる。
また、他のメタルスカベンジャー（ｗ）として、陽イオン交換樹脂、シリカゲル粒子、アルミナ粒子、セライト、活性炭素粉末等を例示できる。 Other examples of the metal scavenger (w) include cation exchange resin, silica gel particles, alumina particles, celite, activated carbon powder and the like.
メタルスカベンジャー（ｗ）の使用量は、重合に用いた金属触媒（ｚ）の使用量、及び／又はメタルスカベンジャー（ｗ）が金属を吸着（配位）する能力によって異なるものの、概ね、反応溶液の総量（ｘ＋ｙ＋ｚ＋ｓ）１００重量部に対してメタルスカベンジャー（ｗ）を０．０１〜１００重量部使用することが好ましい。 Although the amount of metal scavenger (w) used depends on the amount of metal catalyst (z) used for polymerization and / or the ability of metal scavenger (w) to adsorb (coordinate) metal, It is preferable to use 0.01 to 100 parts by weight of the metal scavenger (w) with respect to 100 parts by weight of the total amount (x + y + z + s).
そして、メタルスカベンジャー（ｗ）を重合系に加え、その液を攪拌することによって、メタルスカベンジャーが効率よく金属を吸着（配位）する（第２の工程）。メタルスカベンジャー（ｗ）に金属触媒（ｚ）由来の金属を吸着させるための時間（接触時間）は、金属触媒（ｚ）の使用量及びメタルスカベンジャー（ｗ）が金属を吸着する能力によって異なるものの、概ね１０分〜２４時間程度である。 Then, the metal scavenger (w) is added to the polymerization system, and the liquid is stirred, whereby the metal scavenger efficiently adsorbs (coordinates) the metal (second step). Although the time (contact time) for making the metal scavenger (w) adsorb the metal derived from the metal catalyst (z) depends on the amount of the metal catalyst (z) used and the ability of the metal scavenger (w) to adsorb the metal, About 10 minutes to 24 hours.
さらに引き続き、反応液を濾過して金属成分が吸着したメタルスカベンジャー（ｗ）を除去することにより、金属不純物含有量が低減された有機ケイ素ボラジン系ポリマーを含んだ濾液を得る（第３の工程）。このとき、濾別の方法としては、一般的に用いられる自然濾過、吸引濾過、加圧濾過等の濾過法を用いることができる。また、濾材には濾紙、濾布、樹脂膜等を使用でき、さらに、自然沈降や遠心分離等によって金属成分が吸着したメタルスカベンジャー（ｗ）を除去することも本発明の「濾別」の態様に含まれる。 Subsequently, the reaction solution is filtered to remove the metal scavenger (w) on which the metal component is adsorbed, thereby obtaining a filtrate containing an organosilicon borazine-based polymer with a reduced metal impurity content (third step). . At this time, as a method for filtering, generally used filtration methods such as natural filtration, suction filtration, and pressure filtration can be used. In addition, filter paper, filter cloth, resin membrane, etc. can be used as the filter medium, and further, the removal of the metal scavenger (w) to which the metal component has been adsorbed by natural sedimentation, centrifugation, etc. include.
このようにして得た有機ケイ素ボラジン系ポリマーを含んだ濾液は、このままボラジン系樹脂組成物（Ｃ成分；以下単に「Ｃ」と記す。）となる。また、かかる濾液を減圧濃縮又は加熱濃縮することにより溶媒を除去し、固形状のポリマーとしてボラジン系樹脂組成物（Ｃ）の原料とすることもできる。さらに、再沈殿、ゲル濾過カラム、ＧＰＣ（ゲルパーミエーションクロマトグラム）カラム等により分取したもの等をボラジン系樹脂組成物（Ｃ）の原料とすることも可能である。 The filtrate containing the organosilicon borazine-based polymer thus obtained becomes a borazine-based resin composition (component C; hereinafter simply referred to as “C”). Further, the solvent can be removed by concentrating the filtrate under reduced pressure or by heating to obtain a raw material for the borazine-based resin composition (C) as a solid polymer. Furthermore, it is also possible to use a material obtained by reprecipitation, a gel filtration column, a GPC (gel permeation chromatogram) column, or the like as a raw material for the borazine-based resin composition (C).
〈溶剤（Ｂ）〉
本発明のボラジン系樹脂組成物を構成する溶剤（Ｂ）は、主鎖又は側鎖にボラジン骨格を有する重合体（Ａ）と反応せずに、重合体（Ａ）を溶解せしめるものである。具体的には、トルエン、ベンゼン、キシレン、メシチレン、エチルベンゼン、プロピルベンゼン、ヘキシルベンゼン、テトラリン、ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、シクロヘキサン、ジメチルシクロヘキサン等の炭化水素系溶剤、エチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、１，４−ジオキサン、ジフェニルエーテル等のエーテル系溶剤、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、ジイソブチルケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン等のケトン系溶剤、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸ペンチル、γ−ブチロラクトン等のエステル系溶剤、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ−シクロヘキシル−２−ピロリドン、キノリン等の含窒素溶剤、クロロホルム等のハロゲン系溶剤、ジメチルスルホキシド等が挙げられる。
<Solvent (B)>
The solvent (B) constituting the borazine-based resin composition of the present invention dissolves the polymer (A) without reacting with the polymer (A) having a borazine skeleton in the main chain or side chain. Specifically, hydrocarbon solvents such as toluene, benzene, xylene, mesitylene, ethylbenzene, propylbenzene, hexylbenzene, tetralin, pentane, hexane, heptane, cyclohexane, dimethylcyclohexane, ethylene glycol dimethyl ether, tetrahydrofuran, 1,4- Ether solvents such as dioxane and diphenyl ether, ketone solvents such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, diisobutyl ketone, cyclopentanone and cyclohexanone, ester solvents such as ethyl acetate, butyl acetate, pentyl acetate and γ-butyrolactone, N , N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, N-cyclohexyl-2-pyrrolidone, quinoline and other nitrogen-containing solutions Halogen-based solvents such as chloroform, dimethyl sulfoxide and the like.
これらの溶剤（Ｂ）は単独で用いてもよく、或いは、複数組み合わせて使用してもよい。溶剤（Ｂ）の使用量は、重合体（Ａ）の固形分濃度が好ましくは０．５〜８０質量％、より好ましくは１〜７０質量％、更に好ましくは２〜６０質量％となるようにすると好適である。この固形分濃度が０．５質量％未満であると、基体上に塗布する場合に、１回の塗布で得られる塗膜の厚さが薄くなり、当該膜の強度や耐熱性、及び乾燥させて絶縁被膜としたときの絶縁特性の信頼性が低下する傾向にある。一方、その固形分濃度が８０質量％を超えると、ボラジン系樹脂組成物（Ｃ）の粘性が過度に高められ、均一な薄膜を形成させることが困難な傾向にある。 These solvents (B) may be used alone or in combination. The amount of the solvent (B) used is such that the solid content concentration of the polymer (A) is preferably 0.5 to 80% by mass, more preferably 1 to 70% by mass, and further preferably 2 to 60% by mass. It is preferable. When this solid content concentration is less than 0.5% by mass, the thickness of the coating film obtained by a single application is reduced when applied on the substrate, and the strength and heat resistance of the film are reduced. As a result, the reliability of the insulation characteristics when an insulating film is formed tends to be lowered. On the other hand, when the solid content concentration exceeds 80% by mass, the viscosity of the borazine-based resin composition (C) is excessively increased, and it tends to be difficult to form a uniform thin film.
〈ボラジン系樹脂組成物（Ｃ）〉
本発明のボラジン系樹脂組成物（Ｃ）は、以上説明した主鎖又は側鎖にボラジン骨格を有する重合体（Ａ）と溶剤（Ｂ）の混合物（実質的に均一混合物）である。ボラジン系樹脂組成物（Ｃ）は、前述した有機ケイ素ボラジン系ポリマーを製造する過程で得た、金属成分が吸着したメタルスカベンジャー（ｗ）を濾別した後の濾液、その濾液に重合溶媒より高沸点の溶剤を加えて低沸点の重合溶媒を留去したもの（したがって、かかる高沸点の溶剤と有機ケイ素ボラジン系ポリマーの混合物となる。）、又は、固形状の有機ケイ素ボラジン系ポリマーを溶剤中に溶解したもの等が挙げられ、それぞれの方法を用いても製造することができる。
<Borazine-based resin composition (C)>
The borazine-based resin composition (C) of the present invention is a mixture (substantially uniform mixture) of the polymer (A) and the solvent (B) having a borazine skeleton in the main chain or side chain described above. The borazine-based resin composition (C) is a filtrate obtained by filtering the metal scavenger (w) adsorbed with the metal component obtained in the process of producing the organosilicon borazine-based polymer, and the filtrate is higher than the polymerization solvent. A low-boiling point polymerization solvent is distilled off by adding a boiling point solvent (thus, a mixture of such a high-boiling point solvent and an organosilicon borazine polymer) or a solid organosilicon borazine polymer in the solvent. It can be also produced by using each method.
このように構成されたボラジン系樹脂組成物（Ｃ）は、金属触媒（ｚ）に由来する金属成分、更にはハロゲン等の不純物含有量が十分に低減されたものである。ボラジン系樹脂組成物（Ｃ）中の不純物含有量は、絶縁被膜の製造装置に悪影響を及ぼさず、かかる絶縁被膜を層間絶縁膜として使用する際に、リーク電流が発生したり、誘電率等の絶縁膜としての特性が低下したりしない観点から、好ましくはボラジン系樹脂組成物（Ｃ）中３０ｐｐｍ以下が好ましく、１０ｐｐｍ以下がより好ましく、５ｐｐｍ以下が更に好ましい。 The borazine-based resin composition (C) thus configured has a sufficiently reduced content of impurities such as a metal component derived from the metal catalyst (z) and further halogen. The impurity content in the borazine-based resin composition (C) does not adversely affect the insulating coating production apparatus, and when such an insulating coating is used as an interlayer insulating film, a leakage current is generated, the dielectric constant, etc. From the viewpoint of not deteriorating the properties as an insulating film, it is preferably 30 ppm or less, more preferably 10 ppm or less, still more preferably 5 ppm or less in the borazine-based resin composition (C).
ところで、ボラジン系樹脂組成物（Ｃ）中の不純物濃度の低減を図る他の方法として、不純物濃度が極めて小さい溶媒でボラジン系樹脂組成物（Ｃ）を希釈するといった方法も想定される。しかし、この方法では、絶縁被膜の製造装置に与える損傷を軽減することができるが、ボラジン系樹脂組成物（Ｃ）中の固形物濃度も同時に低下させてしまうといった不都合があり、また、実質的に固形物濃度に対する不純物濃度の割合を低減することにはならない。 By the way, as another method for reducing the impurity concentration in the borazine-based resin composition (C), a method of diluting the borazine-based resin composition (C) with a solvent having a very low impurity concentration is also assumed. However, this method can reduce the damage to the insulating film production apparatus, but has the disadvantage that the solid concentration in the borazine-based resin composition (C) is also lowered at the same time. In addition, the ratio of the impurity concentration to the solid concentration is not reduced.
このようなボラジン系樹脂組成物（Ｃ）を用いて本発明による絶縁被膜を形成する方法としては、以下を例示できる。まず、浸漬法、スプレー法、スクリーン印刷法、回転塗布法等によってシリコンウェハ、金属基板、セラミック基板等の基体上にボラジン系樹脂組成物（Ｃ）を塗布して塗膜を形成する。それから、６０〜５００℃、１０秒〜２時間程度、空気中又は窒素等の不活性ガス中でその塗膜を加熱乾燥して溶剤を除去する。これにより、ベタツキのない薄膜から成る絶縁被膜を得ることができる。この絶縁被膜の膜厚は特に制限されないものの、耐熱性等の観点から、好ましくは０．０５〜５０μｍ、より好ましくは０．１〜１０μｍ、特に好ましくは０．２〜５μｍとされる。 Examples of the method for forming an insulating film according to the present invention using such a borazine-based resin composition (C) include the following. First, a borazine-based resin composition (C) is applied on a substrate such as a silicon wafer, a metal substrate, or a ceramic substrate by a dipping method, a spray method, a screen printing method, a spin coating method, or the like to form a coating film. Then, the film is heated and dried in air or an inert gas such as nitrogen at 60 to 500 ° C. for 10 seconds to 2 hours to remove the solvent. Thereby, an insulating coating composed of a thin film without stickiness can be obtained. Although the thickness of the insulating coating is not particularly limited, it is preferably 0.05 to 50 μm, more preferably 0.1 to 10 μm, and particularly preferably 0.2 to 5 μm from the viewpoint of heat resistance and the like.
また、このように形成される絶縁被膜を用いた本発明による電子部品としては、半導体素子、液晶素子、多層配線板等の絶縁被膜を有するもの等が挙げられる。本発明の絶縁被膜は、半導体素子においては、表面保護膜、バッファーコート膜、層間絶縁膜といった絶縁膜等として、液晶素子においては表面保護膜、絶縁膜等として、多層配線基板においては、層間絶縁膜として好ましく用いることができる。 Further, examples of the electronic component according to the present invention using the insulating coating formed in this way include those having an insulating coating such as a semiconductor element, a liquid crystal element, and a multilayer wiring board. The insulating coating of the present invention is used as an insulating film such as a surface protective film, a buffer coat film and an interlayer insulating film in a semiconductor element, as a surface protective film and an insulating film in a liquid crystal element, and as an interlayer insulating film in a multilayer wiring board. It can be preferably used as a film.
具体的には、半導体素子としては、ダイオード、トランジスタ、キャパシタ、化合物半導体素子、サーミスタ、バリスタ、サイリスタ等の個別半導体素子、ＤＲＡＭ（ダイナミック・ランダム・アクセス・メモリ）、ＳＲＡＭ（スタティック・ランダム・アクセス・メモリ）、ＥＰＲＯＭ（イレイザブル・プログラマブル・リード・オンリー・メモリー）、マスクＲＯＭ（マスク・リード・オンリー・メモリ）、ＥＥＰＲＯＭ（エレクトリカル・イレイザブル・プログラマブル・リード・オンリー・メモリー）、フラッシュメモリー等の記憶（メモリ）素子、マイクロプロセッサー、ＤＳＰ、ＡＳＩＣ等の理論（回路）素子、ＭＭＩＣ（モノリシック・マイクロウェーブ集積回路）に代表される化合物半導体等の集積回路素子、混成集積回路（ハイブリッドＩＣ）、発光ダイオード、電荷結合素子等の光電変換素子、発光素子、半導体レーザ素子等が挙げられる。また、多層配線基板としては、ＭＣＭ等の高密度配線基板等が挙げられる。 Specifically, as semiconductor elements, individual semiconductor elements such as diodes, transistors, capacitors, compound semiconductor elements, thermistors, varistors, thyristors, DRAMs (dynamic random access memories), SRAMs (static random access memories). Memory (memory), EPROM (erasable programmable read only memory), mask ROM (mask read only memory), EEPROM (electrically erasable programmable read only memory), flash memory, etc. (memory) ) Theory (circuit) elements such as elements, microprocessors, DSPs, ASICs, etc., integrated circuit elements such as compound semiconductors represented by MMIC (monolithic microwave integrated circuits), hybrid integrated circuits Hybrid IC), light emitting diode, a photoelectric conversion element such as a charge coupled device, the light emitting element, such as a semiconductor laser element and the like. Examples of the multilayer wiring board include a high-density wiring board such as MCM.
ここで、図４は、本発明による電子部品の好適な一実施形態を示す模式断面図である。メモリキャパシタセル８（電子部品）は、拡散領域１Ａ，１Ｂが形成されたシリコンウェハ１（基体）上に酸化膜から成るゲート絶縁膜２Ｂを介して設けられたゲート電極３（ワード線として機能する。）と、その上方に設けられた対向電極８Ｃとの間に二層構造の層間絶縁膜５，７（絶縁被膜）が形成されたものである。ゲート電極３の側壁には、側壁酸化膜４Ａ，４Ｂが形成されており、また、ゲート電極の側方における拡散領域１Ｂにはフィールド酸化膜２Ａが形成され、素子分離がなされている。
Here, FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing a preferred embodiment of the electronic component according to the present invention. The memory capacitor cell 8 (electronic component) functions as a gate electrode 3 (word line) provided via a
層間絶縁膜５は、これらのゲート電極３及びフィールド酸化膜２Ａ上に被着されており、本発明のボラジン系樹脂組成物（Ｃ）をスピンコートして形成されたものである。層間絶縁膜５におけるゲート電極３近傍にはビット線として機能する電極６が埋め込まれたコンタクトホール５Ａが形成されている。さらに、平坦化された層間絶縁膜５上には平坦化された層間絶縁膜７が被着されており、両者を貫通するように形成されたコンタクトホール７Ａには蓄積電極８Ａが埋め込まれている。層間絶縁膜７は、層間絶縁膜５と同様に本発明のボラジン系樹脂組成物（Ｃ）をスピンコートして形成されたものである。そして、蓄積電極８Ａ上に高誘電体から成るキャパシタ絶縁膜８Ｂを介して対向電極８Ｃが設けられている。なお、層間絶縁膜５，７は同一の組成を有していても異なる組成を有していてもよい。
The
このように構成された本発明の絶縁被膜が形成されたメモリキャパシタセル８等の電子部品によれば、絶縁被膜の比誘電率が従来に比して十分に低減されるので、信号伝搬における配線遅延時間を十分に短縮できると共に、リーク電流の発生を有効に防止できる。その結果、素子の高性能化を達成できると同時に高信頼性をも実現できる。
According to the electronic component such as the
以下、実施例により本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。 EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention further in detail, this invention is not limited to these Examples.
〈実施例１〉
（ボラジン系樹脂組成物１の製造）
Ｂ，Ｂ'，Ｂ"−トリエチニル−Ｎ，Ｎ'，Ｎ"−トリメチルボラジン０．１ｇ（０．５０ｍｍｏｌ）、ｐ−ビス（ジメチルシリル）ベンゼン０．１ｇ（０．５０ｍｍｏｌ）をエチルベンゼン８ｍｌに溶解し、白金ジビニルテトラメチルジシロキサンのキシレン溶液（白金２％含有）１０μｌを加え、窒素下室温で３日間撹拌した。反応液の一部を取り出し、ガスクロマトグラフィー（ＧＣ）分析を行ったところ、モノマーであるＢ，Ｂ'，Ｂ"−トリエチニル−Ｎ，Ｎ'，Ｎ"−トリメチルボラジンのピークが殆ど消失し、また、ｐ−ビス（ジメチルシリル）ベンゼンのピークが消失していることが確認された。
<Example 1>
(Production of borazine-based resin composition 1)
B, B ′, B ″ -triethynyl-N, N ′, N ″ -trimethylborazine 0.1 g (0.50 mmol) and p-bis (dimethylsilyl) benzene 0.1 g (0.50 mmol) were dissolved in 8 ml of ethylbenzene. 10 μl of a platinum divinyltetramethyldisiloxane xylene solution (containing 2% platinum) was added, and the mixture was stirred at room temperature for 3 days under nitrogen. When a part of the reaction solution was taken out and subjected to gas chromatography (GC) analysis, the peak of the monomer B, B ′, B ″ -triethynyl-N, N ′, N ″ -trimethylborazine almost disappeared, It was also confirmed that the p-bis (dimethylsilyl) benzene peak had disappeared.
図１は、この重合開始直後の反応液のガスクロマトグラムを示すグラフであり、図２は、重合開始から３日間攪拌後の反応液のガスクロマトグラムを示すグラフである。図１における「ａ」は、ｐ−ビス（ジメチルシリル）ベンゼンに対応するピークであり、図１及び２における「ｂ」は、Ｂ，Ｂ'，Ｂ"−トリエチニル−Ｎ，Ｎ'，Ｎ"−トリメチルボラジンに対応するピークである。 FIG. 1 is a graph showing a gas chromatogram of the reaction liquid immediately after the start of polymerization, and FIG. 2 is a graph showing a gas chromatogram of the reaction liquid after stirring for 3 days from the start of polymerization. “A” in FIG. 1 is a peak corresponding to p-bis (dimethylsilyl) benzene, and “b” in FIGS. 1 and 2 is B, B ′, B ″ -triethynyl-N, N ′, N ″. -A peak corresponding to trimethylborazine.
また、ＧＰＣ分析から生成物の分子量（標準ポリスチレン基準）は、Ｍｎ＝４３００（Ｍｗ／Ｍｎ＝２．５）であった。図３は、得られた重合体のＧＰＣチャートを示すグラフである。次に、この反応液に下記式（８）で表されるメタルスカベンジャー（３−（ジエチレントリアミノ）プロピル−官能基化シリカゲル、アルドリッチ社製）０．２ｇを加え、室温で２時間攪拌した。その後、白金が吸着したメタルスカベンジャーをＡＤＶＡＮＴＥＣ社製ディスポーザブルメンブランフィルターユニットで濾過し、本発明のボラジン系樹脂組成物１を得た。
〈実施例２〉
（ボラジン系樹脂組成物２の製造）
実施例１と同様にして、白金ジビニルテトラメチルジシロキサン触媒存在下、Ｂ，Ｂ'，Ｂ"−トリエチニル−Ｎ，Ｎ'，Ｎ"−トリメチルボラジンとｐ−ビス（ジメチルシリル）ベンゼンを重合した。この反応液に下記式（９）で表されるメタルスカベンジャー（３−メルカプトプロピル−官能基化シリカゲル、アルドリッチ社製）０．２ｇを加え、室温で２時間攪拌した。その後、白金が吸着したメタルスカベンジャーをＡＤＶＡＮＴＥＣ社製ディスポーザブルメンブランフィルターユニットで濾過し、本発明のボラジン系樹脂組成物２を得た。
(Production of borazine-based resin composition 2)
In the same manner as in Example 1, B, B ′, B ″ -triethynyl-N, N ′, N ″ -trimethylborazine and p-bis (dimethylsilyl) benzene were polymerized in the presence of a platinum divinyltetramethyldisiloxane catalyst. . To this reaction solution, 0.2 g of a metal scavenger represented by the following formula (9) (3-mercaptopropyl-functionalized silica gel, manufactured by Aldrich) was added and stirred at room temperature for 2 hours. Thereafter, the metal scavenger to which platinum was adsorbed was filtered with a disposable membrane filter unit manufactured by ADVANTEC to obtain a borazine-based resin composition 2 of the present invention.
〈実施例３〉
（ボラジン系樹脂組成物３の製造）
Ｂ，Ｂ'，Ｂ"−トリエチニル−Ｎ，Ｎ'，Ｎ"−トリメチルボラジン０．１ｇ（０．５０ｍｍｏｌ）、１，３，５，７−テトラメチルシクロテトラシロキサン０．１２ｇ（０．５０ｍｍｏｌ）をエチルベンゼン８ｍｌに溶解し、白金ジビニルテトラメチルジシロキサンのキシレン溶液（白金２％含有）１０μｌを加え、窒素下室温で３日間撹拌した。反応液の一部を取り出し、ガスクロマトグラフィー（ＧＣ）分析を行ったところ、モノマーであるＢ，Ｂ'，Ｂ"−トリエチニル−Ｎ，Ｎ'，Ｎ"−トリメチルボラジンと１，３，５，７−テトラメチルシクロテトラシロキサンのピークが消失していることが確認された。
<Example 3>
(Production of borazine-based resin composition 3)
B, B ′, B ″ -triethynyl-N, N ′, N ″ -trimethylborazine 0.1 g (0.50 mmol), 1,3,5,7-tetramethylcyclotetrasiloxane 0.12 g (0.50 mmol) Was dissolved in 8 ml of ethylbenzene, 10 μl of a platinum divinyltetramethyldisiloxane xylene solution (containing 2% platinum) was added, and the mixture was stirred at room temperature for 3 days under nitrogen. A part of the reaction solution was taken out and subjected to gas chromatography (GC) analysis. As a result, B, B ′, B ″ -triethynyl-N, N ′, N ″ -trimethylborazine as a monomer and 1,3,5, It was confirmed that the peak of 7-tetramethylcyclotetrasiloxane disappeared.
また、ＧＰＣ分析から生成物の分子量（標準ポリスチレン基準）は、Ｍｎ＝４５００（Ｍｗ／Ｍｎ＝２．６）であった。次に、この反応液に上記式（８）で表されるメタルスカベンジャー（３−（ジエチレントリアミノ）プロピル−官能基化シリカゲル、アルドリッチ社製）０．２ｇを加え、室温で２時間攪拌した。その後、白金が吸着したメタルスカベンジャーをＡＤＶＡＮＴＥＣ社製ディスポーザブルメンブランフィルターユニットで濾過し、本発明のボラジン系樹脂組成物３を得た。
Moreover, the molecular weight (standard polystyrene reference | standard) of the product from GPC analysis was Mn = 4500 (Mw / Mn = 2.6). Next, 0.2 g of a metal scavenger represented by the above formula (8) (3- (diethylenetriamino) propyl-functionalized silica gel, manufactured by Aldrich) was added to the reaction solution, and the mixture was stirred at room temperature for 2 hours. Thereafter, the metal scavenger to which platinum was adsorbed was filtered with a disposable membrane filter unit manufactured by ADVANTEC to obtain a borazine-based
〈実施例４〉
（ボラジン系樹脂組成物４の製造）
実施例１と同様にして、白金ジビニルテトラメチルジシロキサン触媒存在下、Ｂ，Ｂ'，Ｂ"−トリエチニル−Ｎ，Ｎ'，Ｎ"−トリメチルボラジンと１，３，５，７−テトラメチルシクロテトラシロキサンを重合した。この反応液に上記式（９）のメタルスカベンジャー（３−メルカプトプロピル−官能基化シリカゲル、アルドリッチ社製）０．２ｇを加え、室温で２時間攪拌した。その後、白金が吸着したメタルスカベンジャーをＡＤＶＡＮＴＥＣ社製ディスポーザブルメンブランフィルターユニットで濾過し、本発明のボラジン系樹脂組成物４を得た。
<Example 4>
(Production of borazine-based resin composition 4)
In the same manner as in Example 1, in the presence of a platinum divinyltetramethyldisiloxane catalyst, B, B ′, B ″ -triethynyl-N, N ′, N ″ -trimethylborazine and 1,3,5,7-tetramethylcyclo Tetrasiloxane was polymerized. To this reaction solution, 0.2 g of the metal scavenger of the above formula (9) (3-mercaptopropyl-functionalized silica gel, manufactured by Aldrich) was added and stirred at room temperature for 2 hours. Thereafter, the metal scavenger to which platinum was adsorbed was filtered with a disposable membrane filter unit manufactured by ADVANTEC to obtain a borazine-based resin composition 4 of the present invention.
〈実施例５〉
（ボラジン系樹脂組成物５の製造）
Ｂ，Ｂ’，Ｂ”−トリス（１’−プロピニル）−Ｎ，Ｎ’，Ｎ”−トリメチルボラジン３．６ｇ（１５ｍｍｏｌ）、１，３，５，７−テトラメチルシクロテトラシロキサン３．６ｇ（１５ｍｍｏｌ）をメシチレン１５０ｍｌに溶解し、白金ジビニルテトラメチルジシロキサンのキシレン溶液（白金２％含有）３０μｌを加え、窒素下４０℃で１日間攪拌した。そこへ白金ジビニルテトラメチルジシロキサンのキシレン溶液（白金２％含有）３０μｌを追加し、窒素下４０℃で１日間攪拌した。続いて、１，３，５，７−テトラメチルシクロテトラシロキサン０．３６ｇ（１．５ｍｍｏｌ）を加え、窒素下４０℃で１日間攪拌した。反応液の一部を取り出し、ガスクロマトグラフィー（ＧＣ）分析を行なったところ、モノマーであるＢ，Ｂ’，Ｂ”−トリス（１’−プロピニル）−Ｎ，Ｎ’，Ｎ”−トリメチルボラジンと１，３，５，７−テトラメチルシクロテトラシロキサンのピークが消失していることを確認した。
<Example 5>
(Production of borazine-based resin composition 5)
B, B ′, B ″ -tris (1′-propynyl) -N, N ′, N ″ -trimethylborazine 3.6 g (15 mmol), 1,3,5,7-tetramethylcyclotetrasiloxane 3.6 g ( 15 mmol) was dissolved in 150 ml of mesitylene, 30 μl of a platinum divinyltetramethyldisiloxane xylene solution (containing 2% platinum) was added, and the mixture was stirred at 40 ° C. for 1 day under nitrogen. Thereto was added 30 μl of a platinum divinyltetramethyldisiloxane xylene solution (containing 2% platinum), and the mixture was stirred at 40 ° C. for 1 day under nitrogen. Subsequently, 0.36 g (1.5 mmol) of 1,3,5,7-tetramethylcyclotetrasiloxane was added, and the mixture was stirred at 40 ° C. for 1 day under nitrogen. A part of the reaction solution was taken out and subjected to gas chromatography (GC) analysis. As a result, B, B ′, B ″ -tris (1′-propynyl) -N, N ′, N ″ -trimethylborazine as a monomer and It was confirmed that the peak of 1,3,5,7-tetramethylcyclotetrasiloxane disappeared.
図４は、得られた重合体のＧＰＣチャートを示すグラフである。ＧＰＣ分析から生成物の分子量（標準ポリスチレン基準）は、Ｍｎ＝１１０００（Ｍｗ／Ｍｎ＝２９）であった。
この反応液に上記式（９）のメタルスカベンジャー（３−メルカプトプロピル−官能基化シリカゲル、アルドリッチ社製）１．０ｇを加え、室温で２時間攪拌した。その後、白金が吸着したメタルスカベンジャーをＡＤＶＡＮＴＥＣ社製ＰＴＦＥメンブランフィルター上で濾過し、本発明のボラジン系樹脂組成物５を得た。
FIG. 4 is a graph showing a GPC chart of the obtained polymer. From the GPC analysis, the molecular weight of the product (standard polystyrene standard) was Mn = 11000 (Mw / Mn = 29).
To this reaction solution, 1.0 g of the metal scavenger of the above formula (9) (3-mercaptopropyl-functionalized silica gel, manufactured by Aldrich) was added and stirred at room temperature for 2 hours. Thereafter, the metal scavenger adsorbed with platinum was filtered on a PTFE membrane filter manufactured by ADVANTEC to obtain a borazine-based
〈比較例１〉
（ボラジン系樹脂組成物６の製造）
Ｂ，Ｂ'，Ｂ"−トリエチニル−Ｎ，Ｎ'，Ｎ"−トリメチルボラジン０．１ｇ（０．５０ｍｍｏｌ）、ｐ−ビス（ジメチルシリル）ベンゼン０．１ｇ（０．５０ｍｍｏｌ）をエチルベンゼン８ｍｌに溶解し、均一系金属触媒の白金ジビニルテトラメチルジシロキサンのキシレン溶液（白金２％含有）１０μｌを加え、窒素下室温で３日間撹拌した。この反応液をボラジン系樹脂組成物６とした。
<Comparative example 1>
(Production of borazine-based resin composition 6)
B, B ′, B ″ -triethynyl-N, N ′, N ″ -trimethylborazine 0.1 g (0.50 mmol) and p-bis (dimethylsilyl) benzene 0.1 g (0.50 mmol) were dissolved in 8 ml of ethylbenzene. Then, 10 μl of a homogeneous metal catalyst platinum divinyltetramethyldisiloxane xylene solution (containing 2% platinum) was added and stirred at room temperature for 3 days under nitrogen. This reaction solution was designated as borazine-based
〈比較例２〉
（ボラジン系樹脂組成物７の製造）
Ｂ，Ｂ'，Ｂ"−トリエチニル−Ｎ，Ｎ'，Ｎ"−トリメチルボラジン０．１ｇ（０．５０ｍｍｏｌ）、１，３，５，７−テトラメチルシクロテトラシロキサン０．１２ｇ（０．５０ｍｍｏｌ）をエチルベンゼン８ｍｌに溶解し、白金ジビニルテトラメチルジシロキサンのキシレン溶液（白金２％含有）１０μｌを加え、窒素下室温で３日間撹拌した。この反応液をボラジン系樹脂組成物７とした。
<Comparative example 2>
(Production of borazine-based resin composition 7)
B, B ′, B ″ -triethynyl-N, N ′, N ″ -trimethylborazine 0.1 g (0.50 mmol), 1,3,5,7-tetramethylcyclotetrasiloxane 0.12 g (0.50 mmol) Was dissolved in 8 ml of ethylbenzene, 10 μl of a platinum divinyltetramethyldisiloxane xylene solution (containing 2% platinum) was added, and the mixture was stirred at room temperature for 3 days under nitrogen. This reaction solution was designated as a borazine-based resin composition 7.
〈比較例３〉
（ボラジン系樹脂組成物８の製造）
Ｂ，Ｂ’，Ｂ”−トリス（１’−プロピニル）−Ｎ，Ｎ’，Ｎ”−トリメチルボラジン１．２ｇ（５ｍｍｏｌ）、１，３，５，７−テトラメチルシクロテトラシロキサン１．２ｇ（５ｍｍｏｌ）をメシチレン５０ｍｌに溶解し、白金ジビニルテトラメチルジシロキサンのキシレン溶液（白金２％含有）１０μｌを加え、窒素下４０℃で１日間攪拌した。そこへ白金ジビニルテトラメチルジシロキサンのキシレン溶液（白金２％含有）１０μｌを追加し、窒素下４０℃で１日間攪拌した。続いて、１，３，５，７−テトラメチルシクロテトラシロキサン０．１２ｇ（０．５ｍｍｏｌ）を加え、窒素下４０℃で１日間攪拌した。この反応液をボラジン系樹脂組成物８とした。
<Comparative Example 3>
(Production of borazine-based resin composition 8)
B, B ′, B ″ -tris (1′-propynyl) -N, N ′, N ″ -trimethylborazine 1.2 g (5 mmol), 1,3,5,7-tetramethylcyclotetrasiloxane 1.2 g ( 5 mmol) was dissolved in 50 ml of mesitylene, 10 μl of a platinum divinyltetramethyldisiloxane xylene solution (containing 2% platinum) was added, and the mixture was stirred at 40 ° C. for 1 day under nitrogen. Thereto was added 10 μl of a platinum divinyltetramethyldisiloxane xylene solution (containing 2% platinum), and the mixture was stirred at 40 ° C. for 1 day under nitrogen. Subsequently, 0.13 g (0.5 mmol) of 1,3,5,7-tetramethylcyclotetrasiloxane was added, and the mixture was stirred at 40 ° C. for 1 day under nitrogen. This reaction solution was designated as a borazine-based
〈実施例６〉
（絶縁被膜１の製造）
実施例１で得たボラジン系樹脂組成物１をフィルター濾過し、濾液を低抵抗率シリコンウェハ（基体；抵抗率＜１０Ωｃｍ）上に滴下してスピンコートした。次いで、このシリコンウェハを窒素雰囲気中ホットプレートで２００℃で１時間加熱した後、３００℃で３０分、４００℃で３０分間ベークして、本発明の絶縁被膜１を得た。
<Example 6>
(Manufacture of insulating coating 1)
The borazine-based
〈実施例７〉
（絶縁被膜２の製造）
ボラジン系樹脂組成物１の代わりに実施例２で得たボラジン系樹脂組成物２を用いたこと以外は実施例６と同様にして本発明の絶縁被膜２を得た。
<Example 7>
(Manufacture of insulating coating 2)
An insulating coating 2 of the present invention was obtained in the same manner as in Example 6 except that the borazine-based resin composition 2 obtained in Example 2 was used instead of the borazine-based
〈実施例８〉
（絶縁被膜３の製造）
ボラジン系樹脂組成物１の代わりに実施例３で得たボラジン系樹脂組成物３を用いたこと以外は実施例６と同様にして本発明の絶縁被膜３を得た。
<Example 8>
(Manufacture of insulating coating 3)
An insulating
〈実施例９〉
（絶縁被膜４の製造）
ボラジン系樹脂組成物１の代わりに実施例４で得たボラジン系樹脂組成物４を用いたこと以外は実施例６と同様にして本発明の絶縁被膜４を得た。
<Example 9>
(Manufacture of insulating coating 4)
An insulating coating 4 of the present invention was obtained in the same manner as in Example 6 except that the borazine-based resin composition 4 obtained in Example 4 was used instead of the borazine-based
〈実施例１０〉
（絶縁被膜５の製造）
ボラジン系樹脂組成物１の代わりに実施例５で得たボラジン系樹脂組成物５を用いたこと以外は実施例６と同様にして本発明の絶縁被膜５を得た。
<Example 10>
(Manufacture of insulating coating 5)
An insulating
〈比較例４〉
（絶縁被膜６の製造）
ボラジン系樹脂組成物１の代わりに比較例１で得たボラジン系樹脂組成物６を用いたこと以外は実施例６と同様にして絶縁被膜６を得た。
<Comparative example 4>
(Manufacture of insulating coating 6)
An insulating
〈比較例５〉
（絶縁被膜７の製造）
ボラジン系樹脂組成物１の代わりに比較例２で得たボラジン系樹脂組成物７を用いたこと以外は実施例６と同様にして絶縁被膜７を得た。
<Comparative Example 5>
(Manufacture of insulating coating 7)
An insulating coating 7 was obtained in the same manner as in Example 6 except that the borazine-based resin composition 7 obtained in Comparative Example 2 was used instead of the borazine-based
〈比較例６〉
（絶縁被膜８の製造）
ボラジン系樹脂組成物１の代わりに比較例３で得たボラジン系樹脂組成物８を用いたこと以外は実施例６と同様にして絶縁被膜８を得た。
<Comparative Example 6>
(Manufacture of insulating coating 8)
An insulating
〈比誘電率測定〉
各実施例及び各比較例で得た各絶縁被膜の比誘電率を測定した。ここで、本発明における絶縁被膜の「比誘電率」とは、２３℃±２℃、湿度４０±１０％の雰囲気下で測定された値をいい、Ａｌ金属とＮ型低抵抗率基板（Ｓｉウエハ）間の電荷容量の測定から求められる。
<Relative permittivity measurement>
The relative dielectric constant of each insulating coating obtained in each example and each comparative example was measured. Here, the “relative permittivity” of the insulating coating in the present invention means a value measured in an atmosphere of 23 ° C. ± 2 ° C. and humidity of 40 ± 10%. Al metal and an N-type low resistivity substrate (Si It is obtained from the measurement of the charge capacity between the wafers.
具体的には、各実施例及び各比較例で絶縁被膜を形成した後、絶縁被膜上に、真空蒸着装置でＡｌ金属を直径２ｍｍの円で、厚さ約０．１μｍになるように真空蒸着する。これにより、絶縁被膜がＡｌ金属と低抵抗率基板との間に配置された構造が形成される。次に、この構造体の電荷容量を、ＬＦインピーダンスアナライザー（横河電機社製：ＨＰ４１９２Ａ）に誘電体テスト・フィクスチャー（横河電機製：ＨＰ１６４５１Ｂ）を接続した装置を用い、使用周波数１ＭＨｚにて測定した。 Specifically, after forming an insulating film in each of the examples and comparative examples, an Al metal is vacuum-deposited on the insulating film by a vacuum vapor deposition device so as to have a thickness of about 0.1 μm in a circle with a diameter of 2 mm. To do. As a result, a structure in which the insulating coating is disposed between the Al metal and the low resistivity substrate is formed. Next, the charge capacity of this structure is measured using a device in which a dielectric test fixture (Yokogawa Electric: HP16451B) is connected to an LF impedance analyzer (Yokogawa Electric: HP4192A) at a use frequency of 1 MHz. It was measured.
そして、電荷容量の測定値を下記式；
絶縁被膜の比誘電率＝３．５９７×１０-2×電荷容量（ｐＦ）×絶縁被膜の膜厚（μｍ）、
に代入し、絶縁被膜の比誘電率を算出した。なお、絶縁被膜の膜厚としては、ガートナー製のエリプソメーターＬ１１６Ｂで測定した値を用いた。
And the measured value of the charge capacity is given by the following formula:
Insulating film relative dielectric constant = 3.597 × 10 −2 × charge capacity (pF) × insulating film thickness (μm),
And the relative dielectric constant of the insulating coating was calculated. In addition, as the film thickness of the insulating coating, a value measured with an ellipsometer L116B manufactured by Gartner was used.
表１にボラジン系樹脂組成物１〜８の白金含有量を示す。この白金含有量は、一定量試料を酸分解し、セイコーインスツルメンツ製ＳＰＱ９０００型ＩＣＰ−ＭＳにより測定した。また、表２に、絶縁被膜１〜８の比誘電率、及びリーク電流値の測定結果を示す。
表１より、重合後にメタルスカベンジャー処理を施したボラジン系樹脂組成物１〜５の白金含有量は、未処理のもの（比較例で得たボラジン系樹脂組成物６〜８）に比して格段に低減されていることが確認された。また、表２より、金属性不純物含有量が低いボラジン系樹脂組成物１〜５でそれぞれ形成した絶縁被膜被膜１〜５の比誘電率及びリーク電流は、ボラジン系樹脂組成物６〜８でそれぞれ形成した絶縁被膜６〜８に比して十分に低減されていることが判明した。
From Table 1, the platinum content of the borazine-based
１...シリコンウェハ（基体）、１Ａ，１Ｂ...拡散領域、２Ａ...フィールド酸化膜、２Ｂ...ゲート絶縁膜、３...ゲート電極、４Ａ，４Ｂ...側壁酸化膜、５，７...層間絶縁膜（絶縁被膜）、５Ａ，７Ａ...コンタクトホール、６...ビット線、８...メモリセルキャパシタ（電子部品）、８Ａ...蓄積電極、８Ｂ...キャパシタ絶縁膜、８Ｃ...対向電極、ａ...ｐ−ビス（ジメチルシリル）ベンゼンに対応するピーク、ｂ...Ｂ，Ｂ'，Ｂ"−トリエチニル−Ｎ，Ｎ'，Ｎ"−トリメチルボラジンに対応するピーク。
DESCRIPTION OF
Claims (3)
Ｂ，Ｂ’，Ｂ’’−トリアルキニルボラジン類とヒドロシラン類とを、重合溶媒中で金属触媒の存在下に重合させる第１の工程と、
前記第１の工程における重合系に不溶であり、且つ、前記金属触媒由来の金属成分を吸着する粒子状のスカベンジャーを前記第１の工程を実施した後の重合系に添加する第２の工程と、
前記第２の工程を実施した後に、前記金属成分を吸着した前記スカベンジャーを濾別する第３の工程と、
を備え、
前記金属触媒が、白金ジビニルテトラメチルジシロキサン、白金環状ジビニルメチルシロキサン、塩化白金酸、ジクロロ白金、トリス（ジベンジリデンアセトン）二白金、ビス（エチレン）テトラクロロ二白金、シクロオクタジエンジクロロ白金、ビス（シクロオクタジエン）白金、シクロオクタジエンジメチル白金、ビス（トリフェニルホスフィン）ジクロロ白金、テトラキス（トリフェニルホスフィン）白金、又はこれらの組み合わせであり、
前記スカベンジャーが、以下に示す表面修飾粒子である、ボラジン系樹脂の製造方法。
A first step of polymerizing B, B ′, B ″ -trialkynylborazines and hydrosilanes in the presence of a metal catalyst in a polymerization solvent;
A second step of adding a particulate scavenger that is insoluble in the polymerization system in the first step and adsorbs the metal component derived from the metal catalyst to the polymerization system after the first step; ,
After performing the second step, a third step of filtering off the scavenger adsorbing the metal component;
With
The metal catalyst is platinum divinyltetramethyldisiloxane, platinum cyclic divinylmethylsiloxane, chloroplatinic acid, dichloroplatinum, tris (dibenzylideneacetone) diplatinum, bis (ethylene) tetrachlorodiplatinum, cyclooctadienedichloroplatinum, bis (Cyclooctadiene) platinum, cyclooctadienedimethylplatinum, bis (triphenylphosphine) dichloroplatinum, tetrakis (triphenylphosphine) platinum, or combinations thereof,
A method for producing a borazine-based resin, wherein the scavenger is a surface-modified particle shown below.
で表されるものである、請求項１記載のボラジン系樹脂の製造方法。 The B, B ′, B ″ -trialkynylborazines are represented by the following formula (1):
The manufacturing method of the borazine-type resin of Claim 1 represented by these.
で表されるものである、請求項１記載のボラジン系樹脂の製造方法。 The hydrosilane is represented by the following formula (2):
The manufacturing method of the borazine-type resin of Claim 1 represented by these.
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