JP2021192898A - 不活性気体混入装置 - Google Patents

Abstract

【課題】粉粒体に不活性気体を混入し易くした不活性気体混入装置を提供することにある。【解決手段】不活性気体混入装置３００は、粉粒体を案内する筒状のフィルタ体３１０と、フィルタ体内で回転して粉粒体を搬送し、該粉粒体をフィルタ体から排出する軸状のオーガ３３０と、フィルタ体の外周３１０ａを囲んで、フィルタ体内を搬送される粉粒体に含まれている気体を、フィルタ体を介して吸引する負圧室３５０と、負圧室の外周を囲んで、オーガ３３０によって排出された粉粒体を受け入れる袋に不活性気体を供給する不活性気体供給室３７０と、を備え、不活性気体供給室３７０は、袋に進入する先端部３７１ｂに不活性気体を排出する排出口３７２ａ，３７３ｃを有している。不活性気体供給室の袋に進入する先端部の排出口から不活性気体を、袋内に排出されて拡散状態の粉粒体に供給して、粉粒体に不活性気体を混入させる。【選択図】図５

Description

本発明は、粉粒体に不活性気体を混入する不活性気体混入装置に関する。

一般に、粉、顆粒等の粉粒体は、収納体としての袋や容器等に収納され、密閉されて保管されることが多い。ところが、粉粒体には、空気が混入していることが多い。このため、粉粒体によっては、長期間、収納体に密閉されていると、空気に含まれている酸素によって酸化して、変質したり、固まったりするものがある。このような粉粒体には、小麦粉、脱脂粉乳、コピー機用の磁性体を含んだトナー等がある。

そこで、従来、粉粒体に不活性気体を混入して、粉粒体が空気の影響を受けにくくした不活性気体供給装置がある（特許文献１）。

特開２００８−１５５１６５号公報

しかし、従来の不活性気体供給装置は、粉粒体を案内筒内に押し込めたような状態で、案内筒内を搬送するため、不活性気体を粉粒体に混入させるのが困難であった。

本発明は、粉粒体に不活性気体を混入し易くした不活性気体混入装置を提供することにある。

本発明は、粉粒体を案内する筒状のフィルタ体（３１０）と、前記フィルタ体（３１０）内で回転して粉粒体を搬送し、該粉粒体を前記フィルタ体（３１０）から排出する軸状の回転搬送体（３３０）と、前記フィルタ体（３１０）の外周（３１０ａ）を囲んで、前記フィルタ体（３１０）内を搬送される粉粒体に含まれている気体を、前記フィルタ体（３１０）を介して吸引する気体吸引手段（３５０）と、前記気体吸引手段（３５０）の外周を囲んで、前記回転搬送体（３３０）によって排出された粉粒体を受け入れる収納体（Ｗ）に不活性気体を供給する不活性気体供給手段（３７０）と、を備え、前記不活性気体供給手段（３７０）は、収納体（Ｗ）に進入する先端部（３７１ｂ）に不活性気体を排出する排出口（３７２ａ，３７３ｃ）を有する、ことを特徴とする不活性気体混入装置（３００）によって、課題を解決した。

なお、［課題を解決するための手段］における括弧書きの符号は、実施の形態と対応し易くするために付したものであって、本発明を限定するものではない。

本発明の不活性気体混入装置は、回転搬送体によって分散状態で粉粒体が排出されている収納体内に、収納体内に進入している不活性気体供給手段の先端部の排出口から不活性気体を排出するようになっているので、従来、案内筒内に押し込めた粉粒体に不活性気体を供給していたのと比較して、不活性気体を粉粒体に容易に混入させることができる。

本発明の実施形態の不活性気体混入装置を備えた粉粒体供給装置の概略図である。 図１の先頭不活性気体供給装置の断面拡大図であり、図１の中間ホッパを省略した図である。 図１の多種不活性気体供給装置の拡大図である。（Ａ）は、多種不活性気体供給装置の拡大断面図である。（Ｂ）は、分割フィルタ体の部分断面拡大図である。 図３（Ａ）の多種不活性気体供給装置のＤ−Ｄ矢視断面図である。（Ａ）は、多種不活性気体供給装置の、粉粒体の搬送方向に沿った全体断面図である。（Ｂ）は、分割フィルタ体の部分断面拡大図である。 本発明の実施形態の不活性気体混入装置の図である。（Ａ）は、不活性気体混入装置の、粉粒体の搬送方向に沿った断面図である。（Ｂ）は、不活性気体混入装置のフィルタ体の部分断面拡大図である。（Ｃ）は、不活性気体混入装置の気体供給室ケーシングの先端部（下端部）の部分拡大断面図である。 図５の不活性気体混入装置の概略外観図であり、排出口が形成された部分を省略した図である。 図５の分散リンクの平面図である。 気体供給ノズルの図である。（Ａ）は、粉粒体ホッパに取り付けた状態の気体供給ノズルの軸方向に沿った断面図である。（Ｂ）は、気体供給ノズルの分解図であり軸方向に沿った断面図である。 気体供給ノズルのクランプの図である。（Ａ）は、図８（Ａ）の矢印Ｊ方向から見たクランプの図である。（Ｂ）は、図９（Ａ）の矢印Ｋ方向から見たクランプの図である。（Ｃ）は、図９（Ａ）の矢印Ｑ方向から見たクランプの図である。 気体供給ノズルの外観図であり、クランプの部分を図９（Ｂ）のＵ−Ｕ矢視断面で示してある。 図９（Ｂ）のクランプ片を開いたクランプの図である。

以下、本発明の実施形態の不活性気体混入装置を備えた、粉粒体供給装置を図に基づいて説明をする。

図１は、本発明の実施形態の不活性気体混入装置３００を備えた粉粒体供給装置１の概略図である。図２は、図１の先頭不活性気体供給装置１００の断面拡大図であり、図１の中間ホッパ２３を省略した図である。粉粒体供給装置１は、先頭不活性気体供給装置１００と、多種不活性気体供給装置２００と、不活性気体混入装置３００等を備えている。

（粉粒体供給装置１）
粉粒体供給装置１は、粉粒体を、先頭不活性気体供給装置１００と、多種不活性気体供給装置２００と、不活性気体混入装置３００とを通過させ、この間に、粉粒体に窒素Ｎ２やアルゴンＡｒ等の不活性気体を含ませて、その粉粒体を収納体としての袋や容器等に排出するようになっている。

（先頭不活性気体供給装置１００）
図１において先頭不活性気体供給装置１００は、断面概略図として図示してある。図２は、図１の先頭不活性気体供給装置１００の下部の断面拡大図であり、図１の中間ホッパ２３を省略した図である。先頭不活性気体供給装置１００は、粉粒体供給ホッパ２４と、案内筒２５と、中間ホッパ２３と、オーガ２７と、粉粒体受け部４０等を備えている。

粉粒体供給ホッパ２４は、逆円錐状に形成されて粉粒体を貯留するようになっている。粉粒体供給ホッパ２４には、不図示の軸受によって支持されたオーガ２７が粉粒体供給ホッパ２４を上下方向に貫通して回転自在に設けられている。粉粒体供給ホッパ２４の上部には、粉粒体を外部から供給する粉粒体供給口３２と、オーガ２７を回転させるモータ２６と、粉粒体供給ホッパ２４内の気体を抜く気体抜き３３等が設けられている。粉粒体供給ホッパ２４の下部には、上下方向を向いて、粉粒体を案内する案内筒２５が設けられている。オーガ２７は、粉粒体供給ホッパ２４と案内筒２５との内部で、モータ２６によって回転して粉粒体を搬送し、その粉粒体を案内筒２５の下部から排出するようになっている。

オーガ２７は、中空回転軸２８と、中空回転軸２８の下端部２８ｄ（図１、図２）の外周に設けられた螺旋状の羽根２９等で形成されている。中空回転軸２８の長手方向の中間部２８ｅ（図１）には、撹拌片２１が複数設けられている。撹拌片２１は、中空回転軸２８と一体に回転して、粉粒体供給ホッパ２４内の粉粒体を撹拌し、粉粒体が粉粒体供給ホッパ２４の下部に円滑に流れるようにする部材である。中空回転軸２８の上端部は粉粒体供給ホッパ２４より上方に突出しており、その端部は窒素供給装置３５に接続されている。

図２において、中空回転軸２８の下端部２８ｄには、粉粒体受け部４０が水平に設けられている。粉粒体受け部４０は、中間ホッパ２３（図１）の内部に進入した位置に位置している。粉粒体受け部４０（図２）は、案内筒２５の下端部２５ａとの間に隙間Ｇを形成して外周部分が案内筒２５より外側に突出した円盤状の部材である。

粉粒体受け部４０は、中空回転軸２８の下端部２８ｄにねじ込まれた連結軸４１と、連結軸４１にねじ込まれたケーシング４２と、ケーシング４２の開放された部分に設けられて案内筒２５の下端部２５ａと対向する気体通過体としてのフィルタ部４３等を備えている。

連結軸４１には、細径部４１ｆ、中径部４１ｇ、大径の鍔４１ｅによって段状に形成されている。細径部４１ｆには、雄ねじ４１ａが形成されている。雄ねじ４１ａは、中空回転軸２８の貫通孔２８ｂの下端部に形成された雌ねじ２８ｃにねじ込まれて、連結軸４１を中空回転軸２８に取り付けるようになっている。細径部４１ｆと中径部４１ｇとの間の段部４１ｈと、中空回転軸２８の下端２８ｃとの間には、隙間Ｇを調節するためのリング状の着脱自在のスペーサ４８を複数枚介在させてある。

連結軸４１には、中空回転軸２８の貫通孔２８ｂに連通する連通孔４１ｂが形成されている。また、フィルタ部４３の中心部分を受け止めるための鍔４１ｅには、連通孔４１ｂに直交して連通する横孔４１ｃが連通孔４１ｂを中心にして放射状に複数形成されている。連結軸４１の下端部には、ケーシング４２の中心に形成された雌ねじ４２ａにねじ込まれる雄ねじ４１ｄが形成されている。

ケーシング４２は、カップ状に形成されて、上部が開放されている。ケーシング４２の開放された部分の周囲上端部には、フィルタ部４３が嵌合される段部４２ｂと、段部４２ｂより外周にフィルタ部４３の外周を囲んで案内筒２５側に（上方に）突出した突条部４２ｃとが形成されている。

フィルタ部４３は、リング状に形成されて、連結軸４１を貫通させて、連結軸４１の鍔４１ｅと、ケーシング４２の段部４２ｂとに受け止められて、ケーシング４２の開放部を塞いで、ケーシング４２とで、気体室４２ｄを形成している。また、フィルタ部４３は、連結軸４１の軸方向に移動しないように、連結軸４１に着脱自在な止め輪４４によって移動止めされている。

フィルタ部４３は、リング状の上円板４５及び下円板４６と、上円板４５と下円板４６とに挟まれたフィルタ４７とで構成されている。上円板４５と下円板４６とには、不活性気体としての窒素Ｎ２が通り抜ける多数の貫通孔４５ａ，４６ａと、連結軸４１が貫通する貫通孔４５ｂ，４６ｂとが形成されている。フィルタ４７もリング状に形成されている。フィルタ４７は、非錆金属性の繊維（例えば、ステンレス製の繊維）を互いに絡ませて形成されている。フィルタ４７は、不活性気体としての窒素Ｎ２の通過を許容するが粉粒体の通過を阻止するようになっている。このフィルタ４７によって、気体室４２ｄには、粉粒体が侵入しないようになっている。

先頭不活性気体供給装置１００の動作を説明する。先ず、モータ２６が始動してオーガ２７が回転する。オーガ２７は、回転しながら撹拌片２１によってホッパ２４内の粉粒体を撹拌して、粉粒体を下方に移動し易くする。そして、オーガ２７は、羽根２９によって粉粒体Ｐを案内筒２５の下方に搬送する。粉粒体Ｐは、案内筒２５の下端部２５ａと粉粒体受け部４０との間の隙間Ｇから排出される。このとき、粉粒体受け部４０は、オーガ２７と一体に回転しているため、粉粒体Ｐを遠心力によって分散しながら排出する。このため、粉粒体は、塊となって、中間ホッパ２３内に落下することが殆どない。

ところで、粉粒体によっては、空気によって酸化し易い粉粒体がある。酸化し易い粉粒体としては、コピー器用の磁性体を含んだトナー、小麦粉、脱脂粉乳等がある。これらの粉粒体は、不活性気体を含ませておくと、長期間、殆ど酸化することなく保存することができる。

そこで、酸化し易い粉粒体の場合には、オーガ２７を始動させたとき、窒素供給装置３５（図１）も始動させて、粉粒体に不活性気体としての窒素Ｎ２を供給するのが好ましい。窒素供給装置３５が始動すると、窒素Ｎ２が、オーガ２７（図２）の中空回転軸２８の貫通孔２８ｂ、連結軸４１の連通孔４１ｂ、及び横孔４１ｃを案内にして、気体室４２ｄに供給される。気体室４２ｄに供給された窒素は、フィルタ部４３の下円板４６の貫通孔４６ａ、フィルタ４７、及び上円板４５の貫通孔４５ａを通過して、フィルタ部４３上を流れている粉粒体に吹き込まれる。粉粒体Ｐは、窒素を含んで中間ホッパ２３内に排出される。

モータ２６（図１）が回転を停止すると、オーガ２７と粉粒体受け部４０も回転を停止する。粉粒体は、案内筒２５内を搬送されるのを停止されるとともに、粉粒体受け部４０から遠心力によって飛散するのも停止される。

このため、粉粒体受け部４０上の粉粒体Ｐは、粉粒体受け部４０上に安息角αを形成して滞留する。粉粒体受け部４０には突条部４２ｃが形成されているので、粉粒体は、容易に、安息角αを形成して粉粒体受け部４０上に滞留する。滞留した粉粒体は、隙間Ｇを埋めて、後続の粉粒体が排出されるのを止める弁の役目をする。このため、後続の粉粒体は、案内筒２５内から自重によって流れ落ちることが殆どない。よって、先頭不活性気体供給装置１００は、所定の量の粉粒体を供給することができる。また、粉粒体を拡散して窒素を含ませるため、粉粒体に窒素を容易に含ませることができる。

（多種不活性気体供給装置２００）
多種不活性気体供給装置２００を図１、図３、図４に基づいて説明する。図３は、図１の多種不活性気体供給装置２００の拡大図である。図３（Ａ）は、多種不活性気体供給装置２００の断面図である。図３（Ｂ）は、分割フィルタ体２１１Ｂの部分断面拡大図である。図４は、図３（Ａ）の多種不活性気体供給装置２００のＤ−Ｄ矢視断面図である。図４（Ａ）は、多種不活性気体供給装置２００の粉粒体の搬送方向に沿った全体断面図である。図４（Ｂ）は、分割フィルタ体２１１Ｂの部分断面拡大図である。

多種不活性気体供給装置２００は、先頭不活性気体供給装置１００と不活性気体混入装置３００との間で、先頭不活性気体供給装置１００で窒素を供給された粉粒体に複数種類の不活性気体を供給して不活性気体混入装置３００に搬送するようになっている。

多種不活性気体供給装置２００は、粉粒体を案内する筒状のフィルタ体２１０と、フィルタ体２１０の周囲に沿って設けられてフィルタ体２１０を囲むケーシング２３０と、フィルタ体２１０の外周２１０ａとケーシング２３０の内周２３０ａとの間に形成された不活性気体供給室２５０等を備えている。多種不活性気体供給装置２００は、バタフライバルブ２７０（図１）等も備えている。

フィルタ体２１０（図４）は、後述する分離部材２５１を境とする半円状の２つの分割フィルタ体２１１Ａ，２１１Ｂを後述するケーシング２３０によって一体化されて円筒状に形成されている。フィルタ体２１０の円筒状の内周２１０ｂは、先頭不活性気体供給装置１００から供給されてくる粉粒体を案内するようになっている。

２つの分割フィルタ体２１１Ａ，２１１Ｂは、２つの後述する分割室２５０Ａ，２５０Ｂ（図４）の内壁を形成しており、構造が同一であるので、片方の分割フィルタ体２１１Ｂを説明して他方の分割フィルタ体２１１Ａの説明は省略する。図３、図４において、右側の分割フィルタ体２１１Ｂは、半円状に形成されたフィルタ片２１２と、フィルタ片２１２の内側に配設された半円状の内多孔板２１３と、フィルタ片２１２の外側に配設された半円状の外多孔板２１４等で形成されている。内多孔板２１３と外多孔板２１４とには、不活性気体が通り抜ける気体通過孔２１３ａ，２１４ａが多数形成されている。そして、図４において、フィルタ片２１２、内多孔板２１３、及び外多孔板２１４は、２つの分割フィルタ体２１１Ａ，２１１Ｂが後述するケーシング２３０によって円筒状に形成されることによって、分離部材２５１を介在して、フィルタ筒２２１、内多孔筒２２２、及び外多孔筒２２３を形成している。このように、筒状のフィルタ体２１０は、分離部材２５１によって、２つの分割室２５０Ａ，２５０Ｂに対応して２つの分割フィルタ体に分割された構造になっている。

フィルタ筒２２１は、非錆金属性の繊維（例えば、ステンレス製の繊維）を互いに絡ませて形成されている。フィルタ筒２２１は、窒素Ｎ２、アルゴンＡｒ等の不活性気体の通過を許容するが、粉粒体の通過を阻止するようになっている。内多孔筒２２２（図３（Ａ））は、外多孔筒２２３より多少長く形成されている。内多孔筒２２２の両端には、粉粒体を受け入れて通過させるため、入口筒２１５と出口筒２１６とが接続されている。

フィルタ体２１０の外周２１０ａは、該外周２１０ａに沿ったケーシング２３０に囲まれている。ケーシング２３０は、下側壁板２３１、上側壁板２３２、及び外周筒２３３等で形成されている。

上側壁板２３２は、入口筒２１５と内多孔筒２２２とに装着されて、ケーシング２３０の上側の壁部を形成している。上側壁板２３２は、後述する分離部材２５１を間にして、平面視Ｃ状に形成した２つの分割上側壁片２３４，２３４を突き合わせてリング状に形成されている。２つの分割上側壁片２３４，２３４の内、一方の分割上側壁片２３４には、窒素供給孔２３４ａが形成されている。窒素供給孔２３４ａには、窒素供給装置３５（図１）に接続されたエルボ２３５がねじ込まれている。他方の分割上側壁片２３４には、アルゴン供給孔２３４ｂが形成されている。アルゴン供給孔２３４ｂには、アルゴン供給装置３６（図１）に接続されたエルボ２３６がねじ込まれている。

下側壁板２３１は、出口筒２１６と内多孔筒２２２とに装着されて、ケーシング２３０の下側の壁部を形成している。下側壁板２３１は、リング状に形成されて、出口筒２１６から脱落しないように、受止リング２３７に受け止められている。受止リング２３７は、受止リング２３７に形成された雌ねじ２３７ａと、出口筒２１６に形成された雄ねじ２１６ａとによって、出口筒２１６にねじ込まれている。リング状に形成された上側壁板２３２及び下側壁板２３１の内周同士は同径であり、外周同士も同径である。

外周筒２３３は、円筒状に形成され、リング状の上側壁板２３２及び下側壁板２３１の外周に各々形成された段部２３２ａ，２３１ａに装着されて、上側壁板２３２及び下側壁板２３１に上下方向から挟持されている。図４（Ａ）のフィルタ体２１０の外周２１０ａと、ケーシング２３０の内周２３０ａとの間に不活性気体供給室２５０が形成されている。ケーシング２３０の内周２３０ａは、外周筒２３３の内周２３３ａでもある。図３（Ａ）において、外周筒２３３の上端部とリング状に形成された上側壁板２３２との間には、図４（Ａ）の不活性気体供給室２５０（分割室２５０Ａ，２５０Ｂ）の気密性を保つため、Ｏリング２４０が装着されている。なお、不図示のＯリングを、上側壁板２３２と入口筒２１５との間、下側壁板２３１と出口筒２１６との間、下側壁板２３１と外周筒２３３の下端部との間の各々に設けて不活性気体供給室２５０の気密性をより一層高めても良い。

図４において、不活性気体供給室２５０は、周方向に対して交差する向きにケーシング２３０内に設けられた２つの分離部材２５１，２５１によって２つ（複数）の分割室２５０Ａ，２５０Ｂに分割されている。２つの分割室２５０Ａ，２５０Ｂは、互いに種類の異なる不活性気体を別々に、分割フィルタ体２１１Ａ，２１１Ｂを介して粉粒体に供給するようになっている。すなわち、図３（Ａ）、図４（Ａ）において、２つの分割室２５０Ａ，２５０Ｂの内、一方（左側）の分割室２５０Ａは、不活性気体としての窒素Ｎ２を、分割フィルタ体２１１Ａ（フィルタ体２１０）を介して粉粒体に供給する窒素供給用の分割室（窒素供給室）である。また、他方（右側）の分割室２５０Ｂは、不活性気体としてのアルゴンＡｒを、分割フィルタ体２１１Ｂ（フィルタ体２１０）を介して粉粒体に供給するアルゴン供給用の分割室（アルゴン供給室）である。

多種不活性気体供給装置２００（図１）と不活性気体混入装置３００を接続する接続筒２６０の途中には、バタフライバルブ２７０が設けられている。バタフライバルブ２７０は、モータ２７０Ｍによって接続筒２６０の開度を変えて、多種不活性気体供給装置２００から流出する粉粒体を止めたり、粉粒体の流量を調節したりするようになっている。

多種不活性気体供給装置２００の動作を説明する。多種不活性気体供給装置２００は、先頭不活性気体供給装置１００で窒素Ｎ２を供給された粉粒体が入口筒２１５に流入する以前に、あるいは、流入するのと略同時に、窒素供給装置３５によって窒素供給用の分割室２５０Ａに窒素を供給し、アルゴン供給装置３６によってアルゴン供給用の分割室２５０Ｂにアルゴンを供給する。窒素供給用の分割室２５０Ａに供給された窒素は、分割フィルタ体２１１Ａの外多孔板２１４の気体通過孔２１４ａと、フィルタ片２１２と、内多孔板２１３の気体通過孔２１３ａとを通過して、フィルタ体２１０の円筒状内に供給される。一方、アルゴン供給用の分割室２５０Ｂに供給されたアルゴンは、分割フィルタ体２１１Ｂの外多孔板２１４の気体通過孔２１４ａと、フィルタ片２１２と、内多孔板２１３の気体通過孔２１３ａとを通過して、フィルタ体２１０の円筒状内に供給される。

これによって、多種不活性気体供給装置２００は、フィルタ体２１０を通過する粉粒体の性質に合わせて、互いに種類の異なる不活性気体としての窒素とアルゴンとを供給して、粉粒体が空気の影響を受けにくくすることができる。また、多種不活性気体供給装置２００は、分割室２５０Ａ，２５０Ｂを、粉粒体搬送方向を取り囲むようにして配置した構成になっているので、粉粒体の搬送距離を短くして、粉粒体が装置に接触することを少なくし、粉粒体の品質が損なわれるのを防止することができる。また、多種不活性気体供給装置２００は、粉粒体の搬送距離を短くすることができることによって、粉粒体搬送方向の長さを短くすることができる。

なお、粉粒体によっては、窒素とアルゴンとを供給することなく、窒素のみ、或いはアルゴンのみ供給して酸化を防止するようにしても良い。この場合、両方の分離室に窒素、或いはアルゴンが送り込まれることになる。よって、２つの分離室には、互いに種類の異なる不活性気体を送り込んでも良いし、同じ種類の不活性気体を送り込んでも良い。

また、以上説明した多種不活性気体供給装置２００のフィルタ体２１０は、円筒状に形成され、フィルタ体２１０の周囲を囲むケーシング２３０は、多角形の筒状に形成されていても良い。

さらに、多種不活性気体供給装置２００は、接続筒２６０の途中（例えば、バタフライバルブ２７０より下側の部分）を切断して、その切断した部分を粉粒体供給口とし、不図示の袋、容器等に供給するようにしても良い。この場合、多種不活性気体供給装置２００は、先頭不活性気体供給装置１００とで粉粒体供給装置を形成していることになる。

（不活性気体混入装置３００）
図５は、本発明の実施形態の不活性気体混入装置３００の図である。図５（Ａ）は、不活性気体混入装置３００の、粉粒体の搬送方向に沿った断面図である。図５（Ｂ）は、不活性気体混入装置３００のフィルタ体３１０の部分断面拡大図である。図５（Ｃ）は、不活性気体混入装置３００の気体供給室ケーシング３７１の先端部（下端部）３７１ｂの部分拡大断面図である。図６は、図５の不活性気体混入装置３００の概略外観図であり、排出口３７２ｃ，３７３ｃが形成された部分を省略した図である。図７は、図５の分散リンク３２１の平面図である。図８は、気体供給ノズル４００の図である。図８（Ａ）は、粉粒体ホッパ３０１に取り付けた状態の気体供給ノズル４００の軸方向に沿った断面図である。図８（Ｂ）は、気体供給ノズル４００の分解図であり軸方向に沿った断面図である。図９は、気体供給ノズル４００のクランプ４５０の図である。図９（Ａ）は、図８（Ａ）の矢印Ｊ方向から見たクランプ４５０の図である。図９（Ｂ）は、図９（Ａ）の矢印Ｋ方向から見たクランプ４５０の図である。図９（Ｃ）は、図９（Ａ）の矢印Ｑ方向から見たクランプ４５０の図である。図１０は、気体供給ノズル４００の外観図であり、クランプ４５０の部分を図９（Ｂ）のＵ−Ｕ矢視断面で示してある。図１１は、図９（Ｂ）のクランプ片４５１Ａ，４５１Ｂを開いたクランプ４５０の図である。

不活性気体混入装置３００（図１）は、粉粒体ホッパ３０１と、案内筒３０２と、フィルタ体３１０（図５）と、オーガ（回転搬送体）３３０と、負圧室（気体吸引手段）３５０と、不活性気体供給室（不活性気体供給手段）３７０と、気体供給ノズル４００（図１）等を備えている。

図１において、粉粒体ホッパ３０１は、逆円錐状に形成されて、多種不活性気体供給装置２００から送られてくる粉粒体を貯留するようになっている。粉粒体ホッパ３０１の上部には、接続筒２６０に接続された粉粒体供給口３０５と、後述するオーガ３３０を回転させるモータ３０３と、粉粒体ホッパ３０１内の気体を抜く気体抜き３０４等が設けられている。粉粒体ホッパ３０１の下部には、上下方向を向いて、粉粒体を案内する案内筒３０２が設けられている。案内筒３０２（図１、図５）の下部には、上下方向を向いた、後述する後述するフィルタ体３１０と、気体供給室ケーシング３７１等が接続されている。

図１の粉粒体ホッパ３０１の中間部には、図８乃至図１１に示す気体供給ノズル４００が１つ或いは複数取り付けられている。気体供給ノズル４００は、窒素供給装置３５（図１）に接続されて、窒素供給装置３５から送られてくる窒素を粉粒体ホッパ３０１内に供給するようになっている。なお、気体供給ノズル４００は、アルゴン供給装置３６（図１）に接続されて、アルゴンを粉粒体ホッパ３０１内に供給するようにしてもよい。また、気体供給ノズル４００を複数設けた場合、何れかを窒素供給装置３５に接続し、他をアルゴン供給装置３６に接続して、窒素とアルゴンとを粉粒体ホッパ３０１に供給するようにしてもよい。したがって、気体供給ノズル４００は、どのような気体であっても、粉粒体ホッパ３０１内に供給できるようになっている。

図８乃至図１１において、気体供給ノズル４００は、気体吹込みノズル４１０と、吹込み座４２０と、ガスケット４３０と、フィルタ４４０と、クランプ４５０等で構成されている。

図８において、気体吹込みノズル４１０は、気体供給ノズル４００が粉粒体ホッパ３０１に取り付けられる部分である。気体吹込みノズル４１０は、粉粒体ホッパ３０１に取り付けられる取付筒部４１１と、円形状の鍔部４１２と、気体吹込み孔４１３等で形成されている。これらと、後述する突部４１２ｂは、同軸状に形成されている。鍔部４１２の取付筒部４１１側には、斜面４１２ａが形成されている。鍔部４１２の斜面４１２ａの反対側の端部には、円形状の突部４１２ｂが形成されている。円形状の突部４１２ｂの外径は、後述する吹込み座４２０の円形状のフィルタ凹部４２２ｂの直径よりやや小径に形成されて、フィルタ凹部４２２ｂに嵌合するようになっている。

吹込み座４２０は、窒素供給装置３５（図１）に通じる接続パイプ４６０が接続される部分である。吹込み座４２０には、接続パイプ４６０が接続される接続筒４２１と、円形状の鍔部４２２と、気体通過孔４２３等で形成されている。これらは同軸状に形成されている。気体通過孔４２３には、接続パイプ４６０の雄ねじ４６０ａがねじ込まれる雌ねじ４２３ａが形成されている。なお、接続パイプ４６０には、気体通過孔４６１が形成されている。鍔部４２２の接続筒４２１側には、斜面４２２ａが形成されている。鍔部４２２の斜面４２２ａの反対側の端部には、気体通過孔４２３と中心が一致する円形状のフィルタ凹部４２２ｂが形成されている。

ガスケット４３０は、外径をフィルタ凹部４２２ｂの直径と略同じにして、リング状に形成されている。ガスケット４３０の中心には、気体吹込みノズル４１０の気体吹込み孔４１３と略同径の孔４３０ａが形成されている。フィルタ４４０も、直径をフィルタ凹部４２２ｂの直径と略同じにして、平たい円形に形成されている。フィルタ４４０は、非錆金属性の繊維（例えば、ステンレス製の繊維）を互いに絡ませて形成されている。ガスケット４３０とフィルタ４４０は、重なって、気体吹込みノズル４１０と吹込み座４２０との間に挟まれ、フィルタ凹部４２２ｄに収まるようになっている。

図９乃至図１１において、クランプ４５０は、１対のクランプ片４５１Ａ，４５１Ｂと、連結リンク４５２と、ボルト４５３及び締め付けナット４５４等で形成されている。

１対のクランプ片４５１Ａ，４５１Ｂは、Ｃ字状に形成されている。連結リンク４５２は、１対のクランプ片４５１Ａ，４５１Ｂの一端に連結軸４５５ａ，４５５ｂを介して傾動自在に設けられて、Ｃ字状の１対のクランプ片４５１Ａ，４５１Ｂの一端同士を連結している。Ｃ字状の１対のクランプ片４５１Ａ，４５１Ｂは、一端同士を連結リンク４５２に連結されて、互いに接近すると略円形を形成するようになっている。１対のクランプ片４５１Ａ，４５１Ｂの互いに対向する部分には、溝４５１Ａａ，４５１Ｂａが形成されている。溝４５１Ａａ，４５１Ｂａ（図１０）は、気体吹込みノズル４１０の鍔部４１２の外周部と、吹込み座４２０の鍔部４２２の外周部とを受け入れて、斜面４１２ａ，４２２ａの傾斜を利用して、鍔部４１２，４２２同士を圧接させるようになっている。

ボルト４５３は、一方のクランプ片４５１Ｂの他端に、連結軸４５６によって連結されて、クランプ片４５１Ａ，４５１Ｂの長手方向に沿った方向（図１１の矢印Ｖ方向）に傾動できるようになっている。ボルト４５３が連結軸４５６を中心に傾動できるように、クランプ片４５１Ｂの連結軸４５６の設けられた端部には、切込み４５１Ｂｂが形成されている。ボルト４５３の傾動端部４５３ａは、他方のクランプ片４５１Ａの他端に形成された切込み４５１Ａｂに進入するようになっている。切込み４５１Ｂｂと切込み４５１Ａｂは、１対のクランプ片４５１Ａ，４５１Ｂが互いに接近してリング状になったとき、互いに対向するようになっている。ボルト４５３の傾動端部４５３ａには、締め付けナット４５４がねじ込まれている。締め付けナット４５４には、締め付け片４５４ａが設けられている。

次に、以上の構成の気体供給ノズル４００の組み立て順序を説明する。図８（Ｂ）において、ユーザは、ガスケット４３０とフィルタ４４０とを間にして、気体吹込みノズル４１０と吹込み座４２０とを互いに接近させ、フィルタ４４０とガスケット４３０とをフィルタ凹部４２２ｂに収め、そして、突部４１２ｂをフィルタ凹部４２２ｂに嵌合させる。

その後、図１１のように、互いに離れた状態のクランプ片４５１Ａ，４５１Ｂの間に、互いに接近した状態の気体吹込みノズル４１０と吹込み座４２０とを挿入し、鍔部４１２，４２２の外周を、クランプ片４５１Ａ，４５１Ｂの溝４５１Ａａ，４５１Ｂａに対向させる。そして、１対のクランプ片４５１Ａ，４５１Ｂを互いに接近させて、溝４５１Ａａ，４５１Ｂａで鍔部４１２，４２２の外周を覆い、溝４５１Ａａ，４５１Ｂａが鍔部４１２，４２２の外周を受け入れた状態にする。この結果、図１０に示すように、鍔部４１２，４２２の外周が溝４５１Ａａ，４５１Ｂａに進入して係合した状態になる。なお、このとき、図１１の締め付けナット４５４は、実際には、ボルト４５３の先端部（回動端部）近くに位置しているものとする。

鍔部４１２，４２２の外周が溝４５１Ａａ，４５１Ｂａに進入した状態で、ボルト４５３を、１対のクランプ片４５１Ａ，４５１Ｂに近づける方向に回転させて、クランプ片４５１Ａの切込み４５１Ａｂに進入させる。そして、締め付け片４５４ａを介して締め付けナット４５４を回転させて図９（Ｂ）に示す状態にする。これによって、１対のクランプ片４５１Ａ，４５１Ｂがさらに互いに接近する。すると、図１０の状態において、溝４５１Ａａ，４５１Ｂａが、鍔部４１２，４２２の斜面４１２ａ，４２２ａを押圧し、斜面４１２ａ，４２２ａの傾斜角に応じた押圧力Ｆによって、気体吹込みノズル４１０と吹込み座４２０とを圧接させる。この結果、気体供給ノズル４００全体が一体化されて、ガスケット４３０とフィルタ４４０とが、気体吹込みノズル４１０と吹込み座４２０との間に挟持された状態になる。

以上の構成の気体供給ノズル４００は、後述する不活性気体混入装置３００の動作時に、窒素供給装置３５の始動によって、粉粒体ホッパ３０１内の粉粒体に窒素Ｎ２を供給する。この場合、窒素Ｎ２は、粉粒体に供給できるように、粉粒体ホッパ３０１内より多少高圧の気体として、粉粒体ホッパ３０１内に送り込まれる。このため、粉粒体は、窒素の気体圧を受けていることになる。しかし、その後、不活性気体混入装置３００が停止し、窒素供給装置３５が停止して、粉粒体ホッパ３０１への窒素の供給が停止すると、粉粒体は、窒素の気体圧を受けることが無くなり、反作用により、気体供給ノズル４００内に侵入し、さらには、接続パイプ４６０を通過して、窒素供給装置３５近くまで侵入することがある。そこで、このようなことを防止するため、気体供給ノズル４００にフィルタ４４０を設けてある。気体供給ノズル４００は、このフィルタ４４０によって、接続パイプ４６０内への、粉粒体の侵入を阻止して、粉粒体を粉粒体ホッパ３０１内に留めておくことができる。

なお、気体供給ノズル４００のフィルタ４４０は、粉粒体ホッパ３０１内の粉粒体に接触するため、長期間の使用によって、目詰まりすることがある。目詰まりが生じたフィルタ４４０は、締め付けナット４５４を緩め、クランプ片４５１Ａ，４５１Ｂを気体吹込みノズル４１０と吹込み座４２０とから外すことによって、吹込み座４２０から取り出せるようになっている。この結果、フィルタ４４０は、目詰まりを解消されるか、新しいのと交換される。

図５において、不活性気体混入装置３００のオーガ３３０は、回転軸３３１と、回転軸３３１の外周に設けられた螺旋状の羽根３３２とで軸状に形成されている。オーガ３３０は、回転軸３３１の部分が粉粒体ホッパ３０１（図１）を上下方向に貫通し、羽根３３２の部分が案内筒３０２とフィルタ体３１０との内部に位置するようになっている。オーガ３３０は、回転軸３３１の部分を粉粒体ホッパ３０１（図１）に設けられた不図示の軸受によって、粉粒体ホッパ３０１に回転自在に設けられている。粉粒体ホッパ３０１と、オーガ３３０と、案内筒３０２と、フィルタ体３１０は、軸心を一致した相対位置関係に組み立てられている。

フィルタ体３１０は、フィルタ筒３１１、内多孔筒３１２、及び外多孔筒３１３等で円筒状に形成されて、内多孔筒３１２で粉粒体ホッパ３０１からの粉粒体を案内するようになっている。フィルタ筒３１１は、金属性の繊維（例えば、ステンレス製の繊維）を互いに絡ませて形成されている。フィルタ筒３１１は、不活性気体としての窒素Ｎ２の通過を許容するが粉粒体の通過を阻止するようになっている。内多孔筒３１２と外多孔筒３１３とには、不活性気体が通り抜ける気体通過孔３１２ａ，３１３ａが多数形成されている。

負圧室３５０は、フィルタ体３１０の外周３１０ａの周囲に沿って設けられてフィルタ体３１０を囲む後述の負圧室ケーシング（第１のケーシング）３５１の内周３５１ａと、フィルタ体３１０の外周３１０ａとの間に形成されている。

負圧室ケーシング３５１は、上側壁板３５２と、下側壁板３５３と、外周筒３５４等で形成されている。上側壁板３５２は、平面視、リング状に形成されて、案内筒３０２に装着され、負圧室ケーシング３５１の上側の壁部を形成している。上側壁板３５２には、吸引孔３５２ａが複数形成されている。吸引孔３５２ａには、真空ポンプ３７（図１）に接続されたエルボ３５５がねじ込まれている。

下側壁板３５３は、負圧室ケーシング３５１の下側の壁部を形成している。下側壁板３５３も平面視、リング状に形成されている。外周筒３５４は、下側壁板３５３と上側壁板３５２とに設けられた円筒状の部材である。下側壁板３５３と上側壁板３５２は、フィルタ体３１０の両端を挟んでいる。外周筒３５４の内周３５４ａは、フィルタ体３１０の外周３１０ａに対向している。外周筒３５４と、下側壁板３５３と、上側壁板３５２と、フィルタ体３１０は、負圧室３５０の気密を保つように一体化されている。

リング状の下側壁板３５３には、案内筒３２０が、円筒状のフィルタ体３１０の下端（先端）を延長する方向の下方に突出形成されている。案内筒３２０は、フィルタ体３１０に継続して粉粒体を案内する役目をしている。案内筒３２０には分散リンク（分散部材）３２１が、案内筒３２０の雄ねじ３２０ａと分散リンク３２１の雌ねじ３２１ａとの螺合によって着脱自在に設けられている。分散リンク３２１は、図７に示すように、中心から放射状に延びた桟３２１ｂが複数形成されている。分散リンク３２１は、フィルタ体３１０から送り出される粉粒体の内、固まった粉粒体があるとき、その固まった粉粒体を桟３２１ｂで分散するようになっている。なお、分散リンク３２１は、必ずしも必要としない。

図５において、不活性気体供給室３７０は、円筒状の負圧室ケーシング３５１の外周３５１ｂの周囲を囲む円筒状の気体供給室ケーシング（第２のケーシング）３７１の内周３７１ａと、負圧室ケーシング３５１の外周３５１ｂとの間に、円筒状に形成されている。気体供給室ケーシング３７１は、上側壁板３５２と、下側壁板３５３の外周に設けられたリング状の補助板３７２と、外筒３７３等で形成されている。外筒３７３は、上側壁板３５２の縁を外方に延長した延長縁３５２ｂと、補助板３７２との間に設けられている。外筒３７３の内周３７３ａは、負圧室ケーシング３５１の外周３５１ｂに対向している。外筒３７３の上端部には、窒素供給装置３５（図１）に接続された窒素供給口３７３ｂが形成されている。

不活性気体混入装置３００の先端部（下端部）は、図１に示すように袋Ｗに進入するようになっている。このため、不活性気体供給室３７０（図５）の気体供給室ケーシング（不活性気体供給手段）３７１の先端部３７１ｂも、袋に進入するようになっている。そして、気体供給室ケーシング３７１の先端部３７１ｂは、袋Ｗ（図１）に進入したとき、窒素を袋内に排出するようになっており、窒素を排出する排出口３７２ａ，３７３ｃ（図５（ｃ））を形成され、その排出口３７２ａ，３７３ｃを不活性気体供給室３７０内から覆うフィルタ３７４，３７５を有している。フィルタ３７４，３７５は、非錆金属性の繊維（例えば、ステンレス製の繊維）を互いに絡ませて形成されている。フィルタ３７４は、リング状の補助板３７２の不活性気体供給室３７０側の部分に補助板３７２と同心に形成されたリング状のフィルタ装着溝３７２ｃに着脱自在に装着されている。フィルタ３７４も、リング状に形成されている。排出口３７２ａは、フィルタ装着溝３７２ｃの底に、補助板３７２を貫通し、気体供給室ケーシング３７１の先端部３７１ｂの先端面３７１ｂａに通じて、下向きに形成されている。すなわち、排出口３７２ａは、気体供給室ケーシング３７１の先端部３７１ｂの先端面３７１ｂａに位置して、多数形成されている。フィルタ３７５は、気体供給室ケーシング３７１の外筒３７３の下部の内周３７３ａに形成された、フィルタ装着溝３７３ｄに着脱自在に装着されている。このため、フィルタ３５４は、円筒状に形成されている。排出口３７３ｃは、フィルタ装着溝３７３ｄの底に、外筒３７３を貫通し、気体供給室ケーシング３７１の先端部３７１ｂの外周面３７１ｂｂに通じて、横向きに形成されている。すなわち、排出口３７２ｃは、気体供給室ケーシング３７１の先端部３７１ｂの外周面３７１ｂｂに位置して、多数形成されている。排出口３７２ａと排出口３７３ｃは、互いに交差する向きの配置関係になっているが、少なくとも一方が設けられていても良い。フィルタ３７４，３７５は、窒素の流出圧によって、フィルタ装着溝３７２ｃ，３７３ｄに押し込められてフィルタ装着溝３７２ｃ，３７３ｄから外れないようになっているが、不図示の多孔板によって不活性気体供給室３７０側から覆って、外れないようにしても良い。すなわち、フィルタ３７４，３７５が設けられた部分の構造を符号３１０で示すフィルタ体のような構造にしてもよい。

不活性気体混入装置３００の動作説明をする。図１、図５乃至図８において、不活性気体混入装置３００のモータ３０３と、真空ポンプ３７は、先頭不活性気体供給装置１００と多種不活性気体供給装置２００と、略同時に始動する。モータ３０３の始動によってオーガ３３０が回転する。真空ポンプ３７の始動によって負圧室３５０内が負圧になる。また、窒素供給装置３５の始動によって、気体供給ノズル４００を介して粉粒体ホッパ３０１に窒素Ｎ２が供給される。また、不活性気体供給室３７０にも窒素Ｎ２が供給される。

この状態で、多種不活性気体供給装置２００から、接続筒２６０（図１）を介して、窒素Ｎ２とアルゴンＡｒとが含まれた粉粒体が、粉粒体ホッパ３０１に供給される。粉粒体は、気体供給ノズル４００によって、さらに、窒素Ｎ２が供給されて、回転しているオーガ３３０によって、フィルタ体３１０（図５）内を搬送される。フィルタ体３１０の内部は、負圧になっている負圧室３５０と連通している。このため、フィルタ体３１０内部も負圧になっている。負圧状態のフィルタ体３１０内を通過する粉粒体は、空気、窒素、アルゴン等の気体を含んでいる。これらの気体は、フィルタ体３１０の内多孔筒３１２の気体通過孔３１２ａと、フィルタ筒３１１と、外多孔筒３１３の気体通過孔３１３ａとを通過して、負圧室３５０内に吸引され、真空ポンプ３７によって外部に放出される。この場合、粉粒体に含まれている空気、窒素、アルゴン等の気体、全部が放出されるわけではなく、一部が放出される。これによって、粉粒体に含まれている空気の量を減らすことができる。

不活性気体混入装置３００の先端部（下端部）には、粉粒体を収納する袋Ｗ（図１）が用意されている。粉粒体は、回転しているオーガ３３０によってフィルタ体３１０（図５）内を搬送されて、袋Ｗ（図１）に排出される。不活性気体混入装置３００の先端部（下端部）が袋Ｗ内に進入していることによって、負圧室３５０を形成している気体供給室ケーシング３７１の先端部（下端部）３７１ｂも、袋に進入していることになる。不活性気体供給室３７０には、窒素が送り込まれてきている。このため、窒素Ｎ２が、下向きの排出口３７２ａから下向きに排出され、横向きの排出口３７３ｃから横向きに排出される。

不活性気体混入装置３００は、排出口３７２ａ，３７３ｃが、フィルタ体３１０の先端部（下端部）に設けられた案内筒３２０の近くで、かつ、不活性気体供給室３７０を形成する気体供給室ケーシング３７１の先端部３７１ｂに形成されていることと、案内筒３２０から排出される粉粒体が分散されていることが多いこととによって、案内筒３２０から排出された粉粒体に窒素を容易に含ませることができる。しかも、粉粒体は、負圧室３５０によって、空気を吸引されているので、粉粒体の残留空気が少なく、残留空気に対する窒素の割合を多くすることができて、粉粒体の空気による影響する少なくすることができる。なお、不活性気体混入装置３００は、先頭不活性気体供給装置１００と、多種不活性気体供給装置２００とを分離して、単体として使用することもできる。

以上の粉粒体供給装置１は、先頭不活性気体供給装置１００で粉粒体を分散して窒素を確実に含ませた後、多種不活性気体供給装置２００で粉粒体に合わせて多種類の不活性気体を含ませ、最後に粉粒体に含まれている空気の量を不活性気体混入装置３００によって、少なくして窒素の量を多くし、袋Ｗに供給するようになっている。このため、粉粒体供給装置１は、袋詰めされた粉粒体の品質を空気によって損なわれることを少なくして、長期間、略一定に保たせることができる。

しかも、以上の粉粒体供給装置１は、多種不活性気体供給装置２００が粉粒体の搬送距離を短くして不活性気体を搬送するので粉粒体の品質を損なうことを少なくすることができる。

１：粉粒体供給装置、１００：先頭不活性気体供給装置、２００：多種不活性気体供給装置、３００：不活性気体混入装置、３１０：フィルタ体、３１０ａ：フィルタ体の外周、３２０：案内筒、３２１：分散リング（分散部材）、３３０：オーガ（回転搬送体）、３５０：負圧室（気体吸引手段）、３５１：負圧室ケーシング（第１のケーシング）、３５１ａ：負圧室ケーシング（第１のケーシング）の内周、３５１ｂ：負圧室ケーシング（第１のケーシング）の外周、３７０：不活性気体供給室（不活性気体供給手段）、３７１：気体供給室ケーシング（第２のケーシング）、３７１ａ：気体供給室ケーシング（第２のケーシング）の内周、３７１ｂ：気体供給室ケーシング（不活性気体供給手段）の先端部、３７１ｂａ：気体供給室ケーシング（不活性気体供給手段）の先端部の先端面、３７１ｂｂ：気体供給室ケーシング（不活性気体供給手段）の先端部３７１ｂの外周面、３７２ａ，３７３ｃ：排出口、Ｐ：粉粒体、Ｗ：袋（収納体）。

本発明は、粉粒体を案内する筒状のフィルタ体（３１０）と、前記フィルタ体（３１０）内で回転して粉粒体を搬送し、該粉粒体を前記フィルタ体（３１０）から排出する軸状の回転搬送体（３３０）と、前記フィルタ体（３１０）の外周（３１０ａ）を囲んで、前記フィルタ体（３１０）内を搬送される粉粒体に含まれている気体を、前記フィルタ体（３１０）を介して吸引する気体吸引手段（３５０）と、前記気体吸引手段（３５０）の外周を囲んで、前記回転搬送体（３３０）によって排出された粉粒体を受け入れる収納体（Ｗ）に不活性気体を供給する不活性気体供給手段（３７０）と、不活性気体を排出する前記不活性気体供給手段（３７０）の排出口（３７２ａ，３７３ｃ）を覆うフィルタ（３７４，３７５）と、を備え、前記不活性気体供給手段（３７０）の排出口（３７２ａ，３７３ｃ）は、収納体（Ｗ）に進入する前記不活性気体供給手段（３７０）の先端部（３７１ｂ）に設けられ、前記不活性気体供給手段（３７０）は、前記回転搬送体（３３０）が粉粒体を排出している際に、前記排出口（３７２ａ，３７３ｃ）から前記不活性気体を排出する、ことを特徴とする不活性気体混入装置（３００）によって、課題を解決した。

Claims (3)

1. 粉粒体を案内する筒状のフィルタ体と、
   前記フィルタ体内で回転して粉粒体を搬送し、該粉粒体を前記フィルタ体から排出する軸状の回転搬送体と、
   前記フィルタ体の外周を囲んで、前記フィルタ体内を搬送される粉粒体に含まれている気体を、前記フィルタ体を介して吸引する気体吸引手段と、
   前記気体吸引手段の外周を囲んで、前記回転搬送体によって排出された粉粒体を受け入れる収納体に不活性気体を供給する不活性気体供給手段と、を備え、
   前記不活性気体供給手段は、収納体に進入する先端部に不活性気体を排出する排出口を有する、
   ことを特徴とする不活性気体混入装置。
2. 前記気体吸引手段は、前記フィルタ体の外周を囲む第１のケーシングの内周と、前記フィルタ体の外周との間に形成された負圧室を有し、
   前記不活性気体供給手段は、前記第１のケーシングの外周を囲む第２のケーシングの内周と、前記第１のケーシングの外周との間に形成された不活性気体供給室を有し、
   前記不活性気体供給手段の排出口は、前記第２のケーシングの収納体に進入する前記先端部の先端面と、前記先端部の外周面との少なくとも一方の面に形成されている、
   ことを特徴とする請求項１に記載の不活性気体混入装置。
3. 前記フィルタ体の先端部に、該先端部を延長する方向に設けられて、粉粒体を案内する案内筒と、
   前記案内筒の先端部に設けられて、前記粉粒体を分散する分散部材と、を備えた、
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の不活性気体混入装置。

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