JP2021186771A - ノズル、ノズル取付体および処理システム - Google Patents

Abstract

【課題】配管に対して所望の向きにする作業負担が小さいのに加えて、取り付けた後に取り外すのが容易なノズルを提供すること。【解決手段】配管から取り込まれる液体が第１軸線の方向に沿う流路を流れ、かつ、配管への取り付けに関わる導入部と、導入部からの液体を吐出する導出部と、を備える。導入部は、配管のおもて面の側において配管を支持するおもて側支持体と、配管のうら面において配管を支持するうら側支持体と、を備える。おもて側支持体は、配管に対する位置決定要素を有している。【選択図】 図１

Description

本開示は、対象物を冷却しまたは加熱などの処理をするための液体を吐出するノズルに関し、典型的にはヘッダを構成する配管に対して複数取り付けられるノズルに関する。

複数のノズルが取り付けられる配管に例えば冷却水を供給し、それぞれのノズルから冷却対象物に向けて散水することが行われている。このノズルを配管に取り付けるのにねじが用いられていたが、例えば特許文献１に開示されるように、ねじによる取り付け構造はいくつかの課題を含んでいる。つまり、配管に対して複数のノズルのいずれかが所望する向きで取り付けることができないため、散水の向きを一定にできない。そこで特許文献１は、ねじによる取り付け構造とは異なる以下の構造のノズルを提案する。

特許文献１のノズルは、配管の外周面と係止される円筒部と、配管の内周面に係止される引掛り部と、を備える。そして、引掛り部から円筒部にわたる外周に軸心方向に向けたスリットが形成される。特許文献１のノズルによれば、配管の取付孔を引掛り部が通るときには、スリットがあるために引掛り部の外径が縮小された状態で取付孔を通過し、通過した後には引掛り部の外径が元の状態に広がって配管の内周面に係止される。これにより、特許文献１のノズルは配管から抜け出ることができなくなるのに加えて、取り付けた後に円筒部と引掛り部の軸線の周りに回転させると、ノズルを所望の向きにできる。

実開昭６３−１８５４６６号公報

特許文献１のノズルは、所望の向きにできるものの、取り付け作業が人手によるため、複数のノズルを厳密な意味で同じ向きに揃えるには手間がかかる。また、特許文献１のノズルは、引掛り部は配管の内周面に係止されているために、取り付けた後に取り外すと引掛り部を破損させるおそれがある。

以上より、本開示は、配管に対して所望の向きにする作業負担が小さいのに加えて、取り付けた後に取り外すのが容易なノズルを提供することを目的とする。

本開示は、配管への取り付けに関わり、かつ、配管から取り込まれる液体が第１軸線の方向に沿って流れる導入流路を有する導入部と、導入部から流れる液体を吐出する導出部と、を備える。
導入部は、配管のおもて面の側において配管を支持し、かつ、配管に対する位置決定要素を有するおもて側支持体と、配管のうら面の側において配管を支持するうら側支持体と、を備える。

さらに本開示は、液体が供給される配管と、配管に取り付けられる複数の本開示に係るノズルと、を備えるノズル取付体を提供する。

さらに本開示は、本開示に係るノズル取付体と、ノズル取付体のノズルから供給される液体を回収するタンクと、タンクに回収される液体を配管に供給する液体供給機構と、を備える処理システムを提供する。

本開示によれば、配管に対して所望の向きにする作業負担が小さいのに加えて、取り付けた後に取り外すのが容易なノズルを提供できる。

本開示の実施形態に係るノズルを示す側断面図である。 本開示の実施形態に係るノズルを示す平面図（ＰＶ）および底面図（ＢＶ）である。 本開示の実施形態に係るノズルを示す正面図（ＦＶ）および背面図（ＲＶ）である。 本開示の実施形態に係るノズルを配管に取り付ける手順を底面側から示す図である。 本開示の実施形態に係るノズルを配管に取り付ける手順を示す配管のうら面の側から示す図である。 図１〜図３に示すノズルの変更例を示す図である。 図１〜図３に示すノズルが取り付けられる配管の変更例を示す図である。 本開示に係る他のノズルを示し、右側から正面図、側面図および背面図である。 本開示に係るノズルの適用例を示す図である。

以下、添付する図面を参照しながら、実施形態に係るノズル１について説明する。ノズル１は、配管５０に取り付ける特定の要素を備えることにより、配管５０に対して所望の向きにする作業負担が小さいのに加えて、取り付けた後に取り外すのが容易である。この特定の要素は、配管５０のおもて面５１の側において配管５０を支持する支持アーム３３Ａと、配管５０のうら面５３の側から配管５０を支持するうら側支持体３５（第１うら側支持体３６Ａおよび第２うら側支持体３６Ｂ）とを有する。支持アーム３３Ａは、配管５０に対する突起状の位置決定要素３４を有する。

［ノズル１の全体構成：図１、図２および図３］
ノズル１は、胴部１０と、配管５０（図４，図９）から液体、例えば冷却水を取り込むとともに、配管５０への取り付けに関わる導入部２０と、導入部２０および胴部１０を通ってきた例えば冷却水を対象物に向けて吐出する導出部４０と、を備える。ノズル１の胴部１０、導入部２０および導出部４０は、樹脂材料を射出成形することにより一体で形成することができるし、金属材料を鋳造することにより一体で形成することもできる。なお、実施形態における説明の便宜上、ノズル１について、図１に示すように、前（Ｆ）、後（Ｒ）、上（Ｐ）および下（Ｂ）を定義する。

［胴部１０：図１、図２および図３］
胴部１０は、一例として直方体状の外観形状を有しており、その内部には空隙からなる水路１１が形成されている。水路１１は、導入部２０の内部に形成される導入流路２３と連なるとともに、導出部４０の内部に形成される導出流路４３と連なる。したがって、導入流路２３と導出流路４３とは、水路１１を介して繋がっており、導入流路２３から取り込まれる液体は水路１１および導出流路４３を順に通って、対象物に向けて吐出される。
水路１１は、図１に示すように、導入流路２３の末端より開口が大きく、また、導出流路４３の先端よりも開口が大きい。

［導入部２０：図１、図２および図３］
導入部２０は、配管５０から液体を取り込む第１機能と配管５０への取り付けに関わる第２機能とを備える。
導入部２０は、導入筒２１と、導入筒２１の内部を前後方向、つまり中心軸線Ｃ１に貫通する導入流路２３と、を備える。導入流路２３が導入部２０の第１機能を担う。導入流路２３は、図３（ＦＶ）に示すように、開口形状が円形をなす前端開口２４と後端開口２５を備え、前端開口２４から後端開口２５に向けて開口径が狭く絞られている。つまり、前端開口２４の開口径が最も大きく、後端開口２５の開口径が最も小さい。導入流路２３は、最も開口径の小さい後端開口２５で水路１１と繋がっている。

また、導入部２０の導入筒２１には、ノズル１を配管５０に取り付けるための支持構造３０が設けられる。支持構造３０が導入部２０の第２機能を担う。以下、支持構造３０について具体的に説明する。

支持構造３０は、図２および図３に示すように、配管５０のおもて面５１の側において配管５０に接してこれを支持するおもて側支持体３１と、配管５０のうら面５３の側において配管５０に接してこれを支持するうら側支持体３５と、を備える。
おもて側支持体３１は、導入筒２１から径方向の外側にフランジ状に張り出す支持環３２と、支持環３２に支持され径方向の外側に突き出す支持アーム３３Ａと、支持アーム３３Ａの先端部であって、前方（Ｆ）に向けて突き出す位置決定要素３４と、を備える。支持環３２は、ノズル１が配管５０に取り付けられているとき、その一部が配管５０のおもて面５１に接することで配管５０を支持する。また、ノズル１を配管５０に取り付けられる際に、配管５０に設けられる嵌入溝５７に位置決定要素３４が嵌入されることで、ノズル１が配管５０に対して所定の向きに位置決めされる。また、ノズル１が配管５０に取り付けられている状態において、嵌入溝５７に位置決定要素３４が嵌入されることで、位置決めされたノズル１が位置ずれをするのが抑制される。

うら側支持体３５は、導入筒２１から径方向の外側に突き出す第１うら側支持体３６Ａおよび第２うら側支持体３６Ｂを備える。第１うら側支持体３６Ａと第２うら側支持体３６Ｂは、中心軸線Ｃ１を基準としてＮ回対称、一例として点対称の位置に設けられる。ここで、Ｎは２以上の整数から選択され、点対称だけではなく、２回対称、３回対称などを含む。

図３の正面図（ＦＶ）に示すように、支持アーム３３Ａと第１うら側支持体３６Ａ，第２うら側支持体３６Ｂとは、中心軸線Ｃ１の周りに互いに所定の角度θ（図５）を設けて配置される。
また、中心軸線Ｃ１から第１うら側支持体３６Ａおよび第２うら側支持体３６Ｂの先端までの寸法をＬ３６、導入筒２１の外周面から支持環３２の先端までの寸法をＬ３２、導入筒２１の外周面から支持アーム３３Ａの先端までの寸法をＬ３３とする。そうすると、本開示の好ましい形態として、以下の関係が成り立つ。
Ｌ３６＜Ｌ３２＜Ｌ３３

［導出部４０：図１、図２および図３］
導出部４０は、導入部２０および胴部１０を通ってきた液体を対象物に向けて吐出する。
導出部４０は、導出筒４１と、導出筒４１の内部を上下方向である中心軸線Ｃ２に貫通する導出流路４３と、を備える。導出流路４３は、図２および図３に示すように、開口形状が円形をなす前端開口４４と後端開口４５を備え、前端開口４４から後端開口４５に向けて開口径が広くなる。つまり、前端開口４４の開口径が最も小さく、後端開口４５の開口径が最も大きい。導出流路４３は、最も開口径の大きい前端開口４４で水路１１と繋がっており、後端開口４５の開口径が最も大きく広げられている。なお、中心軸線Ｃ２は中心軸線Ｃ１と水路１１の中で直交しており、導入部２０を流れる液体は水路１１において概ね９０°だけ向きを変えて導出部４０を流れ、後端開口４５から対象物に向けて吐出される。

［配管５０：図４、図５および図９］
次に、ノズル１が取り付けられる配管５０は、ノズル１を取り付けるとともに液体が流れる取付け孔５５を備える。配管５０はノズル１に対してヘッドとして機能する。取付け孔５５は、配管５０のおもて面５１とうら面５３の表裏を貫通して形成される。
取付け孔５５は、外形が円形をなし液体が通る流路５６と、配管５０の中心軸線Ｃ４に沿って形成され一端が流路５６に連なる嵌入溝５７と、中心軸線Ｃ４に沿って形成され一端が流路５６に連なる挿通路５８と、を備える。本実施形態においては、嵌入溝５７と挿通路５８は、流路５６を中心にして対称の位置に配置され、中心軸線Ｃ４に沿って直線上に形成される。

ノズル１を配管５０のおもて面５１の側から取り付けの作業を行う際に、第１うら側支持体３６Ａと第２うら側支持体３６Ｂをそれぞれ嵌入溝５７と挿通路５８に挿入し、かつ、嵌入溝５７と挿通路５８を通過させる。この通過により、第１うら側支持体３６Ａと第２うら側支持体３６Ｂは、配管５０のうら面５３の側に至る。この状態をノズル１の仮固定という。
ノズル１が仮固定された後に、ノズル１を中心軸線Ｃ１の周りに角度θだけ回転させる。そうすると、第１うら側支持体３６Ａと第２うら側支持体３６Ｂは、嵌入溝５７と挿通路５８から中心軸線Ｃ１の周りの位置がずれた領域に移動して、うら面５３の側から配管５０を支持する。また、仮固定の状態において配管５０のおもて面５１に接していた位置決定要素３４が嵌入溝５７に嵌る。この状態を本固定という。支持環３２は、仮固定の状態から本固定の間を通じて、おもて面５１の側から配管５０に接して配管５０を支持する。支持アーム３３Ａは嵌入溝５７に嵌ってもいいし、嵌入溝５７の周囲のおもて面５１に接してもよい。
以上の通りであり、嵌入溝５７は第１うら側支持体３６Ａが通過するとともに位置決定要素３４が嵌る２つの役割を担い、挿通路５８は第２うら側支持体３６Ｂが通過する。

嵌入溝５７は、ノズル１の側の位置決定要素３４に対応する、配管５０の側における位置決定要素である。その機能を満たには、配管５０の表裏を貫通することは必ずしも必要でないため、「溝」との表現を用いている。

［ノズル１の取り付け手順：図４および図５］
次に、ノズル１を配管５０に取り付ける手順を説明する。
はじめに、配管５０の取付け孔５５にノズル１の導入部２０を差し込むために、図４および図５のＳＴＥＰ０に示すように、ノズル１の導入部２０を取付け孔５５に対して位置を定める（図４および図５ ＳＴＥＰ０）。なお、図５は、導入部２０が差し込まれていないため、導入部２０を構成する位置決定要素３４、第１うら側支持体３６Ａおよび第２うら側支持体３６Ｂは示されていない。

ノズル１の位置が定められると、図４および図５のＳＴＥＰ１に示されるように、導入部２０が取付け孔５５に向けて押し込まれる。この押し込みを全うすることで、第１うら側支持体３６Ａは嵌入溝５７を通過するとともに第２うら側支持体３６Ｂは挿通路５８を通過し、かつ、支持環３２が取付け孔５５の周囲において配管５０のおもて面５１に突き当たり、仮固定の状態となる。

仮固定がなされたら、次に、ノズル１を中心軸線Ｃ１の周りに回転させていくと、図５のＳＴＥＰ２に示すように、位置決定要素３４が嵌入溝５７に嵌る。この嵌入溝５７への位置決定要素３４の嵌入により、ノズル１が配管５０に対して所望の向きで本固定されることが認識される。仮固定から本固定までのノズル１の回転角度は角度θである。本固定の状態において、第１うら側支持体３６Ａと第２うら側支持体３６Ｂは、うら面５３の側において配管５０に接して支持し、支持環３２はおもて面５１の側において配管５０に接して支持する。

［効 果］
以上説明したように、位置決定要素３４が嵌入溝５７に嵌ることで、ノズル１は配管５０に対して所望の向きになる。したがって、ノズル１によれば、ノズル１を配管５０に対して所望の向きにする作業負担が小さい。特に、導入部２０の支持アーム３３Ａに設けられる位置決定要素３４と、第１うら側支持体３６Ａよび第２うら側支持体３６Ｂと、が所定の角度θを持って配置されており、所定角度θを認識することなく仮固定の状態から回転させるだけで、所望の向きが達成される。

また、ノズル１を配管５０に取り付けた後に、支持アーム３３Ａを配管５０の外側に引き上げると位置決定要素３４と嵌入溝５７の嵌合の関係が解ける。そこから、ノズル１を今度は角度θだけ逆回転させれば第１うら側支持体３６Ａおよび第２うら側支持体３６Ｂは、それぞれ嵌入溝５７および挿通路５８に至るので、導入部２０を取付け孔５５から引き抜くことができる。したがって、ノズル１を配管５０に取り付けた後に、配管５０からノズル１を取り外すのが容易である。特に、支持アーム３３Ａは寸法Ｌ３３が長く弾性に富んでいるので、支持アーム３３Ａを配管５０の外側に引き上げる力が少なくて済むとともに、必要以上に支持アーム３３Ａを引き上げない限り、支持アーム３３Ａが破損するおそれはない。

また、ノズル１は、おもて面５１の側から支持環３２が配管５０に接し、また、うら面５３の側から第１うら側支持体３６Ａおよび第２うら側支持体３６Ｂが配管５０に接するので、ノズル１は配管５０のおもて面５１とうら面５３の両面から配管５０を挟み込む。したがって、ノズル１が配管５０に本固定されると、ノズル１の導入部２０が配管５０の取付け孔５５から抜け出るおそれがない。

また、ノズル１は、第１うら側支持体３６Ａと第２うら側支持体３６Ｂの２つの支持体により、うら面５３から配管５０に接する。しかも、第１うら側支持体３６Ａと第２うら側支持体３６Ｂは、直線上に配置されている。したがって、第１うら側支持体３６Ａと第２うら側支持体３６Ｂにより配管５０を安定して挟み込むことができる。

また、ノズル１が取り付けられる配管５０は、取付け孔５５が中心軸線Ｃ４に沿って嵌入溝５７が形成されている。したがって、嵌入溝５７に嵌る位置決定要素３４を備える支持アーム３３Ａは、本開示において好ましい形態として、直線状をなしていれば足りるので、湾曲するアームよりも当該部分の製作が容易である。

また、ノズル１が取り付けられる配管５０における嵌入溝５７は、好ましい形態として、第１うら側支持体３６Ａが貫通するとともに位置決定要素３４が嵌る２つの役割を兼ねるので、第１うら側支持体３６Ａだけに対応する挿通路を別個に設ける必要がない。したがって、配管５０に取付け孔５５を形成する手間を省くことができる。配管５０に多数のノズル１が取り付けられる場合、第１うら側支持体３６Ａだけに対応する挿通路を形成する全体としての手間は相当に大きいので、嵌入溝５７に２つの役割を任せる本実施形態は製造コスト低減に寄与する。

仮固定から本固定にするために、ノズル１を配管５０に対して角度θだけ回転させればよいので、例えばねじを用いて取り付けるのに比べて、配管５０に取り付けるのが容易である。また、ノズル１はねじ切りが必要ないので、ねじ切りをするのに比べて配管５０の肉厚を薄くできる。

［変更例］
以上、本開示における好ましいノズル１を説明したが、本開示はノズル１に限るものではなく、以下説明する変更例を包含する。
はじめに、本実施形態に係る第１うら側支持体３６Ａおよび第２うら側支持体３６Ｂは、支持環３２よりも短い。しかし、本開示における第１うら側支持体３６Ａおよび第２うら側支持体３６Ｂは、図６の上段に示すように、支持環３２よりも長く、かつ支持アーム３３Ａと同等の長さを有していてもよい。
また、本実施形態に係る第１うら側支持体３６Ａと第２うら側支持体３６Ｂは、直線上に設けられる。しかし、本開示における第１うら側支持体３６Ａおよび第２うら側支持体３６Ｂは、図６の下段に示すように、直線上からずれて設けられてもよい。また、図示を省略するが、支持アーム３３Ａと第１うら側支持体３６Ａおよび第２うら側支持体３６Ｂとを直線上に設けることもできる。この場合には、図７の下段に示すように、

次に、本実施形態に係る配管５０の取付け孔５５は中心軸線Ｃ４に沿って形成される。しかし、本開示における取付け孔５５は、図７の下段に示すように、中心軸線Ｃ４に直交する向き、つまり配管５０の径方向に沿って形成することもできる。この変更例に対応するノズル２が図８に記載されている。このノズル２は、支持アーム３３Ｂが配管５０の外周の円弧面に倣う円弧形状の側面を有している。支持アーム３３Ｂを除く部位について、ノズル１と同様の部位については図１〜図３と同じ符号を付して説明を省略する。

また、本実施形態に係る配管５０の取付け孔５５の嵌入溝５７は第１うら側支持体３６Ａが挿入されるのと位置決定要素３４が挿入される２つの役割を担う。しかし、本開示は、図７の下段に示すように、挿通路５８を、第１うら側支持体３６Ａが通過される第１挿通路５８Ａと第２うら側支持体３６Ｂが通過される第２挿通路５８Ｂとに区分できる。

また、以上の形態は、ノズル１の側の位置決定要素３４が突状をなし、配管５０の側の位置決定要素として突起状の位置決定要素３４が嵌入される嵌入溝５７が設けられるが、本開示はこれに限らない。つまり、ノズル１の側に嵌入溝を設け、配管５０の側に突起状の位置決定要素を設けることもできる。もっても、本開示において、ノズル１と配管５０の間の位置決定要素は、溝と突起物に限るものではない。

［適用例］
本実施形態に係るノズル１は、例えば図９に示す散水システム１００に適用される。散水システム１００は、ノズル１から吐出される冷却水を対象物Ｐにかけることにより、対象物Ｐを冷却処理する。

散水システム１００は、複数のノズル１と、複数のノズル１が取り付けられる配管５０と、ノズル１から吐出される冷却水ＣＷを蓄えるタンク３と、タンク３の上方において対象物Ｐを支持するトレー４と、を備える。また、散水システム１００は、タンク３に蓄えられる冷却水ＣＷを配管５０に向けて圧送するポンプ５と、タンク３と配管５０を繋ぎ、ポンプ５により圧送される冷却水ＣＷを配管５０に供給する冷却水路７と、を備える。
散水システム１００は、ノズル１から吐出され対象物Ｐに降りかけられた冷却水ＣＷは、タンク３に落下し一時的に貯留されるが、ポンプ５により冷却水路７および配管５０を順に通ってノズル１から吐出される。冷却水ＣＷはこの循環経路を繰り返し流れて、対象物Ｐの冷却に使用される。

以上の実施形態に記載のノズルおよび散水システムは、以下のように把握される。
（１）配管５０から取り込まれる液体が第１軸線Ｃ１の方向に沿う流路を流れ、かつ、配管５０への取り付けに関わる導入部２０と、導入部２０からの液体を吐出する導出部４０と、を備えるノズル１。導入部２０は、配管５０のおもて面５１の側において配管５０を支持し、かつ、配管５０に対する位置決定要素３４を有するおもて側支持体３１と、配管５０のうら面５３の側において配管５０を支持するうら側支持体３５と、を備える。

（２）おもて側支持体３１とうら側支持体３５とは、第１軸線Ｃ１の周りに所定角度を設けて配置される。
（３）うら側支持体３５は、第１うら側支持体３６Ａと第２うら側支持体３６Ｂを備え、第１うら側支持体３６Ａと第２うら側支持体３６Ｂとは、第１軸線Ｃ１を中心にして互いにＮ回対称（Ｎは２以上の整数）、特に点対称の位置に設けられる。
（４）おもて側支持体３１は、うら側支持体３５よりも第１軸線Ｃ１からの寸法が大きい。

（５）液体が供給される配管５０と、配管５０に取り付けられ複数の本開示に係るノズル１と、を備える、ノズル取付体。
（６）本開示のノズル取付体における配管５０は、おもて側支持体３１の突起状の位置決定要素３４が嵌入される嵌入溝５７と、表裏を貫通し、うら側支持体３５が挿通される挿通路５８と、を備える。うら側支持体３５は、挿通路５８および嵌入溝５７とは、第１軸線Ｃ１の周りの異なる位置において、配管５０をうら面側から支持し、嵌入溝５７と挿通路５８とが第１軸線Ｃ１を中心にして互いにＮ回対称（Ｎは２以上の整数）、特に点対称の位置に設けられる。
（７）うら側支持体３５は、第１うら側支持体３６Ａと第２うら側支持体３６Ｂを備え、第１うら側支持体３６Ａと第２うら側支持体３６Ｂとは、第１軸線Ｃ１を中心にして互いにＮ回対称（Ｎは２以上の整数）、特に点対称の位置に設けられ、挿通路５８は、第１うら側支持体３６Ａに対応する第１挿通路５８Ａと第２うら側支持体３６Ｂに対応する第２挿通路５８Ｂとを備え、嵌入溝５７が、第１挿通路５８Ａおよび第２挿通路５８Ｂの一方を兼ねる。

（８）本開示に係るノズル取付体と、ノズル取付体のノズルから供給される液体を回収するタンク３と、タンク３に回収される液体を配管５０に供給する液体供給機構（ポンプ５、冷却水路７）と、を備える、散水システム１００。

１ ノズル
３ タンク
５ ポンプ（液体供給機構）
７ 冷却水路（液体供給機構）
１０ 胴部
１１ 水路
２０ 導入部
２１ 導入筒
２３ 導入流路
２４ 前端開口
２５ 後端開口
３０ 支持構造
３１ おもて側支持体
３２ 支持環
３３Ａ，３３Ｂ 支持アーム
３４ 位置決定要素
３５ うら側支持体
３６Ａ 第１うら側支持体
３６Ｂ 第２うら側支持体
４０ 導出部
４１ 導出筒
４３ 導出流路
４４ 前端開口
４５ 後端開口
５０ 配管
５１ おもて面
５３ うら面
５５ 取付け孔
５６ 流路
５７ 嵌入溝
５８ 挿通路

Claims (8)

1. 配管への取り付けに関わり、かつ、前記配管から取り込まれる液体が第１軸線の方向に沿って流れる導入流路を有する導入部と、
   前記導入部から流れる前記液体を吐出する導出部と、を備え、
   前記導入部は、
   前記配管のおもて面の側において前記配管を支持し、かつ、前記配管に対する位置決定要素を有するおもて側支持体と、
   前記配管のうら面の側において前記配管を支持するうら側支持体と、を備える、ノズル。
   
2. 前記おもて側支持体と前記うら側支持体とは、前記第１軸線の周りに所定角度を設けて配置される、
   請求項１に記載のノズル。
   
3. 前記うら側支持体は、
   第１うら側支持体と第２うら側支持体を備え、
   前記第１うら側支持体と第２うら側支持体とは、
   前記第１軸線を中心にして互いにＮ回対称（Ｎは２以上の整数）の位置に設けられる、
   請求項１または請求項２に記載のノズル。
   
4. 前記おもて側支持体は、前記うら側支持体よりも前記第１軸線からの寸法が大きい、
   請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のノズル。
   
5. 液体が供給される配管と、
   前記配管に取り付けられる複数のノズルと、を備え、
   前記ノズルが請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のノズル、である、
   ノズル取付体。
   
6. 前記配管は、
   前記おもて側支持体の突起状の前記位置決定要素が嵌入される嵌入溝と、
   前記配管の前記おもて面および前記うら面を貫通し、前記うら側支持体が挿通される挿通路と、を備え、
   前記うら側支持体は、前記挿通路および前記嵌入溝とは、前記第１軸線周りの異なる位置において、前記配管を前記うら面の側から支持し、
   前記嵌入溝と前記挿通路とが前記第１軸線を中心にして互いにＮ回対称（Ｎは２以上の整数）の位置に設けられる、
   請求項５に記載のノズル取付体。
   
7. 前記うら側支持体は、
   第１うら側支持体と第２うら側支持体を備え、
   前記第１うら側支持体と前記第２うら側支持体とは、
   前記第１軸線を中心にして互いにＮ回対称（Ｎは２以上の整数）の位置に設けられ、
   前記挿通路は、前記第１うら側支持体に対応する第１挿通路と前記第２うら側支持体に対応する第２挿通路とを備え、
   前記嵌入溝が、前記第１挿通路および前記第２挿通路の一方を兼ねる、
   請求項６に記載のノズル取付体。
   
8. 請求項５から請求項７のいずれか一項に記載のノズル取付体と、
   前記ノズル取付体の前記ノズルから供給される前記液体を回収するタンクと、
   前記タンクに回収される前記液体を前記配管に供給する液体供給機構と、
   を備える、処理システム。

Images