JP2021181854A - 熱処理炉 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、実施形態1における熱処理炉2の概略構成を示す縦断面図である。
本発明に係る実施形態2の熱処理炉について説明する。なお、実施形態2では、主に実施形態1と異なる点について説明し、実施形態1と重複する記載は省略する。
3 炉床(台座)
4 インナーカバー(チャンバ、マッフル)
6 アウターカバー
8 バーナ(加熱手段)
10 排気口
12 載置板
14 スペーサ
16 上板
18 下板
20 連結部材
22 空間
24 循環ファン
26 モータ
28 空間
30 空間
32 フランジ
34 プレート部材
34A 第1プレート
34B 第2プレート
36 第1接触面
38 第2接触面
40 第1凹部
42 第1パッキン
44 第2凹部
46 第2パッキン
48 第1冷却水路
52 フランジ部
54 ボルト(固定部材)
55 ナット(固定部材)
56 仕切り板
58 給水管
60 排水管
62 エアー抜き管
64、66 水抜き管
70 インナーカバー
72 フランジ
74 第2冷却水路
S ワーク
Claims (5)
- 被加熱物としてのワークを収容して環状のフランジを端部に形成したチャンバと、
前記チャンバの内部空間を加熱するための加熱手段と、
前記チャンバの前記フランジに接触する環状の第1接触面を有し、前記フランジとの隙間を封止する環状の第1パッキンを前記第1接触面に設け、前記第1パッキンを冷却する第1冷却水路を内部に有したプレート部材と、
前記プレート部材の前記第1接触面とは反対側の第2接触面に接触する台座と、を備え、
前記プレート部材は、前記チャンバの前記フランジおよび前記台座に対して取外し可能に接触する、熱処理炉。 - 前記プレート部材の前記第2接触面には前記台座との隙間を封止する環状の第2パッキンをさらに設けた、請求項1に記載の熱処理炉。
- 前記第1冷却水路は、前記第1パッキンと前記第2パッキンの間の高さに配置される、請求項2に記載の熱処理炉。
- 前記チャンバは、前記フランジの内部に第2冷却水路を有する、請求項1から3のいずれか1つに記載の熱処理炉。
- インナーカバーとしての前記チャンバと、前記チャンバの外側に設けたアウターカバーとを備えたベル型焼鈍炉としての請求項1から4のいずれか1つに記載の熱処理炉であって、
前記プレート部材は、前記チャンバの前記フランジの下方に配置され、
前記台座は、前記プレート部材の下方に配置される、熱処理炉。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2020087480A JP2021181854A (ja) | 2020-05-19 | 2020-05-19 | 熱処理炉 |
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JP2020087480A JP2021181854A (ja) | 2020-05-19 | 2020-05-19 | 熱処理炉 |
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JP2021181854A true JP2021181854A (ja) | 2021-11-25 |
Family
ID=78606375
Family Applications (1)
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Country | Link |
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JP (1) | JP2021181854A (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6413499U (ja) * | 1987-07-10 | 1989-01-24 | ||
JPH062681U (ja) * | 1992-06-11 | 1994-01-14 | 国際電気株式会社 | 縦型拡散装置 |
JPH0758048A (ja) * | 1993-08-19 | 1995-03-03 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理装置 |
JPH1140505A (ja) * | 1997-07-18 | 1999-02-12 | Kokusai Electric Co Ltd | 管体継手部の冷却構造 |
-
2020
- 2020-05-19 JP JP2020087480A patent/JP2021181854A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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